JP2007184965A - 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007184965A JP2007184965A JP2007043594A JP2007043594A JP2007184965A JP 2007184965 A JP2007184965 A JP 2007184965A JP 2007043594 A JP2007043594 A JP 2007043594A JP 2007043594 A JP2007043594 A JP 2007043594A JP 2007184965 A JP2007184965 A JP 2007184965A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing hole
- sealing
- piezoelectric
- piezoelectric device
- base sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 圧電振動子50は、パッケージ60の内部に圧電振動片52が収納してある。パッケージ60を構成しているベース部62は、底部が1枚のベースシート66からなっていて、ベースシート66とフレーム材68とを積層して箱状に形成してある。ベース部62は、真空封止用の封止孔74が底部に設けてある。封止孔74は、フレーム材68の内縁部と対応した位置に形成してあって、開口部の一部がフレーム材68によって塞がれている。フレーム材68の封止孔74の開口部を塞いでいる部分は、封止用金属ボール82の受部の役割をなし、封止孔74内に配置された金属ボール82が、キャビティ70内に落下するのを防止している。
【選択図】 図1
Description
また、本発明は、真空封止の際の生ずる周波数変動をなくすことを目的としている。
図1は、本発明の第1実施形態に係る圧電デバイスである圧電振動子の説明図であって、(1)はリッドを除いた平面図、(2)は(1)のA−A線に沿った断面図、(3)は底面図である。
Claims (6)
- 圧電振動片を収容したパッケージの底部に設けられた封止孔を、金属ボールを溶融して封止した圧電デバイスであって、
前記パッケージは、ベース部が底部を形成する平板状のベースシートと、前記ベースシートに積層されて前記圧電振動片の収容空間を形成するフレーム材とからなり、
前記封止孔は、前記フレーム材の内縁部と対応した位置において前記ベースシートを貫通して形成され、開口部の一部が前記フレーム材によって塞がれている、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1に記載の圧電デバイスにおいて、
前記ベースシートは、前記圧電振動片を固着するマウント部が一側に形成され、前記封止孔が他側に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1または2に記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、前記フレーム材の隅部と対応した位置に形成してあることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項3に記載の圧電デバイスにおいて、
前記封止孔は、前記ベースシートの外面に形成されたグランド用の外部電極と対応した位置に形成されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記ベースシートは、外面の四隅部のそれぞれに基板実装用の外部電極が設けられ、
前記圧電振動片は、隣接する一対の前記外部電極に電気的に接続され、
前記封止孔は、他の一対の前記外部電極側に設けてある、
ことを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電デバイスにおいて、
前記フレーム材の前記封止孔の一部を塞いでいる部分と前記封止孔の壁面とには、金属膜が設けてあることを特徴とする圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007043594A JP4389948B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007043594A JP4389948B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003085542A Division JP3982441B2 (ja) | 2003-03-26 | 2003-03-26 | 圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007184965A true JP2007184965A (ja) | 2007-07-19 |
JP4389948B2 JP4389948B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=38340599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007043594A Expired - Fee Related JP4389948B2 (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4389948B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011034104A1 (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | 株式会社大真空 | 圧電振動片、および圧電振動片の製造方法 |
JP2011066776A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Daishinku Corp | 圧電振動片、および圧電振動片の製造方法 |
JP2011199487A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶デバイス |
-
2007
- 2007-02-23 JP JP2007043594A patent/JP4389948B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011034104A1 (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-24 | 株式会社大真空 | 圧電振動片、および圧電振動片の製造方法 |
JP2011066776A (ja) * | 2009-09-18 | 2011-03-31 | Daishinku Corp | 圧電振動片、および圧電振動片の製造方法 |
CN102498666A (zh) * | 2009-09-18 | 2012-06-13 | 株式会社大真空 | 压电振动片以及压电振动片的制造方法 |
US8618722B2 (en) | 2009-09-18 | 2013-12-31 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator plate and manufacturing method for piezoelectric resonator plate |
JP2011199487A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4389948B2 (ja) | 2009-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4033100B2 (ja) | 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP2011124735A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2013058864A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2012175499A5 (ja) | ||
JP2006332727A (ja) | 圧電デバイス | |
JP4389948B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 | |
JP2007060593A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2010103802A (ja) | 電子装置 | |
JP4389925B2 (ja) | 圧電デバイスの製造方法およびベースの製造方法 | |
JP5098668B2 (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP2004289238A (ja) | 圧電デバイス用パッケージと圧電デバイスおよびこれらの製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
JP3982441B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP4844659B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP2004266239A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2006054602A (ja) | 電子部品用パッケージ及び当該電子部品用パッケージを用いた圧電振動デバイス | |
JP3945417B2 (ja) | 圧電デバイスのパッケージ構造及び圧電デバイスの製造方法 | |
JP3843716B2 (ja) | Atカット圧電振動子のパッケージ構造、及びその周波数調整方法 | |
JP2010109881A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2007073652A (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2004096721A (ja) | 圧電振動子用パッケージ並びに圧電振動子および圧電デバイス | |
JP2003008388A (ja) | 表面実装用の水晶振動子 | |
JP6604071B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP3870912B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP2010258947A (ja) | 圧電デバイス | |
JP7425632B2 (ja) | 圧電振動子容器、及び圧電振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20080331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090609 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090915 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090928 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131016 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |