JP4389948B2 - 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 - Google Patents
圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4389948B2 JP4389948B2 JP2007043594A JP2007043594A JP4389948B2 JP 4389948 B2 JP4389948 B2 JP 4389948B2 JP 2007043594 A JP2007043594 A JP 2007043594A JP 2007043594 A JP2007043594 A JP 2007043594A JP 4389948 B2 JP4389948 B2 JP 4389948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing
- sealing hole
- hole
- piezoelectric
- tungsten
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
また、本発明は、真空封止の際の生ずる周波数変動をなくすことを目的としている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電デバイスである圧電振動子の説明図であって、(1)はリッドを除いた平面図、(2)は(1)のA−A線に沿った断面図、(3)は底面図である。
Claims (2)
- 貫通孔を有する平板状の第1のセラミックシートに圧電振動片を収容するキャビティを形成する枠状の第2のセラミックシートをその内縁部の一部が前記貫通孔の開口部に平面視で重なるように積層させて、前記開口部の一部が前記第2のセラミックシートに塞がれた封止孔を形成する工程を含む圧電デバイスの製造方法であって、
前記封止孔は、封止材を溶融して封止される孔であり、
前記圧電デバイスの製造方法は、
前記封止孔を覆ってペースト状のタングステンをスクリーン印刷し、該タングステンを設けた側と反対側から前記封止孔を吸引し、該タングステンを焼成し、更に該タングステンの上にニッケルと金とを順次メッキすることで前記封止孔の壁面に金属膜を形成する工程を含むことを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 貫通孔を有する平板状の第1のセラミックシートにキャビティを形成する枠状の第2のセラミックシートをその内縁部の一部が前記貫通孔の開口部に平面視で重なるように積層させて、前記開口部の一部が前記第2のセラミックシートに塞がれた封止孔を形成する工程を含むベースの製造方法であって、
前記封止孔は、封止材を溶融して封止される孔であり、
前記ベースの製造方法は、
前記封止孔を覆ってペースト状のタングステンをスクリーン印刷し、該タングステンを設けた側と反対側から前記封止孔を吸引し、該タングステンを焼成し、更に該タングステンの上にニッケルと金とを順次メッキすることで前記封止孔の壁面に金属膜を形成する工程を含むことを特徴とするベースの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007043594A JP4389948B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007043594A JP4389948B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003085542A Division JP3982441B2 (ja) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | 圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007184965A JP2007184965A (ja) | 2007-07-19 |
JP4389948B2 true JP4389948B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=38340599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007043594A Expired - Fee Related JP4389948B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4389948B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4784685B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2011-10-05 | 株式会社大真空 | 圧電振動片 |
WO2011034104A1 (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | 株式会社大真空 | 圧電振動片、および圧電振動片の製造方法 |
JP5535705B2 (ja) * | 2010-03-18 | 2014-07-02 | 日本電波工業株式会社 | 表面実装用の水晶デバイス |
-
2007
- 2007-02-23 JP JP2007043594A patent/JP4389948B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007184965A (ja) | 2007-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4773175B2 (ja) | 表面実装用の水晶発振器 | |
JP2013058864A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2012175499A5 (ja) | ||
JP2012175499A (ja) | 圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 | |
JP2006332727A (ja) | 圧電デバイス | |
JP4389948B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 | |
JP4389925B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 | |
JP2007060593A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2013106054A (ja) | 圧電デバイス | |
JP4341268B2 (ja) | 圧電デバイス用パッケージと圧電デバイスならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置と圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP2010103802A (ja) | 電子装置 | |
JP5098668B2 (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP3982441B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP4844659B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP3945417B2 (ja) | 圧電デバイスのパッケージ構造及び圧電デバイスの製造方法 | |
JP3843716B2 (ja) | Atカット圧電振動子のパッケージ構造、及びその周波数調整方法 | |
JP2003008388A (ja) | 表面実装用の水晶振動子 | |
JP2004096721A (ja) | 圧電振動子用パッケージ並びに圧電振動子および圧電デバイス | |
JP2007073652A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP6604071B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP3870912B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP7425632B2 (ja) | 圧電振動子容器、及び圧電振動子 | |
JP2010258947A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2010124494A (ja) | 圧電発振器、電子機器および圧電発振器の製造方法 | |
JP2005244500A (ja) | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイス用パッケージおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090609 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090915 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090928 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131016 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |