JP4355718B2 - Recording medium and recording medium manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、陽極酸化により形成される微細孔を用いた記録媒体、および当該記録媒体の製造方法に関する。 The present invention relates to a recording medium using micropores formed by anodization and a method for manufacturing the recording medium.
例えば、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）などに用いられる磁気ディスクなどの記録媒体は、データの書き込みや書き換えなどが行われるデータ領域と、記録媒体（ディスク）の位置決めにかかる情報（サーボ信号）が書き込まれたサーボ領域とを有するように構成されている。 For example, in a recording medium such as a magnetic disk used for a hard disk drive (HDD), a data area in which data is written or rewritten, and information (servo signal) for positioning the recording medium (disk) are written. And a servo area.
例えば、上記のサーボ領域は、サーボ信号を認識するために、データ領域とは磁化パターンの書き込み形式（例えば配列のピッチなど）が異なるように構成され、記録媒体の所定の位置に形成される（例えば特許文献１、特許文献２参照）。 For example, in order to recognize the servo signal, the servo area is configured to have a different magnetization pattern writing format (for example, array pitch) from the data area, and is formed at a predetermined position of the recording medium ( For example, see Patent Document 1 and Patent Document 2).
また、上記のデータ領域の磁化パターンは、近年、記録密度を大きくするために小さく緻密に形成されるようになってきている。また、上記のデータ領域を形成する方法としては、例えば、アルミニウムの陽極酸化により形成される微細孔（アルマイトポアまたはナノホールと呼ぶ場合もある）を用いる方法が知られている。当該微細孔は自己組織化的に発生するため、リソグラフィ的手法で１ドットずつドット形成する方法に較べて安価に製造できるメリットがある。 In recent years, the magnetization pattern of the data area has been formed small and dense in order to increase the recording density. As a method for forming the data region, for example, a method using micropores (sometimes referred to as anodized pores or nanoholes) formed by anodic oxidation of aluminum is known. Since the micropores are generated in a self-organized manner, there is an advantage that the micropores can be manufactured at a lower cost than a method of forming dots one by one by a lithography method.
上記の微細孔の中に磁性材料を充填することで、垂直磁気記録媒体を形成することができる。当該微細孔は、膜面に垂直方向に細長く（高アスペクト比で）成長するため、微細孔の中の磁性材料は形状異方性効果により垂直方向に磁化する。このため、上記の記録媒体は垂直記録用媒体として用いることができる。 By filling the fine holes with a magnetic material, a perpendicular magnetic recording medium can be formed. Since the microholes are elongated in the direction perpendicular to the film surface (with a high aspect ratio), the magnetic material in the microholes is magnetized in the vertical direction due to the shape anisotropy effect. Therefore, the above recording medium can be used as a perpendicular recording medium.
図１、図２は、Ａｌの陽極酸化により形成される微細孔の配列を模式的に示した図である。上記の陽極酸化による微細孔は、例えば図１に示すように、三角格子配列や、または、図２に示すように四角格子配列となるように、自己組織化的に形成される。
しかし、上記の陽極酸化により形成される微細孔を用いて記録媒体を形成しようとすると、サーボ領域を形成することが困難となる問題が生じてしまう。 However, if a recording medium is formed using the fine holes formed by the above-described anodic oxidation, there arises a problem that it is difficult to form a servo area.
例えば、陽極酸化など、自己組織化的に形成される微細孔の配列や大きさなどを、記録媒体の面内において変更することは実質的に困難である。サーボ領域は、先に説明したようにデータ領域とは異なる配列やピッチ、または大きさで形成されることが好ましいため、自己組織化的に形成される微細孔を用いて、データ領域にかかるパターンとサーボ領域にかかるパターンの両方を形成することは困難となる問題があった。 For example, it is substantially difficult to change the arrangement and size of micropores formed in a self-organized manner such as anodization within the plane of the recording medium. As described above, the servo area is preferably formed with an arrangement, pitch, or size different from that of the data area. Therefore, the pattern over the data area is formed using micro holes formed in a self-organized manner. It is difficult to form both the pattern on the servo area.
これまでは、上記の微細孔を用いて形成されるデータ領域を有する記録媒体において、サーボ領域の具体的な構成や、その製造方法の詳細については、殆ど検討された例がなかった。 Until now, in the recording medium having the data area formed by using the above-described fine holes, there have been almost no examples for examining the specific configuration of the servo area and the details of the manufacturing method thereof.
そこで、本発明では、上記の問題を解決した、新規で有用な記録媒体、および当該記録媒体を製造する記録媒体の製造方法を提供することを統括的課題としている。 In view of this, the present invention has a general object to provide a new and useful recording medium that solves the above-described problems, and a recording medium manufacturing method for manufacturing the recording medium.
本発明の具体的な課題は、陽極酸化により形成される微細孔を用いたデータ領域を有する記録媒体であって、サーボ制御が容易となる記録媒体と、当該記録媒体を製造する記録媒体の製造方法を提供することである。 A specific problem of the present invention is a recording medium having a data area using micropores formed by anodization, the recording medium facilitating servo control, and the manufacture of the recording medium for manufacturing the recording medium Is to provide a method.
本発明の第１の観点では、上記の課題を、Ａｌの陽極酸化により形成される微細孔に磁性材料が形成されてなるデータ領域と、磁性層に磁化パターンが形成されてなるサーボ領域と、を有することを特徴とする記録媒体により、解決する。 In the first aspect of the present invention, the above-described problems are solved by a data region in which a magnetic material is formed in a microhole formed by anodization of Al, a servo region in which a magnetic pattern is formed in a magnetic layer, The problem is solved by a recording medium characterized by comprising:
また、本発明の第２の観点では、上記の課題を、Ａｌ層を陽極酸化することで微細孔を形成し、該微細孔に磁性材料を充填してデータ領域を形成する工程と、前記データ領域の所定の領域を除去し、該所定の領域に磁性層を形成して該磁性層に磁化パターンを書き込むことでサーボ領域を形成する工程と、を有することを特徴とする記録媒体の製造方法により、解決する。 According to a second aspect of the present invention, the above-described problem is solved by forming a microhole by anodizing the Al layer, filling the microhole with a magnetic material to form a data region, and the data Forming a servo region by removing a predetermined region, forming a magnetic layer in the predetermined region, and writing a magnetization pattern in the magnetic layer. To solve.
本発明によれば、陽極酸化により形成される微細孔を用いたデータ領域を有する記録媒体であって、サーボ制御が容易となる記録媒体と、当該記録媒体を製造する記録媒体の製造方法を提供することが可能となる。 According to the present invention, there are provided a recording medium having a data area using micropores formed by anodization, wherein the servo control is easy, and a method for manufacturing the recording medium for manufacturing the recording medium It becomes possible to do.
次に、本発明の実施の形態に関して図面に基づき、説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
図３は、実施例１による記録媒体３００を模式的に示した平面図である。図１を参照するに、本実施例による記録媒体３００は、Ａｌの陽極酸化により形成される微細孔に磁性材料が形成されてなるデータ領域１００と、磁性層に磁化パターンが形成されてなるサーボ領域２００と、を有することを特徴としている。 FIG. 3 is a plan view schematically showing the recording medium 300 according to the first embodiment. Referring to FIG. 1, a recording medium 300 according to the present embodiment includes a data area 100 in which a magnetic material is formed in a micro hole formed by anodization of Al, and a servo in which a magnetic pattern is formed in a magnetic layer. And an area 200.
例えば、陽極酸化などで自己組織化的に形成される微細孔（ナノホール）の配列や大きさなどは、記録媒体の面内において変更することは困難であり、従来はナノホールを用いて形成されるデータ領域を有する記録媒体にサーボ領域を形成することは困難となっていた。 For example, the arrangement and size of micropores (nanoholes) formed in a self-organized manner by anodic oxidation or the like is difficult to change in the plane of the recording medium, and conventionally formed using nanoholes. It has been difficult to form a servo area on a recording medium having a data area.
そこで、上記の記録媒体１００では、磁性層に磁化パターンが形成されてなるサーボ領域２００が、データ領域１００に挿入するようにして形成されている。上記の構造においては、データ領域１００と、サーボ領域２００は、実質的に同一平面に形成されることになる。この場合、記録媒体３００の一面は一定領域（例えばトラックとセクタ）ごとに区切られ、各領域の先頭にサーボ信号が書き込まれる（サーボ領域が形成される）ようにすればよい。 Therefore, in the recording medium 100 described above, the servo area 200 in which the magnetization pattern is formed in the magnetic layer is formed so as to be inserted into the data area 100. In the above structure, the data area 100 and the servo area 200 are formed substantially on the same plane. In this case, one surface of the recording medium 300 may be divided into fixed areas (for example, tracks and sectors), and a servo signal may be written (a servo area is formed) at the head of each area.
図４は、図３の記録媒体３００の領域Ａの拡大図（模式図）である。ただし、先に説明した部分には同一の符号を付している。図４を参照するに、データ領域１００は、Ａｌ（層）の陽極酸化により形成されるアルミナ１０１の微細孔（ナノホール）に、磁性材料１０２が充填されてなる構造を有している。磁性材料１０２が充填される微細孔は、陽極酸化によって自己組織化的に形成される。また、陽極酸化に先立ち、例えばインプリントとエッチングなどによって微細孔形成用の起点を設けて、当該起点から微細孔が形成されるようにしてもよい。上記の構造では、磁性材料１０２のパターン１個（微細孔１個）が、１ビットの記録に用いられる。 FIG. 4 is an enlarged view (schematic diagram) of the area A of the recording medium 300 of FIG. However, the same code | symbol is attached | subjected to the part demonstrated previously. Referring to FIG. 4, the data region 100 has a structure in which a magnetic material 102 is filled in micropores (nanoholes) of alumina 101 formed by anodization of Al (layer). The micropores filled with the magnetic material 102 are formed in a self-organized manner by anodic oxidation. Prior to the anodic oxidation, a starting point for forming a fine hole may be provided by, for example, imprinting and etching, and the fine hole may be formed from the starting point. In the above structure, one pattern (one fine hole) of the magnetic material 102 is used for 1-bit recording.
また、サーボ領域２００は、磁性層２０１に、磁化パターン２０２が形成されてなる構造を有している。サーボ領域に形成されるサーボ信号に係る磁化パターン２０２は、データ領域に形成されるパターン（磁性材料１０２）と、配列やパターンの大きさが異なるように形成されることが好ましい。 The servo region 200 has a structure in which a magnetic pattern 201 is formed on the magnetic layer 201. The magnetization pattern 202 related to the servo signal formed in the servo area is preferably formed so that the arrangement and the size of the pattern are different from the pattern (magnetic material 102) formed in the data area.
本実施例の場合、磁性材料（磁化パターン）１０２が設置されるピッチＰ１と、磁化パターン２０２が設置されるピッチＰ２が異なるように形成されている。また、ピッチＰ２は、ピッチＰ１より小さくなるように形成されることがさらに好ましい。 In the case of the present embodiment, the pitch P1 at which the magnetic material (magnetization pattern) 102 is installed is different from the pitch P2 at which the magnetization pattern 202 is installed. Further, it is more preferable that the pitch P2 is formed to be smaller than the pitch P1.
また、本実施例の場合、平面視した場合の、磁性材料１０２の大きさ（面積）と、磁化パターン２０２の大きさ（面積）が異なるように形成されている。また、磁化パターン２０２は、磁性材料１０２よりも平面視した場合の面積が小さくなるように形成されることがさらに好ましい。 In the case of the present embodiment, the magnetic material 102 is formed so that the size (area) of the magnetic material 102 and the size (area) of the magnetization pattern 202 are different from each other in plan view. Further, it is more preferable that the magnetization pattern 202 is formed so as to have a smaller area when viewed in plan than the magnetic material 102.
また、磁化パターン２０２を微細孔より小さく形成するためには、磁性層２０１は、熱緩和に強い、磁気異方性エネルギー定数（Ｋｕ）が大きい材料（いわゆる高Ｋｕ材料）により構成されることが好ましい。例えば、磁性層２０１を構成する磁性材料の磁気異方性エネルギー定数は、磁性材料１０２の磁気異方性エネルギー定数より大きいことが好ましく、また、磁性層２０１を構成する磁性材料の磁気異方性エネルギー定数は、１×１０７ｅｒｇ／ｃｃ以上であることが好ましい。 In order to form the magnetization pattern 202 smaller than the micropore, the magnetic layer 201 is made of a material that is strong against thermal relaxation and has a large magnetic anisotropy energy constant (Ku) (so-called high Ku material). preferable. For example, the magnetic anisotropy energy constant of the magnetic material constituting the magnetic layer 201 is preferably larger than the magnetic anisotropy energy constant of the magnetic material 102, and the magnetic anisotropy of the magnetic material constituting the magnetic layer 201 is The energy constant is preferably 1 × 10 7 erg / cc or more.
