JP4384443B2 - 電子部品装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品素子をハンダにてフリップチップ実装及び封止を行った電子部品装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、電子部品装置の小型化の要求に伴い、電子部品素子の入出力電極にバンプを形成し、ベース基板の接続電極とフェイスダウンにて接合・実装するフリップチップ実装を行った電子部品装置が知られている。
【0003】
図5に、このような電子部品素子をハンダにてフリップチップ実装及び封止を行った電子部品装置として弾性表面波装置100の断面図を示す。
【0004】
電子部品素子である弾性表面波装置100は、弾性表面波素子101の一方主面とベース基板102の表面との間に所定間隔を形成するようにハンダバンプ部材103にて、弾性表面波素子101の接続電極104とベース基板102の素子接続用電極105とが接続されている。また、弾性表面波素子101の外周には外周封止電極106が形成され、この部分とベース基板102の外周封止導体膜107とがハンダ接合部材108によって接合され、弾性表面波素子101の一方主面とベース基板102の表面との間の空隙が気密封止されている。この結果、弾性表面波素子101の一方主面に形成されたIDT電極は、水分の侵入等による変質を防ぐことができ、安定した信頼性性能を確保できる。
【0005】
このように、ベース基板102と接続・封止を行った弾性表面波素子101の他方主面側から、エポキシ樹脂ペースト等を塗布、硬化処理することで外装樹脂層109を形成している。
【0006】
【特許文献1】
特願2002−222582号
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来の弾性表面波装置100においては、マザーボードへの実装時において、ハンダリフロー等の熱が弾性表面波装置100の内部にも加わるため、弾性表面波素子101の外周封止電極106と、ベース基板102の外周封止導体膜107とを接合しているハンダ接合部材108にも熱が加わる。その結果、ハンダ接合部材108は、熱によって膨張するとともに再溶融時に大きく体積が膨張する。ハンダ接合部材108の外周面及び弾性表面波素子101の側面及び他方主面は、外装樹脂層109によって覆われており、強固に固定されているため、再溶融し体積が膨張したハンダ接合部材108は弾性表面波素子101とベース基板102との間の空隙を、内部方向に向かって流れ出すこととなり、その結果、ハンダバンプ部材103や接続電極104、あるいは素子接続電極105などと短絡する問題が発生していた。
【0008】
この場合、再溶融したハンダの流れだしを防ぐために、ハンダ接合部材108とハンダバンプ部材103や接続電極104、あるいは素子接続電極105などとの間隔を十分とれば短絡は防止できるが、その結果、弾性表面波素子101やベース基板102の寸法の大型化を招き、製品の小型化対応には逆行する設計となってしまうため、効果的な問題解決が望まれていた。
【0009】
本発明は上述の課題に鑑みて案出されたものであり、その目的は、マザーボードに実装する際、内部のハンダの再溶融による短絡を防止する電子部品装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために本発明の電子部品装置は、一方主面に接続電極及び外周封止電極が形成された電子部品素子と、
ハンダバンプ部材を介して前記接続電極と接続する素子接続用電極、ハンダ接合部材を介して前記外周封止電極と接合する外周封止導体膜及び外部端子電極が夫々形成されたベース基板とを、前記ベース基板と前記電子部品素子との間に所定間隔が形成されるようにして接続するとともに、
前記電子部品素子の側面及び前記ハンダ接合部材の外周面に側面外装部材を、前記電子部品素子の他方主面に上面外装部材を配して成る電子部品装置において、前記側面外装部材は、温度25℃における弾性率が3.5GPa〜6GPaであり、且つ温度230℃における弾性率が0.2GPa〜0.8GPaであることを特徴とする電子部品装置である。
【0013】
【作用】
本発明によれば、ベース基板と電子部品素子の一方主面との間に所定間隔を形成するようにして、ベース基板に電子部品素子が接続されるとともに、電子部品素子の側面及びハンダ接合部材外周面には側面外装部材が、電子部品素子の他方主面には上面外装部材が被覆されている。そして、この側面外装部材は温度25℃における弾性率が3.5GPa〜6GPaであり、且つ温度230℃における弾性率が0.2GPa〜0.8GPaである。即ち、電子部品装置をマザーボードに実装する際、ハンダリフロー等の熱でハンダバンプ部材及びハンダ接合部材が溶融し体積膨張が生じたとき、その体積膨張による応力によって、電子部品素子を上方に持ち上げる力が働く。このとき、側面外装部材にも同時に伸びが生じて、ベース基板の表面と電子部品素子の一方主面との間の間隔の変化に追従する。従って、従来のようにハンダバンプ部材及びハンダ接合部材が再溶融したハンダが、電子部品素子とベース基板との空隙の内部方向に向かって流れ出し、短絡を発生させるおそれはない。
【0014】
また本発明によれば、側面外装部材は熱可逆性樹脂であるため電子部品装置のマザーボードへの実装が終了し、電子部品装置の温度が常温に戻った時点で元の状態に復帰するため、元来の信頼性性能を損なうこともない。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の電子部品装置を図面に基づいて詳説する。なお、説明にあたっては電子部品素子として弾性表面波素子を用いた電子部品装置の1つである弾性表面波装置を例にとって説明を行う。
【0016】
図1は本発明の弾性表面波装置1の断面図であり、図2は弾性表面波装置1に用いるベース基板3の平面図である。
【0017】
弾性表面波装置(電子部品装置)1は、弾性表面波素子(電子部品素子)2、ベース基板3、ハンダバンプ部材4、ハンダ接合部材5、外装部材6より構成されている。
【0018】
弾性表面波素子2は弾性表面波共振子、弾性表面波フィルタなどが例示でき、水晶やニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウムなどの圧電基板20の一方主面上に図示しないインターデジタルトランスデューサー電極(本発明では櫛歯状電極及び反射器電極を含み、以下単にIDT電極という)が形成され、さらに、このIDT電極と接続する接続電極8が形成されている。また、この圧電基板20の外周には全周にわたって、IDT電極や接続電極8を取り囲むように環状の外周封止電極9が形成されている。これらの各電極は、例えばAl、Cuなどをフォトリソグラフィ技術により形成され、また、必要に応じてその表面にCr、Ni、Auなどの層が形成される。
【0019】
ベース基板3は、図1、図2に示すように、例えば、ガラスーセラミック材料などの多層基板から成り、表面には、弾性表面波素子2の接続電極8と対向する素子接続用電極10、及び外周封止電極9と対向する環状の外周封止導体膜11が形成されている。また、ベース基板3の底面には、外部端子電極12が形成されており、素子接続電極10と外部端子電極12とはビアホール導体13を含む内部配線パターンにて接続されている。
【0020】
ここで上述の弾性表面波素子2は、接続電極8とベース基板3の素子接続用電極10とをハンダバンプ部材4によって、弾性表面波素子2の一方主面とベース基板3の表面との間に所定の空隙を形成すると同時に電気的接続を行う。また、外周封止電極9と外周導体膜11とをハンダ接合部材5によって接合することで、弾性表面波素子2の一方主面とベース基板3の表面との間の空隙を封止し、空隙内部を気密に保つことができ、湿気の侵入などによるIDT電極の劣化を防止する。
【0021】
上述の弾性表面波素子2とベース基板3との接続・接合にあたっては、まず、ベース基板2に、それぞれハンダバンプ部材4とハンダ接合部材5を形成する。このハンダバンプ部材4とハンダ接合部材5は、それぞれ素子接続用電極10の表面及び外周封止導体膜11の表面にペースト状のハンダを塗布して形成するが、バンプ状の形状とするため、塗布したハンダに一次加熱処理及び洗浄処理を行う。これによって、塗布されたハンダは、素子接続用電極10及び外周封止導体膜11上で断面半円形状となり、さらに、不要なフラックス成分を除去することができる。そして、上述のバンプ状のハンダが形成されたベース基板3に弾性表面波素子2を載置し、リフロー処理を行うことによりハンダバンプ部材4によって電気的な接続を施し、ハンダ接合部材5によって機械的な接合を行うとともに気密的な封止を行う。これにより、ハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5の高さに相当する空隙が、弾性表面波素子2の一方主面とベース基板3の表面との間にでき、かつ、気密封止されるため、弾性表面波素子2の主面において安定した弾性表面波を振動させることができる。
【0022】
そして、上述の、ベース基板3に電気的な接続及び機械的な接合が施された弾性表面波素子2には、他方主面側及び側面外周を覆って外装部材6が被着形成される。この外装部材6は、弾性表面波素子2の他方主面を覆う上面外装部材6aと側面を覆う側面外装部材6bとから構成される。
【0023】
ここで本発明の特徴的なことは、側面外装部材6bはハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5の溶融温度で体積膨張によるベース基板3の表面と弾性表面波素子2との間の間隔の変化に追従する弾性率を有していることである。即ち、弾性表面波装置1をマザーボードに実装する際、ハンダリフロー等の熱でハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5が溶融し体積膨張が生じる結果、弾性表面波素子1を上方に持ち上げる力が働く。このとき、側面外装部材6bに伸びが生じるためベース基板3の表面と弾性表面波素子1の一方主面との間は広がることができる。つまり、図3(a)に示すように、マザーボードに実装する前のベース基板3の表面と弾性表面波素子2の一方主面との間隔Aは、マザーボードに実装時ハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5が溶融し体積膨張が生じる結果、図3(b)に示す間隔Bとなる。このとき間隔A<間隔Bの関係となり、ベース基板3の表面と弾性表面波素子2の一方主面との間隔が広がることにより、ハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5の体積膨張(特に上下方向の動き)は妨げられることがない。よって、従来のように溶融したハンダが弾性表面波素子2とベース基板3との空隙を内部方向に向かって流れ出し短絡を発生させる恐れはない。
【0024】
また、側面外装部材6bは、熱可逆性を有する例えば、エポキシ系樹脂成分であり、例えば、エポキシ樹脂成分に、無機フィラー、硬化剤成分とともにシリコーン樹脂弾性体成分を含有されている。そして、このシリコーン樹脂弾性成分を制御することにより弾性率の制御が可能となる。その弾性率は温度25℃において3.5GPa〜6GPaであり、かつ、温度230℃において0.2GPa〜0.8GPaである。このような樹脂であれば、常温時、例えば25℃において、外部衝撃から弾性表面波素子2を保護するのに必要な強度を有するとともに、樹脂の硬化時の収縮による反りも抑えることができる。加えて、ハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5が溶融する温度、例えば230℃において、弾性率が低下するため、ハンダバンプ部材4及びハンダ接合部材5の溶融時の体積膨張に追従して変形し、ベース基板3の表面と弾性表面波素子2の一方主面との間の間隔が変化することができる。よって、ハンダの流れ出しによる短絡不良もなく、弾性表面波素子2との密着強度も確保できる。
【0025】
この側面外装部材6bにおいて、弾性率の異なる10種類の樹脂を用いて評価を行った。この樹脂の25℃における弾性率は1.5GPa〜8GPaの間で異なっているものである。この10種類の樹脂で側面外装部材6bを形成した弾性表面波装置1をそれぞれ作成した。同時に、反りの評価用として樹脂のみで30mm角の基板もそれぞれ作成した。樹脂の硬化条件は、ともに100℃で1時間、及び150℃で3時間の加熱を行った。次に、これら作成した弾性表面波装置1を1mの高さからコンクリート床上に自然落下させ、樹脂に割れや欠けの発生の有無を調べる落下試験と、30mm角の基板の反りの量を測定した。これらの樹脂の25℃における弾性率と落下試験の不良数及び基板反りの評価結果を表1に示す。
【0026】
【表1】
【0027】
樹脂の弾性率が小さいと、強度が劣化するため落下試験において割れや欠けの不良が発生する。弾性率が大きくなると、樹脂が硬化する際の収縮も大きく反りが発生し、弾性表面波装置としての電気特性に悪影響を及ぼす。従って、落下試験において不良の発生がなく、弾性表面波装置としての電気特性に悪影響を与えない反り量0.1mm以下の試料を合格と判定すると、試料番号4、5、6,7が合格となり、即ち、25℃における弾性率が3.5GPa〜6GPaの樹脂を選定すれば良い。
【0028】
次に、同じ10種類の樹脂で側面外装部材6bを形成した弾性表面波装置1と密着強度評価用として1.8mm角の弾性表面波素子2に樹脂層を形成した試料を用いて、ハンダリフロー処理を行いハンダ流れ出しによる短絡不良の発生数を調べるとともに、ダイシェア強度計にて樹脂の密着強度を測定した。このとき230℃における弾性率は0.1GPa〜1.3GPaの間で異なっており、また、表1に示す試料番号と表2に示す試料番号は同一のものである。これらの樹脂の230℃における弾性率と短絡不良の発生数及び密着強度の評価結果を表1に示す。
【0029】
【表2】
【0030】
230℃での弾性率が小さいと、溶融したハンダの体積膨張を十分吸収できる為、ハンダ流れによる短絡不良は発生しない。しかし、弾性率が小さくなりすぎると、弾性表面波素子2との密着強度が低下する。従って、短絡不良の発生がなく、密着強度が十分とされるダイシェア強度40N以上の試料を合格と判定すると、試料番号3,4、5,6が合格となり、即ち、230℃における弾性率が0.2GPa〜0.8GPaである樹脂を選定すれば良い。
【0031】
従って表1での判定と表2での判定を総合すると、25℃での弾性率が3.5GPa〜6GPa、かつ230℃での弾性率が0.2GPa〜0.8GPaである樹脂が使用可能で、両者を満足する樹脂として試料番号4,5、6の樹脂が使用できる。
【0032】
尚、上述の実施例では、電子部品素子として弾性表面波素子を用いた弾性表面波装置の例を示したが、電子部品素子の種類を問わず、電子部品素子をハンダバンプ及びハンダ接合部材を用いてベース基板に接続し、且つ側面を外装部材で被覆した電子部品装置に対して本発明が広く適用できることは言うまでもない。
【0033】
例えば、図4は、弾性表面波素子に代えて圧電共振素子を利用した圧電装置に本発明を適用した例を模式的に示す断面図である。
【0034】
同図において、圧電装置700は、圧電素子7、ベース基板3、ハンダバンプ部材4、ハンダ接合部材5、外装部材6より構成されており、圧電素子7以外の構成は図1に示した弾性表面波装置1と全く同じである。
【0035】
圧電素子7は、圧電共振子や、複数の圧電共振子を組み合わせたフィルタやデュプレクサなどが例示でき、例えば、シリコンからなる基体70の一方主面上に、間に窒化アルミニウムからなる圧電体層71が介在されている一対の振動電極72、この振動電極72とそれぞれ接続される接続電極8が形成されている。さらに、基体70の一方主面の外周には、圧電素子7とベース基板3との間に形成される間隙を気密封止する為の環状の外周封止電極9が形成されている。尚、振動電極72の振動領域上には空隙73が形成されており、振動の減衰が防止されている。
【0036】
また、振動電極72はモリブデン、タングステン、アルミニウムなどからなる表面層が、接続電極8と外周封止電極9は必要に応じてクロム層、ニッケル層、金層などからなる表面層がそれぞれ形成され、ハンダとの接続性を良好なものとしている。
【0037】
上述のような構成とすることにより、圧電素子7は、圧電体層71の厚み方向の振動を利用した共振器もしくはその共振器を複数個組み合わせたフィルタやデュプレクサなどとして動作し、このような圧電装置においても小型で信頼性の高い圧電装置を構成することができる。
【0038】
【発明の効果】
本発明の電子部品装置によれば、電子部品素子の側面及びハンダ接合部材外周面に被着された側面外装部材が、ハンダバンプ部材及びハンダ接合部材の溶融時の体積膨張によるベース基板の表面と電子部品素子の一方主面との間の間隔の変化に追従する弾性率を有している。従って、電子部品装置をマザーボードに実装する際、ハンダリフロー等の熱でハンダバンプ部材及びハンダ接合部材が溶融し体積膨張が生じたとき、その体積膨張は妨げられることがないため、溶融したハンダの流れ出しがなく短絡を発生させる恐れがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品装置の断面図である。
【図2】本発明の電子部品装置に用いるベース基板の平面図である。
【図3】本発明の電子部品装置の断面図であり、(a)はハンダバンプ部材及びハンダ接合部材の固化時の断面図であり、(b)はハンダバンプ部材及びハンダ接合部材の溶融時の断面図である。
【図4】本発明を適用した圧電装置の構造を模式的に示す断面図である。
【図5】従来の電子部品装置の断面図である。
【符号の説明】
1・・・弾性表面波装置
2・・・弾性表面波素子
3・・・ベース基板
4・・・ハンダバンプ部材
5・・・ハンダ接合部材
6・・・外装部材
6a・・・上面外装部材
6b・・・側面外装部材
7・・・圧電素子
8・・・接続電極
9・・・外周封止電極
10・・・素子接続用電極
11・・・外周封止導体膜
Claims (1)
- 一方主面に接続電極及び外周封止電極が形成された電子部品素子と、
ハンダバンプ部材を介して前記接続電極と接続する素子接続用電極、ハンダ接合部材を介して前記外周封止電極と接合する外周封止導体膜及び外部端子電極が夫々形成されたベース基板とを、前記ベース基板と前記電子部品素子との間に所定間隔が形成されるようにして接合するとともに、
前記電子部品素子の側面及び前記ハンダ接合部材の外周面に側面外装部材を、前記電子部品素子の他方主面に上面外装部材を配して成る電子部品装置において、
前記側面外装部材は、温度25℃における弾性率が3.5GPa〜6GPaであり、且つ温度230℃における弾性率が0.2GPa〜0.8GPaであることを特徴とする電子部品装置。
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