JP4388614B2 - 媒質の粘度と密度を測定するためのセンサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、請求項1の種類によるセンサ、特に媒質の粘度と密度を測定するためのセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
イナバ他の論文から液体の粘度と密度を測定するためのセンサは既に公知である(Inaba et al,Sensors and Aktuators A,33(1992),163〜166頁)。屈曲舌片が媒質内へ漬け込まれ、かつレーザダイオードによる放射によって熱的に誘導される振動が励起される。振動周波数はここでは密度に、かつ振動の減衰は粘度によって影響される。屈曲舌片の振動の測定によって液体の密度と粘度が測定され得る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は特に簡単で故障のない構造を持つセンサを提供することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記の課題は請求項1の特徴によって解決される。
【0005】
【発明の効果】
本発明によるセンサは、特に簡単で、故障のない構造が使用されるという利点を持つ。特にこのようなセンサは特に小形に構成され、したがってきわめて少量の液体または気体の検査にも適する。
【0006】
請求項2から9に記載された手段によって請求項1によるセンサの有利な発展形と改良が可能である。窒化珪素、酸化珪素、金属またはこれらの混合物質の使用によってたいていの化学的媒質に対して安定な屈曲舌片が製作される。したがってこのようなセンサは多数の測定媒質に使用することができる。さらにこれらの物質は少数の、かつ良好に制御される標準工程で処理することができ、そのためコスト上有利な大きなバッチでの製作が可能である。さらにこのような屈曲舌片は特に小形に製作することができる。珪素基板の反対側に振動発生器を配置したことによって測定媒質が化学的にきわめて安定な物質とだけ接触することが達成された。したがって化学的にそれほど安定ではない振動発生器も使用することができる。屈曲舌片の振動は単結晶圧電抵抗素子によって特に簡単に検出される。このような素子はたいていの化学的媒質に対して安定である。あるいは屈曲舌片の上面に圧電抵抗薄膜を使用してもよい。さらに基板上の温度センサによって付加的に測定媒質の温度を測定することができる。これはまた測定媒質の密度および粘度の算出時に考慮することができる。信号処理回路が直接珪素基板上へ集積されると有利である、それというのも特に良好な信号処理が得られるからである。寄生量の影響が低減され、評価エレクトロニクスはきわめて所要スペース節約的に、しかし一般にコスト上有利に製作することができる。適切な帰還結合によって零交差において最大振幅の振動ならびに最大速度を得ることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
図1には本発明によるセンサの横断面図が示されている。センサは珪素基板10を有し、その上面には屈曲舌片1が配置されている。屈曲舌片1の下方には珪素基板10内にエッチングみぞ2が形成されており、そのため屈曲舌片1は珪素基板10の表面に対して垂直の方向に自由に振動することができる。珪素基板の他に別の基板を使用することもでき、その中に適切な凹所が形成される。屈曲舌片1が載置した基板10上の領域内には屈曲舌片1の下方に圧電抵抗の抵抗素子3が配置されている。この圧電抵抗の抵抗素子3は適切にドーピングされた珪素であり、これは機械的な応力に基づいて電気的な抵抗を変化させる(ピエゾ抵抗効果)。圧電抵抗の抵抗素子3はやはり珪素基板10内へ分散された導体路4によって金属のコンタクト部材5と結合されている。屈曲舌片1は珪素基板10の上面に設けられた窒化珪素層15から製作されている。珪素基板10は下面にエッチングストップ層11を有し、これはエッチングみぞの底部をも成す。エッチングストップ層11は例えば酸化珪素、窒化珪素、高ドーピング珪素または他の、エッチングみぞ2のエッチングに際して特に良好にエッチングストップ層として使用することができる物質から製作される。エッチングストップ層11の下にはさらに音響結合層(Koppelschicht)12が設けられており、結合層はガラス(例えばパイレックスガラス)またはプラスティック層、例えばPMMAから製作することができる。次いで結合層12の上には圧電発振器13が上面と下面に各1つの金属被覆14を有して配置されている。このような圧電発振器には例えば酸化亜鉛または鉛−ジルコネート−チタネート製の薄膜変換器またはPVDF(ポリビニリデンフルオリド)またはピエゾセラミック物質製の集積変換器が適する。屈曲舌片1は典型的には厚さ数マイクロメータ(0.5〜数10マイクロメータ)および長さ50マイクロメータ〜2000マイクロメータを持つ。屈曲舌片の典型的な幅は数10〜数1000マイクロメータのオーダー内である。エッチングストップ層11については通常マイクロメータを下回る膜厚が使用される。結合層12については10から200マイクロメータの膜厚が好適である。
【0008】
図1のセンサは媒質の密度と粘度を測定するためのものである。そのためには珪素基板1の上面、したがって屈曲舌片1も測定すべき媒質で負荷され、その結果屈曲舌片1が完全に媒質によって包囲される。圧電発振器13の電気的励起によって圧電発振器13は振動せしめられる。これらの振動は機械的な結合によって屈曲舌片1へ伝えられる。これは固体振動によってもまた媒質自体を介しても行われる。圧電発振器13の励起の適切な選択によって屈曲舌片1は振動を励起せしめられる。圧電発振器13の適切な励起は例えば圧電発振器13の連続高周波数振動パルスであってよく、その連続周波数は屈曲舌片1の固有周波数に近い。あるいは個別のパルスを使用するかまたは圧電発振器13を屈曲舌片1の固有周波数に相当する周波数で励起することが可能である。これによって屈曲舌片1がこれを包囲した媒質内で振動することが達成される。屈曲舌片1のこの振動は圧電抵抗の抵抗素子3によって測定することができる、なぜならば関係性をもって屈曲舌片1の変位に相当する機械的な応力状態が圧電抵抗の抵抗素子3内で発生されるからである。これはしたがって抵抗素子3の抵抗変化を導き、かつ導体路(リード線)4を用いてコンタクト部材5の所で測定され得る。
【0009】
媒質中の屈曲舌片の振動の評価によって密度と粘度を測定することができる。第1の方法は速度共振であり、すなわち屈曲舌片が帰還結合ループを介して速度が反転点(Umkehrpunkt)で最大にされる周波数で作動される。この周波数は良好に近似的に(in guter Naeherung)媒質の密度にのみ依存する;この場合共振曲線の幅が粘度を与える。しかしこの方法は一定の前提下でのみ使用することができる。屈曲舌片の振動によって波が媒質内に形成され、その波長は屈曲舌片の周波数および媒質中の伝搬速度から得られる。波長は屈曲舌片のジオメトリー寸法よりも明らかに大きくなければならない;大きければ大きいほど粘度の速度共振周波数への残存影響は小さくなる。この前提は普通きわめて小さな屈曲舌片によって満たされる。もう1つのもしくは付加的な方法は振幅共振を提供し、この振幅共振では帰還結合によって振動の振幅が最大にされる。振幅共振周波数は密度と粘度に依存し、共振曲線の幅は粘度に依存する。密度を用いての(速度共振周波数からの)または粘度を用いて(振幅共振曲線の幅からの)の振幅共振周波数の測定値の差形成によってそれぞれ他方の測定値を求めることができる。もう1つの方法は、パルス形式の励起後の屈曲舌片の自由振動の観測であり、この方法では最小自乗フィット(least-squar-fit)によって粘度と密度が算出され得る。
【0010】
図2にはやはり図1によるセンサが平面図で示されており、図示を簡単にするためにコンタクト部材5と導体路4は示されない。この平面図において、屈曲舌片1と屈曲舌片1を包囲したエッチングみぞ2が認められる。図2の平面図にはさらに2つの圧電抵抗の抵抗素子3が示されており、抵抗素子は屈曲舌片1の基部の領域内に配置されている。このような多数の圧電抵抗の抵抗素子3は有利に接続してハーフブリッジまたはフルブリッジにすることができ、これによって信号の評価が簡単にされる。さらに白金抵抗素子16が示されており、白金抵抗素子はニトリド層15の上面に配置されている。このような白金抵抗素子は媒質の温度の測定に使用することができる、それというのも媒質(液体でも気体でも)の粘度も密度も温度に依存するからである。したがってこのような温度測定は密度および粘度への温度の影響を算出するのに利用することができる。さらに屈曲舌片の機械的定数の温度依存性が共振周波数に関して考慮される。これに必要な切換え回路は珪素基板10自体内にも配置することができる。このような切換え回路は図2にブロック17によって例示されている。複数の圧電抵抗の抵抗素子3の使用と共に異なる寸法を持つ複数の屈曲舌片1を設けることもできる。屈曲舌片はしたがって異なる振動周波数で励起することができ、このため特に粘度の測定ではきわめて大きな測定範囲がカバーされ得る。
【0011】
専ら窒化珪素から製作された1つの屈曲舌片1の使用は特に有利である、それというのもこれが化学的に特に安定な物質であるからである。唯一の物質からの屈曲舌片1の形成によって屈曲舌片1の熱的な歪みが回避される。あるいは屈曲舌片1は酸化珪素または金属または酸化珪素と窒化珪素の混合物質から製作されていてもよい。
【0012】
