JP4357179B2 - Surface treated glass cloth - Google Patents

Surface treated glass cloth Download PDF

Info

Publication number
JP4357179B2
JP4357179B2 JP2003018525A JP2003018525A JP4357179B2 JP 4357179 B2 JP4357179 B2 JP 4357179B2 JP 2003018525 A JP2003018525 A JP 2003018525A JP 2003018525 A JP2003018525 A JP 2003018525A JP 4357179 B2 JP4357179 B2 JP 4357179B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass cloth
oxide
glass
treated
ultrafine particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2003018525A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2004231426A (en
Inventor
信一郎 立花
康之 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Kasei E Materials Corp
Original Assignee
Asahi Kasei E Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei E Materials Corp filed Critical Asahi Kasei E Materials Corp
Priority to JP2003018525A priority Critical patent/JP4357179B2/en
Publication of JP2004231426A publication Critical patent/JP2004231426A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4357179B2 publication Critical patent/JP4357179B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子・電気分野で使用されるプリント回路基板に用いられるガラスクロスに関し、特にYAGレーザー加工性を改良したガラスクロスに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、プリント配線板における穴の形成には、主として精密ドリルによる加工が行われてきた。しかし、今日のプリント配線板の高密度回路形成及び、高密度実装化に伴い、スルーホール、インナービアホール、ブラインドビアホール、マーカー穴等の微細穴加工が要求されるようになってきた。
これらプリント配線板に対する市場の要求を受けて、従来のドリル加工技術に替わるものとして、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー等を用いたレーザー加工技術が発達してきた。
【0003】
とりわけ後者のYAGレーザーは小径穴加工対応の加工技術であるが、一般にプリント配線板に使用されるEガラスはYAGレーザーから出射される波長355nm光をほとんど吸収しないため、ガラスクロスを使用した積層板へのYAGレーザー加工の適応は困難とされていた。
一方、プリント配線板用に使用されるガラスクロスにおいては、紫外線両面同時露光時の裏焼きを防ぐために紫外線遮蔽性を付与する目的で、金属酸化物をガラスクロスの表面に付着させることが知られている(例えば、特許文献1、特許文献2、特許文献3参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開昭62−271487号公報(第2頁左下欄6行〜右下欄4行)
【特許文献2】
特開平4−104920号公報(特許請求の範囲)
【特許文献3】
特開平9−291474号公報(特許請求の範囲)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、YAGレーザー加工性に優れたプリント配線板のための表面処理ガラスクロス及びその製法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討した結果、酸化チタンもしくは酸化亜鉛のいずれかからなる酸化物、該酸化物の混合物、または該酸化物を含む組成物のいずれかからなり、平均一次粒子径が1〜100nmである超微粒子により、ガラスクロス表面に酸化物薄膜を形成することで、YAGレーザーから出射される波長355nm光に対する吸光度を著しく高め、且つ絶縁性を損なわず、安価で安全なガラスクロスが得られることを見出した。さらに該ガラスクロスを使用することにより、YAGレーザー加工性に優れたプリント配線板が得られることを見出し、本発明を完成するに至った。
【0007】
すなわち、本発明は、以下のものである。
1.ガラス糸を製織してなるガラスクロスであって、該ガラス糸に対して0.1〜10.0質量%の酸化チタンもしくは酸化亜鉛のいずれかからなる酸化物、該酸化物の混合物、または該酸化物を含む組成物のいずれかからなり、平均一次粒子径が1〜100nmである超微粒子からなる酸化物薄膜を表面に有し、前記超微粒子が、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、または酸化ケイ素を表層に有する組成物からなる超微粒子であり、該ガラスクロス表面にシランカップリング剤が塗布されてなることを特徴とする表面処理ガラスクロス。
2.上述の酸化物薄膜が、該ガラス糸と化学的に固着していることを特徴とする上記に記載の表面処理ガラスクロス。
3.扁平化加工されたことを特徴とする上記1、2のいずれか1つに記載の表面処理ガラスクロス。
4.表面処理ガラスクロスの製造方法であって、酸化チタンもしくは酸化亜鉛のいずれかからなる酸化物、該酸化物の混合物、または該酸化物を含む組成物のいずれかからなり、平均一次粒子径が1〜100nmである超微粒子をガラスクロスに塗布することによって、ガラス糸の0.1〜10.0質量%の酸化物薄膜を該ガラス糸の表面に形成し、加熱によって該ガラス糸に固着させるに、前記超微粒子が、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、または酸化ケイ素を表層に有する組成物からなる超微粒子であり、超微粒子からなる酸化物薄膜をガラス糸の表面に形成した後、該ガラスクロス表面にシランカップリング剤を塗布することを特徴とする表面処理ガラスクロスの製造方法。
【0008】
【発明の実施の形態】
(A)超微粒子
本発明の表面処理ガラスクロスにおいては、絶縁性を確保しつつYAGレーザーから出射される波長355nm光を吸収させるために、酸化チタンもしくは酸化亜鉛のいずれかからなる酸化物、該酸化物の混合物、または該酸化物を含む組成物のいずれかからなる超微粒子により、ガラスクロスの表面に酸化物薄膜を形成する。
該超微粒子のガラスクロス表面への付着量は、ガラス糸の質量に対して0.1〜10.0質量%である必要があり、0.5〜5.0質量%であることがより好ましい。付着量が0.1質量%よりも小さい場合にはYAGレーザー加工性改良効果が小さく、10.0質量%よりも大きい場合には積層板形成時の絶縁性、耐熱性、誘電率特性に問題が生じ、かつプリプレグ製造時に、マトリックス樹脂の樹脂浴への粒子脱落の問題が生じる可能性がある。
【0009】
該酸化物薄膜は、平均一次粒子径1〜100nmの超微粒子からなる必要があり、5〜80nmの超微粒子からなることがより好ましい。平均一次粒子径が1nmより小さい場合には、取扱い性が極端に悪くなる。
平均一次粒子径が100nmより大きい微粒子の場合には、溶媒中での分散性が平均一次粒子径1〜100nmである超微粒子ほどよくないため、表面処理ガラスクロスの表面に酸化物薄膜で覆われていない部分(以下、「付着欠陥」という。)が塗布時に生じやすい。また、該微粒子は該超微粒子に比較してガラス糸を構成するフィラメント間への浸入性も劣るため、表面処理ガラスクロスをマトリックス樹脂の樹脂浴に通してプリプレグを作成する際に、付着した微粒子の脱落による付着欠陥が発生しやすい。
【0010】
このように表面処理ガラスクロスに付着欠陥が多く存在する場合は、積層板を形成した後のYAGレーザーによる穴加工時に、穴径のばらつきとなって現れる。穴径のばらつきが大きいと加工不良が発生しやすいので、ばらつきが少ないほうが好ましいことはいうまでもない。
前述の特許文献1には、平均粒径が0.001〜3μm程度の酸化チタン微粒子を0.01〜3.0重量%付着せしめたガラス繊維基材が記載されており、実施例として平均粒径0.2μm(200nm)の酸化チタン微粒子が十分な紫外線遮蔽性能を示すことも開示されている。しかしながら、本発明者が検討したところ、平均粒径200nmの酸化チタン微粒子を使用した場合は付着欠陥に由来するものと思われる穴径のばらつきが大きいことが判明した(後述の比較例2参照)。
【0011】
上述の超微粒子は、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、または酸化ケイ素を表層に有する超微粒子であることがより好ましい。酸化チタン、酸化亜鉛は室内灯や太陽光を受けると光触媒活性を帯びるため、表面処理ガラスクロスに塗布されているシランカップリング剤を損傷させる可能性がある。また、該表面処理ガラスクロスにマトリックス樹脂を含浸させプリプレグを作成した場合に、ガラスクロスに接するマトリックス樹脂を損傷させる可能性がある。上述の光活性のない酸化物で該超微粒子の表面を覆うことによって光触媒活性の問題を解決することができる。
【0012】
(B)ガラスクロス
本発明では、バスケットホール部分(ガラスクロスにおいて、経糸も緯糸も存在しない部分)の占める面積の割合が少ないガラスクロスを好ましく使用することができる。バスケットホール部分の割合が大きなガラスクロスは、面内でのガラス充填密度のばらつきが大きくなり、面内でのYAGレーザー加工性のばらつきも大きくなるからである。バスケットホール部分の割合が小さなガラスクロスは、ガラスクロスに扁平化加工を行うことで得ることができる。扁平化加工法の例としては、高圧水による開繊加工があげられる。
【0013】
ガラスクロスの経糸及び緯糸の打ち込み密度は、10〜100本/25mmの範囲のものが好ましく、30〜80本/25mmがより好ましい。また、布重量(目付け)は15〜110g/m2 の範囲のものが好ましく、15〜90g/m2 のものがより好ましい。
織り構造については平織り構造を基本とするが、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織り構造を有するガラスクロスでもよい。YAGレーザー加工性のばらつきを小さくするためには、経糸及び緯糸の交差部の隙間が小さい平織り構造がより好ましい。
積層板に使用される基材には、通常Eガラス(無アルカリガラス)と呼ばれるガラスが使用されるが、Dガラス、Sガラス、高誘電率ガラス等を使用してもよい。安価であるという点からEガラスが好適に使用される。
【0014】
(C)シランカップリング剤
本発明においては、下記の一般式(1)で示されるシラン化合物で示されるシランカップリング剤を使用してガラスクロスを処理することが好ましい。
【化1】

