JP4363115B2 - 配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また、半導体の演算速度の向上に伴い、配線基板においても高周波数の信号伝搬の遅延が起こりにくい高性能のものが要求されるようになってきた。高周波数の信号は表皮効果により配線の表層を伝搬されるので、このような目的のためには、配線の表層の抵抗が低いことが必要である。このように、セミアディティブプロセスを用いて、微細かつ、配線の表層の抵抗が低い配線基板を低コストで製造することが必要である。
(1)樹脂基板
(2)無電解銅めっきによる導電処理
(3)めっきレジストの形成
(4)パターン電気銅めっき
(5)電気化学的還元処理および有機皮膜形成
(6)めっきレジストの剥離
(7)導電処理層のクイックエッチング
(8)絶縁樹脂のコーティング
本発明では、微細配線の形成に有利なセミアディティブプロセスを用いて製造する配線基板において、パターン銅めっきで配線を形成した直後の工程で、パターン銅めっきされた銅表面を電気化学的に還元することにより、高抵抗の酸化物層を完全に除去し、さらに、同じ工程内で銅金属表面に有機皮膜を被覆することによって、後工程での銅表面の再酸化を防ぎ、かつ、配線上にコーティングする樹脂との密着性を向上させたものである。
(a)吸着により有機皮膜を形成
ベンゾトリアゾール、イミダゾール、ベンゾチアゾール、およびこれらの誘導体、また、BT−14、BT−8(北池産業)などの市販の銅変色防止剤。
(b)金属表面の触媒活性による重合で有機皮膜を形成
スチレン+N−(4−フルオロフェニル)マレイミド+2−(メタクリロイルオキシ)エチルアセトアセテート+ビスマレイミド+ポリ(エチレングリコール)エチルエーテルメタクリレート(例えば、非特許文献1参照)。
(c)電気化学的還元析出で有機皮膜を形成
3−カルボキシフェニルマレイミド+スチレン、または4−カルボキシフェニルマレイミド+スチレン、またはN−フェニルマレイミド+スチレン(例えば、非特許文献2参照)。
次の組成の液を用いた。
・BT−14(北池産業)20%
・硫酸でpH2.0に調整
・液温40℃
図1の(1)〜(4)の工程を経た基板(10cm角、めっきパターン率0.3)を水洗した後、カソード分極したまま、上記組成の液に浸漬した。通電された電気量が0.5mC/cm2(約0.1mA/cm2×5秒)となった時点で、通電を停止し、そのまま液中で5分間保持した。
次の組成の液を用いた。
・スチレン0.2mol/L
・N−(4−フルオロフェニル)マレイミド0.1mol/L
・2−(メタクリロイルオキシ)エチルアセトアセテート0.1mmol/L
・ビスマレイミド0.005mol/L
・ポリ(エチレングリコール)エチルエーテルメタクリレート0.1mol/L
硫酸でpHを約3に調整
上記実施例1と同様に、図1の(1)〜(4)の工程を経た基板(10cm角,めっきパターン率0.3)を水洗した後、カソード分極したまま、上記組成の液に浸せきした。通電された電気量が0.1mC/cm2となった時点(約0.02mA/cm2×5秒)で、通電を停止し、そのまま、10分間保持した。その後、基板を液から取り出し水洗した。さらに、図1に示す(6)〜(8)の工程を通した。(5)以外の工程条件は、一般的な公知のものである。
次の組成の液を用いた。
・4−カルボキシフェニルマレイミド0.5mol/L
・スチレン0.5mol/L
・硫酸0.0125mol/L(pH1〜2)
上記実施例1、2と同様に、図1の(1)〜(4)の工程を経た基板(10cm角,めっきパターン率0.3)を水洗した後、カソード分極したまま、上記組成の液に浸漬した。通電された電気量が0.1mC/cm2となった時点(約0.02mA/cm2×5秒)で、定電流設定で電流密度を0.5A/cm2に上げ、30分間、電解を継続した。その後、基板を液から取り出し水洗した。さらに、図1に示す(6)〜(8)の工程を通した。(5)以外の工程条件は、一般的な公知のものである。
2・・・無電解銅めっきによる導電処理層
3・・・めっきレジスト
4・・・パターン電気銅めっき
5・・・本発明の有機皮膜
6・・・絶縁樹脂
7・・・銅酸化物層
Claims (6)
- 導電処理された樹脂基板表面にレジストをコーティングし、必要なパターンの部分のみレジストを開口して、めっき液に浸漬し、必要なパターンの部分のみに金属を析出させるパターン電気めっき工程を経て製造される配線基板の製造方法において、前記パターン電気めっき工程の直後にパターン電気めっきされた金属表面を電気化学的に還元する工程と、前記金属表面に有機皮膜を被覆させる工程とを同一の液中で連続して行うことを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記金属が銅であることを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記金属表面を電気化学的に還元する工程が、pH9以下の水溶液中で行われることを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。
- 前記酸化物層を還元した後の酸化物の残渣の厚さが1nm以下であることを特徴とする請求項1ないし3に記載の配線基板の製造方法。
- 前記有機皮膜を、金属表面への吸着、金属表面の触媒活性による重合、金属表面への電気化学的還元析出のいずれかの機構によって、金属表面に直接被覆させることを特徴とする請求項1ないし4に記載の配線基板の製造方法。
- 請求項1ないし5に記載の製造方法を用いて製造された配線基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP4363115B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100922810B1 (ko) | 2007-12-11 | 2009-10-21 | 주식회사 잉크테크 | 흑화 전도성 패턴의 제조방법 |
JP5667927B2 (ja) * | 2011-05-20 | 2015-02-12 | 富士フイルム株式会社 | マイグレーション抑制層形成用処理液、および、マイグレーション抑制層を有する積層体の製造方法 |
JP6559046B2 (ja) | 2015-11-04 | 2019-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | パターン形成方法 |
JP6708264B2 (ja) * | 2016-12-21 | 2020-06-10 | 株式会社村田製作所 | 電子部品内蔵基板の製造方法、電子部品内蔵基板、電子部品装置及び通信モジュール |
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JP2005057026A (ja) | 2005-03-03 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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