JP4379143B2 - トランスバーサル型弾性表面波フィルタ - Google Patents
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Description
る。圧電基板2上には、第1入力変換器3と、第1入力変換器3と表面波伝搬方向に隔てられた第1出力変換器4とが形成されており、第1入力変換器3及び第1出力変換器4により第1チャネルが構成されている。また、圧電基板2上には、第1のチャネルの側方において、第2のチャネルが構成されている。第2のチャネルは、第2入力変換器5と、第2入力変換器5と表面波伝搬方向に隔てられて設けられた第2出力変換器6とを有する。
上に、Alを主成分とした金属薄膜を形成した後パターニングすることにより、上述した電極構造を形成した。さらにその上からSiO2薄膜を720nmの厚みで形成した。
2…圧電基板
3…第1入力変換器
4…第1出力変換器
5…第2入力変換器
6…第2出力変換器
7…シールド電極
8,9…ダンピング材
11〜17,21〜24…電極指
Claims (3)
- 圧電基板と、
圧電基板上に形成された第1,第2のチャネルとを備え、
前記第1チャネルが、第1の入力変換器と第1の出力変換器とを有し、第1の入力変換器及び第1の出力変換器により第1の伝達関数を有するように重み付けされており、前記第2のチャネルが、第2の入力変換器と第2の出力変換器とを有し、第2の入力変換器及び第2の出力変換器により第2の伝達関数を有するように重み付けされており、
第1,第2の入力変換器が電気的に接続されており、第1,第2の出力変換器が電気的に接続されているトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、
前記入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方がSPUDTからなり、入力変換器の電極指のうち最も出力変換器側の電極指の中心と、出力変換器の電極指のうち最も入力変換器側の電極指の中心との距離が、表面波の波長をλとしたときに、第1のチャネルと第2のチャネルとにおいて0.02λ〜0.03λ異なっていることを特徴とする、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ。 - 前記第1及び第2のチャネルの少なくとも一方において、入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方が、単位波長区間に3本あるいは4本の電極指を有する一方向性電極で構成されている、請求項1に記載のトランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
- 前記複数種の電極指幅の電極指を有する入力及び/または出力変換器において、電極指幅が表面波伝搬方向に沿って異なる部分における電極指ピッチが、電極指幅が表面波伝搬方向において変わらない部分の電極指ピッチに対して異ならされている、請求項2に記載のトランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
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