JP4392057B2 - 有機半導体物質を有する半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明は、有機ドナ分子と有機アクセプタ分子との固体混合物により形成された有機物質を有する装置に関する。ここで、「ドナ分子」とは比較的容易に電子を放出することができる分子を意味し、「アクセプタ分子」とは比較的容易に電子を取り込むことができる分子を意味するものと理解される。
背景技術
冒頭に述べた種類の固体混合物はヨーロッパ特許出願公開第423956号から既知である。この固体混合物は、1.3:2及び1.66:2なるドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比において半導体状態になる。上述した既知の固体混合物は、この既知の固体混合物の導電率が比較的高く、当該固体混合物の導電率にスイッチ可能な装置を製造することができる程度に影響を与えることができないという問題を有している。
発明の開示
本発明の目的は、とりわけ上記問題を解決することにある。
上記目的のため、本発明によれば当該装置は、前記物質がn型半導体物質又はp型半導体物質を有し、前記n型半導体物質が0.05より低いドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比を有し、前記p型半導体物質が20より大きい上記比を有することを特徴としている。従って、上記ドナ/アクセプタの組み合わせによって、n型及びp型の有機半導体を製造することが可能である。
本発明による固体混合物はスイッチ可能な半導体装置を製造するために使用することができる。また、上記n型及びp型物質は例えばドープされたシリコン又はゲルマニウムと同様な方法でトランジスタ、ダイオード及び電界効果トランジスタを製造するために使用することができる。
前記既知の固体混合物は有機導体を製造するために使用されている。1:1なるドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比が与えられた場合、当該固体混合物は半金属となる。1.3:2及び1.66:2なる、即ち1:1に近いドナ/アクセプタ比においては、当該固体混合物の導電率は純粋に金属的な導電率の場合におけるより低いが、該導電率はこの固体混合物ではスイッチング素子を作成することができない程依然として高い。加えて、既知の固体混合物はn型又はp型の振る舞いを示さない、即ち導電率は比較的緩やかに結合された電子又は正孔によっては決まらない。一方、本発明による固体混合物はn型又はp型の半導体のように振る舞う。このことは、他の半導体物質から知られている空乏、エンハンスメント、電荷キャリアの注入、電界効果、その他の効果をスイッチング素子を作成するために使用することができるということを意味している。当該固体混合物は、ドナとアクセプタとの間の固体混合物モル比が0.05より低い場合、即ちアクセプタ分子の非常に大きな相対的個数の場合は、n型半導体として振る舞う。また、当該固体混合物は、モル比が20より高い場合、即ちドナ分子の非常に大きな相対的個数の場合は、p型半導体として振る舞う。本発明による混合物とは対照的に、例えばシリコンのような半導体物質においてはアクセプタ原子の存在はp型の振る舞いにつながり、ドナ原子の存在はn型の振る舞いにつながる。
比較的低い及び高いドナ/アクセプタモル比を持つ固体混合物の上記振る舞いは、所謂ホッピングメカニズムが原因であると思われる。かくして、低いドナ/アクセプタモル比の固体混合物のn型の振る舞いは、比較的少ないドナ分子の電子により決まり、これらが比較的多数あるアクセプタ分子上の格子位置(正孔)まで移動(ホップ)するという事実が原因している可能性がある。逆のことがp型物質の場合であろう。
