JP4361479B2 - 半導体光学素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
メサ型構造の量子ドット素子は、図10(a)に示すように、例えばInP系半導体をエピタキシャル成長してなり、なだらかな側壁を有する突起状の半導体基体101を備え、突起部位に単一光子を発生させる量子ドット102が埋め込まれて構成されている。
ピラー型構造の量子ドット素子は、図10(b)に示すように、同様に例えばInP系半導体をエピタキシャル成長してなり、急峻な側壁を有する突起状の半導体基体103を備え、突起部位に単一光子を発生させる量子ドット102が埋め込まれて構成されている。
本発明者は、極微細構造の半導体突起構造に容易且つ正確に集光手段を設けるべく鋭意検討し、形成された極微細構造に対して集光手段を位置合わせして配する手法では、必然的にその精度に限界があることに鑑み、言わば半導体突起構造と集光手段との形成工程の順序を逆にし、先ず集光手段を所期のレンズ形状にパターン形成した後、下層の半導体材料層を集光手段と自己整合させて加工する手法に想到した。
以下、本発明を適用した具体的な諸実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。
本実施形態では、本発明を量子ドット素子に適用した場合について例示する。ここでは便宜上、量子ドット素子の構成をその製造方法と共に説明する。
先ず、半導体突起構造を形成するための各層を積層形成する。
具体的には、図1(a)に示すように、半導体基板1上に、エッチングストッパー膜2を介して半導体層3、量子ドット層4、半導体層5、バッファー層6、及びレンズ材料層7を順次成膜する。
エッチングストッパー膜2は、後述するように半導体基板1を裏面からエッチングする際のストッパーとして機能するものであり、例えばInGaAsPを材料として例えば膜厚50nm程度に形成される。
具体的には、図1(b)に示すように、レンズ材料層7上にレジストを塗布し、リソグラフィーにより、形成すべき所期のレンズ形状にこのレジストを加工して、レンズ形状のレジストパターン8を形成する。その後、レンズ形成時の耐熱性を考慮して、アロイ炉を用いて350℃で数十分間マスク8をベーキングする。このレジストパターン8は、後述するソリッド・イマージョン・レンズと略同一のサイズであるため、その下層に存する量子ドット層4の量子ドット4aを複数内包するように形成される。
具体的には、図1(c)に示すように、レジストパターン8をマスクとして用い、例えばイオンビームエッチング法によりArガスを用いて最適な入射角度でレンズ材料層7を数時間エッチングし、加工する。このとき、レジストパターン8がエッチングされて消失するまでエッチングすることにより、レジストパターン8の形状・サイズに倣ってレンズ材料層7が加工され、バッファー層6上に半球状のソリッド・イマージョン・レンズ9が形成される。このとき、ソリッド・イマージョン・レンズ9の仕上がり寸法としては、例えば優位なレンズ効果が見込める波長(λ=1.55μmとした場合)の4倍の直径となる約6μm強とする。
具体的には、図1(d)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ9をマスクとして、例えばHF系のエッチャントを含むエッチング液を用いてバッファー層6をウェットエッチング(ケミカルエッチング)し、ソリッド・イマージョン・レンズ9よりも幅狭、ここでは例えば直径1.5μm程度となるようにバッファー層6を残存させる。このとき、バッファー層6は、その下層に内包する量子ドット4aの数がソリッド・イマージョン・レンズ9よりも少数に絞り込まれる。
具体的には、図1(e)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ9及びバッファー層6をマスクとして、例えばHCl系のエッチャントを含むエッチング液を用いて半導体層3,5及び量子ドット層4をウェットエッチングする。このとき、バッファー層6よりも更に幅狭に、バッファー層6の下部に唯一つの量子ドット4aが位置するまで幅狭となるように半導体層3の上部、半導体層5、及び量子ドット層4を細らせる。これにより、バッファー層6下に、半導体層3,5内に唯一つの量子ドット4aを有する量子ドット層4が埋設され、ソリッド・イマージョン・レンズ9の光軸と略同軸となる例えば直径200nm程度で高さ600nm程度の半導体突起構造11が、ソリッド・イマージョン・レンズ9及びバッファー層6と自己整合的に形成される。ここで、半導体突起構造11は、エッチングストッパー膜2上を覆う半導体層3から起立するように形成されることになる。
具体的には、図2(a)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ9上から半導体突起構造11の周辺部位にかけて覆うように、光子に対して透明な材料、ここではSiO2を例えば膜厚1μm程度に堆積し、補強部材12を形成する。この補強部材12により、半導体突起構造11上にこれより幅広の比較的大きなソリッド・イマージョン・レンズ9が載置接続された形の力学的に不安定な構造体が安定に保持される。またこの場合、半導体突起構造11の側面と補強部材12の内壁面との間には空隙13が形成される。この空隙13内を可及的に真空状態とすることにより、極めて効率良く発光を行うことができる。
具体的には、半導体基板1のソリッド・イマージョン・レンズ9側を所定のレジストを用いて研磨治具に貼り付け、自動研磨装置により基板厚が100μm程度になるまで削り込む。このとき、次工程を考慮して、半導体基板1の裏面を鏡面状に平坦化する。
具体的には、図2(b)に示すように、先ず、半導体基板1の裏面にマスク材料膜14を形成する。マスク材料膜14は、例えばSiO2を材料としてLP−CVD法により膜厚200nm程度に成膜される。次に、マスク材料膜14上にレジストを塗布し、リソグラフィーによりレジストを加工して、半導体突起構造11を囲むように開口する形状のレジストパターン15を形成する。
具体的には、図2(c)に示すように、レジストパターン15をマスクとして、例えばHF系のエッチャントを含むエッチング液を用いてマスク材料膜14をウェットエッチングし、半導体基板1の裏面上に、レジストパターン15に倣って半導体突起構造11を囲むように開口する形状のマスク16を形成する。
具体的には、図2(d)に示すように、先ずマスク16を用い、エッチングストッパー膜2をストッパーとして、例えばHCl系のエッチャントを含むエッチング液を用いて半導体基板1の裏面をウェットエッチングして削り込む。
次に、残存した半導体基板1をマスクとして、例えばH2SO4系のエッチャントを含むエッチング液を用いてエッチングストッパー膜2をウェットエッチングし、エッチングストッパー膜2を除去する。
具体的には、図2(e)に示すように、半導体基板1の裏面を含む半導体層3の裏面を覆うように光反射膜17を成膜する。光反射膜17は、イオンアシスト蒸着法によりSiO2膜(膜厚:((λ/4)n=(1.55/4)×1.45=267nm程度)、アモルファスシリコン膜(膜厚:(λ/4)n=(1.55/4)×3.5=110nm程度)を順次積層した2層構造に形成される。この光反射膜17により、外部からの入射光を効率良く取り入れることができ、光子の取り出し効率を可及的に向上させることが可能となる。
ここで、第1の実施形態の諸変形例について説明する。説明の便宜上、第1の実施形態で説明した構成部材等については同符号を記す。
図3及び図4は、第1の実施形態の変形例1による量子ドット素子の製造方法を工程順に示す概略断面図である。
先ず、半導体突起構造を形成するための各層を積層形成する。
具体的には、図3(a)に示すように、半導体基板1上に、エッチングストッパー膜2を介して半導体層3、量子ドット層4、半導体層5、バッファー層6、及びレンズ材料層7を順次成膜する。
エッチングストッパー膜2は、後述するように、半導体層3をエッチングする際、及び半導体基板1を裏面からエッチングする際のストッパーとして機能するものであり、例えばInGaAsPを材料として例えば膜厚50nm程度に形成される。
具体的には、図3(b)に示すように、レンズ材料層7上にレジストを塗布し、リソグラフィーにより、形成すべき所期のレンズ形状にこのレジストを加工して、レンズ形状のレジストパターン8を形成する。その後、レンズ形成時の耐熱性を考慮して、アロイ炉を用いて350℃で数十分間マスク8をベーキングする。このレジストパターン8は、後述するソリッド・イマージョン・レンズと略同一のサイズであるため、その下層に存する量子ドット層4の量子ドット4aを複数内包するように形成される。
具体的には、図3(c)に示すように、レジストパターン8をマスクとして用い、例えばイオンビームエッチング法によりArガスを用いて最適な入射角度でレンズ材料層7を数時間エッチングし、加工する。このとき、レジストパターン8がエッチングされて消失するまでエッチングすることにより、レジストパターン8の形状・サイズに倣ってレンズ材料層7が加工され、バッファー層6上に半球状のソリッド・イマージョン・レンズ9が形成される。このとき、ソリッド・イマージョン・レンズ9の仕上がり寸法としては、例えば優位なレンズ効果が見込める波長(λ=1.55μmとした場合)の4倍の直径となる約6μm強とする。
具体的には、図3(d)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ9をマスクとして、例えばHF系のエッチャントを含むエッチング液を用いてバッファー層6をウェットエッチング(ケミカルエッチング)し、ソリッド・イマージョン・レンズ9よりも幅狭、ここでは例えば直径1.5μm程度となるようにバッファー層6を残存させる。このとき、バッファー層6は、その下層に内包する量子ドット4aの数がソリッド・イマージョン・レンズ9よりも少数に絞り込まれる。
具体的には、図3(e)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ9及びバッファー層6をマスクとして、例えばHCl系のエッチャントを含むエッチング液を用いて半導体層3,5及び量子ドット層4をウェットエッチングする。このとき、バッファー層6よりも更に幅狭に、バッファー層6の下部に唯一つの量子ドット4aが位置するまで幅狭となるように半導体層3,5量子ドット層4を細らせる。これにより、バッファー層6下に、半導体層3,5内に唯一つの量子ドット4aを有する量子ドット層4が埋設され、ソリッド・イマージョン・レンズ9の光軸と略同軸となる例えば直径200nm程度で高さ600nm程度の半導体突起構造11が、ソリッド・イマージョン・レンズ9及びバッファー層6と自己整合的に形成される。ここで、半導体突起構造11は、エッチングストッパー膜2上に起立するように形成されることになる。
具体的には、図4(a)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ9上から半導体突起構造11の周辺部位にかけて覆うように、光子に対して透明な材料、ここではSiO2を例えば膜厚1μm程度に堆積し、補強部材12を形成する。この補強部材12により、半導体突起構造11上にこれより幅広の比較的大きなソリッド・イマージョン・レンズ9が載置接続された形の力学的に不安定な構造体が安定に保持される。またこの場合、半導体突起構造11の側面と補強部材12の内壁面との間には空隙13が形成される。この空隙13内を可及的に真空状態とすることにより、極めて効率良く発光を行うことができる。
具体的には、半導体基板1のソリッド・イマージョン・レンズ9側を所定のレジストを用いて研磨治具に貼り付け、自動研磨装置により基板厚が100μm程度になるまで削り込む。このとき、次工程を考慮して、半導体基板1の裏面を鏡面状に平坦化する。
具体的には、図4(b)に示すように、先ず、半導体基板1の裏面にマスク材料膜14を形成する。マスク材料膜14は、例えばSiO2を材料としてLP−CVD法により膜厚200nm程度に成膜される。次に、マスク材料膜14上にレジストを塗布し、リソグラフィーによりレジストを加工して、半導体突起構造11を囲むように開口する形状のレジストパターン15を形成する。
具体的には、図4(c)に示すように、レジストパターン15をマスクとして、例えばHF系のエッチャントを含むエッチング液を用いてマスク材料膜14をウェットエッチングし、半導体基板1の裏面上に、レジストパターン15に倣って半導体突起構造11を囲むように開口する形状のマスク16を形成する。
具体的には、図4(d)に示すように、先ずマスク16を用い、エッチングストッパー膜2をストッパーとして、例えばHCl系のエッチャントを含むエッチング液を用いて半導体基板1の裏面をウェットエッチングして削り込む。
次に、残存した半導体基板1をマスクとして、例えばH2SO4系のエッチャントを含むエッチング液を用いてエッチングストッパー膜2をウェットエッチングし、エッチングストッパー膜2を除去する。このとき、補強部材12の空隙13から半導体突起構造11が露出し、半導体突起構造11の側面から下面にかけて空隙13が広がった形となる。このように、空隙13の領域を拡張させることにより、入射光が更に逃げ難い構造となり、光子の取り出し効率が向上する。
本変形例では、第1の実施形態と同様に量子ドット素子を開示するが、光反射膜の成膜範囲が異なる点で相違する。
変形例2では、先ず変形例1の図3及び図4に示した各工程を全て行う。即ち、図4(d)の工程により、補強部材12の空隙13から半導体突起構造11が露出し、半導体突起構造11の側面から下面にかけて空隙13が広がった形とされる。
具体的には、図5に示すように、補強部材12の空隙13から露出する半導体突起構造11に対して、空隙13内で半導体突起構造11を覆うように、光反射膜18を成膜する。光反射膜17は、イオンアシスト蒸着法によりSiO2膜(補強部材12の下面における膜厚:((λ/4)n=(1.55/4)×1.45=267nm程度)、アモルファスシリコン膜(補強部材12の下面における膜厚:(λ/4)n=(1.55/4)×3.5=110nm程度)を順次積層した2層構造に形成される。この光反射膜18により、外部からの入射光を更に効率良く取り入れることができ、光子の取り出し効率を可及的に向上させることが可能となる。
本実施形態では、本発明を、微弱な放射光を通常使用される尺度の電気信号として供給するデバイスである光ディテクタ素子に適用した場合について例示する。ここでは便宜上、光ディテクタ素子の構成をその製造方法と共に説明する。
先ず、半導体突起構造を形成するための各層を積層形成する。
具体的には、図6(a)に示すように、半導体基板21上に、エッチングストッパー膜22を介してpin層24、バッファー層25、及びレンズ材料層26を順次成膜する。
エッチングストッパー膜22は、後述するように、pin層24をエッチングする際のストッパーとして機能するものであり、例えばn−InPを材料として例えば膜厚2000nm程度に形成される。
具体的には、図6(b)に示すように、レンズ材料層26上にレジストを塗布し、リソグラフィーにより、形成すべき所期のレンズ形状にこのレジストを加工して、レンズ形状のレジストパターン27を形成する。その後、レンズ形成時の耐熱性を考慮して、アロイ炉を用いて350℃で数十分間マスク27をベーキングする。
具体的には、図6(c)に示すように、レジストパターン27をマスクとして用い、例えばイオンビームエッチング法によりArガスを用いて最適な入射角度でレンズ材料層7を数時間エッチングし、加工する。このとき、レジストパターン27がエッチングされて消失するまでエッチングすることにより、レジストパターン27の形状・サイズに倣ってレンズ材料層26及びバッファー層25が加工され、pin層24上に円盤状のバッファー層25を介して半球状のソリッド・イマージョン・レンズ28が形成される。このとき、ソリッド・イマージョン・レンズ28の仕上がり寸法としては、例えば優位なレンズ効果が見込める波長(λ=1.55μmとした場合)の4倍の直径となる約6μm強とする。
具体的には、図6(d)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ28及びバッファー層25をマスクとして、例えばH2SO4(硫酸)系のエッチャントを含むエッチング液を用いて、pin層24をウェットエッチングする。このとき、ソリッド・イマージョン・レンズ28よりも幅狭に、バッファー層25の下部で所期の幅狭となるようにpin層24を細らせる。これにより、バッファー層25下に、pin層24からなる受光部29を有し、ソリッド・イマージョン・レンズ28の光軸と略同軸となる例えば直径200nm程度で高さ600nm程度の半導体突起構造31が、ソリッド・イマージョン・レンズ28及びバッファー層25と自己整合的に形成される。ここで、半導体突起構造31は、エッチングストッパー膜22上に起立するように形成されることになる。
具体的には、図6(e)に示すように、ソリッド・イマージョン・レンズ28上から半導体突起構造31の周辺部位にかけて覆うように、光子に対して透明な材料、ここではSiO2を例えば膜厚1μm程度に堆積し、補強部材32を形成する。この補強部材32により、半導体突起構造31上にこれより幅広の比較的大きなソリッド・イマージョン・レンズ28が載置接続された形の力学的に不安定な構造体が安定に保持される。またこの場合、半導体突起構造31の側面と補強部材32の内壁面との間には空隙33が形成される。この空隙33内を可及的に真空状態とすることにより、極めて効率良く集光を行うことができる。
具体的には、図7(a)に示すように、全面にレジストを塗布し、このレジストをリソグラフィーにより加工して、バッファー層25の一端に相当する補強部材32の表面の一部を露出させる開口34aを有するレジストパターン34を形成する。
具体的には、図7(b)に示すように、先ずレジストパターン34をマスクとして、p層24aの表面の一部が露出するまで補強部材32をエッチングする。次に、レジストパターン34上に電極材料膜35を形成する。このとき、開口34aにも電極材料膜35が堆積され、バッファー層25の一端と接続される接続部36が形成される。その後、レジストパターン34及びその上の電極材料膜35を除去する。このとき、導電性のバッファー層25を介してp層24aと電気的に接続された接続部36が残存することになる。ここで、電極材料膜35は、例えば(EB)蒸着法により、Ti膜35a(膜厚100nm程度)及びAu膜35b(膜厚200nm程度)が積層形成されてなるものである。
具体的には、図8に示すように、全面にレジストを塗布し、このレジストをリソグラフィーにより加工して、接続部36の表面の一部を露出させる開口41aを有するレジストパターン41を形成する。そして、レジストパターン41上に電極材料膜37を形成する。このとき、レジストパターン41の開口41aにも電極材料膜37が堆積され、接続部36の一端と接続される引き出し電極38が形成される。ここで、電極材料膜37は、例えば(EB)蒸着法により、Ti膜37a(膜厚100nm程度)及びAu膜37b(膜厚300nm程度)が積層形成されてなるものである。
具体的には、図9に示すように、先ず、レジストパターン及びその上の電極材料膜37を除去する。このとき、接続部36及びバッファー層25を介してp層24aと電気的に接続された引き出し電極38が残存することになる。
次に、半導体基板21の裏面を例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、所定の厚みとなるまで研磨する。
そして、半導体基板21の裏面上に金属膜39を形成する。金属膜39は、例えば(抵抗加熱)蒸着法により、AuGe膜39a(膜厚100nm程度)及びAu膜39b(膜厚300nm程度)が積層形成されてなるものである。
しかる後、種々の配線や層間膜の形成等の後工程を経て、第2の実施形態による光ディテクタ素子を完成させる。
前記半導体突起構造と同軸の光軸を有し、前記光子授受体と整合する位置に形成されてなる集光手段と
を含むことを特徴とする半導体光学素子。
前記半導体突起構造上で前記p層と電気的に接続された第1の電極と、
前記半導体基板下で前記n層と電気的に接続された第2の電極と
を更に含むことを特徴とする付記5に記載の半導体光学素子。
前記半導体材料層上に集光材料層を形成する工程と、
前記集光材料層上に、当該集光材料層の下方に前記複数の前記量子ドットのうちの少なくとも1つを内包するようにレンズ形状のマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンを用いて前記集光材料層を加工し、前記レンズ形状の集光手段を形成する工程と、
前記集光手段をマスクとして前記半導体材料層を加工し、前記集光手段に自己整合するように、単一の光子を発生する機能を有する前記量子ドットを1つ含む半導体突起構造を形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体光学素子の製造方法。
前記半導体材料層上に集光材料層を形成する工程と、
前記集光材料層上にレンズ形状のマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンを用いて前記集光材料層を加工し、前記レンズ形状の集光手段を形成する工程と、
前記集光手段をマスクとして前記半導体材料層を加工し、前記集光手段に自己整合するように、光子を受光して検出する機能を有する半導体光検出体を含む半導体突起構造を形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体光学素子の製造方法。
2,22 エッチングストッパー膜
3,5 半導体層
4 量子ドット層
4a 量子ドット
6,25 バッファー層
7,26 レンズ材料層
8,15,27,34 レジストパターン
9,28 ソリッド・イマージョン・レンズ
11,31 半導体突起構造
12,32 補強部材
13,33 空隙
14 マスク材料膜
16 マスク
17,18 光反射膜
24 pin層
24a p層
24b i層
24c n層
29 受光部
35,37 電極材料膜
36 接続部
38 引き出し電極
39 金属膜
Claims (8)
- 半導体材料からなり、光子の授受を行う光子授受体を有する半導体突起構造と、
前記半導体突起構造と同軸の光軸を有し、前記光子授受体と整合する位置に形成されてなる集光手段と、
前記集光手段を覆うと共に前記半導体突起構造を囲むように形成されてなる、光透過性の材料からなる補強部材と
を含み、
前記半導体突起構造と前記補強部材との間に空隙が形成されていることを特徴とする半導体光学素子。 - 前記光子授受体は、単一の光子を発生する機能を有する量子ドットであることを特徴とする請求項1に記載の半導体光学素子。
- 前記光子授受体は、光子を受光し検出する機能を有する半導体光検出体であることを特徴とする請求項1に記載の半導体光学素子。
- 前記柱状構造の下部に光反射膜が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体光学素子。
- 複数の量子ドットが並列形成されてなる量子ドット層を埋設するように半導体材料層を形成する工程と、
前記半導体材料層上に集光材料層を形成する工程と、
前記集光材料層上に、当該集光材料層の下方に前記複数の前記量子ドットのうちの少なくとも1つを内包するようにレンズ形状のマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンを用いて前記集光材料層を加工し、前記レンズ形状の集光手段を形成する工程と、
前記集光手段をマスクとして前記半導体材料層を加工し、前記集光手段に自己整合するように、単一の光子を発生する機能を有する前記量子ドットを1つ含む半導体突起構造を形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体光学素子の製造方法。 - 前記半導体突起構造を形成するに際して、前記集光手段をマスクとしたウェットエッチングを行い、前記集光手段の幅よりも細く前記量子ドットが1つとなるまで前記半導体材料層を加工することを特徴とする請求項5に記載の半導体光学素子の製造方法。
- 前記集光手段を覆うと共に前記量子ドットを囲むように、光透過性の材料からなる補強部材を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の半導体光学素子の製造方法。
- i層をp層とn層とで挟持してなるpin接合体層を含む半導体材料層を形成する工程と、
前記半導体材料層上に集光材料層を形成する工程と、
前記集光材料層上にレンズ形状のマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンを用いて前記集光材料層を加工し、前記レンズ形状の集光手段を形成する工程と、
前記集光手段をマスクとして前記半導体材料層を加工し、前記集光手段に自己整合するように、光子を受光して検出する機能を有する半導体光検出体を含む半導体突起構造を形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004377459A JP4361479B2 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 半導体光学素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004377459A JP4361479B2 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 半導体光学素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186084A JP2006186084A (ja) | 2006-07-13 |
JP4361479B2 true JP4361479B2 (ja) | 2009-11-11 |
Family
ID=36738981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004377459A Expired - Fee Related JP4361479B2 (ja) | 2004-12-27 | 2004-12-27 | 半導体光学素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4361479B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5241090B2 (ja) | 2006-10-04 | 2013-07-17 | 富士通株式会社 | 集光装置および単一光子発生装置 |
CN105423172A (zh) * | 2016-01-13 | 2016-03-23 | 中国计量学院 | 一种基于量子点的色温可调led灯 |
CN107942584A (zh) * | 2017-12-11 | 2018-04-20 | 南通惟怡新材料科技有限公司 | 一种具有隐形微透镜扩散结构的量子点薄膜 |
-
2004
- 2004-12-27 JP JP2004377459A patent/JP4361479B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
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