Figure 0004357179
(式中Xは有機官能基、Yはアルコキシ基、Rは炭素数6以下の炭化水素基、nは1以上3未満の整数を意味する。)
【0015】
該シランカップリング剤が有するアルコキシ基Yとしては、何れのアルコキシ基でも使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化の為には、炭素数5以下のアルコキシ基が好ましい。
該シランカップリング剤が有する有機官能基Xとしては、マトリックス樹脂との硬化反応を考慮して、選択することが好ましい。マトリックス樹脂がエポキシ樹脂の場合は、有機官能基Xとしてアミノ基、エポキシ基、メルカプト基、を有するシランカップリング剤を選択するのが好ましい。また、マトリックス樹脂がエポキシアクリレート、ジアリルフタレート、トリアリルイソシアネート等の、ラジカル重合により硬化する樹脂の場合は、有機官能基Xとして、ビニルベンジル基、メタクリル基、アクリル基、アミノ基を有するシランカップリング剤を選択することが好ましい。
【0016】
(D)表面処理ガラスクロスの製法
本発明では、(B)ガラスクロスに(A)超微粒子、及び(C)シランカップリング剤を処理する際には、超微粒子、シランカップリング剤を溶媒にそれぞれ分散、溶解させた処理液をガラスクロスに塗布し、乾燥して溶媒成分を除去する製法が好適に採用される。溶媒には水、有機溶媒の何れも使用できるが、安全性、地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。
表面処理ガラスクロスを製造する工程としては、製織したガラスクロスの脱糊処理前に超微粒子を塗布し、次に、加熱によるガラスクロスの脱糊と同時に、脱水縮合反応によりガラスと超微粒子を化学的に固着し、最後にシランカップリング剤を塗布する手順、製織したガラスクロスの加熱脱糊後に超微粒子を塗布し、加熱乾燥によりガラスフィラメント上へ超微粒子を固着し、最後にシランカップリング剤を塗布する手順のいずれかを採用することが好ましい。
【0017】
該表面処理ガラスクロスにおいて、ガラスと酸化物薄膜の固着状態は、化学結合と物理結合の混在であるが、平均粒子径が1〜100nmの超微粒子を使用することによって、ガラス糸を構成するフィラメント間への超微粒子の浸入が容易になり、該酸化物薄膜とガラスの接触面積が増加するため、化学結合の割合が大きく強固になるものと考えられる。従って、本製法によって酸化物薄膜を形成することにより、マトリックス樹脂含浸後の付着欠陥を少なくすることができる表面処理ガラスクロスを得ることができる。
【0018】
表面処理において使用される処理液中の超微粒子の濃度は、均一薄膜の形成、処理液の安定性確保、及び処理時間短縮の目的から、0.5質量%以上、60質量%以下で選定されるのが好ましい。また、処理液中のシランカップリング剤の濃度は、均一シランカップリング層の形成、処理液の安定性確保、及び、処理時間短縮の目的から、0.1質量%以上、4質量%以下に選定されるのが好ましい。
該処理液でガラスクロスを表面処理する方法としては、(i)処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させ、処理する方法、(ii)ロールコーター、ダイコーター、グラビアコーター等でガラスクロスに直接塗布する方法、等が可能である。
【0019】
ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を乾燥させる方法としては、熱風、電磁波、等公知の方法が適用可能であり、特にこれらの方法が制限されるものではない。超微粒子による酸化物薄膜の形成においては、先ず塗布に使用した溶媒を乾燥する。溶媒乾燥後、酸化物薄膜をガラス糸に化学的に固着させるため、さらに加熱を行うことが好ましい。加熱を行う場合の加熱温度は、150〜500℃が好ましく、350〜450℃がより好ましい。ガラスクロスを製織するための糊剤の脱糊においては、400℃程度で実施されるので、酸化物薄膜の形成は脱糊と同時に行うことができる。また、シランカップリング剤処理については、シランカップリング剤と無機酸化物の反応を促進するために乾燥温度は90℃以上が好ましく、100℃以上であればより好ましい。また、シランカップリング剤の有機官能基の劣化を抑制するために、乾燥温度は300℃以下が好ましく、200℃以下であればより好ましい。
【0020】
【実施例】
次に実施例、及び比較例によって本発明をさらに具体的に説明する。
(実施例1)
加熱脱糊前のガラスクロス(旭シュエーベル社製、スタイル1037MS、経糸密度70本/25mm、緯糸密度73本/25mm、布重量24g/m2 )に、酸化アルミニウムで表面処理された平均一次粒子径40nmの酸化チタン超微粒子の10質量%水分散処理液を塗布し、170℃で1分間加熱乾燥し、次に390℃で24時間の加熱脱糊及び固着を行い、ガラスクロスの1.5質量%の酸化物薄膜を形成した。さらに、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製、SZ6032)と酢酸を、水にそれぞれ0.5質量%、0.05質量%溶解させた処理液で表面処理したガラスクロスを得た。表面処理後の処理液への酸化チタン超微粒子の脱落は観察されなかった。なお、この表面処理ガラスクロスの波長355nm光に対する吸光度は0.21であった。
【0021】
(実施例2)
加熱脱糊前のガラスクロス(旭シュエーベル社製、スタイル1037MS)に、酸化アルミニウムで表面処理された平均一次粒子径40nmの酸化亜鉛超微粒子の10質量%水分散処理液を塗布し、170℃で1分間加熱乾燥し、次に390℃で24時間の加熱脱糊及び固着を行い、ガラスクロスの1.5質量%の酸化物薄膜を形成した。さらに、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製、SZ6032)と酢酸を、水にそれぞれ0.5質量%、0.05質量%溶解させた処理液で表面処理したガラスクロスを得た。表面処理後の処理液への酸化亜鉛超微粒子の脱落は観察されなかった。なお、この表面処理ガラスクロスの波長355nm光に対する吸光度は0.25であった。
【0022】
(比較例1)
加熱脱糊前のガラスクロス(旭シュエーベル社製、スタイル1037MS)に、水を塗布し、170℃で1分間加熱乾燥し、次に390℃で24時間の加熱脱糊を行った。さらに、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製、SZ6032)と酢酸を、水にそれぞれ0.5質量%、0.05質量%溶解させた処理液で表面処理したガラスクロスを得た。
【0023】
(比較例2)
加熱脱糊前のガラスクロス(旭シュエーベル社製、スタイル1037MS)に、酸化アルミニウムで表面処理された平均一次粒子径200nmの酸化チタン微粒子の10質量%水分散処理液を塗布し、170℃で1分間加熱乾燥し、次に390℃で24時間の加熱脱糊及び固着を行い、ガラスクロスの1.7質量%の酸化物薄膜を形成した。さらに、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製、SZ6032)と酢酸を、水にそれぞれ0.5質量%、0.05質量%溶解させた処理液で表面処理したガラスクロスを得た。表面処理後の処理液には、酸化チタン微粒子の脱落が観察された。なお、この表面処理ガラスクロスの波長355nm光に対する吸光度は0.16であった。
【0024】
▲1▼ 積層板の作成方法:上述の実施例・比較例の表面処理ガラスクロスにエポキシ樹脂を含浸させ、乾燥後プリプレグを得た。このプリプレグの上下に厚さ9μmの銅箔を重ね、175℃、40kg/cm2 で加熱加圧して積層板を得た。
▲2▼ 積層板のYAGレーザー加工性評価方法:esi社製UV−YAGレーザーMODEL5150機を使用し、トレパン加工法により、スルーホール加工を施し、加工穴の底面径を光学顕微鏡により測定し、YAGレーザー加工性を評価した。また、同加工法によりブラインドビアホール加工を施し、加工穴の底面を走査型電子顕微鏡により観察し、YAGレーザー加工性を評価した。
【0025】
▲3▼ 酸化物薄膜付着量の評価方法:実施例1、2の超微粒子、または比較例2の微粒子を塗布乾燥後、390℃で24時間加熱したガラスクロス1m2 と単に390℃で24時間加熱したガラスクロス1m2 の重量を電子天秤により測定し、両測定値の差から酸化物薄膜の付着量を評価した。
▲4▼ 表面処理ガラスクロスの波長355nm光に対する吸光度評価方法:表面処理ガラスクロスと未処理のガラスクロスを短冊状に切り、2枚のAガラス板に挟み、紫外可視吸光光度計(島津製作所社製)により吸光度を測定し、測定値の差から超微粒子処理ガラスクロスの吸光度を評価した。
【0026】
実施例1、2と比較例1、2のYAGレーザーによるスルーホール底面径の測定結果を表1に示す。また、実施例1、2と比較例1、2のYAGレーザーによるブラインドビアホール底面の観察結果をそれぞれ図1、2、3、4に示す。
実施例1、2と比較例1の結果を比較すると、酸化チタン、酸化亜鉛を塗布したガラスクロスを用いた積層板では、スルーホール底面平均径が著しく大きく、ブラインドビアホール底面のガラス溶け残り量は著しく少ないことが分かり、本発明の表面処理ガラスクロスが、YAGレーザー加工性に極めて優れることが明らかになった。
また、実施例1と比較例2の結果を比較すると、超微粒子の酸化チタンを処理したガラスクロスを用いた積層板では、スルーホール底面平均径が大きく、かつ底面径のばらつきは小さく、またブラインドビアホール底面のガラス溶け残り量は少ないことが分かり、本発明の超微粒子処理により付着欠陥の発生量を著しく抑えられることが明らかになった。
【0027】
【表1】
Figure 0004357179
【0028】
【発明の効果】
本発明による超微粒子酸化チタン、酸化亜鉛処理ガラスクロスを用いることにより、YAGレーザー加工性に優れ、かつ安全性、絶縁性を損なわないプリント配線板を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である超微粒子で表面処理を行ったガラスクロスを用いて製造した積層板に、YAGレーザーで加工したブラインドビアホールの電子顕微鏡写真である。
【図2】本発明の別の一実施例である超微粒子で表面処理を行ったガラスクロスを用いて製造した積層板に、YAGレーザーで加工したブラインドビアホールの電子顕微鏡写真である。
【図3】本発明の比較例である酸化物による表面処理を行っていないガラスクロスを用いて製造した積層板に、YAGレーザーで加工したブラインドビアホールの電子顕微鏡写真である。
【図4】本発明の比較例である微粒子で表面処理を行ったガラスクロスを用いて製造した積層板に、YAGレーザーで加工したブラインドビアホールの電子顕微鏡写真である。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a glass cloth used for a printed circuit board used in the electronic / electric field, and more particularly to a glass cloth with improved YAG laser processability.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a hole in a printed wiring board has been mainly processed by a precision drill. However, with today's high-density circuit formation and high-density mounting of printed wiring boards, fine hole processing such as through holes, inner via holes, blind via holes, and marker holes has been required.
In response to market demand for these printed wiring boards, laser processing technology using a carbon dioxide laser, YAG laser, or the like has been developed as an alternative to conventional drill processing technology.
[0003]
In particular, the latter YAG laser is a processing technology for small-diameter hole processing, but E glass generally used for printed wiring boards hardly absorbs 355 nm light emitted from the YAG laser, so a laminated board using glass cloth. It was considered difficult to apply YAG laser processing to the above.
On the other hand, in glass cloth used for printed wiring boards, it is known that metal oxide is attached to the surface of the glass cloth for the purpose of imparting ultraviolet shielding properties to prevent back-baking during simultaneous UV double-side exposure. (For example, refer to Patent Document 1, Patent Document 2, and Patent Document 3).
[0004]
[Patent Document 1]
JP-A-62-271487 (page 2, lower left column, line 6 to lower right column, line 4)
[Patent Document 2]
JP-A-4-104920 (Claims)
[Patent Document 3]
JP-A-9-291474 (Claims)
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to provide a surface-treated glass cloth for a printed wiring board excellent in YAG laser processability and a method for producing the same.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
As a result of intensive studies to solve the above problems, the inventors of the present invention consisted of either an oxide composed of either titanium oxide or zinc oxide, a mixture of the oxide, or a composition containing the oxide, By forming an oxide thin film on the surface of the glass cloth with ultrafine particles having an average primary particle diameter of 1 to 100 nm, the absorbance for light with a wavelength of 355 nm emitted from the YAG laser is remarkably increased, and the insulation is not impaired and is inexpensive. And found that a safe glass cloth can be obtained. Furthermore, it discovered that a printed wiring board excellent in YAG laser workability was obtained by using this glass cloth, and came to complete this invention.
[0007]
That is, the present invention is as follows.
1. A glass cloth formed by weaving glass yarn, the oxide comprising either 0.1 to 10.0% by mass of titanium oxide or zinc oxide based on the glass yarn, a mixture of the oxides, or the An oxide thin film made of any one of compositions containing oxides and having an average primary particle diameter of 1 to 100 nm is formed on the surface, and the ultrafine particles contain aluminum oxide, zirconium oxide, or silicon oxide. A surface-treated glass cloth, which is an ultrafine particle composed of a composition having a surface layer, wherein a silane coupling agent is applied to the surface of the glass cloth.
2. 2. The surface-treated glass cloth according to 1 above, wherein the oxide thin film is chemically fixed to the glass yarn.
3. The surface-treated glass cloth according to any one of the above 1 and 2, which is flattened.
4). A method for producing a surface-treated glass cloth, comprising an oxide composed of either titanium oxide or zinc oxide, a mixture of the oxides, or a composition containing the oxide, and an average primary particle size of 1 By applying ultrafine particles of ˜100 nm to a glass cloth, an oxide thin film of 0.1 to 10.0% by mass of the glass yarn is formed on the surface of the glass yarn, and is fixed to the glass yarn by heating. The ultrafine particles are ultrafine particles made of a composition having aluminum oxide, zirconium oxide, or silicon oxide as a surface layer , and after forming an oxide thin film made of ultrafine particles on the surface of the glass yarn, A method for producing a surface-treated glass cloth, comprising applying a silane coupling agent .
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(A) Ultrafine particles In the surface-treated glass cloth of the present invention, in order to absorb light having a wavelength of 355 nm emitted from a YAG laser while ensuring insulation, an oxide composed of either titanium oxide or zinc oxide, An oxide thin film is formed on the surface of the glass cloth with ultrafine particles made of either a mixture of oxides or a composition containing the oxides.
The adhesion amount of the ultrafine particles to the glass cloth surface needs to be 0.1 to 10.0% by mass with respect to the mass of the glass yarn, and more preferably 0.5 to 5.0% by mass. . When the adhesion amount is less than 0.1% by mass, the effect of improving the YAG laser workability is small. In addition, there is a possibility that the problem of particle dropping into the resin bath of the matrix resin may occur during prepreg production.
[0009]
The oxide thin film needs to be composed of ultrafine particles having an average primary particle diameter of 1 to 100 nm, and more preferably composed of ultrafine particles of 5 to 80 nm. When the average primary particle size is smaller than 1 nm, the handleability is extremely deteriorated.
In the case of fine particles having an average primary particle diameter of more than 100 nm, the dispersibility in a solvent is not as good as that of ultrafine particles having an average primary particle diameter of 1 to 100 nm, so that the surface of the surface-treated glass cloth is covered with an oxide thin film. Not-applied parts (hereinafter referred to as “adhesion defects”) are likely to occur during coating. In addition, since the fine particles are inferior in penetrability between the filaments constituting the glass yarn as compared with the ultra fine particles, the fine particles adhered when the prepreg is prepared by passing the surface-treated glass cloth through a resin bath of a matrix resin. Adhesion defects are likely to occur due to falling off.
[0010]
When there are many adhesion defects in the surface-treated glass cloth in this way, it appears as a variation in hole diameter when drilling with a YAG laser after forming the laminated plate. It is needless to say that it is preferable that the variation is small since the processing defects are likely to occur when the variation in the hole diameter is large.
Patent Document 1 described above describes a glass fiber substrate on which 0.01 to 3.0% by weight of titanium oxide fine particles having an average particle diameter of about 0.001 to 3 μm are attached. It is also disclosed that titanium oxide fine particles having a diameter of 0.2 μm (200 nm) exhibit sufficient ultraviolet shielding performance. However, as a result of studies by the present inventors, it has been found that when titanium oxide fine particles having an average particle diameter of 200 nm are used, there is a large variation in hole diameter that is thought to be caused by adhesion defects (see Comparative Example 2 described later). .
[0011]
The ultrafine particles described above are more preferably ultrafine particles having aluminum oxide, zirconium oxide, or silicon oxide in the surface layer. Titanium oxide and zinc oxide have photocatalytic activity when subjected to room light or sunlight, and may damage the silane coupling agent applied to the surface-treated glass cloth. Further, when a prepreg is produced by impregnating the surface-treated glass cloth with a matrix resin, the matrix resin in contact with the glass cloth may be damaged. The problem of photocatalytic activity can be solved by covering the surface of the ultrafine particles with the above-mentioned non-photoactive oxide.
[0012]
(B) Glass Cloth In the present invention, a glass cloth having a small proportion of the area occupied by the basket hole portion (portion in which no warp or weft is present in the glass cloth) can be preferably used. This is because a glass cloth having a large proportion of the basket hole portion has a large variation in the glass filling density in the surface and a large variation in the YAG laser workability in the surface. A glass cloth having a small basket hole portion can be obtained by flattening the glass cloth. As an example of the flattening method, there is a fiber opening process using high-pressure water.
[0013]
The glass cloth warp and weft driving density is preferably in the range of 10 to 100 pieces / 25 mm, more preferably 30 to 80 pieces / 25 mm. Further, fabric weight (basis weight) is preferably in the range of 15~110g / m 2, more preferably from 15~90g / m 2.
The weave structure is basically a plain weave structure, but a glass cloth having a weave structure such as Nanako weave, satin weave, twill weave, or the like may be used. In order to reduce the variation in YAG laser processability, a plain weave structure with a small gap at the intersection of warp and weft is more preferable.
Although the glass normally called E glass (non-alkali glass) is used for the base material used for a laminated board, you may use D glass, S glass, high dielectric constant glass, etc. E glass is preferably used because it is inexpensive.
[0014]
(C) Silane coupling agent In this invention, it is preferable to process glass cloth using the silane coupling agent shown by the silane compound shown by following General formula (1).
[Chemical 1]
Figure 0004357179
(Wherein X represents an organic functional group, Y represents an alkoxy group, R represents a hydrocarbon group having 6 or less carbon atoms, and n represents an integer of 1 or more and less than 3)
[0015]
As the alkoxy group Y of the silane coupling agent, any alkoxy group can be used, but an alkoxy group having 5 or less carbon atoms is preferable for stabilizing the glass cloth.
The organic functional group X possessed by the silane coupling agent is preferably selected in consideration of the curing reaction with the matrix resin. When the matrix resin is an epoxy resin, it is preferable to select a silane coupling agent having an amino group, an epoxy group, or a mercapto group as the organic functional group X. In addition, when the matrix resin is a resin that is cured by radical polymerization, such as epoxy acrylate, diallyl phthalate, triallyl isocyanate, etc., a silane coupling having a vinylbenzyl group, a methacryl group, an acrylic group, or an amino group as the organic functional group X It is preferable to select an agent.
[0016]
(D) Method for producing surface-treated glass cloth In the present invention, when (B) glass cloth is treated with (A) ultrafine particles and (C) silane coupling agent, ultrafine particles and silane coupling agent are used as solvents. A manufacturing method in which each of the dispersed and dissolved treatment liquid is applied to a glass cloth and dried to remove the solvent component is suitably employed. Either water or an organic solvent can be used as the solvent, but water is preferably used as the main solvent from the viewpoint of safety and protection of the global environment.
The process for producing surface-treated glass cloth is to apply ultrafine particles before de-glue processing of the woven glass cloth. Finally, the procedure of applying a silane coupling agent, applying ultrafine particles after heat-degliding of the woven glass cloth, fixing the ultrafine particles on the glass filament by heat drying, and finally the silane coupling agent It is preferable to employ any of the procedures for applying
[0017]
In the surface-treated glass cloth, the glass and the oxide thin film are fixedly bonded to each other in a chemical bond and a physical bond. By using ultrafine particles having an average particle diameter of 1 to 100 nm, a filament constituting the glass yarn It is considered that the penetration of ultrafine particles into the gap becomes easy and the contact area between the oxide thin film and the glass increases, so that the ratio of chemical bonds is greatly increased. Therefore, by forming an oxide thin film by this production method, a surface-treated glass cloth that can reduce adhesion defects after impregnation with a matrix resin can be obtained.
[0018]
The concentration of ultrafine particles in the treatment liquid used in the surface treatment is selected from 0.5% by mass to 60% by mass for the purpose of forming a uniform thin film, ensuring the stability of the treatment liquid, and shortening the treatment time. It is preferable. Further, the concentration of the silane coupling agent in the treatment liquid is 0.1% by mass or more and 4% by mass or less for the purpose of forming a uniform silane coupling layer, ensuring the stability of the treatment liquid, and shortening the treatment time. Preferably it is selected.
As a method of surface-treating the glass cloth with the treatment liquid, (i) a method in which the treatment liquid is stored in a bath and the glass cloth is immersed and passed through the glass cloth, and (ii) a glass with a roll coater, a die coater, a gravure coater, or the like. It is possible to apply directly to the cloth.
[0019]
As a method of drying the solvent after applying the treatment liquid to the glass cloth, a known method such as hot air or electromagnetic waves can be applied, and these methods are not particularly limited. In forming an oxide thin film with ultrafine particles, the solvent used for coating is first dried. After drying the solvent, it is preferable to further heat in order to chemically fix the oxide thin film to the glass yarn. 150-500 degreeC is preferable and the heating temperature in the case of performing heating has more preferable 350-450 degreeC. In the desizing of the glue for weaving the glass cloth, since it is performed at about 400 ° C., the formation of the oxide thin film can be performed simultaneously with the desizing. Moreover, about a silane coupling agent process, in order to accelerate | stimulate reaction of a silane coupling agent and an inorganic oxide, 90 degreeC or more is preferable and it is more preferable if it is 100 degreeC or more. Moreover, in order to suppress the deterioration of the organic functional group of the silane coupling agent, the drying temperature is preferably 300 ° C. or lower, more preferably 200 ° C. or lower.
[0020]
【Example】
Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples.
(Example 1)
Average primary particle diameter of surface treated with aluminum oxide on glass cloth (made by Asahi Sebel, Style 1037MS, warp density 70/25 mm, weft density 73/25 mm, fabric weight 24 g / m 2 ) before heat de-glue A 10% by weight aqueous dispersion of titanium oxide ultrafine particles of 40 nm was applied, dried by heating at 170 ° C. for 1 minute, then heat-desoldered and fixed at 390 ° C. for 24 hours. % Oxide thin film was formed. Furthermore, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., SZ6032) and acetic acid were added to water in an amount of 0.5% by mass. A glass cloth surface-treated with a treatment solution in which 05% by mass was dissolved was obtained. No dropping of ultrafine titanium oxide particles into the treatment solution after the surface treatment was observed. The absorbance of this surface-treated glass cloth with respect to light having a wavelength of 355 nm was 0.21.
[0021]
(Example 2)
A 10% by mass aqueous dispersion of zinc oxide ultrafine particles having an average primary particle diameter of 40 nm that has been surface-treated with aluminum oxide is applied to a glass cloth (made by Asahi Schavel, Style 1037MS) before heat degliding, at 170 ° C. Heat drying for 1 minute, followed by heat desizing and fixing at 390 ° C. for 24 hours to form a 1.5 mass% oxide thin film of glass cloth. Further, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., SZ6032) and acetic acid were mixed in water at 0.5 mass% and 0.00%, respectively. A glass cloth surface-treated with a treatment solution in which 05% by mass was dissolved was obtained. The zinc oxide ultrafine particles were not dropped into the treatment solution after the surface treatment. The absorbance of this surface-treated glass cloth with respect to light having a wavelength of 355 nm was 0.25.
[0022]
(Comparative Example 1)
Water was applied to a glass cloth (style 1037MS, manufactured by Asahi Schavel Co., Ltd.) before heating and desizing, followed by heating and drying at 170 ° C. for 1 minute, followed by heating and desizing at 390 ° C. for 24 hours. Furthermore, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., SZ6032) and acetic acid were added to water in an amount of 0.5% by mass. A glass cloth surface-treated with a treatment solution in which 05% by mass was dissolved was obtained.
