JP4375510B2 - Glass substrate handling method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、傾斜して置かれたガラス基板をロボットアームに接続されたハンドでハンドリングするガラス基板のハンドリング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
PDP(プラズマ・ディスプレイ・パネル)用ガラス基板はクリーンルーム内で、カセットから取り出され、試験台等に移送される。図10は複数のガラス基板を収納したカセットの斜視図である。このカセットaは、基板bの両端を水平に支持するようになっていて、上下方向に一定間隔でガラス基板を収納するようになっている。
【0003】
図11は基板移載用ロボットの平面図である。カセットaから基板bを取り出すのに、基板移載用ロボットcが使われている。基板移載用ロボットcは2本のアームdを有し先端に薄いハンドeを接続しており、このハンドeをカセットaの基板bの間に水平に挿入し、基板bの下面を支持し、上方に持ち上げてカセットaを取り出している。このように水平に取り出して水平に試験台等に乗せていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
基板の寸法が大きくなると、たわみが大きくなり水平を維持して移載するのが難しくなる。またカセットを水平にしておくと専有面積が大きくなり、クリーンルームを大きくする必要があり、コスト的に不利となる。このためカセットを斜めにしたり立てることが検討されている。出願人は特願平10−178216号でカセットを立てた状態または斜めにした状態でカセットからの取り出しができるようにするハンドを開示している。しかしそのハンドによる基板のハンドリング方法については十分記載していない。
【0005】
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたもので、傾斜したカセット内のガラス基板をハンドでハンドリングする方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の発明は、先端にV字状の切り欠きを有する4角形状であり、V字状の切り欠きの両側とハンド中間部両側に吸盤を有し、V字状の切り欠きの先端に起立して基板の先端を把持する先端フックとこの先端フックに対峙してハンド後端に設けられた後端フックとを有するハンドをロボットアームに取り付けて行なうガラス基板のハンドリング方法において、傾斜して置かれたガラス基板に平行に斜め上方からハンドを挿入し、ガラス基板の下端をハンドの先端フックを起立して把持し、次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始するとともに、ハンドをガラス基板に寄せ、その後、後端フックでガラス基板の上端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す。
【0007】
ハンドをガラス基板に上方から平行に挿入することによりガラス基板とハンドを重ねて並べる。この状態でハンドの先端フックを起立してガラス基板の下端を押さえる。次にハンドの吸盤によりガラス基板を吸引して引き寄せ、ハンドの後端フックでガラス基板の上端を押さえる。これによりガラス基板はハンドと一体となる。この状態でハンドを抜き出すことにより、斜めに置かれたガラス基板をハンドで取り出すことができる。その後斜めの状態でハンドを移送し、試験台等の所で水平にすることにより、ガラス基板にたわみの発生する期間を少くすることができる。
【0008】
請求項2の発明では、先端にV字状の切り欠きを有する4角形状であり、V字状の切り欠きの両側とハンド中間部両側に吸盤を有し、V字状の切り欠きの先端に起立して基板の先端を把持する先端フックとこの先端フックに対峙してハンド後端に設けられた後端フックとを有するハンドをロボットアームに取り付けて行なうガラス基板のハンドリング方法において、傾斜して置かれたガラス基板の横方向から基板に平行にハンドを挿入し、ガラス基板の一端をハンドの先端フックを起立して把持し、次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始し、ハンドをガラス基板に寄せ、その後、後端フックでガラス基板の他端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す。
【0009】
ハンドを傾斜して置かれたガラス基板の横方向から基板に沿って平行に挿入することによりガラス基板とハンドを重ねて並べる。この状態でハンドの先端フックを起立してガラス基板の一端を押さえる。次にハンドの吸盤によりガラス基板を吸引して引き寄せ、ハンドの後端フックでガラス基板の他端を押さえる。これによりガラス基板はハンドと一体となる。この状態でハンドを横方向に抜き出すことにより、斜めに置かれたガラス基板をハンドで取り出すことができる。その後斜めの状態でハンドを移送し、試験台等の所で水平にすることにより、ガラス基板にたわみの発生する期間を少くすることができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は実施の形態の基板搬送用のハンドを接続した基板移載用ロボットの側面図である。図2はハンドの平面図である。図1において、1はガラス基板14を把持して移送する基板搬送用ロボット9に使用する基板搬送用のハンドである。2はハンド1の後端に設けた接続部で、ロボット9の2本の関節アーム9a,9bの先端に設けられた自由角度手首9cの先端に接続されている。10は移動可能なカセット受入れ台で図7で示したカセット11を載置するカセット受け10aを有し、カセット受け10aをシリンダ10bにより斜め、水平、垂直に傾動可能に設けている。12は移動可能な基板検査台でカセット11から基板移載用ロボット9のハンド1によって取り出され、把持され搬送されたガラス基板14を載置するようになっている。本実施形態ではカセット11を斜めに設定し、カセット11からガラス基板を抜き出す場合を説明する。
【0011】
図2において、ハンド1は略四角形で先端にV字状の切り欠きを有し、この切り欠きの先端には起伏可能な先端フック5が設けられ、後端には先端フック5と対峙する位置に後端フック6が設けられている。ハンド1の後端は接続部2によりロボット9の自由角度手首9cの先端に接続される。ハンド1の中央部の両側には計4個の吸盤4が設けられガラス基板14を吸引するようになっている。吸引は吸盤4で空気を吸引することにより行われる。
【0012】
かかる装置において、第1実施形態として図1に実線で示すようにカセット11を斜めに配置し、カセット11の斜め上方からガラス基板14を取り出す方法を説明する。図3はカセットの斜め上方からガラス基板を取り出すハンドリング方法を示す図である。図3ではカセット11は省略して記載されている。
【0013】
先ず、Aに示すようにカセット11内のガラス基板14に平行に斜め上方からハンド1を挿入する。ハンド1の先端の先端フック5がガラス基板14の下端まできたとき、Bに示すように先端フック5を起立させ、ガラス基板14の下部を押さえる。次にCに示すように吸盤4によるガラス基板14の吸着を開始する。これと共にDに示すようにハンド1の方もガラス基板14に寄せてゆく。このようにして接近した状態で吸盤4を更に作動させ、Eに示すように両者1、14を確実に吸着させる。次にFに示すように後端フック6でガラス基板14の上端を押さえ、ガラス基板14とハンド1とを一体化する。かかる動作により、カセット11よりガラス基板14を抜き出す準備ができたので、Gに示すようにガラス基板14と一体になったハンド1をカセット11から抜き出す。この斜めの状態で移送も行なうことができる。
【0014】
次に第2実施形態として、カセット11を斜めにし、横方向からガラス基板14を取り出す方法を説明する。図4はガラス基板取り出し口11aを横方向にし斜めに配置されたカセット11を示す。カセット11内にはガラス基板14が間隔をおいて、カセット11と平行に斜めに積み重ねられている。ハンド1はロボット9の自由角度手首9cによりカセット11内のガラス基板14と平行になり、カセット11内に挿入され、ガラス基板14を把持し、抜き出される。図5、図6は斜めに配置されたカセットの横方向からガラス基板14を抜き出すハンドリング方法を示す図である。
【0015】
図5において、先ずAに示すように、ハンド1をカセット11内のガラス基板14に平行になるように傾斜させ、カセット11内に挿入する。ハンド先端の先端フック5がガラス基板14を通過した後、Bに示すように先端フック5を起立してガラス基板14の先端フック側の端を押さえる。Cは吸盤4による吸着を開始しハンド1をガラス基板14に寄せ確実に吸着する状況を示す。
【0016】
図6において、更に一体化するためDに示すように後端フック6でガラス基板14の後端フック側の端を押さえる。これによりガラス基板14とハンド1を確実に一体化する。次にEに示すようにハンド1をカセット11に平行に斜め上方に持ち上げ引き出し易いようにし、Fに示すようにハンド1をカセット11と平行に横方向へ引き出す。この斜めの状態でハンド1によりガラス基板14を移送することができる。
【0017】
しかし、このように基板を斜めの姿勢で搬送するコンベアや保管するカセットからガラス基板を斜め上方に取り出す場合と横方向に取り出す場合、 ガラス基板とコンベアやカセットの下面を支える基板受けをガラス端面がコジリ、 発塵, 割れが発生することがある。このような問題を解決する方法を以下に説明する。
【0018】
図7は支持材15に下面受け16で下部を支持されたガラス基板14とハンド1の挿入状態を示す。図8は上述した斜め上方に取り出す方法で、Aはハンド1の挿入, Bはハンド1の先端フック5を立てた状態、Cは先端フック5で受けて斜めに取り出す動作を示し、BからCに移るときにガラス端面のコジリ等が発生する。図9はこれを解決する方法で、Aはハンド1の挿入, Bはハンド1をガラス基板14に吸着した状態、Cは上方に取り出す動作を示す。これによりコジリ等の発生を防止できる。
【0019】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明は、斜めに置かれたカセットよりガラス基板を、斜め上方に取り出す方法および横方向に取り出す方法を示したものであり、この方法によりガラス基板を傾斜姿勢でカセットから取り出し移送することができるので、ガラス基板のたわみを少なくし、クリーンルームの占有面積をを少くすることができる。また, ガラス基板のコジリ等の発生は吸着のみでガラス基板を支えることにより防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態の基板搬送用のハンドを接続した基板移載用ロボットの側面図である。
【図2】ハンドの平面図である。
【図3】第1実施形態のガラス基板ハンドリングの手順を示す図である。
【図4】第2実施形態のガラス基板取り出し口を横方向にし斜めに配置されたカセットを示す図である。
【図5】第2実施形態のガラス基板ハンドリングの手順を示す図である。
【図6】第2実施形態のガラス基板ハンドリングの手順を示す図である。
【図7】支持材に斜めに置かれたガラス基板とハンドの挿入を示す図である。
【図8】先端フックでガラス基板を支持して移送する手順を示す図である。
【図9】ハンドにガラス基板を吸着して移送する手順を示す図である。
【図10】カセットの構成を示す図である。
【図11】カセットからガラス基板を水平にして取り出す方法の説明図である。
【符号の説明】
1 ハンド
2 接続部
4 吸盤
5 先端フック
6 後端フック
9 基板移載用ロボット
10 カセット受入架台
11 カセット
12 基板検査台
14 ガラス基板
15 支持材
16 下面受け[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a glass substrate handling method in which a glass substrate placed at an inclination is handled by a hand connected to a robot arm.
[0002]
[Prior art]
A glass substrate for a plasma display panel (PDP) is taken out from a cassette in a clean room and transferred to a test stand or the like. FIG. 10 is a perspective view of a cassette containing a plurality of glass substrates. The cassette a supports both ends of the substrate b horizontally, and stores glass substrates at regular intervals in the vertical direction.
[0003]
FIG. 11 is a plan view of the substrate transfer robot. A substrate transfer robot c is used to take out the substrate b from the cassette a. The substrate transfer robot c has two arms d, and a thin hand e is connected to the tip. The hand e is inserted horizontally between the substrates b of the cassette a to support the lower surface of the substrate b. The cassette a is taken out by lifting upward. Thus, it took out horizontally and put it on the test stand etc. horizontally.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
As the size of the substrate increases, the deflection increases and it becomes difficult to transfer the substrate while maintaining the level. Further, if the cassette is kept horizontal, the area occupied by the cassette becomes large, and it is necessary to enlarge the clean room, which is disadvantageous in terms of cost. For this reason, it has been studied to make the cassette slant or stand up. In Japanese Patent Application No. 10-178216, the applicant has disclosed a hand that allows the cassette to be removed from the cassette in an upright or slanted state. However, it does not fully describe how to handle the substrate with the hand.
[0005]
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a method of handling a glass substrate in an inclined cassette by hand.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the invention of
[0007]
By inserting the hand into the glass substrate in parallel from above, the glass substrate and the hand are overlapped and arranged. In this state, the front end hook of the hand is raised and the lower end of the glass substrate is pressed. Next, the glass substrate is sucked and drawn by the suction cup of the hand, and the upper end of the glass substrate is pressed by the rear end hook of the hand. As a result, the glass substrate is integrated with the hand. By pulling out the hand in this state, the glass substrate placed obliquely can be taken out with the hand. Thereafter, the hand is transferred in an oblique state, and is leveled at a test stand or the like, whereby the period during which the glass substrate is bent can be reduced.
