JP4314472B2 - Method for grinding outer peripheral surface of annular article - Google Patents

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Description

本発明は、環状物品の外周面の研削加工方法に関し、特に、例えば超薄肉の転がり軸受の内輪軌道面など、薄肉の環状物品の外周面を高精度に研削加工する方法に関する。   The present invention relates to a method for grinding an outer peripheral surface of an annular article, and more particularly, to a method for grinding an outer peripheral surface of a thin annular article with high accuracy, such as an inner ring raceway surface of an ultra-thin rolling bearing.

転がり軸受の内輪の軌道面など、環状物品の外周面の研削加工方法の一つに、シュー型心無し研削、あるいはシューセンタレス、更にはマイクロセントリック方式などと称される加工方法が知られている（例えば特許文献１参照）。   As one of grinding methods for the outer peripheral surface of an annular article such as the raceway surface of the inner ring of a rolling bearing, there is known a processing method called shoe-type centerless grinding, shoe centerless, or even a microcentric method. (For example, refer to Patent Document 1).

このシュー型心無し研削方式は、図４に正面図を、図５に平面図を例示するように、被加工物である環状物品Ｗ（以下、ワークＷと称する）の一端面をバッキングプレート４１に当接させるとともに、外周面を２つのシュー４２，４３で支持する。各シュー４２，４２の位置は、ワークＷの中心ＯW がバッキングプレート４１の回転中心ＯR に対して図４において右下方にずれた位置、つまり図中Δx ，Δy で示すオフセット量をもって位置するように設定される。 In this shoe-type centerless grinding method, as shown in FIG. 4 as a front view and FIG. 5 as a plan view, one end surface of an annular article W (hereinafter referred to as a workpiece W) as a workpiece is attached to a backing plate 41. And the outer peripheral surface is supported by the two shoes 42 and 43. The position of each shoe 42 and 42, the position the center O W is shifted in lower right in FIG. 4 with respect to the rotation center O R of the backing plate 41 of the workpiece W, i.e. in the figure delta x, with the amount of offset indicated by delta y Set to be located.

また、バッキングプレート４１は電磁力によりワークＷを吸着するようになっており、その電磁力でワークＷをバッキングプレート４１に引き付けた状態で当該バッキングプレート４１を図４において時計回りに回転させることによって、ワークＷは２つのシュー４２，４３の間に吸い込まれ、安定して位置決めされた状態で回転する。その状態で砥石４４に切り込みを与えることにより、ワークＷの外周面が高精度に研削加工される   Further, the backing plate 41 attracts the workpiece W by electromagnetic force, and the backing plate 41 is rotated clockwise in FIG. 4 while the workpiece W is attracted to the backing plate 41 by the electromagnetic force. The workpiece W is sucked between the two shoes 42 and 43, and rotates in a stably positioned state. By cutting the grindstone 44 in this state, the outer peripheral surface of the workpiece W is ground with high accuracy.

なお、ワークＷを電磁力によりバッキングプレート４１に引き付けることに代えて、ワークＷを２つのロールによりバッキングプレート４１に対して押し付けても、同等の作用を得ることができる。
特開平１１−３４７８９０号公報 In addition, instead of attracting the workpiece W to the backing plate 41 by electromagnetic force, an equivalent action can be obtained by pressing the workpiece W against the backing plate 41 by two rolls.
JP 11-347890 A

ところで、以上のようなシュー型心無し研削においては、上記したようにワークＷの中心とバッキングプレート４１の回転中心との間にオフセットΔx ，Δy を与えることによって、ワークＷが安定して２つのシュー４２，４３に対して押し付けられて回転し、高精度の加工が可能となるのであるが、例えば超薄肉の転がり軸受の内輪の軌道面を研削する場合など、ワークＷの肉厚が薄い場合、良好な真円度が得られない場合があるという問題があった。これは、シュー４２，４３に対する押し付け力によってワークＷが弾性変形し、その弾性変形状態で回転して研削加工されるためである。 By the way, in the shoe-type centerless grinding as described above, the workpiece W is stabilized by providing the offsets Δ x and Δ y between the center of the workpiece W and the rotation center of the backing plate 41 as described above. Although it is pressed against the two shoes 42 and 43 to rotate and high-precision processing is possible, the thickness of the workpiece W is, for example, when grinding the raceway surface of the inner ring of an ultra-thin rolling bearing. When the thickness is small, there is a problem that good roundness may not be obtained. This is because the workpiece W is elastically deformed by the pressing force against the shoes 42 and 43, and is rotated and ground in the elastically deformed state.

本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、超薄肉の転がり軸受の内輪軌道面の研削加工など、薄肉の環状物品であっても、サイクルタイムを冗長化することなく、シュー型心無し研削により安定して良好な真円度のもとにその外周面を研削加工することのできる方法の提供をその課題としている。 The present invention has been made in view of such circumstances, and even if it is a thin annular article such as a grinding process of an inner ring raceway surface of an ultra-thin rolling bearing , the shoe type is made without making cycle time redundant. An object of the present invention is to provide a method capable of grinding the outer peripheral surface stably and with good roundness by centerless grinding.

上記の課題を解決するため、本発明の環状物品の外周面の研削加工方法は、被加工物である環状物品の一端面をバッキングプレートに当接させ、かつ、その外周面を２つのシューで支持するとともに、その各シューの位置を、上記バッキングプレートの回転中心と環状物品の中心とが所定のオフセット量をもってずれるように設定した状態で、電磁力により環状物品をバッキングプレートに引き付けながら、もしくはロールにより環状物品をバッキングプレートに押し付けながら当該バッキングプレートを回転させることにより、環状物品を２つのシューに押し付けつつ回転させた状態で、砥石によりその外周面を研削加工する方法において、上記２つのシューの位置を上記設定のもとに粗研削加工を行った後、上記オフセット量をなくするように当該２つのシューを移動させ、そのシューの移動に伴う環状物品の中心の移動量相当分だけ、砥石に急速な切り込み送りを付与した後、仕上げ研削加工を行うことによって特徴づけられる（請求項１）。 In order to solve the above-mentioned problems, the grinding method of the outer peripheral surface of the annular article of the present invention is such that one end surface of the annular article that is the workpiece is brought into contact with the backing plate, and the outer peripheral surface is made of two shoes. While supporting, the position of each shoe is set so that the center of rotation of the backing plate and the center of the annular article are offset with a predetermined offset amount, while attracting the annular article to the backing plate by electromagnetic force, or In the method of grinding the outer peripheral surface with a grindstone while rotating the annular article while pressing the annular article against the two shoes by rotating the annular article against the backing plate by a roll, the two shoes After rough grinding with the above position set as above, eliminate the offset amount Moving the urchin the two shoes, movement amount equivalent of the center of the annular article with the movement of the shoe, after applying the rapid incision feed the grindstone, characterized by performing the increase grinding specification (according Item 1).

ここで、本発明において、オフセット量をなくするように２つのシューを移動させる、とは、オフセット量が真の意味でゼロとなるようにシューを移動させるほか、オフセット量がゼロに近づくようにシューを移動させる、つまりオフセット量がゼロ近傍となるまでシューを移動させる場合をも含む。   Here, in the present invention, moving the two shoes so as to eliminate the offset amount means that the shoe is moved so that the offset amount becomes zero in a true sense, and that the offset amount approaches zero. This includes the case where the shoe is moved, that is, the shoe is moved until the offset amount is close to zero.

そして、本発明は、電磁力による吸着もしくはロールの押圧による環状物品のバッキングプレートへの押し付け力を、粗研削工程よりも上記仕上げ研削工程で大きくする構成（請求項２）を好適に採用することができる。   And this invention employs suitably the structure (Claim 2) which makes the pressing force to the backing plate of the cyclic | annular article by the adsorption | suction by electromagnetic force or the press of a roll to the backing plate in the said finish grinding process rather than a rough grinding process. Can do.

本発明は、通常のシュー型心無し研削により粗研削加工を行った後、仕上げ研削加工については、ワーク（環状物品）の中心とバッキングプレートの回転中心とが一致する向きに２つのシューを移動させた状態で行うことで、粗研削工程においてオフセット量を付与して２つのシュー間にワークを押し付ける力によるワークの弾性変形に起因する真円度の悪化を、仕上げ研削工程において解消しようとするものである。   In the present invention, after performing rough grinding by normal shoe-type centerless grinding, two shoes are moved in the direction in which the center of the workpiece (annular article) and the center of rotation of the backing plate coincide with each other for finish grinding. By doing so, the offset amount is given in the rough grinding process and the roundness deterioration due to the elastic deformation of the work due to the force pressing the work between the two shoes is to be solved in the finish grinding process. Is.

すなわち、粗研削工程では、従来と同様に所定のオフセット量を付与して研削を行い、ワークの弾性変形に起因して生じている歪を、オフセット量をゼロないしはゼロ近傍として行う仕上げ研削工程によって除去し、高い真円度に仕上げる。ここで、仕上げ研削工程においては、粗研削工程に比して切り込み速度を遅くするために研削抵抗は小さく、オフセット量をゼロまたはその近傍として、主として電磁力による吸着もしくはロールによる押圧によりワークをバッキングプレートおよび２つのシューで位置決めした状態で研削加工を行っても、特に問題は生じない。あるいは、仕上げ研削工程における切り込み速度を、ワークのバッキングプレートに対するオフセット量をゼロまたはその近傍として研削加工を行ってもワークの位置決め状態を保つことのできる程度の速度に設定すればよい。   That is, in the rough grinding process, grinding is performed with a predetermined offset amount applied as in the past, and the distortion caused by the elastic deformation of the workpiece is performed by a finish grinding process in which the offset amount is set to zero or near zero. Remove and finish to high roundness. Here, in the finish grinding process, the grinding resistance is small in order to make the cutting speed slower than in the rough grinding process, and the offset amount is zero or in the vicinity thereof, and the workpiece is backed mainly by adsorption by electromagnetic force or pressing by a roll. Even if grinding is performed with the plate and the two shoes positioned, no particular problem occurs. Alternatively, the cutting speed in the finish grinding process may be set to a speed at which the workpiece positioning state can be maintained even when grinding is performed with the offset amount of the workpiece with respect to the backing plate being zero or in the vicinity thereof.

ここで、オフセット量をなくするように２つのシューを移動させると、ワークは砥石から離隔する向きに移動し、ワークと砥石との間に空隙が生じる。そこで、本発明においては、その空隙を埋めるようにシューの移動に伴うワークの中心の移動量相当分だけ砥石に急速な切り込みを与える。これにより、本発明を適用したが故に生じるエアカットによるサイクルタイムの冗長化を抑制することができる。Here, when the two shoes are moved so as to eliminate the offset amount, the work moves in a direction away from the grindstone, and a gap is generated between the work and the grindstone. Therefore, in the present invention, the grindstone is rapidly cut by an amount corresponding to the movement amount of the center of the work accompanying the movement of the shoe so as to fill the gap. Thereby, redundancy of cycle time due to air cut caused by applying the present invention can be suppressed.

そして、請求項２に係る発明のように、仕上げ研削工程において、電磁力による吸着もしくはロールの押圧によるワークのバッキングプレートへの押し付け力を粗研削工程に比して大きくすることにより、オフセット量をゼロもしくはその近傍としても、切り込み速度を極端に遅くすることなくワークの位置決め状態を維持することが可能となり、仕上げ研削工程の所要時間が長くなることを防止し、この点においてもサイクルタイムが長くなることを防止することができる。 Then, as in the invention according to claim 2, in the finish grinding process, the offset force is increased by increasing the pressing force of the workpiece against the backing plate by the electromagnetic force or the pressing of the roll as compared with the rough grinding process. Even at zero or in the vicinity thereof, the workpiece positioning can be maintained without extremely slowing the cutting speed , preventing an increase in the time required for the finish grinding process. Can be prevented.

本発明によれば、超薄肉の転がり軸受の内輪の軌道面など、弾性変形しやすい環状物品であっても、シュー型心無し研削法によって高い真円度に安定して研削加工することができる。しかも、オフセット量をゼロまたはその近傍としたことに伴うワークの移動量相当分だけ、仕上げ研削工程の前に砥石に急速な切り込み送りを与えるので、エアカットに起因してサイクルタイムが長くなることを抑制することができる。 According to the present invention, even an annular article that is easily elastically deformed, such as an inner ring raceway surface of an ultra-thin rolling bearing, can be stably ground to a high roundness by a shoe-type centerless grinding method. it can. In addition, the cycle time is prolonged due to the air cut because a rapid cutting feed is given to the grindstone before the finish grinding process by an amount equivalent to the amount of workpiece movement associated with setting the offset amount to zero or in the vicinity thereof. Can be suppressed.

また、請求項２に係る発明のように、仕上げ研削工程で環状物品のバッキングプレートに対する押し付け力を強くすることにより、オフセット量をゼロまたはその近傍とした状態でも、ある程度以上の速度で切り込みを与えてもワークの位置決め状態を保つことができ、サイクルタイムが長くなることが防止することができる。   Further, as in the invention according to claim 2, by increasing the pressing force of the annular article against the backing plate in the finish grinding process, the cutting is given at a speed of a certain level or more even when the offset amount is zero or in the vicinity thereof. However, the workpiece positioning state can be maintained, and the cycle time can be prevented from becoming long.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１および図２は本発明に係る研削方法の説明図であり、図１は粗研削工程の状態を示す要部正面図であり、図２は仕上げ研削工程の状態を示す要部正面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 and 2 are explanatory views of a grinding method according to the present invention. FIG. 1 is a front view of a main part showing a state of a rough grinding process. FIG. 2 is a front view of a main part showing a state of a finish grinding process. is there.

環状物品であるワークＷは、その一端面がバッキングプレート１に当接し、外周面がフロントシュー２およびリアシュー３の２つのシューに支持されることによって位置決めされ、砥石４に切り込み送りを与えることによって、その外周面が研削加工される。   The workpiece W, which is an annular article, is positioned by its one end surface being in contact with the backing plate 1 and its outer peripheral surface being supported by the two shoes of the front shoe 2 and the rear shoe 3, and by giving a cutting feed to the grindstone 4. The outer peripheral surface is ground.

バッキングプレート１は主軸に固定されて回転が与えられ、また、その後方に設けられている電磁コイル（図示せず）に電流を流すことによって電磁力が発生し、ワークＷを吸着できるようになっている。   The backing plate 1 is fixed to the main shaft to be rotated, and an electromagnetic force is generated by passing a current through an electromagnetic coil (not shown) provided behind the backing plate 1 so that the workpiece W can be attracted. ing.

また、フロントシュー２およびリアシュー３は、それぞれシューホルダ２ａ，３ａに対してピン２ｂ，３ｂにより首振り自在に支持されている。そして、各シューホルダ２ａ，３ａは、それぞれシュープレート１０に対して基端部が固定されており、その固定部分とシュー２，３の支持部分の間に、例えばピエゾ素子等をアクチュエータとして伸縮する微動機構２ｃ，３ｃが設けられている。従って、各微動機構２ｃ，３ｃに対して駆動制御信号を供給することによって、各シューホルダ２ａ，２ｂが基端部を基準にして実質的に伸縮し、これによってフロントシュー２およびリアシュー３がバッキングプレート１の回転中心ＯR に対して接近／離隔する方向に移動するようになっている。 Further, the front shoe 2 and the rear shoe 3 are supported so as to be swingable by pins 2b and 3b with respect to the shoe holders 2a and 3a, respectively. Each shoe holder 2a, 3a has a base end fixed to the shoe plate 10 and extends and contracts between the fixed part and the supporting part of the shoes 2, 3 using, for example, a piezoelectric element as an actuator. Fine movement mechanisms 2c and 3c are provided. Accordingly, by supplying a drive control signal to each of the fine movement mechanisms 2c and 3c, each shoe holder 2a and 2b substantially expands and contracts with respect to the base end portion, whereby the front shoe 2 and the rear shoe 3 are backing. and moves in a direction approaching / away from the rotation center O R of the plate 1.

さて、粗研削工程においては、図１に示すように、図４に示した設定状態と同じ状態、つまりワークＷの中心ＯW がバッキングプレート１の回転中心ＯR に対して、水平方向に砥石に近づく向きにΔx 、鉛直下方にΔy だけずれた位置となるように設定される。 Now, in the rough grinding step, as shown in FIG. 1, the same state as the setting state shown in FIG. 4, i.e. the rotation center O R center O W is of the backing plate 1 of the workpiece W, the grinding wheel in a horizontal direction It is set so as to be shifted by Δ x in the direction approaching 、 and Δ y vertically downward.

そして、仕上げ研削工程においては、図１の状態からフロントシュー２の微動機構２ｃを伸ばす方向に駆動してフロントシュー２をワークＷ側に移動させるとともに、リアシュー３の微動機構３ｃを縮む方向に駆動してリアシュー３をワークＷから離隔する向きに移動させることにより、図２に示すように、ワークＷの中心ＯW がバッキングプレート１の回転中心ＯR に一致させててオフセット量Δx ，Δy をゼロにするか、あるいはゼロ近傍にする。ここで、オフセット量Δx ，Δy は、粗研削工程においては通常０．２〜０．３ｍｍ程度であり、仕上げ研削工程では、ワークＷの肉厚にもよるが、例えば０〜０．１ｍｍ程度とされる。また、この仕上げ研削工程においては、同時に、バッキングプレート１の電磁力を強くする。 Then, in the finish grinding step, the front shoe 2 is driven in the direction of extending the fine movement mechanism 2c of the front shoe 2 from the state of FIG. 1 to move the front shoe 2 to the work W side, and the fine movement mechanism 3c of the rear shoe 3 is driven in the contracting direction. and by moving the rear shoe 3 in a direction away from the workpiece W, as shown in FIG. 2, the center O W is the rotational center O R in have to match the offset amount delta x of the backing plate 1 of the workpiece W, delta Set y to zero or near zero. Here, the offset amounts Δ x and Δ y are usually about 0.2 to 0.3 mm in the rough grinding process, and in the finish grinding process, depending on the thickness of the workpiece W, for example, 0 to 0.1 mm. It is said to be about. In the finish grinding process, the electromagnetic force of the backing plate 1 is increased at the same time.

図３に、自動運転時における砥石４の切り込み送りと、ワークＷのオフセット量の変化のさせ方、並びにバッキングプレート１の電磁力の変化のさせ方の関係をタイミングチャートで示す。   FIG. 3 is a timing chart showing the relationship between the cutting feed of the grindstone 4 during automatic operation, how to change the offset amount of the workpiece W, and how to change the electromagnetic force of the backing plate 1.

まず、シュー２，３の位置を図１に示すオフセット量Δx ，Δy が得られる位置に設定した状態でワークＷをこれらのシュー２，３の上に載せ、砥石４を急速送りしてワークＷに接近させた後、粗研削工程に移行する。粗研削工程が終了した時点で、バッキングプレート１の電磁力を強くするとともに、微動機構２ｃ，３ｃの駆動によりオフセット量をゼロまたはその近傍とする。これにより、ワークＷと砥石４との間にギャップが生じるので、そのギャップを解消すべく砥石４に急速送りを与える。その後、切り込み送り速度の遅い仕上げ研削工程に移行し、スパークアウトを経て加工を完了し、砥石４を急速に後退させる。次いで、バッキングプレート１の電磁力をゼロにした状態で、加工済みのワークＷを排出し（アンローディング）、微動機構２ｃ，３ｃを駆動して、オフセット量を元のΔx ，Δy に戻すと同時に未加工の新たなワークＷをフロントシュー２，リアシュー３の上に載せ（ローディング）、バッキングプレート１の電磁力を粗研削工程の強さとした後に、砥石４を急速送りした後、粗研削工程に移行する、というサイクルを繰り返す。 First, with the positions of the shoes 2 and 3 set to positions where the offset amounts Δ x and Δ y shown in FIG. 1 are obtained, the workpiece W is placed on the shoes 2 and 3 and the grindstone 4 is rapidly fed. After approaching the workpiece W, the process proceeds to a rough grinding process. When the rough grinding process is completed, the electromagnetic force of the backing plate 1 is increased and the offset amount is set to zero or in the vicinity thereof by driving the fine movement mechanisms 2c and 3c. As a result, a gap is generated between the workpiece W and the grindstone 4, and rapid feed is given to the grindstone 4 in order to eliminate the gap. Thereafter, the process shifts to a finish grinding process with a slow cutting feed speed, completes the processing through a spark-out, and the grindstone 4 is rapidly retracted. Next, in a state where the electromagnetic force of the backing plate 1 is zero, the processed workpiece W is discharged (unloading), and the fine movement mechanisms 2c and 3c are driven to return the offset amounts to the original Δ x and Δ y . At the same time, a new unprocessed workpiece W is placed on the front shoe 2 and the rear shoe 3 (loading), the electromagnetic force of the backing plate 1 is set to the strength of the rough grinding process, the grindstone 4 is rapidly fed, and then the rough grinding is performed. The cycle of moving to the process is repeated.

以上のサイクルにおいて、薄肉のワークＷは、粗研削工程においてオフセット量Δx ，Δy を付与されているが故にフロントシュー２とリアシュー３の間に強く吸い込まれて弾性変形し、粗研削工程の終了時点ではその影響を受けて良好な真円度が得られないが、続く仕上げ研削工程はオフセット量をゼロまたはその近傍とした状態で行われるために弾性変形せず、粗研削工程で生じている歪を解消することができる。 In the above cycle, the thin workpiece W is given the offset amounts Δ x and Δ y in the rough grinding process, so it is strongly sucked between the front shoe 2 and the rear shoe 3 and elastically deformed, and the thin work W in the rough grinding process At the end, good roundness is not obtained due to the influence, but the subsequent finish grinding process is performed with the offset amount set to zero or in the vicinity thereof, so it does not elastically deform and occurs in the rough grinding process. The distortion which is can be eliminated.

なお、以上の実施の形態においては、ワークＷを電磁力によりバッキングプレート１に吸着する場合の例を述べたが、２つのロールによってワークＷをバッキングプレート１に押し付けるタイプの研削盤にも、本発明を等しく適用し得ることは勿論である。   In the above embodiment, the example in which the workpiece W is attracted to the backing plate 1 by electromagnetic force has been described. However, the present invention is also applicable to a grinding machine of a type that presses the workpiece W against the backing plate 1 by two rolls. Of course, the invention is equally applicable.

本発明の実施の形態の説明図で、粗研削工程における設定状態を示す要部正面図である。It is explanatory drawing of embodiment of this invention, and is a principal part front view which shows the setting state in a rough grinding process. 同じく本発明の実施の形態の説明図で、仕上げ研削工程における設定状態を示す要部正面図である。It is explanatory drawing of embodiment of this invention similarly, and is a principal part front view which shows the setting state in a finish grinding process. 本発明の実施の形態の自動運転時における各部の動作を表すタイムチャートである。It is a time chart showing operation of each part at the time of automatic operation of an embodiment of the invention. シュー型心無し研削方式による環状物品の外周面の研削加工を説明するための要部正面図である。It is a principal part front view for demonstrating the grinding process of the outer peripheral surface of the cyclic | annular article by a shoe type | mold centerless grinding system. 図４の平面図である。FIG. 5 is a plan view of FIG. 4.

１ バッキングプレート
２ フロントシュー
２ａ シューホルダ
２ｂ ピン
２ｃ 微動機構
３ リアシュー
３ａ シューホルダ
３ｂ ピン
３ｃ 微動機構
４ 砥石
ＯR バッキングプレート１の回転中心
ＯW ワークＷの中心
Ｗ ワーク（環状物品） 1 backing plate 2 front shoe 2a shoe holder 2b pins 2c center W workpiece rotation center O W workpiece W of the fine mechanism 3 rear shoe 3a shoe holder 3b pin 3c fine movement mechanism 4 grindstone O R backing plate 1 (cyclic article)

Claims (2)

被加工物である環状物品の一端面をバッキングプレートに当接させ、かつ、その外周面を２つのシューで支持するとともに、その各シューの位置を、上記バッキングプレートの回転中心と環状物品の中心とが所定のオフセット量をもってずれるように設定した状態で、電磁力により環状物品をバッキングプレートに引き付けながら、もしくはロールロールにより環状物品をバッキングプレートに押し付けながら当該バッキングプレートを回転させることにより、環状物品を２つのシューに押し付けつつ回転させた状態で、砥石によりその外周面を研削加工する方法において、
上記２つのシューの位置を上記設定のもとに粗研削加工を行った後、上記オフセット量をなくするように当該２つのシューを移動させ、そのシューの移動に伴う環状物品の中心の移動量相当分だけ、砥石に急速な切り込み送りを付与した後、仕上げ研削加工を行うことを特徴とする環状物品の外周面の研削加工方法。 One end surface of the annular article, which is a workpiece, is brought into contact with the backing plate, and the outer peripheral surface thereof is supported by two shoes, and the positions of the shoes are determined by the rotation center of the backing plate and the center of the annular article. And rotating the backing plate while pulling the annular article against the backing plate by an electromagnetic force or pressing the annular article against the backing plate by a roll roll. In a method of grinding the outer peripheral surface with a grindstone in a state of rotating while pressing against two shoes,
After performing rough grinding with the positions of the two shoes set as described above, the two shoes are moved so as to eliminate the offset amount, and the amount of movement of the center of the annular article accompanying the movement of the shoes only equivalent, after applying the rapid incision feed the grindstone, the grinding method of the outer peripheral surface of the annular article and performs up grinding specification. 上記電磁力による吸着もしくはロールの押圧による環状物品のバッキングプレートへの押し付け力を、粗研削工程よりも上記仕上げ研削工程で大きくすることを特徴とする請求項１に記載の環状物品の外周面の研削加工方法。   2. The outer peripheral surface of the annular article according to claim 1, wherein a force of pressing the annular article against the backing plate by the electromagnetic force or pressing of the roll is increased in the finish grinding step than in the rough grinding step. Grinding method.
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