[0023]
(Comparative Example 2)
A 10% by mass aqueous dispersion of titanium oxide fine particles having an average primary particle diameter of 200 nm that has been surface-treated with aluminum oxide is applied to a glass cloth (made by Asahi Schavel, Style 1037MS) before heat de-glue, and the temperature is 1 at 170 ° C. The mixture was heat-dried for minutes, and then heat-desoldered and fixed at 390 ° C. for 24 hours to form a 1.7% by mass oxide thin film of glass cloth. Further, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd., SZ6032) and acetic acid were mixed in water at 0.5 mass% and 0.00%, respectively. A glass cloth surface-treated with a treatment solution in which 05% by mass was dissolved was obtained. Dropping off of titanium oxide fine particles was observed in the treatment liquid after the surface treatment. In addition, the light absorbency with respect to the wavelength 355nm light of this surface treatment glass cloth was 0.16.
[0024]
{Circle around (1)} Preparation method of laminate: The surface-treated glass cloth of the above-mentioned Examples and Comparative Examples was impregnated with an epoxy resin, and dried to obtain a prepreg. A 9 μm-thick copper foil was placed on the top and bottom of this prepreg, and heated and pressed at 175 ° C. and 40 kg / cm 2 to obtain a laminate.
(2) Evaluation method of YAG laser workability of laminated plate: Using a UV-YAG laser MODEL5150 machine manufactured by esi, through hole processing is performed by the trepan processing method, and the bottom diameter of the processed hole is measured with an optical microscope. Laser processability was evaluated. Further, blind via holes were processed by the same processing method, and the bottom surfaces of the processed holes were observed with a scanning electron microscope to evaluate YAG laser processability.
[0025]
(3) Evaluation method of oxide thin film adhesion amount: After coating and drying the ultrafine particles of Examples 1 and 2 or Comparative Example 2, 1 m 2 of glass cloth heated at 390 ° C. for 24 hours and simply at 390 ° C. for 24 hours The weight of 1 m 2 of heated glass cloth was measured with an electronic balance, and the amount of oxide thin film deposited was evaluated from the difference between the two measured values.
(4) Method for evaluating absorbance of surface-treated glass cloth with respect to light having a wavelength of 355 nm: A surface-treated glass cloth and an untreated glass cloth are cut into strips and sandwiched between two A glass plates, and an ultraviolet-visible spectrophotometer (Shimadzu Corporation) The absorbance of the ultrafine particle-treated glass cloth was evaluated from the difference in the measured values.
[0026]
Table 1 shows the measurement results of the through-hole bottom diameters of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 using a YAG laser. Moreover, the observation result of the blind via-hole bottom face by YAG laser of Example 1, 2 and Comparative Example 1, 2 is shown to FIG.
Comparing the results of Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, in the laminate using the glass cloth coated with titanium oxide and zinc oxide, the average diameter of the bottom surface of the through hole is remarkably large, and the glass melt remaining amount on the bottom surface of the blind via hole is As a result, it was found that the surface-treated glass cloth of the present invention was extremely excellent in YAG laser processability.
Further, when the results of Example 1 and Comparative Example 2 are compared, the laminated plate using the glass cloth treated with ultrafine titanium oxide has a large average through-hole bottom diameter and a small variation in the bottom diameter. It was found that the amount of unmelted glass at the bottom of the via hole was small, and it became clear that the generation amount of adhesion defects can be remarkably suppressed by the ultrafine particle treatment of the present invention.
[0027]
[Table 1]
Figure 0004357179
[0028]
【The invention's effect】
By using the ultrafine titanium oxide and zinc oxide-treated glass cloth according to the present invention, a printed wiring board having excellent YAG laser processability and not impairing safety and insulation can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an electron micrograph of a blind via hole processed with a YAG laser on a laminate manufactured using a glass cloth surface-treated with ultrafine particles according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an electron micrograph of a blind via hole processed with a YAG laser on a laminated plate manufactured using a glass cloth surface-treated with ultrafine particles according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an electron micrograph of a blind via hole processed with a YAG laser on a laminate manufactured using a glass cloth not subjected to surface treatment with an oxide, which is a comparative example of the present invention.
FIG. 4 is an electron micrograph of a blind via hole processed with a YAG laser on a laminated plate manufactured using a glass cloth surface-treated with fine particles, which is a comparative example of the present invention.

Claims (4)

ガラス糸を製織してなるガラスクロスであって、該ガラス糸に対して0.1〜10.0質量%の酸化チタンもしくは酸化亜鉛のいずれかからなる酸化物、該酸化物の混合物、または該酸化物を含む組成物のいずれかからなり、平均一次粒子径が1〜100nmである超微粒子からなる酸化物薄膜を表面に有し、前記超微粒子が、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、または酸化ケイ素を表層に有する組成物からなる超微粒子であり、該ガラスクロス表面にシランカップリング剤が塗布されてなることを特徴とする表面処理ガラスクロス。A glass cloth formed by weaving glass yarn, the oxide comprising either 0.1 to 10.0% by mass of titanium oxide or zinc oxide based on the glass yarn, a mixture of the oxides, or the An oxide thin film made of any one of compositions containing oxides and having an average primary particle diameter of 1 to 100 nm is formed on the surface, and the ultrafine particles contain aluminum oxide, zirconium oxide, or silicon oxide. A surface-treated glass cloth, which is an ultrafine particle composed of a composition having a surface layer, wherein a silane coupling agent is applied to the surface of the glass cloth. 上述の酸化物薄膜が、該ガラス糸と化学的に固着していることを特徴とする請求項1に記載の表面処理ガラスクロス。  The surface-treated glass cloth according to claim 1, wherein the oxide thin film is chemically fixed to the glass yarn. 扁平化加工されたことを特徴とする請求項1、2のいずれか1項に記載の表面処理ガラスクロス。  The surface-treated glass cloth according to claim 1, wherein the surface-treated glass cloth is flattened. 表面処理ガラスクロスの製造方法であって、酸化チタンもしくは酸化亜鉛のいずれかからなる酸化物、該酸化物の混合物、または該酸化物を含む組成物のいずれかからなり、平均一次粒子径が1〜100nmである超微粒子をガラスクロスに塗布することによって、ガラス糸の0.1〜10.0質量%の酸化物薄膜を該ガラス糸の表面に形成し、加熱によって該ガラス糸に固着させるに、前記超微粒子が、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、または酸化ケイ素を表層に有する組成物からなる超微粒子であり、超微粒子からなる酸化物薄膜をガラス糸の表面に形成した後、該ガラスクロス表面にシランカップリング剤を塗布することを特徴とする表面処理ガラスクロスの製造方法。A method for producing a surface-treated glass cloth, comprising an oxide composed of either titanium oxide or zinc oxide, a mixture of the oxides, or a composition containing the oxide, and an average primary particle size of 1 By applying ultrafine particles of ˜100 nm to a glass cloth, an oxide thin film of 0.1 to 10.0% by mass of the glass yarn is formed on the surface of the glass yarn, and is fixed to the glass yarn by heating. The ultrafine particles are ultrafine particles made of a composition having aluminum oxide, zirconium oxide, or silicon oxide as a surface layer , and after forming an oxide thin film made of ultrafine particles on the surface of the glass yarn, A method for producing a surface-treated glass cloth, comprising applying a silane coupling agent .
JP2003018525A 2003-01-28 2003-01-28 Surface treated glass cloth Expired - Lifetime JP4357179B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003018525A JP4357179B2 (en) 2003-01-28 2003-01-28 Surface treated glass cloth

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003018525A JP4357179B2 (en) 2003-01-28 2003-01-28 Surface treated glass cloth

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004231426A JP2004231426A (en) 2004-08-19
JP4357179B2 true JP4357179B2 (en) 2009-11-04

Family

ID=32948632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003018525A Expired - Lifetime JP4357179B2 (en) 2003-01-28 2003-01-28 Surface treated glass cloth

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4357179B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3067335A1 (en) * 2015-03-10 2016-09-14 Evonik Hanse GmbH Fibre sizing with small amounts of nanomaterials
JP2020170828A (en) * 2019-04-05 2020-10-15 Tdk株式会社 Substrate and laminated substrate
KR20220154838A (en) 2020-08-19 2022-11-22 아사히 가세이 가부시키가이샤 Glass Cloth, Prepreg, and Printed Boards

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004231426A (en) 2004-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6957563B2 (en) Glass cloth
TWI539869B (en) Prepreg, laminate, print circuit board and semiconductor device
JP2018127747A (en) Glass cloth, prepreg and printed wiring board
JP4357179B2 (en) Surface treated glass cloth
JP6917724B2 (en) Glass cloth, prepreg, and printed wiring board
JP6915999B2 (en) Glass cloth, prepreg, and printed wiring board
JP4497977B2 (en) Surface treated glass cloth
CN114591524A (en) Glass cloth, prepreg, and printed wiring board
CN110607052B (en) Prepreg, laminated board and printed circuit board
JP2019019431A (en) Glass cloth, prepreg and print circuit board
JP4310393B2 (en) Surface treated glass cloth
JP5448414B2 (en) Resin composition, prepreg, laminate, multilayer printed wiring board, and semiconductor device
JP2004124324A (en) Glass cloth for printed circuit board
TWI764258B (en) Surface treated glass cloth
JPH093218A (en) Production of composite material
JP3570806B2 (en) Glass fiber woven fabric and method for producing the same
JP7011396B2 (en) Glass cloth, prepreg, and printed wiring board
JP4277563B2 (en) Colored glass fiber fabric and method for producing the same
JP2005226012A (en) Transparent plastic composite sheet and display element using the same
JPH09136384A (en) Laminate
JPH05283826A (en) Printed-circuit board
JPS63267514A (en) Material for flexible printed circuit board
JPS62273792A (en) Printed wiring board
JP2005042245A (en) Method for processing glass cloth
TW202233942A (en) Low dielectric glass cloth, prepreg, and printed wiring board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060105

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20070402

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070531

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080812

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080819

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081017

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20090401

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090526

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090714

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090804

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090804

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4357179

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814

Year of fee payment: 4

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

EXPY Cancellation because of completion of term