[0008]
In the invention of
[0009]
By inserting the hand in parallel along the substrate from the lateral direction of the glass substrate placed at an inclination, the glass substrate and the hand are overlapped and arranged. In this state, the front end hook of the hand is raised and one end of the glass substrate is pressed. Next, the glass substrate is sucked and drawn by the suction cup of the hand, and the other end of the glass substrate is pressed by the rear end hook of the hand. As a result, the glass substrate is integrated with the hand. In this state, the glass substrate placed obliquely can be taken out by hand by pulling out the hand in the lateral direction. Thereafter, the hand is transferred in an oblique state, and is leveled at a test stand or the like, whereby the period during which the glass substrate is bent can be reduced.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view of a substrate transfer robot to which a substrate transfer hand according to an embodiment is connected. FIG. 2 is a plan view of the hand. In FIG. 1,
[0011]
In FIG. 2, the
[0012]
In such an apparatus, as a first embodiment, a method will be described in which the
[0013]
First, as shown in A, the
[0014]
Next, as a second embodiment, a method of taking the
[0015]
In FIG. 5, first, as shown in A, the
[0016]
In FIG. 6, for further integration, the end of the
[0017]
However, when the glass substrate is taken out obliquely upward or laterally from the conveyor or the cassette for storing the substrate in an oblique posture as described above, the glass end face is a substrate holder that supports the lower surface of the glass substrate and the conveyor or cassette. It may cause galling, dusting or cracking. A method for solving such a problem will be described below.
[0018]
FIG. 7 shows an inserted state of the
[0019]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the present invention shows a method for taking out a glass substrate obliquely upward and a method for taking it out in a lateral direction from a cassette placed obliquely. By this method, the glass substrate is inclined. Therefore, it is possible to reduce the deflection of the glass substrate and reduce the area occupied by the clean room. In addition, the generation of galling or the like of the glass substrate can be prevented by supporting the glass substrate only by adsorption.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of a substrate transfer robot to which a substrate transfer hand according to an embodiment is connected.
FIG. 2 is a plan view of the hand.
FIG. 3 is a diagram showing a glass substrate handling procedure according to the first embodiment.
FIG. 4 is a view showing a cassette that is arranged obliquely with the glass substrate take-out port of the second embodiment in the horizontal direction.
FIG. 5 is a diagram illustrating a glass substrate handling procedure according to a second embodiment.
FIG. 6 is a diagram illustrating a glass substrate handling procedure according to a second embodiment.
FIG. 7 is a view showing insertion of a glass substrate and a hand placed obliquely on a support material.
FIG. 8 is a diagram showing a procedure for supporting and transferring a glass substrate with a tip hook.
FIG. 9 is a diagram showing a procedure for sucking and transferring a glass substrate to a hand.
FIG. 10 is a diagram showing a configuration of a cassette.
FIG. 11 is an explanatory diagram of a method for taking out a glass substrate horizontally from a cassette.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (2)
傾斜して置かれたガラス基板に平行に斜め上方からハンドを挿入し、
ガラス基板の下端をハンドの先端フックを起立して把持し、
次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始するとともに、ハンドをガラス基板に寄せ、
その後、後端フックでガラス基板の上端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す、ことを特徴とするガラス基板のハンドリング方法。It has a square shape with a V-shaped notch at the tip, has suction cups on both sides of the V-shaped notch and the middle part of the hand, and stands up at the tip of the V-shaped notch. In a glass substrate handling method in which a hand having a front end hook that grips the rear end hook and a rear end hook provided at the rear end of the hand facing the front end hook is attached to a robot arm.
Insert the hand from above diagonally parallel to the glass substrate placed at an angle,
Hold the lower end of the glass substrate with the tip of the hand upright,
Next, the suction of the glass substrate by the suction cup of the hand is started, and the hand is brought to the glass substrate,
Thereafter, the upper end of the glass substrate is gripped by a rear end hook, and the hand that grips the glass substrate is pulled out.
傾斜して置かれたガラス基板の横方向から基板に平行にハンドを挿入し、
ガラス基板の一端をハンドの先端フックを起立して把持し、
次いで、ハンドの吸盤によるガラス基板の吸着を開始し、ハンドをガラス基板に寄せ、
その後、後端フックでガラス基板の他端を把持し、ガラス基板を把持したハンドを抜き出す、ことを特徴とするガラス基板のハンドリング方法。It has a square shape with a V-shaped notch at the tip, has suction cups on both sides of the V-shaped notch and the middle part of the hand, and stands up at the tip of the V-shaped notch. In a glass substrate handling method in which a hand having a front end hook that grips the rear end hook and a rear end hook provided at the rear end of the hand facing the front end hook is attached to a robot arm.
Insert the hand parallel to the substrate from the side of the glass substrate placed at an angle,
Hold one end of the glass substrate upright with the tip of the hand,
Next, suction of the glass substrate by the suction cup of the hand is started, the hand is brought to the glass substrate,
Thereafter, the other end of the glass substrate is gripped by a rear end hook, and the hand gripping the glass substrate is taken out.
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