JP4331511B2 - 平砥石の調整方法 - Google Patents
平砥石の調整方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4331511B2 JP4331511B2 JP2003141902A JP2003141902A JP4331511B2 JP 4331511 B2 JP4331511 B2 JP 4331511B2 JP 2003141902 A JP2003141902 A JP 2003141902A JP 2003141902 A JP2003141902 A JP 2003141902A JP 4331511 B2 JP4331511 B2 JP 4331511B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flat
- grindstone
- angle
- laser beam
- flat grindstone
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば空調機用ロータリ圧縮機に内蔵されるシリンダベーンの溝加工や金型加工等に使用される平砥石のレーザによるツルーイングを行う平砥石の調整方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
円柱状の軸付砥石を回転させ、この砥石の最外周の砥粒に砥石の接線方向からレーザ光を照射することにより砥石のツルーイングを行う方法がある(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2002−321155号公報(要約、図1〜図3)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来の方法は、曲率のある円柱状砥石のツルーイングに有効であるが、平台座の平面部に砥粒が固着された曲率のない平砥石のツルーイングに適用することはできない。
【0005】
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、台座の平面部に砥粒が固着された平砥石のツルーイングが可能な平砥石の調整方法を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る平砥石の調整方法は、平台座の平面部に結合剤により頭部を露出させて砥粒が固着された平砥石の調整方法において、集束レーザ光の集束角を1.5°以上に設定し、前記集束レーザ光の入射角が該レーザ光の設定された前記集束角以上であって4°以下の所定角度となるように該レーザ光の光軸と前記平面部の相対角度を設定し、かつ焦点が前記砥粒の露出した頭部の高さとなるように該レーザ光を照射し、前記焦点の前記平面部からの高さを変えずに該焦点が該平面部の外側から内側に移動するように該焦点と前記平砥石の相対位置を移動させることを特徴とするものである。
【0007】
集束レーザ光の集束角を1.5°以上に設定し、前記集束レーザ光の入射角が該レーザ光の設定された集束角以上であって4°以下の所定角度となるようにレーザ光の光軸と平面部の相対角度を設定し、かつ焦点が砥粒の露出した頭部の高さとなるようにレーザ光を照射するので、焦点に集光前のレーザ光は砥石面と干渉してエネルギーロスすることなく砥粒の頭部に焦点を結びエネルギー密度の高い焦点で頭部を溶融または蒸発させて平坦化させ、焦点位置からかなり先でビーム径が拡大してエネルギー密度が低くなってから結合剤に浅い入射角で照射されるので、結合剤は溶融しない。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下に、添付図面を参照してこの発明に係る平砥石の調整方法及び装置の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【0009】
実施の形態1.
図1〜図4を用いて、この発明の実施の形態1を説明する。図1はこの発明の実施の形態1の平砥石の調整装置の構成を示す側面図、図2はツルーイング後の円板状平砥石を示す図、図3は平砥石に対するレーザ光の入射角の調整方法を示す図、図4はツルーイング後の平砥石の表面状態を示す正面図である。
【0010】
図2に示すように、円板状の平砥石1は、中央部が円形凹部とされ平面部としての外周平面部1cが形成された平台座としての円板状台金1bと、外周平面部1c上に結合剤としてのニッケルあるいはクロム等とともに電着されたCBNあるいはダイヤモンド等の砥粒1dと、砥粒1dを外周平面部1cに頭部を露出させて固着させるニッケルあるいはクロム等のメッキ層1e(結合剤)と、回転軸1aとで構成されている。砥粒1dの配置は等ピッチであっても図2のようにランダムであってもよい。また、平砥石1は、必ずしも円板状である必要はなく四角板状であってもよく、回転軸が無く回転しないものでもよい。
【0011】
図1に示すように、平砥石の調整装置20は、平砥石1に集光レンズ21aを通してレーザ集束光21bを照射するレーザ発振器21と、平砥石1を3軸移動させる移動ステージ22と、移動ステージ22を制御する制御盤23とを備え、移動ステージ22は、平砥石1を回転軸1a部分で把持し回転させる把持具としての回転ユニット22dと、回転ユニット22dをレーザ集束光21bの光軸21cに対して傾斜させ、光軸21cと平面部1cの相対角度(入射角)を設定する傾斜ステージ22bと、傾斜ステージ22b上に設置され、回転ユニット22dを支持して傾斜方向に移動させる1軸移動ステージ22cと、傾斜ステージ22bが設置され、傾斜ステージ22bをレーザ集束光21bの光軸21cと垂直な面内で2軸移動させる2軸移動ステージ22aとからなっている。制御盤23は、回転ユニット22d、1軸移動ステージ22c、傾斜ステージ22b及び2軸移動ステージ22aを制御する。なお、傾斜ステージ22b及び1軸移動ステージ22cは、傾斜機能を併せ持つ1軸移動ステージに置き換えることができる。
【0012】
次に、上述の調整装置20による平砥石1のツルーイング方法(調整方法)について図1及び図3を参照して説明する。円板状平砥石1の回転軸1aを回転ユニット22dで把持し、傾斜ステージ22bを制御盤23で制御して集束レーザ光21bの光軸21cに対して傾斜させ、平砥石1の平面部1cに対する集束レーザ光21bの入射角Dが集束レーザ光21bの集束角E以上の所定角度となるように傾斜調整する。続いて、回転ユニット22dで円板状平砥石1を回転させながら、2軸移動ステージ22a及び1軸移動ステージ22cを制御し、集束レーザ光21bの焦点Fが円板状平砥石1の最外周最上部の砥粒1dの露出した頭部の高さTの位置に来るように平砥石1を位置決めする。
【0013】
続いて、1軸移動ステージ22cを制御して、平砥石1を回転させながら、焦点Fの平面部1cからの高さTを変えないで、平砥石1を傾斜方向に上方(レーザ光21bの照射方向の逆方向)へ移動させることにより、焦点Fを平砥石1の外側から内側(中心方向)へ移動させ、平面部1cの全域にわたって砥粒1dの凹凸のある頭部を溶融、蒸発させてツルーイングし、図2に示すような砥粒平坦部1fを形成する。平砥石1を回転させない場合は、2軸移動ステージ22aによる横移動と1軸移動ステージ22cによる上方移動を組み合わせて平砥石1を焦点Fで走査すれば、ツルーイングを行うことができる。
【0014】
集束レーザ光21bの入射角Dがレーザ光21bの集束角E以上の所定角度となるようにレーザ光21bの光軸21cと平面部1cの相対角度を調整して設定し、かつ焦点Fが砥粒1dの露出した頭部の高さTとなるようにレーザ光を照射するので、焦点Fに集光前のレーザ光21bは砥石面(砥粒1d及びメッキ層1e)と干渉してエネルギーロスすることなく砥粒1dの頭部に焦点Fを結びエネルギー密度の高い焦点Fで頭部を溶融または蒸発させて平坦化させ、焦点F位置からかなり先でビーム径が拡大してエネルギー密度が低くなってから結合剤としてのメッキ層1eに浅い入射角Dで照射されるので、メッキ層1eは溶融しない。
【0015】
次に、この実施の形態1の調整装置及び調整方法を用いて電着平砥石1に対してYAGレーザ光21bを照射してツルーイング試験を行った試験結果について説明する。この試験では、砥粒1dはCBN砥粒の#100以下、結合剤1eはニッケルメッキ層である。YAGレーザ発振器は、発振波長1,064nm、平均出力2.4W、レーザ集束角1.5°、焦点距離80mm、焦点のビーム径約30μmである。図4は、入射角を4°と9°の2種類に設定しツルーイングした場合の平砥石1の表面状態を示す正面図である。
【0016】
入射角Dを4°にした場合は、砥粒1dがツルーイングされて残っているが、入射角Dを9°にした場合は、メッキ層1eが溶融もしくは蒸発され、砥粒1dが除去されてしまっている。入射角Dが大きいと焦点F位置の先の近い位置でビーム径が小さくエネルギー密度が高い状態でレーザ光21bがメッキ層1eに照射されるので、メッキ層1eが溶融もしくは蒸発してしまい、砥粒1dが除去され、ツルーイングはできない。また、焦点F位置より先ではすぐにレーザ光21bのエネルギー密度が低くなるように集束角Eは1.5°以上であるのが好ましい。
【0017】
試験に使用した平砥石1を回転ユニット22dで回転させ、平砥石1に板状カーボンの平面部を押し当てて研削後、カーボンの表面粗さを測定した結果、ツルーイング前のRmax約10μmに対し、ツルーイング後はRmax約5μmとなった。表面粗さはツルーイング後の平砥石1で向上しており、加工面精度が向上することを示している。
【0018】
この実施の形態1の平砥石の調整方法において、図3に示す入射角Dを9°未満とすることにより砥粒1dの頭部は平坦状になる。研削加工時にこの平砥石1の砥粒1d頭部の平坦部形状が被削材に転写されるため、加工面精度が向上する。
【0019】
実施の形態2.
