JP4331301B2 - 電気部品装着機および電気部品装着方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送し、プリント基板等の回路基材に装着する電気部品装着機および電気部品装着方法に関するものであり、特に、不良ノズルの処理に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の電気部品装着機は、例えば、特開平１０−１６３６７７号公報に記載されている。この電気部品装着機は、移動部材上に回転可能に設けられた回転体に複数個の吸着ノズルが設けられており、移動部材の移動により、複数個の吸着ノズルに保持された複数個の電気部品が一斉に搬送され、回転体の回転により複数個の吸着ノズルが順次装着位置へ移動させられて、電気部品を回路基材に装着する。
【０００３】
このように電気部品を吸着して搬送し、回路基材に装着する電気部品装着機においては、電気部品の吸着，装着が繰り返し行われるうちに、吸着ノズルに不良、例えば、曲がり，汚れ，摩耗等が生じ、装着ミス等が生ずる。そのため、従来は、不良ノズルが生ずれば、作業者が不良ノズルを良品ノズルと交換していたのであるが、面倒である上、交換に時間がかかり、装着が中断されて装着能率が低下する問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果】
本発明は、以上の事情を背景とし、吸着ノズルの不良が発生した場合に電気部品装着作業の能率低下を極力回避し得る電気部品装着機および電気部品装着方法を得ることを課題としてなされたものであり、本発明によって、下記各態様の電気部品装着機および電気部品装着方法が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも本発明の理解を容易にするためであり、本明細書に記載の技術的特徴およびそれらの組合わせが以下の各項に記載のものに限定されると解釈されるべきではない。
なお、以下の項のうち、(30)項が請求項１に相当し、(31)項が請求項２に相当し、(32)項が請求項３に相当する。そして、(30)項に(5)項に記載の事項を加えたものが請求項４に相当し、(31)項に(8)項に記載の事項を加えたものが請求項５に相当し、(31)項に(8)項に記載の事項を加えたものが請求項５に相当し、(31)項に(10)項に記載の事項を加えたものが請求項６に相当し、その請求項６に(11)項に記載の事項を加えたものが請求項７に相当し、その請求項７に(12)項に記載の事項を加えたものが請求項８に相当し、請求項７または８に(13)項に記載の事項を加えたものが請求項９に相当し、請求項１ないし９のいずれかに(16)項に記載の事項を加えたものが請求項１０に相当する。さらに、(33)項が請求項１１に相当し、(34)項が請求項１２に、(35)項が請求項１３に、(36)項が請求項１４にそれぞれ相当する。
（１）吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送し、回路基材に装着する電気部品装着機において、
前記吸着ノズルが不良ノズルであることを検出するノズル不良検出装置と、
そのノズル不良検出装置により検出された不良ノズルを自動で良品ノズルと交換するノズル交換装置と
を設けた電気部品装着機。
電気部品装着機は、吸着ノズルを１個のみ有する装着機でもよく、複数個有する装着機でもよい。
搬送は、一平面内の任意の位置へ移動可能に設けられた移動部材による搬送でもよく、あるいは一軸線まわりに回転可能に設けられた回転体の回転による搬送でもよい。
ノズル不良検出装置により吸着ノズルが不良であることが自動的に検出されれば、ノズル交換装置により、不良ノズルが良品ノズルと自動的に交換される。したがって、作業者がノズル交換を行う場合に比較して迅速に交換が行われ、ノズル交換のために電気部品の装着が中断されることがあっても、装着能率の低下を可及的に小さく抑えることができる。また、ノズル交換に人手を要さず、装着の完全な自動化が可能であり、あるいは、作業者はノズル交換を行わなくてもよく、別の作業を行うことができ、作業者の作業能率が向上する。
（２）当該電気部品装着機が、前記ノズル不良検出装置により吸着ノズルが不良ノズルであることが検出された場合に、ノズル不良が検出されない限り連続して行うことが予定されていた電気部品装着作業の途中で、前記ノズル交換装置にノズル交換を行わせるノズル交換装置制御装置を含む (1)項に記載の電気部品装着機。
「連続して行うことが予定されていた電気部品装着作業」は、例えば、１枚の回路基材への複数の電気部品の装着であり、あるいは、複数枚の回路基材にそれぞれ１個の電気部品を装着する作業であり、あるいは、複数枚の回路基材への複数の電気部品の装着である。
また、電気部品装着機が複数の使用態様で電気部品を回路基材に装着する装着機であれば、各使用態様に従って行われる電気部品の回路基材への装着が「連続して行うことが予定されていた電気部品装着作業」である。例えば、発明の実施の形態において説明するように、２つの電気部品装着機がそれぞれ専用の電気部品供給装置から電気部品を取り出し、１枚の回路基材に交互に電気部品を装着し、共同して１枚の回路基材を生産する場合、これら電気部品装着機を含む電気部品装着システムの一使用態様は、２つの電気部品供給装置の各々を、１種類の回路基材用であって、互いに同じ種類の電気部品供給フィーダを有するものとし、各電気部品供給装置の全部の電気部品供給フィーダを用いて１種類の回路基材を複数枚生産する態様であり、別の使用態様は、２つの電気部品供給装置の各々を、それぞれ２種類ずつの回路基材用の電気部品供給フィーダを有するものとし、電気部品供給フィーダの交換を行うことなく、２種類の回路基材に対する電気部品の装着を連続して行う態様である。
電気部品装着作業は、電気部品の装着開始から終了までの間に電気部品装着機において行われる装着に関するすべての作業を含み、電気部品の回路基材への装着は勿論、電気部品の吸着，吸着ノズルの電気部品供給装置と回路基材との間における移動を含み、更に、電気部品装着作業に待機が含まれるのであれば、それも含む。したがって、不良ノズルの交換は、電気部品の装着中，吸着中，移動中あるいは待機中等、電気部品装着作業の途中に行われ、装着中，吸着中，移動中であれば、それら動作が中断され、交換後、再開されることとなり、待機中であれば、動作を中断しなくて済む。
電気部品装着作業の途中で不良ノズルの交換を行えば、交換後は、電気部品装着機は不良ノズルがない状態で電気部品を回路基材に装着することができ、装着能率の低下を小さく抑えることができる。例えば、電気部品装着機が複数個の吸着ノズルを有していて、不良ノズルは電気部品の回路基材への装着に使用されないのであれば、電気部品の装着に使用される吸着ノズルの数が減り、装着能率が低下するのであるが、不良ノズルの交換後は、予定された数の吸着ノズルを用いて電気部品を回路基材に装着することができ、装着能率の低下を抑えることができる。電気部品装着機が有する吸着ノズルが１個であれば、ノズル不良発生時には、電気部品の回路基材への装着が中断されるが、不良ノズルの発生および交換に迅速に対応できるため、中断時間が短くて済み、装着能率の低下を抑えることができる。
不良ノズルの交換は、電気部品装着作業の途中において、電気部品の装着が行われない時期があれば、その時期に行うことが望ましい。不良ノズルの交換のために装着作業を中断しなくてよいからである。例えば、複数枚の回路基材に電気部品を装着する場合、装着の済んだ回路基材を、次に電気部品が装着される回路基材と交替させる間、電気部品の装着が行われないのであれば、その交替時に不良ノズルの交換を行えばよい。あるいは電気部品が装着される回路基材の種類が変わり、例えば、回路基材を位置決め支持する位置決め支持部材の回路基材位置決め支持幅を回路基材の幅に合わせて変更する等の段取り替えが行われる場合には、その段取り替え時に不良ノズルを交換すればよい。１枚の回路基材に複数個の電気部品を装着する場合であっても、例えば、発明の実施の形態において説明するように、２つの装着ヘッドが交互に回路基材に電気部品を装着する場合、一方の装着ヘッドによる電気部品の回路基材への装着時間が、他方の装着ヘッドによる電気部品の電気部品供給装置からの取出時間よりも長ければ、その差を利用し、一方の装着ヘッドが電気部品の装着を行っている間に、他方の装着ヘッドに不良ノズルがあれば交換を行い、装着能率の低下を抑制することが可能である。
（３）当該電気部品装着機が、１枚の回路基材に複数の電気部品を装着するものであり、前記ノズル交換装置制御装置が、１枚の回路基材に対する電気部品の装着作業の途中で前記ノズル交換装置にノズル交換を行わせるものである (2)項に記載の電気部品装着機。
１枚の回路基材への電気部品の装着終了を待ってノズル交換を行ってもよいが、１枚の回路基材に対する電気部品の装着の途中でノズル交換を行えば、交換後は不良ノズルがない状態で電気部品の装着を行うことができ、電気部品の装着能率の低下を小さく抑えることができる。
（４）当該電気部品装着機が、１枚の回路基材に複数の電気部品を装着するものであり、前記ノズル不良検出装置とノズル交換装置との少なくとも一方が、１枚の回路基材に対する複数の電気部品の装着作業の途中に作動するものである (1)項に記載の電気部品装着機。
ノズル不良検出装置およびノズル交換装置の両方が、装着作業の途中に作動すれば、交換後は、装着作業を不良ノズルがない状態で行うことができ、装着能率の低下を小さく抑えることができる。ノズル不良検出装置が装着作業の途中に作動するのであれば、装着作業の終了後、直ちにノズル交換を行うことができる。また、ノズル交換装置が装着作業の途中に作動するのであれば、ノズル交換後は、能率低下を生ずることなく、装着作業を行うことができる。
（５）前記ノズル不良検出装置により吸着ノズルが不良ノズルであることが検出された場合に、その不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズルを交換する必要があるか否かを判断する緊急性判断手段を含含み、その緊急性判断手段が緊急に交換する必要があると判断した場合に、前記ノズル交換装置に、その不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズルを良品ノズルと交換させる(1)項ないし(4)項に記載の電気部品装着機。
例えば、不良の種類，程度によっては、不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前に不良ノズルを交換する必要がある場合もあり、交換が必要ない場合もある。例えば、吸着ノズルが折れていれば、次の電気部品の吸着が行われる前に不良ノズルを交換する必要があるが、吸着ノズルが曲がったり、摩耗したり、汚れていても、それらの量が少なく、電気部品の装着に支障がない場合には、ノズル交換は必要ないのである。このように緊急性を判断し、直ちに交換する必要がない場合にはノズル交換を行わないようにすれば、例えば、無駄なノズル交換動作を行わずに済み、装着能率の低下を回避することができ、あるいは吸着ノズルの使用期間が長くなり、コストを低減させることができる。
（６）当該電気部品装着機が、１個の移動部材に複数個の吸着ノズルが取り付けられ、それら複数個の吸着ノズルの各々に１個ずつの電気部品を保持し、移動部材の移動に伴ってそれら複数の電気部品を一斉に搬送する一斉搬送式である (1)項ないし (5)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機。
移動部材には、種々の態様がある。
例えば、移動部材は、一平面内において直交する２方向のうちの少なくとも一方に移動するものとされる。移動部材の移動は、直線移動でもよく、曲線移動でもよく、それらの組合わせでもよい。
複数個の吸着ノズルは、移動部材に直接取り付けてもよく、あるいは (7)項に記載されているように、回転体を介して取り付けてもよい。
電気部品装着機を一斉搬送式にすれば、移動部材が吸着ノズルを１個有し、１個の電気部品を回路基材に装着する度に電気部品供給装置から電気部品を取り出す場合に比較して、移動部材の回路基材と電気部品供給装置との間における移動回数が少なくて済み、電気部品の装着能率を向上させることが可能である。この種の電気部品装着機においては、１個の移動部材に取り付けられた複数個の吸着ノズルの一部が不良ノズルになったからといって、直ちにその不良ノズルの交換を行うことは不可欠ではないが、交換を早期に行えば、１枚の回路基材当たりの移動部材の移動回数が少なくて済み、不良ノズルの発生による能率低下を小さく抑えることができるのである。
（７）前記移動部材に、一軸線まわりに回転可能な回転体が取り付けられ、移動部材の移動により複数の電気部品を一斉に搬送した後、回転体の回転により複数の吸着ノズルを順次装着位置へ位置決めし、各吸着ノズルが保持している電気部品を前記回路基材に装着する (6)項に記載の電気部品装着機。
回転体の回転軸線は、搬送平面に対して直角でもよく、平行でもよく、傾斜していてもよい。搬送平面は、移動部材の移動経路を含む面である。また、回転体は、一方向に間欠回転する間欠回転体でもよく、正逆両方向に間欠回転する間欠回転体でもよく、任意の方向に任意の角度回転する回転体でもよい。装着位置は、電気部品供給装置に保持された電気部品を吸着する吸着位置と同じでもよく、異なる位置でもよい。
（８）前記ノズル不良検出装置が、
前記吸着ノズルを撮像する撮像装置と、
その撮像装置により取得された画像データを処理することにより、撮像された吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを判定する画像処理装置と
を含む (1)項ないし (7)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機。
撮像装置は、吸着ノズルの軸線にほぼ平行な方向から吸着ノズル先端の吸着面を撮像するものでも、吸着ノズルの軸線と交差する方向から吸着ノズルを撮像するものでもよい。
撮像装置は、吸着ノズル全体を一度で撮像することができる面撮像装置でもよく、あるいはラインセンサでもよい。面撮像装置は、例えば、ＣＣＤ（電荷結合素子）を備えたものとされる。ＣＣＤは、複数の受光素子が一平面状に配列されて撮像面を構成する。ラインセンサは、例えば、一線状に配列された複数の受光素子を含むＣＣＤを有するものとされる。面撮像装置により、例えば、吸着ノズル先端の吸着面を撮像すれば、吸着ノズルの曲がり，折れ，汚れ，摩耗等がわかり、ラインセンサにより、例えば、吸着ノズルの軸線と交差する方向から吸着ノズルを撮像すれば、吸着ノズルの曲がり，折れがわかる。
（９）前記ノズル不良検出装置が、前記撮像装置と前記吸着ノズルとを相対移動させる検出用相対移動装置を含む (8)項に記載の電気部品装着機。
検出用相対移動装置は、撮像装置と吸着ノズルとを検出のために相対移動させ、あるいは撮像位置に位置決めするために相対移動させる。例えば、撮像装置がラインセンサであれば、ラインセンサと吸着ノズルとを相対移動させることにより、吸着ノズルの二次元像を得ることができ、例えば、吸着ノズル全体の曲がり具合がわかる。
（１０）前記ノズル不良検出装置が、
前記吸着ノズルの軸線と交差する方向にビームを放射するビーム放射装置と、
そのビーム放射装置から放射され、前記吸着ノズルの影響を受けた後のビームを検出するビーム検出装置と
を含む (1)項ないし (9)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機。
ビームはスペクトル幅の広い通常の光線でもよいが、レーザビームを使用すれば、ノズル不良検出装置の解像度を向上させることが容易となる。ビーム放射装置がＬＥＤ（発光ダイオード）により構成されるのであれば、ビームはスペクトル幅が広い複色光となり、レーザビーム放射装置により構成されるのであれば、ビームはスペクトル幅が狭い単色光となる。また、吸着ノズルの影響を受けた後のビームは、吸着ノズルにより反射されたビームでも、吸着ノズルの周辺を通過したビームでもよい。透過型あるいは反射型の光電センサの投光部，光源および受光部，受光素子が、ビーム放射装置およびビーム検出装置の一例である。光電センサが透過型であれば、吸着ノズルの影響を受けた後のビームは、吸着ノズルの周辺を通過したビームであり、反射型であれば、吸着ノズルにより反射されたビームである。
（１１）前記ノズル不良検出装置が、前記ビーム放射装置およびビーム検出装置と、前記吸着ノズルとを相対移動させる検出用相対移動装置を含む(10)項に記載の電気部品装着機。
検出用相対移動装置は、ビーム放射装置およびビーム検出装置と、吸着ノズルとを検出のために相対移動させ、あるいは撮像位置に位置決めするために相対移動させる。検出のために相対移動させる場合、例えば、吸着ノズルの軸線と交差する方向の成分を含む方向に相対移動させれば、吸着ノズルの直径如何によらず、吸着ノズルの曲がりを検出することができる。吸着ノズルが曲がっていれば、ビームが吸着ノズルの影響を受ける時期が、曲がっていない場合とは異なるからである。
（１２）前記検出用相対移動装置が、前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの軸線と交差する方向の成分と軸線に平行な方向の成分との少なくとも一方を含む方向に移動させる検出用ノズル移動装置を含む (9)項または(11)項に記載の電気部品装着機。
(11)項において説明したように、吸着ノズルを、吸着ノズルの軸線と交差する方向の成分を含む方向に移動させれば、吸着ノズルの直径如何によらず、曲がりを検出することができ、軸線に平行な方向の成分を含む方向に移動させても、ビームが吸着ノズルの影響を受ける時期により、曲がりや折れを検出することができる。
吸着ノズルを、その軸線と交差する方向の成分を含む方向に移動させる検出用ノズル移動装置は、電気部品を搬送するために吸着ノズルを移動させる搬送用移動装置と少なくとも一部を共有するものとしてもよく、あるいは専用の検出用ノズル移動装置を設けてもよい。
また、発明の実施の形態において説明するように、吸着ノズルを、電気部品を回路基材に装着するために、昇降装置によって吸着ノズルの軸線に平行な方向に移動させる場合、昇降装置により検出用ノズル移動装置を構成することも可能である。
（１３）前記検出用相対移動装置が、前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの軸線のまわりに回転させるノズル回転装置を含む (9)項，(11)項および(12)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機。
吸着ノズルを回転させれば、吸着ノズルを、その軸線と交差する平面内において複数の方向から検出することができ、ノズル不良をより確実に検出し得る。例えば、吸着ノズルの曲がりが、ビームの放射方向と平行な方向に生じていて、曲がった吸着ノズルがビームの放射経路上にあれば、曲がっているか否かを判断し難いが、吸着ノズルを回転させれば、曲がった吸着ノズルは、いずれかの位相においてビームの放射経路から外れるため、曲がりが検出されるのである。
発明の実施の形態において説明するように、当該電気部品装着機が、電気部品の方位を変更し、あるいは吸着ノズルによる電気部品の保持方位誤差を修正するために、吸着ノズルをその軸線のまわりに回転させるノズル回転装置を有するのであれば、そのノズル回転装置により本態様のノズル回転装置を構成することも可能である。その場合、電気部品の方位変更あるいは保持方位誤差の修正により、吸着ノズルの位相が変わることを利用してノズル不良を検出してもよく、あるいは、方位変更あるいは保持方位誤差の修正とは別にノズル不良検出のために吸着ノズルを回転させてもよい。
（１４）前記ノズル不良検出装置が、
前記吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスを検出する吸着ミス検出装置と、
その吸着ミス検出装置による検出結果に基づいて吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを判定する判定手段と
を含む (1)項ないし(13)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機。
吸着ノズルに不良があれば、例えば、吸着ノズルが電気部品を吸着しているはずであるのに吸着していない、あるいは吸着ノズルに電気部品が吸着されているが、その姿勢が装着不可能な姿勢である等の吸着ミスが生ずることがあり、吸着ミスを検出することにより、吸着ノズルが不良ノズルであるか否かがわかる。
吸着ミスは、種々の態様によって検出することができる。例えば、吸着ノズルが電気部品を負圧により吸着するのであれば、電気部品を吸着すべきときに吸着していなければ、電気部品を吸着している場合に比較して空気の流入量が多くなること（吸引通路の負圧が弱くなり、あるいは吸引通路の負圧を所定の大きさに保つためにバキュームポンプの運転速度が大きくなる等の現象が生ずること）から吸着ミスがわかる。あるいは吸着ノズルによる電気部品の保持姿勢を撮像装置によって撮像することにより、吸着ミスがわかる。発明の実施の形態において説明するように、電気部品装着機が撮像装置を有し、電気部品を正規の姿勢で回路基材に装着するために吸着ノズルの電気部品の保持姿勢を撮像するのであれば、その撮像装置により吸着ミス検出装置を構成してもよく、あるいは吸着ミス検出専用の撮像装置を設けてもよい。
（１５）前記判定手段が、前記吸着ミス検出装置の検出結果を統計的に処理する統計処理手段を備え、その統計処理手段の処理結果に基づいて吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを判定するものである(14)項に記載の電気部品装着機。
本態様によれば、吸着ミスの検出が複数回行われ、複数の検出結果に基づいて吸着ノズルが不良ノズルであるか否かが判定されるため、判定の信頼性が高くなる効果が得られる。
（１６）前記ノズル交換装置が、
複数の吸着ノズルを個別に取り出し可能に収納するノズル収納装置と、
そのノズル収納装置と前記吸着ノズルとに、吸着ノズルの軸線に平行な方向の相対移動と直角な方向の相対移動との組み合わせから成るノズル交換運動を行わせる交換用相対移動装置と
を含む (1)項ないし(15)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機。
交換用相対移動装置を、(12)項に記載の検出用ノズル移動装置と、少なくとも一部を共有するものとすることが望ましい。また、交換用相対移動装置を、電気部品を搬送するための搬送用移動装置と、少なくとも一部を共有するものとしてもよい。電気部品を搬送するための搬送用移動装置と、検出用ノズル移動装置と、交換用相対移動装置とを、少なくとも一部を共有する構成とすることも可能であり、装置の構成をより簡易にすることができる。
（１７）前記ノズル交換装置が、
前記吸着ノズルを、その吸着ノズルに、向きがその吸着ノズルの先端に向かう向きであり、大きさが設定置値以上の大きさである引抜力が加えられれば吸着ノズルの離脱を許容する状態で保持するノズル保持具と、
前記ノズル収納装置に設けられ、吸着ノズルがノズル収納装置に対して吸着ノズルの軸線に平行な方向に収納され、取り出されることを許容する許容状態と、阻止する阻止状態とに切換えが可能な許容・阻止装置と
を含む(16)項に記載の電気部品装着機。
許容・阻止装置が阻止状態にある状態で、吸着ノズルのノズル収納装置からの取出しが阻止され、吸着ノズルに設定値以上の大きさの引抜力が加えられ、吸着ノズルがノズル保持具から離脱する。吸着ノズルに、その軸線に平行な方向の力を加えることにより、容易にノズル保持具から取り外すことができ、また、吸着ノズルをその軸線に平行な方向に移動させることにより、容易にノズル収納装置から取り出すことができる。
（１８）前記吸着ノズルが、前記ノズル保持具に保持される被保持部とその被保持部側に向いた肩面とを備え、前記ノズル収納装置がノズル収容部材と離脱阻止部材と離脱阻止部材駆動装置とを含み、ノズル収容部材が、一平面に形成されて前記吸着ノズルの前記肩面より先端側の部分を収容する複数個のノズル収容凹部を備え、前記離脱阻止部材が、ノズル収容部材の前記一平面に沿って移動可能に設けられ、前記複数個のノズル収容凹部の各々に対応して、吸着ノズルの前記肩面より先端側の部分の軸方向の通過を許容する貫通穴と、その貫通穴に隣接して設けられ、前記肩面に係合することにより、吸着ノズルのノズル収容凹部からの離脱を阻止する離脱阻止部とを備え、前記離脱阻止部材駆動装置が、離脱阻止部材を、前記貫通穴が前記ノズル収容凹部に合致する退避位置と、前記離脱阻止部が前記肩面に係合する作用位置とに移動させるものであって、離脱阻止部材および離脱阻止部材駆動装置が前記許容・阻止装置を構成している(17)項に記載の電気部品装着機。
ノズル保持具に保持されている吸着ノズルがノズル収容部材に戻されるとき、離脱阻止部材は退避位置に位置させられてノズル保持具がノズル収容部材に吸着ノズルを保持させることを許容し、その後、作用位置へ移動させられ、吸着ノズルのノズル収容部材からの離脱を阻止する。それにより、ノズル保持具がノズル収容部材から離れる向きに移動させられれば、吸着ノズルにノズル保持具から離脱する向きに設定値以上の引抜力が加えられ、吸着ノズルがノズル保持具から外れる。
（１９）予め設定された複数枚の回路基材にそれぞれ複数の電気部品を予め定められた装着プログラムに基づいて装着する一連の電気部品装着作業を実行する電気部品装着機において、
前記一連の電気部品装着作業の途中で、不良ノズルと良品ノズルとの交換を実施する作業途中ノズル交換装置を設けた電気部品装着機。
一連の作業の途中で不良ノズルと良品ノズルとが交換されれば、交換後、作業終了までの間、不良ノズルがない状態で電気部品の回路基材への装着が行われるため、作業終了後に交換される場合に比較して装着能率の低下を小さく抑えることができる。
（２０）前記一連の作業の途中が、１枚の回路基材に対する複数の電気部品の装着作業の途中である(19)項に記載の電気部品装着機。
本態様によれば、前記 (3)項に記載の作用および効果が得られる。
（２１）吸着ノズルに電気部品を吸着して搬送し、回路基材に装着する電気部品装着方法であって、
前記吸着ノズルが不良ノズルであることを検出するノズル不良検出行程と、
そのノズル不良検出行程において検出された不良ノズルを自動で良品ノズルと交換するノズル交換行程と
を含む電気部品装着方法。
本態様の方法によれば、 (1)項に記載の作用および効果が得られる。
（２２）予め設定された複数枚の回路基材にそれぞれ複数の電気部品を予め定められた装着プログラムに基づいて装着する一連の電気部品装着作業を実行する方法であって、
前記一連の作業の途中で、不良ノズルと良品ノズルとの交換を実施する作業途中ノズル交換を行う電気部品装着方法。
本態様の方法によれば、 (2)項に記載の作用および効果が得られる。
（２３）前記一連の作業の途中が、１枚の回路基材に対する複数の電気部品の装着作業の途中である(22)項に記載の電気部品装着方法。
本態様の方法によれば、 (3)項に記載の作用および効果が得られる。
（２４）前記一連の作業の途中で、吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを調べ、不良ノズルであることが判明すれば、その不良ノズルによる次の電気部品の吸着前にノズル交換を行う(22)項または(23)項に記載の電気部品装着方法。
（２５）前記一連の作業の途中で、吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを調べ、不良ノズルであることが判明した場合にも電気部品の装着作業を継続し、予め定められた条件が成立したときにノズル交換を行う(22)項または(23)項に記載の電気部品装着方法。
「予め定められた条件」とは、例えば、吸着ノズルの曲がり量が、吸着ノズルを電気部品の装着に使用できないほど大きいこと、あるいは１枚の回路基材に対する電気部品の装着作業が終了したこと、一連の電気部品装着作業の全部が終了したこと、吸着ノズルが複数ある場合、それら複数の吸着ノズルの全部についてノズル不良検出が終了したこと、電気部品装着作業中に吸着ノズルが装着に備えて待機する時期があるのであれば、その待機時期に入ったこと等である。
本態様によれば、ノズル交換時期が不良検出時期より遅くされることにより、吸着ノズルの使用期間が延び、ノズルコストの増大を抑えることができ、あるいは吸着ノズルが電気部品の回路基材への装着に備えて待機する時期にノズル交換を行うことができ、装着能率の低下を抑えることができる。
なお、付言すれば、いちいち記載はしないが、方法発明についても、装置発明に関して本明細書に記載する各特徴を採用することが可能である。
（３０）回路基材を位置決めして支持する回路基材位置決め支持装置と、
その回路基材位置決め支持装置に支持された回路基材に装着されるべき電気部品を供給する電気部品供給装置と、
移動部材を備え、その移動部材を互いに直交するＸ軸とＹ軸とにより規定されるＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボットと、
前記移動部材に回転軸線まわりに回転可能に保持された回転体と、
その回転体の前記回転軸線から等距離の位置に保持された複数の吸着ノズルと、
前記回転体を前記回転軸線のまわりに回転させる回転体回転装置と、
前記ＸＹロボットおよび前記回転体回転装置を制御し、前記複数の吸着ノズルに前記電気部品供給装置から供給される電気部品を吸着させ、前記回路基材位置決め支持装置に支持された回路基材に装着させる装着制御装置と、
前記回転体と共に前記移動部材に保持されて前記ＸＹロボットにより前記回転体と共に移動させられ、前記装着制御装置の制御により前記回転体が前記電気部品の吸着のため、または前記電気部品の装着のために回転させられるのに伴って、前記複数の吸着ノズルの各々がそれら吸着ノズルの旋回軌跡上に設定されたノズル不良検出位置に達する際、そのノズル不良検出位置に達する吸着ノズルが不良ノズルであるか否かの検出を行うノズル不良検出装置と、
そのノズル不良検出装置により検出された不良ノズルを良品ノズルと交換するノズル交換装置と、
前記ノズル不良検出装置により不良ノズルであると検出された吸着ノズルが次の電気部品を吸着する前に、前記ノズル交換装置にノズル交換を行わせるノズル交換制御装置と
を含むことを特徴とする電気部品装着機。
回転体は移動部材上において、複数の吸着ノズルの各々に順次電気部品を吸着させるために、または、複数の吸着ノズルの各々が吸着している電気部品を順次回路基材に装着させるために、回転させられるので、その回転に伴う吸着ノズルのノズル不良検出位置への旋回を利用して、同じ移動部材上に設けた不良ノズル検出装置により、複数の吸着ノズルが不良であるか否かを順次検出すれば、ノズル不良検出のために装着ヘッドをＸＹ座標平面内で移動させる（すなわち、ＸＹロボットを作動させる）必要がない。その上、電気部品の吸着または装着と並行してノズル不良の検出を行うことができる。したがって、装着能率を低下させることなく、ノズル不良の検出を行うことができる。
また、吸着ノズルが不良ノズルであることが検出された場合に、その吸着ノズルが次の電気部品を吸着する前に、その吸着ノズルを自動で良品ノズルと交換すれば、常にすべての吸着ノズルを使用して電気部品の装着を行うことができ、ノズル不良の発生に伴う装着能率の低下を可及的に小さく抑制することができる。
（３１）前記ノズル不良検出装置が、前記複数の吸着ノズルの各々が前記ノズル不良検出位置に達する毎に、その吸着ノズルが不良ノズルか否かの検出を行う(30)項に記載の電気部品装着機。
（３２）前記ノズル交換制御装置が、前記ノズル不良検出装置により吸着ノズルが不良ノズルであることが検出された場合に、その不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズルを交換する必要があるか否かを判断する緊急性判断手段を含み、その緊急性判断手段が緊急に交換する必要があると判断した場合に、前記ノズル交換装置に、その不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズルを良品ノズルと交換させる(30)項または(31)項に記載の電気部品装着機。
