JP4360217B2 - Droplet application method and electro-optical device manufacturing method - Google Patents

Droplet application method and electro-optical device manufacturing method Download PDF

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Description

本発明は、液滴付与方法および電気光学装置の製造方法に関する。 The present invention relates to the production how droplet applying method and an electro-optical device.

インクジェット装置を用いて、色要素（画素）となるべき区画が形成された基体上の各区画にインク等の液状材料を付与することが知られている。例えば、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成することが知られている（例えば特許文献１参照）。   It is known to apply a liquid material such as ink to each section on a substrate on which a section to be a color element (pixel) is formed using an ink jet apparatus. For example, it is known to form filter elements of a color filter substrate by using an ink jet device or light emitting portions arranged in a matrix in a matrix display device (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に記載された方法では、色要素の長軸方向と平行またはやや傾斜した方向に沿って配列されたノズル列を有するインクジェットヘッドを、色要素の長軸方向と直交する方向に相対的に移動しつつ、各色要素にインク滴を付与する。この場合、各ノズルからは、一つの色要素につき一滴のインク滴を付与する（特許文献１の段落番号０００２および００１９参照）。
しかしながら、大型テレビ用などの大型の表示装置を製造する場合には、各色要素も大きくなるので、特許文献１に記載されたような方法では、色要素全体に必要量のインクを行き渡らせることができず、製造するのが困難であった。 In the method described in Patent Document 1, an inkjet head having nozzle rows arranged along a direction that is parallel or slightly inclined with respect to the major axis direction of the color element is relative to the direction orthogonal to the major axis direction of the color element. Ink droplets are applied to each color element while moving to. In this case, from each nozzle, one ink drop is applied to one color element (see paragraph numbers 0002 and 0019 of Patent Document 1).
However, when manufacturing a large display device for a large television or the like, each color element also becomes large. Therefore, in the method described in Patent Document 1, a necessary amount of ink can be spread over the entire color element. It was not possible to manufacture.

特開平９−１０１４１２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-101212

本発明の目的は、基体上に形成すべき色要素が比較的大きい場合であっても容易に色要素を形成することができる液滴付与方法および電気光学装置の製造方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a manufacturing how droplet applying method and an electro-optical device capable of forming a readily color element even when the color elements to be formed on the substrate is relatively large is there.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴付与方法は、色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、色要素形成用の液状材料を前記ノズルから液滴として吐出して前記区画に付与する吐出走査を複数回行う液滴付与方法であって、
前記液滴吐出手段は、複数のノズルが前記区画の長軸方向に沿って並んだ少なくとも一列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドを少なくとも一つ備え、前記長軸方向のノズルピッチが前記区画の前記長軸方向の長さより短くなるように構成されており、
前記基体と前記液滴吐出手段とを前記長軸方向とほぼ直交する短軸方向に相対的に移動させ、一つの前記区画につき前記長軸方向の位置が互いに異なる複数のノズルからそれぞれ液滴を複数回吐出し、かつ、同じノズルから吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドットが前記長軸方向とほぼ直交する短軸方向に沿ってつながるような間隔で液滴を付与するとともに、液滴が着弾してなるドットが、その液滴を吐出したノズルと前記長軸方向の距離が最も近い別のノズルから吐出された液滴が着弾してなるドットと前記長軸方向に関して重ならないようにして液滴を付与する第１の吐出走査を行う工程と、
前記基体と前記液滴吐出手段とを前記短軸方向に相対的に移動させ、一つの前記区画につき前記長軸方向の位置が互いに異なる複数のノズルからそれぞれ液滴を少なくとも１回吐出し、かつ、それらの液滴の前記短軸方向に関する着弾位置が前記第１の吐出走査での着弾位置よりも前記短軸方向に関して前記区画の中心寄りで、前記第１の吐出走査で液滴を付与した各位置とほぼ同じ位置に重ねて液滴を付与する第２の吐出走査を行う工程とを有することを特徴とする。 Such an object is achieved by the present invention described below.
The droplet application method of the present invention is a method for forming a color element by relatively moving a substrate on which a plurality of sections to be color elements are formed and a droplet discharge means having a plurality of nozzles for discharging droplets. A liquid droplet applying method in which the liquid material is discharged as droplets from the nozzle and applied to the compartments a plurality of times.
The droplet discharge means includes at least one droplet discharge head having at least one nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged along the major axis direction of the partition, and the nozzle pitch in the major axis direction is the nozzle pitch of the partition. It is configured to be shorter than the length in the major axis direction,
The substrate and the droplet discharge means are relatively moved in a short axis direction substantially orthogonal to the long axis direction, and droplets are respectively discharged from a plurality of nozzles having different positions in the long axis direction for each of the sections. A plurality of droplets are ejected a plurality of times, and a plurality of dots formed by landing a plurality of droplets ejected from the same nozzle are applied with a droplet at an interval such that the dots are connected along a minor axis direction substantially orthogonal to the major axis direction. In addition, the dots formed by the droplets are related to the dots formed by the droplets discharged from another nozzle having the shortest distance in the major axis direction from the nozzle that ejected the droplets and the major axis direction. Performing a first ejection scan for applying droplets without overlapping ,
The substrate and the droplet discharge means are relatively moved in the minor axis direction, each droplet is ejected at least once from a plurality of nozzles having different positions in the major axis direction for each of the sections; and The liquid droplets were applied in the first discharge scanning, with the landing positions of the liquid droplets in the short axis direction being closer to the center of the section in the short axis direction than the landing positions in the first discharge scanning. And a step of performing a second ejection scan in which droplets are applied at substantially the same position as each position .

これにより、基体上に形成された色要素となるべき区画が比較的大きい場合であっても、その区画に色要素を形成するために必要な量の液状材料を少ない走査回数で迅速かつ確実に付与することができ、また、付与した液状材料を区画の全域に余すところなく、かつ均一に濡れ広がらせる（行き渡らせる）ことができる。よって、容易に色要素を形成することができるとともに、形成する色要素の膜厚を区画全体に均一にすることができる。さらに、第２の吐出走査において吐出した液滴が着弾した際に飛沫が飛び跳ねた場合であっても、その飛沫が隣の区画まで到達するのを有効に防止することができ、混色の発生を有効に防止することができる。   Thus, even when the section to be a color element formed on the substrate is relatively large, the amount of liquid material necessary for forming the color element in the section can be quickly and reliably obtained with a small number of scans. In addition, the applied liquid material can be uniformly wetted and spread (spread) without leaving the whole area of the compartment. Therefore, color elements can be easily formed, and the thickness of the color elements to be formed can be made uniform over the entire section. Furthermore, even when the droplets ejected in the second ejection scan land, the splashes can be effectively prevented from reaching the adjacent section, and color mixing can be prevented. It can be effectively prevented.

本発明の液滴付与方法では、前記第２の吐出走査では、同じノズルから吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドットが前記短軸方向に沿ってつながるような間隔で液滴を付与することが好ましい。
これにより、上記効果がより顕著に発揮される。
本発明の液滴付与方法では、前記第１の吐出走査では、前記各区画に形成される複数のドットのうちの当該区画の最も短辺側に位置するドットは、その外周が前記短辺に接したものとなり、最も長辺側に位置するドットは、その外周が前記長辺から離間したものとなるように液滴を付与することが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記複数のノズルから吐出された液滴が着弾してなる複数のドットは、それぞれ、平面視で円形をなすものであり、その直径を予め実験および／または理論計算により求めておくことが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記第１の吐出走査と前記第２の吐出走査とでは、一つの前記区画につき各ノズルから吐出される液滴の吐出回数が異なることが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記基体と前記液滴吐出手段とを前記短軸方向に相対的に往復させ、その往路と復路とでそれぞれ吐出走査を行うことが好ましい。
これにより、さらに効率良く迅速に各区画に液状材料を付与することができる。 In the droplet application method of the present invention, in the second ejection scan, the droplets are spaced at intervals such that a plurality of dots formed by landing of a plurality of droplets ejected from the same nozzle are connected along the minor axis direction. Is preferably given.
Thereby, the said effect is exhibited more notably.
In the droplet application method of the present invention, in the first ejection scanning, the dot located on the shortest side of the section among the plurality of dots formed in each section has an outer periphery on the short side. It is preferable that the dots that are in contact with each other and are located on the longest side are applied with droplets so that the outer periphery thereof is separated from the long side.
In the droplet application method of the present invention, the plurality of dots formed by the droplets ejected from the plurality of nozzles each form a circle in plan view, and the diameter thereof is experimentally and / or theoretically determined in advance. It is preferable to obtain by calculation.
In the droplet application method of the present invention, it is preferable that the first ejection scan and the second ejection scan differ in the number of ejections of droplets ejected from each nozzle per one section.
In the droplet applying method of the present invention, it is preferable that the substrate and the droplet discharge means are reciprocated relatively in the minor axis direction, and discharge scanning is performed respectively in the forward path and the return path.
Thereby, a liquid material can be provided to each division more efficiently and rapidly.

本発明の液滴付与方法では、一往復または複数往復の吐出走査により、一つの基体に対する液滴の付与を終了することが好ましい。
これにより、極めて効率良く迅速に各区画に液状材料を付与することができる。
本発明の液滴付与方法では、２回目以降の吐出走査においては、前記液滴吐出手段と前記基体との相対位置を前回の吐出走査の際と比べて前記長軸方向に所定量ずらすことにより、同じ区画に対して前回の吐出走査の際と異なるノズルから液滴を吐出することが好ましい。
これにより、液滴吐出ヘッドにおける各ノズル間で吐出量に多少のバラツキがあっても、各区画に付与する液状材料の量を均一にすることができる。
本発明の液滴付与方法では、前記各区画には、それぞれ、その角部の１つが当該区画の内側に向かって引っ込んだ部分が形成され、該部分では、前記区画の幅が狭くなっており、
前記第１の吐出走査では、前記区画の幅が狭くなった部分での前記短軸方向の前記ドット同士の間隔は、前記区画の前記幅が狭くなった部分を除く部分での前記短軸方向の前記ドット同士の間隔と同じことが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記各区画には、それぞれ、その角部の１つが当該区画の内側に向かって引っ込んだ部分が形成され、該部分では、前記区画の幅が狭くなっており、
前記第１の吐出走査では、前記区画の幅が狭くなった部分での前記短軸方向の前記ドットの形成数は、前記区画の前記幅が狭くなった部分を除く部分での前記短軸方向の前記ドットの形成数と異なることが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記液滴吐出ヘッドは、前記区画の長軸方向に隣接する前記ノズル同士のノズルピッチが同じであり、前記区画の短軸方向に複数列配置された前記ノズル列を有し、隣接する前記ノズル列同士では、一方の前記ノズル列が他方の前記ノズル列に対して前記ノズルピッチよりも小さい範囲内で前記長軸方向にずれて配置されていることが好ましい。
本発明の液滴付与方法では、前記ノズル列において、その一端側に位置する前記ノズルから他端側に位置する前記ノズルまでの長さは、前記基板の前記長軸方向の長さよりも長いことが好ましい。 In the droplet application method of the present invention, it is preferable that the application of the droplet to one substrate is completed by one or more reciprocating discharge scans.
Thereby, a liquid material can be provided to each division very efficiently and rapidly.
In the droplet application method of the present invention, in the second and subsequent ejection scans, the relative position between the droplet ejection means and the substrate is shifted by a predetermined amount in the major axis direction compared to the previous ejection scan. It is preferable to eject droplets from the nozzles different from the previous ejection scan to the same section.
Thereby, even if there is some variation in the discharge amount between the nozzles in the droplet discharge head, the amount of liquid material applied to each section can be made uniform.
In the droplet applying method according to the present invention, each of the sections is formed with a portion in which one of the corners is recessed toward the inside of the section, and the width of the section is narrowed in the portion. ,
In the first ejection scanning, the interval between the dots in the minor axis direction in the portion where the width of the section is narrowed is the minor axis direction in the portion excluding the portion where the width of the section is narrowed. The distance between the dots is preferably the same.
In the droplet applying method according to the present invention, each of the sections is formed with a portion in which one of the corners is recessed toward the inside of the section, and the width of the section is narrowed in the portion. ,
In the first ejection scanning, the number of dots formed in the minor axis direction in the portion where the width of the section is narrowed is equal to the minor axis direction in the portion excluding the portion where the width of the section is narrowed. It is preferable that the number is different from the number of dots formed.
In the droplet application method of the present invention, in the droplet discharge head, the nozzle pitch of the nozzles adjacent in the major axis direction of the section is the same, and the nozzles arranged in a plurality of rows in the minor axis direction of the section It is preferable that in the adjacent nozzle rows that have a row, one of the nozzle rows is displaced in the major axis direction within a range smaller than the nozzle pitch with respect to the other nozzle row. .
In the droplet application method of the present invention, in the nozzle row, the length from the nozzle located on one end side to the nozzle located on the other end side is longer than the length of the substrate in the major axis direction. Is preferred.

本発明の電気光学装置の製造方法は、本発明の液滴付与方法を用いて基体上の複数の区画に色要素を形成して色要素付き基板を製造する工程を有することを特徴とする。
これにより、電気光学装置の製造を効率良く迅速に行うことができる。 The electro-optical device manufacturing method of the present invention includes a step of manufacturing a color element-attached substrate by forming color elements in a plurality of sections on a substrate using the droplet applying method of the present invention.
Thus, Ru can be performed for manufacturing an electro-optical device efficiently and quickly.

以下、本発明の液滴付与方法および電気光学装置の製造方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜液滴吐出装置の第１実施形態＞
（液滴吐出装置の全体構成）
図１に示すように、液滴吐出装置１００は、液状材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１から液状材料１１１が供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２は、複数の液滴吐出ヘッド１１４をキャリッジ１０５に搭載してなる液滴吐出手段１０３と、液滴吐出手段１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４（移動手段）と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８（移動手段）と、制御手段１１２とを備えている。タンク１０１と、液滴吐出手段１０３における複数の液滴吐出ヘッド１１４とは、チューブ１１０で連結されており、タンク１０１から複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれに液状材料１１１が圧縮空気によって供給される。 Will be described in detail with reference to the preferred embodiment showing a manufacturing how droplet applying method and an electro-optical device of the present invention in the accompanying drawings.
<First Embodiment of Droplet Discharge Device>
(Overall configuration of droplet discharge device)
As shown in FIG. 1, the droplet discharge device 100 includes a tank 101 that holds a liquid material 111, a tube 110, and a discharge scanning unit 102 that is supplied with the liquid material 111 from the tank 101 via the tube 110. Prepare. The discharge scanning unit 102 includes a droplet discharge unit 103 having a plurality of droplet discharge heads 114 mounted on the carriage 105, a first position control device 104 (moving unit) that controls the position of the droplet discharge unit 103, A stage 106 that holds a base 10 </ b> A described later, a second position control device 108 (moving means) that controls the position of the stage 106, and a control means 112 are provided. The tank 101 and the plurality of droplet discharge heads 114 in the droplet discharge means 103 are connected by a tube 110, and the liquid material 111 is supplied from the tank 101 to each of the plurality of droplet discharge heads 114 by compressed air. The

第１位置制御装置１０４は、制御手段１１２からの信号に応じて、液滴吐出手段１０３をＸ軸方向、およびＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで液滴吐出手段１０３を回転させる機能も有する。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。第２位置制御装置１０８は、制御手段１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、液状材料１１１を塗布すべき区画を有する基体をその平面上に固定、または保持できるように構成されている。 The first position control device 104 moves the droplet discharge means 103 along the X-axis direction and the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction in response to a signal from the control means 112. Further, the first position control device 104 also has a function of rotating the droplet discharge means 103 around an axis parallel to the Z axis. In the present embodiment, the Z-axis direction is a direction parallel to the vertical direction (that is, the direction of gravitational acceleration). The second position control device 108 moves the stage 106 along the Y-axis direction orthogonal to both the X-axis direction and the Z-axis direction in response to a signal from the control unit 112. Further, the second position control device 108 also has a function of rotating the stage 106 around an axis parallel to the Z axis.
The stage 106 has a plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. The stage 106 is configured so that a substrate having a section to which the liquid material 111 is to be applied can be fixed or held on the plane.

上述のように、液滴吐出手段１０３は、第１位置制御装置１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、第２位置制御装置１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対する液滴吐出ヘッド１１４の相対位置が変わる。
制御手段１１２は、液状材料１１１を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。 As described above, the droplet discharge means 103 is moved in the X-axis direction by the first position control device 104. On the other hand, the stage 106 is moved in the Y-axis direction by the second position control device 108. That is, the relative position of the droplet discharge head 114 with respect to the stage 106 is changed by the first position control device 104 and the second position control device 108.
The control unit 112 is configured to receive ejection data representing a relative position at which the liquid material 111 is to be ejected from an external information processing apparatus. The detailed configuration and function of the control unit 112 will be described later.

（液滴吐出手段）
図２は、液滴吐出手段１０３をステージ１０６側から観察した図である。図２に示すように、液滴吐出手段１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数の液滴吐出ヘッド１１４と、これらの液滴吐出ヘッド１１４を保持するキャリッジ１０５とを有している。本実施形態では、液滴吐出手段１０３に保持される液滴吐出ヘッド１１４の数は８個である。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、後述する複数のノズル１１８が設けられた底面を有している。それぞれの液滴吐出ヘッド１１４のこの底面の形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。液滴吐出手段１０３に保持された液滴吐出ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらに、液滴吐出ヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。 (Droplet discharge means)
FIG. 2 is a view of the droplet discharge means 103 observed from the stage 106 side. As shown in FIG. 2, the droplet discharge means 103 includes a plurality of droplet discharge heads 114 each having substantially the same structure, and a carriage 105 that holds these droplet discharge heads 114. In the present embodiment, the number of droplet discharge heads 114 held by the droplet discharge means 103 is eight. Each droplet discharge head 114 has a bottom surface provided with a plurality of nozzles 118 described later. The shape of the bottom surface of each droplet discharge head 114 is a polygon having two long sides and two short sides. The bottom surface of the droplet discharge head 114 held by the droplet discharge means 103 faces the stage 106 side, and the long side direction and the short side direction of the droplet discharge head 114 are respectively an X-axis direction and a Y-axis direction. Parallel to the direction.

（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド１１４の底面を示す。液滴吐出ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を有する。これら複数のノズル１１８は、液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰが約７０μｍとなるように配置されている。ここで、「液滴吐出ヘッド１１４におけるＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰ」は、液滴吐出ヘッド１１４におけるノズル１１８のすべてをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。 (Droplet ejection head)
FIG. 3 shows the bottom surface of the droplet discharge head 114. The droplet discharge head 114 has a plurality of nozzles 118 arranged in the X-axis direction. The plurality of nozzles 118 are arranged such that the nozzle pitch HXP in the X-axis direction in the droplet discharge head 114 is about 70 μm. Here, the “nozzle pitch HXP in the X-axis direction of the droplet discharge head 114” is a plurality of images obtained by projecting all the nozzles 118 in the droplet discharge head 114 onto the X-axis along the Y-axis direction. This corresponds to the pitch between nozzle images.

本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１４における複数のノズル１１８は、ともにＸ軸方向に延びるノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとをなす。ノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとは、間隔を空けて並行に配置されている。そして、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれにおいて、９０個のノズル１１８が一定間隔でＸ軸方向に一列に並んでいる。本実施形態では、この一定間隔は約１４０μｍである。つまり、ノズル列１１６ＡのノズルピッチＬＮＰおよびノズル列１１６ＢのノズルピッチＬＮＰは、ともに約１４０μｍである。   In the present embodiment, the plurality of nozzles 118 in the droplet discharge head 114 form a nozzle row 116A and a nozzle row 116B that both extend in the X-axis direction. The nozzle row 116A and the nozzle row 116B are arranged in parallel with a space therebetween. In each of the nozzle row 116A and the nozzle row 116B, 90 nozzles 118 are aligned in the X-axis direction at regular intervals. In this embodiment, this regular interval is about 140 μm. That is, the nozzle pitch LNP of the nozzle row 116A and the nozzle pitch LNP of the nozzle row 116B are both about 140 μm.

ノズル列１１６Ｂの位置は、ノズル列１１６Ａの位置に対して、ノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）だけＸ軸方向の正の方向（図３の右方向）にずれている。このため、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズルピッチＬＮＰの半分の長さ（約７０μｍ）である。
したがって、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズル線密度は、ノズル列１１６Ａ（またはノズル列１１６Ｂ）のノズル線密度の２倍である。なお、本明細書において「Ｘ軸方向のノズル線密度」とは、複数のノズルをＹ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像の単位長さ当たりの数に相当する。 The position of the nozzle row 116B is shifted from the position of the nozzle row 116A in the positive direction in the X-axis direction (the right direction in FIG. 3) by half the nozzle pitch LNP (about 70 μm). Therefore, the nozzle pitch HXP in the X-axis direction of the droplet discharge head 114 is half the length (about 70 μm) of the nozzle pitch LNP of the nozzle row 116A (or nozzle row 116B).
Accordingly, the nozzle line density in the X-axis direction of the droplet discharge head 114 is twice the nozzle line density of the nozzle row 116A (or nozzle row 116B). In the present specification, “nozzle line density in the X-axis direction” means the number per unit length of a plurality of nozzle images obtained by projecting a plurality of nozzles on the X-axis along the Y-axis direction. It corresponds to.

もちろん、液滴吐出ヘッド１１４が含むノズル列の数は、２つだけに限定されない。液滴吐出ヘッド１１４はＭ個のノズル列を含んでもよい。ここで、Ｍは１以上の自然数である。この場合には、Ｍ個のノズル列のそれぞれにおいて複数のノズル１１８は、ノズルピッチＨＸＰのＭ倍の長さのピッチで並ぶ。さらに、Ｍが２以上の自然数の場合には、Ｍ個のノズル列のうちの一つに対して、他の（Ｍ−１）個のノズル列は、ノズルピッチＨＸＰのｉ倍の長さだけ重複無くＸ軸方向にずれている。ここで、ｉは１から（Ｍ−１）までの自然数である。   Of course, the number of nozzle rows included in the droplet discharge head 114 is not limited to two. The droplet discharge head 114 may include M nozzle rows. Here, M is a natural number of 1 or more. In this case, in each of the M nozzle rows, the plurality of nozzles 118 are arranged at a pitch that is M times the nozzle pitch HXP. Further, when M is a natural number of 2 or more, the other (M−1) nozzle rows are only i times as long as the nozzle pitch HXP with respect to one of the M nozzle rows. There is no overlap in the X-axis direction. Here, i is a natural number from 1 to (M−1).

さて、ノズル列１１６Ａおよびノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズル１１８からなるため、１つの液滴吐出ヘッド１１４は１８０個のノズル１１８を有する。ただし、ノズル列１１６Ａの両端のそれぞれ５ノズルは「休止ノズル」として設定されている。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端のそれぞれ５ノズルも「休止ノズル」として設定されている。そして、これら２０個の「休止ノズル」からは液状材料１１１が吐出されない。このため、液滴吐出ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、１６０個のノズル１１８が液状材料１１１を吐出するノズルとして機能する。   Now, since each of the nozzle row 116 </ b> A and the nozzle row 116 </ b> B includes 90 nozzles 118, one droplet discharge head 114 has 180 nozzles 118. However, 5 nozzles at both ends of the nozzle row 116A are set as “pause nozzles”. Similarly, 5 nozzles at both ends of the nozzle row 116B are also set as “pause nozzles”. The liquid material 111 is not discharged from these 20 “pause nozzles”. Therefore, 160 nozzles 118 out of 180 nozzles 118 in the droplet discharge head 114 function as nozzles that discharge the liquid material 111.

図２に示すように、液滴吐出手段１０３においては、複数個の上記液滴吐出ヘッド１１４がＸ軸方向に沿って２列に配置されている。一方の列の液滴吐出ヘッド１１４と他方の列の液滴吐出ヘッド１１４とは、休止ノズル分を考慮して、Ｙ軸方向から見て一部重なるように配置されている。これにより、液滴吐出手段１０３においては、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さに渡り、液状材料１１１を吐出するノズル１１８が前記ノズルピッチＨＸＰでＸ軸方向に連続するように構成されている。
本実施形態の液滴吐出手段１０３では、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さ全体をカバーするように液滴吐出ヘッド１１４を配置しているが、本発明における液滴吐出手段は、基体１０ＡのＸ軸方向の寸法分の長さの一部をカバーするようにものでもよい。 As shown in FIG. 2, in the droplet discharge means 103, a plurality of the droplet discharge heads 114 are arranged in two rows along the X-axis direction. The droplet discharge heads 114 in one row and the droplet discharge heads 114 in the other row are arranged so as to partially overlap when viewed from the Y-axis direction in consideration of the rest nozzles. As a result, the droplet discharge means 103 is configured such that the nozzle 118 that discharges the liquid material 111 continues in the X-axis direction at the nozzle pitch HXP over the length of the dimension of the base body 10A in the X-axis direction. ing.
In the droplet discharge means 103 of the present embodiment, the droplet discharge head 114 is disposed so as to cover the entire length of the base 10A in the X-axis direction. The base 10A may cover a part of the length corresponding to the dimension in the X-axis direction.

図４（ａ）および（ｂ）に示すように、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、インクジェットヘッドである。より具体的には、それぞれの液滴吐出ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、を備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。   As shown in FIGS. 4A and 4B, each droplet discharge head 114 is an inkjet head. More specifically, each droplet discharge head 114 includes a vibration plate 126 and a nozzle plate 128. Between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128, a liquid pool 129 in which the liquid material 111 supplied from the tank 101 through the hole 131 is always filled is located.

また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。   In addition, a plurality of partition walls 122 are located between the diaphragm 126 and the nozzle plate 128. A portion surrounded by the diaphragm 126, the nozzle plate 128, and the pair of partition walls 122 is a cavity 120. Since the cavities 120 are provided corresponding to the nozzles 118, the number of the cavities 120 and the number of the nozzles 118 are the same. The liquid material 111 is supplied to the cavity 120 from the liquid pool 129 through the supply port 130 positioned between the pair of partition walls 122.

振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
ここで、本明細書において「液状材料」とは、ノズルから吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。ノズルから吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。 On the diaphragm 126, the vibrator 124 is positioned corresponding to each cavity 120. The vibrator 124 includes a piezoelectric element 124C and a pair of electrodes 124A and 124B that sandwich the piezoelectric element 124C. By applying a driving voltage between the pair of electrodes 124A and 124B, the liquid material 111 is discharged from the corresponding nozzle 118. The shape of the nozzle 118 is adjusted so that the liquid material 111 is discharged from the nozzle 118 in the Z-axis direction.
Here, the “liquid material” in this specification refers to a material having a viscosity that can be discharged from a nozzle. In this case, it does not matter whether the material is aqueous or oily. It is sufficient if it has fluidity (viscosity) that can be ejected from the nozzle.

制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル１１８のそれぞれから吐出される材料１１１の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変にしてもよい。また、制御手段１１２は、後述するように、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８と、を設定することでもできる。   The control means 112 (FIG. 1) may be configured to give a signal to each of the plurality of vibrators 124 independently of each other. That is, the volume of the material 111 ejected from the nozzle 118 may be controlled for each nozzle 118 in accordance with a signal from the control unit 112. In such a case, the volume of the material 111 discharged from each of the nozzles 118 may be variable between 0 pl to 42 pl (picoliter). Further, as will be described later, the control unit 112 can also set the nozzle 118 that performs the discharge operation during the application scan and the nozzle 118 that does not perform the discharge operation.

本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つの液滴吐出ヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。   In this specification, a portion including one nozzle 118, a cavity 120 corresponding to the nozzle 118, and a vibrator 124 corresponding to the cavity 120 may be referred to as “ejection unit 127”. According to this notation, one droplet discharge head 114 has the same number of discharge units 127 as the number of nozzles 118. The discharge unit 127 may include an electrothermal conversion element instead of the piezo element. That is, the discharge unit 127 may have a configuration for discharging a material by utilizing thermal expansion of the material by the electrothermal conversion element.

なお、本発明では、液滴吐出手段１０３におけるノズルピッチＨＸＰは、上記の大きさに限らず、いかなる大きさであってもよい。
さらに、液滴吐出手段１０３は、図２に示す構成以外に、図５に示すように複数の液滴吐出ヘッド１１４がＹ軸方向に重ねて配置された構成であってもよい。以下、この図５に示す液滴吐出手段１０３’について説明する。 In the present invention, the nozzle pitch HXP in the droplet discharge means 103 is not limited to the above size, and may be any size.
In addition to the configuration shown in FIG. 2, the droplet discharge means 103 may have a configuration in which a plurality of droplet discharge heads 114 are stacked in the Y-axis direction as shown in FIG. Hereinafter, the droplet discharge means 103 ′ shown in FIG. 5 will be described.

図５には、液滴吐出手段１０３’における２つのヘッド群１１４Ｇが示されている。それぞれのヘッド群１１４Ｇは、４つの液滴吐出ヘッド１１４からなる。そして、ヘッド群１１４ＧのＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰが、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰの１／４倍の長さとなるように、ヘッド群１１４Ｇにおいて４つの液滴吐出ヘッド１１４が配置されている。より具体的には、１つの液滴吐出ヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ座標に対して、他の液滴吐出ヘッド１１４の基準ノズル１１８ＲのＸ座標が、ノズルピッチＨＸＰのｊ／４倍の長さだけ、Ｘ軸方向に重複無くずれて位置している。ここで、ｊは１から３までの自然数である。このため、ヘッド群１１４ＧのＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰは、ノズルピッチＨＸＰの１／４倍である。   FIG. 5 shows two head groups 114G in the droplet discharge means 103 '. Each head group 114G includes four droplet discharge heads 114. Then, the four droplet discharge heads in the head group 114G are such that the nozzle pitch GXP in the X-axis direction of the head group 114G is ¼ times the nozzle pitch HXP in the X-axis direction of the droplet discharge head 114. 114 is arranged. More specifically, the X coordinate of the reference nozzle 118R of the other droplet discharge head 114 is j / 4 times the nozzle pitch HXP with respect to the X coordinate of the reference nozzle 118R of one droplet discharge head 114. That is, the positions are shifted in the X-axis direction without overlap. Here, j is a natural number from 1 to 3. For this reason, the nozzle pitch GXP in the X-axis direction of the head group 114G is 1/4 times the nozzle pitch HXP.

本実施形態では、液滴吐出ヘッド１１４のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは約７０μｍだから、ヘッド群１１４ＧのＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰは、その１／４倍の約１７．５μｍである。ここで、「ヘッド群１１４ＧのＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰ」は、ヘッド群１１４Ｇにおけるノズル１１８のすべてを、Ｙ軸方向に沿ってＸ軸上に射像して得られた複数のノズル像間のピッチに相当する。   In the present embodiment, since the nozzle pitch HXP in the X-axis direction of the droplet discharge head 114 is about 70 μm, the nozzle pitch GXP in the X-axis direction of the head group 114G is about 17.5 μm, which is a quarter of that. Here, the “nozzle pitch GXP of the head group 114G in the X-axis direction” is the interval between a plurality of nozzle images obtained by projecting all the nozzles 118 in the head group 114G onto the X-axis along the Y-axis direction. It corresponds to the pitch.

もちろん、ヘッド群１１４Ｇが含む液滴吐出ヘッド１１４の数は、４つだけに限定されない。ヘッド群１１４ＧはＮ個の液滴吐出ヘッド１１４からなってもよい。ここで、Ｎは２以上の自然数である。この場合には、ノズルピッチＧＸＰがノズルピッチＨＸＰの１／Ｎ倍の長さになるように、ヘッド群１１４ＧにおいてＮ個の液滴吐出ヘッド１１４が配置されればよい。あるいは、Ｎ個の液滴吐出ヘッド１１４の一つにおける基準ノズル１１８ＲのＸ座標に対して、他の（Ｎ−１）個の液滴吐出ヘッド１１４における基準ノズル１１８のＸ座標が、ノズルピッチＨＸＰのｊ／Ｎ倍の長さだけ重複無くずれていればよい。なお、この場合には、ｊは１から（Ｎ−１）までの自然数である。
図５に示すような構成によれば、液滴吐出手段１０３’全体としてのＸ軸方向のノズルピッチＧＸＰを前記ノズルピッチＨＸＰより短くすることができるので、より高精細に液滴を付与することができる。 Of course, the number of droplet discharge heads 114 included in the head group 114G is not limited to four. The head group 114G may include N droplet discharge heads 114. Here, N is a natural number of 2 or more. In this case, N droplet discharge heads 114 may be arranged in the head group 114G so that the nozzle pitch GXP is 1 / N times as long as the nozzle pitch HXP. Alternatively, with respect to the X coordinate of the reference nozzle 118R in one of the N droplet discharge heads 114, the X coordinate of the reference nozzle 118 in the other (N−1) droplet discharge heads 114 is the nozzle pitch HXP. It is only necessary to deviate without overlap by a length of j / N times. In this case, j is a natural number from 1 to (N−1).
According to the configuration shown in FIG. 5, since the nozzle pitch GXP in the X-axis direction as the entire droplet discharge means 103 ′ can be made shorter than the nozzle pitch HXP, droplets can be applied with higher definition. Can do.

（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図６に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えている。バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド１１４のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。 (Control means)
Next, the configuration of the control unit 112 will be described. As shown in FIG. 6, the control unit 112 includes an input buffer memory 200, a storage unit 202, a processing unit 204, a scan driving unit 206, and a head driving unit 208. The buffer memory 200 and the processing unit 204 are connected so that they can communicate with each other. The processing unit 204 and the storage unit 202 are connected to be communicable with each other. The processing unit 204 and the scan driving unit 206 are connected so as to communicate with each other. The processing unit 204 and the head driving unit 20 are connected to be communicable with each other. The scan driver 206 is connected to the first position control device 104 and the second position control device 108 so as to communicate with each other. Similarly, the head driving unit 208 is connected to each of the plurality of droplet discharge heads 114 so as to be able to communicate with each other.

入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から液状材料１１１の液滴の吐出を行うための吐出データを受け取る。吐出データは、基体上のすべての区画の相対位置を表すデータと、すべての区画に液状材料１１１を所望の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、オンノズル１１８Ａとして機能するノズル１１８を指定するデータと、オフノズル１１８Ｂとして機能するノズル１１８を指定するデータと、を含む。オンノズル１１８Ａおよびオフノズル１１８Ｂの説明は後述する。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。図６では、記憶手段２０２はＲＡＭである。   The input buffer memory 200 receives ejection data for ejecting droplets of the liquid material 111 from the external information processing apparatus. The discharge data includes data indicating the relative positions of all the sections on the substrate, data indicating the number of relative scans required to apply the liquid material 111 to all the sections to a desired thickness, and the on-nozzle 118A. And data specifying the nozzle 118 functioning as the off-nozzle 118B. The on-nozzle 118A and the off-nozzle 118B will be described later. The input buffer memory 200 supplies the ejection data to the processing unit 204, and the processing unit 204 stores the ejection data in the storage unit 202. In FIG. 6, the storage means 202 is a RAM.

処理部２０４は、記憶手段２０２内の吐出データに基づいて、区画に対するノズル１１８の相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６はこのデータと、後述する吐出周期ＥＰ（図７）と、に応じた駆動信号を第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８に与える。この結果、区画に対して液滴吐出ヘッド１１４が相対走査する。一方、処理部２０４は、記憶手段２０２に記憶された吐出データと、吐出周期ＥＰと、に基づいて、吐出タイミング毎のノズル１１８のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド１１４に与える。この結果、液滴吐出ヘッド１１４における対応するノズル１１８から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。 The processing unit 204 gives data indicating the relative position of the nozzle 118 to the section to the scan driving unit 206 based on the ejection data in the storage unit 202. The scanning drive unit 206 supplies the first position control device 104 and the second position control device 108 with a drive signal corresponding to this data and an ejection cycle EP (FIG. 7) described later. As a result, the droplet discharge head 114 scans relative to the section. On the other hand, the processing unit 204 gives a selection signal SC for designating ON / OFF of the nozzle 118 at each ejection timing to the head driving unit 208 based on the ejection data stored in the storage unit 202 and the ejection cycle EP. . The head drive unit 208 gives the droplet ejection head 114 with an ejection signal ES necessary for ejecting the liquid material 111 based on the selection signal SC. As a result, the liquid material 111 is discharged as droplets from the corresponding nozzle 118 in the droplet discharge head 114.
The control means 112 may be a computer including a CPU, a ROM, and a RAM. In this case, the function of the control unit 112 is realized by a software program executed by a computer. Of course, the control means 112 may be realized by a dedicated circuit (hardware).

次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図７（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳと、を有する。図７（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル１１８から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。 Next, the configuration and function of the head drive unit 208 in the control unit 112 will be described.
As shown in FIG. 7A, the head drive unit 208 includes one drive signal generation unit 203 and a plurality of analog switches AS. As shown in FIG. 7B, the drive signal generation unit 203 generates a drive signal DS. The potential of the drive signal DS changes with respect to the reference potential L over time. Specifically, the drive signal DS includes a plurality of ejection waveforms P that are repeated at the ejection cycle EP. Here, the discharge waveform P corresponds to a drive voltage waveform to be applied between a pair of electrodes of the corresponding vibrator 124 in order to discharge one droplet from the nozzle 118.

駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、吐出部１２７のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数と吐出部１２７の数（つまりノズル１１８の数）とは同じである。
処理部２０４は、ノズル１１８のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル１１８から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。 The drive signal DS is supplied to each input terminal of the analog switch AS. Each of the analog switches AS is provided corresponding to each of the ejection units 127. That is, the number of analog switches AS and the number of ejection units 127 (that is, the number of nozzles 118) are the same.
The processing unit 204 gives a selection signal SC indicating ON / OFF of the nozzle 118 to each analog switch AS. Here, the selection signal SC can take either a high level or a low level independently for each analog switch AS. On the other hand, the analog switch AS supplies the ejection signal ES to the electrode 124A of the vibrator 124 according to the drive signal DS and the selection signal SC. Specifically, when the selection signal SC is at a high level, the analog switch AS propagates the drive signal DS as the ejection signal ES to the electrode 124A. On the other hand, when the selection signal SC is at a low level, the potential of the ejection signal ES output from the analog switch AS becomes the reference potential L. When the drive signal DS is applied to the electrode 124A of the vibrator 124, the liquid material 111 is discharged from the nozzle 118 corresponding to the vibrator 124. A reference potential L is applied to the electrode 124B of each vibrator 124.

図７（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル１１８のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル１１８に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル１１８からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
以上の構成によって、液滴吐出装置１００は、制御手段１１２に与えられた吐出データに応じて、液状材料１１１を基体１０Ａに付与する吐出走査を行う。 In the example shown in FIG. 7B, a high-level period is set in each of the two selection signals SC so that the discharge waveform P appears in the cycle 2EP that is twice the discharge cycle EP in each of the two discharge signals ES. A low-level period is set. As a result, the liquid material 111 is discharged from each of the two corresponding nozzles 118 at a period of 2EP. A common drive signal DS from the common drive signal generation unit 203 is given to each of the vibrators 124 corresponding to these two nozzles 118. For this reason, the liquid material 111 is discharged from the two nozzles 118 at substantially the same timing.
With the above configuration, the droplet discharge device 100 performs discharge scanning for applying the liquid material 111 to the substrate 10 </ b> A in accordance with the discharge data given to the control unit 112.

＜液滴付与方法の実施形態＞
本発明の液滴付与方法は、上述したような液滴吐出装置１００を用いて実施される。以下、図８ないし図１１を参照しつつ、本発明の液滴付与方法の実施形態について説明する。
なお、以下の説明では、液晶表示装置に用いるカラーフィルタ基板を製造する場合を想定しているが、後述するように、本発明は、カラーフィルタ基板以外の各種の電気光学装置の製造に適用することができる。 <Embodiment of droplet application method>
The droplet applying method of the present invention is performed using the droplet discharge device 100 as described above. Hereinafter, embodiments of the droplet applying method of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the following description, it is assumed that a color filter substrate used for a liquid crystal display device is manufactured. However, as will be described later, the present invention is applied to manufacturing various electro-optical devices other than the color filter substrate. be able to.

図８に示すように、基体１０Ａ上には、色要素となるべき複数の細長い区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成されている。区画１８Ｒは、Ｒ（赤）の色要素になるべき領域であり、区画１８Ｇは、Ｇ（緑）の色要素になるべき領域であり、区画１８Ｂは、Ｂ（青）の色要素になるべき領域である。
各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、互いに同じ形状であり、その長軸方向（長手方向）がＸ軸方向に平行であり、その短軸方向がＹ軸方向に平行になっている。また、各区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしているが、図示の構成では、図中の上端部の左側が引っ込んだ形状をなしており、この部分の幅がやや狭くなっている。この引っ込んだ部分は、ＴＦＴの形成領域に対応する部分である。 As shown in FIG. 8, a plurality of elongated sections 18R, 18G, and 18B to be color elements are formed on the base 10A. The section 18R is an area that should be a color element of R (red), the section 18G is an area that should be a color element of G (green), and the section 18B should be a color element of B (blue). It is an area.
The sections 18R, 18G, and 18B have the same shape, the major axis direction (longitudinal direction) is parallel to the X axis direction, and the minor axis direction is parallel to the Y axis direction. Each of the sections 18R, 18G, and 18B has a substantially rectangular shape. However, in the illustrated configuration, the left side of the upper end portion in the drawing has a recessed shape, and the width of this portion is slightly narrowed. . This recessed portion is a portion corresponding to the TFT formation region.

並設された一組の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、カラーフィルタ基板の一画素分に相当する。基体１０Ａ上には、多数組の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが行列状に並べて形成されている。すなわち、この基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板になるべきものである。
液滴吐出装置１００は、第２位置制御装置１０８を作動させることにより基体１０Ａと液滴吐出手段１０３とをＹ軸方向に相対的に移動させつつ、色要素形成用の液状材料１１１を全部または一部のノズル１１８から液滴として吐出して基体１０Ａ上の全部または一部の区画に付与する動作（本明細書ではこの動作を「吐出走査」と言う）を複数回行う。 The set of partitions 18R, 18G, and 18B arranged in parallel corresponds to one pixel of the color filter substrate. A large number of sets of sections 18R, 18G, and 18B are formed in a matrix on the base 10A. That is, the base body 10A is to be a color filter substrate having a stripe arrangement.
The droplet discharge device 100 operates the second position control device 108 to move the substrate 10A and the droplet discharge means 103 relative to each other in the Y-axis direction, while the liquid material 111 for forming color elements is completely or The operation of ejecting as droplets from some of the nozzles 118 and applying it to all or some of the sections on the substrate 10A (this operation is referred to as “ejection scanning” in this specification) is performed a plurality of times.

吐出走査においては、原則として、液滴吐出手段１０３が基体１０Ａ上を端から端まで相対的に通過するように両者をＹ軸方向に相対的に移動させる。
なお、以下の説明では、区画１８Ｒについて液滴を付与する場合について代表して説明するが、区画１８Ｇ、区画１８Ｂにも同様に液滴を付与することができる。また、図面では一つの区画１８Ｒのみを示すが、１回の吐出走査において全部の区画１８Ｒについて同様に液滴が付与される。 In the ejection scanning, in principle, the droplet ejection means 103 is relatively moved in the Y-axis direction so that the droplet ejection means 103 passes relatively over the substrate 10A from end to end.
In the following description, the case where droplets are applied to the section 18R will be described as a representative, but droplets can be applied to the sections 18G and 18B in the same manner. Further, although only one section 18R is shown in the drawing, droplets are similarly applied to all the sections 18R in one ejection scan.

図８は、１回目の吐出走査（第１の吐出走査）を行う前の状態を示す図である。吐出走査を行う前には、第１位置制御装置１０４の作動により、基体１０Ａと液滴吐出手段１０３とのＸ軸方向の相対位置が所定位置に位置決めされる。図８は、この位置決め後の状態である。この位置決めによって、その区画１８Ｒに対して液滴を吐出するノズル１１８が割り当てられる。
ここで、液滴吐出手段１０３のＸ軸方向のノズルピッチＨＸＰは、区画１８ＲのＸ軸方向の長さより短くなるように構成されていることから、一つの区画１８Ｒには、複数（図示の構成では５個）のノズル１１８が割り当てられる。 FIG. 8 is a diagram illustrating a state before the first ejection scan (first ejection scan). Prior to the ejection scan, the relative position in the X-axis direction between the substrate 10A and the droplet ejection means 103 is positioned at a predetermined position by the operation of the first position control device 104. FIG. 8 shows a state after this positioning. By this positioning, a nozzle 118 that discharges droplets is assigned to the section 18R.
Here, since the nozzle pitch HXP in the X-axis direction of the droplet discharge means 103 is configured to be shorter than the length of the partition 18R in the X-axis direction, a plurality of (shown configuration) are included in one partition 18R. 5 nozzles 118 are assigned.

図８等の図面中で符号「１１８」の後に記載してある「♯」の付いた数字は、各ノズル列１１６Ａ、１１６Ｂの端から何番目のノズル１１８であるかを示している。すなわち、図示の区画１８Ｒの場合には、ノズル列１１６Ａの１１番目、１２番目および１３番目と、ノズル列１１６Ｂの１１番目および１２番目との、計５個のノズル１１８が割り当てられていることを示す。   In FIG. 8 and other figures, the number with “#” described after the reference numeral “118” indicates the number of the nozzle 118 from the end of each nozzle row 116A, 116B. That is, in the illustrated section 18R, a total of five nozzles 118, 11th, 12th and 13th in the nozzle row 116A and 11th and 12th in the nozzle row 116B, are assigned. Show.

第１の吐出走査では、図８に示す状態から基体１０Ａを液滴吐出手段１０３に対し図中の左方向へ相対的に移動させつつ、区画１８Ｒ上を通過する前記５個のノズル１１８から液滴を吐出し、これらの液滴を区画１８Ｒ内に着弾させる。図９は、第１の吐出走査を終えた状態を示す図である。
第１の吐出走査では、一つの区画１８Ｒにつき、各ノズル１１８からそれぞれ複数回（図示では４回）液滴を吐出する。 In the first discharge scan, the substrate 10A is moved relative to the droplet discharge means 103 from the state shown in FIG. 8 in the left direction in the figure, and the liquid is discharged from the five nozzles 118 passing over the section 18R. The droplets are ejected and landed in the compartment 18R. FIG. 9 is a diagram illustrating a state where the first ejection scanning is finished.
In the first ejection scan, droplets are ejected from each nozzle 118 a plurality of times (four times in the drawing) for each section 18R.

この場合、同じノズル１１８から吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドット９２は、当然に走査方向であるＹ軸方向に沿って並ぶが、図９に示すように、同じノズル１１８から吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドット９２がＹ軸方向に沿ってつながる（連続する）ような間隔で液滴を付与するのがより好ましい。
ここで、「同じノズル１１８から吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドット９２がＹ軸方向に沿ってつながるような間隔」とは、ノズル１１８から吐出された１滴の液状材料１１１が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドット９２の直径より小さいような間隔のことである。ノズル１１８から吐出された１滴の液状材料１１１が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドット９２の直径は、１滴の液状材料１１１の体積や、区画１８Ｒの底面に対する液状材料１１１の接触角（濡れ性）によって変化する。よって、ノズル１１８から吐出された１滴の液状材料１１１が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドット９２の直径の値を予め実験や理論計算によって求めておき、この値よりも小さい間隔で同じノズル１１８から複数の液滴を吐出するように制御することにより、図９に示す状態となるように液滴を付与することができる。 In this case, the plurality of dots 92 formed by landing of a plurality of liquid droplets ejected from the same nozzle 118 are naturally arranged along the Y-axis direction which is the scanning direction, but as shown in FIG. More preferably, the droplets are applied at intervals such that the plurality of dots 92 formed by landing of the plurality of droplets ejected from the nozzle are connected (continuous) along the Y-axis direction.
Here, “an interval at which a plurality of dots 92 formed by landing of a plurality of droplets ejected from the same nozzle 118 are connected along the Y-axis direction” means one droplet of liquid material ejected from the nozzle 118. The interval 111 is smaller than the diameter of the dots 92 formed on the bottom surface of the section 18R. The diameter of the dot 92 formed by landing one drop of the liquid material 111 discharged from the nozzle 118 on the bottom surface of the section 18R is the volume of the one drop of the liquid material 111 and the contact angle of the liquid material 111 with respect to the bottom surface of the section 18R ( It depends on the wettability. Therefore, a value of the diameter of the dot 92 formed by landing one drop of the liquid material 111 ejected from the nozzle 118 on the bottom surface of the section 18R is obtained in advance by experiment or theoretical calculation, and the same nozzle at an interval smaller than this value. By controlling to eject a plurality of droplets from 118, the droplets can be applied so as to be in the state shown in FIG.

なお、図９に示す各ドット９２は、他のドット９２と重なり合うように描かれているが、当然のことながら上記のような間隔で着弾した複数の液滴同士は互いにくっつき合って一体となり、周囲に濡れ広がる。すなわち、図９は、本発明の液滴付与方法を理解し易いように模式的に描いたものであり、区画１８Ｒ内に付与された液状材料１１１の実際の濡れ広がり方を表すものではない。   In addition, although each dot 92 shown in FIG. 9 is drawn so as to overlap with other dots 92, it is natural that a plurality of droplets that have landed at intervals as described above stick to each other and become an integral unit. Spread wet around. That is, FIG. 9 is drawn schematically for easy understanding of the droplet application method of the present invention, and does not represent the actual wet spreading method of the liquid material 111 applied in the section 18R.

また、第１の吐出走査では、図９に示すように、液滴が着弾してなるドット９２が、その液滴を吐出したノズル１１８とＸ軸方向の距離が最も近い別のノズル１１８から吐出された液滴が着弾してなるドット９２とＸ軸方向に関して重ならないようにして液滴を付与するのが好ましい。ここで、「Ｘ軸方向に関して重ならない」とは、Ｙ軸方向に平行な方向から見たときに、あるノズル１１８から吐出されたドット９２が他のノズル１１８から吐出されたドット９２と重ならないことを言う。よって、ノズル１１８から吐出された１滴の液状材料１１１が区画１８Ｒの底面に着弾してなるドット９２の直径の値を予め実験や理論計算によって調べ、この値がノズルピッチＨＸＰよりも小さくなるように制御すればよい。   In the first ejection scan, as shown in FIG. 9, the dot 92 formed by the droplet is ejected from another nozzle 118 having the closest distance in the X-axis direction from the nozzle 118 that ejected the droplet. It is preferable to apply the droplets so that they do not overlap with the dots 92 formed by the landing of the droplets in the X-axis direction. Here, “does not overlap in the X-axis direction” means that the dots 92 ejected from one nozzle 118 do not overlap with the dots 92 ejected from other nozzles 118 when viewed from a direction parallel to the Y-axis direction. Say that. Therefore, the value of the diameter of the dot 92 formed by one droplet of the liquid material 111 ejected from the nozzle 118 landing on the bottom surface of the section 18R is examined in advance by experiment or theoretical calculation, and this value becomes smaller than the nozzle pitch HXP. It may be controlled to.

第１の吐出走査を終えたら、２回目の吐出走査（第２の吐出走査）を行う前に、第１位置制御装置１０４を作動させて液滴吐出手段１０３と基体１０Ａとの相対位置をＸ軸方向に所定量ずらす（以下、「改行」とも言う）のが好ましく、図１０は、「改行」した後の状態を示す図である。図示の場合には、ノズルピッチＬＮＰの３０個分ずらしている。これにより、図示の区画１８Ｒには、ノズル列１１６Ａの４１番目、４２番目および４３番目と、ノズル列１１６Ｂの４１番目および４２番目との、計５個のノズル１１８が割り当てられる。すなわち、第２の吐出走査においては、これら５個のノズル１１８からこの区画１８Ｒに対して液滴を吐出する。   After the first discharge scan is completed, before the second discharge scan (second discharge scan) is performed, the first position control device 104 is operated to set the relative position between the droplet discharge means 103 and the substrate 10A to X. It is preferable to shift a predetermined amount in the axial direction (hereinafter also referred to as “line feed”), and FIG. 10 is a diagram showing a state after “line feed”. In the illustrated case, the nozzle pitch LNP is shifted by 30. As a result, a total of five nozzles 118, ie, the 41st, 42nd and 43rd nozzle rows 116A and the 41st and 42nd nozzle rows 116B, are allocated to the illustrated section 18R. That is, in the second ejection scan, droplets are ejected from the five nozzles 118 to the section 18R.

本発明では、上記のように、２回目以降の吐出走査においては、液滴吐出手段１０３と基体１０Ａとの相対位置を前回の吐出走査の際と比べてＸ軸方向に所定量ずらすことにより、同じ区画に対して前回の吐出走査の際と異なるノズルから液滴を吐出するようにするのが好ましい。これにより、液滴吐出ヘッド１１４における各ノズル間で吐出量に多少のバラツキがあっても、各区画に付与する液状材料１１１の量を均一にすることができる。
第２の吐出走査は、図１０に示す状態から基体１０Ａを液滴吐出手段１０３に対し図中の右方向へ相対的に移動させつつ、区画１８Ｒ上を通過する前記５個のノズル１１８から液滴を吐出し、これらの液滴を区画１８Ｒ内に着弾させる。 In the present invention, as described above, in the second and subsequent ejection scans, the relative position between the droplet ejection means 103 and the substrate 10A is shifted by a predetermined amount in the X-axis direction compared to the previous ejection scan, It is preferable to eject droplets from the nozzles different from the previous ejection scan to the same section. Thereby, even if there is some variation in the discharge amount between the nozzles in the droplet discharge head 114, the amount of the liquid material 111 applied to each section can be made uniform.
In the second ejection scan, the base 10A is moved relative to the droplet ejection means 103 from the state shown in FIG. 10 in the right direction in the figure, and the liquid is ejected from the five nozzles 118 passing over the section 18R. The droplets are ejected and landed in the compartment 18R.

図１１は、第２の吐出走査を終えた状態を示す図である。図１１中では、見易くするために、第２の吐出走査で吐出した液滴が着弾してなるドット９３にハッチングを付けて示す。
第２の吐出走査では、図１１に示されるように、第２の吐出走査で吐出した液滴のＹ軸方向に関する着弾位置（ドット９３のＹ軸方向の位置）が第１の吐出走査での着弾位置（ドット９２のＹ軸方向の位置）よりもＹ軸方向に関して区画１８Ｒの中心寄りになるようにようにして液滴を付与する。この場合、第２の吐出走査でのドット９３は、最も近い列のドット９２よりも区画１８ＲのＹ軸方向の中心寄りに位置していればよい。 FIG. 11 is a diagram illustrating a state where the second ejection scanning is completed. In FIG. 11, for the sake of easy understanding, the dots 93 formed by the droplets ejected in the second ejection scan are hatched.
In the second ejection scan, as shown in FIG. 11, the landing position (the position of the dot 93 in the Y axis direction) of the droplet ejected in the second ejection scan is the same as that in the first ejection scan. A droplet is applied so as to be closer to the center of the section 18R in the Y-axis direction than the landing position (the position of the dot 92 in the Y-axis direction). In this case, the dots 93 in the second ejection scan may be positioned closer to the center in the Y-axis direction of the section 18R than the dots 92 in the nearest row.

この第２の吐出走査においては、一つの区画１８Ｒにつき各ノズル１１８から液滴を少なくとも１回吐出すればよく、また、ノズル１１８からそれぞれ複数回液滴を吐出してもよい。
また、図１１に示す例では、第２の吐出走査で吐出した液滴のＸ軸方向に関する着弾位置（ドット９３のＸ軸方向の位置）は、第１の吐出走査で吐出した液滴のＸ軸方向に関する着弾位置（ドット９２のＸ軸方向の位置）とほぼ同じにされているが、ずれていてもよい。 In this second ejection scan, it is sufficient to eject droplets from each nozzle 118 at least once per section 18R, and it is also possible to eject droplets from the nozzle 118 a plurality of times.
In the example shown in FIG. 11, the landing position (the position of the dot 93 in the X-axis direction) of the droplet ejected in the second ejection scan is the X of the droplet ejected in the first ejection scan. Although it is substantially the same as the landing position in the axial direction (the position of the dot 92 in the X-axis direction), it may be shifted.

以上説明したような本発明の液滴付与方法によれば、多数の液滴を区画内に着弾させることができるので、区画の大きさが比較的大きい場合であっても、色要素を形成するために必要な量の液状材料１１１を少ない走査回数で付与することができる。また、液状材料を区画内の全域に余すところなく確実に、かつ均一に濡れ広がらせることができる。その結果、形成する色要素の膜厚を区画全体に均一にすることができる。   According to the droplet application method of the present invention as described above, a large number of droplets can be landed in the compartment, so that the color element is formed even when the compartment size is relatively large. Therefore, a necessary amount of the liquid material 111 can be applied with a small number of scans. In addition, the liquid material can be spread reliably and uniformly without leaving the entire area in the compartment. As a result, the thickness of the color element to be formed can be made uniform over the entire section.

さらに、第２の吐出走査でのドット９３が第１の吐出走査でのドット９２よりも区画１８ＲのＹ軸方向の中心寄りに位置することにより、次のような利点がある。第１の吐出走査終了後には、区画１８Ｒには付与された赤色の液状材料１１１が溜まっている。このため、第２の吐出走査でこの区画１８Ｒにさらに液滴を吐出した場合、溜まっていた液状材料１１１の飛沫が飛び跳ねることがある。この赤色の液状材料１１１の飛沫が緑色の色要素となるべき隣の区画１８Ｇに入ってしまうと、混色して色が変わってしまい、品質の低下をもたらす。これに対し、本発明では、第２の吐出走査においては液滴を区画１８ＲのＹ軸方向の中心寄りに吐出するので、飛沫が飛び跳ねた場合であっても、その飛沫が隣の区画１８Ｇまで到達するのを有効に防止することができ、上記のような混色の発生を有効に防止することができる。   Further, since the dot 93 in the second ejection scan is positioned closer to the center of the section 18R in the Y-axis direction than the dot 92 in the first ejection scan, there are the following advantages. After the first discharge scanning, the applied red liquid material 111 is accumulated in the section 18R. For this reason, when further droplets are ejected to the section 18R in the second ejection scanning, the accumulated droplets of the liquid material 111 may jump up and down. If the splash of the red liquid material 111 enters the adjacent section 18G to be a green color element, the color is mixed and the color is changed, resulting in a deterioration in quality. On the other hand, in the present invention, in the second ejection scanning, the liquid droplets are ejected toward the center of the section 18R in the Y-axis direction, so even if the splashes jump, the droplets reach the adjacent section 18G. Reaching can be effectively prevented, and the occurrence of color mixing as described above can be effectively prevented.

また、本実施形態では、基体１０Ａと液滴吐出手段１０３とＹ軸方向に相対的に往復させ、その往路（上記第１の吐出走査）と復路（上記第２の吐出走査）とでそれぞれ吐出走査を行うことにより、効率良く迅速に各区画に液状材料１１１を付与することができる。
また、本実施形態では、液滴吐出手段１０３が基体１０ＡのＸ軸方向の幅の全体をカバーしているので（図２参照）、１回の吐出走査で全部の区画１８Ｒ（あるいは区画１８Ｇまたは区画１８Ｂ）に液滴を付与することができ、より効率良く迅速に液状材料１１１を付与することができる。 In this embodiment, the substrate 10A and the droplet discharge means 103 are reciprocated relative to each other in the Y-axis direction, and discharged on the forward path (the first discharge scan) and the return path (the second discharge scan), respectively. By performing scanning, the liquid material 111 can be applied to each section efficiently and quickly.
In the present embodiment, since the droplet discharge means 103 covers the entire width of the substrate 10A in the X-axis direction (see FIG. 2), all the partitions 18R (or the partitions 18G or Droplets can be applied to the compartment 18B), and the liquid material 111 can be applied more efficiently and quickly.

なお、本発明では、一往復の吐出走査によって一つの基体１０Ａに対する液滴（液状材料１１１）の付与を終了するのが最も好ましく、複数往復の吐出走査によって一つの基体１０Ａに対する液滴（液状材料１１１）の付与を終了するのが次いで好ましい。これにより、複数の基体１０Ａに対して次々と作業を行う場合、基体１０Ａと液滴吐出手段１０３との相対移動を無駄なく利用することができるので、製造効率をさらに向上することができる。なお、本発明では、上記と異なり、奇数回の吐出走査によって一つの基体１０Ａに対する液滴（液状材料１１１）の付与を終了してもよい。   In the present invention, it is most preferable to finish the application of the liquid droplet (liquid material 111) to one substrate 10A by one reciprocating discharge scanning, and the liquid droplet (liquid material) to one substrate 10A by a plurality of reciprocating discharge scanning. It is then preferred to end the application of 111). As a result, when the work is successively performed on the plurality of bases 10A, the relative movement between the base 10A and the droplet discharge means 103 can be used without waste, so that the manufacturing efficiency can be further improved. In the present invention, unlike the above, the application of droplets (liquid material 111) to one substrate 10A may be terminated by an odd number of ejection scans.

また、液滴吐出装置１００では、液滴吐出手段１０３が相対移動する方向（Ｙ軸方向）に直交する方向（Ｘ軸方向）に、複数のノズル１１８が並んでいる。このため、Ｘ軸方向に延びた区画に対して、複数のノズル１１８からほぼ同時に液状材料１１１を吐出できる。この結果、駆動信号ＤＳを生成する駆動信号生成部２０３は、複数のノズル１１８に対して１つでよい。また、一方向に並んだ複数のノズル１１８からの吐出タイミングがほぼ同時なので、駆動信号生成部２０３からの駆動信号ＤＳを遅延させるための回路構成などが不要である。この結果、駆動信号ＤＳにおける波形になまりが生じる要因が少なく、このため、精密な吐出波形Ｐを振動子１２４に印加することができる。したがって、ノズル１１８からの液状材料１１１の吐出がより安定している。 In the droplet discharge device 100 , a plurality of nozzles 118 are arranged in a direction (X-axis direction) orthogonal to the direction (Y-axis direction) in which the droplet discharge means 103 relatively moves. For this reason, the liquid material 111 can be discharged almost simultaneously from the plurality of nozzles 118 to the section extending in the X-axis direction. As a result, one drive signal generation unit 203 that generates the drive signal DS may be provided for the plurality of nozzles 118. In addition, since the discharge timings from the plurality of nozzles 118 arranged in one direction are almost simultaneous, a circuit configuration for delaying the drive signal DS from the drive signal generation unit 203 is not necessary. As a result, there are few factors that cause rounding in the waveform of the drive signal DS, and therefore, a precise ejection waveform P can be applied to the vibrator 124. Therefore, the discharge of the liquid material 111 from the nozzle 118 is more stable.

＜液滴吐出装置の第２実施形態＞
次に、本発明をカラーフィルタ基板の製造に適用した例についてさらに詳細に説明する。
図１２（ａ）および（ｂ）に示す基体１０Ａは、後述する製造装置１（図１３）による処理を経て、カラーフィルタ基板１０となる基板である。基体１０Ａは、マトリクス状に配置された複数の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂを有する。 <Second Embodiment of Droplet Discharge Device>
Next, an example in which the present invention is applied to the manufacture of a color filter substrate will be described in more detail.
A substrate 10A shown in FIGS. 12A and 12B is a substrate that becomes the color filter substrate 10 through processing by a manufacturing apparatus 1 (FIG. 13) described later. The base body 10A has a plurality of sections 18R, 18G, and 18B arranged in a matrix.

具体的には、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６と、を含む。ブラックマトリクス１４は遮光性を有する材料で形成されている。そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素領域、が規定されるように位置している。   Specifically, the base body 10 </ b> A includes a support substrate 12 having optical transparency, a black matrix 14 formed on the support substrate 12, and a bank 16 formed on the black matrix 14. The black matrix 14 is formed of a light-shielding material. The black matrix 14 and the bank 16 on the black matrix 14 are positioned on the support substrate 12 so that a plurality of matrix-like light transmission portions, that is, a plurality of matrix-like pixel regions are defined.

それぞれの画素領域において、支持基板１２、ブラックマトリクス１４、およびバンク１６で規定される凹部は、区画１８Ｒ、区画１８Ｇ、区画１８Ｂに対応する。区画１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。   In each pixel region, the concave portions defined by the support substrate 12, the black matrix 14, and the bank 16 correspond to the partition 18R, the partition 18G, and the partition 18B. The section 18R is an area where the filter layer 111FR that transmits only light in the red wavelength band is to be formed, and the section 18G is an area where the filter layer 111FG that transmits only the light in the green wavelength band is to be formed. The section 18B is an area where the filter layer 111FB that transmits only light in the blue wavelength region is to be formed.

図１２（ｂ）に示す基体１０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。基体１０Ａにおいて、区画１８Ｒ、区画１８Ｇ、および区画１８Ｂは、Ｙ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、区画１８Ｒ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、区画１８Ｇ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、そして、区画１８Ｂ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。   The base body 10A shown in FIG. 12B is located on a virtual plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. The row direction and the column direction of the matrix formed by the plurality of sections 18R, 18G, and 18B are parallel to the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. In the base body 10A, the section 18R, the section 18G, and the section 18B are periodically arranged in this order in the Y-axis direction. On the other hand, the sections 18R are arranged in a line at a predetermined constant interval in the X axis direction, and the sections 18G are arranged in a line at a predetermined constant interval in the X axis direction, and The partitions 18B are arranged in a line at a predetermined constant interval in the X-axis direction. Note that the X-axis direction and the Y-axis direction are orthogonal to each other.

区画１８Ｒ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、区画１８Ｇ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＧＹと同じであり、区画１８Ｂ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＢＹとも同じである。また、区画１８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、区画１８ＲのＹ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｘ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。区画１８Ｇおよび区画１８Ｂも区画１８Ｒと同じ形状・大きさを有している。区画同士の上記間隔および区画の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。   The interval LRY along the Y-axis direction between the partitions 18R, that is, the pitch is approximately 560 μm. This interval is the same as the interval LGY along the Y-axis direction between the partitions 18G, and is the same as the interval LBY along the Y-axis direction between the partitions 18B. The planar image of the section 18R is a rectangle determined by the long side and the short side. Specifically, the length of the section 18R in the Y-axis direction is approximately 100 μm, and the length in the X-axis direction is approximately 300 μm. The section 18G and the section 18B also have the same shape and size as the section 18R. The spacing between the partitions and the size of the partitions correspond to the spacing and size of pixel regions corresponding to the same color in a high-definition television having a size of about 40 inches.

図１３に示す製造装置１は、図１２の基体１０Ａの区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂのそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料を吐出する装置である。具体的には、製造装置１は、前述した液滴付与方法によって区画１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒを付与する液滴吐出装置１００Ｒと、区画１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを乾燥させる乾燥装置１５０Ｒと、前述した液滴付与方法によって区画１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇを付与する液滴吐出装置１００Ｇと、区画１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを乾燥させる乾燥装置１５０Ｇと、前述した液滴付与方法によって区画１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂを付与する液滴吐出装置１００Ｂと、区画１８Ｂのカラーフィルタ材料１１１Ｂを乾燥させる乾燥装置１５０Ｂと、カラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを再度加熱（ポストベーク）するオーブン１６０と、ポストベークされたカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの層の上に保護膜２０を設ける液滴吐出装置１００Ｃと、保護膜２０を乾燥させる乾燥装置１５０Ｃと、乾燥された保護膜２０を再度加熱して硬化する硬化装置１６５と、を備えている。さらに製造装置１は、液滴吐出装置１００Ｒ、乾燥装置１５０Ｒ、液滴吐出装置１００Ｇ、乾燥装置１５０Ｇ、液滴吐出装置１００Ｂ、乾燥装置１５０Ｂ、液滴吐出装置１００Ｃ、乾燥装置１５０Ｃ、硬化装置１６５の順番に基体１０Ａを搬送する搬送装置１７０も備えている。   The manufacturing apparatus 1 shown in FIG. 13 is an apparatus that discharges a corresponding color filter material to each of the sections 18R, 18G, and 18B of the base body 10A of FIG. Specifically, the manufacturing apparatus 1 includes a droplet discharge device 100R that applies the color filter material 111R to all the compartments 18R by the droplet application method described above, and a drying device 150R that dries the color filter material 111R on the compartments 18R. A droplet discharge device 100G for applying the color filter material 111G to all of the compartments 18G by the droplet applying method described above, a drying device 150G for drying the color filter material 111G on the compartment 18G, and the droplet applying method described above. The droplet discharge device 100B for applying the color filter material 111B to all the compartments 18B, the drying device 150B for drying the color filter material 111B in the compartments 18B, and the color filter materials 111R, 111G, 111B are heated again (post-baking). Oven 160 and post The droplet discharge device 100C for providing the protective film 20 on the layer of the color filter material 111R, 111G, 111B, the drying device 150C for drying the protective film 20, and the dried protective film 20 are heated again. A curing device 165 for curing. Further, the manufacturing apparatus 1 includes a droplet discharge device 100R, a drying device 150R, a droplet discharge device 100G, a drying device 150G, a droplet discharge device 100B, a drying device 150B, a droplet discharge device 100C, a drying device 150C, and a curing device 165. A transport device 170 that transports the base body 10A in order is also provided.

図１４に示すように、液滴吐出装置１００Ｒの構成は、第１実施形態の液滴吐出装置１００の構成と基本的に同じである。ただし、タンク１０１とチューブ１１０とに代えて、液滴吐出装置１００Ｒが液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ用のタンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｒの構成は液滴吐出装置１００の構成と異なる。なお、液滴吐出装置１００Ｒの構成要素のうち、液滴吐出装置１００の構成要素と同様なものには第１実施形態と同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。   As shown in FIG. 14, the configuration of the droplet discharge device 100R is basically the same as the configuration of the droplet discharge device 100 of the first embodiment. However, instead of the tank 101 and the tube 110, the droplet discharge device 100R includes a tank 101R and a tube 110R for the liquid color filter material 111R, and the configuration of the droplet discharge device 100R is the droplet discharge device 100. The configuration is different. Note that, among the components of the droplet discharge device 100R, the same components as those of the droplet discharge device 100 are denoted by the same reference numerals as those in the first embodiment, and redundant description is omitted.

液滴吐出装置１００Ｇの構成と、液滴吐出装置１００Ｂの構成と、液滴吐出装置１００Ｃの構成とは、いずれも基本的に液滴吐出装置１００Ｒの構造と同じある。ただし、液滴吐出装置１００Ｒにおけるタンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｇがカラーフィルタ材料１１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｇの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｂがカラーフィルタ材料１１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置１００Ｂの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。さらに、タンク１０１Ｒとチューブ１１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置１００Ｃが保護膜材料用のタンクとチューブとを備える点で液滴吐出装置１００Ｃの構成は液滴吐出装置１００Ｒの構成と異なる。なお、本実施形態における液状のカラーフィルタ材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂは、本発明の液状材料の一例である。   The configuration of the droplet discharge device 100G, the configuration of the droplet discharge device 100B, and the configuration of the droplet discharge device 100C are basically the same as the configuration of the droplet discharge device 100R. However, instead of the tank 101R and the tube 110R in the droplet discharge device 100R, the droplet discharge device 100G includes a tank and a tube for the color filter material 111G, and the configuration of the droplet discharge device 100G is a droplet discharge. Different from the configuration of the device 100R. Similarly, in place of the tank 101R and the tube 110R, the droplet discharge device 100B includes a tank and a tube for the color filter material 111B, and the configuration of the droplet discharge device 100B is the same as the configuration of the droplet discharge device 100R. Different. Furthermore, the configuration of the droplet discharge device 100C is different from the configuration of the droplet discharge device 100R in that the droplet discharge device 100C includes a tank and a tube for a protective film material instead of the tank 101R and the tube 110R. The liquid color filter materials 111R, 111G, and 111B in this embodiment are examples of the liquid material of the present invention.

次に、液滴吐出装置１００Ｒの動作を説明する。液滴吐出装置１００Ｒは、基体１０Ａ上でマトリクス状に配置された複数の区画１８Ｒに同一の材料を吐出する。なお、第３実施形態において説明するように、基体１０Ａは、エレクトロルミネッセンス表示装置用の基板に置き換わってもよいし、さらには、プラズマ表示装置用の背面基板に置き換わってもよく、また、電子放出素子を備えた画像表示装置の基板に置き換わってもよい。   Next, the operation of the droplet discharge device 100R will be described. The droplet discharge device 100R discharges the same material to a plurality of sections 18R arranged in a matrix on the base 10A. As described in the third embodiment, the base body 10A may be replaced with a substrate for an electroluminescence display device, and may further be replaced with a rear substrate for a plasma display device. You may replace with the board | substrate of the image display apparatus provided with the element.

以下では、製造装置１によってカラーフィルタ基板１０が得られるまでの一連の工程を説明する。
まず、以下の手順にしたがって図１２の基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。 Below, a series of processes until the color filter substrate 10 is obtained by the manufacturing apparatus 1 will be described.
First, the base body 10A of FIG. 12 is prepared according to the following procedure. First, a metal thin film is formed on the support substrate 12 by sputtering or vapor deposition. Thereafter, a lattice-like black matrix 14 is formed from the metal thin film by a photolithography process. Examples of the material of the black matrix 14 are metal chromium and chromium oxide. Note that the support substrate 12 is a substrate having optical transparency with respect to visible light, for example, a glass substrate. Subsequently, a resist layer made of a negative photosensitive resin composition is applied so as to cover the support substrate 12 and the black matrix 14. Then, the resist layer is exposed while closely contacting the mask film formed in a matrix pattern shape on the resist layer. Thereafter, the bank 16 is obtained by removing an unexposed portion of the resist layer by an etching process. The base body 10A is obtained through the above steps.
Instead of the bank 16, a bank made of resin black may be used. In that case, the metal thin film (black matrix 14) becomes unnecessary, and the bank layer is only one layer.

次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、で規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面と、が親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。このように、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂとなる。   Next, the substrate 10A is made lyophilic by oxygen plasma treatment under atmospheric pressure. By this processing, the surface of the support substrate 12, the surface of the black matrix 14, the surface of the bank 16, and the recesses defined by the support substrate 12, the black matrix 14, and the bank 16 (part of the pixel region) The surface becomes lyophilic. Further, thereafter, a plasma treatment using tetrafluoromethane as a treatment gas is performed on the base 10A. By the plasma treatment using tetrafluoromethane, the surface of the bank 16 in each recess is fluorinated (treated to be liquid repellent), whereby the surface of the bank 16 becomes liquid repellent. Note that the surface of the support substrate 12 and the surface of the black matrix 14 to which lyophilicity was previously imparted by plasma treatment using tetrafluoromethane slightly lose lyophilicity, but these surfaces are still lyophilic. maintain. As described above, the surface of the concave portion defined by the support substrate 12, the black matrix 14, and the bank 16 is subjected to a predetermined surface treatment, so that the surface of the concave portion becomes the partitions 18R, 18G, and 18B.

なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６と、によって規定された凹部の表面が区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂである。   Depending on the material of the support substrate 12, the material of the black matrix 14, and the material of the bank 16, a surface exhibiting desired lyophilicity and liquid repellency can be obtained without performing the above surface treatment. There is also. In such a case, the surface of the recess defined by the support substrate 12, the black matrix 14, and the bank 16 is the sections 18R, 18G, and 18B without performing the surface treatment.

区画１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、搬送装置１７０によって、液滴吐出装置１００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１５（ａ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｒは、区画１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｒは、前述した液滴付与方法で区画１８Ｒにカラーフィルタ材料１１１Ｒを付与する。基体１０Ａの区画１８Ｒのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｒ内に位置させる。そして、区画１８Ｒ上のカラーフィルタ材料１１１Ｒを完全に乾燥させることで、区画１８Ｒ上にフィルタ層１１１ＦＲを得る。   The base body 10A on which the sections 18R, 18G, and 18B are formed is carried by the transport device 170 to the stage 106 of the droplet discharge device 100R. Then, as shown in FIG. 15A, the droplet discharge device 100R discharges the color filter material 111R from the droplet discharge head 114 so that the layer of the color filter material 111R is formed in all the sections 18R. . Specifically, the droplet discharge device 100R applies the color filter material 111R to the section 18R by the droplet applying method described above. When the layer of the color filter material 111R is formed on all the sections 18R of the base body 10A, the transport device 170 positions the base body 10A in the drying device 150R. And the filter layer 111FR is obtained on the division 18R by drying the color filter material 111R on the division 18R completely.

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１５（ｂ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｇは、区画１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｇは、前述した液滴付与方法で区画１８Ｇにカラーフィルタ材料１１１Ｇを付与する。基体１０Ａの区画１８Ｇのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｇ内に位置させる。そして、区画１８Ｇ上のカラーフィルタ材料１１１Ｇを完全に乾燥させることで、区画１８Ｇ上にフィルタ層１１１ＦＧを得る。   Next, the transport device 170 positions the base body 10A on the stage 106 of the droplet discharge device 100G. Then, as shown in FIG. 15B, the droplet discharge device 100G discharges the color filter material 111G from the droplet discharge head 114 so that the layer of the color filter material 111G is formed in all the sections 18G. . Specifically, the droplet discharge device 100G applies the color filter material 111G to the section 18G by the droplet applying method described above. When the layer of the color filter material 111G is formed in all the sections 18G of the base body 10A, the transport device 170 positions the base body 10A in the drying device 150G. Then, the filter layer 111FG is obtained on the section 18G by completely drying the color filter material 111G on the section 18G.

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１５（ｃ）に示すように、液滴吐出装置１００Ｂは、区画１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４からカラーフィルタ材料１１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置１００Ｂは、前述した液滴付与方法で区画１８Ｂにカラーフィルタ材料１１１Ｂを付与する。基体１０Ａの区画１８Ｂのすべてにカラーフィルタ材料１１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置１７０が基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｂ内に位置させる。そして、区画１８Ｂ上のカラーフィルタ材料１１１Ｂを完全に乾燥させることで、区画１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＢを得る。   Next, the transport device 170 positions the base body 10A on the stage 106 of the droplet discharge device 100B. Then, as shown in FIG. 15C, the droplet discharge device 100B discharges the color filter material 111B from the droplet discharge head 114 so that the layer of the color filter material 111B is formed in all the sections 18B. . Specifically, the droplet discharge device 100B applies the color filter material 111B to the section 18B by the droplet applying method described above. When the layer of the color filter material 111B is formed in all the sections 18B of the base body 10A, the transport device 170 positions the base body 10A in the drying device 150B. Then, the filter layer 111FB is obtained on the section 18B by completely drying the color filter material 111B on the section 18B.

次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを、オーブン１６０内に位置させる。その後、オーブン１６０はフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次に搬送装置１７０は、基体１０Ａを液滴吐出装置１００Ｃのステージ１０６に位置させる。そして、液滴吐出装置１００Ｃは、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆って保護膜２０が形成されるように、液状の保護膜材料を吐出する。フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、搬送装置１７０は基体１０Ａを乾燥装置１５０Ｃ内に位置させる。そして、乾燥装置１５０Ｃが保護膜２０を完全に乾燥させた後に、硬化装置１６５が保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。 Next, the transfer device 170 positions the base body 10 </ b> A in the oven 160. Thereafter, the oven 160 reheats (post-bake) the filter layers 111FR, 111FG, and 111FB.
Next, the transport device 170 positions the base body 10A on the stage 106 of the droplet discharge device 100C. Then, the droplet discharge device 100C discharges a liquid protective film material so that the protective film 20 is formed so as to cover the filter layers 111FR, 111FG, 111FB and the bank 16. After the protective film 20 covering the filter layers 111FR, 111FG, 111FB and the bank 16 is formed, the transport device 170 positions the base body 10A in the drying device 150C. Then, after the drying device 150 </ b> C completely dries the protective film 20, the curing device 165 heats the protective film 20 and completely cures, whereby the base body 10 </ b> A becomes the color filter substrate 10.

＜液滴吐出装置の第３実施形態＞
次に、本発明をエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置に適用した例を説明する。
図１６（ａ）および（ｂ）に示す基体３０Ａは、後述する製造装置２（図１７）による処理によって、エレクトロルミネッセンス表示装置３０となる基板である。基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂを有する。 <Third Embodiment of Droplet Discharge Device>
Next, the example which applied this invention to the manufacturing apparatus of an electroluminescent display apparatus is demonstrated.
A substrate 30A shown in FIGS. 16A and 16B is a substrate that becomes the electroluminescence display device 30 by processing by the manufacturing apparatus 2 (FIG. 17) described later. The base body 30A has a plurality of sections 38R, 38G, and 38B arranged in a matrix.

具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の画素電極３６と、複数の画素電極３６の間に形成されたバンク４０と、を有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の画素電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素領域を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。   Specifically, the base body 30A includes a support substrate 32, a circuit element layer 34 formed on the support substrate 32, a plurality of pixel electrodes 36 formed on the circuit element layer 34, and a plurality of pixel electrodes 36. And a bank 40 formed therebetween. The support substrate 32 is a substrate having optical transparency with respect to visible light, and is, for example, a glass substrate. Each of the plurality of pixel electrodes 36 is an electrode having optical transparency with respect to visible light, for example, an ITO (Indium-Tin Oxide) electrode. The plurality of pixel electrodes 36 are arranged in a matrix on the circuit element layer 34, and each define a pixel region. The bank 40 has a lattice shape and surrounds each of the plurality of pixel electrodes 36. The bank 40 includes an inorganic bank 40A formed on the circuit element layer 34 and an organic bank 40B positioned on the inorganic bank 40A.

回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５と、を有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の画素電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する画素電極３６と、の間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図１６（ｂ）の紙面に垂直な方向から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。   The circuit element layer 34 includes a plurality of scan electrodes extending in a predetermined direction on the support substrate 32, an insulating film 42 formed so as to cover the plurality of scan electrodes, and a plurality of scan electrodes positioned on the insulating film 42. A plurality of signal electrodes extending in a direction orthogonal to the direction in which the electrodes extend, a plurality of switching elements 44 located near the intersections of the scan electrodes and the signal electrodes, and polyimide formed so as to cover the plurality of switching elements 44 And an interlayer insulating film 45. The gate electrode 44G and the source electrode 44S of each switching element 44 are electrically connected to the corresponding scan electrode and the corresponding signal electrode, respectively. A plurality of pixel electrodes 36 are located on the interlayer insulating film 45. The interlayer insulating film 45 is provided with a through hole 44V at a portion corresponding to the drain electrode 44D of each switching element 44, and the switching element 44 and the corresponding pixel electrode 36 are connected via the through hole 44V. An electrical connection between them is formed. Each switching element 44 is located at a position corresponding to the bank 40. That is, when viewed from a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 16B, each of the plurality of switching elements 44 is positioned so as to be covered by the bank 40.

基体３０Ａの画素電極３６とバンク４０とで規定される凹部（画素領域の一部）は、区画３８Ｒ、区画３８Ｇ、区画３８Ｂに対応する。区画３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、区画３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、区画３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＧＢが形成されるべき領域である。   A recess (a part of the pixel area) defined by the pixel electrode 36 and the bank 40 of the base body 30A corresponds to the partition 38R, the partition 38G, and the partition 38B. The section 38R is a region where the light emitting layer 211FR that emits light in the red wavelength region is to be formed, and the section 38G is a region where the light emitting layer 211FG that emits light in the green wavelength region is to be formed, The section 38B is a region where the light emitting layer 211GB that emits light in the blue wavelength region is to be formed.

図１６（ｂ）に示す基体３０Ａは、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な仮想平面上に位置している。そして、複数の区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成するマトリクスの行方向および列方向は、それぞれＸ軸方向およびＹ軸方向と平行である。基体３０Ａにおいて、区画３８Ｒ、区画３８Ｇ、および区画３８Ｂは、Ｙ軸方向にこの順番で周期的に並んでいる。一方、区画３８Ｒ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、また、区画３８Ｇ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでおり、同様に、区画３８Ｂ同士はＸ軸方向に所定の一定間隔をおいて１列に並んでいる。なお、Ｘ軸方向およびＹ軸方向は互いに直交する。   The base body 30A shown in FIG. 16B is located on a virtual plane parallel to both the X-axis direction and the Y-axis direction. The row direction and the column direction of the matrix formed by the plurality of sections 38R, 38G, and 38B are parallel to the X-axis direction and the Y-axis direction, respectively. In the base body 30A, the section 38R, the section 38G, and the section 38B are periodically arranged in this order in the Y-axis direction. On the other hand, the sections 38R are arranged in a line at a predetermined fixed interval in the X-axis direction, and the sections 38G are arranged in a line at a predetermined fixed interval in the X-axis direction. The partitions 38B are arranged in a line at a predetermined constant interval in the X-axis direction. Note that the X-axis direction and the Y-axis direction are orthogonal to each other.

区画３８Ｒ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＲＹ、すなわちピッチは、ほぼ５６０μｍである。この間隔は、区画３８Ｇ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＧＹと同じであり、区画１８Ｂ同士のＹ軸方向に沿った間隔ＬＢＹとも同じである。また、区画３８Ｒの平面像は、長辺と短辺とで決まる矩形である。具体的には、区画３８ＲのＹ軸方向の長さはほぼ１００μｍであり、Ｘ軸方向の長さはほぼ３００μｍである。区画３８Ｇおよび区画３８Ｂも区画３８Ｒと同じ形状・大きさを有している。区画同士の上記間隔および区画の上記大きさは、４０インチ程度の大きさのハイビジョンテレビにおいて、同一色に対応する画素領域同士の間隔や大きさに対応する。   The interval LRY along the Y-axis direction between the partitions 38R, that is, the pitch is approximately 560 μm. This interval is the same as the interval LGY along the Y-axis direction between the partitions 38G, and is the same as the interval LBY along the Y-axis direction between the partitions 18B. The planar image of the section 38R is a rectangle determined by the long side and the short side. Specifically, the length of the section 38R in the Y-axis direction is approximately 100 μm, and the length in the X-axis direction is approximately 300 μm. The section 38G and the section 38B also have the same shape and size as the section 38R. The spacing between the partitions and the size of the partitions correspond to the spacing and size of pixel regions corresponding to the same color in a high-definition television having a size of about 40 inches.

図１７に示す製造装置２は、図１６の基体３０Ａの区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂのそれぞれに対して、対応する発光材料を吐出する装置である。製造装置２は、区画３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒを付与する液滴吐出装置２００Ｒと、区画３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを乾燥させる乾燥装置２５０Ｒと、区画３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇを付与する液滴吐出装置２００Ｇと、区画３８Ｇ上の発光材料２１１Ｇを乾燥させる乾燥装置２５０Ｇと、区画３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂを付与する液滴吐出装置２００Ｂと、区画３８Ｂ上の発光材料Ｂを乾燥させる乾燥装置２５０Ｂと、を備えている。さらに製造装置２は、液滴吐出装置２００Ｒ、乾燥装置２５０Ｒ、液滴吐出装置２００Ｇ、乾燥装置２５０Ｇ、液滴吐出装置２００Ｂ、乾燥装置２５０Ｂの順番に基体３０Ａを搬送する搬送装置２７０も備えている。   The manufacturing apparatus 2 shown in FIG. 17 is an apparatus that discharges a corresponding luminescent material to each of the sections 38R, 38G, and 38B of the base body 30A of FIG. The manufacturing apparatus 2 includes a droplet discharge device 200R that applies the luminescent material 211R to all of the sections 38R, a drying device 250R that dries the luminescent material 211R on the sections 38R, and a liquid that applies the luminescent material 211G to all of the sections 38G. The droplet discharge device 200G, the drying device 250G for drying the luminescent material 211G on the section 38G, the droplet discharge device 200B for applying the luminescent material 211B to all the sections 38B, and the drying for drying the luminescent material B on the section 38B And a device 250B. The manufacturing apparatus 2 further includes a transport device 270 that transports the base body 30A in the order of the droplet discharge device 200R, the drying device 250R, the droplet discharge device 200G, the drying device 250G, the droplet discharge device 200B, and the drying device 250B. .

図１８に示す液滴吐出装置２００Ｒは、液状の発光材料２１１Ｒを保持するタンク２０１Ｒと、チューブ２１０Ｒと、チューブ２１０Ｒを介してタンク２０１Ｒから発光材料２１１Ｒが供給される吐出走査部１０２と、を備える。吐出走査部１０２の構成は、第１実施形態の吐出走査部１０２（図１）の構成と同じであるため、同様な構成要素には同一の参照符号を付けるとともに、重複する説明を省略する。また、液滴吐出装置２００Ｇの構成と液滴吐出装置２００Ｂの構成とは、どちらも基本的に液滴吐出装置２００Ｒの構造と同じある。ただし、タンク２０１Ｒとチューブ２１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｇが発光材料２１１Ｇ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｇの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。同様に、タンク２０１Ｒとチューブ２１０Ｒとの代わりに、液滴吐出装置２００Ｂが発光材料２１１Ｂ用のタンクとチューブとを備える点で、液滴吐出装置２００Ｂの構成は液滴吐出装置２００Ｒの構成と異なる。なお、本実施形態における液状の発光材料２１１Ｒ、２１１Ｂ、２１１Ｇは、本発明の液状材料の一例である。
製造装置２を用いたエレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を説明する。まず、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて、図１６に示す基体３０Ａを製造する。 A droplet discharge device 200R shown in FIG. 18 includes a tank 201R that holds a liquid luminescent material 211R, a tube 210R, and a discharge scanning unit 102 that is supplied with the luminescent material 211R from the tank 201R via the tube 210R. . Since the configuration of the ejection scanning unit 102 is the same as the configuration of the ejection scanning unit 102 (FIG. 1) of the first embodiment, the same reference numerals are given to the same components, and redundant description is omitted. The configuration of the droplet discharge device 200G and the configuration of the droplet discharge device 200B are both basically the same as the configuration of the droplet discharge device 200R. However, the configuration of the droplet discharge device 200G is different from the configuration of the droplet discharge device 200R in that the droplet discharge device 200G includes a tank and a tube for the light emitting material 211G instead of the tank 201R and the tube 210R. Similarly, the configuration of the droplet discharge device 200B is different from the configuration of the droplet discharge device 200R in that the droplet discharge device 200B includes a tank and a tube for the light emitting material 211B instead of the tank 201R and the tube 210R. . Note that the liquid light emitting materials 211R, 211B, and 211G in the present embodiment are examples of the liquid material of the present invention.
A method for manufacturing the electroluminescence display device 30 using the manufacturing apparatus 2 will be described. First, a base 30A shown in FIG. 16 is manufactured using a known film forming technique and patterning technique.

次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体３０Ａを親液化する。この処理によって、画素電極３６とバンク４０とで規定されたそれぞれの凹部（画素領域の一部）における画素電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。このように、画素電極３６と、バンク４０と、によって規定された凹部の表面に所定の表面処理が施されることで、凹部の表面が区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂとなる。   Next, the base 30A is made lyophilic by oxygen plasma treatment under atmospheric pressure. By this processing, the surface of the pixel electrode 36, the surface of the inorganic bank 40A, and the surface of the organic bank 40B in the respective recesses (a part of the pixel region) defined by the pixel electrode 36 and the bank 40 are made lyophilic. Present. Further, thereafter, a plasma process using tetrafluoromethane as a process gas is performed on the base 30A. By the plasma treatment using tetrafluoromethane, the surface of the organic bank 40B in each recess is fluorinated (treated to be liquid repellent) so that the surface of the organic bank 40B exhibits liquid repellency. Become. Note that the surface of the pixel electrode 36 and the surface of the inorganic bank 40A previously given lyophilicity by plasma treatment using tetrafluoromethane lose some lyophilicity, but still maintain lyophilicity. . As described above, the surface of the concave portion defined by the pixel electrode 36 and the bank 40 is subjected to a predetermined surface treatment, so that the surface of the concave portion becomes the partitions 38R, 38G, and 38B.

なお、画素電極３６の材質、無機バンク４０の材質、および有機バンク４０の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくても、画素電極３６と、バンク４０と、によって規定された凹部の表面は区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂである。   Depending on the material of the pixel electrode 36, the material of the inorganic bank 40, and the material of the organic bank 40, a surface exhibiting desired lyophilicity and liquid repellency can be obtained without performing the above surface treatment. Sometimes. In such a case, the surface of the recess defined by the pixel electrode 36 and the bank 40 is the sections 38R, 38G, and 38B without performing the surface treatment.

ここで、表面処理が施された複数の画素電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、画素電極３６と、後述の発光層２１１ＲＦ、２１１ＧＦ、２１１ＢＦと、の間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。複数の画素電極３６のそれぞれの上に正孔輸送層を設ける場合には、正孔輸送層と、バンク４０と、によって規定された凹部が、区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対応する。   Here, the corresponding hole transport layers 37R, 37G, and 37B may be formed on each of the plurality of pixel electrodes 36 subjected to the surface treatment. If the hole transport layers 37R, 37G, and 37B are positioned between the pixel electrode 36 and light emitting layers 211RF, 211GF, and 211BF, which will be described later, the light emission efficiency of the electroluminescence display device is increased. When a hole transport layer is provided on each of the plurality of pixel electrodes 36, the recesses defined by the hole transport layer and the bank 40 correspond to the sections 38R, 38G, and 38B.

なお、正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂをインクジェット法により形成することも可能である。この場合、正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成するための材料を含む溶液を各画素領域ごとに所定量塗布し、その後、乾燥させることにより正孔輸送層を形成することができる。なお、正孔輸送層を本明細書に記載する描画方法（液滴付与方法）を用いて形成してもよい。   Note that the hole transport layers 37R, 37G, and 37B can be formed by an inkjet method. In this case, the hole transport layer can be formed by applying a predetermined amount of a solution containing a material for forming the hole transport layers 37R, 37G, and 37B to each pixel region and then drying the solution. In addition, you may form a positive hole transport layer using the drawing method (droplet provision method) described in this specification.

区画３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａは、搬送装置２７０によって、液滴吐出装置２００Ｒのステージ１０６に運ばれる。そして、図１９（ａ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｒは、区画３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｒを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｒは、前述した液滴付与方法で区画３８Ｒに発光材料２１１Ｒを付与する。基体３０Ａの区画３８Ｒのすべてに発光材料２１１Ｒの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｒ内に位置させる。そして、区画３８Ｒ上の発光材料２１１Ｒを完全に乾燥させることで、区画３８Ｒ上に発光層２１１ＦＲを得る。   The base body 30A on which the sections 38R, 38G, and 38B are formed is transported to the stage 106 of the droplet discharge device 200R by the transport device 270. Then, as shown in FIG. 19A, the droplet discharge device 200R discharges the luminescent material 211R from the droplet discharge head 114 so that the layer of the luminescent material 211R is formed in all the partitions 38R. Specifically, the droplet discharge device 200R applies the luminescent material 211R to the section 38R by the droplet applying method described above. When the layer of the light emitting material 211R is formed in all the sections 38R of the base body 30A, the transport device 270 positions the base body 30A in the drying device 250R. Then, the light emitting material 211R on the section 38R is completely dried to obtain the light emitting layer 211FR on the section 38R.

次に搬送装置２７０は、基体３０Ａを液滴吐出装置２００Ｇのステージ１０６に位置させる。そして、図１９（ｂ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｇは、区画３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｇを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｇは、前述した液滴付与方法で区画３８Ｇに発光材料２１１Ｇを付与する。基体３０Ａの区画３８Ｇのすべてに発光材料２１１Ｇの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｇ内に位置させる。そして、区画３８Ｇ上の発光材料Ｇを完全に乾燥させることで、区画３８Ｇ上に発光層２１１ＦＧを得る。   Next, the transport device 270 positions the base body 30A on the stage 106 of the droplet discharge device 200G. Then, as shown in FIG. 19B, the droplet discharge device 200G discharges the luminescent material 211G from the droplet discharge head 114 so that the layer of the luminescent material 211G is formed in all the sections 38G. Specifically, the droplet discharge device 200G applies the luminescent material 211G to the section 38G by the droplet applying method described above. When the layer of the light emitting material 211G is formed in all the sections 38G of the base body 30A, the transport device 270 positions the base body 30A in the drying device 250G. And the luminescent material 211FG is obtained on the division 38G by drying the luminescent material G on the division 38G completely.

次に搬送装置２７０は、基体３０Ａを液滴吐出装置２００Ｂのステージ１０６に位置させる。そして、図１９（ｃ）に示すように、液滴吐出装置２００Ｂは、区画３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成されるように、液滴吐出ヘッド１１４から発光材料２１１Ｂを吐出する。具体的には、液滴吐出装置２００Ｂは、前述した液滴付与方法で区画３８Ｂに発光材料２１１Ｂを付与する。基体３０Ａの区画３８Ｂのすべてに発光材料２１１Ｂの層が形成された場合には、搬送装置２７０が基体３０Ａを乾燥装置２５０Ｂ内に位置させる。そして、区画３８Ｂ上の発光材料２１１Ｂを完全に乾燥させることで、区画３８Ｂ上に発光層２１１ＦＢを得る。   Next, the transport device 270 positions the base body 30A on the stage 106 of the droplet discharge device 200B. Then, as shown in FIG. 19C, the droplet discharge device 200B discharges the luminescent material 211B from the droplet discharge head 114 so that the layer of the luminescent material 211B is formed in all the sections 38B. Specifically, the droplet discharge device 200B applies the light emitting material 211B to the section 38B by the droplet applying method described above. When the layer of the light emitting material 211B is formed in all the sections 38B of the base body 30A, the transport device 270 positions the base body 30A in the drying device 250B. Then, by completely drying the light emitting material 211B on the section 38B, the light emitting layer 211FB is obtained on the section 38B.

図１９（ｄ）に示すように、次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図１９（ｄ）に示すエレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、画素電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。 Next, as shown in FIG. 19D, the counter electrode 46 is provided so as to cover the light emitting layers 211FR, 211FG, 211FB and the bank 40. The counter electrode 46 functions as a cathode.
Then, the electroluminescent display apparatus 30 shown in FIG.19 (d) is obtained by adhere | attaching the sealing substrate 48 and the base | substrate 30A in a mutual peripheral part. An inert gas 49 is enclosed between the sealing substrate 48 and the base body 30A.
In the electroluminescence display device 30, light emitted from the light emitting layers 211 FR, 211 FG, and 211 FB is emitted through the pixel electrode 36, the circuit element layer 34, and the support substrate 32. The electroluminescence display device that emits light through the circuit element layer 34 in this manner is called a bottom emission type display device.

以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。   As described above, the case where the present invention is applied to the manufacture of a liquid crystal display device (color filter substrate) and the manufacture of an electroluminescence display device has been described. However, the present invention is not limited thereto, and for example, a back substrate of a plasma display device The present invention can also be applied to the manufacture of an image display apparatus (also referred to as a surface-conduction electron-emitter display (SED) or field emission display (FED)) equipped with an electron-emitting device.

＜電子機器の実施形態＞
以下、前述したような方法で製造された液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置、電子放出素子を備えた画像表示装置等の画像表示装置（電気光学装置）１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図２０は、電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 <Embodiment of Electronic Device >
Hereinafter, an image display device (electro-optical device) 1000 such as a liquid crystal display device, an electroluminescence display device, a plasma display device, or an image display device including an electron-emitting device manufactured by the method described above is used for various electronic devices. It can be used for a display portion.
FIG. 20 is a perspective view illustrating a configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which an electronic device is applied.

この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。 In this figure, a personal computer 1100 includes a main body 1104 having a keyboard 1102 and a display unit 1106. The display unit 1106 is supported by the main body 1104 via a hinge structure so as to be rotatable. Yes.
In the personal computer 1100, the display unit 1106 includes an image display device 1000.

図２１は、電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
図２２は、電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。 FIG. 21 is a perspective view illustrating a configuration of a mobile phone (including PHS) to which an electronic device is applied.
In this figure, a cellular phone 1200 is provided with an image display device 1000 in a display unit, together with a plurality of operation buttons 1202, an earpiece 1204, and a mouthpiece 1206.
FIG. 22 is a perspective view illustrating a configuration of a digital still camera to which an electronic device is applied. In this figure, connection with an external device is also simply shown.
Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a digital still camera 1300 photoelectrically converts a light image of a subject with an imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device). An imaging signal (image signal) is generated.

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。 On the back of a case (body) 1302 in the digital still camera 1300, an image display device 1000 is provided in the display unit, and is configured to display based on an imaging signal from the CCD, and a finder that displays a subject as an electronic image. Function as.
A circuit board 1308 is installed inside the case. The circuit board 1308 is provided with a memory that can store (store) an imaging signal.

また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。 A light receiving unit 1304 including an optical lens (imaging optical system), a CCD, and the like is provided on the front side of the case 1302 (on the back side in the illustrated configuration).
When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit and presses the shutter button 1306, the CCD image pickup signal at that time is transferred and stored in the memory of the circuit board 1308.

また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。   In the digital still camera 1300, a video signal output terminal 1312 and an input / output terminal 1314 for data communication are provided on the side surface of the case 1302. As shown in the figure, a television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312 and a personal computer 1440 is connected to the input / output terminal 1314 for data communication as necessary. Further, the imaging signal stored in the memory of the circuit board 1308 is output to the television monitor 1430 or the personal computer 1440 by a predetermined operation.

なお、電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
以上、本発明の液滴付与方法および電気光学装置の製造方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。 Note that the child device is conductive, the above-described personal computer (mobile personal computer), mobile phone, and the digital still camera, for example, a television, a video camera, a viewfinder type or monitor direct view type video tape recorders, lap Top personal computers, car navigation devices, pagers, electronic notebooks (including those with communication functions), electronic dictionaries, calculators, electronic game machines, word processors, workstations, videophones, TV monitors for crime prevention, electronic binoculars, POS terminals, touch panels Equipment (for example, cash dispensers of financial institutions, automatic ticket vending machines), medical equipment (for example, electronic thermometers, sphygmomanometers, blood glucose meters, electrocardiogram display devices, ultrasonic diagnostic devices, endoscope display devices), fish detection Machines, various measuring instruments, instruments (for example, cars , Aircraft, instruments and ships), a flight simulator, various monitors, and a projection display such as a projector.
Although the manufacturing how droplet applying method and an electro-optical device of the present invention have been described embodiments illustrated in the drawings, the present invention is not limited thereto. Each unit constituting the droplet discharge device can be replaced with any component that can exhibit the same function. Moreover, arbitrary components may be added.

第１実施形態の液滴吐出装置の斜視図。1 is a perspective view of a droplet discharge device according to a first embodiment. 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出手段をステージ側から観察した図。The figure which observed the droplet discharge means in the droplet discharge apparatus shown in FIG. 1 from the stage side. 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの底面を示す図。The figure which shows the bottom face of the droplet discharge head in the droplet discharge apparatus shown in FIG. 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図。2A and 2B are diagrams illustrating a droplet discharge head in the droplet discharge apparatus illustrated in FIG. 1, in which FIG. 液滴吐出手段の他の構成例を示す底面図。The bottom view which shows the other structural example of a droplet discharge means. 図１に示す液滴吐出装置における制御手段を示すブロック図。The block diagram which shows the control means in the droplet discharge apparatus shown in FIG. （ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。FIG. 5A is a schematic diagram illustrating a head driving unit, and FIG. 5B is a timing chart illustrating a driving signal, a selection signal, and an ejection signal in the head driving unit. 本発明の液滴吐出方法を説明するための図。The figure for demonstrating the droplet discharge method of this invention. 本発明の液滴吐出方法を説明するための図。The figure for demonstrating the droplet discharge method of this invention. 本発明の液滴吐出方法を説明するための図。The figure for demonstrating the droplet discharge method of this invention. 本発明の液滴吐出方法を説明するための図。The figure for demonstrating the droplet discharge method of this invention. 第２実施形態の液滴吐出装置で液滴を付与する基体を示す模式図。The schematic diagram which shows the base | substrate which provides a droplet with the droplet discharge apparatus of 2nd Embodiment. 第２実施形態の液滴吐出装置を含む製造装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the manufacturing apparatus containing the droplet discharge apparatus of 2nd Embodiment. 第２実施形態の液滴吐出装置の斜視図。The perspective view of the droplet discharge apparatus of 2nd Embodiment. 第２実施形態の液滴吐出装置による製造方法を示す模式図。The schematic diagram which shows the manufacturing method by the droplet discharge apparatus of 2nd Embodiment. 第３実施形態の液滴吐出装置で液滴を付与する基体を示す模式図。The schematic diagram which shows the base | substrate which provides a droplet with the droplet discharge apparatus of 3rd Embodiment. 第３実施形態の液滴吐出装置を含む製造装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the manufacturing apparatus containing the droplet discharge apparatus of 3rd Embodiment. 第３実施形態の液滴吐出装置の斜視図。The perspective view of the droplet discharge apparatus of 3rd Embodiment. 第３実施形態の液滴吐出装置による製造方法を示す模式図。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a manufacturing method using a droplet discharge device according to a third embodiment. 電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図。Perspective view showing a configuration of a mobile personal computer to which the electronic equipment (or notebook). 電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。Perspective view of a mobile phone (PHS is also included) to which the electronic equipment. 電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。Perspective view showing the configuration of a digital still camera to which the electronic equipment.

符号の説明Explanation of symbols

１、２……製造装置 ９２、９３……ドット １００、１００Ｒ、１００Ｇ、１００Ｂ、１００Ｃ、２００Ｒ、２００Ｇ、２００Ｂ……液滴吐出装置 １０１……タンク １０２……吐出走査部 １０３、１０３’……液滴吐出手段 １０４……第１位置制御装置 １０５……キャリッジ １０６……ステージ １０８……第２位置制御装置 １１０……チューブ １１１……液状材料 １１２……制御手段 １１４……液滴吐出ヘッド １１４Ｇ……ヘッド群 １１６Ａ、１１６Ｂ……ノズル列 １１８……ノズル １１８Ｒ……基準ノズル １２０……キャビティ １２２……隔壁 １２４……振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ……電極 １２４Ｃ……ピエゾ素子 １２６……振動板 １２７……吐出部 １２８……ノズルプレート １２９……液たまり １３０……供給口 １３１……孔 ２００……バッファメモリ ２０２……記憶手段 ２０３……駆動信号生成部 ２０４……処理部 ２０６……走査駆動部 ２０８……ヘッド駆動部 ＡＳ……アナログスイッチ ＤＳ……駆動信号 ＳＣ……選択信号 ＥＳ……吐出信号 １０Ａ、３０Ａ……基体 １０……カラーフィルタ基板 １２、３２……支持基板 １４……ブラックマトリクス １６、４０……バンク ２０……保護膜 １８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ、３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ……区画 １１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ……フィルタ層 ３０……エレクトロルミネッセンス表示装置 ３４……回路素子層 ３６……画素電極 ４０Ａ……無機物バンク ４０Ｂ……有機物バンク ４２……絶縁膜 ４４……スイッチング素子 ４４Ｇ……ゲート電極 ４４Ｓ……ソース電極 ４４Ｄ……ドレイン電極 ４４Ｖ……スルーホール ４５……層間絶縁膜 ４６……対向電極 ４８……封止基板 ４９……不活性ガス １５０Ｃ……乾燥装置 １５０Ｒ、１５０Ｇ、１５０Ｂ、２５０Ｒ、２５０Ｇ、２５０Ｂ……乾燥装置 １１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ……カラーフィルタ材料 １６０……オーブン １６５……硬化装置 １７０、２７０……搬送装置 ２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……発光材料 １０００……画像表示装置 １１００……パーソナルコンピュータ １１０２……キーボード １１０４……本体部 １１０６……表示ユニット １２００……携帯電話機 １２０２……操作ボタン １２０４……受話口 １２０６……送話口 １３００……ディジタルスチルカメラ １３０２……ケース（ボディー） １３０４……受光ユニット １３０６……シャッタボタン １３０８……回路基板 １３１２……ビデオ信号出力端子 １３１４……データ通信用の入出力端子 １４３０……テレビモニタ １４４０……パーソナルコンピュータ   1, 2, ... Manufacturing apparatus 92, 93 ... Dots 100, 100R, 100G, 100B, 100C, 200R, 200G, 200B ... Droplet discharge device 101 ... Tank 102 ... Discharge scanning unit 103, 103 '... Droplet discharge means 104 …… First position control device 105 …… Carriage 106 …… Stage 108 …… Second position control device 110 …… Tube 111 …… Liquid material 112 …… Control means 114 …… Droplet discharge head 114G …… Head group 116A, 116B …… Nozzle row 118 …… Nozzle 118R …… Reference nozzle 120 …… Cavity 122 …… Partition wall 124 …… Vibrator 124A, 124B …… Electrode 124C …… Piezo element 126 …… Vibration plate 127 ... Discharge section 128 ... Nozzle plate 129 ... Puddle 13 ...... Supply port 131 ...... Hole 200 ...... Buffer memory 202 ...... Storage means 203 ...... Drive signal generation unit 204 ...... Processing unit 206 ...... Scanning drive unit 208 …… Head drive unit AS …… Analog switch DS ...... Drive signal SC ... Selection signal ES ... Discharge signal 10A, 30A ... Substrate 10 ... Color filter substrate 12, 32 ... Support substrate 14 ... Black matrix 16, 40 ... Bank 20 ... Protective film 18R, 18G , 18B, 38R, 38G, 38B... 111 111FR, 111FG, 111FB... Filter layer 30... Electroluminescence display device 34... Circuit element layer 36. ... Insulating film 44 ... Switching element 44G ... Gate electrode 4 4S …… Source electrode 44D …… Drain electrode 44V …… Through hole 45 …… Interlayer insulating film 46 …… Counter electrode 48 …… Sealing substrate 49 …… Inert gas 150C …… Drying equipment 150R, 150G, 150B, 250R , 250G, 250B ... Drying device 111R, 111G, 111B ... Color filter material 160 ... Oven 165 ... Curing device 170,270 ... Conveying device 211R, 211G, 211B ... Luminescent material 1000 ... Image display device 1100 ... Personal computer 1102 ... Keyboard 1104 ... Main body 1106 ... Display unit 1200 ... Mobile phone 1202 ... Operation buttons 1204 ... Earpiece 1206 ... Mouthpiece 1300 ... Digital still camera 1302 ... Case ( body ) 1304 ...... light receiving unit 1306 ...... shutter button 1308 ...... circuit board 1312 ...... video signal output terminal 1314 input-output terminal 1430 ...... television monitor 1440 ...... personal computer ...... for data communication

Claims (13)

色要素となるべき複数の区画が形成された基体と、液滴を吐出する複数のノズルを有する液滴吐出手段とを相対的に移動させ、色要素形成用の液状材料を前記ノズルから液滴として吐出して前記区画に付与する吐出走査を複数回行う液滴付与方法であって、
前記液滴吐出手段は、複数のノズルが前記区画の長軸方向に沿って並んだ少なくとも一列のノズル列を有する液滴吐出ヘッドを少なくとも一つ備え、前記長軸方向のノズルピッチが前記区画の前記長軸方向の長さより短くなるように構成されており、
前記基体と前記液滴吐出手段とを前記長軸方向とほぼ直交する短軸方向に相対的に移動させ、一つの前記区画につき前記長軸方向の位置が互いに異なる複数のノズルからそれぞれ液滴を複数回吐出し、かつ、同じノズルから吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドットが前記長軸方向とほぼ直交する短軸方向に沿ってつながるような間隔で液滴を付与するとともに、液滴が着弾してなるドットが、その液滴を吐出したノズルと前記長軸方向の距離が最も近い別のノズルから吐出された液滴が着弾してなるドットと前記長軸方向に関して重ならないようにして液滴を付与する第１の吐出走査を行う工程と、
前記基体と前記液滴吐出手段とを前記短軸方向に相対的に移動させ、一つの前記区画につき前記長軸方向の位置が互いに異なる複数のノズルからそれぞれ液滴を少なくとも１回吐出し、かつ、それらの液滴の前記短軸方向に関する着弾位置が前記第１の吐出走査での着弾位置よりも前記短軸方向に関して前記区画の中心寄りで、前記第１の吐出走査で液滴を付与した各位置とほぼ同じ位置に重ねて液滴を付与する第２の吐出走査を行う工程とを有することを特徴とする液滴付与方法。 A substrate on which a plurality of sections to be color elements are formed and a droplet discharge means having a plurality of nozzles for discharging droplets are relatively moved, and a liquid material for forming color elements is dropped from the nozzles. A droplet applying method for performing discharge scanning a plurality of times to discharge and apply to the section,
The droplet discharge means includes at least one droplet discharge head having at least one nozzle row in which a plurality of nozzles are arranged along the major axis direction of the partition, and the nozzle pitch in the major axis direction is the nozzle pitch of the partition. It is configured to be shorter than the length in the major axis direction,
The substrate and the droplet discharge means are relatively moved in a short axis direction substantially orthogonal to the long axis direction, and droplets are respectively discharged from a plurality of nozzles having different positions in the long axis direction for each of the sections. A plurality of droplets are ejected a plurality of times, and a plurality of dots formed by landing a plurality of droplets ejected from the same nozzle are applied with a droplet at an interval such that the dots are connected along a minor axis direction substantially orthogonal to the major axis direction. In addition, the dots formed by the droplets are related to the dots formed by the droplets discharged from another nozzle having the shortest distance in the major axis direction from the nozzle that ejected the droplets and the major axis direction. Performing a first ejection scan for applying droplets without overlapping,
The substrate and the droplet discharge means are relatively moved in the minor axis direction, each droplet is ejected at least once from a plurality of nozzles having different positions in the major axis direction for each of the sections; and The liquid droplets were applied in the first discharge scanning, with the landing positions of the liquid droplets in the short axis direction being closer to the center of the section in the short axis direction than the landing positions in the first discharge scanning. And a step of performing a second ejection scan in which droplets are applied at substantially the same position as each position. 前記第２の吐出走査では、同じノズルから吐出された複数の液滴が着弾してなる複数のドットが前記短軸方向に沿ってつながるような間隔で液滴を付与する請求項１に記載の液滴付与方法。   2. The droplet according to claim 1, wherein in the second ejection scanning, the droplets are applied at intervals such that a plurality of dots formed by landing of a plurality of droplets ejected from the same nozzle are connected along the minor axis direction. Droplet application method. 前記第１の吐出走査では、前記各区画に形成される複数のドットのうちの当該区画の最も短辺側に位置するドットは、その外周が前記短辺に接したものとなり、最も長辺側に位置するドットは、その外周が前記長辺から離間したものとなるように液滴を付与する請求項１に記載の液滴付与方法。   In the first ejection scanning, among the plurality of dots formed in each section, the dot located on the shortest side of the section has its outer periphery in contact with the short side, and the longest side. 2. The droplet applying method according to claim 1, wherein the dot positioned at is applied with a droplet such that an outer periphery thereof is spaced apart from the long side. 前記複数のノズルから吐出された液滴が着弾してなる複数のドットは、それぞれ、平面視で円形をなすものであり、その直径を予め実験および／または理論計算により求めておく請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴付与方法。   The plurality of dots formed by the droplets ejected from the plurality of nozzles each having a circular shape in plan view, and their diameters are obtained in advance by experiments and / or theoretical calculations. 4. The droplet applying method according to any one of 3 above. 前記第１の吐出走査と前記第２の吐出走査とでは、一つの前記区画につき各ノズルから吐出される液滴の吐出回数が異なる請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴付与方法。   5. The droplet application method according to claim 1, wherein the first ejection scan and the second ejection scan differ in the number of ejections of droplets ejected from each nozzle per one section. 前記基体と前記液滴吐出手段とを前記短軸方向に相対的に往復させ、その往路と復路とでそれぞれ吐出走査を行う請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴付与方法。   6. The droplet applying method according to claim 1, wherein the substrate and the droplet discharge means are reciprocated relatively in the minor axis direction, and discharge scanning is performed in the forward path and the return path, respectively. 一往復または複数往復の吐出走査により、一つの基体に対する液滴の付与を終了する請求項６に記載の液滴付与方法。   The droplet application method according to claim 6, wherein the application of the droplets to one substrate is terminated by one or more reciprocating discharge scans. ２回目以降の吐出走査においては、前記液滴吐出手段と前記基体との相対位置を前回の吐出走査の際と比べて前記長軸方向に所定量ずらすことにより、同じ区画に対して前回の吐出走査の際と異なるノズルから液滴を吐出する請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴付与方法。   In the second and subsequent discharge scans, the previous discharge is performed on the same section by shifting the relative position between the droplet discharge means and the substrate by a predetermined amount in the major axis direction compared to the previous discharge scan. The droplet applying method according to claim 1, wherein the droplet is discharged from a nozzle different from that at the time of scanning. 前記各区画には、それぞれ、その角部の１つが当該区画の内側に向かって引っ込んだ部分が形成され、該部分では、前記区画の幅が狭くなっており、
前記第１の吐出走査では、前記区画の幅が狭くなった部分での前記短軸方向の前記ドット同士の間隔は、前記区画の前記幅が狭くなった部分を除く部分での前記短軸方向の前記ドット同士の間隔と同じ請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴付与方法。 Each of the sections is formed with a portion in which one of the corners is recessed toward the inside of the section, and in the section, the width of the section is narrowed,
In the first ejection scanning, the interval between the dots in the minor axis direction in the portion where the width of the section is narrowed is the minor axis direction in the portion excluding the portion where the width of the section is narrowed. The droplet applying method according to any one of claims 1 to 8, which is the same as the interval between the dots. 前記各区画には、それぞれ、その角部の１つが当該区画の内側に向かって引っ込んだ部分が形成され、該部分では、前記区画の幅が狭くなっており、
前記第１の吐出走査では、前記区画の幅が狭くなった部分での前記短軸方向の前記ドットの形成数は、前記区画の前記幅が狭くなった部分を除く部分での前記短軸方向の前記ドットの形成数と異なる請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴付与方法。 Each of the sections is formed with a portion in which one of the corners is recessed toward the inside of the section, and in the section, the width of the section is narrowed,
In the first ejection scanning, the number of dots formed in the minor axis direction in the portion where the width of the section is narrowed is equal to the minor axis direction in the portion excluding the portion where the width of the section is narrowed. The droplet applying method according to claim 1, which is different from the number of dots formed. 前記液滴吐出ヘッドは、前記区画の長軸方向に隣接する前記ノズル同士のノズルピッチが同じであり、前記区画の短軸方向に複数列配置された前記ノズル列を有し、隣接する前記ノズル列同士では、一方の前記ノズル列が他方の前記ノズル列に対して前記ノズルピッチよりも小さい範囲内で前記長軸方向にずれて配置されている請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴付与方法。   The droplet discharge head includes the nozzle rows in which the nozzle pitches of the nozzles adjacent to each other in the major axis direction of the section are the same and are arranged in a plurality of rows in the minor axis direction of the section. 11. The liquid according to claim 1, wherein in the rows, one of the nozzle rows is arranged so as to be shifted in the major axis direction within a range smaller than the nozzle pitch with respect to the other nozzle row. Drop application method. 前記ノズル列において、その一端側に位置する前記ノズルから他端側に位置する前記ノズルまでの長さは、前記基板の前記長軸方向の長さよりも長い請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴付与方法。   12. The length of the nozzle row from the nozzle located on one end side to the nozzle located on the other end side is longer than the length of the substrate in the major axis direction. 12. Droplet application method. 請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴付与方法を用いて基体上の複数の区画に色要素を形成して色要素付き基板を製造する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。   13. An electro-optical device comprising a step of manufacturing a color element-attached substrate by forming color elements in a plurality of sections on a substrate using the droplet applying method according to claim 1. Production method.
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