上述の実施の形態1の調整方法で平砥石1をツルーイングする調整工程後、またはツルーイングする調整工程前に、入射角Dを9°以上、例えば90°にして平砥石1の結合剤1eにレーザ光21bを照射しながら、1軸移動ステージ22c及び2軸移動ステージ22aを制御し、また回転ユニット22dを作動させて平砥石1を移動させることによりレーザ光21bで平砥石1(結合剤1e)上を走査し、結合剤1eを溶融あるいは蒸発させて結合剤1e及び砥粒1dを除去して平砥石1上に放射状や螺旋状の溝を形成する。このとき、レーザ集束角1.5°、焦点距離80mm、焦点Fのビーム径約30μmの場合、入射角Dは9°以上でよい。
【0020】
平砥石1面に溝を形成すると、被削材の加工面に作用する砥粒数が少なくなり加工負荷が減少する。また、溝を形成することで切り屑の排出性が向上する。
【0021】
実施の形態3.
図5を用いて、この発明の実施の形態3を説明する。図5はこの発明の実施の形態3の平砥石の調整装置の構成を示す側面図である。図において、図1〜3と同一または相当する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0022】
図5に示すように、実施の形態3の円板状の平砥石3は、円板状台金3bの表裏に形成された砥粒3d、3dと結合剤としてのメッキ層3e、3eからなる砥石面と、回転軸3aとを備えている。
【0023】
平砥石の調整装置30は、平砥石3の円板状台金3bの表裏に形成された砥石面のそれぞれに同一の集光レンズ31aを通して屈折・集束させたレーザ集束光21b、21bを入射角D、Dで同時に照射するための、レンズ軸線31dに対して互いに逆方向に角度D3、D3傾斜し、距離H、H離間して設置された2台以上のレーザ発振器21、21を備え、角度D3、D3と、距離H、Hは、調整可能となっている。
【0024】
さらに調整装置30は、平砥石3を3軸移動させる移動ステージ32と、移動ステージ32を制御する制御盤23とを備え、移動ステージ32は、平砥石3を回転軸3a部分で把持し回転させる把持具としての回転ユニット22dと、回転ユニット22dを支持して上下方向に移動させる1軸移動ステージ22cと、1軸移動ステージ22cが設置され、1軸移動ステージ22cを水平方向に2軸移動させる2軸移動ステージ22aとからなっている。1軸移動ステージ22cと2軸移動ステージ2aとは組み合わされて回転ユニット22dを3軸方向に移動させる3軸移動ステージを構成する。制御盤23は、回転ユニット22d、1軸移動ステージ22c及び2軸移動ステージ22aを制御する。
【0025】
次に、上述の調整装置30による平砥石3のツルーイング方法(調整方法)について図5を参照して説明する。表裏に砥石面を備えた円板状平砥石3の回転軸3aを回転ユニット22dで把持し、2軸移動ステージ2aを制御して円板状台金3bの中心をレンズ軸線31dに一致させる。続いて、平砥石3の平面部3c、3cに対する集束レーザ光21b、21bの入射角D、Dが集束レーザ光21b、21bの集束角E、E(図示せず)以上の所定角度となるようにレーザ発振器21、21の傾斜角D3、D3を調整し、また、集束レーザ光21b、21bの焦点F、F(図示せず)が円板状平砥石3の最外周最上部の砥粒3d、3dの露出した頭部の高さT、T(図示せず)の位置に来るようにレーザ発振器21、21のレンズ軸線31dからの距離H、Hを調整する。
【0026】
続いて、1軸移動ステージ22cを制御して、平砥石3を回転させながら上方へ移動させることにより、焦点F、Fを平砥石3の外側から内側(中心方向)へ移動させ、平面部3c、3cの全域にわたって砥粒3d、3dの凹凸のある頭部を溶融、蒸発させてツルーイングし、砥粒平坦部を形成する。
【0027】
この実施の形態3の調整装置30では、1軸移動ステージ22cでツルーイングの走査を行っているが、レーザ発振器21、21及び集光レンズ31aを上下方向に移動させるようにしてもよい。また、入射角D、Dの調整は、集光レンズ31aを上下方向に移動させレーザ発振器21、21との相対距離を変更することによっても可能である。なお、この調整装置30を用いて実施の形態1の平砥石1をツルーイングする場合は、レーザ発振器21の一方を停止させておけばよい。
【0028】
実施の形態3の調整方法によれば、表裏両面の平砥石を同時にツルーイングすることができるので、段取り替えの時間がかからず、また、調整装置30は、2台のレーザ発振器が同一の集光レンズ31aを使うので安価に構成できる。
【0029】