（３３）移動部材を備え、その移動部材を、互いに直交するＸ軸とＹ軸とにより規定されて電気部品供給装置と回路基材とに跨るＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボットと、
前記移動部材に回転軸線まわりに回転可能に保持された回転体と、
その回転体の前記回転軸線から等距離の位置に保持された複数の吸着ノズルと、
前記回転体を前記回転軸線のまわりに回転させる回転体回転装置と、
前記ＸＹロボットおよび前記回転体回転装置を制御し、前記複数の吸着ノズルを前記ＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させ、それら吸着ノズルに前記電気部品供給装置から電気部品を吸着により受け取らせ、回路基材に装着させる装着制御装置と
を含む電気部品装着機により電気部品を回路基材に装着する電気部品装着方法であって、
前記移動部材に前記回転体と共にノズル不良検出装置を保持させ、前記複数の吸着ノズルに電気部品を順次吸着させるため、または、複数の吸着ノズルに電気部品を回路基材に装着させるための前記回転体の回転に伴って、ノズル不良検出位置へ旋回して来る吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを、前記ノズル不良検出装置により検出するノズル不良検出行程と、
そのノズル不良検出行程において検出した不良ノズルを、その不良ノズルが次の電気部品を吸着する前に自動で良品ノズルと交換するノズル交換行程と
を含むことを特徴とする電気部品装着方法。
本項に係る発明によれば、前記(30)項に係る発明と同様な効果が得られる。
（３４）前記ノズル不良検出工程において、前記吸着ノズルが不良ノズルであると検出した場合に、その不良ノズルを、その不良ノズルが次の電気部品を吸着する前に交換すべき緊急性があるか判断する緊急性判断工程を含み、その緊急性判断工程において緊急性があると判断した場合に、前記不良ノズルが次の電気部品を吸着する前に自動で良品ノズルと交換するノズル交換工程を実行し、緊急性がないと判断した場合には、その不良ノズルに次の電気部品を吸着させる(33)項に記載の電気部品装着方法。
（３５）前記ノズル不良検出行程を、前記吸着ノズルが電気部品を吸着していない時期に行う(33)項または(34)項に記載の電気部品装着方法。
（３６）前記ノズル不良検出行程を、前記吸着ノズルが電気部品を吸着している状態で行い、その吸着ノズルが不良ノズルであると検出した場合には、その吸着ノズルに吸着している電気部品を捨てさせ、その後前記ノズル交換行程を実行する(33)項ないし(35)項のいずれかに記載の電気部品装着方法。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本願の装置発明の一実施形態である電気部品装着機を備えた電気部品装着システムを図面に基づいて説明する。この電気部品装着機における電気部品装着方法が本願の方法発明の一実施形態である。
本電気部品装着システム１０（図１参照）は、図示は省略するが、回路基材（本実施形態では、後述するプリント基板である）の搬送方向において上流側に設けられた上流側装置であって、塗布システムの一種であり、回路基材にペースト状半田を印刷するスクリーン印刷システムと、下流側に設けられた下流側装置たるリフローシステム（半田を溶融させて電気部品を回路基材に電気的に接続するシステム）と共に電気部品組立ラインを構成している。
【０００６】
電気部品装着システム１０の基台１２上には、図１に示すように、基板コンベヤ１４，２個ずつの電気部品供給装置１６，１８および電気部品搬送装着装置２０，２２が設けられている。基板コンベヤ１４，電気部品供給装置１６，１８および電気部品装着機２０，２２は、後述するノズル不良検出および吸着ノズルの交換に関する部分を除いて、特開平１０−１６３６７７号公報に記載の基板コンベヤ，電気部品供給装置および電気部品装着機と同様に構成されており、本発明に関連の深い部分のみを簡単に説明する。
【０００７】
基板コンベヤ１４は、２つのメインコンベヤ２４，２６と、１つずつの搬入コンベヤ２８および搬出コンベヤ３０とを備えている。メインコンベヤ２４，２６はそれぞれ、回路基材たるプリント基板３２を位置決め支持する基板位置決め支持装置を備えており、プリント基板３２の搬送方向（以下、基板搬送方向と称する。基板搬送方向は図１において左右方向であり、基板搬送方向をＸ軸方向とする）と水平面内において直角な方向（Ｙ軸方向とする）に並んで配設されている。搬入コンベヤ２８は、基板搬送方向において、メインコンベヤ２４，２６の上流側に設けられており、図示しない搬入コンベヤシフト装置により、メインコンベヤ２４につらなる第１シフト位置と、メインコンベヤ２６につらなる第２シフト位置とにシフトさせられる。搬入コンベヤ２８は、スクリーン印刷システムからスクリーン印刷後のプリント基板を受け取り、メインコンベヤ２４あるいは２６に搬入する。
【０００８】
搬出コンベヤ３０は、プリント基板３２の搬送方向において、メインコンベヤ２４，２６の下流側に設けられており、図示しない搬出コンベヤシフト装置により、メインコンベヤ２４につらなる第１シフト位置と、メインコンベヤ２６につらなる第２シフト位置とにシフトさせられる。搬出コンベヤ３０は、メインコンベヤ２４あるいは２６から、電気部品の装着が済んだプリント基板を受け取り、リフローシステムへ搬出する。
【０００９】
電気部品供給装置１６，１８はそれぞれ、フィーダ支持台４０上に着脱可能に固定された複数の電気部品供給フィーダ４２（以下、フィーダ４２と略称する）を備えている。フィーダ４２により供給される電気部品は、キャリヤテープにより保持されており、それら電気部品およびキャリヤテープを含む部品保持テープは、フィーダ４２に設けられたテープ送り装置により送られ、電気部品が１個ずつ部品供給部へ送られる。複数のフィーダ４２は、各部品供給部がＸ軸方向に平行な一直線上に並ぶ状態でフィーダ支持台４０に固定されている。
【００１０】
電気部品装着機２０，２２はそれぞれ、装着ヘッド５０，５２と、それぞれＸ軸スライド５４，５６およびＹ軸スライド５８，６０を備えて装着ヘッド５０，５２を水平面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボット６２，６４とを有している。これら装着ヘッド５０，５２は同様に構成され、ＸＹロボット６２，６４も同様に構成されており、装着ヘッド５０およびＸＹロボット６２を代表的に説明する。
【００１１】
Ｙ軸スライド５８は基台１２上にＹ軸方向に移動可能に設けられ、Ｘ軸スライド５４はＹ軸スライド５８上にＸ軸方向に移動可能に設けられている。Ｙ軸スライド５８は、サーボモータ６５（図１４参照）を駆動源とし、サーボモータ６５の回転を直線運動に変換してＹ軸スライド５８に伝達する運動変換装置を含むＹ軸スライド移動装置によりＹ軸方向に移動させられる。Ｘ軸スライド５４も同様に、図２に示すように、サーボモータ６６を駆動源とし、ねじ軸６３，ナット６７を含む運動変換装置６９を備えたＸ軸スライド移動装置７１によりＸ軸方向に移動させられる。
【００１２】
装着ヘッド５０は、Ｘ軸スライド５４に回転可能に取り付けられた間欠回転体６８（図２参照）を有している。間欠回転体６８は、Ｘ軸スライド５４により回転可能に保持された回転軸７０と、回転軸７０に固定の保持軸保持部材７２とを含む。保持軸保持部材７２に形成された複数個（本実施形態においては１６個）の保持穴７４（図３参照）は、回転軸７０の回転軸線を中心線とする円錐面の複数本の母線の各々を中心線として形成されており、間欠回転体６８は、Ｘ軸スライド５４に、回転軸線が、水平な搬送平面に対する垂線に対して、上記円錐面の一母線が搬送平面と直交する状態となる角度だけ傾斜した状態で取り付けられている。
【００１３】
間欠回転体６８は、サーボモータ７６を駆動源とする回転駆動装置７８により、回転軸７０の軸線まわりに正逆両方向に任意の角度、精度良く回転させられる。サーボモータ７６は、その軸線が間欠回転体６８の回転軸線と直角となる姿勢でＸ軸スライド５４に設けられ、回転軸７０から離れるほど上方へ向かう向きに傾斜させられている。サーボモータ７６の回転は、互いに噛み合わされた被駆動歯車たる被駆動かさ歯車８０と、駆動歯車たる駆動かさ歯車８１とを含む回転伝達装置８２により回転軸７０に伝達され、間欠回転体６８が回転させられる。
【００１４】
上記複数個の保持穴７４にはそれぞれ、図３に示すように、回転部材たるスリーブ８３が回転可能かつ軸方向に移動不能に嵌合されており、スリーブ８３に保持軸８４が自身の軸線まわりに回転可能かつ軸方向に相対移動可能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材としての圧縮コイルスプリング８６により上方へ付勢されている。
【００１５】
複数個、本実施形態においては１６個の保持軸８４の間欠回転体６８から突出した各下部に、吸着ノズル９０が保持されている。吸着ノズル９０は負圧により電気部品９２を吸着するものであり、保持軸８４内に設けられた通路９４，間欠回転体６８に取り付けられた圧力切換弁９６に接続されており、圧力切換弁９６は間欠回転体６８内に設けられた通路９８等を介して図示しない真空装置に接続されている。圧力切換弁９６は、圧力切換弁制御装置の制御により、吸着ノズル９０内の圧力を大気圧以上の圧力から負圧に切り換え、吸着ノズル９０に電気部品９２を吸着させる負圧供給状態と、吸着ノズル９０内の圧力を負圧から大気圧以上の圧力に切り換え、吸着ノズル９０に電気部品９２を解放させる負圧解除状態とに切り換えられる。なお、間欠回転体６８内に設けられた通路は、間欠回転体６８が回転しても、Ｘ軸スライド５４側に設けられて真空装置に連通させられた通路との連通が保たれるようにされている。
【００１６】
吸着ノズル９０は、図３に示すように、アダプタ１００を介して保持軸８４に取り付けられている。アダプタ１００は、保持軸８４の下端部に設けられたノズル保持部１０２に形成された嵌合穴１０４に軸方向に相対移動可能に嵌合されている。アダプタ１００は、ノズル保持部１０２に等角度間隔に設けられた複数の保持部材１０６（図３には代表的に１個のみ図示されている）によって保持されるとともに、付勢手段の一種である弾性部材であって、ばね部材たる圧縮コイルスプリング１０８により、ノズル保持部１０２から下方へ突出する向きに付勢されている。
【００１７】
ノズル保持部１０２には、保持軸８４の軸線に平行に延びる複数の切欠１１０が等角度間隔に形成され、前記複数の保持部材１０６の各々が回動可能に嵌合されるとともに、ノズル保持部１０２に巻き付けられたリング状のばね部材１１２によってノズル保持部１０２に保持されている。保持部材１０６の切欠１１０に嵌合された部分の上側には、ノズル保持部１０２の中心側に突出する突部１１４が設けられるとともに、ノズル保持部１０２に形成された切欠１１６に嵌入させられており、この突部１１４の切欠１１６の底面への当接部を中心として、保持部材１０６がその長手方向に直角で、ノズル保持部１０２の保持部材１０６が取り付けられた部分に対する接線方向に延びる軸線まわりに回動可能である。
【００１８】
さらに、保持部材１０６の突部１１４の上側には操作部１１８が突設され、ノズル保持部１０２に形成された切欠１２０に嵌入させられている。保持部材１０６は、切欠１１０への嵌合と、操作部１１８の切欠１２０への嵌入とによって、保持軸８４の軸線と直交する軸線まわりの回動が阻止されている。
【００１９】
保持部材１０６の下部は、アダプタ１００の大径の係合部１２４に形成された切欠１２６に嵌合されており、ノズル保持部１０２とアダプタ１００との相対回転を阻止している。また、保持部材１０６の下端部にはアダプタ１００側へ突出する係合突部１２８が突設され、この係合突部１２８が係合部１２４に下方から係合することにより、アダプタ１００の嵌合穴１０４からの抜出しを防止している。この状態で前記操作部１１８を押して保持部材１０６をばね部材１１２の付勢力に抗して回動させ、係合突部１２８と係合部１２４との係合を解くことにより、アダプタ１００をノズル保持部１０２から外すことができる。
【００２０】
吸着ノズル９０は、吸着管保持体１３２および吸着管保持体１３２に保持された吸着管１３４を有し、吸着管保持体１３２に設けられた嵌合部ないし被保持部たるテーパ部１３６においてアダプタ１００に設けられた被嵌合部の一種である嵌合穴たるテーパ穴１３８にテーパ嵌合されるとともに、ばね部材１４０によりアダプタ１００に保持されている。ばね部材１４０はほぼコの字形を成し、コの字の一対の腕部においてアダプタ１００に形成された一対の切欠１４２に嵌合され、それら腕部間の距離は先端ほど狭くされて締まり勝手とされている。また、それら腕部間の先端部は互いに接近する向きに曲げられ、アダプタ１００からの脱落が防止されている。
【００２１】
テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合されれば、ばね部材１４０はテーパ部１３６に形成された円環状の嵌合溝１４４に嵌入し、テーパ部１３６に係合して吸着管保持体１３２を保持するとともに、テーパ穴１３８内に引き込んで位置決めする。ばね部材１４０のアダプタ１００に対する取付位置は、テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合された状態で、ばね部材１４０の円形状の断面の中心位置に対して、半円形断面の嵌合溝１４４の中心位置が下方へずれた状態となる位置とされており、ばね部材１４０は嵌合溝１４４の溝側面の上側の部分に係合して吸着管保持体１３２をテーパ穴１３８内に引き込む。吸着ノズル９０は、向きが吸着ノズル９０の先端に向かう向きであり、大きさが設定値、すなわちばね部材１４０の引込力を越える大きさである引抜力が加えられれば、アダプタ１００から取り出すことができる。アダプタ１００は保持軸８４に着脱可能に保持され、保持軸８４と共にノズル保持具１５２を構成している。間欠回転体６８には、複数個、例えば１６個のノズル保持具１５２が設けられ、複数個、例えば１６個の吸着ノズル９０が取り付けられるようにされているのである。保持軸８４がアダプタ１００を介して吸着ノズル９０を保持しているとも言える。なお、符号１４６は発光板であり、円板状を成す。発光板１４６はアルミニウムにより作られていて反射率が高く、上面が反射面１４８として機能する。また、発光板１４６の下面１５０（吸着管１３４が延び出させられた側の面）には、蛍光材料の層が形成されており、紫外線を吸収し、電気部品９２に向かって可視光線を放射する。
【００２２】
複数個のノズル保持具１５２は、間欠回転体６８の回転時に、間欠回転体６８の回転軸線を中心として旋回させられ、複数の停止位置に順次停止させられる。複数の停止位置のうち、保持軸８４の軸線が水平な搬送平面と直交する状態となる位置が部品吸着装着位置である。同じ停止位置において電気部品９２の吸着（フィーダ４２からの取出し）と、プリント基板３２への装着とが行われるのである。部品吸着装着位置から９０度離れた位置が撮像位置とされており、Ｘ軸スライド５４の撮像位置に対応する位置には、電気部品撮像装置１６０（図１４参照）が設けられている。Ｘ軸スライド５４にはまた、プリント基板３２に設けられた基準マークを撮像する基準マーク撮像装置１６２（図１４参照）が設けられている。
【００２３】
本実施形態では、搬送平面（Ｘ軸スライド５４，５６およびＹ軸スライド５８，６０の移動経路を含む面）が水平面であるため、部品吸着装着位置に停止させられたノズル保持具１５２は、上下方向（垂直）に延びる状態となる。間欠回転体６８の回転軸線は、水平な搬送平面に対する垂線に対して傾斜させられているため、ノズル保持具１５２の高さは部品吸着装着位置において最も低くなり、他のノズル保持具１５２はそれより高くなる。本電気部品装着機２０においては、間欠回転体６８の回転軸線の傾斜により、複数個のノズル保持具１５２の高さが互いに異ならされているのである。
【００２４】
Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対応する位置には、図２に示すように、昇降装置１７０が設けられており、ノズル保持具１５２を昇降させる。昇降装置１７０は、リニアモータ１７２を駆動源とする。リニアモータ１７２の可動子１７４は、リニアモータ１７２のハウジングから上方へ垂直に延び出させられるとともに、移動部材１７６が固定されている。移動部材１７６には、昇降駆動部材１７８が設けられるとともに、昇降駆動部材１７８に昇降駆動部１８０が設けられている。
【００２５】
リニアモータ１７２により移動部材１７６が下降させられ、昇降駆動部材１７８が下降させられることにより昇降駆動部１８０が下降させられ、部品吸着装着位置へ移動させられたノズル保持具１５２の保持軸８４に係合し、圧縮コイルスプリング８６の付勢力に抗してノズル保持具１５２（ノズル保持具１５２に吸着ノズル９０が保持されている場合には吸着ノズル９０も）が下降させられる。移動部材１７６が上昇させられ、昇降駆動部材１７８が上昇させられて昇降駆動部１８０が上昇させられれば、保持軸８４は圧縮コイルスプリング８６の付勢により昇降駆動部１８０に追従して上昇させられ、ノズル保持具１５２が上昇させられる。昇降駆動部１８０が保持軸８４から離間し、ノズル保持具１５２の圧縮コイルスプリング８６により付勢された状態における位置を上昇位置とする。ノズル保持具１５２が、上昇位置から下降位置へ下降させられて、吸着ノズル９０が電気部品９２を保持し、プリント基板３２に装着する。リニアモータ１７２の制御による移動部材１７６の移動距離の調節により、昇降駆動部材１７８の昇降距離、すなわちノズル保持具１５２の昇降距離を調節し得る。なお、Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置近傍には、昇降駆動部材１７８の昇降と連動して、前記圧力切換弁９６の切換えを行う切換弁制御装置の機構部１８４が設けられているが、説明は省略する。
【００２６】
吸着ノズル９０は、ノズル回転装置３７０により、自身の軸線のまわりに回転させられ、それにより吸着ノズル９０により保持された電気部品９２の方位誤差が修正され、あるいは方位が変更される。前記回転軸７０には、回転部材たる中空軸３７２が回転可能に嵌合されており、中空軸３７２の下端部には駆動歯車としての駆動かさ歯車３７４が設けられ、上端部には被駆動プーリ３７６が固定されている。被駆動プーリ３７６には、駆動源たる方位補正変更用のサーボモータ３７８の回転が駆動プーリ３８０およびタイミングベルト３８２により伝達され、駆動かさ歯車３７４が正逆両方向に任意の角度回転させられる。前記複数個の保持穴７４の各々に嵌合されたスリーブ８３にはそれぞれ、被駆動歯車としての被駆動かさ歯車３８４が固定されるとともに、駆動かさ歯車３７４と噛み合わされており、駆動かさ歯車３７４が回転させられることにより被駆動かさ歯車３８４が回転させられ、スリーブ８３が回転させられる。スリーブ８３の回転はリング状の摩擦部材３８６により保持軸８４に伝達され、ノズル保持具１５２に保持された吸着ノズル９０が自身の軸線まわりに回転させられる。上記中空軸３７２，方位補正変更用のサーボモータ３７８，駆動かさ歯車３７４，被駆動かさ歯車３８４等がノズル回転装置３７０を構成している。
【００２７】
Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対応する部分には、図４に概略的に示すように、ノズル交換確認センサ３９０およびノズル有無確認センサ３９２が設けられ、Ｘ軸スライド５４の、１６個のノズル保持具１５２の停止位置であって、部品吸着装着位置に、間欠回転体６８のノズル保持具１５２を部品吸着装着位置へ移動させる際の回転方向において上流側に隣接する位置に対応する部分には、ノズル確認センサ３９４（図１４参照）が設けられている。このノズル確認センサ３９４によりノズル確認が行われる位置をノズル確認位置と称する。また、部品吸着装着位置から上記上流側へ数えて４個目の停止位置（間欠回転体６８の回転軸線と平行な方向から見た場合、部品吸着装着位置から９０度離れた位置）に対応する部分には、図５に示すように、ノズル不良検出センサ３９６が設けられている。以下、ノズル不良検出センサ３９６によりノズル不良が検出される位置をノズル不良検出位置と称する。
【００２８】
ノズル交換確認センサ３９０は、本実施形態においては、投光部および受光部を有する反射型の光電センサにより構成されており、Ｘ軸スライド５４にブラケット３９８（図５参照）により取り付けられ、部品吸着装着位置に位置するノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持しているか否かを検出する。ノズル交換確認センサ３９０の投光部および受光部は、ノズル保持具１５２の旋回軌跡の内側（旋回中心線側）であって、部品吸着装着位置に停止したノズル保持具１５２が上昇位置に位置する状態において、ノズル保持具１５２に保持された吸着ノズル９０の発光板１４６に対応する位置に設けられている。したがって、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持していれば、投光部から照射された光は発光板１４６により反射されて受光部に入光し、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持していなければ発光板１４６によって光が反射されず、受光部の受光量の多少によってノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持しているか否かがわかる。ノズル交換確認センサ３９０は、後述するように、吸着ノズル９０が交換されたか否かの検出に用いられる。
【００２９】
ノズル有無確認センサ３９２は、本実施形態においては、投光部４００および受光部４０２を有する反射型の光電センサにより構成されている。投光部４００は、前記ブラケット３９８によりＸ軸スライド５４に取り付けられ、ノズル保持具１５２の旋回軌跡の内側に設けられており、受光部４０２は、図示しないブラケットによりＸ軸スライド５４に取り付けられ、旋回軌跡の外側（旋回中心線とは反対側）に設けられている。ノズル有無確認センサ３９２の用途は後に説明する。
【００３０】
ノズル確認センサ３９４は、本実施形態においては、投光部および受光部を有する反射型の光電センサにより構成されており、投光部および受光部は、ノズル保持具１５２の旋回軌跡の内側であって、ノズル確認位置に停止させられ、上昇位置に位置するノズル保持具１５２に保持された吸着ノズル９０の発光板１４６に対応する位置に設けられている。ノズル保持具１５２がノズル確認位置に停止したときには、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持し、上昇位置にあって発光板１４６により光が反射されて受光部が受光し、受光量がしきい値を超えるはずであり、受光部の受光量がしきい以下であり、吸着ノズル９０が検出されなければ、例えば、吸着ノズル９０がノズル保持具１５２から脱落しているか、あるいは脱落していなくてもノズル保持具１５２が上昇位置へ移動することができない状態にあり、何らかの異常が生じていることがわかる。ノズル確認センサ３９４は、吸着ノズル検出装置ないし保持具異常検出装置を構成している。
【００３１】
ノズル不良検出センサ３９６は、本実施形態においては、図５に示すように、投光部４０６および受光部４０８を有する透過型の光電センサによって構成されている。投光部４０６および受光部４０８はそれぞれ複数の光ファイバにより構成されており、投光部４０６は図示しない光源に接続され、受光部４０８は図示しない受光素子に接続されている。受光素子は、受光部４０８の複数の光ファイバのうち、投光部４０６から投光された光を受光した光ファイバの数に比例する受光信号を出力する。この受光素子は制御装置３３０（図１４参照）に接続されている。投光部４０６および受光部４０８を構成する光ファイバの先端部は帯状に並べられ、投光部４０６は帯板状の光を発する。本実施形態においては、この帯板状の光の幅は、電気部品装着機２０，２２において使用が予定されている複数種類の吸着ノズル９０のうち、直径が最小である吸着管１３４の直径よりやや小さい幅とされている。これら投光部４０６および受光部４０８はブラケット４１０によりＸ軸スライド５４に取り付けられており、投光部４０６は吸着ノズル９０の吸着管１３４の旋回軌跡の内側に設けられ、受光部４０８は外側に設けられ、投光部４０６，受光部４０８は、光軸が、ノズル不良検出位置に位置する吸着ノズル９０の吸着管１３４の軸線と直交する状態で設けられている。なお、図５においてノズル交換確認センサ３９０およびノズル不良検出センサ３９６は、理解を容易にするために、実際の位置から回されて図示されており、ノズル有無確認センサ３９２の図示は省略されている。また、図５には、ノズル保持具１５２および吸着ノズル９０が代表的に２個、図示されている。
【００３２】
基板コンベヤ１４のメインコンベヤ２４，２６と電気部品供給装置１６，１８との間にはそれぞれ、図１に示すように、ノズル収納装置１９０，１９２が設けられている。これらノズル収納装置１９０，１９２の構成は同じであり、ノズル収納装置１９０を代表的に説明する。
【００３３】
ノズル収納装置１９０は、図６に示すように、ノズル収容部材たるノズル収容板１９４と収容部材保持装置たる収容板保持装置１９６とを含み、収容部材受部材たる収容板受台２０４の長手方向が基板搬送方向（Ｘ軸方向）と平行となるように設けられている。収容板保持装置１９６は基台１２上に固定されたフレーム１９８を備えており（図６には基台１２の図示は省略されている）、フレーム１９８には、駆動源たる流体圧アクチュエータの一種である流体圧シリンダたるエアシリンダ２００が上向きに固定されるとともに、エアシリンダ２００のピストンロッド２０２の突出端部には、図６および図７に示すように、収容板受台２０４が固定されている。収容板受台２０４は、板状を成し、ピストンロッド２００の突出端部に水平な姿勢で固定されており、上面が収容部材受面たる収容板受面２０６を構成している。収容板受台２０４の下面に固定の一対の被案内部材たるガイドロッド２０８はそれぞれ、フレーム１９８に固定の一対の案内部材たる案内筒２１０に上下方向に移動可能に嵌合されるとともに、案内筒２１０から突出した下端部は、連結部材２１２により連結されている。電磁方向切換弁２１３（図１４参照）の切換えにより、エアシリンダ２００の２個のエア室が大気と圧縮空気供給源とに選択的に連通させられてピストンロッド２０２が伸縮させられ、収容板受台２０４は、ガイドロッド２０８および案内筒２１０を含む案内装置により案内されつつ水平な姿勢を保って、上昇端位置と下降端位置とに昇降させられる。エアシリンダ２００は、収容部材移動装置の一種である収容部材昇降装置たる収容板昇降装置を構成している。
【００３４】
収容板受台２０４上に前記ノズル収容板１９４が工具を使用することなく着脱可能に取り付けられており、収容板受台２０４とともに昇降させられる。ノズル収容板１９４は、図６および図８に示すように、矩形の板状を成し、複数のノズル収容凹部たるノズル収容穴２５０が、ノズル収容板１９４の板面に平行な一平面に形成されている。これらノズル収容穴２５０はそれぞれ段付状を成し、ノズル収容板１９４を厚さ方向に貫通して形成された貫通穴であり、図８および図９に示すように、収容板受台２０４により受けられる被受面２５２に開口する小径穴部２５４と、被受面２５２とは反対向きの面に開口する大径穴部２５６とを有し、ノズル収容板１９４の長手方向と幅方向とにおいてそれぞれ等間隔に形成されている。大径穴部２５６の深さは、前記吸着ノズル９０の発光板１４６の厚さより大きくされ、小径穴部２５４の深さは、吸着ノズル９０の吸着管１３４の長さより大きくされている。なお、ノズル収容板１９４には、黒染め処理が施されて光の反射率が低くされている。
【００３５】
これらノズル収容穴２５０にはそれぞれ、図１２に示すように、吸着ノズル９０が嵌合されている（図１２には吸着ノズル９０が２個、代表的に図示されている。なお、図１０および図１１においては、吸着ノズル９０の図示は省略されている）。吸着ノズル９０は、吸着管１３４が小径穴部２５４に嵌合され、発光板１４６が大径穴部２５６に嵌合されるとともに、大径穴部２５６の底面により下方から支持され、吸着管保持体１３２に設けられたテーパ部１３６は、ノズル収容板１９４から上方へ突出させられている。ノズル収容穴２５０は、吸着ノズル９０の反射面１４８より先端側（吸着管１３４側）の部分を収容し、吸着ノズル９０はノズル収容板１９４に対して吸着ノズル９０の軸線に平行な方向に収納されているのであり、ノズル収納装置１９０は、複数の吸着ノズル９０を個別に取出し可能に収納している。
【００３６】
本実施形態の電気部品装着機２０，２２は、装着ヘッド５０，５２において電気部品９２の装着に使用される複数の吸着ノズル９０の全部が同じ種類である態様で使用することができ、あるいは複数の吸着ノズル９０の全部あるいは一部の種類が異なる態様で使用することもできる。種類の異なる吸着ノズル９０は、発光板１４６の直径は同じであるが、吸着管１３４の直径を異にし、電気部品９２の形状，寸法に応じた吸着管１３４を有する吸着ノズル９０が電気部品９２の吸着，装着に使用される。種類の異なる吸着ノズル９０が使用される場合には、ノズル収容板１９４には、複数種類の吸着ノズル９０が保持される。吸着ノズル９０は、使用頻度の高い吸着ノズル９０ほど数が多くされ、種類毎にまとめて保持される。なお、ノズル収容穴２５０の小径穴部２５４の直径は、最も大きい吸着管１３４が嵌合可能な大きさとされ、大径穴部２５６の直径は発光板１４６より僅かに大きくされている。また、吸着ノズル９０の種類が異なっても、テーパ部１３６の大きさは同じである。
【００３７】
ノズル収容板１９４は、図７に示すように、収容板受台２０４上に載せられ、２個の切欠２６２がそれぞれ、収容板受台２０４に立設された２個の頭付ピン２１８の胴部２２２に係合させられ、被受面２５２に平行な方向の平行移動と被受面２５２に平行な方向における回転とが阻止されている。また、図７に示すように、頭部２２４が係合面２６４に係合してノズル収容板１９４の収容板受台２０４からの浮上がりが防止されている。そして、図７に示すように、収容板受台２０４に設けられた留め具２３０の係合部材２４０が、ノズル収容板１９４に固定の係合部材２６８の係合部２７２に係合させられるとともに、圧縮コイルスプリング２４２により付勢されて、ノズル収容板１９４が収容板受台２０４に取り付けられている。留め具２３０によるノズル収容板１９４の収容板受台２０４に対する取付けは、作業者が手動操作で解除することができ、ノズル収容板１９４を、吸着ノズル９０を保持した別のノズル収容板１９４と交換することにより、複数の吸着ノズル９０を同時にまとめて交換することができる。ノズル収容板１９４の交換は本発明との関連が薄いため、説明を省略する。
【００３８】
ノズル収容板１９４には、図１０ないし図１２に示すように、ノズル収容穴２５０を覆う離脱阻止板２８０が、ノズル収容板１９４の板面に平行な一平面に沿って移動可能に設けられている。離脱阻止板２８０は薄い板状を成し、４つの開口２８２が離脱阻止板２８０を厚さ方向に貫通し、離脱阻止板２８０の長手方向に平行に形成されている。各開口２８２はそれぞれ、複数の円形穴部２８４と、隣接する円形穴部２８４をつなぐつなぎ部２８６とを有する。これら円形穴部２８４はそれぞれ、ノズル収容穴２５０の大径穴部２５６より僅かに大きい径を有し、ノズル収容穴２５０のノズル収容板１９４の長手方向における形成ピッチと等しいピッチで形成されている。また、つなぎ部２８６は、吸着ノズル９０のテーパ部１３６の最大直径より大きく、発光板１４６の直径より小さい幅（離脱阻止板２８０の板面に平行な平面内において開口２８２の長手方向と直角な方向の寸法）を有し、離脱阻止板２８０の複数のつなぎ部２８６をそれぞれ画定する一対ずつの突部が離脱阻止部２８８を構成している。各対の２個の離脱阻止部２８８は、離脱阻止板２８０の長手方向と直角な方向、すなわち収容板受台２０４の長手方向と直角な方向であって、前記Ｙ軸方向に距離を隔てて対向して設けられており、円形穴部２８４に隣接して設けられている。なお、４つの開口２８２は、離脱阻止板２８０の幅方向において、ノズル収容穴２５０のノズル収容板１９４の幅方向における形成ピッチと等しいピッチで形成されている。
【００３９】
ノズル収容板１９４には、図１０，図１１および図１３に示すように、複数のピン２９２が立設されて係合突部が設けられており、離脱阻止板２８０は、その長手方向に平行に形成された複数の係合凹部たる長穴２９４の各々においてピン２９２に相対移動可能に嵌合されている。符号２９６はワッシャである。これらピン２９２および長穴２９４の嵌合により、離脱阻止板２８０のノズル収容板１９４に対する相対移動が案内されるとともに、離脱阻止板２８０のノズル収容板１９４に対する被受面２５２に平行な方向の回転が阻止されている。ピン２９２および長穴２９４は、案内装置を構成するとともに、回転阻止装置を構成している。
【００４０】
ノズル収容板１９４と離脱阻止板２８０との間には、図１１および図１２に示すように、付勢手段の一種である弾性部材たるばね部材としての引張コイルスプリング３００が掛け渡されている。引張コイルスプリング３００の付勢による離脱阻止板２８０の移動限度は、長穴２９４がピン２９２に当接することにより規定されている。ピン２９２はストッパとしても機能するのであり、図１０に示すように、長穴２９４の、引張コイルスプリング３００の付勢による離脱阻止板２８０の移動方向において上流側の端部がピン２９２に当接した状態では、離脱阻止板２８０は、離脱阻止部２８８がノズル収容穴２５０上に位置し、吸着ノズル９０の発光板１４６の反射面１４８に係合して、吸着ノズル９０のノズル収容板１９４からの離脱を阻止する作用位置に位置させられる。本実施形態においては、吸着ノズル９０の発光板１４６の反射面１４８が、被保持部たるテーパ部１３６側に向いた肩面を構成している。
【００４１】
離脱阻止板２８０の、引張コイルスプリング３００の付勢による移動方向において上流側の端部には、図１０ないし図１２に示すように、突部３０６が突設されている。突部３０６の突出端部には、ノズル収容板１９４側へ延び出す係合部３０８が設けられている。
【００４２】
収容板受台２０４には、図６に示すように、駆動源たる流体圧アクチュエータの一種である流体圧シリンダたるエアシリンダ３１２が固定されており、エアシリンダ３１２のピストンロッド３１４に固定の係合部材３１６には切欠３１８が形成されるとともに、離脱阻止板２８０の係合部３０８が着脱可能に嵌合されている。切欠３１８は、係合部の一種である係合凹部であり、図６および図１０に示すように、ピストンロッド３１４の伸縮方向と直角な方向であって、ノズル収容板１９４の収容板受台２０４に対する取付方向（収容板受台２０４の長手方向と直角な方向）と平行な方向に貫通して形成されている。切欠３１８の一対の切欠側面の長手方向に隔たった両端部はそれぞれ、図１０に示すように、端側ほど切欠３１８の幅が広くなる向きに傾斜させられて案内面３２０が形成されている。
【００４３】
係合部３０８と切欠３１８とは、離脱阻止板２８０が作用位置に位置し、ピストンロッド３１４が収縮位置に位置する状態で互いに係合するようにされている。エアシリンダ３１２の収容板受台２０４に対する取付位置がそのように設定されているのであるが、切欠３１８の長手方向の両端部にはそれぞれ案内面３２０が形成されており、係合部３０８と切欠３１８との離脱阻止板２８０の長手方向（離脱阻止板２８０のノズル収容板１９４に対する移動方向）における位置が僅かにずれていても、案内面３２０により案内されて嵌合可能である。エアシリンダ３１２は、切欠３１８の係合部３０８に対するずれが、係合部３０８に対して収容板受台２０４とは反対側（引張コイルスプリング３００の付勢方向とは逆の方向側）に生ずるように取り付けられている。
【００４４】
電磁方向切換弁３２２（図１４参照）の切換えにより、エアシリンダ３１２の２個のエア室が大気と圧縮空気供給源とに選択的に連通させられてピストンロッド３１４が伸縮させられ、係合部材３１６が移動させられるとともに、離脱阻止板２８０が基板搬送方向と平行な方向に移動させられ、図１０に示す作用位置、すなわち離脱阻止部２８８が、ノズル収容穴２５０に嵌合された吸着ノズル９０の発光板１４６に係合する位置と、図１１に示す退避位置、すなわち開口２８２の円形穴部２８４とノズル収容穴２５０との位置がほぼ合致する位置とに移動させられる。離脱阻止板２８０は、前記引張コイルスプリング３００の付勢力に抗して退避位置へ移動させられる。離脱阻止板２８０が退避位置に位置する状態では、吸着ノズル９０がノズル収納装置１９０に対して吸着ノズル９０の軸線に平行な方向に収納され、取り出されることが許容される。離脱阻止板２８０が退避位置に位置する状態が許容状態である。離脱阻止板２８０が作用位置に位置する状態では、離脱阻止部２８８が反射面１４８に係合することにより、吸着ノズル９０のノズル収容穴２５０からの離脱を阻止する。離脱阻止板２８０が作用位置に位置する状態が阻止状態である。本実施形態においては、円形穴部２８４が、複数個のノズル収容穴２５０の各々に対応して、吸着ノズル９０の反射面１４８より先端側の部分の軸方向の通過を許容する貫通穴を構成し、離脱阻止板２８０が離脱阻止部材を構成し、エアシリンダ３１２が離脱阻止部材駆動装置を構成し、離脱阻止板２８０と共に許容・阻止装置を構成している。
【００４５】
なお、引張コイルスプリング３００は、ノズル収容板１９４が収容板受台２０４から外されたとき、離脱阻止板２８０を作用位置に向かって付勢し、離脱阻止板２８０を吸着ノズル９０のノズル収容板１９４からの離脱を防止する状態に保つ。また、係合部材３１６には一対の案内部材が設けられるとともに、エアシリンダ３１２に設けられた一対のガイドブッシュに移動可能に嵌合されており、これら案内部材およびガイドブッシュは係合部材３１６の移動を案内するとともに回転を防止している。
【００４６】
前記Ｘ軸スライド５４の部品吸着装着位置に対応する位置に設けられた前記ノズル有無確認センサ３９２は、ノズル収容板１９４のノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収容されているか否かを検出する。ノズル有無確認センサ３９２は、部品吸着装着位置に停止させられたノズル保持具１５２が、ノズル交換のためにノズル収容板１９４のノズル収容穴２５０上へ移動させられるとともに、ノズル収容板１９４および収容板受台２０４が下降端位置にあり、ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収容されているとき、ノズル収容穴２５０に収容された吸着ノズル９０の発光板１４６の反射面１４８の、作用位置に位置する離脱阻止板２８０の対を成す２個の離脱阻止部２８８により覆われていない部分に向かって投光部４００が光を照射し、その光が反射面１４８により反射されて受光部４０２が受光し、かつ、部品吸着装着位置に位置決めされたノズル保持具１５２が保持する吸着ノズル９０により、投光部４００が発する光の反射面１４８への到達および受光部４０２による反射光の受光が妨げられることがないように設けられている。
【００４７】
ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収容されていれば、投光部４００が発する光は発光板１４６の反射面１４８により反射され、受光部４０２の受光量がしきい値を超えることから、吸着ノズル９０が収容されていることがわかる。ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収容されていなければ、投光部４００が発する光はノズル収容穴２５０の大径穴部２５６の底面に当たるが、ノズル収容板１９４には黒染め処理が施されているため、光の反射量が少なく、受光部４０２の受光量がしきい値以下となることから、ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収容されておらず、空であることがわかる。
【００４８】
なお、本電気部品装着システム１０において、電気部品供給装置１６，１８および電気部品装着機２０，２２はそれぞれ、基板コンベヤ１４の基板搬送方向に平行な中心線に対して左右対称に構成されており、各装置は、前後方向（基板搬送方向に平行な方向）の向きが互いに同じにされている。ノズル収納装置１９０，１９２についても同じである。
【００４９】
本電気部品装着システム１０は、図１４に示す制御装置３３０により制御される。制御装置３３０は、ＰＵ（プロセッシングユニット）３３２，ＲＯＭ３３４，ＲＡＭ３３６およびそれらを接続するバス３３８を有するコンピュータ３４０を主体とするものである。バス３３８には入力インタフェース３４２が接続されるとともに、電気部品撮像装置１６０，基準マーク撮像装置１６２およびノズルセンサ３９０，３８２，３８４，３８６（正確には各センサの受光素子）が接続されている。バス３３８にはまた、出力インタフェース３４６が接続されるとともに、駆動回路３４５，３４７，３４８，３５７，３５０，３５２，３５４，３５６を介してサーボモータ６５，６６，７６，３７８，リニアモータ１７２，エアシリンダ２００，３１２への各エアの供給を切り換える電磁方向切換弁２１３，３２２，警告装置３５８が接続されている。駆動回路３４５ないし３５７がコンピュータ３４０と共に制御装置３３０を構成している。警告装置３５８は、異常の発生を作業者に報知する装置である。前記サーボモータ６５，６６，７６，３７８は、駆動源たる電動モータの一種である電動回転モータであって、回転角度および回転速度の精度の良い制御が可能なモータである。また、リニアモータ１７２は、駆動源たる電動モータの一種であって、移動距離および移動速度の精度の良い制御が可能なサーボモータにより構成されている。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。なお、図１４において図示は省略するが、制御装置３３０は、この他に、前記搬入コンベヤシフト装置，搬出コンベヤシフト装置，メインコンベヤ２４，２６，搬入コンベヤ２８，搬出コンベヤ３０，フィーダ４２のテープ送り装置等を制御する。ＲＯＭ３３４には、図１５にフローチャートで表されるノズル不良検出ルーチンおよび電気部品装着機２０，２２を制御して電気部品９２をプリント基板３２に装着するための装着プログラム等が記憶されている。
【００５０】
次に作動を説明する。
２個の電気部品装着機２０，２２は、装着プログラムに従って制御され、メインコンベヤ２４とメインコンベヤ２６とのいずれか一方により位置決め支持されたプリント基板３２に交互に電気部品９２を装着する。１枚のプリント基板３２について、本電気部品装着システム１０において装着が予定された全部の電気部品９２を電気部品装着機２０，２２が共同して装着するのである。メインコンベヤ２４，２６のうち、一方のメインコンベヤにおいて位置決め支持されたプリント基板３２について電気部品９２の装着が行われている間、他方のメインコンベヤにおいてはプリント基板３２の搬出，搬入および位置決め支持が行われ、搬入されたプリント基板３２は電気部品９２の装着に備えてメインコンベヤ上で待機させられる。一方のメインコンベヤにより支持されたプリント基板３２への電気部品９２の装着が終了すれば、そのプリント基板３２は搬出コンベヤ３０により搬出されるとともに、他方のメインコンベヤにおいて待機させられているプリント基板３２への電気部品９２の装着が開始される。
【００５１】
電気部品装着機２０，２２による電気部品９２のプリント基板３２への装着は、種々の態様で行われ得る。例えば、電気部品供給装置１６，１８がそれぞれ、１種類のプリント基板３２用であって、互いに同じ種類のフィーダ４２を有し、装着ヘッド５０，５２がそれぞれ保持可能な全部（本実施形態においては１６個）の吸着ノズル９０を保持し、電気部品装着機２０，２２が、電気部品供給装置１６，１８の全部のフィーダ４２を用いて、１種類のプリント基板３２を予め設定された枚数生産するのであり、予め設定された複数枚のプリント基板３２へのそれぞれ複数の電気部品９２の装着が一連の電気部品装着作業であり、この装着を行うための装着プログラムがＲＯＭ３３４に記憶され、装着プログラムに基づいて電気部品９２がプリント基板３２に装着される。
【００５２】
２個の電気部品装着機２０，２２がそれぞれ電気部品９２を取り出す電気部品供給装置は決まっており、電気部品装着機２０は、電気部品供給装置１６から電気部品９２を取り出し、電気部品装着機２２は、電気部品供給装置１８から電気部品９２を取り出す。電気部品装着機２０について、電気部品９２の取出し，装着を代表的に説明する。
【００５３】
電気部品９２の取出し時には、間欠回転体６８の間欠回転により、１６個のノズル保持具１５２および吸着ノズル９０が順次部品吸着装着位置に位置決めされるとともに、ＸＹロボット６２により、電気部品９２を供給するフィーダ４２の部品供給部上へ移動させられる。ノズル保持具１５２が部品吸着装着位置へ到達するとき、ノズル保持具１５２が昇降駆動部１８０の下方に位置する状態になり、その状態でリニアモータ１７２が起動され、移動部材１７６が下降させられることにより昇降駆動部材１７８が下降させられ、昇降駆動部１８０が下降させられてノズル保持具１５２および吸着ノズル９０が下降させられる。圧力切換弁９６が負圧供給状態に切り換えられ、吸着ノズル９０が電気部品９２に接触して負圧により吸着した後、移動部材１７６が上昇させられ、昇降駆動部材１７８が上昇させられるとともに、ノズル保持具１５２が圧縮コイルスプリング８６の付勢により上昇位置へ上昇させられ、吸着ノズル９０が電気部品９２をフィーダ４２から取り出す。
【００５４】
１６個の吸着ノズル９０はそれぞれ、部品吸着装着位置において電気部品９２を取り出した後、電気部品撮像位置に至ったとき、電気部品撮像装置１６０により電気部品９２の保持姿勢が撮像され、吸着ノズル９０による電気部品９２の保持位置誤差および保持方位誤差が求められる。電気部品撮像位置には図示しない紫外線照射装置が設けられており、発光板１４６に向かって紫外線を照射し、発光板１４６は紫外線を吸収し、電気部品８２に向かって可視光線を放射する。全部の吸着ノズル９０が電気部品９２を吸着したならば、装着ヘッド５０がＸＹロボット６２によりプリント基板３２上へ移動させられ、電気部品９２を装着する。吸着ノズル９０がプリント基板３２に電気部品９２を装着するノズル保持具１５２は、間欠回転体６８の回転により部品吸着装着位置に位置決めされ、ＸＹロボット６２によってプリント基板３２の部品装着箇所上へ移動させられる。
【００５５】
この移動中に保持軸８４がノズル回転装置３７０により自身の軸線のまわりに回転させられ、吸着ノズル９０が自身の軸線のまわりに回転させられて電気部品９２の保持方位誤差が修正される。方位が変更されることもある。なお、プリント基板３２への電気部品９２の装着に先立ってプリント基板３２に設けられた基準マークが基準マーク撮像装置１６２により撮像され、プリント基板３２の複数の部品装着箇所の各々についてＸ軸方向およびＹ軸方向の各位置誤差が演算されている。保持軸８４の移動距離は、プリント基板３２の部品装着箇所のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差，電気部品９２の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差を修正すべく、修正される。電気部品９２の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差は、吸着ノズル９０が電気部品９２を吸着する際に生ずる中心位置誤差，電気部品９２の保持方位誤差の修正により生ずる中心位置の変化および電気部品９２の方位変更により生ずる中心位置の変化の和である。移動後、昇降装置１７０によってノズル保持具１５２が下降させられ、電気部品９２がプリント基板３２上に載置されるとともに、圧力切換弁９６が負圧解除状態に切り換えられ、吸着ノズル９０が大気に開放されて負圧の供給が遮断され、電気部品９２が解放される。電気部品９２の載置後、ノズル保持具１５２は上昇位置へ上昇させられる。間欠回転体６８の間欠回転および装着ヘッド５０の移動が繰り返され、装着ヘッド５０において保持された全部の電気部品９２がプリント基板３２に装着されたならば、装着ヘッド５０は電気部品９２を取り出すべく、電気部品供給装置１６へ移動する。