また、磁性層２０１を構成する磁性材料としては、例えば、Ｃｏ、Ｆｅ、およびＮｉのうちのいずれかと、Ｐｔとの合金材料を含むと、磁気異方性材料を大きくすることが可能となり、好適である。 Moreover, as a magnetic material constituting the magnetic layer 201, for example, when an alloy material of any one of Co, Fe, and Ni and Pt is included, the magnetic anisotropic material can be increased, which is preferable. It is.
また、磁性層２０１の磁気異方性エネルギー定数が大きい場合には、磁化パターン２０２を形成する（書き込む）場合に、磁性層２０２を磁場に曝すと同時に加熱する（熱アシストする）ことが好ましい。例えば、上記の磁化パターン２０２の形成には、公知のサーボトラックライター（ＳＴＷ）のヘッドに、加熱手段（熱アシスト手段）を設けた構造のもの（熱アシストサーボトラックライター）を用いることが好ましい。 Further, when the magnetic layer 201 has a large magnetic anisotropy energy constant, it is preferable to heat (thermally assist) the magnetic layer 202 simultaneously with exposure to a magnetic field when the magnetic pattern 202 is formed (written). For example, it is preferable to use a known servo track writer (STW) head having a heating means (heat assist means) (heat assist servo track writer) for forming the magnetized pattern 202.
次に、上記の記録媒体３００の製造方法の具体的な一例について、図５Ａ〜図５Ｆに基づき、手順を追って説明する。ただし、以下の図中、先に説明した部分には同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。また、以下の図中では、それぞれ、図の上方に平面図（模式図）を、図の下方に断面図（模式図）を記載している。この場合、各図の断面図は、図５ＡではＡ−Ａ'断面を、図５ＢではＢ−Ｂ'断面を、図５ＣではＣ−Ｃ'断面を、図５ＤではＤ−Ｄ'断面を、図５ＥではＥ−Ｅ'断面を、図５ＦではＦ−Ｆ'断面を、それぞれ示している。また、それぞれの断面図に記載した微細孔や磁化パターンなどの大きさは、模式的に大きく示しており、平面図では微細孔や磁化パターンなどの微細な構造の図示を省略している。 Next, a specific example of the method for manufacturing the recording medium 300 will be described step by step based on FIGS. 5A to 5F. However, in the following drawings, the parts described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof may be omitted. In the following drawings, a plan view (schematic diagram) is shown above the diagram, and a sectional view (schematic diagram) is shown below the diagram. In this case, the cross-sectional views of FIGS. 5A, 5B, 5B, 5B, 5C, 5C, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5D, 5C, 5D, 5D, 5C FIG. 5E shows an EE ′ section, and FIG. 5F shows an FF ′ section. Further, the sizes of the fine holes and the magnetization patterns described in the respective cross-sectional views are schematically shown large, and the fine structures such as the fine holes and the magnetization patterns are not shown in the plan view.
まず、図５Ａに示す工程において、ガラスよりなるＨＤＤ媒体用の基板３０１上に、以下に説明するように、下地層／ＳＵＬ層／中間層よりなる多層膜３０２、さらにＡｌ層１０１Ａを順に積層する。 First, in the step shown in FIG. 5A, a multilayer film 302 composed of an underlayer / SUL layer / intermediate layer and an Al layer 101A are sequentially laminated on a substrate 301 for glass HDD medium, as will be described below. .
まず、基板３０１上に、下地層として膜厚が５ｎｍとなるようにＴａを、次に、ＳＵＬ（Soft Under Layer）層としてＮｉＦｅ層を、中間層として、膜厚が１０ｎｍとなるようにＷを、それぞれスパッタ法により成膜して多層膜３０２を形成する。さらに、多層膜３０２上に、膜厚が７０ｎｍとなるようにＡｌ層１０１Ａをスパッタ法により成膜する。 First, Ta is formed on the substrate 301 so as to have a film thickness of 5 nm as an underlayer, then a NiFe layer is formed as a SUL (Soft Under Layer) layer, and W is formed so as to have a film thickness of 10 nm as an intermediate layer. Then, the multilayer film 302 is formed by film formation by sputtering. Further, an Al layer 101A is formed on the multilayer film 302 by sputtering so that the film thickness becomes 70 nm.
次に、図５Ｂに示す工程において、インプリントと、パターンエッチング（ドライエッチング）によって、Ａｌ層１０１Ａに、微細孔のパターニングの起点となる凹部を設ける。この場合、インプリント用レジストとしてはＰＭＭＡを、エッチング方法としては、ＲＩＥ（リアクティブ・イオン・エッチング）を用いる。 Next, in the step shown in FIG. 5B, a recess serving as a starting point for patterning the micropores is provided in the Al layer 101A by imprinting and pattern etching (dry etching). In this case, PMMA is used as an imprint resist, and RIE (reactive ion etching) is used as an etching method.
次に、Ａｌ層１０１Ａの陽極酸化を行ってアルミナ１０１を形成するとともに、前記凹部を起点として微細孔（ナノホール、またはアルマイトポアと呼ばれる場合もある）１０１ａを形成する。このとき、形成される微細孔１０１ａのピッチＰ１は、Ｐ１（ｎｍ）＝陽極酸化時の直流電圧（Ｖ）×２．５で算出される。本実施例では、陽極酸化時の直流電圧を２５Ｖとして陽極酸化を行うことで、６３ｎｍのピッチで微細孔１０１ａを形成することができる。なお、図６には、本工程で形成されたアルマイトの微細孔のＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）写真を示す。図６に示すように、微細孔１０１ａは、ピッチ６３ｎｍで規則的に配列されていることがわかる。 Next, the Al layer 101A is anodized to form alumina 101, and fine holes (sometimes called nanoholes or alumite pores) 101a are formed starting from the recesses. At this time, the pitch P1 of the fine holes 101a to be formed is calculated by P1 (nm) = DC voltage (V) during anodization × 2.5. In this embodiment, the fine holes 101a can be formed with a pitch of 63 nm by performing anodization with the DC voltage at the time of anodization being 25V. In addition, in FIG. 6, the SEM (scanning electron microscope) photograph of the fine hole of the alumite formed at this process is shown. As shown in FIG. 6, it can be seen that the fine holes 101a are regularly arranged with a pitch of 63 nm.
次に、図５Ｃに示す工程において、ＡＣメッキ法により、微細孔に、例えばＣｏよりなる磁性材料１０２を形成（充填）する。また、磁性材料１０２はＣｏに限定されず、他にも様々な磁性材料（金属材料、合金材料など）を用いることができる。また、微細孔から上にあふれた磁性材料１０２（Ｃｏ）は、例えば、ＣＭＰ（化学機械研磨）などの方法により、除去することが好ましい。本工程において、Ａｌ層１０１Ａの陽極酸化により形成されるアルミナ１０１の微細孔に、磁性材料１０２が充填されてなるデータ領域１００が形成される。 Next, in the step shown in FIG. 5C, the magnetic material 102 made of, for example, Co is formed (filled) in the micro holes by the AC plating method. The magnetic material 102 is not limited to Co, and various other magnetic materials (metal materials, alloy materials, etc.) can be used. The magnetic material 102 (Co) overflowing from the fine holes is preferably removed by a method such as CMP (Chemical Mechanical Polishing). In this step, the data region 100 is formed by filling the micropores of the alumina 101 formed by the anodic oxidation of the Al layer 101A with the magnetic material 102.
次に、図５Ｄに示す工程において、データ領域１００の所定の領域（領域２００Ａ）のアルミナ１０１と磁性材料１０２を除去し、後の工程において、サーボ領域が形成される領域を確保する。本工程においては、例えばイオンミリング法により、領域２００Ａのアルミナ１０１と磁性材料１０２の除去を行うことができる。また、上記のデータ領域１００の除去は、イオンミリング法に限定されず、例えば他の様々な方法（例えばウエットエッチング、ドライエッチング）などで行うことも可能である。 Next, in a step shown in FIG. 5D, the alumina 101 and the magnetic material 102 in a predetermined region (region 200A) of the data region 100 are removed, and in a later step, a region where a servo region is formed is secured. In this step, the alumina 101 and the magnetic material 102 in the region 200A can be removed by, for example, ion milling. The removal of the data area 100 is not limited to the ion milling method, and can be performed by other various methods (for example, wet etching, dry etching), for example.
