JP4311857B2

JP4311857B2 - UV irradiation equipment

Info

Publication number: JP4311857B2
Application number: JP2000103263A
Authority: JP
Inventors: 稔雨谷; 卓英堀池; 雅之山本
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2000-04-05
Filing date: 2000-04-05
Publication date: 2009-08-12
Anticipated expiration: 2020-04-05
Also published as: JP2001290000A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線硬化型の粘着テープが貼付けられた物品に紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射方法およびその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
以下、半導体ウエハをリング状支持体に紫外線硬化型の粘着テープを介して貼り付けたマウントフレームに紫外線を照射することによって、ウエハ貼り付けテープ部分の粘着力を低下させるウエハ・マウントフレームに対する紫外線照射方法およびその装置を例に採って説明する。
【０００３】
一般に、半導体ウエハのダイシング工程に用いられる粘着テープは、半導体ウエハを安定良く強力に保持するために相当に強い粘着力をもっている必要がある。しかし、次工程であるダイボンディング工程においては、前記のダイシング工程によって分離された個々の半導体素子を粘着テープから分離しやすいように、予め、半導体ウエハを貼り付けている粘着テープ部分（ウエハ貼り付けテープ部分）の粘着力を低下させておく必要がある。
【０００４】
このため、従来から一般的に、粘着テープとしては粘着力の強い紫外線硬化型の粘着テープが用いられ、ダイシング工程の後にマウントフレームに紫外線を照射することによってウエハ貼り付け部分の粘着力を低下させる手法が用いられている。すなわち、第１の手法として、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、マウントフレームＭＦおよび紫外線ランプ１１を固定した状態で一定時間紫外線をウエハ貼り付けテープ部分に照射している。
【０００５】
第２の手法として、図７に示すように、マウントフレームＭＦおよび紫外線ランプ１１を固定配置し、その間に内壁に反射鏡が備えられた紫外線収束筒１３を用いている。その結果、この紫外線収束筒１３中で紫外線を反射させてウエハ貼り付けテープ部分に紫外線を照射している。
【０００６】
第３の手法として、図８に示すように、マウントフレームＭＦを固定配置して、前記マウントフレームＭＦに対して紫外線ランプ１１を水平方向（Ｈ方向）に移動させて紫外線を照射している。
【０００７】
第４の手法として、図示しないが、紫外線ランプ１１を固定して、マウントフレームＭＦ自体を水平方向に移動させて紫外線を照射している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、第１の手法において、マウントフレームＭＦと紫外線ランプ１１が固定配置されているために、一定時間紫外線を照射したとしてもマウントフレームＭＦの中央部とその両端部分とでは、紫外線の照射角度が異なるので均一な積算光量を得ることができない。その結果、マウントフレームＭＦの中央部分と両端とを比較すると、中央部分から両端に向かうに連れて粘着テープＴの粘着力が十分に低下していないという問題がある。
【０００９】
第２の手法においては、内壁に反射鏡が備えられた紫外線収束筒１３をマウントフレームＭＦと紫外線ランプ１１の間に設けることにより、マウントフレームＭＦにより紫外線を照射している。しかし、この手法においても紫外線の反射効率の関係上、マウントフレームＭＦ全体に紫外線を均一照射することが困難である。
【００１０】
第３の手法においては、固定されたマウントフレームＭＦに対して紫外線照射角度が一定になるように、紫外線ランプがマウントフレームＭＦの上を水平方向に移動するのでマウントフレームＭＦに対して紫外線を均一に照射することができる。しかしながら、装置自体が大きくなる。さらには、電源から紫外線ランプ１１までのケーブルの取り回しを考慮しなければならない問題がある。
【００１１】
第４の手法においても、前記第３の手法と同様に装置自体が大きくなる。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、照射領域の全体にわたって均一に紫外線を照射することができるとともに、装置の小型化が可能な紫外線照射方法およびその装置を提供することを目的としている。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。請求項１に記載の発明は、マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前前記紫外線照射手段を長手方向の回転軸回り首振り駆動する駆動機構と、
紫外線の照射領域の照度変化に応じて、照射領域全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように、紫外線照射手段の首振り速度をコントロールする速度制御手段と
を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前記紫外線照射手段から照射された紫外線を反射する反射ミラーと、
反射ミラーを首振り駆動するミラー駆動機構と、
紫外線の照射領域の照度変化に応じて、照射領域全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように、反射ミラーの首振り速度をコントロールする速度制御手段と
を備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前前記紫外線照射手段を長手方向の回転軸回り首振り駆動する駆動機構と、
前記マウントフレームへの紫外線の照射角度が垂直状態から傾斜した状態になるに従って、紫外線の透過光量が多くなる減光フィルターと
を備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前記紫外線照射手段から照射された紫外線を反射する反射ミラーと、
反射ミラーを首振り駆動するミラー駆動機構と、
前記マウントフレームへの紫外線の照射角度が垂直状態から傾斜した状態になるに従って、紫外線の透過光量が多くなる減光フィルターと
を備えたことを特徴とする。
【００２１】
【作用】
本発明の作用は次のとおりである。すなわち、請求項１に記載の発明によれば、紫外線照射手段から照射された紫外線は、走査手段によって首振り走査される。このとき、制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように制御する。
特に、紫外線照射手段自体が首振り駆動されることにより、紫外線が首振り走査される結果、紫外線は粘着テープに向けて照射角度を変えながら首振り走査される。
さらに、紫外線の照射角度に応じて紫外線照射手段の首振り速度がコントロールされる。すなわち、物品への紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、首振り速度を遅くし、逆に物品への紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って首振り速度を早くすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしている。
【００２２】
請求項２に記載の発明によれば、紫外線照射手段から照射された紫外線は、走査手段によって首振り走査される。このとき、制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように制御する。
特に、紫外線照射手段から反射ミラーに向けて紫外線が照射される。この反射鏡が首振り駆動されることにより、紫外線が首振り走査される。
さらに、紫外線の照射角度に応じて反射ミラーの首振り速度がコントロールされる。すなわち、物品への紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、首振り速度を遅くし、逆に物品への紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って首振り速度を早くすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしている。
【００２３】
請求項３に記載の発明によれば、紫外線照射手段から照射された紫外線は、走査手段によって首振り走査される。このとき、制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように制御する。
特に、紫外線照射手段自体が首振り駆動されることにより、紫外線が首振り走査される結果、紫外線は粘着テープに向けて照射角度を変えながら首振り走査される。
さらに、減光フィルターによって紫外線の透過光量が調整される。すなわち、物品への紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、透過光量が多くなるようにし、逆に物品への紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って透過光量が少なくなるようにすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしている。
【００２４】
請求項４に記載の発明によれば、紫外線照射手段から照射された紫外線は、走査手段によって首振り走査される。このとき、制御手段は、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように制御する。
特に、紫外線照射手段から反射ミラーに向けて紫外線が照射される。この反射鏡が首振り駆動されることにより、紫外線が首振り走査される。
さらに、減光フィルターによって紫外線の透過光量が調整される。すなわち、物品への紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、透過光量が多くなるようにし、逆に物品への紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って透過光量が少なくなるようにすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしている。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
＜第１実施例＞
図１は本発明に係る紫外線照射装置の一実施例の概略構成図である。
【００３０】
この紫外線照射装置１０は、本発明の紫外線照射手段に相当する紫外線ランプ１１と、この紫外線ランプ１１を収めるランプハウス１２と、紫外線ランプ１１の上方に配置された紫外線収束筒１３と、マウントフレームＭＦを載せるリング状のフレーム支持プレート１４と、このフレーム支持プレート１４の上に設けられる円筒状の筒状周壁１５とから構成されている。また、ランプハウス１２には、ランプハウス１２の首振り動作をするようにモータ１６が、このモータ１６には回転速度をコントロールするための制御部１７が接続されている。
【００３１】
紫外線ランプ１１は、図２に示すように、マウントフレームＭＦ上の半導体ウエハＷを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープＴに対して十分な紫外線が照射できるように、マウントフレームＭＦの径とほぼ同じ長さを有している。
【００３２】
ランプハウス１２は、紫外線ランプ１１の収まるサイズであり、その内側面には紫外線の照射効率を上げるために反射板を備えている。また、このランプハウス１２は、紫外線照射装置１０の本体に首振り動作可能に軸支されている。
【００３３】
筒状周壁１５はマウントフレームＭＦを囲うように覆い被せ、その中に不活性ガスを充填して酸素を取り除くことにより粘着テープＴの粘着力を低下させるとともに、紫外線の漏洩を防止するために設けられている。
【００３４】
次に第１実施例の動作を説明する。
ランプハウス１２に収められた紫外線ランプ１１が発光し、ランプハウス１２の反射効果とにより紫外線をマウントフレームＭＦに向かって照射する。この紫外線は、紫外線収束筒１３を通りマウントフレームＭＦに照射される。
【００３５】
例えば、図１に示すように、ランプハウス１２の開口部がマウントフレームＭＦに対して対向している状態（すなわち、紫外線の照射方向がマウントフレームＭＦに対して垂直な状態）では、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、ランプの中心に沿ってほぼ均一な照度が得られる。しかし、ランプハウス１２が傾くに従って、紫外線はマウントフレームＭＦに対して斜め方向から照射されるので、照度が次第に低下する。つまり、ランプハウス１２を等速度で首振り駆動すると、マウントフレームＭへの積算光量が中心部（照射方向が垂直の状態）から外れるに従って低下し不均一になる。
【００３６】
そこで、マウントフレームＭＦへの紫外線の積算光量を一定にするために、ランプハウス１２の首振り速度を制御する。すなわち、図４に示すように、マウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態、すなわち照度が低くなるに従って、首振り速度（移動速度）を遅くし、逆にマウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態、すなわち照度が高くなるに従って、首振り速度（移動速度）を速くすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしている。このようなランプハウス１２の首振り速度の制御を制御部１７が行っている。なお、この首振り速度は、ランプハウス１２の首振り角度θに応じて予め設定されている。
【００３７】
＜第２実施例＞
図５は第２実施例に係る紫外線照射装置の概略構成図である。