好ましくは、当該装置は前記n型物質から製造されるn型領域と前記p型物質から製造されるp型領域の両方を有する。本発明による半導体装置に使用される固体混合物は、一方がドナ分子用他方がアクセプタ分子用の2つの蒸気源からの例えば1.3x10-3N/m2(10-5torr)より低い低圧力での同時付着により比較的容易に製造することができる。上記ドナ/アクセプタモル比は、上記源の発生量を例えば源の温度を調整することにより調整することによって、比較的容易に変化させることができる。このように、当該有機半導体のn型領域とp型領域の両方を一つの蒸着工程内で形成することができる。従って、本発明による半導体装置は、高温拡散がn型及びp型領域の製造の一部においてなされる例えばシリコン半導体装置よりは、非常に容易に製造することができる。好ましくは、当該装置は前記p型領域とn型領域との間にpn接合を有する。このようなpn接合はダイオードとして振る舞い、スイッチング素子の基本形である。上記pn接合は、ドナ分子とアクセプタ分子との蒸着源の発生量を変化させることにより、別個のp型及びn型領域の場合と同様に簡単な方法で製造することもできる。
当該装置が前記有機ドナ分子と前記有機アクセプタ分子との固体混合物から製造される他の領域を有し、該領域においては前記ドナ分子と前記アクセプタ分子との間のモル比が略1に等しい場合には付加的な利点が得られる。上記のような領域は半金属的性質を有し、従って例えば接続領域、埋め込み導体、又は半導体領域間の相互接続として使用することができる。半金属領域は、製造中にドナ−アクセプタモル比を約1:1に変化させることにより、n型領域及びp型領域と一緒に1つの工程で製造することができる。シリコンのような半導体物質の場合は、上記のような導電領域の製造には付加的な金属化工程が必要である。
好ましくは、当該装置は、表面に接し且つ不動態化された表面層を備えるn型物質からなる領域を有する。実際には、n型物質は低圧力下で製造された後に空気(N2とO2との混合物)に曝された場合に不動態表面層を形成することが解った。当該半導体装置が表面にn型物質の領域が接するように製造される場合は、当該装置は、真空条件下での蒸着の後に酸素を含む雰囲気に曝された際に不動態化される。この効果はシリコン表面の酸化珪素の形成による不動態化にたとえることができる。
好ましくは、当該装置は、ソース領域と、ドレイン領域と、これらの間に位置し且つ前記n型物質から製造されるn型チャンネル領域とを備える電界効果トランジスタを有し、該チャンネル領域には絶縁層により当該チャンネル領域から分離されたゲート電極が設けられ、前記チャンネル領域の前記ゲート電極から遠くに面する側には表面に接する不動態化された表面層が設けられる。上記チャンネル領域のゲート電極から遠くに面する側は、空気に曝される場合に不動態化される。この結果、比較的浅いチャンネル領域が得られる。このような浅いチャンネル領域は電界効果トランジスタの所謂オン/オフ比、即ちゲート電極を介して既知の方法でチャンネルが阻止され又は導通状態にされる場合のチャンネル領域の導電率の差、に好ましい影響を与える。
既知のドナ分子は、例えば、TTF:tetrathiafulvalene、TMTTF:tetramethyltetrathiafulvalene、TSF:tetraselenafulvalene、TMTSF:tetramethyltetrasilenafulvaleneである。また、既知のアクセプタ分子は、例えば、TCNQ:tetracyanoquinodimethane、TNAP:tetracyanonaphtoquinodimethane及びTCNDQ:tetracyanodiquinodimethaneである。これら全ての分子が、本発明による固体混合物中のドナ分子及びアクセプタ分子として使用することができる。有機ドナ及びアクセプタ分子の他の例に関しては、アカデミックプレス1969年出版のR.フォスタによる「有機電荷移送錯体」なる本の第5〜11頁、表1.1を参照されたい。好ましくは、上記有機ドナ分子はTTF:tetrathiafulvaleneを有し、上記有機アクセプタ分子はTCNQ:tetracyanoquinodimethaneを有する。これら物質は比較的容易に得られ、200℃より低い温度で容易に付与することができる。
本装置の表面に当該装置を酸素から密封するような表面層を設ければ、付加的な利点を得ることができる。これによって、上記固体混合物の安定性が向上する。好ましくは、上記表面層は一酸化珪素を有する。一酸化珪素は約200℃の比較的低い温度で付与することができるので、前記有機ドナ分子及び有機アクセプタ分子がアタックされることがない。
【図面の簡単な説明】
以下、本発明を添付図面を参照しながら例示として詳述するが、これら図面において:
第1図は、導電率Sを固体混合物のドナ/アクセプタモル比D/Aの関数として示し、
第2図は、本発明による有機半導体物質を有するMOSFETトランジスタを備える半導体装置を示し、
第3図は、第2図の半導体装置のソース1とドレイン2との間の電流Isdをゲート電極4の電圧Vgの関数として示し、
第4図は、本発明による有機半導体物質を有するMISダイオードを備える半導体装置を示し、
第5図は、第4図の半導体装置の微分容量dQ/dV(Qは電極4、8の電荷、Vはゲート電極4の電圧Vg)を、ゲート電極4の電圧Vgの関数として示し、
第6図は、本発明による有機半導体物質からなるpn接合を備えるダイオードを有する半導体装置を示す。
発明を実施するための最良の形態
添付の図は純粋に概念的なもので、寸法通りには描かれていない。また、これらの図において対応する各部分には概ね同一の符号を付してある。
第2図、第4図及び第6図は、有機ドナ分子と有機アクセプタ分子との固体混合物により形成された有機半導体物質を有する半導体装置を示している。ここで、ドナ分子とは比較的容易に電子を放出することができる分子であり、又アクセプタ分子とは比較的容易に電子を取り込むことができる分子であると理解される。
既知の半導体状態の固体混合物は、1.3:2及び1.66:2なるドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比を有している。このような固体混合物は、導電率が比較的高く、従って当該混合物ではスイッチ可能な装置を製造することができないという問題があった。
本発明によれば、当該半導体物質はn型の物質が0.05より低いドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比を有し、p型物質が20より高い該比を有するような、n型又はp型半導体物質を有している。固体混合物は、0.05より低いドナとアクセプタとの間のモル比を有する場合、従って非常に大きなアクセプタ分子の相対個数の場合に、n型半導体として振る舞う。また、固体混合物は20より高いモル比の場合、従って非常に大きなドナ分子の相対個数の場合に、p型半導体として振る舞う。
第1図は、アクセプタ分子としてのTCNQとドナ分子としてのTTFとから製造されたn型半導体物質において導電率Sがドナ/アクセプタモル比D/Aの関数としてどのように変化するかを示している。従って導電率が、ドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比を制御することにより、何倍もの大きさにわたって変化させることができる。第1図は、本発明による混合物が、約1なるドナ/アクセプタモル比D/Aを持つ既知の固体混合物に見られるような半金属導電率とは大きく異なる導電率を有することを示している。
第2図は、ソース領域1と、ドレイン領域2と、前記n型物質からなり中間に介在されたn型チャンネル領域3とを備える電界効果トランジスタを示す。この場合、上記チャンネル領域3には該領域3から絶縁層5により分離されたゲート電極4が設けられる一方、当該チャンネル領域3の上記ゲート電極4から遠くに面する側3’には表面6に接する不動態化された表面層7が設けられている。上記のような装置は以下のように製造される。強度にドープされたp型シリコンスライス(約0.02Ωcm)がゲート電極4として使用される。このスライス上には、50nm厚の酸化珪素層(Silicon dioxide)が既知の方法により絶縁層5として熱的に成長される。この絶縁層5上には、ソース領域1及びドレイン領域2が約0.1μ厚の蒸着された金の層から形成され、該層はフォトリソグラフィ及びエッチング処理により既知の方法でパターン形成される。上記ソース領域とドレイン領域との間の距離、即ちチャンネル長Lは5μmであり、チャンネル幅Z、即ちチャンネル領域3の図の面を横切る方向の幅は10mmである。ここでは、ソース1/ドレイン2とゲート電極4との間の電気抵抗は1012Ω以上である。次いで、固体混合物が絶縁層5上と、ソース及びドレイン領域1、2上とに設けられる。この目的のため、前記シリコンスライスは蒸着用ガラス鐘内に置かれ、該鐘内でドナ分子及びアクセプタ分子(各々、TTF及びTCNQ)の約1:200のモル比の固体混合物が1.3x10-4N/m2(1x10-6torr)なる圧力で0.17μmなる厚さに形成される。