次に、図５Ｅに示す工程において、図５Ｆの工程でデータ領域（アルミナ１０１と磁性材料１０２）が除去された領域に、磁性層２０１を形成する。例えば、本工程においては、磁性層２０１として、Ｒｕ／ＣｏＰｔ５０よりなる層をスパッタ法により、成膜する。上記の構成においては、例えばＲｕは膜厚が５０ｎｍとなるように、ＣｏＰｔ５０は膜厚が２０ｎｍとなるように成膜する。また、磁性層２０１を形成する方法としては、スパッタ法に限定されず、例えば塗布により（例えばＣｏＰｔナノパーティクルの塗布により）行っても良い。また、データ領域１００上の磁性層２０１は、ＣＭＰによる除去する。 Next, in the step shown in FIG. 5E, the magnetic layer 201 is formed in the region from which the data region (alumina 101 and magnetic material 102) has been removed in the step of FIG. 5F. For example, in this step, as the magnetic layer 201, a layer made of Ru / CoPt 50 is formed by sputtering. In the above configuration, for example, Ru is formed to have a film thickness of 50 nm, and CoPt 50 is formed to have a film thickness of 20 nm. Further, the method of forming the magnetic layer 201 is not limited to the sputtering method, and may be performed, for example, by coating (for example, by coating CoPt nanoparticles). Further, the magnetic layer 201 on the data region 100 is removed by CMP.
また、先に説明したように、サーボ領域（磁性層２０１）に形成される磁化パターンを磁性材料１０２のパターンより小さく形成するためには、磁性層２０１は、熱緩和に強い、磁気異方性エネルギー定数が大きい高Ｋｕ材料により構成されることが好ましい。例えば、磁性層２０１を構成する磁性材料の磁気異方性エネルギー定数は、磁性材料１０２の磁気異方性エネルギー定数より大きいことが好ましく、また、磁性層２０１を構成する磁性材料の磁気異方性エネルギー定数は、１×１０７ｅｒｇ／ｃｃ以上であることが好ましい。 Further, as described above, in order to form the magnetization pattern formed in the servo region (magnetic layer 201) smaller than the pattern of the magnetic material 102, the magnetic layer 201 has a magnetic anisotropy that is resistant to thermal relaxation. It is preferably made of a high Ku material having a large energy constant. For example, the magnetic anisotropy energy constant of the magnetic material constituting the magnetic layer 201 is preferably larger than the magnetic anisotropy energy constant of the magnetic material 102, and the magnetic anisotropy of the magnetic material constituting the magnetic layer 201 is The energy constant is preferably 1 × 10 7 erg / cc or more.
また、磁性層２０１を構成する磁性材料は、上記に記載の材料に限定されるものではない。例えば、上記に記載の材料以外でも、Ｃｏ、Ｆｅ、およびＮｉのうちのいずれかと、Ｐｔとの合金材料を含む材料を用いると、磁気異方性材料を大きくすることが可能となり、好適である。 Moreover, the magnetic material which comprises the magnetic layer 201 is not limited to the material as described above. For example, in addition to the materials described above, it is possible to increase the magnetic anisotropic material by using a material containing an alloy material of any one of Co, Fe, and Ni and Pt, which is preferable. .
次に、図５Ｆに示す工程において、磁場中で４００℃の熱処理を施し、ＣｏＰｔに垂直磁気異方性を印加する。その後、サーボトラックライターにより、磁性層２０１にサーボ信号を書き込んで磁化パターン２０２（本図には図示せず、図４に図示）を形成することで、図３〜図４に示す記録媒体３００を製造することができる。 Next, in the step shown in FIG. 5F, heat treatment is performed at 400 ° C. in a magnetic field, and perpendicular magnetic anisotropy is applied to CoPt. Thereafter, a servo signal is written on the magnetic layer 201 by a servo track writer to form a magnetization pattern 202 (not shown in this figure, but shown in FIG. 4), whereby the recording medium 300 shown in FIGS. Can be manufactured.
また、上記のサーボトラックライターは、先に説明したように、公知のサーボトラックライター（ＳＴＷ）のヘッドに、加熱手段（熱アシスト手段）を設けた構造のもの（熱アシストサーボトラックライター）を用いることが好ましい。 In addition, as described above, a servo track writer having a structure in which a heating unit (thermal assist unit) is provided on the head of a known servo track writer (STW) is used (thermal assist servo track writer). It is preferable.
この場合、磁性層２０１を磁場に曝すことに加えて加熱することで、磁気異方性エネルギー定数が大きい高Ｋｕ材料にサーボ信号を書き込むことが容易になる効果を奏する。 In this case, the magnetic layer 201 is heated in addition to being exposed to a magnetic field, so that an effect of facilitating writing a servo signal to a high Ku material having a large magnetic anisotropy energy constant is achieved.
以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明は上記の特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において様々な変形・変更が可能である。
（付記１）
Ａｌの陽極酸化により形成される微細孔に磁性材料が形成されてなるデータ領域と、
磁性層に磁化パターンが形成されてなるサーボ領域と、を有することを特徴とする記録媒体。
（付記２）
前記データ領域と前記サーボ領域が同一平面上に形成されていることを特徴とする付記１記載の記録媒体。
（付記３）
前記磁化パターンが形成されるピッチと、前記微細孔が形成されるピッチが異なることを特徴とする付記１または２記載の記録媒体。
（付記４）
平面視した場合に、前記磁化パターンが前記微細孔より小さいことを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項記載の記録媒体。
（付記５）
前記磁性層の磁気異方性エネルギー定数が、前記磁性材料の磁気異方性エネルギー定数よりも大きいことを特徴とする付記１乃至４のいずれか１項記載の記録媒体。
（付記６）
前記磁性層の磁気異方性エネルギー定数が、１×１０７ｅｒｇ／ｃｃ以上であることを特徴とする付記１乃至５のいずれか１項記載の記録媒体。
（付記７）
前記磁性層は、Ｃｏ、Ｆｅ、およびＮｉのうちのいずれかと、Ｐｔとの合金材料を含むことを特徴とする付記１乃至６のいずれか１項記載の記録媒体。
（付記８）
Ａｌ層を陽極酸化することで微細孔を形成し、該微細孔に磁性材料を充填してデータ領域を形成する工程と、
前記データ領域の所定の領域を除去し、該所定の領域に磁性層を形成して該磁性層に磁化パターンを書き込むことでサーボ領域を形成する工程と、を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。
（付記９）
前記Ａｌ層に、インプリント法を用いたパターンエッチングによる凹部を設ける工程をさらに有し、前記陽極酸化では当該凹部に対応した前記微細孔が形成されることを特徴とする付記８記載の記録媒体の製造方法。
（付記１０）
前記磁性材料の充填は、メッキ法により行われることを特徴とする付記８または９記載の記録媒体の製造方法。
（付記１１）
前記磁性層の磁気異方性エネルギー定数が、前記磁性材料の磁気異方性エネルギー定数よりも大きいことを特徴とする付記８乃至１０のいずれか１項記載の記録媒体の製造方法。
（付記１２）
前記磁性層の磁気異方性エネルギー定数が、１×１０７ｅｒｇ／ｃｃ以上であることを特徴とする付記８乃至１１のいずれか１項記載の記録媒体の製造方法。
（付記１３）
前記磁性層は、Ｃｏ、Ｆｅ、およびＮｉのうちのいずれかと、Ｐｔとの合金材料を含むことを特徴とする付記８乃至１２のいずれか１項記載の記録媒体の製造方法。
（付記１４）
前記磁性層への前記磁化パターンの書き込みでは、前記磁性層が加熱されることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか１項記載の記録媒体の製造方法。
（付記１５）
前記磁化パターンが形成されるピッチと、前記微細孔が形成されるピッチが異なることを特徴とする付記８乃至１４のいずれか１項記載の記録媒体。
Although the present invention has been described with reference to the preferred embodiments, the present invention is not limited to the specific embodiments described above, and various modifications and changes can be made within the scope described in the claims.
(Appendix 1)
A data region in which a magnetic material is formed in a microscopic hole formed by anodization of Al;
And a servo area in which a magnetic pattern is formed on the magnetic layer.
(Appendix 2)
The recording medium according to claim 1, wherein the data area and the servo area are formed on the same plane.
