JP4347676B2 - ウエハホルダおよび電子顕微鏡装置 - Google Patents
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ウエハホルダの例として、下記の特許文献1、2に記載された例が知られている。
(1)減衰座のばね定数がウエハのベンドのばね定数に比較して小さい領域(kc/kw=0.1〜1)では、ウエハ振動に従って減衰座が変形し、減衰座の変形によって振動エネルギが吸収され、減衰作用が働く。但し、減衰座のばね定数が小さいほどウエハと減衰座の間に働く力は小さく、振動エネルギの伝達量は小さくなるため、振動系全体としての減衰は小さくなる。
(2)減衰座のばね定数がウエハベンドのばね定数に比較して数倍以上となる領域(kc/kw=5〜100)では、ウエハ振動に伴ってウエハと減衰座の間に働く力は大きくなるが、減衰座が硬いため変形しにくく、ウエハは減衰座に接触していない部分で大きく変形することになる。このため減衰座のばね定数が大きいほど、減衰座による振動エネルギの吸収はかえって小さくなる。
(3)結局、減衰座のばね定数がウエハベンドのばね定数に比較して数倍となる領域(kc/kw=1〜5:ハッチング領域52)では、減衰座によってウエハ振動が有効に減衰する。従って、ばね定数の比が1から5までとなるように減衰座のばね定数を決めるのが良い。
Claims (5)
- ウエハを支持するための3個以上の固定座とウエハを弾性的に支持する少なくとも1個の減衰座を備えたウエハホルダであって、
前記減衰座は、ウエハの裏面に接触するウエハ接触部と、該ウエハ接触部を弾性的に移動可能に支持する支持部とを一体的に備え、
前記減衰座は逆U字型に形成され、当該逆U字型の先端部分が前記ウエハ接触部となり、当該逆U字型の先端部分の前記ウエハ接触部に連接する部分が前記支持部となっている
ことを特徴とするウエハホルダ。 - 請求項1に記載のウエハホルダにおいて、
前記減衰座のウエハ接触部は薄板を湾曲して形成した円筒面からなる
ことを特徴とするウエハホルダ。 - 請求項1に記載のウエハホルダにおいて、
前記減衰座の上端は前記固定座の上面より突出して配置されている
ことを特徴とするウエハホルダ。 - 請求項1に記載のウエハホルダにおいて、
前記固定座はウエハの周辺部に相当する位置に配置され、
前記減衰座は前記固定座よりウエハの半径方向内側に配置されている
ことを特徴とするウエハホルダ。 - 請求項1から4のいずれか1記載のウエハホルダを備え、前記ウエハの表面に対し、電子線を傾斜して照射することを特徴とする電子顕微鏡装置。
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