上記のTCNQ及びTTFは、約150℃の温度に維持される異なる蒸気源から供給される。付与された上記固体混合物の導電率は5x10-6Scm-1である。前記チャンネル領域3のゲート電極4から遠くに面する側3’は、前記ガラス鐘から取り出される間にチャンネル領域3が空気に曝される際に不動態化される。かくして本発明による装置は、不動態化された表面層7を備える固体混合物のn型半導体物質からなるチャンネル領域3を有することになる。実際には、真空中で製造された後に酸素を含む雰囲気に曝された場合、上記n型物質3は約0.15μmの不動態化された表面層7を形成することが解った。上記酸素は、このn型固体混合物をより一層絶縁的にする。この効果はn型混合物と雰囲気との間の境界面において最強であり、上記固体混合物本体に向かうにつれて累進的に弱くなる。この不動態化により、比較的浅いチャンネル領域3が作成される。このような浅いチャンネル領域3は当該電界効果トランジスタの所謂オン/オフ比に有利に影響する。即ち、チャンネル領域3における導電率には当該チャンネルが既知のようにゲート電極4を介して阻止された場合と当該チャンネルが導通状態にされた場合とで大きな差が存在するようになる。チャンネル領域3がより浅く(より薄く)なるので、チャンネル領域の導通状態における導電率は上記不動態化により減少する。第3図は、ソース1とドレイン2との間の電流Isdを垂直方向にプロットし、ゲート電極4に印加される電圧Vgを水平方向にプロットしたグラフである。この場合、ソース1とドレイン2との間の電圧は20Vなる固定値に設定された。第3図の曲線は製造から47日後に、従って充分に不動態化された表面で、記録された。第3図から、オン/オフ比(+20V及び−20VなるVgで測定)は、3x10-7/10-9、即ち約300と非常に大きいことが明らかである。
第4図は、本発明による所謂MIS(Metal Insulator Semiconductor)ダイオードを示している。このMISダイオードは先の例の電界効果トランジスタの場合と類似の方法で製造されるが、この場合ソース領域及びドレイン領域は設けられず、第2の金電極8が表面6上に設けられる。このMISダイオードは0.31mm2なる表面面積を有する。当該MISダイオードは電極8及び4に電荷Qを蓄積することができるような容量として振る舞う。第5図は、微分容量dQ/dVgをゲート電極4に印加される電圧Vgの関数として示している。第5図は1kHzの周波数で且つ0.5Vの振幅で記録され、電極4と8との間の電圧Vgは20V/分の率で変化された。この場合、破線10は半導体層3がない装置の微分容量を示し、実線11は半導体層3を有する装置の微分容量を示している。曲線11の微分容量値は、約20Vより高いVgに関しては、曲線10の値に近づく。このことは、半導体物質3が電子で高められるので、当該半導体領域3が微分容量dQ/dVに関しては導体と見なされ、該微分容量は電極8が絶縁層上に直に位置する曲線10の場合のように、絶縁層5により決まる。Vgが約−20Vより低くなる場合は、曲線11の微分容量値は絶縁層5と半導体領域3の両方を持つ絶縁層に属するdQ/dVの値に近づく。このことは、これらの電圧においては半導体領域3が電荷に関して充分に空乏化していることを示している。従って、第5図は当該固体混合物がn型半導体として振る舞うことを明瞭に示している。なお、当該MISダイオードが微分容量曲線においてヒステリシスを示していることに注意すべきである。このヒステリシスの原因は明らかではないが、電荷が境界面に保持されるか、酸化物電荷か、又はドナ若しくはアクセプタ分子の移動等の種々のメカニズムによる可能性がある。
第6図は、n型物質から製造されるn型領域23とp型物質から製造されるp型領域22の両方を有する装置を示し、上記p型及びn型領域の間にpn接合35が形成されている。当該装置は有機ドナ分子と有機アクセプタ分子との固体混合物からなる他の領域24も有し、該混合物においてはドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比は略1に等しい。第6図の装置はダイオードである。このような装置は以下のように製造される。ドナ分子とアクセプタ分子との固体混合物がガラス製の絶縁基体20上に設けられる。この目的のため、シリコンスライスが蒸着用ガラス鐘内に置かれ、該鐘内では各々ドナ物質及びアクセプタ物質としてのTTF及びTCNQの固体混合物が異なる蒸気源から1.3x10-4N/m2(1x10-6torr)なる圧力で形成される。上記各蒸気源の温度はドナ分子とアクセプタ分子との所望の比に応じて設定される。異なる層2.1ないし24が1つの処理シーケンス内で、即ち前記基体20をガラス鐘から取り出すことなしに、形成される。先ず、約1:1のTTF/TCNQモル比の固体混合物を有する半金属的に導通する層21が0.2μm厚に設けられる。この層21は当該半導体装置の第1電極として作用する。設けられた上記固体混合物の導電率は約1Scm-1である。次いで、0.2μm厚のp型半導体層22が、約200:1のTTF/TCNQモル比の固体混合物を有して、且つ、基体20をガラス鐘から取り出すことなしに設けられる。設けられた上記固体混合物の導電率は5x10-6Scm-1である。上記p型層22上には、n型半導体層23が約1:200のTTF/TCNQモル比の固体混合物を有して設けられる。このようにして設けられた上記固体混合物の導電率は5x10-6Scm-1である。このn型層23上には、有機ドナ分子と有機アクセプタ分子との固体混合物を有する半金属層24が設けられるが、この場合ドナ分子とアクセプタ分子との間のモル比は略1に等しい。この半金属層24上には0.2μm厚の金層25が第2電極として設けられる。この金の層は蒸着、フォトリソグラフ処理及びエッチングにより既知の方法で成形される。次いで、上記有機層21ないし24はプラズマエッチングによりパターン形成される。次に、本発明によればプラズマエッチングにより作成された当該装置の表面30及び側面に、当該装置を酸素から密封する表面層26が設けられる。
上記のような層は、低温CVD(Chemical Vapour Deposition)処理で比較的低い温度(200℃又はそれ以下)で作成される。該層は前記固体混合物を酸素に対して密封するので、当該固体混合物の安定性が増加する。好ましくは、前記表面層26は一酸化珪素を有する。一酸化珪素は約200℃の比較的低い温度で既知の方法で設けることができる。この一酸化珪素の層は前記有機ドナ及びアクセプタ分子がアタックされないことを保証する。
既知のドナ分子は、例えば、TTF:tetrathiafulvalene、TMTTF:tetramethyltetrathiafulvalene、TSF:tetraselenafulvalene、TMTSF:tetramethyltetraselenafulvaleneである。また、既知のアクセプタ分子は、例えば、TCNQ:tetracyanoquinodimethane、TNAP:tetracyanonaphtoquinodimethane及びTCNDQ:tetracyanodiquinodimethaneである。これら全ての分子が、本発明による固体混合物中のドナ分子及びアクセプタ分子として使用することができる。しかしながら、上記ドナ及びアクセプタ物質に言及したといって、これが限定であると考えてはいけない。他の有機ドナ及びアクセプタ物質の例をアカデミックプレス1969年出版のR.フォスタによる「有機電荷移送錯体」なる本の第5〜11頁、表1.1に見つけることができる。本発明による装置は上述したもの以外のドナ及びアクセプタ分子を用いても可能であり、例えば、長い炭素鎖又はベンゼン環(マクロ分子)等の基を更に備える上記のドナ及びアクセプタ分子を用いても可能である。好ましくは、上記有機ドナ分子はTTF:tetrathiafulvaleneを有し、上記有機アクセプタ分子はTCNQ:tetracyanoquinodimethaneを有する。これら物質は比較的容易に得られ、200℃より低い温度で容易に供給することができる。
尚、本発明は上述した実施例のみに限定されるものではない。即ち、当該半導体装置は、1個のスイッチング素子の代わりに、共通の基体上に多数のスイッチング素子を有していてもよい。また、当該半導体装置は例えばバイポーラトランジスタ、ダイオード、電界効果トランジスタ又はサイリスタ等の他のスイッチング素子を有していてもよい。これらの装置は、シリコン技術から既知の半導体装置から類推して設計することができる。また、当該半導体装置は前記固体混合物をフォトリソグラフィ及び例えばプラズマエッチングのようなエッチング等の既知の技術によりパターン成形することにより作成することができる。この場合、導電性のp型及びn型領域は、本発明により固体混合物を用いて製造及び成形することができる。
Claims (7)
- 有機ドナ分子と有機アクセプタ分子との固体混合物により形成される有機物質を含む半導体装置において、前記有機ドナ分子はTTF(tetrathiafulvalene)、TMTTF(tetramethyltetrathiafulvalene)、TSF(tetraselenafulvalene)、TMTSF(tetramethyltetraselenafulvalene)から選択され、前記有機アダプタ分子はTCNQ(tetracyanoquinodimethane),TNAP(tetracyanonaphtoquinodimethane)、TCNDQ(tetracyanodiquinodimethane)から選択され、前記有機物質がn型半導体物質又はp型半導体物質を有し、前記n型の半導体物質は0.05より低い前記ドナ分子と前記アクセプタ分子との間のモル比(ドナ/アクセプタモル比)を有し、前記p型半導体物質は20より大きい前上記比を有することを特徴とする半導体装置。
- 有機ドナ分子と有機アクセプタ分子との固体混合物により形成される有機物質を含む半導体装置において、前記有機ドナ分子はTTF(tetrathiafulvalene)、TMTTF(tetramethyltetrathiafulvalene)、TSF(tetraselenafulvalene)、TMTSF(tetramethyltetraselenafulvalene)から選択され、前記有機アダプタ分子はTCNQ(tetracyanoquinodimethane),TNAP(tetracyanonaphtoquinodimethane)、TCNDQ(tetracyanodiquinodimethane)から選択され、前記有機物質がn型半導体物質及びp型半導体物質を有し、前記n型の半導体物質は0.05より低い前記ドナ分子と前記アクセプタ分子との間のモル比(ドナ/アクセプタモル比)を有し、前記p型半導体物質は20より大きい上記比を有する半導体装置において、前記半導体装置が前記n型半導体物質から製造されるn型領域と、前記p型半導体物質から製造されるp型領域とを有し、前記p型領域と前記n型領域との間にpn接合を有していることを特徴とする半導体装置。
- 請求項2に記載の半導体装置において、当該装置が前記有機ドナ分子と前記有機アクセプタ分子との固体混合物から製造される他の領域である半金属領域を有し、該領域においては前記ドナ分子と前記アクセプタ分子との間の前記モル比が略1に等しいことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の半導体装置において、当該装置が、表面に接し且つ不動態化された表面層を備える前記n型半導体物質からなる領域を有していることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1又は請求項4の何れか一項に記載の半導体装置において、当該装置が、ソース領域と、ドレイン領域と、これらの間に位置し且つ前記n型半導体物質から製造されるn型チャンネル領域とを備える電界効果トランジスタを有し、前記チャンネル領域には絶縁層により当該チャンネル領域から分離されたゲート電極が設けられ、前記チャンネル領域の前記ゲート電極から遠くに面する側には表面に接する不動態化された表面層が設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項2又は請求項3の何れか一項に記載の半導体装置において、当該装置の表面に該装置を酸素に対して密封する表面層が設けられていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項6に記載の半導体装置において、前記表面層が一酸化珪素を含むことを特徴とする半導体装置。
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