調整装置30は、図6に示すように、2台以上のレーザ発振器21、21のそれぞれに集光レンズ21a、21aを備え、円板状台金3bの中心線31eに対して逆方向に入射角D、D分傾斜させ、距離H、H離間させて配置したものであっても良い。なお、この調整装置30を用いて実施の形態1の平砥石1をツルーイングする場合は、レーザ発振器21の一方を停止させるか取り外しておけばよい。
【0030】
実施の形態4.
図7を用いて、この発明の実施の形態4を説明する。図7はこの発明の実施の形態4の平砥石の調整装置の構成を示す側面図である。図において、図1〜6と同一または相当する部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
【0031】
平砥石の調整装置40は、水平方向に集束レーザ光21bを射出するレーザ発振器21と、このレーザ光21bを2方向以上へ屈折させ、平砥石3の円板状台金3bの表裏に形成された砥石面のそれぞれに同一の集光レンズ31aを通して屈折・集束させるためのスキャンミラー21dとを備え、スキャンミラー21dを角度Bの間で振動的に振らすことにより、2方向以上へ屈折されたレーザ集束光21b、21bは、入射角D、Dで同時に平砥石3に照射される。入射角Dを調整するためにスキャンミラー21dと集光レンズ31aの相対距離Aが変更可能であり、集束レーザ光21b、21bの焦点F、F(図示せず)が円板状平砥石3の最外周最上部の砥粒3d、3dの露出した頭部の高さT、T(図示せず)の位置に来るようにスキャンミラー21dの振れ角B及び最大振れ位置B1、B2が調整可能である。
【0032】
次に、上述の調整装置40による平砥石3のツルーイング方法(調整方法)について図7を参照して説明する。表裏に砥石面を備えた円板状平砥石3の回転軸3aを回転ユニット22dで把持し、2軸移動ステージ2aを制御して円板状台金3bの中心をレンズ軸線31dに一致させる。続いて、平砥石3の平面部3c、3cに対する集束レーザ光21b、21bの入射角D、Dが集束レーザ光21b、21bの集束角E、E(図示せず)以上の所定角度となるようにスキャンミラー21dと集光レンズ31aの相対距離を調整する。また、集束レーザ光21b、21bの焦点F、F(図示せず)が円板状平砥石3の最外周最上部の砥粒3d、3dの露出した頭部の高さT、T(図示せず)の位置に来るようにスキャンミラー21dの振れ角B及び最大振れ位置B1、B2を調整する。レーザ発振器21からのレーザ光21bの射出は、スキャンミラー21dの最大振れ位置B1、B2のときに行うようにする。
【0033】
続いて、1軸移動ステージ22cを制御して、平砥石3を回転させながら上方へ移動させることにより、焦点F、Fを平砥石3の外側から内側へ移動させ、平面部3c、3cの全域にわたって砥粒3d、3dの凹凸のある頭部を溶融、蒸発させてツルーイングし、砥粒平坦部を形成する。
【0034】
この実施の形態4の調整装置40では、1軸移動ステージ22cでツルーイングの走査を行っているが、レーザ発振器21、スキャンミラー21d及び集光レンズ31aを上下方向に移動させるようにしてもよい。
【0035】
実施の形態4の調整方法によれば、表裏両面の平砥石を同時にツルーイングすることができるので、段取り替えの時間がかからず、また、調整装置40は、1台のレーザ発振器21しか使わないので実施の形態3よりも安価に構成できる。
【0036】
【発明の効果】
この発明の平砥石の調整方法によれば、集束レーザ光の集束角を1.5°以上に設定し、集束レーザ光の入射角が該レーザ光の設定された集束角以上であって4°以下の所定角度となるようにレーザ光の光軸と平砥石の平面部の相対角度を設定し、かつ焦点が砥粒の露出した頭部の高さとなるようにレーザ光を照射するので、焦点に集光前のレーザ光は砥石面と干渉してエネルギーロスすることなく砥粒の頭部に焦点を結びエネルギー密度の高い焦点で頭部を溶融または蒸発させて平坦化させ、焦点位置からかなり先でビーム径が拡大してエネルギー密度が低くなってから結合剤に浅い入射角で照射されるので、結合剤は溶融せず、レーザによる平砥石のツルーイングを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1の平砥石の調整装置の構成を示す側面図である。
【図2】 ツルーイング後の円板状平砥石を示す図である。
【図3】 平砥石に対するレーザ光の入射角の調整方法を示す図である。
【図4】 ツルーイング後の平砥石の表面状態を示す正面図である。
【図5】 この発明の実施の形態3の平砥石の調整装置の構成を示す側面図である。