(Appendix 3)
The recording medium according to claim 1 or 2, wherein a pitch at which the magnetization pattern is formed is different from a pitch at which the fine holes are formed.
(Appendix 4)
The recording medium according to any one of appendices 1 to 3, wherein the magnetization pattern is smaller than the fine holes when viewed in a plan view.
(Appendix 5)
The recording medium according to any one of appendices 1 to 4, wherein a magnetic anisotropy energy constant of the magnetic layer is larger than a magnetic anisotropy energy constant of the magnetic material.
(Appendix 6)
The recording medium according to any one of appendices 1 to 5, wherein the magnetic layer has a magnetic anisotropy energy constant of 1 × 10 7 erg / cc or more.
(Appendix 7)
The recording medium according to any one of appendices 1 to 6, wherein the magnetic layer includes an alloy material of any one of Co, Fe, and Ni and Pt.
(Appendix 8)
Forming a micropore by anodizing the Al layer and filling the micropore with a magnetic material to form a data region;
Forming a servo area by removing a predetermined area of the data area, forming a magnetic layer in the predetermined area, and writing a magnetization pattern in the magnetic layer. Production method.
(Appendix 9)
9. The recording medium according to claim 8, further comprising a step of forming a recess by pattern etching using an imprint method in the Al layer, and the microhole corresponding to the recess is formed in the anodic oxidation. Manufacturing method.
(Appendix 10)
10. The method for manufacturing a recording medium according to appendix 8 or 9, wherein the filling of the magnetic material is performed by a plating method.
(Appendix 11)
11. The method for manufacturing a recording medium according to any one of appendices 8 to 10, wherein a magnetic anisotropy energy constant of the magnetic layer is larger than a magnetic anisotropy energy constant of the magnetic material.
(Appendix 12)
12. The method for manufacturing a recording medium according to any one of appendices 8 to 11, wherein the magnetic layer has a magnetic anisotropy energy constant of 1 × 10 7 erg / cc or more.
(Appendix 13)
13. The method for manufacturing a recording medium according to any one of appendices 8 to 12, wherein the magnetic layer includes an alloy material of any one of Co, Fe, and Ni and Pt.
(Appendix 14)
14. The method for manufacturing a recording medium according to claim 8, wherein the magnetic layer is heated in writing the magnetization pattern to the magnetic layer.
(Appendix 15)
15. The recording medium according to any one of appendices 8 to 14, wherein a pitch at which the magnetization pattern is formed is different from a pitch at which the fine holes are formed.
本発明によれば、陽極酸化により形成される微細孔を用いたデータ領域を有する記録媒体であって、サーボ制御が容易となる記録媒体と、当該記録媒体を製造する記録媒体の製造方法を提供することが可能となる。 According to the present invention, there are provided a recording medium having a data area using micropores formed by anodization, wherein the servo control is easy, and a method for manufacturing the recording medium for manufacturing the recording medium It becomes possible to do.
３００ 記録媒体
１００ データ領域
１０１ アルミナ
１０１ａ 微細孔
１０１Ａ Ａｌ層
１０２ 磁性材料
２００ サーボ領域
２００Ａ 除去領域
２０１ 磁性層
２０２ 磁化パターン
３０１ 基板
３０２ 多層膜
DESCRIPTION OF SYMBOLS 300 Recording medium 100 Data area 101 Alumina 101a Micro hole 101A Al layer 102 Magnetic material 200 Servo area 200A Removal area 201 Magnetic layer 202 Magnetization pattern 301 Substrate 302 Multilayer film
Claims (5)
磁性層に磁化パターンが形成されてなるサーボ領域と、を有することを特徴とする記録媒体。 A data region in which a magnetic material is formed in a microscopic hole formed by anodization of Al;
And a servo area in which a magnetic pattern is formed on the magnetic layer.
前記データ領域の所定の領域を除去し、該所定の領域に磁性層を形成して該磁性層に磁化パターンを書き込むことでサーボ領域を形成する工程と、を有することを特徴とする記録媒体の製造方法。 Forming a micropore by anodizing the Al layer and filling the micropore with a magnetic material to form a data region;
Forming a servo area by removing a predetermined area of the data area, forming a magnetic layer in the predetermined area, and writing a magnetization pattern in the magnetic layer. Production method.
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