JP2009102021A - Mask blank storing case, mask blank storing method and mask blank storing body - Google Patents

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Yasuhiro Mizukoshi
康弘 水越
Osamu Hanaoka
修 花岡
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a storing case for a mask blank capable of suppressing adhesion of particles on the mask blank caused by dusting when a lid is opened and closed. <P>SOLUTION: The storing case for the mask blank includes a case body 5 with an opened upper part and a lid body 6 for covering the case body 5, and stores the mask blank therein. A fixing member 8 covered from the upper part of the lid body 6 is engaged with the case body 5 at a position lower than a connecting part between the case body 5 and the lid body 6 when the lid body 6 is covered on the case body 5 to fix the lid body 6 and the case body 5. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電子デバイスの製造に使用されるフォトマスク等の製造に用いられるマスクブランクを収納する収納ケース及びその収納方法に関する。   The present invention relates to a storage case for storing a mask blank used for manufacturing a photomask or the like used for manufacturing an electronic device, and a storage method thereof.

近年の電子デバイス、特に半導体素子や液晶モニター用のカラーフィルター或いはＴＦＴ素子等は、ＩＴ技術の急速な発達に伴い、一層の微細化が要求されている。このような微細加工技術を支える技術の一つが、転写マスクと呼ばれるフォトマスクを用いたリソグラフィー技術である。このリソグラフィー技術においては、露光用光源の電磁波を転写マスクを通じてレジスト膜付きシリコンウエハー等に露光することにより、シリコンウエハー上に微細なパターンを形成している。この転写マスクは通常、透光性基板上に遮光性膜を形成したマスクブランクにリソグラフィー技術を用いて原版となるパターンを形成して製造される。ところで、マスクブランクの表面にパーティクル等の異物があると、形成されるパターンの欠陥の原因となるので、マスクブランクの表面には異物等が付着しないように清浄に保管される必要がある。   In recent years, electronic devices, particularly color filters or TFT elements for semiconductor elements and liquid crystal monitors, are required to be further miniaturized with the rapid development of IT technology. One of the technologies that support such a fine processing technology is a lithography technology using a photomask called a transfer mask. In this lithography technique, a fine pattern is formed on a silicon wafer by exposing an electromagnetic wave of an exposure light source to a silicon wafer with a resist film through a transfer mask. This transfer mask is usually manufactured by forming a pattern serving as an original plate using a lithography technique on a mask blank in which a light-shielding film is formed on a light-transmitting substrate. By the way, if there is a foreign substance such as a particle on the surface of the mask blank, it will cause a defect in the pattern to be formed.

このようなマスクブランクを収納保管し運搬するためのケースとしては、従来では例えば下記特許文献１に開示されているようなマスク運搬用ケースが知られている。すなわち、従来のマスクブランクを収納保管するケースは、キャリアなどと呼ばれている内ケースにマスクブランクを数枚乃至数十枚並べて保持させ、このマスクブランクを保持した内ケースを外箱（ケース本体）内に収容し、さらに外箱上に蓋を被せて、マスクブランクを収納する構造となっていた。   As a case for storing, storing, and transporting such a mask blank, a mask transport case as disclosed in, for example, the following Patent Document 1 is conventionally known. That is, a conventional case for storing and storing a mask blank is a case in which several to several dozen mask blanks are held side by side in an inner case called a carrier, and the inner case holding the mask blank is placed in an outer box (case body ) And a cover on the outer box to accommodate the mask blank.

図３乃至図５は、特許文献１に開示されたものと同様の構造の収納ケースを示すもので、図３は収納ケースの蓋を示す斜視図、図４はマスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図、図５は収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。
この収納ケースは、マスクブランク１を中ケース２に収納し、この中ケース２をケース本体３に収納し、このケース本体３の開口部側に蓋４を被せる構造である。 3 to 5 show a storage case having the same structure as that disclosed in Patent Document 1, FIG. 3 is a perspective view showing a cover of the storage case, and FIG. 4 stores the mask blank in the middle case. FIG. 5 is a perspective view showing a case main body (outer case) of the storage case.
This storage case has a structure in which the mask blank 1 is stored in an intermediate case 2, the intermediate case 2 is stored in a case main body 3, and the lid 4 is covered on the opening side of the case main body 3.

上記中ケース２は、開口部側（上方）から底面側（下方）に向けて複数の溝２１，２２を一方の互いに対向する内側面に所定間隔をおいて一対をなして形成し、その溝２１，２２の底面側の底部と中ケース底面にはそれぞれ開口窓２３，２４と開口部２７が設けられ、さらに中ケース底面側には基板支持部２６が形成され、この基板支持部２６でマスクブランク１の下方端面を支持している（図４）。そして、この中ケース２をケース本体３に収納して固定するための凹面部２８，２９がそれぞれ中ケースの他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成されている。数枚のマスクブランク１を中ケース２の一対の溝２１，２２に沿って入れると、これらのマスクブランクは所定間隔をおいて互いに平行に林立する。   The middle case 2 is formed by forming a plurality of grooves 21 and 22 from the opening side (upper side) to the bottom side (lower side) at a predetermined interval on one inner surface facing each other. Opening windows 23 and 24 and an opening 27 are provided on the bottom of the bottom surface side of the 21 and 22 and the bottom of the middle case, respectively, and a substrate support 26 is formed on the bottom of the middle case. The lower end face of the blank 1 is supported (FIG. 4). Then, concave surface portions 28 and 29 for housing and fixing the middle case 2 in the case body 3 are respectively formed on the other opposite outer surfaces of the middle case from the bottom surface side to the middle of the opening portion side. When several mask blanks 1 are inserted along the pair of grooves 21 and 22 of the middle case 2, these mask blanks stand in parallel with each other at a predetermined interval.

上記ケース本体３は、上述した中ケース２の凹面部２８，２９と当接するに適合した突出部３１，３２を、互いに対向する内側面に形成し、その突出部３１，３２の底部はケース本体３底面とも接合している（図５）。また、一方の対向する外側面の開口部側には凸部３３，３４が形成されている。そして、ケース本体３の開口縁３５のやや下方の位置に続く外周面３６と上記凸部３３，３４の凸面とは略同一面に形成されている。
また上記蓋４は、その一方の対向する下方縁４７（ケース本体へ差し込む開口部側の縁であって、図３では上方へ向いている）の中央から延びた係合片４１，４２に凹部４３，４４を形成している。これにより、蓋４をケース本体３に被せたときに、上記凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合することで、蓋４とケース本体３とが固定される構造となっている。また、中ケース２の開口部側上端面２５と当接して中ケース２を垂直方向において支持固定するストッパー４５，４６を一方の内側面に互いに対向させて形成している。 The case body 3 is formed with projecting portions 31 and 32 adapted to abut against the concave surface portions 28 and 29 of the above-described middle case 2 on inner surfaces facing each other, and the bottom portions of the projecting portions 31 and 32 are formed on the case body. The three bottom surfaces are also joined (FIG. 5). In addition, convex portions 33 and 34 are formed on the opening side of one opposing outer surface. The outer peripheral surface 36 following the position slightly below the opening edge 35 of the case body 3 and the convex surfaces of the convex portions 33 and 34 are formed on substantially the same plane.
The lid 4 is recessed in engagement pieces 41 and 42 extending from the center of one opposing lower edge 47 (the edge on the opening side to be inserted into the case body and facing upward in FIG. 3). 43 and 44 are formed. Thereby, when the cover 4 is put on the case main body 3, the concave portions 43 and 44 are respectively fitted to the convex portions 33 and 34 of the case main body 3, whereby the cover 4 and the case main body 3 are fixed. It has a structure. Further, stoppers 45 and 46 which are in contact with the upper end surface 25 on the opening side of the middle case 2 and support and fix the middle case 2 in the vertical direction are formed on one inner surface so as to face each other.

特公平１−３９６５３号公報Japanese Patent Publication No. 1-39653

近年の電子デバイスの高性能化に伴って、転写マスクに形成されるパターンも一段と微細化が要求されており、このような微細パターンを形成するためにもマスクブランクの清浄度は極めて高いものでないと許容できなくなってきている。従って、マスクブランクに異物等が付着するのを出来るだけ抑制することにより、特にマスクブランクの保管中は出来るだけ高い清浄度に維持する必要がある。   As electronic devices have been improved in performance in recent years, patterns formed on transfer masks are required to be further miniaturized. In order to form such fine patterns, the cleanness of the mask blank is not extremely high. And is becoming unacceptable. Therefore, it is necessary to maintain the cleanliness as high as possible, particularly during storage of the mask blank, by suppressing as much as possible foreign matter from adhering to the mask blank.

しかしながら、従来構造の収納ケースは、上述したように、蓋４をケース本体３に被せると、前記蓋４の凹部４３，４４が前記ケース本体３の凸部３３，３４とそれぞれ嵌合することで、蓋４とケース本体３とが固定されるようになっており、また上記蓋４やケース本体３はポリプロピレン等の樹脂で形成されているため、蓋を開閉する際に、前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４との擦れによるパーティクルが発生する。さらにこのような蓋の開閉時の作業者のハンドリングによる発塵があり、それがケースに付着してパーティクルの発生要因となる。しかも、従来構造の収納ケースの場合、上述のようなパーティクルの発生源（発塵源）、つまり蓋４の凹部４３，４４とケース本体３の凸部３３，３４との嵌合部分が、蓋４をケース本体３に被せたときのケース本体３の開口縁部の外周面３６と蓋４の下縁部の外周面４８との接合部（合わせ部）と同じ位置にあるため、たとえば蓋４を開けた際に生じたパーティクルがケース内に進入してマスクブランクに付着して、異物欠陥となるおそれが極めて高かった。   However, as described above, in the storage case having the conventional structure, when the lid 4 is put on the case body 3, the concave portions 43 and 44 of the lid 4 are fitted to the convex portions 33 and 34 of the case main body 3, respectively. The lid 4 and the case body 3 are fixed, and the lid 4 and the case body 3 are made of a resin such as polypropylene. Therefore, when the lid is opened and closed, the concave portion of the lid 4 is formed. Particles are generated due to rubbing between 43 and 44 and the convex portions 33 and 34 of the case body 3. Furthermore, there is dust generation due to the handling of the operator when the lid is opened and closed, which adheres to the case and becomes a cause of generation of particles. In addition, in the case of a storage case having a conventional structure, the particle generation source (dust generation source) as described above, that is, the fitting portion between the concave portions 43 and 44 of the lid 4 and the convex portions 33 and 34 of the case body 3 is the lid. Since the outer peripheral surface 36 of the opening edge portion of the case main body 3 and the outer peripheral surface 48 of the lower edge portion of the lid 4 are located at the same position when the cover 4 is put on the case main body 3, for example, the lid 4 There was a very high possibility that particles generated when opening the case entered the case and adhered to the mask blank, resulting in foreign matter defects.

従って、本発明は、上記従来の問題点を解消し、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を抑制できるようにしたマスクブランクの収納ケース及び収納方法を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a mask blank storage case and a storage method capable of solving the above-described conventional problems and suppressing particle adhesion to the mask blank due to dust generation when the lid is opened and closed. To do.

本発明者は、前記課題を解決するため鋭意検討した結果、収納ケースの開閉時の発塵源が、蓋をケース本体に被せたときの蓋とケース本体との接合部（合わせ部）とは異なる位置となるようにすることにより、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制できることを見い出し、本発明を完成するに至ったものである。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor is a dust generation source at the time of opening and closing the storage case is a joint portion (matching portion) between the lid and the case body when the lid is put on the case body. It has been found that by using different positions, it is possible to effectively suppress particle adhesion to the mask blank due to dust generation when the lid is opened and closed, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明は以下の構成を有するものである。
（構成１）上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースであって、蓋体の上部から被せる固定部材によって、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部より下方の位置で前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とするマスクブランク収納ケース。
構成１のマスクブランク収納ケースによれば、蓋体の上部から被せる固定部材によって、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部より下方の位置で前記蓋体と前記ケース本体とを固定するため、収納ケースの開閉時に発塵のおそれがある固定部材による固定位置が、ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体と蓋体との接合部より下方の位置にあり、蓋とケース本体との接合部（合わせ部）から発塵源を離すことにより、パーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。 That is, the present invention has the following configuration.
(Configuration 1) A mask blank storage case that includes a case body that is open at the top and a lid that covers the case body, and stores the mask blank therein, and a fixing member that covers the top of the lid, The lid body and the case body are fixed at a position below a joint portion between an opening edge portion of the case body and a lower edge portion of the lid body when the case body is covered with the lid body. Mask blank storage case.
According to the mask blank storage case of Configuration 1, the joint portion between the opening edge of the case body and the lower edge of the lid body when the lid body is covered with the case body by the fixing member that covers the top of the lid body In order to fix the lid and the case main body at a lower position, the fixing position by a fixing member that may generate dust when the storage case is opened and closed is the case main body when the case main body is covered with the lid. At the position below the joint with the lid, separating the dust source from the joint (matching part) between the lid and the case body reduces the risk of particles entering the case. Particle adhesion to the mask blank due to dust generation can be effectively suppressed.

（構成２）上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースであって、蓋体の上部から被せる固定部材を、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部より下方の位置で前記ケース本体と係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とするマスクブランク収納ケース。
構成２のマスクブランク収納ケースによれば、蓋体の上部から被せる固定部材を、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部より下方の位置で前記ケース本体と係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定する。そのため、収納ケースの開閉時に発塵のおそれがある固定部材とケース本体との係合による固定位置が、ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体と蓋体との接合部より下方の位置にあり、蓋とケース本体との接合部（合わせ部）から発塵源を離すことにより、パーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。 (Configuration 2) A mask blank storage case that includes a case body that is open at the top and a cover that covers the case body, and stores the mask blank therein, and a fixing member that covers the top of the cover. By engaging the case main body at a position below the joint portion between the opening edge of the case main body and the lower edge of the lid when the case main body is covered with the lid, the lid and the case Mask blank storage case characterized by fixing the main body.
According to the mask blank storage case of Configuration 2, the fixing member that covers from the upper part of the lid is a joint between the opening edge of the case body and the lower edge of the lid when the case body is covered with the lid By engaging with the case body at a lower position, the lid body and the case body are fixed. Therefore, the fixing position by the engagement between the fixing member and the case main body that may generate dust when the storage case is opened and closed is lower than the joint portion between the case main body and the lid body when the case main body is covered with the lid body. In this position, by separating the dust generation source from the joint (matching part) between the lid and the case body, there is less risk of particles entering the inside of the case, and particles on the mask blank due to dust generation when the lid is opened and closed Adhesion can be effectively suppressed.

（構成３）前記固定部材の両端部をそれぞれ、前記蓋体を前記ケース本体に被せたときの前記ケース本体の底部に係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とする構成１又は２に記載のマスクブランク収納ケース。
前記固定部材による蓋体とケース本体とを固定する一態様としては、構成３にあるように、前記固定部材の両端部をそれぞれ、前記蓋体を前記ケース本体に被せたときの前記ケース本体の底部に係合させる。 (Configuration 3) Fixing the lid and the case main body by engaging both ends of the fixing member with the bottom of the case main body when the lid is put on the case main body, respectively. The mask blank storage case according to Configuration 1 or 2, which is characterized.
As an aspect of fixing the lid body and the case main body by the fixing member, as in Configuration 3, both ends of the fixing member are respectively attached to the case main body when the lid body is put on the case main body. Engage with the bottom.

（構成４）前記ケース本体における対向する一対の側壁外側面にそれぞれ係合凸部を備え、前記固定部材の両端部をそれぞれ、前記蓋体を前記ケース本体に被せたときの前記ケース本体の前記係合凸部に係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とする構成１又は２に記載のマスクブランク収納ケース。
前記固定部材による蓋体とケース本体とを固定する他の態様としては、構成４にあるように、ケース本体における対向する一対の側壁外側面にそれぞれ係合凸部を備え、前記固定部材の両端部をそれぞれ、前記蓋体を前記ケース本体に被せたときの前記ケース本体の前記係合凸部に係合させる。 (Configuration 4) Each of the pair of side wall outer surfaces facing each other in the case main body is provided with an engaging convex portion, and both ends of the fixing member are covered with the lid body on the case main body. The mask blank storage case according to Configuration 1 or 2, wherein the lid and the case main body are fixed by being engaged with an engagement convex portion.
As another aspect of fixing the lid body and the case main body by the fixing member, as in Configuration 4, the pair of opposing side wall outer surfaces of the case main body are respectively provided with engaging convex portions, and both ends of the fixing member Each part is engaged with the engaging convex part of the case body when the lid is put on the case body.

（構成５）前記ケース本体の開口縁部又は前記蓋体の下縁部の少なくとも一方に弾性体を周設し、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部に前記弾性体を介在させることを特徴とする構成１乃至４のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケース。
構成５にあるように、固定部材によって蓋体とケース本体を固定する際、固定部材によって蓋体を押し付け、弾性体をつぶして、ケース内を密閉状態とすることができる。また、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、パーティクル発生を抑えることができる。 (Configuration 5) An elastic body is provided around at least one of the opening edge of the case body or the lower edge of the lid body, and the opening edge and lid of the case body when the case body is covered with the lid body The mask blank storage case according to any one of configurations 1 to 4, wherein the elastic body is interposed at a joint portion with a lower edge portion of the body.
As in Configuration 5, when the lid and the case main body are fixed by the fixing member, the lid can be pressed by the fixing member, the elastic body can be crushed, and the inside of the case can be sealed. In addition, the mask blank stored in the case can be securely fixed even during transportation and transportation, and particle generation can be suppressed.

（構成６）構成１乃至５のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。
構成１乃至５のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することにより、収納ケースの開閉時に発塵のおそれがある固定部材とケース本体との係合による固定位置が、ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体と蓋体との接合部より下方の離れた位置にあるため、パーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。 (Structure 6) A mask blank storage method comprising storing a mask blank having a resist film in the mask blank storage case according to any one of structures 1 to 5.
By storing a mask blank having a resist film in the mask blank storage case according to any one of the configurations 1 to 5, by engaging the fixing member and the case main body that may generate dust when the storage case is opened and closed Since the fixed position is at a position below the joint between the case body and the lid body when the case body is covered with the lid body, the possibility of particles entering the case is reduced, and the lid is opened and closed. Particle adhesion to the mask blank due to dust generation can be effectively suppressed.

（構成７）構成６に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。
構成７のマスクブランク収納体によれば、収納ケースの開閉時に発塵のおそれがある固定部材とケース本体との係合による固定位置が、ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体と蓋体との接合部より下方の離れた位置にあるため、パーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。 (Configuration 7) A mask blank storage body in which a mask blank is stored by the storage method according to Configuration 6.
According to the mask blank storage body of Configuration 7, the fixing position by the engagement between the fixing member and the case main body that may generate dust when the storage case is opened and closed is the case main body when the case main body is covered with the lid body Because it is at a position below the joint with the lid, there is less risk of particles entering the case, effectively suppressing particle adhesion to the mask blank due to dust generation when the lid is opened and closed it can.

本発明によれば、上方が開口したケース本体と該ケース本体に被せる蓋体とを備えたマスクブランクの収納ケースにおいて、ケース本体に蓋体を被せたときのケース本体と蓋体との接合部より下方の位置で、蓋体の上部から被せる固定部材をケースと係合させて蓋体とケース本体とを固定するため、収納ケースの開閉時に発塵のおそれがある固定部材による固定位置が、ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体と蓋体との接合部より下方の位置にあり、蓋とケース本体との接合部（合わせ部）から発塵源が離れた位置にあるため、パーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、蓋の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。   According to the present invention, in a mask blank storage case including a case body opened upward and a lid body that covers the case body, the joint portion between the case body and the lid body when the case body is covered with the lid body At a lower position, the fixing member that covers from the upper part of the lid is engaged with the case to fix the lid and the case main body. Because the case body is located below the joint between the case body and the lid when the lid is put on, and the dust source is located away from the joint (joint part) between the lid and the case body. The possibility that particles will enter the case is reduced, and particle adhesion to the mask blank due to dust generation when the lid is opened and closed can be effectively suppressed.

以下、図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
［第１の実施の形態］
図１は本発明の収納ケースの一実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の正面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 shows an embodiment of a storage case according to the present invention, (a) a plan view in a state of being fixed by a fixing member, (b) a front view of a state before being fixed by a fixing member, and (c) a fixing member. It is a side view of the fixed state.

本実施の形態に係るマスクブランクの収納ケースは、上方が開口したケース本体５と、該ケース本体５に被せる蓋体６とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースである。上記ケース本体５及び蓋体６は、その全体的な形状は、従来構造の収納ケースが前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４を備えている点を除いては、図３に示す蓋４及び図５に示すケース本体３と同様の形状を有している。また、図１には示していないが、前述の従来構造の収納ケースのようにマスクブランクを複数枚保持するための中ケース（図４参照）を用いる構成とすることができる。上記中ケースを使用せずに、マスクブランクをケース本体５に直接溝等を設けて収納する形態とすることもできるが、中ケースを使用すると、数枚乃至数十枚のマスクブランクをまとめて中ケース２に入れた状態で取り扱えるので便利である。   The mask blank storage case according to the present embodiment is a mask blank storage case that includes a case main body 5 that opens upward and a lid 6 that covers the case main body 5 and stores the mask blank therein. . The overall shape of the case body 5 and the lid body 6 is that the storage case having the conventional structure is provided with the concave portions 43 and 44 of the lid 4 and the convex portions 33 and 34 of the case body 3. Has the same shape as the lid 4 shown in FIG. 3 and the case main body 3 shown in FIG. Although not shown in FIG. 1, a configuration using an intermediate case (see FIG. 4) for holding a plurality of mask blanks like the above-described storage case of the conventional structure can be adopted. Without using the middle case, the mask blank can be stored directly in the case body 5 with a groove or the like. However, if the middle case is used, several to several tens of mask blanks can be put together. It is convenient because it can be handled in the middle case 2.

本実施形態の収納ケースは、主表面が正方形のガラス基板の一主表面上にクロム膜等の遮光性薄膜を成膜し、その上にレジスト膜を形成したマスクブランクをたとえば中ケース（図示せず）に収納し、この中ケースをケース本体５に収納し、このケース本体５の開口部側に蓋体６を被せる構造である（図１（ｂ）参照）。ケース本体５の上から蓋体６を被せると、蓋体６の下方縁に続く外周面６１とケース本体５の開口縁部５１とが前後に重なり合うと同時に、蓋体６の下方縁の外周面６１とケース本体５の開口縁部５１の下方の外周面５２とが同一面上に重なり合って蓋体６とケース本体５とが接合される。
なお、本実施形態では、蓋体６を閉じた収納ケースの密閉性をより高めるために、ケース本体５の開口縁部５１に沿って適当な大きさの環状の弾性体７を嵌め込んでいる（図１（ｂ））。弾性体７としては、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が好ましく、例えば、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマーが挙げられる。 In the storage case of the present embodiment, a mask blank in which a light-shielding thin film such as a chromium film is formed on one main surface of a glass substrate having a square main surface, and a resist film is formed on the light-shielding thin film is used as an intermediate case (not shown). 1), the case inside is housed in the case body 5, and the lid body 6 is put on the opening side of the case body 5 (see FIG. 1B). When the cover body 6 is put on the case body 5, the outer peripheral surface 61 following the lower edge of the cover body 6 and the opening edge portion 51 of the case main body 5 overlap each other at the same time, and at the same time, the outer peripheral surface of the lower edge of the cover body 6. 61 and the outer peripheral surface 52 below the opening edge portion 51 of the case body 5 overlap on the same surface, and the lid body 6 and the case body 5 are joined.
In the present embodiment, an annular elastic body 7 of an appropriate size is fitted along the opening edge 51 of the case body 5 in order to further improve the sealing performance of the storage case with the lid 6 closed. (FIG. 1 (b)). The elastic body 7 is preferably a material that emits less chemical component gas even when there are fluctuations in atmospheric temperature, pressure, etc., and examples thereof include polyolefin elastomers and polyester elastomers.

本実施の形態による収納ケースは、上述のように内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態でケース本体５と蓋体６とを固定するため、蓋体６の上部から被せる固定部材８を使用する。この固定部材８は、好ましくは、ケース本体５と蓋体６とを固定する際、蓋体上部からケース本体にかけて被せることができるように多少変形可能な程度の柔軟性を有し、所定の幅を有する帯状部材であり、なお且つ収納ケースの外形形状に合わせて略コの字状に形成されている（図１（ｂ）参照）。すなわち、固定部材８は、蓋体６を閉じた状態の収納ケースの高さに略相当する長さを有する部分８１と８３、及び、蓋体６を閉じた状態の収納ケースの横幅に略相当する長さを有する部分８２を有する略コの字状に形成されている。そして、固定部材８の両端部はそれぞれ、ケース本体５の底部に係合させるのに都合が良いように、内方に折れ曲がった部分８ａ，８ｂを有している。   The storage case according to the present embodiment stores the mask blank inside as described above, and fixes the case body 5 and the cover body 6 with the case body 5 covered with the cover body 6. The fixing member 8 that covers the upper part of the head is used. The fixing member 8 is preferably flexible enough to be deformed so that the case body 5 and the lid body 6 can be covered from the upper part of the lid body to the case body, and has a predetermined width. In addition, it is formed in a substantially U shape in accordance with the outer shape of the storage case (see FIG. 1B). That is, the fixing member 8 substantially corresponds to the portions 81 and 83 having a length substantially corresponding to the height of the storage case with the lid 6 closed, and the lateral width of the storage case with the lid 6 closed. It is formed in a substantially U-shape having a portion 82 having a length of Then, both end portions of the fixing member 8 have inwardly bent portions 8 a and 8 b so as to be convenient for engaging with the bottom portion of the case body 5.

このような本実施の形態のマスクブランク収納ケースによれば、内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態で、固定部材８を蓋体６の上部から被せて、当該固定部材８の両端部８ａ，８ｂをそれぞれケース本体５の底部に係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定する。収納ケースの開閉時には、固定部材８を収納ケースから着脱するが、その際に発塵のおそれがある固定部材８とケース本体５の底部との係合位置が、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部より下方の位置にあり、発塵源が蓋体６とケース本体５との接合部（合わせ部）から離れているため、蓋体６を開けた際にパーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、結果的に、蓋体６の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することができる。
また、上記固定部材８によって蓋体６とケース本体５を固定する際、固定部材８によって蓋体６を押し付け、前記弾性体７をつぶして、ケース内を密閉状態とすることができる。また、ケース内部に収納されたマスクブランクを輸送、搬送中でもきちっと固定し、パーティクル発生を抑えることができる。 According to such a mask blank storage case of the present embodiment, the mask blank is stored inside, and the case body 5 is covered with the lid 6, and the fixing member 8 is covered from the top of the lid 6. The lid body 6 and the case body 5 are fixed by engaging both end portions 8 a and 8 b of the fixing member 8 with the bottom of the case body 5. When the storage case is opened and closed, the fixing member 8 is detached from the storage case. At this time, the engagement position between the fixing member 8 that may generate dust and the bottom portion of the case body 5 causes the lid 6 to be attached to the case body 5. Since the dust source is located at a position below the joint between the case body 5 and the lid body 6 when covered and the dust generation source is separated from the joint (matching portion) between the lid body 6 and the case body 5, the lid body 6. When the lid is opened, the possibility of particles entering the inside of the case is reduced. As a result, it is possible to effectively suppress the adhesion of particles to the mask blank due to dust generation when the lid 6 is opened and closed.
Further, when the lid 6 and the case body 5 are fixed by the fixing member 8, the lid 6 is pressed by the fixing member 8, and the elastic body 7 is crushed so that the inside of the case is sealed. In addition, the mask blank stored in the case can be securely fixed even during transportation and transportation, and particle generation can be suppressed.

なお、上述のケース本体５及び蓋体６の材質は、例えばポリプロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエチルサルファイト、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂から適宜選択されることが好ましい。これらの中でも、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリブチレンテレフタレートが好ましい。なお、マスクブランクの保管中にチャージが溜まると、マスク製造過程において放電破壊を起こし、パターン欠陥となる場合があるので、たとえばケース本体５の構成樹脂にカーボン等を混ぜ込んで導電性を付与するようにしてもよい。
また、上述の固定部材８の材質は、例えばポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレンテレフタレート、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）等の樹脂や、ステンレス、アルミニウム等の金属から適宜選択されることが好ましい。 The materials of the case body 5 and the lid body 6 described above are, for example, polypropylene, acrylic, polyethylene, polycarbonate, polyester, polyamide, polyimide, polyethylsulfite, polybutylene terephthalate (PBT), acrylonitrile / butadiene / styrene (ABS). It is preferable to select appropriately from such resins. Among these, polycarbonate, polyester, and polybutylene terephthalate are preferable. It should be noted that if charge is accumulated during storage of the mask blank, discharge breakdown may occur in the mask manufacturing process, resulting in pattern defects. For example, carbon or the like is mixed into the constituent resin of the case body 5 to provide conductivity. You may do it.
The material of the fixing member 8 is preferably selected from resins such as polycarbonate, polyethylene, polypropylene, polybutylene terephthalate, acrylonitrile / butadiene / styrene (ABS), and metals such as stainless steel and aluminum.

［第２の実施の形態］
図２は本発明の収納ケースの他の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の正面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。図１と同等の箇所には同一符号を付している。 [Second Embodiment]
2A and 2B show another embodiment of the storage case of the present invention, in which FIG. 2A is a plan view in a state of being fixed by a fixing member, FIG. 2B is a front view of the state before being fixed by a fixing member, and FIG. It is a side view of the state fixed by. Parts equivalent to those in FIG.

本実施の形態の収納ケースにおいては、ケース本体５における対向する一対の側壁外側面にあって開口側の外周面５２より下方の位置にそれぞれ係合凸部５３，５４を備え、蓋体６の上部から被せる固定部材９の両端部９ａ，９ｂをそれぞれ、蓋体６をケース本体５に被せたときのケース本体５の前記係合凸部５３，５４に係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するように構成されている。上記固定部材９は、好ましくは、ケース本体５と蓋体６とを固定する際、蓋体上部からケース本体にかけて被せることができるように多少変形可能な柔軟性を有し、所定の幅を有する帯状部材であり、なお且つ収納ケースの外形形状に合わせて略コの字状に形成されている（図２（ｂ）参照）。   In the storage case of the present embodiment, engaging convex portions 53 and 54 are provided at positions below the outer peripheral surface 52 on the opening side on the pair of opposing side wall outer surfaces of the case body 5, respectively. By engaging both end portions 9a and 9b of the fixing member 9 covered from above with the engaging projections 53 and 54 of the case body 5 when the cover body 6 is covered on the case body 5, the lid body 6 and The case body 5 is configured to be fixed. Preferably, the fixing member 9 has flexibility that can be slightly deformed so that the case main body 5 and the lid body 6 can be covered from the top of the lid body to the case main body, and has a predetermined width. It is a band-shaped member and is formed in a substantially U shape in accordance with the outer shape of the storage case (see FIG. 2B).

すなわち、本実施の形態のマスクブランク収納ケースによれば、内部にマスクブランクを収納して、ケース本体５に蓋体６を被せた状態で、固定部材９を蓋体６の上部から被せて、当該固定部材９の両端部９ａ，９ｂをそれぞれケース本体５の前記係合凸部５３，５４に係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定する。そして本実施の形態においても、収納ケースの開閉時には、固定部材９を収納ケースから着脱するが、その際に発塵のおそれがある固定部材９とケース本体５の前記係合凸部５３，５４との係合位置が、ケース本体５に蓋体６を被せたときのケース本体５と蓋体６との接合部より下方の位置にあり、発塵源が蓋体６とケース本体５との接合部（合わせ部）から離れているため、蓋体６を開けた際にパーティクルがケース内部に進入するおそれが少なくなり、結果的に、蓋体６の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することが可能である。
なお、固定部材９の両端部にそれぞれ、ケース本体５の係合凸部５３，５４と嵌合できるような例えば凹部を設けておき、当該固定部材９の両端部をそれぞれケース本体５の係合凸部５３，５４に係合させるようにしてもよい。 That is, according to the mask blank storage case of the present embodiment, the mask blank is stored inside, the cover body 6 is covered with the case body 5, the fixing member 9 is covered from the upper part of the cover body 6, The lid body 6 and the case main body 5 are fixed by engaging both end portions 9 a and 9 b of the fixing member 9 with the engaging convex portions 53 and 54 of the case main body 5, respectively. Also in the present embodiment, when the storage case is opened and closed, the fixing member 9 is detached from the storage case. At this time, the fixing member 9 and the engaging protrusions 53 and 54 of the case main body 5 may cause dust generation. Is located below the joint between the case body 5 and the lid body 6 when the case body 5 is covered with the lid body 6, and the dust generation source is between the lid body 6 and the case body 5. Since it is away from the joint (matching part), there is less risk of particles entering the inside of the case when the lid 6 is opened. As a result, the mask blank due to dust generation when the lid 6 is opened and closed is reduced. Particle adhesion can be effectively suppressed.
For example, recesses are provided at both ends of the fixing member 9 so that they can be engaged with the engaging protrusions 53, 54 of the case body 5, and the both ends of the fixing member 9 are respectively engaged with the case body 5. You may make it engage with the convex parts 53 and 54. FIG.

また、上述した第１の実施の形態、および第２の実施の形態においては、蓋体６とケース本体５との接合部より下の位置で、蓋体６の上部から被せる固定部材をケース本体５と係合させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するようにしているが、これに限らず、たとえば蓋体６の上方側から被せる上部固定部材と、ケース本体５の下方側から被せる下部固定部材同士を係合（あるいは嵌合）させることにより、蓋体６とケース本体５とを固定するようにしてもよい。この場合、上部固定部材と下部固定部材同士を係合（あるいは嵌合）させる位置を、ケース本体５と蓋体６との接合部より下方の離れた位置とすることにより、発塵源が蓋体６とケース本体５との接合部から離れているので、蓋体６の開閉時の発塵によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することが可能である。   Further, in the first embodiment and the second embodiment described above, the fixing member that covers the upper portion of the lid body 6 at a position below the joint portion between the lid body 6 and the case main body 5 is provided. 5, the lid body 6 and the case body 5 are fixed. However, the present invention is not limited to this. For example, an upper fixing member that covers the lid body 6 from above and a lower side of the case body 5. The lid body 6 and the case main body 5 may be fixed by engaging (or fitting) the lower fixing members that are covered from each other. In this case, the position where the upper fixing member and the lower fixing member are engaged (or fitted) with each other is set to a position below the joint portion between the case main body 5 and the lid body 6 so that the dust generation source is covered with the lid. Since it is away from the joint between the body 6 and the case body 5, it is possible to effectively suppress particle adhesion to the mask blank due to dust generation when the lid 6 is opened and closed.

以下、具体的な実施例により本発明を説明する。
（実施例１）
合成石英基板（６インチ×６インチの大きさ）上にスパッタ法で、表層に反射防止機能を有するクロム膜を形成し、その上にスピンコート法でポジ型の化学増幅型レジストである電子線描画用レジスト膜（富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ社製：ＦＥＰ１７１）を形成してレジスト膜付きマスクブランクを製造した。
このようにして製造した１０枚のマスクブランクを、１ケースに５枚収納し、計２ケースを用意した。収納ケースとして、前述の図１に示す第１の実施の形態に係る収納ケースを用いた。なお、蓋体の材質は、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）、ケース本体の材質はポリプリピレン、中ケースの材質はポリプロピレンを用いた。収納作業はクリーンルーム内で行った。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to specific examples.
(Example 1)
An electron beam, which is a positive chemically amplified resist, is formed on a synthetic quartz substrate (6 inches × 6 inches in size) by sputtering, and a chromium film having an antireflection function is formed on the surface layer. A resist film for writing (Fuji Film Electronics Materials, Inc .: FEP171) was formed to produce a mask blank with a resist film.
Ten mask blanks manufactured in this way were stored in one case, and a total of two cases were prepared. As the storage case, the storage case according to the first embodiment shown in FIG. 1 was used. The lid was made of acrylonitrile / butadiene / styrene (ABS), the case body was made of polypropylene, and the middle case was made of polypropylene. Storage work was performed in a clean room.

そして、同じくクリーンルーム内で、固定部材をケースから外して、蓋体を開け、再び蓋体を閉じて、固定部材をケースに装着するという蓋の開閉動作を連続して５０回行った。
そして、このような蓋の開閉動作を行った後、収納ケースからマスクブランクを取り出し、欠陥検査装置（レーザーテック社製：Ｍ２３５０）を用いて、マスクブランク主表面上の付着異物による欠陥（９０μｍ以上の大きさの欠陥）個数を測定した。なお、評価は、収納ケースに収納する前の欠陥個数を予め上記と同様に測定しておき、これに対する蓋の開閉動作後の欠陥個数の増加個数で行った。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は、平均して０．１個であり、蓋体の開閉動作によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することが可能である。 In the same clean room, the lid opening / closing operation of removing the fixing member from the case, opening the lid, closing the lid again, and attaching the fixing member to the case was performed 50 times in succession.
Then, after performing such an opening and closing operation of the lid, the mask blank is taken out from the storage case, and a defect (90 μm or more) due to adhered foreign matter on the main surface of the mask blank is used using a defect inspection apparatus (Lasertec Corporation: M2350). The number of defects) was measured. The evaluation was performed by measuring the number of defects before being stored in the storage case in the same manner as described above, and by increasing the number of defects after opening / closing the lid. As a result, in this embodiment, the number of increased defects is 0.1 on average, and it is possible to effectively suppress particle adhesion to the mask blank due to the opening / closing operation of the lid.

（実施例２）
本実施例では、実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図２に示す第２の実施の形態に係る収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。
そして、固定部材をケースから外して、蓋体を開け、再び蓋体を閉じて、固定部材をケースに装着するという蓋の開閉動作を連続して５０回行った。 (Example 2)
In this example, the case for storing the mask blank manufactured in the same manner as in Example 1 was the same as Example 1 except that the storage case according to the second embodiment shown in FIG. 2 was used. The mask blank was stored.
Then, the lid opening / closing operation of removing the fixing member from the case, opening the lid, closing the lid again, and attaching the fixing member to the case was performed 50 times in succession.

そして、このような蓋の開閉動作を行った後、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する蓋の開閉動作後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本実施例では、増加欠陥個数は、平均して０．２個であり、蓋体の開閉動作によるマスクブランクへのパーティクル付着を効果的に抑制することが可能である。   Then, after performing such a lid opening / closing operation, the number of defects increased after the lid opening / closing operation with respect to the number of defects before storing in the storage case was measured in the same manner as in Example 1. As a result, in this embodiment, the number of increased defects is 0.2 on average, and it is possible to effectively suppress particle adhesion to the mask blank due to the opening / closing operation of the lid.

（比較例）
実施例１と同様に製造したマスクブランクを収納するケースとして、前述の図３乃至図５に示す従来構造の収納ケースを用いたこと以外は実施例１と同様にしてマスクブランクの収納を行った。
そして、収納ケースの前記蓋４の凹部４３，４４と前記ケース本体３の凸部３３，３４とを係合し、またその係合を外すことにより蓋の開閉動作を連続して５０回行った。 (Comparative example)
The mask blank was stored in the same manner as in Example 1 except that the conventional case shown in FIGS. 3 to 5 was used as a case for storing the mask blank manufactured in the same manner as in Example 1. .
Then, the concave and convex portions 43 and 44 of the lid 4 of the storage case and the convex portions 33 and 34 of the case body 3 were engaged, and the lid was opened and closed continuously 50 times by releasing the engagement. .

そして、このような蓋の開閉動作を行った後、実施例１と同様に、収納ケースに収納する前の欠陥個数に対する蓋の開閉動作後の欠陥個数の増加個数を測定した。その結果、本比較例では、増加欠陥個数は、平均して６．８個と非常に多く、蓋体の開閉動作によるマスクブランクへのパーティクル付着を抑制することができない。これは、従来構造の収納ケースの場合、蓋の開閉動作に伴う発塵源が、蓋とケース本体との接合部と同じ位置にあることが要因であると考えられる。   Then, after performing such a lid opening / closing operation, the number of defects increased after the lid opening / closing operation with respect to the number of defects before storing in the storage case was measured in the same manner as in Example 1. As a result, in this comparative example, the number of increased defects is very large on average of 6.8, and particle adhesion to the mask blank due to the opening / closing operation of the lid cannot be suppressed. In the case of a storage case having a conventional structure, this is considered to be caused by the fact that the dust generation source accompanying the lid opening / closing operation is at the same position as the joint between the lid and the case body.

本発明の収納ケースの一実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の正面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。An embodiment of the storage case of the present invention, (a) a plan view of a state fixed with a fixing member, (b) a front view before fixing with a fixing member, (c) a state fixed with a fixing member FIG. 本発明の収納ケースの他の実施の形態を示す、（ａ）固定部材で固定した状態の平面図、（ｂ）固定部材で固定する前の状態の正面図、（ｃ）固定部材で固定した状態の側面図である。The other embodiment of the storage case of this invention is shown, (a) The top view of the state fixed with the fixing member, (b) The front view of the state before fixing with the fixing member, (c) It fixed with the fixing member It is a side view of a state. 従来構造の収納ケースの蓋を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the cover of the storage case of conventional structure. マスクブランクを中ケースに収納する状態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the state which accommodates a mask blank in a middle case. 従来構造の収納ケースのケース本体（外ケース）を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the case main body (outer case) of the storage case of conventional structure.

符号の説明Explanation of symbols

１ マスクブランク
２ 中ケース
３ ケース本体
４ 蓋
５ ケース本体
６ 蓋体
７ 弾性体
８，９ 固定部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mask blank 2 Middle case 3 Case main body 4 Lid 5 Case main body 6 Lid 7 Elastic body 8, 9 Fixing member

Claims (7)

上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースであって、少なくとも蓋体の上部から被せる固定部材によって、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部より下方の位置で前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とするマスクブランク収納ケース。   A mask blank storage case that includes a case main body that is open at the top and a lid that covers the case main body, and stores the mask blank therein, and the case main body includes a fixing member that covers at least the top of the lid A mask blank storage comprising: fixing the lid and the case main body at a position below a joint portion between an opening edge of the case main body and a lower edge of the lid when the lid is covered with the lid. Case. 上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、内部にマスクブランクを収納するマスクブランクの収納ケースであって、蓋体の上部から被せる固定部材を、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部より下方の位置で前記ケース本体と係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とするマスクブランク収納ケース。   A mask blank storage case that includes a case body that is open at the top and a cover that covers the case body, and stores the mask blank therein, and a fixing member that covers the top of the cover body is attached to the case body. The lid body and the case main body are fixed by engaging the case main body at a position below the joint between the opening edge of the case main body and the lower edge of the lid body when the lid is covered. Mask blank storage case, characterized by 前記固定部材の両端部をそれぞれ、前記蓋体を前記ケース本体に被せたときの前記ケース本体の底部に係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とする請求項１又は２に記載のマスクブランク収納ケース。   The lid body and the case body are fixed by engaging both ends of the fixing member with the bottom of the case body when the lid body is put on the case body, respectively. Item 3. A mask blank storage case according to item 1 or 2. 前記ケース本体における対向する一対の側壁外側面にそれぞれ係合凸部を備え、前記固定部材の両端部をそれぞれ、前記蓋体を前記ケース本体に被せたときの前記ケース本体の前記係合凸部に係合させることにより、前記蓋体と前記ケース本体とを固定することを特徴とする請求項１又は２に記載のマスクブランク収納ケース。   A pair of opposing side wall outer surfaces of the case main body are each provided with an engaging convex portion, and the engaging convex portion of the case main body when the both ends of the fixing member are put on the case main body, respectively. The mask blank storage case according to claim 1, wherein the cover body and the case main body are fixed by being engaged with each other. 前記ケース本体の開口縁部又は前記蓋体の下縁部の少なくとも一方に弾性体を周設し、前記ケース本体に前記蓋体を被せたときのケース本体の開口縁部と蓋体の下縁部との接合部に前記弾性体を介在させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケース。   An elastic body is provided around at least one of the opening edge of the case body or the lower edge of the lid, and the opening edge of the case body and the lower edge of the lid when the case body is covered with the lid The mask blank storage case according to any one of claims 1 to 4, wherein the elastic body is interposed in a joint portion with the portion. 請求項１乃至５のいずれか一に記載のマスクブランク収納ケースに、レジスト膜を有するマスクブランクを収納することを特徴とするマスクブランクの収納方法。   A mask blank storing method comprising storing a mask blank having a resist film in the mask blank storing case according to claim 1. 請求項６に記載の収納方法によりマスクブランクが収納されたことを特徴とするマスクブランク収納体。
A mask blank storage body in which a mask blank is stored by the storage method according to claim 6.
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