本発明による振動系はきわめて小形であり、したがって特に少量の液体または気体にも使用することができる。製作には専ら公知の半導体製造の方法が使用され、したがってセンサはコスト上有利に大きなバッチでに製造することができる。特に評価回路も集積したままにすることができるからである。さらに本発明によるセンサによって媒質の密度と粘度を同時に測定することができる。圧電発振器13は媒質から完全に分離され、そのため測定される媒質によって腐食される物質も使用することができる。測定媒質と直接接触する材料は化学的にきわめて安定である。屈曲舌片1に関して1物質のみの使用により熱的な歪みは生じないに等しい。また屈曲舌片1はきわめて軽量なので、例えば自動車のような機械的に問題のある周囲内で生じるような加速力は屈曲舌片1の振動に僅かな影響しか与えない。使用される圧電抵抗の抵抗素子3はきわめて小形で、したがってそれ自体の屈曲舌片1に対する効果は無視し得る。
【0013】
図3には本発明によるセンサのもう1つの実施例が横断面図で示されている。この例でも珪素基板10上には窒化珪素層15が形成され、これから屈曲舌片1が作り出されている。屈曲舌片1の下方にはエッチングみぞ2が配置されているが、これは図1によるエッチングみぞ2に比べるとより浅く珪素基板10内に延びている。屈曲舌片1の基部領域内には同様に圧電抵抗の抵抗素子3が配置されているが、抵抗素子は屈曲舌片1の上面に置かれている。これは特に相応する分離−ストラクチュアリング工程で窒化珪素層15上に形成された多結晶珪素製の圧電抵抗の抵抗素子である。この例では圧電抵抗の抵抗素子3は直接コンタクト5を備え、コンタクトは例えば金属層によって形成されている。圧電抵抗素子3の表面はさらに図示されない、薄膜の、酸化珪素または窒化珪素から成る不活性化層を備え、これはコンタクトのためのコンタクト開口を提供し、かつ圧電素子を腐食性の媒質から保護する。ここではコンタクト5はリード線並びに外部の接続線材の接続の可能性を成す。同様に複数の素子を接続してブリッジを形成することもできる。珪素基板10の下面には同様に金属被覆14を持つ圧電発振器13が配置されている。エッチングみぞ2の下方に比較的熱い珪素基板10が残っているためにこの例では圧電発振器13の振動エネルギーは主に珪素基板10による固体振動によって伝達される。測定媒質によって伝達される部分は小さい。これは別の形状の励起で、ここでは測定媒質自体は圧電発振器13と屈曲舌片1との間のエネルギー伝達に必要とされない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による第1の実施例の横断面図である。
【図2】図1による実施例の平面図である。
【図3】本発明による第2の実施例の横断面図である。
【符号の説明】
1 屈曲舌片、 2 エッチングみぞ、 3 抵抗素子、 10 基板、 12 結合層、 13 信号発生器
Claims (9)
- 媒質の粘度と密度を測定するためのセンサであって、測定媒質内で振動開始可能である屈曲舌片(1)を備えており、屈曲舌片(1)の振動の評価によって測定媒質の検査が行われる形式のものにおいて、
振動発生器(13)が設けられており、振動発生器が屈曲舌片(1)に機械的に結合するように配置されており、
圧電抵抗素子(3)が前記屈曲舌片(1)の上面または下面に形成されており、該圧電抵抗素子(3)によって該屈曲舌片(1)の振動が測定され、
屈曲舌片(1)が基板の(10)の第1の側で凹所(2)の上方に、かつ振動発生器(13)が基板(10)の第2の側に配置されていることを特徴とする、媒質の粘度と密度を測定するためのセンサ。 - 屈曲舌片(1)が窒化珪素、酸化珪素、金属または窒化珪素、酸化珪素および金属の混合物質から形成されている、請求項1記載のセンサ。
- 圧電抵抗素子によって屈曲舌片(1)の変位が測定可能である、請求項1または2記載のセンサ。
- 圧電抵抗素子が薄膜素子として屈曲舌片の上面に形成されている、請求項3記載のセンサ。
- 圧電抵抗素子が単結晶珪素から成る屈曲舌片の下面に形成されている、請求項3記載のセンサ。
- 測定媒質の温度を測定するために温度測定部材(16)が設けられている、請求項1から5までのいずれか1項記載のセンサ。
- 基板(10)が集積された信号処理回路(17)を備える珪素基板として構成されている、請求項1から6までのいずれか1項記載のセンサ。
- 屈曲舌片を速度共振周波数または振幅共振周波数を持つ振動に励起可能である別の手段が設けられている、請求項1から7までのいずれか1項記載のセンサ。
- 異なる寸法を有する複数の前記屈曲舌片(1)が使用される、請求項1から8までのいずれか1項記載のセンサ。
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