JP5168507B2 - 光学素子保持機構、光学系鏡筒及び露光装置 - Google Patents
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Description
ここで、光学素子を変形させないようにする機能としては、光学素子が熱膨張した際に保持機構も変形して、光学素子の歪み(不均一変形)を抑制するような機能が考えられる。一方、光学素子の位置が変わらないようにする機能としては、光学素子を全方向で拘束することが考えられる。さらに、鏡筒が加振された場合に、すべり等で位置ずれが生じないようにすることも必要である。
[第1実施例]
図1(A)は本発明の第1実施例に係る光学系鏡筒内のミラー保持機構を示す平面図であり、図1(B)は同保持機構の接着部材の拡大図である。
[第2実施例]
図3は、本発明の第2実施例に係る露光装置の光学系鏡筒を示す側面断面図である。
する歪)を、各2次元板バネ70’の変形で吸収することができる。そのため、結合時のミラー201の変形を抑制できる。
図12(A)は本発明に係る光学系鏡筒の固定機構の例を示す平面図であり、図12(B)は同固定機構の側面図である。
図11(A)及び(B)は、2次元板バネとリング間に2次元アクチュエータ(形状調整機構)が設けられた例を示す図である。
1A、201A ミラー保持突起
2 光学系鏡筒フランジ 3 リング
5 鍔状部材 5a 外嵌部
5b 鍔部 5c スリット
7 スペーサ
10 保持部材セット 11 板バネ
12 バネ片 13 剛体片
14 溝 16 接着部材
17 接着剤 18 連結部材
20 保持部材 21 上下挟持部材
22 上押え部材 23 下押え部材
25 中央部 27 端部
28 板バネ 31 側板部
32 穴付きネジ 33 下端部
35 位置決めピン 36 上ネジ軸
37 下ネジ軸 39 窓
41 バネ付きブロック(左挟持部材) 42 ブロック本体
43 当接部 43a 当接面
45 板バネ(水平板バネ) 47 板バネ(上下板バネ)
51 右挟持部材
51a ミラー当接突起 51b 撓み板当接突起
53 撓み板 56、57 ナット
61 外挟持部材
62 上端部 62a 突起
63 下端部 63a、63b 貫通孔
64 変形部
70 2次元板バネ 71 ブロック部
71a、71b ピン孔 72、73 取付片部
75、75′、76、76′ 切り込み溝
77X、77Y、78X、78Y 板バネ
80 調整機構
81 Y方向位置調整機構 82 YX方向位置調整機構
85 てこレバー
85a 固定部 85b 移動部
86 板バネ
90 固定機構 91 クランプ部材
92 板バネ 95 バネ片
96 剛体片 A、B アクチュエータ
Claims (10)
- 光学素子を光学系鏡筒に保持する機構であって、
前記光学素子の端部を保持する保持部材と、
該保持部材を、前記光学素子の径方向、周方向及び傾き方向には柔軟に支え、重力方向には高剛性で支える第1の弾性支持部材と、
前記保持部材を、前記径方向及び重力方向には柔軟に支え、前記周方向には高剛性で支える第2の弾性支持部材と、
を備えることを特徴とする光学素子保持機構。 - 前記第1の弾性支持部材及び/又は前記第2の弾性支持部材が、前記高剛性で支える方
向に直列に配列され、前記柔軟な方向にそれぞれ曲がり易い2組の板バネからなることを
特徴とする請求項1記載の光学素子保持機構。 - 前記2組の板バネが、1個のブロックの中に直交するように作り込まれている2次元板
バネであることを特徴とする請求項2記載の光学素子保持機構。 - 前記弾性支持部材の2組の板バネのセンターと、前記保持部材及び前記光学素子の端部
の保持用突起のセンターとが一致していることを特徴とする請求項2又は3記載の光学素
子保持機構。 - 前記保持部材、前記第1の弾性支持部材及び前記第2の弾性支持部材のセットが、前記
光学素子の側周に3組以上分散配置されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか一項に記載の光学素子保持機構。 - 光学素子の保持機構と、
該光学素子の位置調整機構及び/又は光学素子の形状調整機構と、を具備する光学系鏡
筒であって、
前記光学素子の保持機構が請求項1〜5のうちいずれか一項に記載の光学素子保持機構
であることを特徴とする光学系鏡筒。 - 前記形状調整機構が、前記保持機構を介して前記光学素子にモーメントをかけて前記光
学素子の形状誤差を補正することを特徴とする請求項6に記載の光学系鏡筒。 - 前記形状調整機構が、前記保持機構に水平方向の変位を加えるアクチュエータを有する
ことを特徴とする請求項7に記載の光学系鏡筒。 - 前記位置調整機構は、アクチュエータと、該アクチュエータの動きを縮小して前記光学
素子保持機構に伝える駆動量縮小機構とを有することを特徴とする請求項6〜8のいずれ
か一項に記載の光学系鏡筒。 - エネルギ線を感応基板に選択的に照射してパターン形成する露光装置であって、
該エネルギ線の光学系を搭載する請求項6〜9のうちいずれか一項に記載の光学系鏡筒
を具備することを特徴とする露光装置。
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