JP4325424B2

JP4325424B2 - Surface acoustic wave filter device

Info

Publication number: JP4325424B2
Application number: JP2004030477A
Authority: JP
Inventors: 守池浦; 春雄森井
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2004-02-06
Filing date: 2004-02-06
Publication date: 2009-09-02
Anticipated expiration: 2024-02-06
Also published as: JP2005223689A

Description

本発明は、複数の端面反射型の共振子型弾性表面波フィルタを接続してなる弾性表面波フィルタ装置に関し、より詳細には、少なくとも１つの縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び少なくとも１つの横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタを縦続接続してなる弾性表面波フィルタ装置に関する。 The present invention relates to a surface acoustic wave filter device formed by connecting a plurality of end surface reflection type resonator type surface acoustic wave filters, and more specifically, at least one longitudinally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter, and at least The present invention relates to a surface acoustic wave filter device formed by cascading one laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter.

従来、複数の端面反射型弾性表面波フィルタを接続してなる弾性表面波フィルタ装置が種々提案されている。例えば、下記の特許文献１には、少なくとも１つの圧電基板上に、横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ（以下、横結合フィルタと略す）、縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ（以下、縦結合フィルタと略す）及び横結合フィルタが表面波伝搬方向と直交する方向においてこの順序で配置されている弾性表面波フィルタ装置が開示されている。ここでは、圧電基板の対向し合う一対の端面が表面波を反射する反射端面とされている。 Conventionally, various surface acoustic wave filter devices in which a plurality of end surface reflection type surface acoustic wave filters are connected have been proposed. For example, Patent Document 1 listed below discloses a laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter (hereinafter abbreviated as a laterally coupled filter), a longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter on at least one piezoelectric substrate. A surface acoustic wave filter device is disclosed in which a horizontal coupling filter (hereinafter abbreviated as a longitudinal coupling filter) and a lateral coupling filter are arranged in this order in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction. Here, a pair of opposing end faces of the piezoelectric substrate are reflection end faces that reflect surface waves.

なお、本明細書においては、端面反射型の表面波フィルタにおけるＩＤＴの表面波伝搬方向一端から２本目の電極指の中心と、該電極指に近い側の端面との距離を端面位置とし、隣接する同電位の電極指の中心間距離を電極指ピッチと表現することとする。 In this specification, the distance between the center of the second electrode finger from one end in the surface wave propagation direction of the IDT in the end face reflection type surface wave filter and the end face closer to the electrode finger is the end face position, The distance between the centers of the electrode fingers having the same potential is expressed as an electrode finger pitch.

特許文献１に記載の弾性表面波装置では、縦結合フィルタの端面位置が０．５λ₁（但し、λ₁は、縦結合フィルタにおけるＩＤＴの電極指ピッチ）、横結合フィルタの端面位置が０．５λ₂（λ₂は横結合フィルタにおけるＩＤＴの電極指ピッチ）とされており、かつλ₂がλ₁よりも大きくされていた。 In the surface acoustic wave device described in Patent Document 1, the end face position of the longitudinally coupled filter is 0.5λ ₁ (where λ ₁ is the electrode finger pitch of the IDT in the longitudinally coupled filter), and the end face position of the laterally coupled filter is 0. 5λ ₂ (λ ₂ is the electrode finger pitch of the IDT in the lateral coupling filter), and λ ₂ was larger than λ ₁ .

他方、上記のように、縦結合フィルタ及び横結合フィルタを縦続接続してなる弾性表面波装置として、例えば、図１０に示す弾性表面波フィルタ装置が知られている。弾性表面波フィルタ装置１０１は、矩形板状の一枚の圧電基板１０２を用いて構成されている。圧電基板１０２は、対向し合う一対の端面１０２ａ，１０２ｂを有する。 On the other hand, as described above, for example, a surface acoustic wave filter device shown in FIG. 10 is known as a surface acoustic wave device in which a longitudinal coupling filter and a lateral coupling filter are cascade-connected. The surface acoustic wave filter device 101 is configured using a single piezoelectric substrate 102 having a rectangular plate shape. The piezoelectric substrate 102 has a pair of end faces 102a and 102b facing each other.

圧電基板１０２上に電極を形成することにより、縦結合フィルタ１０３、横結合フィルタ１０４及び縦結合フィルタ１０５が表面波伝搬方向と直交する方向に並べられている。縦結合フィルタ１０３は、ＩＤＴ１０３ａ，１０３ｂを所定のＩＤＴ間隔を隔てて配置した構造を有する。また、横結合フィルタ１０４は、ＩＤＴ１０４ａ，１０４ｂを、表面波伝搬方向と直交する方向に並設した構造を有する。縦結合フィルタ１０５は、ＩＤＴ１０５ａ，１０５ｂをＩＤＴ間隔を隔てて表面波伝搬方向に配置した構造を有する。 By forming electrodes on the piezoelectric substrate 102, the longitudinal coupling filter 103, the lateral coupling filter 104, and the longitudinal coupling filter 105 are arranged in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction. The vertical coupling filter 103 has a structure in which IDTs 103a and 103b are arranged at a predetermined IDT interval. The lateral coupling filter 104 has a structure in which the IDTs 104a and 104b are arranged in parallel in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction. The longitudinal coupling filter 105 has a structure in which IDTs 105a and 105b are arranged in the surface wave propagation direction with an IDT interval.

縦結合フィルタ１０３，１０５及び横結合フィルタ１０４は、いずれも、端面１０２ａ，１０２ｂを表面波を反射させる端面として利用した端面反射型の表面波フィルタである。 Each of the longitudinal coupling filters 103 and 105 and the lateral coupling filter 104 is an end face reflection type surface wave filter using the end faces 102a and 102b as end faces for reflecting surface waves.

図１１は、図１０に示した端面反射型の弾性表面波フィルタ装置１０１の周波数特性を示す図である。ここでは、縦結合フィルタ１０３，１０５における電極指ピッチλ₁は４４．８２μｍ、横結合フィルタ１０４における電極指ピッチλ₂は４５．１０μｍとされている。また、縦結合フィルタ１０３，１０５のそれぞれにおける個々のＩＤＴの電極指の対数の合計は５０対、横結合フィルタ１０４における各ＩＤＴの電極指の対数は５０対とされている。また、縦結合フィルタ１０３，１０５におけるＩＤＴ間隔は０．３１λ₁とされている。また、縦結合フィルタ１０３，１０５の端面位置は０．５λ₁、横結合フィルタ１０４の端面位置は０．５８λ₂とされている。
特許第３２８９６７４号 FIG. 11 is a diagram showing the frequency characteristics of the end surface reflection type surface acoustic wave filter device 101 shown in FIG. Here, the electrode finger pitch λ ₁ in the vertical coupling filters 103 and 105 is 44.82 μm, and the electrode finger pitch λ ₂ in the horizontal coupling filter 104 is 45.10 μm. The total number of electrode fingers of each IDT in the vertical coupling filters 103 and 105 is 50 pairs, and the number of electrode fingers of each IDT in the horizontal coupling filter 104 is 50 pairs. Further, the IDT interval in the longitudinal coupling filters 103 and 105 is set to 0.31λ ₁ . The end face positions of the vertical coupling filters 103 and 105 are 0.5λ ₁ , and the end face position of the horizontal coupling filter 104 is 0.58λ ₂ .
Japanese Patent No. 3289673

特許文献１に記載の弾性表面波フィルタ装置では、縦結合フィルタの端面位置が０．５λ₁、横結合フィルタの端面位置が０．５λ₂とされており、電極指ピッチλ２が電極指ピッチλ₁よりも大きくされていた。そのため、横結合フィルタの中心周波数が縦結合フィルタの中心周波数よりも低くならざるを得なかった。そのため、通過帯域内にリップルが発生するという問題があった。 In the surface acoustic wave filter device described in Patent Document 1, the end face position of the longitudinal coupling filter is 0.5λ ₁ , the end face position of the lateral coupling filter is 0.5λ ₂ , and the electrode finger pitch λ 2 is the electrode finger pitch λ. It was bigger than _one . Therefore, the center frequency of the lateral coupling filter has to be lower than the center frequency of the longitudinal coupling filter. Therefore, there is a problem that ripples are generated in the passband.

また、縦結合フィルタのみの縦続接続では急峻性を高めるのが困難であった。また、横結合フィルタのみの縦続接続では帯域外減衰量を大きくできなかった。 In addition, it is difficult to increase the steepness in the cascade connection with only the vertical coupling filter. In addition, the out-of-band attenuation cannot be increased with the cascade connection of only the lateral coupling filters.

図１０に示したように、入力端及び出力端に縦結合フィルタ１０３，１０５が用いられ、その間に横結合フィルタ１０４が接続されている弾性表面波フィルタ装置１０１では、横結合フィルタ１０４と同程度の低損失性及びフィルタ特性の急峻性を確保しつつ、帯域外減衰量を改善することができる。加えて、横結合フィルタのみを用いた場合には困難であった平衡入力及び／または出力型のフィルタを容易に構成することができるという利点を有する。すなわち、横結合フィルタのみを用いて平衡信号端子を構成する場合、結合部の共通バスバー部分を２つの部分に分離する方法、あるいは入出力ＩＤＴを二分割する方法などが用いられていた。しかしながら、前者の方法では、結合部の電極が細くなり、パターニングが困難となり、かつ電極が細くなるため電機抵抗が大きくなるという問題があった。後者の方法では、分割により、インピーダンスが４倍となり、所望のインピーダンスが得られないという問題があった。 As shown in FIG. 10, in the surface acoustic wave filter device 101 in which the longitudinal coupling filters 103 and 105 are used at the input end and the output end, and the lateral coupling filter 104 is connected therebetween, the same degree as the lateral coupling filter 104 is obtained. The out-of-band attenuation can be improved while ensuring the low loss and the steepness of the filter characteristics. In addition, there is an advantage that a balanced input and / or output type filter, which has been difficult when only the lateral coupling filter is used, can be easily configured. That is, when the balanced signal terminal is configured using only the lateral coupling filter, a method of separating the common bus bar portion of the coupling portion into two portions or a method of dividing the input / output IDT into two portions has been used. However, the former method has a problem that the electrode at the coupling portion becomes thin, patterning becomes difficult, and the electrode becomes thin, resulting in an increase in electrical resistance. The latter method has a problem that the impedance is quadrupled due to the division and a desired impedance cannot be obtained.

しかしながら、弾性表面波フィルタ装置１０１においても、一枚の圧電基板を用いて端面反射型の縦結合フィルタ及び横結合フィルタを縦続接続した構成においては、縦結合フィルタ１０３，１０５と横結合フィルタ１０４の中心周波数がずれざるを得ず、従って良好なフィルタ特性は得られ難かった。 However, also in the surface acoustic wave filter device 101, in the configuration in which the end face reflection type longitudinal coupling filter and lateral coupling filter are cascade-connected using one piezoelectric substrate, the longitudinal coupling filters 103 and 105 and the lateral coupling filter 104 are connected. The center frequency has to be shifted, and therefore it is difficult to obtain good filter characteristics.

本発明の目的は、上述した従来技術の現状に鑑み、一枚の圧電基板の対向し合う一対の端面を反射端面として利用しており、該一枚の圧電基板に少なくとも１つの縦結合フィルタ及び少なくとも１つの横結合フィルタが構成されており、かつ縦続接続されている弾性表面波フィルタ装置であって、縦結合フィルタの中心周波数と横結合フィルタの中心周波数とが一致されており、従って、帯域外減衰量の改善及びフィルタ特性の急峻性を効果的に高め得る弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。 An object of the present invention is to use a pair of opposing end surfaces of one piezoelectric substrate as reflection end surfaces in view of the above-described state of the prior art, and at least one longitudinally coupled filter on the one piezoelectric substrate, A surface acoustic wave filter device comprising at least one lateral coupling filter and cascaded, wherein the center frequency of the longitudinal coupling filter and the center frequency of the lateral coupling filter are matched, It is an object of the present invention to provide a surface acoustic wave filter device that can effectively improve the external attenuation and enhance the steepness of filter characteristics.

本発明の他の目的は、帯域外減衰量及びフィルタ特性の急峻性を高め得るだけでなく、さらに、縦結合フィルタ及び横結合フィルタを縦続接続してなる構成を有する弾性表面波フィルタ装置において、電気抵抗の増大やインピーダンスの増大とを招くことなく、平衡入力及び／または出力型の構成を容易に実現し得る弾性表面波フィルタ装置を提供することにある。 Another object of the present invention is not only to increase out-of-band attenuation and steepness of filter characteristics, but also in a surface acoustic wave filter device having a configuration in which a longitudinal coupling filter and a lateral coupling filter are connected in cascade. An object of the present invention is to provide a surface acoustic wave filter device that can easily realize a balanced input and / or output type configuration without causing an increase in electrical resistance and an increase in impedance.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置は、少なくとも１つの縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ（縦結合フィルタ）と、少なくとも１つの横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ（横結合フィルタ）とが縦続接続されており、前記縦結合フィルタ及び横結合フィルタが表面波伝搬方向と直交する方向に並べられて同一圧電基板上に構成されており、前記縦結合フィルタ及び横結合フィルタが、それぞれ、少なくとも１つのＩＤＴを有し、端面位置がＩＤＴの端部から２本目の電極指の中心と端面との間の距離である場合、前記縦結合フィルタにおける端面位置が０．５λ₁（但し、λ₁は、縦結合フィルタのＩＤＴにおける電極指ピッチ）以外とされており、かつ前記横結合フィルタの端面位置が０．５λ₂（但し、λ₂は、横結合フィルタのＩＤＴの電極指ピッチ）以外とされており、表面波伝搬方向と直交する方向において隣接する縦結合フィルタ及び横結合フィルタの各一方の端面が、前記圧電基板を一度に切断することにより形成されており、かつ面一とされていることを特徴とする。 A surface acoustic wave filter device according to the present invention includes at least one longitudinally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter (longitudinal coupling filter) and at least one laterally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter (laterally coupled filter). Are connected in cascade, and the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter are arranged on the same piezoelectric substrate in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction, and the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter are When each has at least one IDT and the end face position is the distance between the center and the end face of the second electrode finger from the end of the IDT, the end face position in the longitudinal coupling filter is 0.5λ ₁ (however, , lambda _1, the vertical coupling being other than the electrode finger pitch) of the IDT of the filter, and the position of the end face of the transversely coupled filter 0.5 [lambda ₂ (where, lambda _2, the horizontal The other end face of the longitudinally coupled filter and laterally coupled filter adjacent to each other in the direction orthogonal to the surface wave propagation direction cuts the piezoelectric substrate at a time. It is formed and is flush.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置では、前記縦結合フィルタ及び横結合フィルタの中心周波数が一致している。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the center frequencies of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter coincide with each other.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のある特定の局面では、前記縦結合フィルタの中心周波数の端面位置依存性曲線と、前記横結合フィルタの中心周波数の端面位置依存性曲線との交点が、前記縦結合フィルタ及び横結合フィルタの各端面位置とされている。 In a specific aspect of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, an intersection of an end surface position dependency curve of the center frequency of the longitudinally coupled filter and an end surface position dependency curve of the center frequency of the laterally coupled filter is Each end face position of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter is set.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置の他の特定の局面では、前記縦結合フィルタの電極指ピッチλ₁と、前記横結合フィルタの電極指ピッチλ₂とが等しい。 In another specific aspect of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the electrode finger pitch λ ₁ of the longitudinally coupled filter is equal to the electrode finger pitch λ ₂ of the laterally coupled filter.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記縦結合フィルタの電極指ピッチλ₁と、前記横結合フィルタの電極指ピッチλ₂とが異なっている。 In still another specific aspect of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the electrode finger pitch λ ₁ of the longitudinally coupled filter is different from the electrode finger pitch λ ₂ of the laterally coupled filter.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに別の特定の局面では、前記縦結合フィルタの端面位置が０．５１λ₁以上、０．６０λ₁以下、かつ前記横結合フィルタの端面位置が０．５８λ₂以上、０．８５λ₂以下である。 In still another specific aspect of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the end face position of the longitudinally coupled filter is 0.51λ ₁ or more and 0.60λ ₁ or less, and the end face position of the laterally coupled filter is 0.58λ. ₂ or more and 0.85λ ₂ or less.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさらに他の特定の局面では、前記縦結合フィルタ及び横結合フィルタが縦続接続されている構成において、前記縦結合フィルタの入出力端子の一方が平衡信号端子とされている。 In still another specific aspect of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, in the configuration in which the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter are cascaded, one of the input / output terminals of the longitudinal coupling filter is a balanced signal terminal. Has been.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置のさら別の特定の局面では、前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ａが、ｘ−０．１≦ａ≦ｘ＋０．１を満たし、横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ｂがｙ−０．１≦ｂ≦ｙ＋０．１を満たし、ｘ，ｙが下記の式（１）及び（２）を満たすように構成されている。 In yet another specific aspect of the surface acoustic wave filter device according to the present invention, an end face position a of the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter satisfies x−0.1 ≦ a ≦ x + 0.1, The end face position b of the laterally coupled end face reflection type resonator multimode filter satisfies y−0.1 ≦ b ≦ y + 0.1, and x and y satisfy the following expressions (1) and (2). ing.

Ｄ₂（ｙ−０．５）＋Ｖ₂／λ₂＝Ｄ₁（ｘ−０．５）＋Ｖ₁／λ₁…（１）
２ｙλ₂＋Ｎ₂λ₂＝２ｘλ₁＋Ｎ₁λ₁＋Ｇλ₁…（２）
但し、λ₁：縦結合フィルタの電極指ピッチ（μｍ）、Ｖ₁：縦結合フィルタ設計時の基板音速（ｍ／秒）、Ｄ₁：縦結合フィルタの端面位置による中心周波数の変化率（ＭＨｚ／λ）、Ｎ₁：縦結合フィルタの対数、Ｇ：縦結合フィルタの結合長であるＩＤＴ−ＩＤＴ間ギャップで隣接する電極指間中心距離（λ₁）、λ₂：横結合フィルタの電極指ピッチ（μｍ）、Ｖ₂：横結合フィルタ設計時の基板の音速（ｍ／秒）、Ｄ₂：横結合フィルタの端面位置による中心周波数の変化率（ＭＨｚ／λ）、Ｎ₂：横結合フィルタの対数
好ましくは、前記縦結合フィルタの端面位置ａがｘ−０．０５≦ａ≦ｘ＋０．０５の範囲にあり、横結合フィルタの端面位置ｂがｙ−０．０５≦ｂ≦ｙ＋０．０５の範囲にある。 D ₂ (y−0.5) + V ₂ / λ ₂ = D ₁ (x−0.5) + V ₁ / λ ₁ (1)
2yλ ₂ + N ₂ λ ₂ = 2xλ ₁ + N ₁ λ ₁ + Gλ ₁ (2)
Where λ _{1 is} the electrode finger pitch (μm) of the longitudinal coupling filter, V _{1 is} the substrate sound speed (m / second) when designing the longitudinal coupling filter, and D _{1 is} the change rate of the center frequency depending on the end face position of the longitudinal coupling filter (MHz). / Λ), N ₁ : Logarithm of longitudinal coupling filter, G: Center distance (λ ₁ ) between adjacent electrode fingers in the IDT-IDT gap which is the coupling length of the longitudinal coupling filter, λ ₂ : Electrode finger of lateral coupling filter Pitch (μm), V ₂ : sound velocity (m / sec) of substrate when designing lateral coupling filter, D ₂ : rate of change of center frequency depending on end face position of lateral coupling filter (MHz / λ), N ₂ : lateral coupling filter Preferably, the end face position a of the longitudinal coupling filter is in the range of x−0.05 ≦ a ≦ x + 0.05, and the end face position b of the horizontal coupling filter is y−0.05 ≦ b ≦ y + 0.05. Is in range.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置では、圧電基板上に少なくとも１つの縦結合フィルタ及び少なくとも１つの横結合フィルタが縦続接続されるように構成されており、かつ上記縦結合フィルタ及び横結合フィルタの反射端面が、同一圧電基板の一対の対向し合う端面により構成されている弾性表面波フィルタ装置において、縦結合フィルタの端面位置が０．５λ₁以外とされており、横結合フィルタの端面位置が０．５λ₂以外とされており、表面波伝搬方向と直交する方向において隣接する縦結合フィルタ及び横結合フィルタの各一方の端面が、上記圧電基板を一度に切断することにより形成されており、かつ面一とされている。従って、縦結合フィルタにおいて、端面位置を０．５λ₁以外とすることができるため、λ₁＝λ₂として縦結合フィルタの中心周波数と、横結合フィルタの中心周波数とを等しくすることができる。よって、帯域外減衰量の拡大及びフィルタ特性の急峻性の向上を効果的に図ることが可能となる。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, at least one longitudinally coupled filter and at least one laterally coupled filter are cascade-connected on a piezoelectric substrate, and the longitudinally coupled filter and the laterally coupled filter are not connected. reflection end surface, in the surface acoustic wave filter device which is constituted by the end faces mutually pair of opposed identical piezoelectric substrate, an end surface position of the longitudinally coupled filter are other than 0.5 [lambda _1, the end surface position of the transversely coupled filter 0.5 [lambda ₂ except a are, each one end face of the longitudinally coupled filter and transversely coupled filters adjacent in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction, are formed by cutting the piezoelectric substrate at a time, And it is considered to be the same. Accordingly, since the end face position can be set to other than 0.5λ _{1 in the} longitudinal coupling filter, the center frequency of the longitudinal coupling filter and the center frequency of the lateral coupling filter can be made equal by setting λ ₁ = λ ₂ . Therefore, it is possible to effectively increase the attenuation amount outside the band and improve the steepness of the filter characteristics.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置においては、縦結合フィルタの中心周波数の端面位置依存性曲線と、横結合フィルタの中心周波数の端面位置依存性曲線との交点が、縦結合フィルタ及び横結合フィルタの各端面位置となるように縦結合フィルタ及び横結合フィルタが構成されている。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the intersection between the end face position dependency curve of the center frequency of the longitudinally coupled filter and the end face position dependency curve of the center frequency of the laterally coupled filter is the longitudinally coupled filter and laterally coupled filter. The vertical coupling filter and the horizontal coupling filter are configured so as to be at the respective end face positions.

従って、縦結合フィルタの中心周波数と、横結合フィルタの中心周波数を容易に一致させることができ、かつ本発明に従って良好な帯域外減衰量及びフィルタ特性の急峻性の向上を図ることができる。 Therefore, the center frequency of the longitudinal coupling filter and the center frequency of the lateral coupling filter can be easily matched, and good out-of-band attenuation and steepness of filter characteristics can be improved according to the present invention.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置において、縦結合フィルタの電極指ピッチλ₁と、横結合フィルタの電極指ピッチλ₂とが等しい場合には、横結合フィルタよりも縦結合フィルタの中心周波数を容易に一致させることができる。もっとも、本発明においては、縦結合フィルタの電極指ピッチλ₁と、横結合フィルタの電極指ピッチλ₂とは異なっていてもよく、その場合においても、端面位置の制御により、縦結合フィルタの中心周波数と、横結合フィルタの中心周波数とを一致させることができる。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, when the electrode finger pitch λ ₁ of the longitudinal coupling filter is equal to the electrode finger pitch λ ₂ of the lateral coupling filter, the center frequency of the longitudinal coupling filter is set to be higher than that of the lateral coupling filter. Can be easily matched. However, in the present invention, an electrode finger pitch lambda ₁ longitudinally coupled filter may be different from the electrode finger pitch lambda ₂ of transversely coupled filter, also in this case, the control of the end face position, the longitudinally coupled filter The center frequency can be matched with the center frequency of the lateral coupling filter.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置において、前記縦結合フィルタの端面位置が０．５１λ₁以上、０．６０λ₁以下、かつ前記横結合フィルタの端面位置が０．５８λ₂以上、０．８５λ₂以下である場合には、帯域外減衰量を４５ｄＢ以上に大きくすることができる。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the end face position of the longitudinal coupling filter is 0.51λ ₁ or more and 0.60λ ₁ or less, and the end face position of the lateral coupling filter is 0.58λ ₂ or more, 0.85λ _2. If it is below, the out-of-band attenuation can be increased to 45 dB or more.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置において、前記縦結合フィルタ及び横結合フィルタが縦続接続されている構成において、前記縦結合フィルタの入出力端子の一方が平衡信号端子とされている場合には、横結合フィルタの電極構造をする必要がないため、容易に平衡入力及び／または出力型の弾性表面波フィルタ装置を提供することができる。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, in the configuration in which the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter are cascaded, when one of the input / output terminals of the longitudinal coupling filter is a balanced signal terminal, Since there is no need for a laterally coupled filter electrode structure, a balanced input and / or output type surface acoustic wave filter device can be easily provided.

すなわち、電気抵抗の増大やインピーダンスの増大を招くことなく、本発明に従って帯域外減衰量の拡大及びフィルタ特性の急峻性が高められた、平衡入力及び／または出力型の弾性表面波フィルタ装置を提供することができる。 That is, the present invention provides a balanced input and / or output type surface acoustic wave filter device in which expansion of out-of-band attenuation and steepness of filter characteristics are enhanced according to the present invention without causing an increase in electrical resistance or impedance. can do.

本発明に係る弾性表面波フィルタ装置において、前記縦結合フィルタの端面位置ａが、ｘ−０．１≦ａ≦ｘ＋０．１の範囲にあり、横結合フィルタの端面位置ｂがｙ−０．１≦ｂ≦ｙ＋０．１の範囲にあり、ｘ，ｙが上述した式（１）及び（２）を満たすように構成されている場合には、縦結合フィルタと横結合フィルタの中心周波数を一致させることのできる端面位置の範囲を設定できるので、帯域内リップルが小さく、急峻な特性のフィルタとすることができる。 In the surface acoustic wave filter device according to the present invention, the end face position a of the longitudinally coupled filter is in the range of x−0.1 ≦ a ≦ x + 0.1, and the end face position b of the laterally coupled filter is y−0.1. If it is in the range of ≦ b ≦ y + 0.1 and x and y are configured to satisfy the above-mentioned formulas (1) and (2), the center frequencies of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter are matched. Since the range of the end face position that can be set can be set, the in-band ripple is small and the filter can have a steep characteristic.

特に、前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ａがｘ−０．０５≦ａ≦ｘ＋０．０５の範囲にあり、横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ｂがｙ−０．０５≦ｂ≦ｙ＋０．０５の範囲にある場合には、縦結合フィルタと横結合フィルタの中心周波数を一致させることのできる端面位置の範囲を精度よく設定できるので、帯域内リップルがより小さく、急峻な特性のフィルタとすることができる。 In particular, the end face position a of the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter is in the range of x−0.05 ≦ a ≦ x + 0.05, and the end face position b of the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter. Is in the range of y−0.05 ≦ b ≦ y + 0.05, the end face position range in which the center frequencies of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter can be matched can be accurately set. Is smaller and a filter having a steep characteristic can be obtained.

以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。 Hereinafter, the present invention will be clarified by describing specific embodiments of the present invention.

本明細書において、トータルピッチとは、横結合フィルタにおいては、ＩＤＴの一方の端部から２本目の電極指の中心と、他方の端部から２本目の電極指の中心との間の距離にλ₂を加えた値である。他方、縦結合フィルタでは、第１のＩＤＴ側の端面から、該ＩＤＴの該ＩＤＴに近い端面から２本目の電極指の中心と、第２のＩＤＴの該ＩＤＴ側の端面から２本目の電極指の中心との間の距離にλ₁を加えた値である。 In this specification, the total pitch is the distance between the center of the second electrode finger from one end of the IDT and the center of the second electrode finger from the other end in the lateral coupling filter. is a value obtained by adding the lambda _2. On the other hand, in the longitudinal coupling filter, the center of the second electrode finger from the end surface near the IDT of the IDT and the second electrode finger from the end surface of the second IDT on the IDT side are arranged. Is a value obtained by adding λ ₁ to the distance from the center of

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置を示す平面図である。弾性表面波フィルタ装置１では、矩形板上の圧電基板２が用いられている。圧電基板２は、本実施形態では、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスにより構成されている。もっとも、圧電基板２は、圧電セラミックスだけでなく、ＬｉＮｂＯ₃やＬｉＴａＯ₃などの圧電単結晶により構成されていてもよい。 FIG. 1 is a plan view showing a surface acoustic wave filter device according to a first embodiment of the present invention. In the surface acoustic wave filter device 1, a piezoelectric substrate 2 on a rectangular plate is used. In this embodiment, the piezoelectric substrate 2 is made of a lead zirconate titanate ceramic. However, the piezoelectric substrate 2 may be made of not only piezoelectric ceramics but also a piezoelectric single crystal such as LiNbO ₃ or LiTaO ₃ .

圧電基板２上に複数の電極構造を形成することにより、縦結合フィルタ３、横結合フィルタ４及び縦結合フィルタ５が、表面波伝搬方向と直交する方向にこの順序で構成されている。縦結合フィルタ３、横結合フィルタ４及び縦結合フィルタ５は、縦続接続されている。 By forming a plurality of electrode structures on the piezoelectric substrate 2, the longitudinal coupling filter 3, the lateral coupling filter 4, and the longitudinal coupling filter 5 are configured in this order in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction. The longitudinal coupling filter 3, the lateral coupling filter 4, and the longitudinal coupling filter 5 are connected in cascade.

縦結合フィルタ３は、表面波伝搬方向に沿って配置された第１のＩＤＴ６と、第２のＩＤＴ７とを有する。第１のＩＤＴ６は、櫛歯電極６ａ，６ｂを有する。櫛歯電極６ａ，６ｂが、平衡入力端子とされている。 The longitudinally coupled filter 3 has a first IDT 6 and a second IDT 7 arranged along the surface wave propagation direction. The first IDT 6 includes comb electrodes 6a and 6b. The comb electrodes 6a and 6b are balanced input terminals.

第２のＩＤＴ７は、櫛歯電極７ａ，７ｂを有する。櫛歯電極７ａが、アース電位に、櫛歯電極７ｂが横結合フィルタ４に接続されている。 The second IDT 7 has comb electrodes 7a and 7b. The comb-tooth electrode 7 a is connected to the ground potential, and the comb-tooth electrode 7 b is connected to the lateral coupling filter 4.

本実施形態では、横結合フィルタ４は、表面波伝搬方向と直交する方向に配置された第１，第２のＩＤＴ９，１０を有する。ＩＤＴ９は、縦結合フィルタ３の櫛歯電極７ｂに電気的に接続されている。ＩＤＴ９，１０は、横結合されており、ＩＤＴ１０の一端が、縦結合フィルタ５に接続されている。縦結合フィルタ５は、第１，第２のＩＤＴ１１，１２を有する。ＩＤＴ１１は、櫛歯電極１１ａ，１１ｂを有し、櫛歯電極１１ａが、ＩＤＴ１０に電気的に接続されている。櫛歯電極１１ｂは、アース電位に接続されている。第２のＩＤＴ１２は、櫛歯電極１２ａ，１２ｂを有する。櫛歯電極１２ａ，１２ｂは、平衡出力端子を構成している。従って、弾性表面波フィルタ装置１は、平衡入力信号端子及び平衡出力信号端子を有する。 In the present embodiment, the lateral coupling filter 4 has first and second IDTs 9 and 10 arranged in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction. The IDT 9 is electrically connected to the comb electrode 7 b of the longitudinal coupling filter 3. The IDTs 9 and 10 are laterally coupled, and one end of the IDT 10 is connected to the longitudinally coupled filter 5. The longitudinal coupling filter 5 includes first and second IDTs 11 and 12. The IDT 11 includes comb-tooth electrodes 11a and 11b, and the comb-tooth electrode 11a is electrically connected to the IDT 10. The comb electrode 11b is connected to the ground potential. The second IDT 12 includes comb electrodes 12a and 12b. The comb-tooth electrodes 12a and 12b constitute balanced output terminals. Therefore, the surface acoustic wave filter device 1 has a balanced input signal terminal and a balanced output signal terminal.

本実施形態では、縦結合フィルタ３、横結合フィルタ４及び縦結合フィルタ５はＡｌからなる電極材料を用いて構成されている。縦結合フィルタ３，５及び横結合フィルタ４は具体的には、以下のように構成されている。 In this embodiment, the longitudinal coupling filter 3, the lateral coupling filter 4, and the longitudinal coupling filter 5 are configured using an electrode material made of Al. Specifically, the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the lateral coupling filter 4 are configured as follows.

（縦結合フィルタ３）
第１のＩＤＴ６の電極指の対数＝２１対、第２のＩＤＴ７の電極指の対数＝２９対、ＩＤＴ６，７における電極指交叉幅＝５．０λ₁、ＩＤＴ間隔（ＩＤＴ６，７の隣接する電極指中心間距離）＝０．３１λ₁、λ₁＝４４．８２μｍ
（横結合フィルタ４）
ＩＤＴ９，１０における電極指交叉幅＝１．３４λ₂、ＩＤＴ９，１０との結合長＝０．３λ₂、λ₂＝４４．８２μｍ
（縦結合フィルタ５）
第１のＩＤＴ１１の電極指の対数＝２９対、第２のＩＤＴ１２の電極指の対数＝２１対、ＩＤＴ１１，１２の電極指交叉幅＝５．０λ₁、ＩＤＴ間間隔（ＩＤＴ１１，１２間の間隔＝０．３１λ₁、λ₁＝４４．８２μｍ
上記のように、本実施形態では、縦結合フィルタ３，５におけるＩＤＴの電極指ピッチλ₁と、横結合フィルタ４におけるＩＤＴの電極指ピッチλ₂とが等しくされている。 (Vertical coupling filter 3)
The number of electrode fingers of the first IDT 6 = 21 pairs, the number of electrode fingers of the second IDT 7 = 29 pairs, the electrode finger crossing width at the IDTs 6 and 7 = 5.0λ ₁ , the IDT interval (adjacent electrodes of the IDTs 6 and 7 (Distance between finger centers) = 0.31λ ₁ , λ ₁ = 44.82 μm
(Horizontal coupling filter 4)
Crossing width of electrode fingers at IDTs 9 and 10 = 1.34λ ₂ , coupling length with IDTs 9 and 10 = 0.3λ ₂ , λ ₂ = 44.82 μm
(Vertical coupling filter 5)
The number of electrode fingers of the _first IDT 11 = 29 pairs, the number of electrode fingers of the second IDT 12 = 21 pairs, the electrode finger crossing width of the IDTs 11 and ₁₂ = 5.0λ ₁ , the IDT interval (the interval between the IDTs 11 and 12 = 0.31λ ₁ , λ ₁ = 44.82 μm
As described above, in this embodiment, the electrode finger pitch λ ₁ of the IDT in the vertical coupling filters 3 and 5 and the electrode finger pitch λ ₂ of the IDT in the horizontal coupling filter 4 are made equal.

上記λ₁とλ₂と、ＩＤＴの電極指の対数とから計算される縦結合フィルタ３，５及び横結合フィルタ４におけるトータルピッチは以下の通りとなる。 The total pitch in the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the lateral coupling filter 4 calculated from the above λ ₁ and λ ₂ and the logarithm of the electrode finger of the IDT is as follows.

縦結合フィルタ３，５におけるトータルピッチ＝２２５４．８９４２μｍ、横結合フィルタ４におけるトータルピッチ＝２２４１μｍ
従って、縦結合フィルタ３，５におけるトータルピッチに比べて、横結合フィルタ４におけるトータルピッチが１３．８９４２μｍ小さい。そのため、横結合フィルタ４におけるＩＤＴ９，１０の最外側の電極指は、縦結合フィルタ３，５の最外側の電極指に比べて約６．９μｍ内側に位置されることになる。 Total pitch in the longitudinal coupling filters 3 and 5 = 2254.8942 μm, total pitch in the lateral coupling filter 4 = 2241 μm
Therefore, the total pitch in the horizontal coupling filter 4 is 13.8942 μm smaller than the total pitch in the vertical coupling filters 3 and 5. For this reason, the outermost electrode fingers of the IDTs 9 and 10 in the horizontal coupling filter 4 are positioned about 6.9 μm inside compared to the outermost electrode fingers of the vertical coupling filters 3 and 5.

上記のように、本実施形態では、縦結合フィルタ３，５の電極指ピッチλ₁と、横結合フィルタ４の電極指ピッチλ₂とが等しく、従って、縦結合フィルタ３，５の端面位置は、横結合フィルタ４の端面位置に比べてＩＤＴ−ＩＤＴ間の間隔だけ短くなる。λ₁＝λ₂であるため、λ₁＝λ₂＝λとすると、例えば、横結合フィルタの端面位置が０．７２５λである場合、縦結合フィルタ３，５の端面位置は、縦結合フィルタ３，５におけるＩＤＴ−ＩＤＴ間隔が０．３１λであるため、０．７２５λ−０．３１λ／２＝０．５７λとなる。 As described above, in this embodiment, the electrode finger pitch λ _{1 of} the longitudinal coupling filters 3 and 5 is equal to the electrode finger pitch λ ₂ of the lateral coupling filter 4, and therefore the end face position of the longitudinal coupling filters 3 and 5 is Compared with the end face position of the lateral coupling filter 4, the distance between IDT and IDT is shortened. Since λ ₁ = λ ₂ , assuming that λ ₁ = λ ₂ = λ, for example, when the end face position of the lateral coupling filter is 0.725λ, the end face positions of the longitudinal coupling filters 3 and 5 are the longitudinal coupling filter 3. , 5 is 0.31λ, so that 0.725λ−0.31λ / 2 = 0.57λ.

本実施形態では、縦結合フィルタ３，５の中心周波数と、横結合フィルタ４の中心周波数とが一致するように、圧電基板２のダイシング位置が調整される。すなわち、圧電基板２をダイシングし、１回の切断により端面２ａまたは端面２ｂを切り出し、該切り出された端面２ａ，２ｂの位置が制御されていることにより縦結合フィルタ３，５の中心周波数と、横結合フィルタ４の中心周波数とが一致されている。上記のように、縦結合フィルタ３，５における端面位置を制御するように、ダイシングを行なえばよい。 In the present embodiment, the dicing position of the piezoelectric substrate 2 is adjusted so that the center frequency of the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the center frequency of the lateral coupling filter 4 coincide. That is, the piezoelectric substrate 2 is diced, the end face 2a or the end face 2b is cut by one cutting, and the positions of the cut end faces 2a and 2b are controlled, whereby the center frequencies of the longitudinally coupled filters 3 and 5; The center frequency of the lateral coupling filter 4 is matched. As described above, dicing may be performed so as to control the end face position in the longitudinal coupling filters 3 and 5.

また、本願発明者は上記弾性表面波フィルタ装置、縦結合フィルタ及び横結合フィルタにおいて前記端面位置で、中心周波数が変化し、縦結合フィルタと横結合フィルタとでその変化率が異なることを見出した。これを図２を参照して説明する。 In addition, the inventor of the present application has found that the center frequency changes at the end face position in the surface acoustic wave filter device, the longitudinal coupling filter, and the lateral coupling filter, and the rate of change differs between the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter. . This will be described with reference to FIG.

図２の□で示された点を結んだ曲線は、本実施形態で用いられている１つの縦結合フィルタ３の中心周波数の端面位置依存性を示す曲線であり、△で示された点を結んだ曲線は、横結合フィルタ４の中心周波数の端面位置依存性を示す曲線である。なお、図２の横軸は、横結合フィルタ４の端面位置のスケールである。すなわち、縦結合フィルタ３及び横結合フィルタ４のいずれにおいても、端面位置が変化した場合、中心周波数が変化することがわかる。そして、□で示された点を結んだ曲線と、△で示された点を結んだ曲線とが横結合フィルタ４の端面位置０．７２５λで交叉していることがわかる。すなわち、端面位置が０．７２５λである場合に、縦結合フィルタと横結合フィルタの中心周波数が一致することがわかる。横結合フィルタ４の従って、端面位置を０．７２５λとするように縦結合フィルタ３，５及び横結合フィルタ４の端面を圧電基板２から切り出せばよい。 A curve connecting points indicated by □ in FIG. 2 is a curve indicating the end surface position dependency of the center frequency of one longitudinally coupled filter 3 used in the present embodiment, and the point indicated by Δ is The connected curve is a curve showing the dependence of the center frequency of the lateral coupling filter 4 on the end face position. 2 is a scale of the end face position of the horizontal coupling filter 4. The horizontal axis in FIG. That is, it can be seen that, in both the longitudinal coupling filter 3 and the lateral coupling filter 4, the center frequency changes when the end face position changes. Then, it can be seen that the curve connecting the points indicated by □ intersects the curve connecting the points indicated by Δ at the end face position 0.725λ of the lateral coupling filter 4. That is, it can be seen that when the end face position is 0.725λ, the center frequencies of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter match. Accordingly, the end surfaces of the longitudinally coupled filters 3 and 5 and the laterally coupled filter 4 may be cut out from the piezoelectric substrate 2 so that the end surface position of the laterally coupled filter 4 is 0.725λ.

また、図２の◆で示された点を結んだ曲線は、上記実施例の弾性表面波フィルタ装置において、横結合フィルタの端面位置を変化させた場合の中心周波数の変化を示す図である。◆で示された点を結んだ曲線においても横結合フィルタ４の端面位置が０．７２５λの場合に、中心周波数は、縦結合フィルタ単独及び横結合フィルタ単独の場合の端面位置の０．７２５λの場合と同じになっていることがわかる。 A curve connecting points indicated by ◆ in FIG. 2 is a diagram showing a change in the center frequency when the end face position of the lateral coupling filter is changed in the surface acoustic wave filter device of the above embodiment. Also in the curve connecting the points indicated by ◆, when the end face position of the lateral coupling filter 4 is 0.725λ, the center frequency is 0.725λ of the end face position in the case of the longitudinal coupling filter alone and the lateral coupling filter alone. It turns out that it is the same as the case.

また、図３は、端面位置と３ｄＢ帯域幅との関係を示す図である。３ｄＢ帯域幅とは、減衰量が３ｄＢ以内の通過帯域の幅をいうものとする。図３において、□で示された点を結んだ曲線が縦結合フィルタ単独の場合の３ｄＢの帯域幅の変化を、△で示された点を結んだ曲線が横結合フィルタ単独の場合の結果を、◆で示された点を結んだ曲線が、上記実施形態に従って３段構成の弾性表面波フィルタ装置を構成した場合の結果を示す。 FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the end face position and the 3 dB bandwidth. The 3 dB bandwidth refers to the width of the pass band with an attenuation of 3 dB or less. In FIG. 3, the change in the bandwidth of 3 dB when the curve connecting the points indicated by □ is the vertical coupling filter alone, and the result when the curve connecting the points indicated by Δ is the horizontal coupling filter alone. The curve connecting the points indicated by ♦ indicates the result when a surface acoustic wave filter device having a three-stage configuration is configured according to the above embodiment.

図３から明らかなように、横結合フィルタの帯域幅の端面位置依存性曲線と、縦結合フィルタと横結合フィルタが縦続接続された実施例１のフィルタの帯域幅の端面位置依存性曲線とが交差しており、横結合フィルタの帯域幅より、この縦続接続フィルタの帯域幅が大きくなる端面位置の範囲があり、縦結合フィルタと横結合フィルタの中心周波数が一致する端面位置０．７２５λがこの範囲内に含まれることがわかる。この範囲内においては、１つの横結合フィルタより縦結合フィルタと横結合フィルタが縦続接続されたフィルタの方が広い帯域幅が得られるので、上記端面位置範囲は端面位置の好ましい範囲である。 As is clear from FIG. 3, the end face position dependency curve of the bandwidth of the lateral coupling filter and the end face position dependency curve of the bandwidth of the filter of the first embodiment in which the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter are connected in cascade are as follows. There is a range of end face positions where the bandwidth of this cascade connection filter is larger than the bandwidth of the lateral coupling filter, and the end face position 0.725λ where the center frequencies of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter coincide is this It can be seen that it falls within the range. Within this range, the end face position range is a preferred range of end face positions because a wider bandwidth is obtained with a filter in which a longitudinally coupled filter and a laterally coupled filter are cascade-connected than with one laterally coupled filter.

上記のように横結合フィルタ４の端面位置が０．７２５λとなるように、圧電基板の端面を切り出せば縦結合フィルタ３，５と横結合フィルタ４の中心周波数が一致し、従って、リップルの少ない良好なフィルタ特性を得ることがわかる。 If the end face of the piezoelectric substrate is cut out so that the end face position of the lateral coupling filter 4 becomes 0.725λ as described above, the center frequencies of the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the lateral coupling filter 4 coincide with each other. It can be seen that good filter characteristics are obtained.

これを図４を参照して説明する。 This will be described with reference to FIG.

図４は、縦結合フィルタ３，５及び横結合フィルタ４の端面位置を、上記実施形態に従って横結合フィルタ４の端面位置を０．７２５λとした場合のフィルタ波形と、端面位置を、０．７８λ、０．６９λ及び０．６５λとしたときの各フィルタ波形を示す。なお、いずれの端面位置も横結合フィルタ４についての端面位置であるが、横結合フィルタの端面位置に基づいて、縦結合フィルタの端面位置を表すことができる。すなわち、前述したように、横結合フィルタの端面位置が０．７２５λの場合には、縦結合フィルタの端面位置は０．５７λとなる。 FIG. 4 shows the filter waveform when the end face positions of the longitudinally coupled filters 3 and 5 and the laterally coupled filter 4 are 0.725λ according to the above embodiment, and the end face position is 0.78λ. Each filter waveform when 0.69λ and 0.65λ are set. Note that any end face position is the end face position of the horizontal coupling filter 4, but the end face position of the vertical coupling filter can be expressed based on the end face position of the horizontal coupling filter. That is, as described above, when the end face position of the lateral coupling filter is 0.725λ, the end face position of the vertical coupling filter is 0.57λ.

図４から明らかなように、横結合フィルタの端面位置が０．７２５λである場合、リップルが少ない良好なフィルタ波形が得られることがわかる。 As can be seen from FIG. 4, when the position of the end face of the lateral coupling filter is 0.725λ, a good filter waveform with little ripple can be obtained.

すなわち、本実施形態では、縦結合フィルタ３，５の中心周波数の端面位置依存性曲線と、横結合フィルタ４の中心周波数の端面位置依存性曲線との交点である横結合フィルタの端面位置を採用することによりリップルの少ない良好なフィルタ波形が得られることがわかる。 That is, in the present embodiment, the end face position of the lateral coupling filter that is the intersection of the end face position dependency curve of the center frequency of the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the end face position dependency curve of the center frequency of the lateral coupling filter 4 is employed. It can be seen that a good filter waveform with little ripple can be obtained.

本実施形態では、表面波フィルタ素子の２つの端面を反射端面としているが、基板の表面から厚み方向に中途まで切込んだ反射端面を、素子端面とは別に素子端面の内側に形成してもよい。このようにすると、素子をパッケージにダイボンディングする時に、吸着コレットにより端面が傷つくのを防止できる。 In the present embodiment, the two end faces of the surface acoustic wave filter element are reflection end faces. However, the reflection end face that is cut halfway in the thickness direction from the surface of the substrate may be formed inside the element end face separately from the element end face. Good. In this way, it is possible to prevent the end face from being damaged by the suction collet when the element is die-bonded to the package.

次に、弾性表面波フィルタ装置１において、縦結合フィルタ３，５の電極指ピッチλ₁と、横結合フィルタ４の電極指ピッチλ₂とを異ならせたことを除いては、弾性表面波フィルタ装置１と同様にして、種々の弾性表面波フィルタ装置を作製した。ここでは、λ₂／λ₁の比を０．９９２、０．９９６、１．０、１．００４及び１．００８と変化させた５種類の弾性表面波フィルタ装置を作製した。そして、作製された弾性表面波フィルタ装置の横結合フィルタにおける端面位置をさらに種々異ならせ、特性を評価した。 Next, in the surface acoustic wave filter device 1, the electrode finger pitch lambda ₁ longitudinally coupled filter 3, 5, with the exception that was different from the electrode finger pitch lambda ₂ of the lateral coupling filter 4, the surface acoustic wave filter Various surface acoustic wave filter devices were produced in the same manner as the device 1. Here, five types of surface acoustic wave filter devices were produced in which the ratio of λ ₂ / λ ₁ was changed to 0.992, 0.996, 1.0, 1.004, and 1.008. And the end surface position in the horizontal coupling filter of the produced surface acoustic wave filter apparatus was further varied, and the characteristics were evaluated.

図５は、上記のように、λ₂／λ₁が０．９９２（Ａ１）、０．９９６（Ａ２）、１．０（Ａ３）、１．００４（Ａ４）及び１．００８（Ａ５）の各弾性表面波フィルタ装置における横結合フィルタの端面位置と、３ｄＢ帯域幅との関係を示す図である。 FIG. 5 shows that λ ₂ / λ ₁ is 0.992 (A1), 0.996 (A2), 1.0 (A3), 1.004 (A4), and 1.008 (A5) as described above. It is a figure which shows the relationship between the end surface position of the horizontal coupling filter in each surface acoustic wave filter apparatus, and 3 dB bandwidth.

図５から、λ₂／λ₁が変化した場合、帯域幅の広くなる端面位置も変化する。これはλ₂／λ₁を変化させることで、最適な端面位置が変化することを示している。 From FIG. 5, when λ ₂ / λ ₁ changes, the end face position where the bandwidth becomes wider also changes. This indicates that the optimum end face position changes by changing λ ₂ / λ ₁ .

また、図６は、縦結合フィルタ及び横結合フィルタの電極指の総対数を５０対から３３対に変更し、または上記と同様にしてλ₂／λ₁が０．９９２（Ｂ１）、０．９９６（Ｂ２）、１．０（Ｂ３）、１．００４（Ｂ４）及び１．００８（Ｂ５）の各弾性表面波フィルタ装置を作製し、さらに横結合フィルタの端面位置を変化させて、特性を測定した結果を示す。図６の縦軸は３ｄＢ帯域幅を示し、横軸は端面位置を示す。 In FIG. 6, the total number of electrode fingers of the longitudinal coupling filter and lateral coupling filter is changed from 50 pairs to 33 pairs, or λ ₂ / λ ₁ is 0.992 (B1), 0. Each surface acoustic wave filter device of 996 (B2), 1.0 (B3), 1.004 (B4), and 1.008 (B5) is manufactured, and the end face position of the lateral coupling filter is changed to change the characteristics. The measurement results are shown. The vertical axis in FIG. 6 indicates the 3 dB bandwidth, and the horizontal axis indicates the end face position.

図６から明らかなように、電極指の総対数が３３対である縦結合フィルタ３，５や横結合フィルタ４を用いた場合においても、λ₂／λ₁が変化すると、帯域幅の広くなる端面位置も変化する。これはλ₂／λ₁を変化させることで、最適な端面位置が変化することを示している。 As is apparent from FIG. 6, even when the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the lateral coupling filter 4 having a total number of electrode fingers of 33 pairs are used, the bandwidth becomes wider as λ ₂ / λ ₁ changes. The end face position also changes. This indicates that the optimum end face position changes by changing λ ₂ / λ ₁ .

また、図７は、上記総電極指の対数が３３対である縦結合フィルタ３，５及び横結合フィルタ４を用いた弾性表面波フィルタ装置における横結合フィルタの端面位置を変化させた場合の帯域外減衰量の変化を示す図である。なお、図７のＢ１〜Ｂ５は、図６におけるＢ１〜Ｂ５と同じ意味である。 FIG. 7 shows a band when the position of the end face of the lateral coupling filter in the surface acoustic wave filter device using the longitudinal coupling filters 3 and 5 and the lateral coupling filter 4 having 33 pairs of total electrode fingers is changed. It is a figure which shows the change of external attenuation amount. Note that B1 to B5 in FIG. 7 have the same meanings as B1 to B5 in FIG.

図７から明らかなようにλ₂／λ₁の値によって異なるが、λ₂／λ₁がいずれの値の場合にも、端面位置を選択することにより、帯域外減衰量を大きく改善し得ることがわかる。この大きな帯域外減衰量の得られる端面位置が、図６の３ｄＢ帯域幅が広くできる端面位置と一致するための、好ましい端面位置範囲が存在することを以下に説明する。 It varies depending apparent to lambda ₂ / lambda ₁ value from 7, in the case of lambda ₂ / lambda ₁ is any value, by selecting the end face position, it can greatly improve the out-of-band attenuation I understand. It will be described below that there is a preferable end face position range in which the end face position at which this large out-of-band attenuation is obtained matches the end face position in FIG. 6 where the 3 dB bandwidth can be widened.

例えば、図６のＢ３の場合は、横結合フィルタの端面位置が０．６５λ₂〜０．６７λ₂で、縦続接続表面波フィルタの広い帯域幅が得られる。この横結合フィルタの端面位置が０．６５λ₂〜０．６７λ₂では、図７に示されているように、縦続接続表面波フィルタにおいて４５〜６０ｄＢの大きな帯域外減衰量が得られる。しかし、図７から明らかなように、端面位置を小さくする方向にダイシング位置がずれると、帯域外減衰量が急激に悪化することがわかる。また、縦結合の端面位置は０．４８〜０．５０となるため、断線し易い。そこで、Ｂ３ではなく、Ｂ４のように横結合フィルタの端面位置を０．６１λ₂〜０．６６λ₂にする。このＢ４では、帯域幅が５５０ｋＨｚ以上と広くなり、帯域外減衰量は６０ｄＢ以上となる。仮に端面位置を小さくする方向にダイシング位置がずれたとしても、帯域外減衰量が急激に悪化することはなく、安定した減衰量が得られる。ここで、横結合フィルタの端面位置が０．６５λ₂〜０．６７λ₂から０．６１λ₂〜０．６６λ₂に小さくされているのは、縦結合フィルタのピッチはそのままで、横結合フィルタのピッチを大きくしたのでλ₂／λ₁＝１．００４となり、その結果、周波数が合致する端面位置が変わったことによる。 For example, in the case of B3 in FIG. 6, the end face position of the lateral coupling filter is 0.65λ _{2 to} 0.67λ ₂ , and a wide bandwidth of the cascaded surface wave filter can be obtained. When the end face position of the lateral coupling filter is 0.65λ _{2 to} 0.67λ ₂ , a large out-of-band attenuation of 45 to 60 dB is obtained in the cascaded surface wave filter as shown in FIG. However, as is clear from FIG. 7, it can be seen that when the dicing position is shifted in the direction of decreasing the end face position, the out-of-band attenuation is rapidly deteriorated. Further, since the end face position of the longitudinal coupling is 0.48 to 0.50, it is easy to break. Accordingly, the B3 without the position of the end face of the transversely coupled filter 0.61λ _₂ ~0.66λ ₂ as B4. In B4, the bandwidth is as wide as 550 kHz or more, and the out-of-band attenuation is 60 dB or more. Even if the dicing position is shifted in the direction of decreasing the end face position, the out-of-band attenuation amount does not deteriorate rapidly, and a stable attenuation amount can be obtained. Here, the position of the end face of the transversely coupled filter is reduced from 0.65λ _₂ ~0.67λ ₂ to 0.61λ _₂ ~0.66λ _2, the pitch of the longitudinally coupled filter as it, the transversely coupled filter Since the pitch is increased, λ ₂ / λ ₁ = 1.004, and as a result, the end face position where the frequency matches is changed.

付随効果として、λ₂／λ₁＝１．００４としたとき、横結合フィルタの端面位置が０．６１λ₂〜０．６６λ₂で、これに対応して縦結合フィルタの端面位置は０．５１λ₁〜０．５６λ₁となり、端面の電極指幅が広くなる。従って、チッピングによる端面電極指の断線の心配がなく、それによる特性変動も生じ難い。 As an incidental effect, when λ ₂ / λ ₁ = 1.004, the end face position of the lateral coupling filter is 0.61λ _{2 to} 0.66λ ₂ , and the end face position of the longitudinal coupling filter is 0.51λ corresponding to this. _{1 to} 0.56λ ₁ , and the electrode finger width on the end face is increased. Therefore, there is no fear of disconnection of the end face electrode fingers due to chipping, and characteristic fluctuations are less likely to occur.

図８は、λ₂／λ₁を変化させたときに、リップルが小さい特性が得られる端面位置を示した図である。リップルが小さい特性を得るには、１つの横結合フィルタの帯域幅よりも２つの縦結合フィルタと１つの横結合フィルタとを縦続接続した弾性表面波フィルタ装置全体の帯域幅の方が広くなることが必要である。すなわち、縦結合フィルタの帯域内に横結合フィルタの帯域内が含まれるときに、良好な特性が得られる。さらに、縦結合フィルタの中心周波数と横結合フィルタの中心周波数とを一致させると、より優れた特性が得られる。 FIG. 8 is a diagram showing the end face position at which a characteristic with a small ripple is obtained when λ ₂ / λ ₁ is changed. In order to obtain a small ripple characteristic, the bandwidth of the entire surface acoustic wave filter device in which two longitudinally coupled filters and one laterally coupled filter are cascade-connected becomes wider than the bandwidth of one laterally coupled filter. is required. That is, good characteristics can be obtained when the band of the horizontal coupling filter is included in the band of the vertical coupling filter. Furthermore, if the center frequency of the longitudinally coupled filter and the center frequency of the laterally coupled filter are matched, more excellent characteristics can be obtained.

特に、下記の式（１），（２）により、縦結合フィルタと横結合フィルタの中心周波数を一致させることのできる端面位置の範囲の中心値を設定できるので、それによって、帯域内リップルが小さく、急峻な特性のフィルタを容易に得ることができる。 In particular, the center value of the end face position range in which the center frequencies of the longitudinal coupling filter and the lateral coupling filter can be matched can be set by the following formulas (1) and (2), thereby reducing the in-band ripple. A filter having a steep characteristic can be easily obtained.

Ｄ₂（ｙ−０．５）＋Ｖ₂／λ₂＝Ｄ₁（ｘ−０．５）＋Ｖ₁／λ₁…（１）
２ｙλ₂＋Ｎ₂λ₂＝２ｘλ₁＋Ｎ₁λ₁＋Ｇλ₁…（２）
但し、λ₁：縦結合フィルタの電極指ピッチ（μｍ）、Ｖ₁：縦結合フィルタ設計時の基板音速（ｍ／秒）、Ｄ₁：縦結合フィルタの端面位置による中心周波数の変化率（ＭＨｚ／λ）、Ｎ₁：縦結合フィルタの対数、Ｇ：縦結合フィルタの結合長であるＩＤＴ−ＩＤＴ間ギャップで隣接する電極指中心間距離（λ₁）、λ₂：横結合フィルタの電極指ピッチ（μｍ）、Ｖ₂：横結合フィルタ設計時の基板の音速（ｍ／秒）、Ｄ₂：横結合フィルタの端面位置による中心周波数の変化率（ＭＨｚ／λ）、Ｎ₂：横結合フィルタの対数。 D ₂ (y−0.5) + V ₂ / λ ₂ = D ₁ (x−0.5) + V ₁ / λ ₁ (1)
2yλ ₂ + N ₂ λ ₂ = 2xλ ₁ + N ₁ λ ₁ + Gλ ₁ (2)
Where λ _{1 is} the electrode finger pitch (μm) of the longitudinal coupling filter, V _{1 is} the substrate sound speed (m / second) when designing the longitudinal coupling filter, and D _{1 is} the change rate of the center frequency depending on the end face position of the longitudinal coupling filter (MHz). / Λ), N ₁ : logarithm of longitudinal coupling filter, G: distance between electrode finger centers adjacent to IDT-IDT gap which is coupling length of longitudinal coupling filter (λ ₁ ), λ ₂ : electrode finger of lateral coupling filter Pitch (μm), V ₂ : sound velocity (m / sec) of substrate when designing lateral coupling filter, D ₂ : rate of change of center frequency depending on end face position of lateral coupling filter (MHz / λ), N ₂ : lateral coupling filter Logarithm of

図９は、第１の実施形態に係る第１の弾性表面波フィルタ装置の減衰量周波数特性を示す図である。また、図９において、比較のために、縦結合フィルタ３を３段縦続接続した場合のフィルタ特性、並びに横結合フィルタを３段縦続接続した場合のフィルタ特性を併せて示す。 FIG. 9 is a diagram showing attenuation frequency characteristics of the first surface acoustic wave filter device according to the first embodiment. For comparison, FIG. 9 also shows the filter characteristics when the vertical coupling filter 3 is cascaded in three stages and the filter characteristics when the horizontal coupling filter is cascaded in three stages.

図９から明らかなように、上記実施形態の弾性表面波フィルタ装置では、横結合フィルタを３段接続した構成に比べて広帯域であり帯域外減衰量が大きい、かつ縦結合フィルタを３段接続した弾性表面波フィルタ装置に比べて帯域近傍の減衰量が大きく、急峻性のよい良好なフィルタ特性の得られることがわかる。 As is clear from FIG. 9, the surface acoustic wave filter device of the above embodiment has a wide band and a large out-of-band attenuation compared to a configuration in which three horizontal coupling filters are connected, and three vertical coupling filters are connected. It can be seen that, compared with the surface acoustic wave filter device, the attenuation in the vicinity of the band is large, and good filter characteristics with good steepness can be obtained.

なお、上述してきた実施形態では、２個の縦結合フィルタと、１個の横結合フィルタとが縦続接続されていたが、本発明は、少なくとも１つの縦結合フィルタと、少なくとも１つの横結合フィルタとが縦続接続されている様々な弾性表面波フィルタ装置に適応することができる。 In the embodiment described above, two longitudinally coupled filters and one laterally coupled filter are cascaded. However, the present invention provides at least one longitudinally coupled filter and at least one laterally coupled filter. Can be applied to various surface acoustic wave filter devices connected in cascade.

本発明の一実施形態に係る弾性表面波フィルタ装置の平面図。1 is a plan view of a surface acoustic wave filter device according to an embodiment of the present invention. 端面位置を変化させた場合の横結合フィルタ、縦結合フィルタ及び３段縦続接続型弾性表面波フィルタ装置の各中心周波数の変化を示す図。The figure which shows the change of each center frequency of a lateral coupling filter, a longitudinal coupling filter, and a three-stage cascade connection type surface acoustic wave filter apparatus when an end surface position is changed. 端面位置を変化させた場合の横結合フィルタ、縦結合フィルタ及び３段縦続接続構成の弾性表面波フィルタ装置の３ｄＢ帯域幅の変化を示す図。The figure which shows the change of 3 dB bandwidth of the surface acoustic wave filter apparatus of a horizontal coupling filter, a longitudinal coupling filter, and a three-stage cascade connection structure when an end surface position is changed. 端面位置を変化させた場合の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ波形を示す図。The figure which shows the filter waveform of the surface acoustic wave filter apparatus at the time of changing an end surface position. λ₂／λ₁が０．９９２、０．９９６、１．０、１．００４及び１．００８であり、かつ各フィルタの電極指の対数が５０対である３段縦続接続型の弾性表面波フィルタ装置における横結合フィルタの端面位置と３ｄＢ帯域幅との関係を示す図。Three-stage cascaded surface acoustic wave in which λ ₂ / λ ₁ is 0.992, 0.996, 1.0, 1.004, and 1.008, and the number of electrode fingers of each filter is 50 pairs The figure which shows the relationship between the end surface position of a horizontal coupling filter in a filter apparatus, and 3 dB bandwidth. λ₂／λ₁が０．９９２、０．９９６、１．０、１．００４及び１．００８であり、かつ各フィルタの電極指の対数が３３対である３段縦続接続型の弾性表面波フィルタ装置における横結合フィルタの端面位置と３ｄＢ帯域幅との関係を示す図。A three-stage cascaded surface acoustic wave in which λ ₂ / λ ₁ is 0.992, 0.996, 1.0, 1.004, and 1.008, and the number of electrode fingers of each filter is 33 pairs The figure which shows the relationship between the end surface position of a horizontal coupling filter in a filter apparatus, and 3 dB bandwidth. λ₂／λ₁が０．９９２、０．９９６、１．０、１．００４及び１．００８であり、かつ各フィルタの電極指の対数が３３対である３段縦続接続型の弾性表面波フィルタ装置における横結合フィルタの端面位置と帯域外減衰量（５４ＭＨｚ〜５５．２５ＭＨｚにおける減衰量（ｄＢ））の変化を示す図。A three-stage cascaded surface acoustic wave in which λ ₂ / λ ₁ is 0.992, 0.996, 1.0, 1.004, and 1.008, and the number of electrode fingers of each filter is 33 pairs The figure which shows the change of the end surface position of a horizontal coupling filter in a filter apparatus, and an attenuation amount (Attenuation amount (dB) in 54 MHz-55.25 MHz)). λ₂／λ₁を変化させた場合に所望の特性が得られる端面位置の範囲を示す図。The figure which shows the range of the end surface position from which a desired characteristic is acquired when (lambda) ₂ / (lambda) ₁ is changed. 図１に示した実施形態の弾性表面波フィルタ装置、比較のために用意した縦結合フィルタを３段縦続接続した弾性表面波フィルタ装置及び横結合フィルタを３段縦続接続した弾性表面波フィルタ装置の各フィルタ波形を示す図。The surface acoustic wave filter device of the embodiment shown in FIG. 1, a surface acoustic wave filter device in which three longitudinally coupled filters prepared for comparison are cascade-connected, and a surface acoustic wave filter device in which three laterally coupled filters are cascaded. The figure which shows each filter waveform. 従来の弾性表面波フィルタ装置の一例を示す平面図。The top view which shows an example of the conventional surface acoustic wave filter apparatus. 従来の弾性表面波フィルタ装置のフィルタ波形の一例を示す図。The figure which shows an example of the filter waveform of the conventional surface acoustic wave filter apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

１…弾性表面波フィルタ装置
２…圧電基板
３…縦結合フィルタ
４…横結合フィルタ
５…縦結合フィルタ
６，７…ＩＤＴ
６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂ…櫛歯電極
８ａ，８ｂ…入力端子
９，１０…ＩＤＴ
１１，１２…ＩＤＴ
１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ…櫛歯電極
１３，１４…出力端子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Surface acoustic wave filter apparatus 2 ... Piezoelectric substrate 3 ... Longitudinal coupling filter 4 ... Lateral coupling filter 5 ... Longitudinal coupling filter 6, 7 ... IDT
6a, 6b, 7a, 7b ... comb-teeth electrodes 8a, 8b ... input terminals 9, 10 ... IDT
11, 12 ... IDT
11a, 11b, 12a, 12b ... comb electrodes 13, 14 ... output terminals

Claims

少なくとも１つの縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタと、少なくとも１つの横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタとが縦続接続されており、前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタとが表面波伝搬方向と直交する方向に並べられて同一圧電基板上に構成されており、
前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタが、それぞれ、少なくとも１つのＩＤＴを有し、端面位置が、ＩＤＴの端部から２本目の電極指の中心と端面との間の距離である場合、
前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタにおける端面位置が０．５λ₁（但し、λ₁は、縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタのＩＤＴにおける電極指ピッチ）以外とされており、かつ前記横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置が０．５λ₂（但し、λ₂は、横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタのＩＤＴの電極指ピッチ）以外とされており、
表面波伝搬方向と直交する方向において隣接する縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの各一方の端面が、前記圧電基板を一度に切断することにより形成されており、かつ面一とされていることを特徴とする、弾性表面波フィルタ装置。 At least one longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter and at least one laterally coupled end face reflection type resonator multimode filter are cascade-connected, and the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter is connected And the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter are arranged on the same piezoelectric substrate in a direction orthogonal to the surface wave propagation direction,
Each of the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter and the laterally coupled end face reflection type resonator multimode filter has at least one IDT, and the end face position is the second electrode finger from the end of the IDT. Is the distance between the center and the end face of
The end face position in the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter is other than 0.5λ ₁ (where λ ₁ is the electrode finger pitch in the IDT of the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter). The end face position of the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter is other than 0.5λ ₂ (where λ ₂ is the electrode finger pitch of the IDT of the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter). And
One end face of each of the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter and the laterally coupled end face reflection type resonator multimode filter adjacent in the direction orthogonal to the surface wave propagation direction cuts the piezoelectric substrate at a time. A surface acoustic wave filter device, characterized in that the surface acoustic wave filter device is made of

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの中心周波数が一致している請求項１に記載の弾性表面波フィルタ装置。 2. The surface acoustic wave filter device according to claim 1, wherein center frequencies of the longitudinally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter and a laterally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter are the same.

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの中心周波数の端面位置依存性曲線と、前記横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの中心周波数の端面位置依存性曲線との交点が、前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの各端面位置とされている請求項１または２に記載の弾性表面波フィルタ装置。 The intersection between the end face position dependency curve of the center frequency of the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter and the end face position dependency curve of the center frequency of the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter is the above-mentioned 3. The surface acoustic wave filter device according to claim 1, wherein each of the end surface positions of the longitudinally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter and the laterally coupled end surface reflection type resonator type multimode filter is set.

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの電極指ピッチλ₁と、前記横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの電極指ピッチλ₂とが等しい、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。 The electrode finger pitch lambda ₁ of the longitudinal coupling end face reflection type resonator type multimode filter, the lateral coupling end face reflection type resonator-type multimode electrode finger pitch lambda ₂ are equal filters, any one of claims 1 to 3 2. A surface acoustic wave filter device according to item 1.

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの電極指ピッチλ₁と、前記横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの電極指ピッチλ₂とが異なっている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。 Wherein the longitudinal coupling end face reflection type resonator electrode finger pitch lambda ₁ of the multi-mode filter, the electrode finger pitch lambda ₂ of the horizontal coupling edge reflection type resonator type multimode filter is different, of claims 1 to 3 The surface acoustic wave filter device according to claim 1.

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置が０．５１λ₁以上、０．６０λ₁以下、かつ前記横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置が０．５８λ₂以上、０．８５λ₂以下であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。 The end face position of the longitudinally coupled end face reflection type resonator multi-mode filter is 0.51λ ₁ or more and 0.60λ ₁ or less, and the end face position of the laterally coupled end face reflection type resonator multi mode filter is 0.58λ ₂ or more. The surface acoustic wave filter device according to claim 1, wherein the surface acoustic wave filter device is 0.85λ ₂ or less.

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ及び横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタが縦続接続されている構成において、前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの入出力端子の一方が平衡信号端子とされている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。 In the configuration in which the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter and the laterally coupled end face reflection type resonator multimode filter are cascade-connected, input / output terminals of the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter are connected. The surface acoustic wave filter device according to any one of claims 1 to 6, wherein one is a balanced signal terminal.

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ａが、ｘ−０．１≦ａ≦ｘ＋０．１であり、横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ｂがｙ−０．１≦ｂ≦ｙ＋０．１であり、ｘ，ｙが下記の式（１）及び（２）を満たすように構成されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性表面波フィルタ装置。
Ｄ₂（ｙ−０．５）＋Ｖ₂／λ₂＝Ｄ₁（ｘ−０．５）＋Ｖ₁／λ₁…（１）
２ｙλ₂＋Ｎ₂λ₂＝２ｘλ₁＋Ｎ₁λ₁＋Ｇλ₁…（２）
但し、λ₁：縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの電極指ピッチ（μｍ）、Ｖ₁：縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ設計時の基板音速（ｍ／秒）、Ｄ₁：縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置による中心周波数の変化率（ＭＨｚ／λ）、Ｎ₁：縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの対数、Ｇ：縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの結合長であるＩＤＴ−ＩＤＴ間ギャップで隣接する電極指間中心距離（λ₁）、λ₂：横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの電極指ピッチ（μｍ）、Ｖ₂：横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタ設計時の基板の音速（ｍ／秒）、Ｄ₂：横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置による中心周波数の変化率（ＭＨｚ／λ）、Ｎ₂：横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの対数 The end face position a of the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter is x−0.1 ≦ a ≦ x + 0.1, and the end face position b of the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter is y−. The elastic surface according to claim 1, wherein 0.1 ≦ b ≦ y + 0.1, and x and y are configured to satisfy the following expressions (1) and (2): Wave filter device.
D ₂ (y−0.5) + V ₂ / λ ₂ = D ₁ (x−0.5) + V ₁ / λ ₁ (1)
2yλ ₂ + N ₂ λ ₂ = 2xλ ₁ + N ₁ λ ₁ + Gλ ₁ (2)
Where λ _{1 is} the electrode finger pitch (μm) of the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter, V _{1 is} the substrate sound velocity (m / second) when designing the longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter, D ₁ : Center frequency change rate (MHz / λ) depending on end face position of longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter, N ₁ : Logarithm of longitudinally coupled end face reflection type resonator type multimode filter, G: Longitudinal coupling end face Center distance (λ ₁ ) between adjacent electrode fingers in the IDT-IDT gap, which is the coupling length of the reflective resonator type multimode filter, λ ₂ : electrode finger pitch of the laterally coupled end face reflection type multimode filter ( μm), V ₂ : sound velocity of substrate (m / sec) when designing a laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter, D ₂ : center frequency depending on the end face position of the laterally coupled end face reflection type resonator type multimode filter. Rate of change (MHz / ), N _2: lateral coupling end face reflection type resonator type multimode logarithmic filter

前記縦結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ａがｘ−０．０５≦ａ≦ｘ＋０．０５であり、横結合端面反射型共振子型多重モードフィルタの端面位置ｂがｙ−０．０５≦ｂ≦ｙ＋０．０５である、請求項８に記載の弾性表面波フィルタ装置。
The end face position a of the longitudinally coupled end face reflection type resonator multimode filter is x−0.05 ≦ a ≦ x + 0.05, and the end face position b of the laterally coupled end face reflection type resonator multimode filter is y−0. The surface acoustic wave filter device according to claim 8, wherein .05 ≦ b ≦ y + 0.05.