【００５６】
電気部品９２の吸着中であっても装着中であっても、ノズル確認位置に至ったノズル保持具１５２について、吸着ノズル９０を保持しているか否かの確認がノズル確認センサ３９４の出力値に基づいて行われる。ノズル確認センサ３９４の受光部の受光量がしきい値以下であれば、吸着ノズル９０がなく、吸着ノズル９０のノズル保持具１５２からの脱落やノズル保持具１５２に異常があることがわかり、警告装置３５８が作動させられて異常の発生が作業者に報知されるとともに、電気部品装着機２０，２２のうち、少なくとも吸着ノズル９０がない、あるいはノズル保持具１５２が異常であると判定された電気部品装着機が停止させられる。ノズル確認センサ３９４がノズル確認装置を構成しているのである。異常発生時には、警告装置３５８の作動による異常発生の報知と、電気部品装着機２０，２２のうち少なくとも一方（異常が生じた方）の停止とが行われるが、記載を簡易にするために、以下、警告装置３５８が作動させられることをのみを記載する。
【００５７】
また、電気部品９２の吸着中であっても装着中であっても、ノズル不良検出位置に停止したノズル保持具１５２の吸着ノズル９０について不良検出が行われる。ノズル不良検出位置にノズル保持具１５２が停止すれば、図１５に示すノズル不良検出ルーチンが実行される。ノズル不良の検出をノズル不良検出ルーチンに基づいて説明する。
【００５８】
ノズル不良検出ルーチンのステップ１（以下、Ｓ１と略記する。他のステップについても同じ。）においては、ノズル不良検出センサ３９６の出力値（受光部４０８の受光量）の読取りが行われ、Ｓ２において、その出力値に基づいて吸着ノズル９０が不良であるか否かの判定が行われる。ノズル不良検出センサ３９６は、ノズル不良検出位置にノズル保持具１５２および吸着ノズル９０が移動して来ていない状態では、投光部４０６から発せられた光を受光部４０８が受光するが、ノズル保持具１５２および吸着ノズル９０がノズル不良検出位置に停止すれば、受光部４０８の受光が吸着管１３４により妨げられる。しかし、吸着管１３４に折れや曲がりが生じていて、受光部４０８の受光を妨げなければ、受光部４０８は受光するため、ノズル保持具１５２および吸着ノズル９０がノズル不良検出位置に停止していることと、受光部の受光量がしきい値を超えることとによって、吸着ノズル９０が吸着管１３４の折れあるいは曲がりが生じた不良ノズルであることがわかる。なお、しきい値は０に近い値に設定されており、吸着管１３４の曲がり量が少なくても、受光量がしきい値を超え、曲がりが検出される。ノズル不良検出センサ３９６は、吸着管１３４に向かって光を照射するようにされており、吸着管１３４の折れや曲がりは、吸着ノズル９０が電気部品９２を吸着していてもいなくても検出できる。
【００５９】
前述のように、ノズル不良検出センサ３９６の投光部４０６が発する帯板状の光の幅は、直径が最小の吸着管１３４の直径より僅かに小さくされており、最小の吸着管１３４および最小の吸着管１３４よりは直径が大きいが、直径が異なる全部の種類の吸着管１３４のうちでは小さい方の２，３種類の吸着管１３４について曲がりを検出し得る。
【００６０】
投光部４０６が発する光の幅を、吸着管１３４の直径より小さいが、できるだけ直径に近い大きさにすれば、吸着管１３４の曲がり量が少なくても、受光部の受光量が、０に近い値に設定されたしきい値を超え、曲がりを検出することができる。光の幅を、直径が大きい吸着管１３４に合わせて大きくすれば、直径が小さい吸着管１３４は、曲がりが生じていてもいなくても光の透過経路内に位置し、受光量が変わらず、曲がりがあっても検出することができない。一方、光の幅を小さくすれば、吸着管１３４の直径が大きい場合、曲がっていてもいなくても、受光部の受光が吸着管１３４によって妨げられるため、曲がりがあっても検出することができない。一方、曲がりが生じ易いのは直径が小さい吸着管であるという事実があるため、本実施形態においては、投光部４０６が発する光の幅が小さくされ、直径が小さい２，３種類の吸着管１３４の曲がりが検出されるようにされているのである。なお、吸着管１３４が折れれば、吸着管１３４が細くても太くても、受光量がしきい値を超えるため、直径如何によらず、吸着管１３４の折れは検出できる。
【００６１】
また、吸着ノズル９０は、方位変更あるいは保持方位誤差の修正のためにノズル回転装置３７０によって自身の軸線まわりに回転させられるようにされているため、ノズル不良検出位置に停止するとき、吸着管１３４の方位が同じであるとは限らない。そのため、吸着管１３４に曲がりが生じたとき、その曲がりの方向がノズル不良検出センサ３９６の光軸の方向と同じであれば、曲がりを検出することができないが、方位が変われば、光軸から外れ、曲がりが検出される。吸着管１３４の方位が変われば、吸着管１３４の曲がりが複数の方向から検出されるのに等しく、曲がりが検出されるのである。
【００６２】
このように受光部４０８の受光量に基づいて吸着管１３４に曲がりや折れが生じているか否かの判定が行われ、受光部４０８の受光量がしきい値以下であれば、吸着管１３４に折れや曲がりはなく、吸着ノズル９０は不良ノズルではないため、Ｓ２の判定結果はＮＯになってルーチンの実行は終了する。Ｓ２がノズル不良検出行程なのである。
【００６３】
吸着管１３４が折れ、あるいは曲がっていれば、受光部４０８の受光量がしきい値を超える。吸着ノズル９０が不良ノズルであるのであり、Ｓ２の判定結果がＹＥＳになってＳ３が実行され、吸着ノズル９０を交換するか否かの判定が行われる。例えば、吸着管１３４が曲がっていても、曲がり量が少なく、電気部品９２の吸着，装着に支障がないのであれば、その吸着ノズル９０により次の電気部品９２の吸着が行われる前にその吸着ノズル９０を交換する必要はない。また、吸着管１３４が折れていれば、その吸着ノズル９０により次の電気部品９２の吸着が行われる前に吸着ノズル９０を交換することが必要である。不良が検出された吸着ノズル９０により次の電気部品９２の吸着が行われる前にその吸着ノズル９０の交換を行うことが必要なほど曲がりが大きいこと、あるいは吸着管１３４が折れていることが不良な吸着ノズル９０の交換を行う条件なのである。
【００６４】
吸着管１３４の曲がりの多少は、受光部４０８の受光量の多少によりわかり、受光部４０８の受光量と、吸着ノズル９０を交換を行うか否かを決定するしきい値とが比較される。このしきい値は、Ｓ２において吸着ノズル９０が不良であるか否かを判定するためのしきい値より大きい値に設定されており、受光部４０８の受光量がしきい値以下であれば、吸着管１３４に交換が必要なほどの曲がりは生じておらず、Ｓ３の判定結果はＮＯになってルーチンの実行は終了する。
【００６５】
受光部４０８の受光量がしきい値を超えていれば、吸着管１３４の曲がりが大きく、吸着ノズル９０を交換しなければならず、Ｓ３の判定結果がＹＥＳになる。吸着管１３４が折れていても、受光部４０８の受光量はしきい値を超え、Ｓ３の判定結果はＹＥＳになる。次いで、Ｓ４において吸着ノズル９０が電気部品９２を保持しているか否かの判定が行われる。吸着ノズル９０が電気部品９２を保持しているか否かは装着プログラムからわかり、電気部品９２を保持していなければ、Ｓ４の判定結果がＮＯになってＳ５が実行され、不良ノズルの良品ノズルへの自動交換が指示される。
【００６６】
不良ノズルの良品ノズルへの交換が必要であると判定されたとき、不良ノズルが電気部品９２を保持していればＳ４の判定結果はＹＥＳになってＳ６が実行され、電気部品９２の排出が指示されるとともに、不良ノズルの良品ノズルへの自動交換が指示される。図示は省略するが、ＸＹロボット６２，６４による装着ヘッド５０，５２の移動領域内に電気部品９２を排出するための電気部品収容器が設けられており、電気部品９２を保持した不良ノズルは電気部品収容器上へ移動させられて電気部品９２を捨て、その後、不良ノズルの良品ノズルへの交換が行われる。
【００６７】
不良ノズルの良品ノズルへの交換指示に基づいて、交換が自動的に行われる。この行程がノズル交換行程である。不良ノズルの交換は、吸着ノズル９０が電気部品９２を保持していてもいなくても、不良ノズルが次の電気部品９２を吸着する前に行われ、一連の電気部品装着作業の途中に行われる。ノズル交換を説明する。
【００６８】
吸着ノズル９０の交換時には、吸着ノズル９０を交換するノズル保持具１５２が部品吸着装着位置に位置させられるとともに、ＸＹロボット６２により空のノズル収容穴２５０上へ移動させられる。ノズル保持具１５２の移動時には、ノズル収容板１９４は下降端位置にあり、ノズル保持具１５２の移動後、収容板受台２０４が上昇させられ、ノズル収容板１９４が上昇端位置へ上昇させられる。
【００６９】
ノズル収容板１９４の上昇に先立って、ノズル有無確認センサ３９２により、ノズル収容穴２５０が空であるか否かが検出される。ノズル収容穴２５０が空であれば、吸着ノズル９０がノズル収容板１９４へ戻されるが、空でなければノズル交換が停止させられるとともに、警告装置３５８が作動させられ、異常の発生が作業者に報知される。ノズル収容穴２５０が空ではないにもかかわらず、ノズル収容板１９４が上昇させられて、ノズル収容穴２５０に保持された吸着ノズル９０と保持軸８４に保持された吸着ノズル９０とが衝突し、損傷することが回避される。
【００７０】
ノズル収容穴２５０が空であれば、ノズル収容板１９４が上昇させられる。ノズル収容板１９４の上昇後、ノズル保持具１５２が昇降装置１７０により下降させられ、吸着ノズル９０の吸着管１３４が小径穴部２５４内に嵌入させられる。この状態では、離脱阻止板２８０は作用位置にあり、発光板１４６は離脱阻止板２８０の小距離上方に位置する。
【００７１】
吸着管１３４の小径穴部２５４内への嵌入後、離脱阻止板２８０がエアシリンダ３１２により退避位置へ移動させられ、次いでノズル保持具１５２が昇降装置１７０により下降させられ、発光板１４６が大径穴部２５６に嵌合される。ノズル保持具１５２の下降距離は、発光板１４６と大径穴部２５６との間の距離に、ノズル収納装置１９０等の製造誤差等を考慮した値を加えた距離とされ、余分な下降距離は、圧縮コイルスプリング１０８の圧縮により吸収される。下降後、離脱阻止板２８０がエアシリンダ３１２によって作用位置へ移動させられた後、昇降駆動部材１７８がノズル保持具１５２から吸着ノズル９０が離脱するのに十分な位置、本実施形態においては上昇位置へ移動させられ、ノズル保持具１５２が上昇位置へ上昇させられる。この際、離脱阻止板２８０の離脱阻止部２８８が発光板１４６に係合して吸着ノズル９０のノズル収容板１９４からの離脱を阻止する。それにより吸着ノズル９０に、ばね部材１４０が吸着ノズル９０をアダプタ１００内に引き込む引込力（アダプタ１００が吸着ノズル９０を保持する保持力）より大きい引抜力がアダプタ１００から離脱する向きに加えられれば、吸着ノズル９０がアダプタ１００から外れ、ノズル収容板１９４に収容される。
【００７２】
部品吸着装着位置に位置するノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容部材１９０に戻し、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持しない状態になれば、ノズル保持具１５２が上昇位置に復帰したとき、吸着ノズル９０がないため、ノズル交換確認センサ３９０は吸着ノズル９０を検出せず、吸着ノズル９０がノズル収容板１９４に戻されたことが確認される。ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻すために昇降させられたこと（例えば、ノズル保持具１５２の昇降が、部品吸着装着位置に位置する状態での１回目の昇降であること）と、吸着ノズル９０が検出されないこととによって、吸着ノズル９０がノズル収容板１９４に戻されたことが確認されるのである。ノズル保持具１５２が昇降させられ、吸着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻す動作が行われたにもかかわらず、ノズル交換確認センサ３９０が吸着ノズル９０を検出すれば、何らかの異常により、吸着ノズル９０がノズル収容板１９４に戻されなかったことがわかる。その場合、警告装置３５８が作動させられ、作業者に異常の発生が報知される。
【００７３】
ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻した後、ノズル収容板１９４が下降端位置へ下降させられ、下降後、空のノズル保持具１５２は、ＸＹロボット６２により、ノズル収容板１９４に保持された吸着ノズル９０のうち、不良ノズルと同じ種類の吸着ノズル９０上へ移動させられる。
【００７４】
ノズル保持具１５２の移動後、ノズル収容板１９４が上昇させられる前に、ノズル有無確認センサ３９２により、ノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０が収容されているか否かが検出される。吸着ノズル９０が収容されていなければ、ノズル交換が停止させられるとともに、警報装置３５８が作動させられて異常の発生が作業者に報知される。ノズル有無確認センサ３９２は、ノズル有無確認装置を構成しているのである。
【００７５】
ノズル収容板１９４に吸着ノズル９０が収容されていれば、ノズル収容板１９４が上昇端位置へ上昇させられる。ノズル収容板１９４の上昇後、ノズル保持具１５２が下降させられ、アダプタ１００のテーパ穴１３８に吸着ノズル９０のテーパ部１３６が嵌合される。ノズル保持具１５２の下降距離は、テーパ部１３６がテーパ穴１３８に嵌合されるのに必要な距離に、ノズル収納装置１９０等の製造誤差等を加えた大きさとされ、テーパ部１３６はテーパ穴１３８に確実に嵌合されるとともにばね部材１４０により保持される。なお、余分な下降距離は、圧縮コイルスプリング１０８の圧縮により吸収される。
【００７６】
嵌合後、離脱阻止板２８０が退避位置へ移動させられた後、ノズル保持具１５２が上昇位置へ上昇させられて吸着ノズル９０がノズル収容板１９４から離脱させられる。次いで、離脱阻止板２８０が作用位置へ移動させられ、ノズル収容板１９４に保持された吸着ノズル９０の飛出しが防止された状態でノズル収容板１９４が下降端位置へ下降させられる。ノズル保持具１５２が上昇位置へ移動したとき、ノズル交換確認センサ３９０が吸着ノズル９０を検出するか否かにより、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持したか否かが検出される。ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持するための動作を行ったこと（例えば、ノズル保持具１５２が電気部品吸着装着位置において２回目の昇降を行ったこと）と、吸着ノズル９０が検出されることとによって、ノズル保持具１５２がノズル収容板１９４から吸着ノズル９０を取り出したことがわかる。吸着ノズル９０が検出されなければ、ノズル保持具１５２が良品ノズルである吸着ノズル９０を保持できなかったのであり、警告装置３５８が作動させられ、異常の発生が作業者に報知される。ノズル交換確認センサ３９０は、ノズル交換確認装置を構成しているのである。
【００７７】
不良ノズルが良品ノズルに交換されれば、電気部品装着機は電気部品の装着作業に復帰する。不良ノズル交換時には、電気部品装着作業が中断されるが、不良ノズルの発生が自動的に検出され、交換の必要があれば、不良ノズルが次に電気部品を吸着する前に良品ノズルと自動的に交換されるため、装着作業を中断して吸着ノズルを交換しても装着能率の低下は少なくて済む。
【００７８】
従来、複数の吸着ノズルを有する電気部品装着機においては、同じ種類の吸着ノズルが複数あれば、ノズル不良発生時に不良ノズルはスキップされ、不良ノズルによる電気部品のプリント基板への装着が行われず、残りの不良でない吸着ノズルによって装着が行われるとともに、ブザー等の警報により作業者にノズル不良発生が報知され、作業者が気がつけば、不良ノズルを良品ノズルに交換するようにされていた。しかしながら、不良ノズルがスキップされれば、電気部品をプリント基板に装着する吸着ノズルの数が減り、その分、装着ヘッドがプリント基板と電気部品供給装置との間を往復する回数が増えて装着に要する時間が増え、装着能率が低下する。電気部品装着機が有する複数個の吸着ノズルの種類が全部同じであれば、そのうちの１個に不良が発生したとき、電気部品の装着を続けることができるとともに、装着ヘッドのプリント基板と電気部品供給装置との間の往復回数の増え方が小さいが、複数個の吸着ノズルの種類が異なり、１つしかない吸着ノズルに不良が生ずれば、電気部品のプリント基板への装着をやめなければならず、装着能率が大きく低下する。また、種類が同じ吸着ノズルが２つあっても、一方に不良が生ずれば、装着ヘッドがプリント基板と電気部品供給装置との間を往復する回数が倍になり、装着能率が低下する。同じ種類の吸着ノズルの数が少ないほど、装着能率が低下するのであり、しかも、作業者による交換は面倒であり、３０秒以上の時間を要し、装着能率がかなり低下していた。
それに対し、本実施形態におけるように、ノズル不良が自動的に検出されるとともに、不良検出に基づいて不良ノズルの良品ノズルへの交換が自動的に行われるのであれば、交換が、作業者を煩わせることなく、迅速にかつ容易に行われ、また、不良な吸着ノズルは、次に電気部品を吸着する前に交換されるため、電気部品の装着は、常に予定された全部の数の吸着ノズルによって行われ、不良ノズルのスキップによる装着能率の低下が回避され、装着時間の延びは１枚のプリント基板について例えば３秒程度で済む。この装着能率低下の回避効果は、同一種類の吸着ノズルの数が少ないほど大きい。
【００７９】
以上の説明から明らかなように、本実施形態において電気部品装着機２０，２２は、複数の電気部品９２を一斉に搬送する一斉搬送式であり、ノズル不良検出センサ３９６の投光部４０６および光源がビーム放射装置を構成し、受光部４０８および受光素子がビーム検出装置を構成している。Ｘ軸スライド５４，５６およびＹ軸スライド５８，６０が移動部材を構成し、Ｘ軸スライド移動装置７１，Ｙ軸スライド移動装置および間欠回転体６８を回転させる回転駆動装置７８が電気部品９２を搬送するために吸着ノズル９０を移動させる搬送用移動装置を構成している。回転駆動装置７８はまた、検出用相対移動装置たる検出用ノズル移動装置を構成し、ノズル不良検出センサ３９６と共にノズル不良検出装置を構成している。また、ＸＹロボット６２，６４および昇降装置１７０は、収容部材移動装置の一種である収容部材昇降装置たる収容板昇降装置を構成するエアシリンダ２００と共に交換用相対移動装置を構成し、ノズル収納装置１９０，１９２，ノズル保持具１５２，離脱阻止板２８０，エアシリンダ３１２と共にノズル交換装置を構成している。また、制御装置３３０のノズル交換装置にノズル交換を行わせる部分がノズル交換装置制御装置を構成している。さらに、制御装置３３０のＳ３を実行する部分が緊急性判断手段を構成している。
【００８０】
なお、ノズル不良が検出されたならば、ノズル不良の履歴を記憶するようにしてもよい。例えば、不良が生じた吸着ノズルの種類，間欠回転体６８上における保持位置，電気部品９２の装着回数等を記憶手段、例えばコンピュータのＲＡＭに記憶しておくのである。
また、ノズル不良が検出されたならば、不良ノズルは自動的に良品ノズルに交換されるが、この際、不良ノズルの良品ノズルへの交換が行われていることが作業者に報知されるようにしてもよい。
【００８１】
なお、上記実施形態において、ノズル不良は、吸着ノズル９０がノズル不良検出位置において停止した状態で検出されるようになっていたが、吸着ノズルとノズル不良検出センサとの相対移動中にノズル不良を検出するようにしてもよい。吸着ノズルの移動中にノズル不良を検出する例を図１６および図１７に基づいて説明する。吸着ノズルの移動中にノズル不良を検出する場合、ノズル不良検出センサは、吸着ノズルの隣接する２個の停止位置の間であって、吸着ノズルがほぼ定速で移動する部分に設けられる。この位置がノズル不良検出位置である。ノズル不良検出センサは、例えば、投光部および受光部を含む光電センサの一種である透過型センサにより構成され、投光部が受光部に向かって発する光の幅は、直径が最小の吸着管の直径より小さくされ、光軸が吸着管１３４の移動軌跡と交差する状態で設けられている。
【００８２】
吸着管１３４がノズル不良検出位置へ移動して来ていない状態では、投光部が発する光が受光部により受光される。吸着管１３４がノズル不良検出位置へ移動して来れば、受光部の受光が妨げられる。吸着管１３４が曲がっていてもいなくても、吸着管１３４の通過により受光部の受光が妨げられるが、図１７のグラフに示すように、受光部の受光が妨げられて受光量が減少する時期が異なる。図１６に実線で示すように、吸着管１３４が曲がっていなければ、受光部の受光量は、吸着ノズル９０の移動に対して予定された時期に減少するが、例えば、図１６に二点鎖線で示すように、矢印Ａで示す吸着ノズル移動方向において上流側へ曲がっていれば、減少時期が予定された時期より遅れ、吸着管１３４に曲がりが生じていることがわかる。吸着管１３４が折れていれば、受光部の受光量が少なくなる時期がなくなるため、吸着管１３４が折れたことがわかる。
【００８３】
投光部が発する光の幅を、直径が最小である吸着管の直径より小さくすれば、吸着管１３４の直径如何によらず、曲がりを検出することができる。吸着ノズルが停止した状態で不良を検出する場合は、前記実施形態において説明したように、光の幅によっては、曲がりを検出できない大きさの吸着管があるが、吸着ノズルとノズル不良検出センサとを相対移動させつつ検出するのであれば、吸着管の直径が小さくても大きくても、吸着管の最小の直径より小さい幅の光を受光部が受光することを妨げ、吸着管が検出されるとともに、吸着管が曲がっていれば、検出時期がずれ、それにより曲がりを検出することができるのである。間欠回転体を回転させ、吸着ノズル９０を間欠回転体６８の回転軸線まわりに旋回させ、ノズル不良検出センサに対して移動させる回転駆動装置が検出用相対移動装置たる検出用ノズル移動装置を構成している。
【００８４】
ノズル不良は、撮像装置の一種であるラインセンサを用いて検出してもよい。その例を図１８に基づいて説明する。ラインセンサ４６０は、一線状、例えば一直線状に配列された多数の受光素子を含むＣＣＤ（電荷結合素子）を備え、各受光素子の受光状態に応じた電気信号を発生させ、画像データが取得される。ラインセンサ４６０は、吸着ノズルの複数の停止位置の一つに設けられたノズル不良検出位置に、吸着管１３４の移動経路から外れ、吸着管１３４の軸線と直角に設けられている。
【００８５】
吸着ノズル９０がノズル不良検出位置に停止すれば、図示しない照明装置により吸着管１３４に光が照射され、その反射光がラインセンサ４６０に入光し、吸着管１３４の像が形成される。ラインセンサ４６０は、電気部品装着機を制御する制御装置に接続されており、制御装置にラインセンサ４６０が出力する電気信号が供給される。制御装置においては、この電気信号に基づいて吸着ノズル９０が不良ノズルであるか否かの判定が行われる。
【００８６】
図１８に実線で示すように、吸着管１３４が曲がっていなければ、吸着管１３４の像は、ラインセンサ４６０の予め設定された位置に形成されるのに対し、二点鎖線で示すように吸着管１３４が曲がっていれば、曲がりがない場合に対してずれた位置に像が形成されることから、吸着管１３４が曲がっていることがわかる。吸着管１３４の直径によって像の大きさは変わるが、吸着管１３４の直径如何によらず、像形成位置が設定位置に対してずれているか否かにより、吸着管１３４が曲がっているか否かがわかる。また、吸着管１３４が折れていれば、像が形成されないことから、折れがわかる。制御装置のラインセンサ４６０からの電気信号に基づいて吸着ノズル９０が不良ノズルであるか否かの判定を行う部分が画像処理装置を構成している。
【００８７】
なお、ラインセンサと吸着ノズルとを、吸着ノズルの軸線に平行な方向に相対移動させて曲がりを検出するようにしてもよい。例えば、部品吸着装着位置に、吸着ノズルの軸線に対して直角にラインセンサを設け、吸着ノズルが昇降装置によって昇降させられる際に吸着管を撮像してノズル不良を検出するのである。例えば、吸着管が曲がっていなければ、ラインセンサの同じ位置に像が形成され、曲がっていれば、像形成位置が変わることから吸着管が曲がっていることがわかる。吸着ノズルの移動に対する像形成位置の変化により、吸着管全体について曲がり具合（方向および量）がわかる。部品吸着装着位置とは別の位置に、同様の昇降装置を設け、吸着ノズルを昇降させ、ラインセンサに対して移動させてもよい。これらの場合、昇降装置が検出用相対移動装置たる検出用ノズル移動装置を構成する。
【００８８】
ノズル不良検出装置を構成する撮像装置は、吸着管１３４を面で撮像する面撮像装置としてもよい。その例を図１９および図２０に基づいて説明する。面撮像装置４７０は、複数の停止位置の一つであるノズル不良検出位置に設けられており、固体イメージセンサの一種であるＣＣＤ（電荷結合素子）を含む。面撮像装置４７０のＣＣＤは、一平面上に多数の受光素子が一平面状に配列されて撮像面４７２を構成し、各受光素子の受光状態に応じた電気信号を発生させ、画像データが取得される。面撮像装置４７０は、撮像面４７２が、ノズル不良検出位置に停止させられた吸着ノズルの吸着管に直角に対向して設けられている。面撮像装置４７０から出力される電気信号は電気部品装着機の制御装置に供給され、処理される。
【００８９】
吸着ノズルがノズル不良検出位置に停止させられれば、図示しない照明装置により吸着管１３４に光が照射され、吸着管１３４の電気部品を吸着する吸着面４７４からの反射光が撮像面４７２に入光し、吸着面４７４の像４７６が形成される。吸着管１３４に曲がりがなければ、図２０（ａ）に示すように、撮像面４７２の撮像中心に吸着面４７４の像４７６が形成される。吸着管１３４が曲がっていれば、図２０（ｂ）に示すように、吸着面４７４の像が撮像面４７２の撮像中心からずれた位置に形成されるため、吸着管１３４が曲がっていることがわかる。また、吸着面４７４が摩耗していれば、摩耗部からの光の反射量が減り、図２０（ｃ）に斜線を施して示すように、吸着面４７４の一部が不明瞭な像４７６が形成されることから、吸着面４７４に摩耗が生じていることがわかる。さらに、吸着面４７４に汚れが付着していれば、図２０（ｄ）に示すように、吸着面４７４の像以外の像が形成されるため、汚れが付着したことがわかる。さらにまた、図示は省略するが、吸着管１３４が折れれば、吸着管１３４と撮像面４７２との距離が変わるため、撮像面４７２に像が形成されるが、全体が不明瞭な像になるため、吸着管１３４が折れたことがわかる。
このように面撮像装置４７０を用いれば、吸着管１３４の直径に関係なく、曲がりおよび折れを検出することができる上、吸着面４７４の摩耗や汚れの付着を検出することができる。制御装置の面撮像装置４７０から供給される電気信号を処理し、吸着ノズルが不良であるか否かの判定を行う部分が画像処理装置を構成している。
【００９０】
さらに、吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスを検出してノズル不良を検出してもよい。その例を図２１にフローチャートで表されるノズル不良検出ルーチンに基づいて説明する。
吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスは、例えば、吸着ノズルによる電気部品の保持姿勢を撮像することにより検出できる。前述のように、電気部品装着機の撮像位置には電気部品撮像装置が設けられ、吸着ノズルによる電気部品の保持姿勢が撮像されるようになっており、この電気部品撮像装置により得られる撮像データに基づいて、吸着ノズルによる電気部品の保持位置誤差および保持方位誤差が求められるとともに、吸着ノズルが電気部品を吸着しているか否か、吸着していても電気部品の姿勢がプリント基板に装着可能な姿勢であるか否かが検出される。
【００９１】
ノズル不良検出ルーチンは、電気部品装着機の制御装置を構成するコンピュータのＲＯＭに記憶されており、吸着ノズルが予め設定されたＮ回（例えば１０００回）、電気部品を吸着する間に、予め設定されたｎ回（例えば３回）、吸着ミスが生じたか否かによってノズル不良が検出されるように構成されている。そのため、コンピュータのＲＡＭ４８０には、図２２に示すように、第１カウンタ４８２および第２カウンタ４８４がワーキングメモリと共に設けられている。なお、ノズル不良検出ルーチンは、複数個の吸着ノズルの各々について実行され、電気部品の吸着回数および吸着ミスの回数は、吸着ノズル毎に記憶され、ノズル不良検出は吸着ノズル毎に行われる。第１，第２カウンタ４８２，４８４は、複数の吸着ノズルの各々について設けられている。
【００９２】
Ｓ２１においては、吸着ノズルが電気部品を保持しているべきときであるか否か、すなわち部品吸着装着位置において電気部品を吸着した後であって、プリント基板に装着する前であるか否かの判定が行われる。吸着ノズルによる電気部品の保持姿勢あるいは保持の有無によって不良ノズルを検出するためであり、Ｓ２１の判定は装着プログラムに基づいて行われる。
【００９３】
吸着ノズルが電気部品を保持しているべきときであれば、Ｓ２１の判定結果はＹＥＳになってＳ２２が実行され、電気部品撮像装置の撮像データに基づいて、吸着ノズルが電気部品を正常に保持しているか否か、すなわち吸着ノズルが電気部品を保持しているか、保持しているのであればプリント基板に装着可能な姿勢で保持しているか否かの判定が行われる。吸着ノズルが電気部品を保持していても、例えば、電気部品が立っていればプリント基板に装着することができず、吸着ミスであるからである。吸着ノズルが電気部品を正常に保持していればＳ２２の判定結果はＹＥＳになってＳ２３が実行され、第１カウンタ４８２のカウント値Ｃ₁ が１増加させられる。次いでＳ２４が実行され、カウント値Ｃ₁ が予め設定された回数Ｎ（例えば１０００回）以上になったか否かの判定が行われる。第１カウンタ４８２は、吸着ノズルの電気部品の吸着回数をカウントするものであり、Ｓ２４の判定結果は当初はＮＯであり、ルーチンの実行は終了する。
【００９４】
吸着ノズルが電気部品を保持していないか、あるいは保持していても正常に保持していなければＳ２２の判定結果はＮＯになってＳ２６が実行され、第２カウンタ４８４のカウント値Ｃ₂ が１増加させられる。吸着ミスの回数がカウントされるのである。次いでＳ２７が実行され、カウント値Ｃ₂ がｎ回以上であるか否かの判定が行われる。第２カウンタ４８４は、吸着ノズルの吸着ミスの回数をカウントするカウンタであり、Ｓ２７では、吸着ミスが設定回数、例えば３回生じたか否かの判定が行われる。この判定結果がＮＯであれば、ルーチンの実行は終了する。
【００９５】
吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスがｎ回生ずる前に、吸着ノズルによる電気部品の吸着がＮ回行われれば、Ｓ２４の判定結果がＹＥＳになってＳ２５が実行され、第１，第２カウンタ４８２，４８４がリセットされる。吸着ノズルによる電気部品の吸着回数に制限を設けなければ、吸着ノズルが不良でなくても、吸着ミスの検出回数がｎ回に達することがあり得るため、吸着回数を制限し、Ｎ回を単位としてノズル不良検出が繰り返し行われるようにされているのである。
【００９６】
吸着ノズルによる電気部品の吸着がＮ回行われる前に吸着ノズルによる電気部品の吸着ミスがｎ回生ずれば、吸着ノズルが不良ノズルであると判定され、Ｓ２７の判定結果がＹＥＳになってＳ２８が実行され、第１，第２カウンタ４８２，４８４がリセットされた後、Ｓ２９が実行される。Ｓ２９では、電気部品の排出の指示および不良ノズルの良品ノズルへの自動交換が指示される。本実施形態においては、電気部品撮像装置が吸着ミス検出装置を構成し、制御装置のＳ２１ないしＳ２８を実行する部分が判定手段たる統計処理手段を構成している。
【００９７】
さらに、吸着ノズルの不良を、吸着ノズルをその軸線まわりに回転させることなく、ノズル軸線と交差する複数の方向から検出するようにしてもよい。ノズル不良検出装置をビーム放射装置およびビーム検出装置を含んで構成する場合を例に取り、図２３に基づいて説明する。図２３には、吸着管１３４を、吸着管１３４の軸線に直角な一平面内において互いに直交する２方向において検出する例が図示されている。透過型の光電センサにより構成されるノズル不良検出センサ４９０は、２組の投光部４９２および受光部４９４を含み、各組の投光部４９２および受光部４９４は、その光軸が吸着管１３４の軸線と直交し、吸着管１３４の移動経路４９６を挟んで互いに反対側に位置するように設けられており、２組の投光部４９２および受光部４９４は、各光軸が互いに直交する位置に設けられている。
【００９８】
このように吸着管１３４を２方向から検出するようにすれば、吸着管１３４の方位が変更されなくても、吸着管１３４の曲がりを確実に検出することが可能である。吸着管１３４が曲がっていなければ、２つの受光部４９４の受光がいずれも吸着管１３４によって妨げられるのに対し、吸着管１３４が曲がっていれば、２つの受光部４９４のうち、少なくとも一方の受光部４９４の受光が妨げられないからである。そのため、例えば、吸着管１３４が一方の組の投光部４９２および受光部４９４の光軸と平行な方向に曲がっていても、他方の組の投光部４９２および受光部４９４の光軸から外れ、受光部４９４が受光することから、曲がりが検出される。
【００９９】
なお、吸着ノズル９０の交換時におけるノズル保持具１５２の昇降，移動，ノズル収容板１９４の昇降および離脱阻止板２８０の移動は、吸着ノズル９０，ノズル収容板１９４および離脱阻止板２８０が互いに干渉しない範囲で並行して行ってもよい。例えば、吸着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻す際に、ノズル保持具１５２の下降とノズル収容板１９４の上昇とを並行して行ってもよい。あるいは保持軸８４の下降と離脱阻止板２８０の退避位置への移動とを並行して行うようにしてもよい。あるいは、ノズル保持具１５２が下降させられて、テーパ穴１３８が、ノズル収容板１９４に収容された吸着ノズル９０のテーパ部１３６に嵌合された後、ノズル保持具１５２の上昇と間欠回転体６８の回転およびＸＹロボット６０，６２による移動とを並行して行ってもよく、この際、更にノズル収容板１９４の下降を並行して行ってもよい。
【０１００】
また、上記各実施形態においては、ノズル保持具１５２の昇降およびノズル収容板１９４（収容板受台２０４）の昇降により、ノズル保持具１５２とノズル収容板１９４との間で吸着ノズル９０の交換が行われるようにされていたが、ノズル収容板１９４は昇降させず、ノズル保持具１５２のみを昇降させて吸着ノズル９０の交換が行われるようにしてもよい。
【０１０１】
さらに、上記各実施形態においては、ノズル交換確認センサ３９０がノズル保持具１５２と共にＸスライド５４に設けられ、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻し、ノズル収容板１９４から新たに吸着ノズル９０を受け取ったか否かが、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持しているか否かにより検出されるようになっており、ノズル保持具１５２がＸＹロボット６２，６４によって移動させられている間に吸着ノズル９０が交換されたか否かを確認することができるが、ノズル収容板１９４のノズル収容穴２５０に吸着ノズル９０があるか否かを確認するノズル有無確認センサ３９２によってもノズル交換を確認することが可能である。ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容板１９４に戻す動作を行った後、ノズル収容板１９４において吸着ノズル９０が検出されれば、吸着ノズル９０はノズル収容板１９４に戻されたのであり、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０をノズル収容板１９４から取り出す動作を行った後、ノズル収容板１９４において吸着ノズル９０が検出されなければ、ノズル保持具１５２が吸着ノズル９０を保持したのである。
【０１０２】
また、本発明は、一軸線まわりに回転可能な回転体に複数個の吸着ノズルが取り付けられ、回転体の回転により複数個の吸着ノズルが順次、電気部品を吸着し、搬送して回路基材に装着する電気部品装着機にも適用することができる。例えば、特開平６−３４２９９８号公報に記載の電気部品装着機においては、一軸線まわりに回転可能な回転体に、その回転軸線を中心とする一円周上に複数組の部品吸着ユニットが設けられており、それら部品吸着ユニットが部品吸着位置，部品装着位置に停止させられて電気部品を吸着し、装着するのであるが、複数組の部品吸着ユニットはそれぞれ、複数個ずつの吸着ノズルを有し、それら吸着ノズルが電気部品の吸着，装着に選択的に使用されるようになっている。そのため、複数組の部品吸着ユニットの各々において電気部品の吸着，装着に使用される吸着ノズルの選択により、電気部品装着機において電気部品の吸着，装着に使用される複数の吸着ノズルの組合わせを適宜に設定することができ、複数組の部品吸着ユニットのうちの１つについてノズル不良が発生しても、別の部品吸着ユニットにおいて、ノズル不良が発生した吸着ノズルと同じ種類の吸着ノズルを電気部品の吸着，装着に使用することにより、電気部品の吸着，装着を続けることができる。しかし、この場合には、不良ノズルはスキップされ、電気部品の吸着，装着に使用されないため、電気部品装着機において電気部品の吸着，装着に使用される吸着ノズルの数が減り、装着能率が低下する。それに対し、ノズル不良を検出し、一連の電気部品装着作業を中断して不良ノズルを良品ノズルに交換すれば、交換後は予定された全部の数の吸着ノズルを用いて電気部品の吸着，装着を行うことができ、不良ノズルのスキップによる電気部品装着能率の低下が回避される。
【０１０３】
以上、本発明の実施形態を詳細に説明したが、これは文字通り例示であり、本発明は、前記〔発明が解決しようとする課題，課題解決手段および効果〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態である電気部品装着機を備え、本発明の一実施形態である電気部品装着方法が実施される電気部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電気部品装着機を構成する間欠回転体の要部を示す正面断面図である。
【図３】上記間欠回転体に保持された吸着ノズルをノズル保持具と共に示す正面断面図である。
【図４】上記電気部品装着機に設けられたノズル交換確認センサおよびノズル有無確認センサを概略的に示す正面図である。
【図５】上記電気部品装着機に設けられたノズル不良検出センサを示す正面図である。
【図６】上記電気部品装着機に設けられたノズル交換装置のノズル収納装置を示す正面図（一部断面）である
【図７】上記ノズル収納装置を示す側面断面図である。
【図８】上記ノズル収納装置の構成要素であるノズル収容板を示す平面図である。
【図９】上記ノズル収容板に設けられたノズル収容穴を示す正面断面図である。
【図１０】上記ノズル収容板を作用位置に位置する離脱阻止板と共に示す平面図である。
【図１１】上記ノズル収容板を退避位置に位置する離脱阻止板と共に示す平面図である。
【図１２】上記ノズル収容板を離脱阻止板と共に示す正面図（一部断面）である。
【図１３】上記ノズル収容板に立設されたピンが離脱阻止板の長穴に嵌合された状態を示す側面断面図である。
【図１４】上記電気部品装着システムを制御する制御装置のうち、本発明に関連の深い部分を概略的に示すブロック図である。
【図１５】上記制御装置を構成するコンピュータのＲＯＭに記憶されたノズル不良検出ルーチンを表すフローチャートである。
【図１６】本発明の別の実施形態である電気部品装着機のノズル不良検出装置の構成を概略的に説明する図である。
【図１７】図１６により説明されるノズル不良検出装置によるノズル不良の検出を説明するためのグラフである。
【図１８】本発明の更に別の実施形態である電気部品装着機のノズル不良検出装置を構成するラインセンサを概略的に示す図である。
【図１９】本発明の更に別の実施形態である電気部品装着機のノズル不良検出装置を構成する面撮像装置を概略的に示す図である。
【図２０】図１９に示す面撮像装置を用いたノズル不良の検出を説明する図である。
【図２１】本発明の更に別の実施形態である電気部品装着機の制御装置のコンピュータのＲＯＭに記憶されたノズル不良検出ルーチンを表すフローチャートである。
【図２２】図２１に示すノズル不良検出ルーチンを実行するためのコンピュータのＲＡＭを構成示す図である。
【図２３】本発明の更に別の実施形態である電気部品装着機のノズル不良検出装置を構成するノズル不良検出センサを概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
２０，２２：電気部品装着機 ３２：プリント基板 ６８：間欠回転体
６２，６４：ＸＹロボット ９０：吸着ノズル ９２：電気部品 １５２：ノズル保持具 １９０，１９２：ノズル収納装置 １９４：ノズル収容板 ２５０：ノズル収容穴 ２８０：離脱阻止板 ３３０：制御装置
３９６：ノズル不良検出センサ ４６０：ラインセンサ ４７０：面撮像装置 ４９０：ノズル不良検出センサ

Claims (14)

1. 回路基材を位置決めして支持する回路基材位置決め支持装置と、
   その回路基材位置決め支持装置に支持された回路基材に装着されるべき電気部品を供給する電気部品供給装置と、
   移動部材を備え、その移動部材を互いに直交するＸ軸とＹ軸とにより規定されるＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボットと、
   前記移動部材に回転軸線まわりに回転可能に保持された回転体と、
   その回転体の前記回転軸線から等距離の位置に保持された複数の吸着ノズルと、
   前記回転体を前記回転軸線のまわりに回転させる回転体回転装置と、
   前記ＸＹロボットおよび前記回転体回転装置を制御し、前記複数の吸着ノズルに前記電気部品供給装置から供給される電気部品を吸着させ、前記回路基材位置決め支持装置に支持された回路基材に装着させる装着制御装置と、
   前記回転体と共に前記移動部材に保持されて前記ＸＹロボットにより前記回転体と共に移動させられ、前記装着制御装置の制御により前記回転体が前記電気部品の吸着のため、または前記電気部品の装着のために回転させられるのに伴って、前記複数の吸着ノズルの各々がそれら吸着ノズルの旋回軌跡上に設定されたノズル不良検出位置に達する際、そのノズル不良検出位置に達する吸着ノズルが不良ノズルであるか否かの検出を行うノズル不良検出装置と、
   そのノズル不良検出装置により検出された不良ノズルを良品ノズルと交換するノズル交換装置と、
   前記ノズル不良検出装置により不良ノズルであると検出された吸着ノズルが次の電気部品を吸着する前に、前記ノズル交換装置にノズル交換を行わせるノズル交換制御装置と
   を含むことを特徴とする電気部品装着機。
2. 前記ノズル不良検出装置が、前記複数の吸着ノズルの各々が前記ノズル不良検出位置に達する毎に、その吸着ノズルが不良ノズルか否かの検出を行う請求項１に記載の電気部品装着機。
3. 前記ノズル交換制御装置が、前記ノズル不良検出装置により吸着ノズルが不良ノズルであることが検出された場合に、その不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズルを交換する必要があるか否かを判断する緊急性判断手段を含み、その緊急性判断手段が緊急に交換する必要があると判断した場合に、前記ノズル交換装置に、その不良ノズルにより次の電気部品の吸着が行われる前にその不良ノズルを良品ノズルと交換させる請求項１または２に記載の電気部品装着機。
4. 前記ノズル不良検出装置が、前記吸着ノズル自体を検出し、その検出結果に基づいてその吸着ノズルが不良ノズルか否かの検出を行う請求項１ないし３のいずれかに記載の電気部品装着機。
5. 前記ノズル不良検出装置が、
   前記吸着ノズルを撮像する撮像装置と、
   その撮像装置により取得された画像データを処理することにより、撮像された吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを判定する画像処理装置と
   を含む請求項４に記載の電気部品装着機。
6. 前記ノズル不良検出装置が、
   前記吸着ノズルの軸線と交差する方向にビームを放射するビーム放射装置と、
   そのビーム放射装置から放射され、前記吸着ノズルの影響を受けた後のビームを検出するビーム検出装置と
   を含む請求項４に記載の電気部品装着機。
7. 前記ノズル不良検出装置が、前記ビーム放射装置およびビーム検出装置と、前記吸着ノズルとを相対移動させる検出用相対移動装置を含む請求項６に記載の電気部品装着機。
8. 前記検出用相対移動装置が、前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの軸線と交差する方向の成分と軸線に平行な方向の成分との少なくとも一方を含む方向に移動させる検出用ノズル移動装置を含む請求項７に記載の電気部品装着機。
9. 前記検出用相対移動装置が、前記吸着ノズルを、その吸着ノズルの軸線のまわりに回転させるノズル回転装置を含む請求項７または８に記載の電気部品装着機。
10. 前記ノズル交換装置が、
    複数の吸着ノズルを個別に取り出し可能に収納するノズル収納装置と、
    そのノズル収納装置と前記吸着ノズルとに、吸着ノズルの軸線に平行な方向の相対移動と直角な方向の相対移動との組み合わせから成るノズル交換運動を行わせる交換用相対移動装置と
    を含む請求項１ないし９のいずれかに記載の電気部品装着機。
11. 移動部材を備え、その移動部材を、互いに直交するＸ軸とＹ軸とにより規定されて電気部品供給装置と回路基材とに跨るＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させるＸＹロボットと、
    前記移動部材に回転軸線まわりに回転可能に保持された回転体と、
    その回転体の前記回転軸線から等距離の位置に保持された複数の吸着ノズルと、
    前記回転体を前記回転軸線のまわりに回転させる回転体回転装置と、
    前記ＸＹロボットおよび前記回転体回転装置を制御し、前記複数の吸着ノズルを前記ＸＹ座標面内の任意の位置へ移動させ、それら吸着ノズルに前記電気部品供給装置から電気部品を吸着により受け取らせ、回路基材に装着させる装着制御装置と
    を含む電気部品装着機により電気部品を回路基材に装着する電気部品装着方法であって、
    前記移動部材に前記回転体と共にノズル不良検出装置を保持させ、前記複数の吸着ノズルに電気部品を順次吸着させるため、または、複数の吸着ノズルに電気部品を回路基材に装着させるための前記回転体の回転に伴って、ノズル不良検出位置へ旋回して来る吸着ノズルが不良ノズルであるか否かを、前記ノズル不良検出装置により検出するノズル不良検出行程と、
    そのノズル不良検出行程において検出した不良ノズルを、その不良ノズルが次の電気部品を吸着する前に自動で良品ノズルと交換するノズル交換行程と
    を含むことを特徴とする電気部品装着方法。
12. 前記ノズル不良検出工程において、前記吸着ノズルが不良ノズルであると検出した場合に、その不良ノズルを、その不良ノズルが次の電気部品を吸着する前に交換すべき緊急性があるか判断する緊急性判断工程を含み、その緊急性判断工程において緊急性があると判断した場合に、前記不良ノズルが次の電気部品を吸着する前に自動で良品ノズルと交換するノズル交換工程を実行し、緊急性がないと判断した場合には、その不良ノズルに次の電気部品を吸着させる請求項１１に記載の電気部品装着方法。
13. 前記ノズル不良検出行程を、前記吸着ノズルが電気部品を吸着していない時期に行う請求項１１または１２に記載の電気部品装着方法。
14. 前記ノズル不良検出行程を、前記吸着ノズルが電気部品を吸着している状態で行い、その吸着ノズルが不良ノズルであると検出した場合には、その吸着ノズルに吸着している電気部品を捨てさせ、その後前記ノズル交換行程を実行する請求項１１ないし１３のいずれかに記載の電気部品装着方法。

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