【図6】 この発明の実施の形態3の平砥石の調整装置の他の例の構成を示す側面図である。
【図7】 この発明の実施の形態4の平砥石の調整装置の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
1,3 円板状平砥石、1a,3a 回転軸、1b、3b 円板状台金、1c,3c 外周平面部、1d,3d 砥粒、1e、3e メッキ層、1f 砥粒平坦部、20,30,40 平砥石の調整装置、21 レーザ発振器、21a,31a 集光レンズ、21b 集束レーザ光、21c 光軸、21d スキャンミラー、22,32 移動ステージ、22a 2軸移動ステージ、22b 傾斜ステージ、22c 1軸移動ステージ、22d 回転ユニット、A スキャンミラーと集光レンズの相対距離、B 振れ角、D 入射角、F 焦点、T 焦点高さ。
Claims (3)
- 平台座の平面部に結合剤により頭部を露出させて砥粒が固着された平砥石の調整方法において、
集束レーザ光の集束角を1.5°以上に設定し、前記集束レーザ光の入射角が該レーザ光の設定された前記集束角以上であって4°以下の所定角度となるように該レーザ光の光軸と前記平面部の相対角度を設定し、かつ焦点が前記砥粒の露出した頭部の高さとなるように該レーザ光を照射し、前記焦点の前記平面部からの高さを変えずに該焦点が該平面部の外側から内側に移動するように該焦点と前記平砥石の相対位置を移動させることを特徴とする平砥石の調整方法。 - 回転軸を有する円板状台金の平面部に結合剤により頭部を露出させて砥粒が固着された円板状平砥石の調整方法において、
集束レーザ光の集束角を1.5°以上に設定し、前記集束レーザ光の入射角が該レーザ光の設定された前記集束角以上であって4°以下の所定角度となるように該レーザ光の光軸と前記平面部の相対角度を設定し、
前記回転軸回りに前記円板状平砥石を回転させながら該円板状平砥石の外周部に位置する前記砥粒の露出した頭部に該レーザ光の焦点が来るように該平砥石または該焦点を移動させ、
その後、該焦点の前記平面部からの高さを変えずに該焦点が該円板状平砥石の中心方向に移動するように該平砥石または該焦点を移動させることを特徴とする円板状平砥石の調整方法。 - 請求項1または2に記載の調整工程の前工程または後工程で、
前記集束レーザ光の入射角を前記所定角度より大きい角度に設定し、
前記結合剤に該集束レーザ光を照射しながら前記平砥石上を走査し、
該レーザ光照射部の該結合剤を溶融または蒸発させて該結合剤及び前記砥粒を除去し、前記平砥石面に溝を形成することを特徴とする平砥石の調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003141902A JP4331511B2 (ja) | 2003-05-20 | 2003-05-20 | 平砥石の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003141902A JP4331511B2 (ja) | 2003-05-20 | 2003-05-20 | 平砥石の調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004344997A JP2004344997A (ja) | 2004-12-09 |
JP4331511B2 true JP4331511B2 (ja) | 2009-09-16 |
Family
ID=33530137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003141902A Expired - Fee Related JP4331511B2 (ja) | 2003-05-20 | 2003-05-20 | 平砥石の調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4331511B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007185752A (ja) * | 2006-01-16 | 2007-07-26 | Shuji Horichi | 研削機 |
KR100837616B1 (ko) | 2006-08-01 | 2008-06-13 | 주식회사 엘티에스 | 연마 패드 가공장치 및 가공방법 |
JP2017189823A (ja) * | 2016-04-11 | 2017-10-19 | 株式会社豊田中央研究所 | 成形装置、及び成形方法 |
CN114700879B (zh) * | 2022-03-24 | 2023-06-02 | 湖南科技大学 | 一种基于恒离焦控制的成形砂轮激光高效整形方法 |
-
2003
- 2003-05-20 JP JP2003141902A patent/JP4331511B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004344997A (ja) | 2004-12-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5870621B2 (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
US7175509B2 (en) | Grinder and method of and apparatus for non-contact conditioning of tool | |
JP6358835B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2012016735A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
TWI834865B (zh) | 保持面形成方法 | |
JPH06170571A (ja) | ダイヤモンドのレーザ研磨方法および装置ならびにそれを利用したダイヤモンド製品 | |
JP4331511B2 (ja) | 平砥石の調整方法 | |
CN112571282B (zh) | 一种超硬磨料成形砂轮激光修整装置及方法 | |
JP5892008B2 (ja) | ボールエンドミル及びその製造方法 | |
JP4640353B2 (ja) | 砥石の製造方法 | |
CN114290241A (zh) | 一种基于贝塞尔光束的超快激光砂轮修整装置及方法 | |
JP6977191B1 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2003305652A (ja) | 砥 石 | |
JP4724062B2 (ja) | ドレスギアの製造方法及び製造装置 | |
JP7391470B2 (ja) | ワークの研削方法 | |
JP2008200761A (ja) | 金型加工装置 | |
JP2581574B2 (ja) | レ−ザ加工方法およびその装置 | |
JP2009255280A (ja) | 研削砥石の加工装置及び加工方法 | |
JP2955659B1 (ja) | レーザー加工方法および加工機 | |
JP2018039101A (ja) | 切削工具の製造方法及びホーニング面形成装置 | |
CN117984222A (zh) | 保持用治具及其制造方法和被加工物的磨削方法 | |
JP2001025966A (ja) | 円盤状研磨研削部材の整形方法および整形装置ならびにレーザビームの照射によって形状整形された円盤状研磨研削部材 | |
CN115741508A (zh) | 一种具有正负前角的超硬磨料滚轮及其制备方法 | |
JP2023104449A (ja) | 半導体ウエハ表面の平坦化装置 | |
JP2024063395A (ja) | レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041207 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070424 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070621 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071106 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071221 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20080111 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20080215 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130626 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |