JP4321665B2 - 回転角度検出装置 - Google Patents
回転角度検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4321665B2 JP4321665B2 JP2008283246A JP2008283246A JP4321665B2 JP 4321665 B2 JP4321665 B2 JP 4321665B2 JP 2008283246 A JP2008283246 A JP 2008283246A JP 2008283246 A JP2008283246 A JP 2008283246A JP 4321665 B2 JP4321665 B2 JP 4321665B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic flux
- magnet
- magnetic
- rotation angle
- axis direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
従来の回転角度検出装置の概略構造を図9(a)、(b)を参照して説明する。
回転角度検出装置は、回転軸(以下、Z軸と称す)上に配置された磁気検出素子J1 (例えば、ホールICに内蔵されるホール素子)と、この磁気検出素子J1 に向けて磁束を与える半円筒形状の磁束付与磁石J2 と、この磁束付与磁石J2 から磁気検出素子J1 に向けて与えられた磁束を吸引する半円筒形状の磁束吸引磁石J3 とを具備する。
磁束付与磁石J2 と磁束吸引磁石J3 は、円筒形状を呈したヨークJ4 の内周面に固定されたものであり、Z軸に垂直な方向の厚さ、即ち磁束付与磁石J2 と磁束吸引磁石J3 の厚みは一定であった。
一方、磁気検出素子J1 は、磁束付与磁石J2 と磁束吸引磁石J3 に囲まれた状態で支持される。
具体的には、図10(a)に示す相対回転角度(この回転角度を0°とする)から、図10(b)に示す相対回転角度(この回転角度を90°とする)へ磁束発生手段を回転させることにより、磁気検出素子J1 の磁気検出面と直交する方向の磁束密度は図11に示されるように変化する。
磁気検出素子J1 は、磁気検出面と直交する方向の磁束密度に応じた出力信号を発生するため、回転角度検出装置は、磁気検出素子J1 の出力信号に基づいて、磁束発生手段側の部材と、磁気検出素子J1 側の部材との相対回転角度を検出することができる(例えば、特許文献1〜4参照)。
上記構成を採用する従来の回転角度検出装置は、次の問題を有していた。
(1)例えば、図10(b)に示す回転角度90°の状態で、磁気検出素子J1 の設置位置が、磁気検出素子J1 の磁気不感方向(以下、X軸方向)にずれた場合、磁束付与磁石J2 および磁束吸引磁石J3 と、磁気検出素子J1 との距離が接近する。すると、図12の破線に示す理想の磁束密度(磁気検出素子J1 の設置位置がX軸方向へずれても変化のない磁束密度)に対し、図12の実線A’に示されるように、磁気検出素子J1 を通過する磁束密度が増加する。
このように、組付け時の誤差等によって、磁気検出素子J1 の設定位置がX軸方向にずれると、磁気検出素子J1 を通過する磁束密度が増加して、磁気検出素子J1 から所定以上の出力が発生し、回転角度の検出誤差が発生する。
この場合、図13に示す回転角度90°の状態で、磁気検出素子J1 の設置位置が、磁気検出素子J1 のX軸方向にずれた場合、磁束付与磁石J2 および磁束吸引磁石J3 と、磁気検出素子J1 との距離が接近する。すると、上記(1)と同様、図12の破線に示す理想の磁束密度に対し、図12の実線A’に示されるように、磁気検出素子J1 を通過する磁束密度が増加する。
このように、組付け時の誤差等によって、磁気検出素子J1 の設定位置がX軸方向にずれると、磁気検出素子J1 を通過する磁束密度が増加して、磁気検出素子J1 から所定以上の出力が発生し、回転角度の検出誤差が発生する。
請求項1の手段を採用する回転角度検出装置は、磁束付与磁石と磁束吸引磁石が、Z軸方向から見て回転方向に沿う円弧状を呈する場合、磁束付与磁石および磁束吸引磁石の少なくとも一方のZ軸方向から見た厚みを、中央が厚く、端側が薄く設けるものである。
このように設けられることにより、磁気検出素子の設置位置がX軸方向にずれた場合、端側が薄く設けられた磁石(磁束付与磁石および磁束吸引磁石の少なくとも一方)によって、ずれによる磁気検出素子を通過する磁束密度の増加をなくすことができ、結果的に回転角度の検出誤差の発生を防ぐことができる。
即ち、上記第1の目的を達成することができる。
請求項2の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石および磁束吸引磁石は、それぞれ半円筒形状を呈する1つの磁石によって構成され、磁束付与磁石と磁束吸引磁石で直径方向に分割された略円筒形状を呈するものである。
請求項3の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石および磁束吸引磁石は、それぞれ複数の磁石がZ軸方向から見て回転方向へ円弧状に並んで配置されることによって構成されるものである。
請求項4の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石、磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向から見た内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、回転軸方向から見た内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸方向から見た左右の曲率変化が異なり、左右非対称に設けられるものである。
請求項5の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石、磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向から見た外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、回転軸方向から見た内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸方向から見た左右の曲率変化が異なり、左右非対称に設けられるものである。
請求項6の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石、磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向から見た内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるとともに、回転軸方向から見た外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、回転軸方向から見た内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸方向から見た左右の曲率変化が異なり、左右非対称に設けられるものである。
請求項7の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石、磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向に沿う内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、回転軸方向に沿う内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸に直交する方向から見た磁気検出素子の設定位置の左右の曲率変化が異なり、回転軸に直交する方向から見た磁気検出素子の設定位置を基準にした左右非対称に設けられるものである。
請求項8の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石、磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向に沿う外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、回転軸方向に沿う内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸に直交する方向から見た磁気検出素子の設定位置の左右の曲率変化が異なり、回転軸に直交する方向から見た磁気検出素子の設定位置を基準にした左右非対称に設けられるものである。
請求項9の手段を採用する回転角度検出装置の磁束付与磁石、磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向に沿う内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるとともに、回転軸方向に沿う外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、回転軸方向に沿う内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸に直交する方向から見た磁気検出素子の設定位置の左右の曲率変化が異なり、回転軸に直交する方向から見た磁気検出素子の設定位置を基準にした左右非対称に設けられるものである。
この実施例に示す回転角度検出装置は、例えばスロットルバルブの回転角度(開度)を検出するためのものであり、スロットルバルブと図示しない部材を介して一体に回転するロータ1(回転部材)と、ホール素子2(磁気検出素子の一例)を内蔵するホールIC3とを備える。このホールIC3は、図示しない固定部材(非回転部材)によって支持されて、ホール素子2がロータ1のZ軸上に配置される。
この磁束発生手段5は、ホール素子2に磁束を与える磁束付与磁石6と、磁束付与磁石6からホール素子2に向けて与えられた磁束を吸引する磁束吸引磁石7とによって構成される。即ち、磁束付与磁石6の内周面がN極の極性で、磁束吸引磁石7の内周面がS極の極性を持つように配置されている。
なお、以下では、図1に示されるように、ロータ1の回転軸をZ軸とし、このZ軸と直交する方向で、且つホール素子2の磁気不感方向(磁気検出面に沿う方向)をX軸とし、上記Z軸と直交する方向で、且つホール素子2の磁気検出方向(磁気検出面に直交する方向)をY軸として説明する。
ここで、磁束付与磁石6と磁束吸引磁石7との間のエアギャップの中心がY軸方向に向くロータ1の回転角度を0°、磁束付与磁石6と磁束吸引磁石7との間のエアギャップの中心がX軸方向に向くロータ1の回転角度を90°(図1参照)とする。
即ち、図1(a)に示すように、磁束付与磁石6と磁束吸引磁石7との間のエアギャップの中心がX軸方向に向く位置(回転角度90°)の時にホール素子2の磁気検出面に直交する磁束密度が最大になり、ロータ1の回転角度が90°より増加しても、逆に90°より減少しても、回転角度に応じてホール素子2の磁気検出面に直交する磁束量が減少する。
そして、磁束付与磁石6と磁束吸引磁石7との間のエアギャップの中心がY軸方向に向く位置(回転角度0°)では、ホール素子2の磁気検出面と直交する磁束が0になる。
回転角度が−90°よりもさらにマイナス側に回転すると、回転角度に応じて磁気検出面と直交する反対方向の磁束量が減少を始め、ホール素子2を通過する逆向きの磁束密度が減少する。
スロットルバルブの開度を検出する回転角度検出装置では、微小開度(アイドリング付近)を高い精度で検出する要求があるために、磁束密度0付近をスロットルバルブの0°位置として使用する場合がある。このため、スロットルバルブの開度を検出する回転角度検出装置は、通常、回転角度0°〜90°の範囲において使用される。
即ち、回転角度検出装置の組付け誤差等によって、ホール素子2の設置位置がX軸方向へずれても磁束密度が変化しないため、回転角度の検出誤差の発生を防ぐことができる。
上記の各実施例では、半円筒形を呈する磁束付与磁石6および磁束吸引磁石7を例に示した。それに対してこの実施例2は、図5(a)に示すように、磁束付与磁石6を複数(この実施例では2つ)の磁石6aを組み合わせてZ軸方向から見て略円弧状を呈するように配置するとともに、磁束吸引磁石7も複数(この実施例では2つ)の磁石7aを組み合わせてZ軸方向から見て略円弧状を呈するように配置したものである。
即ち、実施例1と同様、回転角度検出装置の組付け誤差等によって、ホール素子2の設置位置がX軸方向へずれても磁束密度は低下しないため、回転角度の検出誤差の発生を防ぐことができる。
また、この実施例2では、磁束付与磁石6と磁束吸引磁石7の両方の厚みを変化させる例を示したが、図6に示すように、磁束付与磁石6または磁束吸引磁石7の一方のみの厚みを変化させても良い。
なお、図6では、一例として磁束付与磁石6のみの厚みを変化させる例を示したが、磁束吸引磁石7のみの厚みを変化させても良い。
(回転角度検出装置をZ軸方向から見た磁石形状の説明)
この実施例は、図7に示すように、磁束付与磁石6、磁束吸引磁石7をZ軸方向から見て、中央B1 に対して左側の外面の磁石形状の曲率E(多次曲線)と、右側の外面の磁石形状の曲率F(多次曲線)とを異ならせるとともに、中央B1 に対して左側の内面の磁石形状の曲率G(多次曲線)と、右側の内面の磁石形状の曲率H(多次曲線)とを異ならせるものである。
E=a5 Xn +b5 Xn-1 ・・・c5
F=a6 Xn +b6 Xn-1 ・・・c6
G=a7 Xn +b7 Xn-1 ・・・c7
H=a8 Xn +b8 Xn-1 ・・・c8
なお、c5 、c6 、c7 、c8 式の変数Xは、磁石のX軸方向の長さを示すものである。
このように、Z軸方向から見た磁束付与磁石6、磁束吸引磁石7の内外面の磁石形状の曲率を、左右で異ならせることにより、着磁方向のバラツキ、磁石を形成する磁性体密度のバラツキ、あるいはヨーク4を用いずに磁石のみで磁気回路を構成する場合等により、X軸に付与される磁束分布の変化を相殺することができ、X軸に付与される磁束分布を高精度で均一化できる。
(回転角度検出装置のZ軸方向に沿う磁石形状の説明)
この実施例は、図8に示すように、磁束付与磁石6、磁束吸引磁石7をX軸方向から見て、中央A1 に対して左側の外面の磁石形状の曲率I(多次曲線)と、右側の外面の磁石形状の曲率J(多次曲線)とを異ならせるとともに、中央A1 に対して左側の内面の磁石形状の曲率K(多次曲線)と、右側の内面の磁石形状の曲率L(多次曲線)とを異ならせるものである。
I=a9 Zn +b9 Zn-1 ・・・c9
J=a10Zn +b10Zn-1 ・・・c10
K=a11Zn +b11Zn-1 ・・・c11
L=a12Zn +b12Zn-1 ・・・c12
なお、c9 、c10、c11、c12式の変数Zは、磁石のZ軸方向の長さを示すものである。
このように、X軸方向から見た磁束付与磁石6、磁束吸引磁石7の内外面の磁石形状の曲率を、左右で異ならせることにより、着磁方向のバラツキ、磁石を形成する磁性体密度のバラツキ、あるいはヨーク4を用いずに磁石のみで磁気回路を構成する場合等により、Z軸に付与される磁束分布の変化を相殺することができ、Z軸に付与される磁束分布を高精度で均一化できる。
上記の実施例では、固定部材を固定し、ロータ1を回転させた例を示したが、逆にロータ1に相当する部材を固定し、磁気検出素子(実施例ではホール素子2を内蔵するホールIC3)を支持する部材を回転させる構造を採用しても良い。言い換えれば、磁気検出素子を回転させ、磁束付与磁石6および磁束吸引磁石7を固定して磁気検出素子の出力から回転角度を検出しても良い。
上記の実施例では、回転角度検出装置の具体的な一例としてスロットルバルブの開度を検出する例を示したが、産業ロボットのアーム部の回転角度等、他の回転角度を検出するように設けても良い。
上記の実施例では、磁束付与磁石6と磁束吸引磁石7の外側周囲にヨーク4を設置した例を示したが、ヨーク4をなくした構成でも良い。
2 ホール素子(磁気検出素子)
3 ホールIC
4 ヨーク
5 磁束発生手段
6 磁束付与磁石
7 磁束吸引磁石
A1 磁束付与磁石および磁束吸引磁石のZ軸方向の中央
A2 磁束付与磁石および磁束吸引磁石のZ軸方向の端
B1 Z軸方向から見た磁束付与磁石および磁束吸引磁石の中央
B2 Z軸方向から見た磁束付与磁石および磁束吸引磁石の端
Claims (9)
- 回転軸上に配置された磁気検出素子と、
この磁気検出素子の両側に距離を隔てて対向配置され、前記磁気検出素子に向けて磁束を与える磁束付与磁石、およびこの磁束付与磁石から前記磁気検出素子に向けて与えられた磁束を吸引する磁束吸引磁石を備える磁束発生手段と、を具備し、
前記磁気検出素子と前記磁束発生手段の相対回転角度の変化を、前記磁気検出素子を通過する磁束密度によって検出する回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石と前記磁束吸引磁石が、回転軸方向から見て回転方向に沿う円弧状を呈する場合、
前記磁束付与磁石および前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向から見た厚みが、中央が厚く、端側が薄く設けられることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1に記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石および前記磁束吸引磁石は、それぞれ半円筒形状を呈する1つの磁石によって構成され、前記磁束付与磁石と前記磁束吸引磁石で直径方向に分割された略円筒形状を呈することを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1に記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石および前記磁束吸引磁石は、それぞれ複数の磁石が回転軸方向から見て回転方向へ円弧状に並んで配置されることによって構成されることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石、前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向から見て前記磁気検出素子が配置される側の内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、
回転軸方向から見た内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸方向から見た左右の曲率変化が異なり、左右非対称に設けられることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石、前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向から見て前記磁気検出素子が配置される側とは異なった側の外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、
回転軸方向から見た内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸方向から見た左右の曲率変化が異なり、左右非対称に設けられることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石、前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、
回転軸方向から見て前記磁気検出素子が配置される側の内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるとともに、
回転軸方向から見て前記磁気検出素子が配置される側とは異なった側の外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、
回転軸方向から見た内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸方向から見た左右の曲率変化が異なり、左右非対称に設けられることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石、前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向に沿う前記磁気検出素子が配置される側の内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、
回転軸方向に沿う内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸に直交する方向から見た前記磁気検出素子の設定位置の左右の曲率変化が異なり、回転軸に直交する方向から見た前記磁気検出素子の設定位置を基準にした左右非対称に設けられることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石、前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、回転軸方向に沿う前記磁気検出素子が配置される側とは異なった側の外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、
回転軸方向に沿う内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸に直交する方向から見た前記磁気検出素子の設定位置の左右の曲率変化が異なり、回転軸に直交する方向から見た前記磁気検出素子の設定位置を基準にした左右非対称に設けられることを特徴とする回転角度検出装置。 - 請求項1〜請求項3のいずれかに記載の回転角度検出装置において、
前記磁束付与磁石、前記磁束吸引磁石の少なくとも一方は、
回転軸方向に沿う前記磁気検出素子が配置される側の内面が、多次曲線を有する曲面に設けられるとともに、
回転軸方向に沿う前記磁気検出素子が配置される側とは異なった側の外面が、多次曲線を有する曲面に設けられるものであり、
回転軸方向に沿う内面、外面の少なくとも一方の多次曲線は、回転軸に直交する方向から見た前記磁気検出素子の設定位置の左右の曲率変化が異なり、回転軸に直交する方向から見た前記磁気検出素子の設定位置を基準にした左右非対称に設けられることを特徴とする回転角度検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008283246A JP4321665B2 (ja) | 2003-03-31 | 2008-11-04 | 回転角度検出装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003096737 | 2003-03-31 | ||
JP2008283246A JP4321665B2 (ja) | 2003-03-31 | 2008-11-04 | 回転角度検出装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004028085A Division JP4269961B2 (ja) | 2003-03-31 | 2004-02-04 | 回転角度検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009025317A JP2009025317A (ja) | 2009-02-05 |
JP4321665B2 true JP4321665B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=40397213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008283246A Expired - Fee Related JP4321665B2 (ja) | 2003-03-31 | 2008-11-04 | 回転角度検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4321665B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011076716B4 (de) | 2010-06-02 | 2021-09-30 | Denso Corporation | Drehwinkeldetektor |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4941847B2 (ja) * | 2009-10-05 | 2012-05-30 | 株式会社デンソー | 回転角検出装置 |
JP6287772B2 (ja) * | 2014-11-18 | 2018-03-07 | 株式会社デンソー | 液面検出装置 |
JP2018072022A (ja) * | 2016-10-25 | 2018-05-10 | クノールブレムゼ商用車システムジャパン株式会社 | 回転検出装置、ギアシフトユニット及びトランスミッションシステム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH085312A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Nippondenso Co Ltd | 半導体回転角度センサ |
JP3605968B2 (ja) * | 1996-10-30 | 2004-12-22 | 株式会社デンソー | 回転角センサ |
JP4291936B2 (ja) * | 2000-07-12 | 2009-07-08 | カヤバ工業株式会社 | 回転角度センサ |
JP3726698B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2005-12-14 | アイシン精機株式会社 | 角度センサ |
JP2003084007A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-19 | Takechi Kogyo Gomu Co Ltd | 回転方向検出装置 |
-
2008
- 2008-11-04 JP JP2008283246A patent/JP4321665B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011076716B4 (de) | 2010-06-02 | 2021-09-30 | Denso Corporation | Drehwinkeldetektor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009025317A (ja) | 2009-02-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4269961B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
US7030606B2 (en) | Angular sensor with a magneto-electric transducer and a magnetic deflection device | |
JP4720233B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
US6879150B2 (en) | Magnetic position sensor | |
JP4079043B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
US7154262B2 (en) | Rotation angle detecting device | |
JP4543932B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP4204294B2 (ja) | 回転角検出装置 | |
JP4321665B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP2007263585A (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP2004028809A (ja) | アクチュエータ | |
JPH11344394A (ja) | トルクセンサ | |
JPWO2005040730A1 (ja) | 回転角検出装置 | |
WO2017022469A1 (ja) | 相対位置検出装置、アクセルポジションセンサ及び車両 | |
JP4233920B2 (ja) | 回転角度検出装置 | |
JP4219826B2 (ja) | 回転角検出装置 | |
JP3758174B2 (ja) | 非接触型位置センサ | |
KR20000070595A (ko) | 회전각도를 접촉없이 감지할 수 있는 측정장치 | |
JP2009162742A (ja) | 回転角検出装置及びそれに好適なシザーズギア | |
JP3891045B2 (ja) | 回転角検出装置 | |
JP2008128752A (ja) | 非接触型角度センサ | |
JPH11344391A (ja) | トルクセンサ | |
JP2017049127A (ja) | 磁場検出装置及び回転検出装置 | |
KR20040001880A (ko) | 자기 위치 센서 | |
JP2005091013A (ja) | 磁気式ロータリポジションセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081104 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090203 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090512 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090525 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140612 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |