JP4377469B2

JP4377469B2 - Low dew point working device with air curtain and low dew point working equipment with air curtain

Info

Publication number: JP4377469B2
Application number: JP03144699A
Authority: JP
Inventors: 睦夫大田; 建一小田
Original assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Current assignee: Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Priority date: 1999-02-09
Filing date: 1999-02-09
Publication date: 2009-12-02
Anticipated expiration: 2019-02-09
Also published as: JP2000230735A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばリチウムイオン電池や薬品等の製造プロセスに利用する低露点室内に配置して有効なエアーカーテン付き低露点作業装置に関し、特に作業室内で取り扱う有害な揮発性物質等が作業室の開口部から低露点室内に漏れ出さないようにエアーカーテンによって遮蔽しつつ、作業室の内部視界を向上させるための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
内部の作業空間で、有機溶剤等の人体に有害な揮発性物質を使用し、かつ、低露点雰囲気を要する作業を行う目的に利用される作業装置（以下低露点作業台と称する）がある。
【０００３】
この低露点作業台は、内部の作業空間で有害な揮発性物質を取り扱うという前者の理由から、作業台内部は外部に比べて負圧に保つ必要がある。このため、作業台正面に位置する作業員からの湿分を内部に導いてしまい、作業空間を低露点雰囲気に保つという後者の目的の障害になる。
【０００４】
作業空間を低露点雰囲気に保つことができる低露点室は、一般にドライルーム（登録商標）と呼ばれ、製品の品質と歩留まりの向上を目的として、作業者が在室し製造プロセスを極低湿度に維持した部屋であり、リチウムイオン電池、ポリマー電池、薬品等の製造プロセスにおいて多く利用されている。
【０００５】
クリーンルーム等では、発熱負荷を問題とするので、人体よりは生産装置等の配置が重要となるのに対し、低露点室では発湿負荷を問題とするので、人の作業位置が重要となる。この点、ベンチ型作業台では、開口部前面に人が居て顔面部を通過した気流が作業台内部へ侵入する構成であるが、この構成を低露点室の場合にもそのまま適用すると、上記の理由から、作業台内の最重要部へ湿分を吹き付ける最悪の結果となってしまう。
【０００６】
一つの解決策として、作業台正面を吹き出し空気流兼用の二重ガラスとし、二重ガラス下端の作業を行うための開口部をその吹き出し空気によって遮蔽する方法が過去に清浄作業台等で提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、こうした従来技術では、二重ガラス部形状の検討が十分でなく、この技術をそのまま採用するには以下のような問題点があった。
【０００８】
例えば、特公昭５４−３４９５９号公報、実開昭５７−１３１８１７号公報等で開示する作業台において、作業台正面を吹き出し空気流路兼用の二重透明板とし、開口部をその吹き出し空気（エアーカーテン）によって遮蔽する方法が提案されている。
【０００９】
しかし、いずれの公報記載の技術においても、エアーカーテン気流が鉛直下向きであるため、内部負圧によって生じる水平内部向き流入気流に押し込まれ、吹き出し口から離れるにつれて作業台内部への侵入気流が生じてしまう問題がある。この侵入気流は、人体からの湿分を多量に含んでおり、低露点作業台に対して非常に高負荷となる。その影響度は、人体からの塵埃が清浄作業台に与える負荷よりもはるかに多大である。
【００１０】
また、実公昭４３−３２０６６号公報で開示する清浄作業台においては、二重透明板の断面形状を三角形にすることによって作業員に向かって吹き出す工夫を施し、侵入気流を防止するようにしている。しかし、三角形断面であるため、二重透明板を挟んで見通す内部視界が遮られ、作業性を著しく低下させてしまう新たな問題がある。
【００１１】
よって、本発明では、簡単で低コストとなる方法により、作業室内への侵入気流を防止して作業室内を低露点雰囲気下に保持しつつ、内部視界も充分に確保できるエアーカーテン付き低露点作業装置を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明では、作業台の上方空間を囲む作業室と、この作業室内に清浄な低露点空気を供給する給気手段と、作業室内を負圧に保持するための排気手段と、作業室の前面に前後に間隔をおいて配置した前板及び後板を含む吹き出し空気流路兼用の二重透明板と、この二重透明板の下部吹き出し口と前記作業台との間に形成した作業用開口部とを備え、二重透明板の吹き出し口から空気を吹き出すことにより作業用開口部付近にエアーカーテンを形成して作業室を遮蔽する構成としたエアーカーテン付き低露点作業装置であって、二重透明板を構成する前板及び後板のうち、前板の下端縁を後板の下端縁よりも上方に位置させることで、エアーカーテンの空気の吹き出し方向を前方へ傾斜させるように設定した。
【００１３】
また、本発明では、作業台の上方空間を囲む作業室と、この作業室内に清浄な低露点空気を供給する給気手段と、作業室内を負圧に保持するための排気手段と、作業室の前面に配置した透明板と、この透明板の下端縁と作業台との間に形成した作業用開口部と、この作業用開口部付近に吹き上げ型のエアーカーテンを形成して作業室を遮蔽する空気吹き出し口とを備え、この空気吹き出し口を、作業台の前部に設けかつ、空気の吹き出し方向が前方へ傾斜する形状とした。
【００１４】
給気手段としては、作業室の外部に配置した除湿機と、この除湿機を経由して送気される清浄な低露点空気を分流して作業室内に給気する第１給気経路及びエアーカーテン用の空気として給気する第２給気経路とを備えた構成とすることもできる。
【００１５】
その場合、作業装置は、清浄な低露点空気を供給する別の給気手段を備えている構成とすることもできる。
【００１６】
また、別の給気手段は、作業室内の低露点空気を吸い込み、各吹き出し口の少なくとも一つから吹き出す給気経路を含み、給気手段の静圧の不足分を補う機能を持たせた構成とすることもできる。
【００１７】
さらに、本発明では、作業台の上方空間を囲む作業室の前面開口部付近に外部と遮蔽するエアーカーテンの吹き出し口を設けた作業装置本体と、この作業装置本体を配置した低露点室と、この低露点室の外に配置した除湿機と、前記作業室内を負圧に保持するための排気手段とを含み、除湿機と低露点室との間に、低露点室内の空気を除湿機に導く吸入経路と、除湿機から低露点室内に清浄な低露点空気を供給する第１給気経路と、除湿機からの清浄な低露点空気をエアーカーテン用の空気として導く第２給気経路とを設けた。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１〜図５は、本発明を低露点室内の有機溶剤発生装置に適用したエアーカーテン付き低露点作業装置の例を示すものである。図１は、作業装置本体の斜視図、図２はその正面図、図３はその側面図、図４は二重透明板の構成図である。図５は低露点室内の有機溶剤発生装置へ適用した全体構成図、図６はエアーカーテン用吹き出し口の他の実施形態を示す図４同様の構成図である。
【００１９】
これらの図において、符号１は作業装置本体であり、適宜の高さを有する水平な作業台２と、その作業台２の上方空間に形成した作業室３（図３参照）とを有する。作業室３は、作業台２の上面と、両側の側板４、５と、背板６と、天井板７と、前面に配置した吹き出し空気流路兼用の二重透明板２０とによってほぼ６面を囲まれた作業空間によって形成している。
【００２０】
そして、その二重透明板２０の下端縁と作業台２との間に作業用開口部１０を形成している。二重透明板２０は、作業室３の前面に前後に間隔をおいて配置した前板２１及び後板２２を有し、それら前板２１及び後板２２間が空気流路２３となり、その下部開放端がエアーカーテン用の吹き出し口２４となるように構成している。
【００２１】
作業装置本体１の上部には、内部に空気チャンバー８があり、この空気チャンバー８内に清浄な低露点空気を取り入れる給気口９、９を設けている。空気チャンバー８は、二重透明板２０の空気流路２３に連通している。
【００２２】
二重透明板２０の前板２１及び後板２２はいずれも強化透明ガラス板からなる点では従来と同様である。しかし、本発明では、図４に示すように、それら前板２１及び後板２２の下端縁を段差付きに構成している点で、従来と大きく相違している。
【００２３】
具体的には、前板２１の下端縁２１ａを、後板２２の下端縁２２ａよりも上方に位置させることで段差を付けている。段差の程度としては、図示例においては両者の下端縁を結ぶ直線Ａが４５度前後傾斜する程度である。
【００２４】
このように、段差を付けることで、二重透明板２０の吹き出し口２０ａから吹き出る清浄な低露点空気が、図中矢印で示すように前方（作業者Ｍ側）へ向けて吹き出すエアーカーテンを形成することができるように工夫している。
【００２５】
勿論、４５度以上立ち上がる傾斜角度、逆に４５度以内で立ち上がる傾斜角度とすることもできる。この直線Ａの傾斜角度は給排気風量比によって決定されることになるが、好ましい傾斜角度としては、２０度から７０度の範囲であり、より好ましくは３５度〜５５度の範囲であり、さらに好ましくは４５度前後の範囲である。２０度以下の場合には空気の吹き出し方向が下向きになりすぎ、７０度以上では空気の吹き出し方向にそれほど影響を与えなくなるからである。
【００２６】
作業室３の天板７には開口７ａがあり、この開口７ａは作業台本体１の上部に設けた排気口１１に連通している。この排気口１１はダクト等からなる排気経路１２を介して排気ファン１３に接続してある。これら開口７ａ、排気経路１２、排気ファン１３により、作業室３内を負圧に保持するための排気手段が構成されている。
【００２７】
作業装置本体１は、図５に示すように、低露点室１５内に配置され、その低露点室１５の外に除湿機３０が配置されている。低露点室１５と除湿機３０との間には、低露点室１５内の空気を除湿機に導く吸入経路１６と、除湿機３０から低露点室１５内に清浄な低露点空気を供給する第１給気経路３１と、除湿機３０からの清浄な低露点空気をエアーカーテン用の空気として導く第２給気経路３２とが設けられている。
【００２８】
第１給気経路３１及び第２給気経路３２は、ここでは主給気経路３３から分岐させた構成である。なお、これら第１給気経路３１、第２給気経路３２、及び主給気経路３３は、いわゆる通常の空気ダクト等により構成することができる。
【００２９】
本実施の形態によれば、除湿機３０の運転状態においては、低露点室１５内の空気が吸気経路１６を介して除湿機３０に導かれ、そこで除湿及び図示しないフィルターにより塵埃等が除去された清浄な低露点空気が第１給気経路３１を介して低露点室１５内に給気される。同時に第２給気経路３２、給気口９、空気チャンバー８、二重透明板２０の空気流路２３を介して、その吹き出し口２４から吹き出し、エアーカーテンを形成する。
【００３０】
このエアーカーテンは、排気ファン１３の運転により作業室３内が負圧になる関係で、最初の吹き出し方向が図４において矢印で示すように前方へ傾斜する向き（外向き）で吹き出す空気流ａと、途中から次第に作業室３内に向かいつつも作業室の外に向かう空気流ｂ、ｃ、ｄと、作業室３内に向かう若干の空気流ｅとを有する形態となる。この結果、作業用開口部１０はこのエアーカーテンによってほぼ遮蔽され、作業室３内に向かう空気流を極力防止することが可能になる。
【００３１】
因みに、実験結果によれば、二重透明板２０の幅１６５０ｍｍ、前板２１と後板２２間の間隔５０ｍｍ、直線Ａの傾斜角度４５度、給気露点−５５℃ＤＰ、風量１３ｍ³／ｍｉｎ、開口部１０の高さ２５０ｍｍのとき、制御面Ｓにおける平均風速０．４ｍ／ｓ、通過風量１３ｍ³／ｍｉｎであり、作業室３内に侵入する空気はほとんど見受けられなかった。
【００３２】
また、本実施の形態によれば、二重透明板２０の前板２１と後板２２は互いに平行配置され、かつ、それらの下端縁は直線Ａの傾斜角度となる段差を持たせているため、作業室３内部の視界が遮られることもなく、これにより作業性を格段に向上させることができる。
【００３３】
なお、図５に示す例のように、低露点室１５内に作業装置本体１を配置し、除湿機３０を低露点室１５の外に配置して、低露点室１５内の空気を除湿機３０を経由して一部循環させるように構成した場合、除湿機３０のファンの持つ静圧で作業台内部へ送風し、吹き出す方式とすることができる。
【００３４】
また、作業装置本体１に給気ファンを内蔵させる方式とすることもできるが、その場合には、除湿機３０のファンの静圧の不足分を内蔵ファンで補う方式、あるいは作業台周囲が低露点室で、その空気を作業台上部等から吸い込み、吹き出し口から吹き出す方式等を採用することができる。
【００３５】
ただ、図５に示すように、低露点室内に設置される生産ラインのうち、有機溶剤等が漏洩し易く、かつ最も低露点雰囲気を要求される低露点作業装置については、図示例のように作業装置本体１を改良してその構造を装置全体に合わせることにより対処すれば良い。
【００３６】
図６は、エアーカーテン用吹き出し口の他の実施形態を示すもので、この例では、作業台２の前端の上部から外側斜め上方へ吹き上げる形態となる吹き出し口４０を設けた構成としたものである。この場合、作業用開口部１０の大きさは先の実施形態と同じであるが、二重透明板に代えて、一枚の透明板４１を設けている。また、吹き出し口４０に連通する給気用の吹き出し流路は作業台２の内部に設けている。吹き出し口４０は、例えば開口部１０と略同じ幅長さを有するスリットで形成することができる。
【００３７】
なお、この実施の形態においても、最初の吹き出し方向が図６において矢印で示すように前方へ傾斜する上向きで吹き出す空気流ａと、途中から次第に作業室３内に向かいつつも作業室の外に向かう空気流ｂ、ｃ、ｄと、作業室３内に向かう若干の空気流ｅとを有する形態となる。この結果、作業用開口部１０はこのエアーカーテンによってほぼ遮蔽され、作業室３内に向かう空気流を極力防止することが可能になる。
【００３８】
因みに、実験結果によれば、直線Ｂの傾斜角度４５度、給気露点−５５℃ＤＰ、風量１３ｍ³／ｍｉｎ、開口部１０の高さ２５０ｍｍのとき、制御面Ｓにおける平均風速０．４ｍ／ｓ、通過風量１３ｍ³／ｍｉｎであり、作業室３内に侵入する空気はほとんど見受けられなかった。
【００３９】
また、この実施の形態によれば、一枚の透明板４１のみが配置されているだけであるため、二重透明板を介して見るのに比べて、作業室３内部の視界が遮られたり見にくくなったりすることもなく、これにより作業性をさらに向上させることができる。
【００４０】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、簡単で低コストとなる方法により、作業室内への侵入気流を防止して作業室内を低露点雰囲気下に保持しつつ、作業室の内部視界も充分に確保できるエアーカーテン付き低露点作業装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る作業装置本体の構造を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る作業装置本体の正面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る作業装置本体の右側面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る作業装置本体のエアーカーテン用吹き出し口を示す構成図である。
【図５】本発明を有機溶剤を使用する生産装置に適用した例を示す全体構成図である。
【図６】本発明のエアーカーテン用吹き出し口の他の実施の形態を示す構成図である。
【符号の説明】
１作業装置本体
２作業台
３作業室
４側板
５側板
６背板
７天板
８空気チャンバー
９給気口
１０作業用開口
１１排気口
１２排気経路
１３排気ファン
１５低露点室
１６吸気経路
２０二重透明板
２１前板
２２後板
２１ａ、２２ａ下端縁
２３空気流路
２４吹き出し口
３０除湿器
３１第１給気経路
３２第２給気経路
３３主給気経路
４０吹き出し口
４１透明板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a low dew point working apparatus with an air curtain that is effective when placed in a low dew point room used in, for example, a lithium ion battery or a chemical manufacturing process, and particularly harmful volatile substances handled in the work room The present invention relates to a technique for improving the internal field of view of a work room while being shielded by an air curtain so as not to leak into an interior of a low dew point from an opening.
[0002]
[Prior art]
There is a working device (hereinafter referred to as a low dew point work table) that is used for the purpose of performing work that uses a volatile substance harmful to the human body such as an organic solvent and requires a low dew point atmosphere in an internal work space.
[0003]
This low dew point workbench needs to maintain a negative pressure inside the workbench compared to the outside because of the former reason of handling harmful volatile substances in the work space inside. For this reason, the moisture from the worker located in front of the work table is guided to the inside, which is an obstacle to the latter purpose of keeping the work space in a low dew point atmosphere.
[0004]
A low dew point chamber that can maintain the work space in a low dew point atmosphere is generally called a dry room (registered trademark). For the purpose of improving product quality and yield, the worker is in the room and the manufacturing process is extremely low humidity. It is a room maintained at a high temperature and is often used in the manufacturing process of lithium ion batteries, polymer batteries, chemicals, and the like.
[0005]
In a clean room or the like, the heat generation load is a problem. Therefore, the arrangement of the production apparatus is more important than the human body, whereas in the low dew point room, the moisture generation load is a problem. In this regard, in the bench-type work table, there is a person in front of the opening and the airflow that has passed through the face part enters into the work table, but if this structure is applied as it is even in the case of a low dew point chamber, For this reason, the worst result is that the moisture is blown to the most important part in the workbench.
[0006]
As one solution, a method has been proposed in the past for a clean work bench or the like in which the front of the work bench is made of double glass for blowing air flow and the opening for the work of the lower end of the double glass is shielded by the blown air. ing.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in such a conventional technique, the examination of the shape of the double glass portion is not sufficient, and there are the following problems in adopting this technique as it is.
[0008]
For example, in a workbench disclosed in Japanese Patent Publication No. 54-34959, Japanese Utility Model Publication No. 57-131817, etc., the front of the workbench is a double transparent plate that also serves as a blowout air flow path, and an opening is a blown air (air). A method of shielding with a curtain) has been proposed.
[0009]
However, in any of the techniques described in the publications, since the air curtain airflow is vertically downward, it is pushed into the horizontally inward inflow airflow generated by the internal negative pressure, and an intrusion airflow into the workbench is generated as it moves away from the outlet. There is a problem. This intruding air flow contains a large amount of moisture from the human body, and it becomes a very high load on the low dew point work bench. The degree of influence is much greater than the load that dust from the human body gives to the clean bench.
[0010]
In addition, in the cleaning worktable disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 43-32066, the double transparent plate has a triangular cross-sectional shape so that it is blown out toward the worker to prevent intrusion airflow. . However, since it has a triangular cross section, there is a new problem that the internal field of view seen through the double transparent plate is blocked, and the workability is remarkably lowered.
[0011]
Therefore, in the present invention, a low dew point operation with an air curtain that can secure a sufficient internal view while keeping the work room in a low dew point atmosphere by preventing air intrusion into the work room by a simple and low cost method. It is an object to provide an apparatus.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, a work chamber that surrounds the upper space of the work table, an air supply means for supplying clean low dew point air into the work chamber, an exhaust means for maintaining the work chamber at a negative pressure, and a front surface of the work chamber A double transparent plate that also serves as a blowing air flow path including a front plate and a rear plate that are arranged at intervals in the front and rear, and a working opening formed between the lower blowing port of the double transparent plate and the work table. A low dew point working device with an air curtain configured to shield the work chamber by forming an air curtain near the work opening by blowing air from the blowout port of the double transparent plate. Of the front plate and the rear plate constituting the heavy transparent plate, the lower end edge of the front plate is positioned above the lower end edge of the rear plate, so that the air blowing direction of the air curtain is inclined forward. .
[0013]
Further, in the present invention, a work chamber surrounding the upper space of the work bench, an air supply means for supplying clean low dew point air into the work chamber, an exhaust means for maintaining the work chamber at a negative pressure, and a work chamber A transparent plate placed on the front of the machine, a work opening formed between the lower edge of the transparent plate and the work table, and a blow-up air curtain formed near the work opening to shield the work room The air blowing port is provided at the front part of the work table, and the air blowing direction is inclined forward.
[0014]
As the air supply means, a dehumidifier disposed outside the work chamber, a first air supply path for supplying clean air to the work chamber by diverting clean low dew point air sent via the dehumidifier, and air It can also be set as the structure provided with the 2nd air supply path | route supplied as air for curtains.
[0015]
In that case, the working device may be configured to include another air supply unit that supplies clean low dew point air.
[0016]
Further, the other air supply means includes a supply path that sucks low dew point air in the work chamber and blows it out from at least one of the respective outlets, and has a function of compensating for the lack of static pressure of the air supply means. It can also be.
[0017]
Furthermore, in the present invention, a work apparatus body provided with an air curtain outlet that shields the outside from the vicinity of the front opening of the work room surrounding the upper space of the work table, a low dew point chamber in which the work apparatus body is disposed, A dehumidifier disposed outside the low dew point chamber and an exhaust means for maintaining the working chamber at a negative pressure, and the air in the low dew point chamber is dehumidified between the dehumidifier and the low dew point chamber. A first intake path for supplying clean low dew point air from the dehumidifier into the low dew point chamber, and a second supply path for guiding clean low dew point air from the dehumidifier as air curtain air; Was provided.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIGS. 1-5 shows the example of the low dew point working apparatus with an air curtain which applied this invention to the organic solvent generator in a low dew point room | chamber interior. FIG. 1 is a perspective view of the working device body, FIG. 2 is a front view thereof, FIG. 3 is a side view thereof, and FIG. 4 is a configuration diagram of a double transparent plate. FIG. 5 is an overall configuration diagram applied to the organic solvent generator in the low dew point chamber, and FIG. 6 is a configuration diagram similar to FIG. 4 showing another embodiment of the air curtain outlet.
[0019]
In these drawings, reference numeral 1 denotes a work apparatus main body, which has a horizontal work table 2 having an appropriate height and a work chamber 3 (see FIG. 3) formed in a space above the work table 2. The work chamber 3 has approximately six surfaces by the upper surface of the work table 2, side plates 4 and 5 on both sides, a back plate 6, a ceiling plate 7, and a double transparent plate 20 also serving as a blowing air channel disposed on the front surface. It is formed by the work space surrounded.
[0020]
A work opening 10 is formed between the lower edge of the double transparent plate 20 and the work table 2. The double transparent plate 20 has a front plate 21 and a rear plate 22 arranged on the front surface of the work chamber 3 with a space in the front-rear direction, and the space between the front plate 21 and the rear plate 22 serves as an air flow path 23. The open end is configured to be an air curtain outlet 24.
[0021]
An air chamber 8 is provided inside the work apparatus main body 1, and air supply ports 9 and 9 for taking in clean low dew point air are provided in the air chamber 8. The air chamber 8 communicates with the air flow path 23 of the double transparent plate 20.
[0022]
The front plate 21 and the rear plate 22 of the double transparent plate 20 are the same as the conventional one in that both are made of a tempered transparent glass plate. However, in the present invention, as shown in FIG. 4, the lower edge of the front plate 21 and the rear plate 22 is configured with a step, which is greatly different from the prior art.
[0023]
Specifically, a step is provided by positioning the lower end edge 21 a of the front plate 21 above the lower end edge 22 a of the rear plate 22. As the degree of the step, in the illustrated example, the straight line A connecting the lower end edges of both is inclined about 45 degrees.
[0024]
In this way, by providing a step, an air curtain is formed in which clean low dew point air that blows out from the air outlet 20a of the double transparent plate 20 blows out toward the front (the worker M side) as indicated by an arrow in the figure. Devised to be able to.
[0025]
Of course, it is also possible to use an inclination angle that rises 45 degrees or more, and conversely, an inclination angle that rises within 45 degrees. Although the inclination angle of the straight line A is determined by the supply / exhaust air volume ratio, the preferable inclination angle is in the range of 20 degrees to 70 degrees, more preferably in the range of 35 degrees to 55 degrees, The range is preferably around 45 degrees. This is because when the angle is 20 degrees or less, the air blowing direction is too downward, and when the angle is 70 degrees or more, the air blowing direction is not significantly affected.
[0026]
The top plate 7 of the work chamber 3 has an opening 7 a, and this opening 7 a communicates with an exhaust port 11 provided in the upper part of the worktable body 1. The exhaust port 11 is connected to an exhaust fan 13 via an exhaust path 12 including a duct or the like. The opening 7 a, the exhaust path 12, and the exhaust fan 13 constitute exhaust means for keeping the inside of the work chamber 3 at a negative pressure.
[0027]
As shown in FIG. 5, the work apparatus main body 1 is disposed in a low dew point chamber 15, and a dehumidifier 30 is disposed outside the low dew point chamber 15. Between the low dew point chamber 15 and the dehumidifier 30, a suction path 16 that guides the air in the low dew point chamber 15 to the dehumidifier, and a clean low dew point air from the dehumidifier 30 into the low dew point chamber 15 is supplied. A first air supply path 31 and a second air supply path 32 that guides clean low dew point air from the dehumidifier 30 as air curtain air are provided.
[0028]
Here, the first air supply path 31 and the second air supply path 32 are branched from the main air supply path 33. The first air supply path 31, the second air supply path 32, and the main air supply path 33 can be configured by so-called normal air ducts or the like.
[0029]
According to the present embodiment, Oite to the operating state of the dehumidifier 30, the air of low dew point chamber 15 is guided to the dehumidifier 30 via the air inlet path 16, where dust and the like by dehumidification and not shown filter The removed clean low dew point air is supplied into the low dew point chamber 15 via the first air supply path 31. At the same time, the air is blown out from the air outlet 24 through the second air supply path 32, the air inlet 9, the air chamber 8, and the air passage 23 of the double transparent plate 20, thereby forming an air curtain.
[0030]
This air curtain has a relationship in which the inside of the working chamber 3 becomes negative pressure by the operation of the exhaust fan 13, and the air flow a that blows out in the direction in which the first blowing direction is inclined forward (outward) as shown by the arrow in FIG. Then, the air flow b, c, d that gradually goes into the work chamber 3 from the middle but toward the outside of the work chamber and a slight air flow e toward the work chamber 3 are formed. As a result, the work opening 10 is substantially shielded by the air curtain, and the air flow toward the work chamber 3 can be prevented as much as possible.
[0031]
Incidentally, according to the experimental results, the width of the double transparent plate 20 is 1650 mm, the interval between the front plate 21 and the rear plate 22 is 50 mm, the inclination angle of the straight line A is 45 degrees, the supply air dew point is −55 ° C. DP, and the air volume is 13 m ³ / min. When the opening 10 had a height of 250 mm, the average wind speed at the control surface S was 0.4 m / s and the passing air volume was 13 m ³ / min, and almost no air invaded into the work chamber 3.
[0032]
Further, according to the present embodiment, the front plate 21 and the rear plate 22 of the double transparent plate 20 are arranged in parallel to each other, and the lower end edges thereof have a step that becomes the inclination angle of the straight line A. The view inside the work chamber 3 is not obstructed, and the workability can be greatly improved.
[0033]
As shown in the example shown in FIG. 5, the working apparatus body 1 is disposed in the low dew point chamber 15, the dehumidifier 30 is disposed outside the low dew point chamber 15, and the air in the low dew point chamber 15 is dehumidified. In the case of being configured to circulate partially via 30, it is possible to adopt a method in which the air is blown into the work table with the static pressure of the fan of the dehumidifier 30 and blown out.
[0034]
In addition, a method of incorporating an air supply fan in the work apparatus main body 1 can be adopted, but in that case, a method of compensating for the insufficient static pressure of the fan of the dehumidifier 30 with a built-in fan or a low work table periphery. In the dew point chamber, a method of sucking the air from the upper part of the work table and blowing it out from the outlet can be adopted.
[0035]
However, as shown in FIG. 5, the low dew point working apparatus in which the organic solvent or the like easily leaks out of the production line installed in the low dew point room and the lowest dew point atmosphere is required is as shown in the illustrated example. What is necessary is just to cope with improving the working apparatus main body 1 and matching the structure with the whole apparatus.
[0036]
FIG. 6 shows another embodiment of the air curtain outlet. In this example, the outlet 40 is configured to be blown upward and obliquely upward from the top of the front end of the work table 2. is there. In this case, the size of the working opening 10 is the same as that of the previous embodiment, but a single transparent plate 41 is provided instead of the double transparent plate. Further, a supply air supply passage communicating with the outlet 40 is provided inside the work table 2. The blowout port 40 can be formed by a slit having substantially the same width and length as the opening 10, for example.
[0037]
Also in this embodiment, the first blowing direction is an air flow a that is blown upward as indicated by an arrow in FIG. 6, and gradually enters the working chamber 3 from the middle but out of the working chamber. It becomes a form which has the air flow b, c, d which goes, and the slight air flow e which goes into the working chamber 3. As a result, the work opening 10 is substantially shielded by the air curtain, and the air flow toward the work chamber 3 can be prevented as much as possible.
[0038]
By the way, according to the experimental results, when the inclination angle of the straight line B is 45 degrees, the supply air dew point is −55 ° C. DP, the air volume is 13 m ³ / min, and the height of the opening 10 is 250 mm, the average wind speed on the control surface S is 0.4 m / s, the air flow rate was 13 m ³ / min, and almost no air invaded into the working chamber 3.
[0039]
In addition, according to this embodiment, since only one transparent plate 41 is arranged, the field of view inside the working chamber 3 is blocked as compared with the case of viewing through the double transparent plate. This makes it possible to further improve workability without being difficult to see.
[0040]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, a simple and low-cost method prevents intruding airflow into the working chamber and maintains the working chamber in a low dew point atmosphere, and also provides sufficient internal view of the working chamber. A low dew point working apparatus with an air curtain that can be secured can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing a structure of a working device main body according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view of the work apparatus main body according to the embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a right side view of the working apparatus main body according to the embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a configuration diagram showing an air curtain outlet of the working device body according to the embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an overall configuration diagram showing an example in which the present invention is applied to a production apparatus using an organic solvent.
FIG. 6 is a block diagram showing another embodiment of the air curtain outlet of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work apparatus main body 2 Worktable 3 Work room 4 Side plate 5 Side plate 6 Back plate 7 Top plate 8 Air chamber 9 Air supply port 10 Work opening 11 Exhaust port 12 Exhaust path 13 Exhaust fan 15 Low dew point chamber 16 Intake path 20 Double Transparent plate 21 Front plate 22 Rear plates 21a, 22a Lower edge 23 Air flow path 24 Outlet 30 Dehumidifier 31 First supply path 32 Second supply path 33 Main supply path 40 Outlet 41 Transparent plate

Claims

作業台の上方空間を囲む作業室と、
この作業室内に清浄な低露点空気を供給する給気手段と、
作業室内を負圧に保持するための排気手段と、
作業室の前面に前後に間隔をおいて配置した前板及び後板を含む吹き出し空気流路兼用の二重透明板と、
この二重透明板の下部吹き出し口と前記作業台との間に形成した作業用開口部とを備え、
二重透明板の吹き出し口から空気を吹き出すことにより前記作業用開口部付近にエアーカーテンを形成して作業室を遮蔽する構成としたエアーカーテン付き低露点作業装置であって、前記二重透明板を構成する前板及び後板のうち、前板の下端縁を後板の下端縁よりも上方に位置させることで、前記エアーカーテンの空気の吹き出し方向を外向きに３５度から５５度の範囲に傾斜させた、エアーカーテン付き低露点作業装置。A work room surrounding the space above the workbench;
An air supply means for supplying clean low dew point air into the working chamber;
Exhaust means for maintaining a negative pressure in the working chamber;
A double transparent plate that also serves as a blowout air flow path, including a front plate and a rear plate disposed at a front and rear interval on the front surface of the working chamber;
With a working opening formed between the lower blowing port of the double transparent plate and the work table,
A low dew point working apparatus with an air curtain configured to shield an operation chamber by forming an air curtain near the working opening by blowing air from a blowout port of the double transparent plate, wherein the double transparent plate Of the front plate and the rear plate constituting the front plate, the lower end edge of the front plate is positioned higher than the lower end edge of the rear plate, so that the air blowing direction of the air curtain is in the range of 35 degrees to 55 degrees outward. A low dew point working device with an air curtain , tilted to the right.

作業台の上方空間を囲む作業室と、
この作業室内に清浄な低露点空気を供給する給気手段と、
作業室内を負圧に保持するための排気手段と、
作業室の前面に配置した透明板と、
この透明板の下端縁と前記作業台との間に形成した作業用開口部と、
この作業用開口部付近に吹き上げ型のエアーカーテンを形成して作業室を遮蔽する空気吹き出し口とを備え、
この空気吹き出し口を、作業台の前部に設けかつ、空気の吹き出し方向が外向きに３５度から５５度の範囲に傾斜する形状とした、エアーカーテン付き低露点作業装置。A work room surrounding the space above the workbench;
An air supply means for supplying clean low dew point air into the working chamber;
Exhaust means for maintaining a negative pressure in the working chamber;
A transparent plate placed in front of the work room;
A working opening formed between the lower edge of the transparent plate and the workbench;
With an air outlet that forms a blow-up type air curtain in the vicinity of the working opening and shields the work chamber,
A low dew point working apparatus with an air curtain, wherein the air blowing port is provided in the front part of the work table and the air blowing direction is inclined outwardly in a range of 35 to 55 degrees .

前記作業装置は、清浄な低露点空気を供給する別の給気手段を備えている、請求項１又は２記載のエアーカーテン付き低露点作業装置。 The low dew point working device with an air curtain according to claim 1 or 2, wherein the working device includes another air supply means for supplying clean low dew point air.

前記別の給気手段は、前記作業室内の低露点空気を吸い込み、前記各吹き出し口の少なくとも一つから吹き出す給気経路を含み、前記給気手段の静圧の不足分を補う機能を持たせた、請求項３記載のエアーカーテン付き低露点作業装置。The another air supply means includes an air supply path that sucks low dew point air in the work chamber and blows it out from at least one of the air outlets, and has a function of compensating for a shortage of static pressure of the air supply means. The low dew point working apparatus with an air curtain according to claim 3 .

請求項１又は２に記載のエアーカーテン付き低露点作業装置と、
前記低露点作業装置を配置した低露点室と、
この低露点室の外に配置した除湿機と、を備え、
前記除湿機と低露点室との間に、低露点室内の空気を除湿機に導く吸入経路と、除湿機から低露点室内に清浄な低露点空気を供給する第１給気経路と、除湿機からの清浄な低露点空気をエアーカーテン用の空気として導く第２給気経路とを設け、前記給気手段は、前記除湿機と、前記第１給気経路及び前記第２給気経路である、エアーカーテン付き低露点作業設備。 The low dew point working device with an air curtain according to claim 1 or 2,
A low dew point chamber in which the low dew point working device is disposed;
A dehumidifier disposed outside this low dew point chamber ,
Between the dehumidifier and the low dew point chamber, an intake path for guiding the air in the low dew point chamber to the dehumidifier, a first air supply path for supplying clean low dew point air from the dehumidifier into the low dew point chamber, and a dehumidifier A second air supply path for guiding clean low dew point air from the air as air curtain air, and the air supply means is the dehumidifier, the first air supply path, and the second air supply path , Low dew point work equipment with air curtain.