この第２実施例において、先の第１実施例と異なっている点は次の通りである。すなわち、ランプハウス１２の開口部が左側を向いて固定配置されており、そのランプハウス１２の左手には本発明の反射手段に相当する揺動可能な反射ミラー１８が配備されている。この反射鏡１８はモータ１６によって首振り駆動され、このモータ１６は制御部１７に接続されている。
【００３８】
なお、その他の構成は第１実施例と同様であるので、対応する部分に同一符号を付すにとどめ、説明を省略する。
【００３９】
次に、この第２実施例の動作について説明する。
ランプハウス１２から反射ミラー１８に向かって紫外線が照射される。この紫外線を受光した反射ミラー１８はマウントフレームＭＦに向かって紫外線を反射させる。このとき、反射ミラー１８は、マウントフレームＭＦの紫外線受光面の全体にわたって積算光量を一定にするために、モータ１６による首振り動作を制御部１７でコントロールされる。
【００４０】
この反射ミラー１８の首振り速度は、反射鏡１８により反射された紫外線のマウントフレームＭＦへの照射角度に応じて変化する。すなわち、第１実施例の場合と同様に、マウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、首振り速度を遅くし、逆にマウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って、首振り速度を速くすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしている。
【００４１】
本発明は上述した実施例に限らず、次のように変形実施することもできる。
（１）上述した第１および第２実施例では、ランプハウス１２または反射ミラー１８の首振り速度をコントロールすることによって、紫外線照射領域の全体にわたって積算光量が一定になるようにしたが、ランプハウス１２または反射ミラー１８を等しい速度で首振り駆動する代わりに、紫外線の照射角度に応じて紫外線の照度をコントロールするようにしてもよい。すなわち、マウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、紫外線の照度を強くし、逆にマウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って紫外線の照度を弱くすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにしてもよい。
【００４２】
このような照度をコントロールする手法として、例えば次の２つの手法がある。
第１の手法は、紫外線の照射角度に応じて紫外線ランプ１１の駆動電圧をコントロールする手法である。具体的には、マウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、駆動電圧を高くして紫外線の照度を強くし、逆にマウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って駆動電圧を低くして紫外線の照度を弱くすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにする。
【００４３】
第２の手法は、紫外線の照射角度に応じて紫外線の透過量を減光フィルターを使って調整する手法である。具体的には、マウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が垂直の状態から傾斜した状態になるに従って、透過光量が多くなるようにし、逆にマウントフレームＭＦへの紫外線の照射角度が傾斜した状態から垂直の状態になるに従って透過光量が少なくなるような減光フィルターを介在させることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるようにする。
【００４４】
（２）上記実施例ではランプハウス内に１個の紫外線ランプを設置していたが、ランプハウス内に２個以上の紫外線ランプを設置してもよい。
【００４５】
（３）また、１個の紫外線ランプを装着したランプハウスを複数個組み合わせて並列配置し、これらのランプハウスを首振り駆動するようにしてもよい。
【００４６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１に記載の発明によれば、紫外線を首振り走査することによって物品に紫外線を照射しているので、紫外線照射手段の移動範囲が少なく装置の小型化が可能であるとともに、電源用の配線の処理が容易である。また、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように制御しているので、粘着テープの粘着力を均一に低下させることができる。
【００４８】
請求項１，３に記載の発明によれば、紫外線照射手段を首振り駆動し、請求項２，４に記載の発明によれば、反射ミラーを首振り駆動しているので、いずれの発明も装置の小型化が可能で、かつ、粘着テープの粘着力を均一に低下させることができる。
【００４９】
請求項１，２に記載の発明によれば、紫外線照射手段または反射ミラーの首振り速度をコントロールすることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるので、粘着テープの粘着力を均一に低下させることができる。
【００５２】
請求項３，４に記載の発明によれば、減光フィルターを用いることによって、紫外線の照射領域の全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるので、粘着テープの粘着力を均一に低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る紫外線照射装置の第１実施例の概略構成図である。
【図２】第１実施例装置の要部の平面図である。
【図３】ランプハウスから照射される紫外線の照度分布図であり、（ａ）は正面から見たときの照度分布図、（ｂ）は側面から見たときの照度分布図である。
【図４】第１実施例装置におけるランプハウスの首振り速度（移動速度）と、紫外線の照度分布と、積算光量との関係を示した図である。
【図５】本発明に係る紫外線照射装置の第２実施例の概略構成図である。
【図６】従来の第１手法に係る紫外線照射装置の概略構成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【図７】従来の第２手法に係る紫外線照射装置の概略構成図であり、（ａ）は正面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図８】従来の第３手法に係る紫外線照射装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１１ … 紫外線ランプ
１２ … ランプハウス
１３ … 紫外線収束筒
１４ … フレーム支持プレート
１６ … モータ
１７ … 制御部
ＭＦ … マウントフレーム
Ｔ … 粘着テープ
Ｗ … 半導体ウエハ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ultraviolet irradiation method and apparatus for reducing the adhesive strength of the pressure-sensitive adhesive tape by irradiating the article on which the ultraviolet curable pressure-sensitive adhesive tape is adhered with ultraviolet light.
[0002]
[Prior art]
UV irradiation on the wafer mount frame, which reduces the adhesive strength of the wafer attachment tape part by irradiating the mounting frame, which is obtained by attaching the semiconductor wafer to the ring-shaped support via the ultraviolet curable adhesive tape. The method and apparatus will be described as an example.
[0003]
Generally, an adhesive tape used in a semiconductor wafer dicing process needs to have a considerably strong adhesive force in order to hold the semiconductor wafer stably and strongly. However, in the die bonding process, which is the next process, the adhesive tape portion (wafer bonding) in which the semiconductor wafer is previously bonded so that the individual semiconductor elements separated by the dicing process can be easily separated from the adhesive tape. It is necessary to reduce the adhesive strength of the tape portion.
[0004]
For this reason, a UV curable adhesive tape having a strong adhesive force is generally used as the adhesive tape, and the adhesive strength of the wafer attaching portion is reduced by irradiating the mount frame with ultraviolet rays after the dicing process. The method is used. That is, as a first method, as shown in FIGS. 6A and 6B, the wafer attachment tape portion is irradiated with ultraviolet rays for a certain period of time while the mount frame MF and the ultraviolet lamp 11 are fixed.
[0005]
As a second method, as shown in FIG. 7, an ultraviolet converging cylinder 13 is used in which a mount frame MF and an ultraviolet lamp 11 are fixedly arranged and a reflecting mirror is provided on the inner wall therebetween. As a result, the ultraviolet light is reflected in the ultraviolet light converging cylinder 13 to irradiate the wafer attaching tape portion with the ultraviolet light.
[0006]
As a third method, as shown in FIG. 8, a mount frame MF is fixedly arranged, and the ultraviolet lamp 11 is moved in the horizontal direction (H direction) with respect to the mount frame MF to irradiate ultraviolet rays.
[0007]
As a fourth method, although not shown, the ultraviolet lamp 11 is fixed and the mount frame MF itself is moved in the horizontal direction to irradiate ultraviolet rays.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional example having such a configuration has the following problems.
That is, in the first method, since the mount frame MF and the ultraviolet lamp 11 are fixedly arranged, even if the ultraviolet rays are irradiated for a certain time, the irradiation angle of the ultraviolet rays is different between the central portion of the mount frame MF and its both end portions. Since they are different, a uniform integrated light quantity cannot be obtained. As a result, when the center portion and both ends of the mount frame MF are compared, there is a problem that the adhesive force of the adhesive tape T is not sufficiently reduced from the center portion toward both ends.
[0009]
In the second method, the mount frame MF irradiates ultraviolet rays by providing an ultraviolet light convergence tube 13 having a reflecting mirror on the inner wall between the mount frame MF and the ultraviolet lamp 11. However, even in this method, it is difficult to uniformly irradiate the entire mount frame MF with ultraviolet rays because of the reflection efficiency of the ultraviolet rays.
[0010]
In the third method, since the ultraviolet lamp moves horizontally on the mount frame MF so that the ultraviolet irradiation angle is constant with respect to the fixed mount frame MF, the ultraviolet rays are uniformly applied to the mount frame MF. Can be irradiated. However, the device itself becomes large. Furthermore, there is a problem that the cable management from the power source to the ultraviolet lamp 11 must be considered.
[0011]
Also in the fourth method, the apparatus itself becomes large as in the third method.
[0012]
The present invention has been made in view of such circumstances, and provides an ultraviolet irradiation method and apparatus capable of uniformly irradiating ultraviolet rays over the entire irradiation region and miniaturizing the apparatus. The purpose is that.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration. The invention according to claim 1, by irradiating the ultraviolet semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, a ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape And
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A drive mechanism for swinging and driving the ultraviolet irradiation means around the rotation axis in the longitudinal direction ;
And a speed control means for controlling the swing speed of the ultraviolet irradiation means so that the integrated light quantity of the ultraviolet light becomes constant over the entire irradiation area in accordance with the illuminance change in the ultraviolet irradiation area .
[0014]
According to a second aspect of the invention, by irradiating the ultraviolet semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, a ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape And
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A reflection mirror that reflects the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation means;
A mirror drive mechanism for swinging the reflection mirror;
A speed control means is provided for controlling the swing speed of the reflecting mirror so that the integrated light quantity of the ultraviolet light is constant over the entire irradiation area in accordance with the illuminance change in the ultraviolet irradiation area .
[0015]
According to a third aspect of the invention, by irradiating the ultraviolet semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, a ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape And
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A drive mechanism for swinging and driving the ultraviolet irradiation means around the rotation axis in the longitudinal direction ;
And a neutral density filter that increases the amount of transmitted UV light as the angle of UV irradiation on the mount frame is inclined from the vertical state .
[0016]
According to a fourth aspect of the invention, by irradiating the ultraviolet semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, a ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape And
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A reflection mirror that reflects the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation means;
A mirror drive mechanism for swinging the reflection mirror;
And a neutral density filter that increases the amount of transmitted UV light as the angle of UV irradiation on the mount frame is inclined from the vertical state .
[0021]
[Action]
The operation of the present invention is as follows. That is, according to the first aspect of the present invention, the ultraviolet light irradiated from the ultraviolet irradiation means is swung by the scanning means. At this time, the control means performs control so that the integrated light quantity of the ultraviolet rays is constant over the entire ultraviolet irradiation region.
In particular, the ultraviolet irradiation means itself is driven to swing, so that the ultraviolet light is swung as a result. As a result, the ultraviolet light is swung while changing the irradiation angle toward the adhesive tape.
Furthermore, the swing speed of the ultraviolet irradiation means is controlled in accordance with the ultraviolet irradiation angle. That is, as the irradiation angle of the ultraviolet light on the article is inclined from the vertical state, the swing speed is decreased, and conversely, the swinging is performed as the ultraviolet irradiation angle on the article is changed from the inclined state to the vertical state. By increasing the speed, the integrated amount of ultraviolet light is made constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0022]
According to the second aspect of the present invention, the ultraviolet light irradiated from the ultraviolet irradiation means is swung by the scanning means. At this time, the control means performs control so that the integrated light quantity of the ultraviolet rays is constant over the entire ultraviolet irradiation region.
In particular, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet irradiation means toward the reflection mirror. When this reflecting mirror is swung, the ultraviolet rays are swung.
Furthermore, the swing speed of the reflecting mirror is controlled according to the irradiation angle of the ultraviolet rays. That is, as the irradiation angle of the ultraviolet light on the article is inclined from the vertical state, the swing speed is decreased, and conversely, the swinging is performed as the ultraviolet irradiation angle on the article is changed from the inclined state to the vertical state. By increasing the speed, the integrated amount of ultraviolet light is made constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0023]
According to the third aspect of the invention, the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation means are swung by the scanning means. At this time, the control means performs control so that the integrated light quantity of the ultraviolet rays is constant over the entire ultraviolet irradiation region.
In particular, the ultraviolet irradiation means itself is driven to swing, so that the ultraviolet light is swung as a result. As a result, the ultraviolet light is swung while changing the irradiation angle toward the adhesive tape.
Further, the amount of transmitted ultraviolet light is adjusted by the neutral density filter. In other words, the amount of transmitted light increases as the irradiation angle of the ultraviolet rays on the article changes from the vertical state to the inclined state, and conversely transmits as the irradiation angle of the ultraviolet rays on the article changes from the inclined state to the vertical state. By reducing the amount of light, the integrated amount of ultraviolet light is made constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0024]
According to the fourth aspect of the present invention, the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation means are swung by the scanning means. At this time, the control means performs control so that the integrated light quantity of the ultraviolet rays is constant over the entire ultraviolet irradiation region.
In particular, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet irradiation means toward the reflection mirror. When this reflecting mirror is swung, the ultraviolet rays are swung.
Further, the amount of transmitted ultraviolet light is adjusted by the neutral density filter. In other words, the amount of transmitted light increases as the irradiation angle of the ultraviolet rays on the article changes from the vertical state to the inclined state, and conversely transmits as the irradiation angle of the ultraviolet rays on the article changes from the inclined state to the vertical state. By reducing the amount of light, the integrated amount of ultraviolet light is made constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0029]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
<First embodiment>
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an embodiment of an ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention.
[0030]
The ultraviolet irradiation device 10 includes an ultraviolet lamp 11 corresponding to the ultraviolet irradiation means of the present invention, a lamp house 12 for housing the ultraviolet lamp 11, an ultraviolet light converging cylinder 13 disposed above the ultraviolet lamp 11, and a mount frame MF. Is formed of a ring-shaped frame support plate 14 and a cylindrical tubular peripheral wall 15 provided on the frame support plate 14. A motor 16 is connected to the lamp house 12 so as to swing the lamp house 12, and a controller 17 for controlling the rotational speed is connected to the motor 16.
[0031]
As shown in FIG. 2, the ultraviolet lamp 11 has a diameter of the mount frame MF so that sufficient ultraviolet light can be applied to the ultraviolet curable adhesive tape T that adheres and supports the semiconductor wafer W on the mount frame MF. Have approximately the same length.
[0032]
The lamp house 12 has a size that can accommodate the ultraviolet lamp 11, and has an inner surface provided with a reflecting plate for increasing the irradiation efficiency of ultraviolet rays. The lamp house 12 is pivotally supported on the main body of the ultraviolet irradiation device 10 so as to be able to swing.
[0033]
The cylindrical peripheral wall 15 is provided so as to cover the mount frame MF so as to reduce the adhesive force of the adhesive tape T by filling it with an inert gas and removing oxygen, and to prevent leakage of ultraviolet rays. It has been.
[0034]
Next, the operation of the first embodiment will be described.
The ultraviolet lamp 11 housed in the lamp house 12 emits light and irradiates ultraviolet rays toward the mount frame MF by the reflection effect of the lamp house 12. This ultraviolet ray passes through the ultraviolet ray converging cylinder 13 and is irradiated to the mount frame MF.
[0035]
For example, as shown in FIG. 1, in a state in which the opening of the lamp house 12 faces the mount frame MF (that is, a state in which the irradiation direction of ultraviolet rays is perpendicular to the mount frame MF), FIG. As shown in a) and (b), a substantially uniform illuminance is obtained along the center of the lamp. However, as the lamp house 12 is tilted, the illuminance gradually decreases because the ultraviolet rays are applied to the mount frame MF from an oblique direction. That is, when the lamp house 12 is swung at a constant speed, the integrated light quantity on the mount frame M decreases and becomes non-uniform as it deviates from the central portion (the irradiation direction is vertical).
[0036]
Therefore, the swing speed of the lamp house 12 is controlled in order to make the cumulative amount of ultraviolet light to the mount frame MF constant. That is, as shown in FIG. 4, the swinging speed (moving speed) is decreased as the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF is inclined from the vertical state, that is, as the illuminance decreases, and conversely, the mount frame MF By increasing the swing speed (moving speed) as the illuminance increases from the state in which the irradiation angle of the ultraviolet rays is inclined to the vertical state, that is, the illuminance increases, the integrated amount of ultraviolet rays becomes constant throughout the ultraviolet irradiation region. I am doing so. The control unit 17 controls the swing speed of the lamp house 12 as described above. The swing speed is set in advance according to the swing angle θ of the lamp house 12.
[0037]
<Second embodiment>
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of an ultraviolet irradiation apparatus according to the second embodiment.
The second embodiment is different from the first embodiment as follows. In other words, the opening of the lamp house 12 is fixedly arranged facing the left side, and a swingable reflecting mirror 18 corresponding to the reflecting means of the present invention is provided on the left hand of the lamp house 12. The reflecting mirror 18 is swung by a motor 16, and the motor 16 is connected to a control unit 17.
[0038]
Since the other configuration is the same as that of the first embodiment, the same reference numerals are assigned to the corresponding portions, and description thereof is omitted.
[0039]
Next, the operation of the second embodiment will be described.
Ultraviolet rays are irradiated from the lamp house 12 toward the reflection mirror 18. The reflection mirror 18 that has received the ultraviolet rays reflects the ultraviolet rays toward the mount frame MF. At this time, the swinging operation by the motor 16 is controlled by the control unit 17 in the reflecting mirror 18 in order to make the integrated light quantity constant over the entire ultraviolet light receiving surface of the mount frame MF.
[0040]
The swing speed of the reflection mirror 18 changes according to the irradiation angle of the ultraviolet rays reflected by the reflection mirror 18 onto the mount frame MF. That is, as in the case of the first embodiment, as the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF changes from the vertical state to the inclined state, the swing speed is decreased, and conversely, the ultraviolet rays to the mount frame MF are irradiated. As the angle is changed from the inclined state to the vertical state, the swung speed is increased so that the integrated light amount of the ultraviolet rays becomes constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0041]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified as follows.
(1) In the first and second embodiments described above, the integrated light quantity is made constant over the entire ultraviolet irradiation region by controlling the swing speed of the lamp house 12 or the reflecting mirror 18, but the lamp house Instead of driving the head 12 or the reflection mirror 18 at the same speed, the illuminance of ultraviolet rays may be controlled in accordance with the irradiation angle of ultraviolet rays. That is, as the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF is inclined from the vertical state, the illuminance of the ultraviolet rays is increased, and conversely, the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF is changed from the inclined state to the vertical state. As the illuminance of the ultraviolet rays is reduced, the integrated light quantity of the ultraviolet rays may be constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0042]
For example, there are the following two methods for controlling the illuminance.
The first method is a method of controlling the driving voltage of the ultraviolet lamp 11 according to the irradiation angle of the ultraviolet light. Specifically, as the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF is inclined from the vertical state, the driving voltage is increased to increase the ultraviolet illuminance, and conversely, the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF is increased. The drive voltage is lowered and the illuminance of the ultraviolet rays is reduced as the angle of the light beam changes from the tilted state to the vertical state, so that the integrated light amount of the ultraviolet rays becomes constant over the entire ultraviolet irradiation region.
[0043]
The second method is a method of adjusting the amount of transmitted ultraviolet light using a neutral density filter in accordance with the irradiation angle of ultraviolet light. Specifically, the amount of transmitted light increases as the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF changes from the vertical state to the inclined state, and conversely, from the state where the irradiation angle of the ultraviolet rays to the mount frame MF increases. By interposing a neutral density filter that reduces the amount of transmitted light as it becomes vertical, the integrated amount of ultraviolet light is made constant throughout the ultraviolet irradiation region.
[0044]
(2) In the above embodiment, one ultraviolet lamp is installed in the lamp house, but two or more ultraviolet lamps may be installed in the lamp house.
[0045]
(3) Alternatively, a plurality of lamp houses fitted with one ultraviolet lamp may be combined and arranged in parallel, and these lamp houses may be driven in a swinging manner.
[0046]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the invention described in claim 1, since the article is irradiated with the ultraviolet rays by swinging the ultraviolet rays, the moving range of the ultraviolet irradiation means is small and the apparatus is downsized. In addition, it is easy to process power supply wiring. Moreover, since the control is performed so that the integrated amount of ultraviolet rays is constant over the entire ultraviolet irradiation region, the adhesive strength of the adhesive tape can be reduced uniformly.
[0048]
According to the first and third aspects of the invention, the ultraviolet irradiation means is driven to swing, and according to the second and fourth aspects of the invention, the reflecting mirror is driven to swing. The apparatus can be downsized and the adhesive strength of the adhesive tape can be reduced uniformly.
[0049]
According to the first and second aspects of the invention, by controlling the swinging speed of the ultraviolet irradiation means or the reflecting mirror, the integrated amount of ultraviolet light becomes constant over the entire ultraviolet irradiation region. The force can be reduced uniformly.
[0052]
According to the third and fourth aspects of the invention, by using the neutral density filter, the integrated amount of ultraviolet light is constant over the entire ultraviolet irradiation region, so that the adhesive force of the adhesive tape can be reduced uniformly. it can.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a first embodiment of an ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view of a main part of the first embodiment apparatus.
FIG. 3 is an illuminance distribution diagram of ultraviolet rays emitted from a lamp house, (a) is an illuminance distribution diagram when viewed from the front, and (b) is an illuminance distribution diagram when viewed from the side.
FIG. 4 is a diagram showing the relationship between the swing speed (moving speed) of the lamp house, the illuminance distribution of ultraviolet rays, and the integrated light quantity in the first embodiment apparatus.
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a second embodiment of the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention.
FIGS. 6A and 6B are schematic configuration diagrams of a conventional ultraviolet irradiation apparatus according to a first method, where FIG. 6A is a front view and FIG. 6B is a side view.
FIGS. 7A and 7B are schematic configuration diagrams of an ultraviolet irradiation apparatus according to a second conventional method, where FIG. 7A is a front view and FIG. 7B is a side view.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram of an ultraviolet irradiation apparatus according to a third conventional technique.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Ultraviolet lamp 12 ... Lamp house 13 ... Ultraviolet converging cylinder 14 ... Frame support plate 16 ... Motor 17 ... Control part MF ... Mount frame T ... Adhesive tape W ... Semiconductor wafer

Claims

マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前前記紫外線照射手段を長手方向の回転軸回り首振り駆動する駆動機構と、
紫外線の照射領域の照度変化に応じて、照射領域全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように、紫外線照射手段の首振り速度をコントロールする速度制御手段と
を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。By irradiating ultraviolet rays to the semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, an ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape,
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A drive mechanism for swinging and driving the ultraviolet irradiation means around the rotation axis in the longitudinal direction ;
Ultraviolet irradiation characterized by comprising a speed control means for controlling the swing speed of the ultraviolet irradiation means so that the integrated amount of ultraviolet light becomes constant over the entire irradiation area in accordance with the illuminance change in the ultraviolet irradiation area apparatus.

マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前記紫外線照射手段から照射された紫外線を反射する反射ミラーと、
反射ミラーを首振り駆動するミラー駆動機構と、
紫外線の照射領域の照度変化に応じて、照射領域全体にわたって紫外線の積算光量が一定になるように、反射ミラーの首振り速度をコントロールする速度制御手段と
を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。By irradiating ultraviolet rays to the semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, an ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape,
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A reflection mirror that reflects the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation means;
A mirror drive mechanism for swinging the reflection mirror;
An ultraviolet irradiation apparatus comprising speed control means for controlling a swing speed of the reflecting mirror so that an integrated amount of ultraviolet light is constant over the entire irradiation area in accordance with a change in illuminance in the ultraviolet irradiation area. .

マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前前記紫外線照射手段を長手方向の回転軸回り首振り駆動する駆動機構と、
前記マウントフレームへの紫外線の照射角度が垂直状態から傾斜した状態になるに従って、紫外線の透過光量が多くなる減光フィルターと
を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。By irradiating ultraviolet rays to the semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, an ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape,
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A drive mechanism for swinging and driving the ultraviolet irradiation means around the rotation axis in the longitudinal direction ;
An ultraviolet irradiation apparatus comprising: a neutral density filter that increases an amount of transmitted ultraviolet light as the angle of ultraviolet irradiation to the mount frame is inclined from a vertical state .

マウントフレーム上の半導体ウエハを粘着支持している紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射することによって、前記粘着テープの粘着力を低下させる紫外線照射装置であって、
前記マウントフレームと同じ長さを有するランプを納めたランプハウスから粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射手段と、
前記紫外線照射手段から照射された紫外線を反射する反射ミラーと、
反射ミラーを首振り駆動するミラー駆動機構と、
前記マウントフレームへの紫外線の照射角度が垂直状態から傾斜した状態になるに従って、紫外線の透過光量が多くなる減光フィルターと
を備えたことを特徴とする紫外線照射装置。By irradiating ultraviolet rays to the semiconductor wafer on the mount frame to the adhesive tape of the ultraviolet curable type is sticky support, an ultraviolet irradiation apparatus for reducing the adhesive strength of the adhesive tape,
Ultraviolet irradiation means for irradiating the adhesive tape with ultraviolet rays from a lamp house containing a lamp having the same length as the mount frame ;
A reflection mirror that reflects the ultraviolet rays irradiated from the ultraviolet irradiation means;
A mirror drive mechanism for swinging the reflection mirror;
An ultraviolet irradiation apparatus comprising: a neutral density filter that increases an amount of transmitted ultraviolet light as the angle of ultraviolet irradiation to the mount frame is inclined from a vertical state .