JP4299524B2 - 半導体レーザ装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に高温動作時に劣化しやすい半導体レーザ素子を含む複数の半導体レーザ素子を同一の半導体サブマウントに搭載した半導体レーザ装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
発光波長の異なる複数の半導体レーザ素子を１つのパッケージに入れた半導体レーザ装置では、各半導体レーザ素子の材料が異なるため、ある半導体レーザ素子の温度特性が他の半導体レーザ素子の温度特性よりも悪くなってしまう(例えば、特許文献１,２参照)。具体的に言うと、温度が例えば１℃変化したとき、ある半導体レーザ素子では発光効率や発振閾値等の特性が他の半導体レーザ素子に比べて大きく変化してしまう。
【０００３】
より具体的には、例えば波長７８０ｎｍ帯の赤外レーザ素子と波長６５０ｎｍ帯の赤色レーザ素子とを同一のシリコンサブマウントにダイボンドした半導体レーザ装置では、赤外レーザ素子に比べて赤色レーザ素子の温度特性が悪い。そのため、上記赤色レーザ素子の発光部（ｐｎ接合面上にある部分）をシリコンサブマウントに接近させて、熱抵抗と、高温動作時の動作電流とを低減し、レーザ破壊および劣化を抑制する必要がある。
【０００４】
また、２波長半導体レーザ装置である上記半導体レーザ装置を光ピックアップに組込んだ場合、光ディスクで反射した光が赤外レーザ素子の端面に入射して反射する。上記赤外レーザ素子の端面で反射された光が光ピックアップ光学系に戻ることを防止するために、赤外レーザ素子の発光点の位置はチップの高さ方向の中央にする方が良い。このとき、上記赤外レーザ素子の温度特性をできるだけ悪くしないようにするため、赤外レーザ素子のＮ型側をシリコンサブマウントにダイボンドすることが望ましい。
【０００５】
図５は従来の２波長半導体レーザ装置の主要部を前面から見た断面を模式的に示す図であり、図６は図５のVI−VI線矢視断面を模式的に示す図である。つまり、図６は上記２波長半導体レーザ装置を側方から見た模式断面図である。
【０００６】
上記２波長半導体レーザ装置は、図５に示すように、フォトダイオード付シリコンサブマウント116と、このフォトダイオード付シリコンサブマウント116にダイボンドされた赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115とを備えている。
【０００７】
上記赤色レーザチップ114は、６５０ｎｍ帯のレーザチップであり、放熱性向上および熱抵抗低減のために、厚みが５〜６μｍのＰ型層１０９と厚みが約１１０μｍのＮ型層110とからなるジャンクションダウンの構造をとっている。
【０００８】
上記赤外レーザチップ115は、７８０ｎｍ帯のレーザチップであり、戻り光対策のために活性層（Ｐ型層112とＮ型層111の接合面にある層）がチップ高さ方向の中央に位置するように、厚みが約４０μｍのＮ型層111と厚みが約７０μｍのＰ型層112とからなっている。
【０００９】
上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115は、フォトダイオード付シリコンサブマウント116側の極性が互い異なるように、フォトダイオード付シリコンサブマウント116にダイボンドされている。このため、上記フォトダイオード付シリコンサブマウント116の表面（ダイボンド面）を覆うようにＳｉＯ２等の絶縁膜105を形成して、赤色レーザチップ114と赤外レーザチップ115とを電気的に分離している。
【００１０】
また、上記絶縁膜105上には、Ａｌ層106、バリアメタルとしてのＴｉＷ層（図示せず）、Ａｕ層107およびＡｕＳｎ層108が順次形成されている。Ａｌ層106はＳｉとオーミックコンタクトを取るために設けられ、Ａｕ層107はＡｕＳｎ層108に対する密着性を上げるために設けられている。また、ＡｕＳｎ層108は、レーザチップ裏面のＡｕ電極との接合のために設けられている。つまり、上記ＡｕＳｎ層108上に、赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115をダイボンドしている。
【００１１】
上記フォトダイオード付シリコンサブマウント116は、Ｎ＋型基板101と、このＮ＋型基板101上に形成されたＮ−エピタキシャル層102とからなっていて、図６に示すように、Ｎ−エピタキシャル層102にはフォトダイオードの受光部となるＰ型拡散領域103を設けている。
【００１２】
図７は、フォトダイオード付シリコンサブマウント116のＰ型拡散領域103を示すためダイボンド面側から見た２波長半導体レーザ装置の模式平面図である。なお、図７では、赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115は簡単のため図示していない。
【００１３】
上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115のＰ型拡散領域103側の端面から出射された光が受光部であるＰ型拡散領域103に入射すると、その光の光強度に応じた出力が得られる。これにより、上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115においてＰ型拡散領域103と反対側の端面から出射される光の出力（レーザ光強度）がモニターされる。なお、上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115を同時に光らせる必要はないため受光部となるＰ型拡散領域103は１つとしている。
【００１４】
【特許文献１】
特開２０００−２２２７６８号公報
【特許文献２】
特開２００１−１８９５１６号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の２波長半導体レーザ装置では、赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115の電極直下に絶縁膜105があるため放熱性が悪い。つまり、上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115の熱が効率よく放散されない。その結果、高温動作時において、特に赤色レーザチップ114で劣化や故障が起こりやすいという問題がある。
【００１６】
６５０ｎｍ帯の赤色レーザは、７８０ｎｍ帯の赤外レーザと比較して、材料およびバンドギャップ構造が異なり、高温雰囲気下での効率が低いため、高温動作時に電流が大きくなったり、劣化、故障に至るのである。
【００１７】
そこで、本発明の目的は、高温動作時における半導体レーザ素子の劣化や故障の発生を阻止できる半導体レーザ装置およびその製造方法を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明はレーザチップ直下の絶縁膜を廃止し、電極を介し直接シリコンサブマウントの基板と接合することで熱抵抗、及び放熱性を改善したものである。
【００１９】
すなわち、上記課題を解決するため、本発明の半導体レーザ装置は、
第１導電型の半導体サブマウントと、この半導体サブマウントにダイボンドされ、上記半導体サブマウント側の極性が互いに異なっている第１，第２の半導体レーザ素子とを備えた半導体レーザ装置において、
上記半導体サブマウントに、第２導電型の第１の拡散領域と、この第１の拡散領域内に形成された第１導電型の第２の拡散領域とが上記第１の半導体レーザ素子の下方に位置するように設けられており、
上記第２の拡散領域上に、上記第１の半導体レーザ素子が電極を介して接続されていることを特徴としている。
【００２０】
上記構成の半導体レーザ装置によれば、第１の半導体レーザ素子が、半導体サブマウントの第２の拡散領域上に絶縁膜を介さず電極を介して直接接続されているので、第１の半導体レーザ素子の下方における熱抵抗が低減すると共に、第１の半導体レーザ素子の放熱性が向上する。したがって、上記第１の半導体レーザ素子の熱が効率よく放出され、高温動作時に第１の半導体レーザ素子が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００２１】
また、上記半導体サブマウントにおいて第１の半導体レーザ素子の下方に、導電型が互いに異なる第１，第２の拡散領域を設けているから、第１の半導体レーザ素子が半導体サブマウントと短絡するのを阻止できる。
【００２２】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第１の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、上記半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造である。
【００２３】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体サブマウントが例えばＳｉからなっている場合、上記電極がＡｌを含んでいると、そのＡｌが半導体サブマウントのＳｉと反応して、半導体サブマウントに結晶欠陥ができてしまう。そうすると、ＴｉＷを突き破ったＡｕＳｎがその結晶欠陥へ入りやすくなる。つまり、ＡｕＳｎのいわゆるスパイクが発生しやすくなる。したがって、上記電極が、Ａｌを含まず、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるから、ＡｕＳｎのスパイクをなくすことができる。
【００２４】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、上記半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造である。
【００２５】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体サブマウントが例えばＳｉからなっている場合、上記電極がＡｌを含んでいると、そのＡｌが半導体サブマウントのＳｉと反応して、半導体サブマウントに結晶欠陥ができてしまう。そうすると、ＴｉＷを突き破ったＡｕＳｎがその結晶欠陥へ入りやすくなる。つまり、ＡｕＳｎのいわゆるスパイクが発生しやすくなる。したがって、上記電極が、Ａｌを含まず、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるから、ＡｕＳｎのスパイクをなくすことができる。
【００２６】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記ＴｉＷの膜厚は３００〜７５０ｎｍである。
【００２７】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記ＴｉＷの膜厚を３００〜７５０ｎｍに設定することにより、溶けたＡｕＳｎ層がＴｉＷ層を突き抜けることがない。
【００２８】
また、上記ＴｉＷ層の膜厚を３００ｎｍ未満に設定すると、ＡｕＳｎ層はＴｉＷ層を突き抜けてしまう。
【００２９】
また、上記ＴｉＷ層の膜厚を７５０ｎｍを越えるように設定すると、ウエハー（基板）にそりが生じたり、ＴｉＷ層にクラックが生じてしまう。
【００３０】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の拡散領域の拡散深さは１.５〜４.０μｍである。
【００３１】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記第１の半導体レーザ素子を半導体サブマウントにダイボンドするとき、溶けた電極が半導体サブマウントに向かって突出することがある。このとき、上記第２の拡散領域の拡散深さが１.５〜４.０μｍに設定されていると、溶けた電極は、第１の拡散領域にまで達しない。したがって、上記電極が第１の拡散領域と短絡するのを防止することができる。
【００３２】
また、上記第２の拡散領域の拡散深さが１.５μｍ未満であると、溶けた電極が第１の拡散領域にまで達してしまう。すなわち、上記電極が第１の拡散領域と短絡するのを阻止できない。具体的には、上記電極が例えばＡｌを含んでいる場合、ＡｕＳｎがＴｉＷを突き破りＡｌと反応した時のスパイク深さが１.５μ未満であるから、第２の拡散領域の拡散深さが１.５μｍ未満であると、スパイクの発生により電極が第１の拡散領域と短絡してしまう。
【００３３】
また、上記第２の拡散領域の拡散深さが４.０μｍを越えるようにするには、第１の拡散領域を５.０μｍ以上に設定しなければならず、第１，第２の拡散領域の拡散時間が長くなってしまう。具体的には、例えば、第１導電型がＮ型、第２導電型がＰ型である場合、第２の拡散領域の拡散深さが４.０μｍを越えるようにすると、Ｐ型の第１の拡散領域の拡散時間を短縮できない。また、上記半導体サブマウントにフォトダイオードの受光部を形成する場合、その受光部と第１の拡散領域とを同時に形成すると、再結合が起こりやすくなりモニター電流の低下を招いてしまう。
【００３４】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第１の半導体レーザ素子はジャンクションダウンのＡｌＧａＩｎＰ系の６５０ｎｍ帯の赤色レーザダイオードであり、上記第２の半導体レーザ素子は活性層が高さ方向の中央に位置するＧａＡｌＡｓ系の７８０ｎｍ帯の赤外レーザダイオードである。
【００３５】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記半導体サブマウントはＳｉからなり、上記第１導電型がＮ型であり、上記第２導電型がＰ型である。
【００３６】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されている。
【００３７】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されているから、第１，第２の半導体レーザ素子の一方の端面から出射された光をフォトダイオードで受光して、第１，第２の半導体レーザ素子の他方の端面から出射される光の出力をモニターすることができる。
【００３８】
また、本発明の半導体レーザ装置の製造方法は、上記半導体レーザ装置の製造方法であって、上記ＡｕＳｎを溶解させる温度は３６０〜４００℃であることを特徴としている。
【００３９】
上記構成の半導体レーザ装置の製造法方法によれば、ＡｕＳｎを溶解させ、半導体レーザ素子をＡｕＳｎ上にマウントする。このとき、上記半導体レーザ素子裏面の電極が例えばＡｕ電極である場合、ＡｕＳｎを溶解させる温度を３６０〜４００℃にすることにより、ＡｕＳｎと半導体レーザ素子裏面のＡｕ電極との濡れ性を確保できる。また、上記ＡｕＳｎを溶解させる温度が３６０〜４００℃であることにより、半導体レーザ素子への熱ダメージや、ＡｕＳｎのバリアメタル突き破りを防ぐことができる。
【００４０】
上記ＡｕＳｎを溶解させる温度が３６０℃未満であると、半導体レーザ素子裏面のＡｕ電極に対するＡｕＳｎの濡れ性を確保できない。
【００４１】
上記ＡｕＳｎを溶解させる温度が４００℃を越えると、半導体レーザ素子への熱ダメージや、ＡｕＳｎのバリアメタル突き破りを防げない。
【００４２】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の半導体レーザ素子と上記半導体サブマウントとが、上記第２の半導体レーザ素子の電極を介して接続されている。
【００４４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の半導体レーザ装置を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００４５】
図１は、本発明の実施の一形態の半導体レーザ装置である２波長半導体レーザ装置を正面側から見た断面を模式的に示す図である。
【００４６】
上記２波長半導体レーザ装置は、図１に示すように、表面に絶縁膜５が設けられた第１導電型の半導体サブマウントとしてのＮ型のシリコンサブマウント１６と、このシリコンサブマウント１６にダイボンドされた第１の半導体レーザ素子としての赤色レーザダイオード１４と、シリコンサブマウント１６にダイボンドされた第２の半導体レーザ素子としての赤外レーザダイオード１５とを備えている。
【００４７】
上記シリコンサブマウント１６は、Ｎ＋型基板１と、このＮ＋型基板１上に形成されたＮ−エピタキシャル層２とで構成されている。このＮ−エピタキシャル層２には、第２導電型の第１の拡散領域としてのＰ型拡散領域３Ａと、このＰ型拡散領域３Ａ内に形成された第１導電型の第２の拡散領域としてのＮ型拡散領域４Ａとを設けている。上記Ｐ型拡散領域３ＡおよびＮ型拡散領域４Ａは、赤色レーザダイオード１４の下方に位置している。また、上記Ｎ−エピタキシャル層２には、赤外レーザダイオード１５の下方に位置するようにＮ型拡散領域４Ｂを設けている。
【００４８】
また、上記赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５の下方には絶縁膜５が存在していない。上記赤色レーザダイオード１４の下方においては、絶縁膜５が存在しない領域がＮ型拡散領域４Ａに面している。一方、上記赤外レーザダイオード１５の下方においては、絶縁膜５が存在しない領域がＰ型拡散領域３Ａの一端部とＮ型拡散領域４Ｂとに面している。
【００４９】
そして、上記Ｎ型拡散領域４Ａ上に、赤色レーザダイオード１４を電極を介してマウントしている。上記赤色レーザダイオード１４下の電極は、バリアメタルとしてのＴｉＷ電極（図示せず）、Ａｕ電極７およびＡｕＳｎ電極８で構成されている。そのＴｉＷ電極、Ａｕ電極７およびＡｕＳｎ電極８がこの順でシリコンサブマウント１６のダイボンド面側から順次形成されている。上記Ａｕ電極７はＡｕＳｎに対する密着性を上げるために設けられ、ＡｕＳｎ電極８は赤色レーザダイオード１４裏面のＡｕ電極との接合のために設けられている。
【００５０】
また、上記Ｎ型拡散領域４Ｂ上に、赤外レーザダイオード１５を電極を介してマウントしている。上記赤外レーザダイオード１５下の電極は、Ａｌ層６、バリアメタルとしてのＴｉＷ層（図示せず）、Ａｕ層７およびＡｕＳｎ層８がシリコンサブマウント１６側から順次形成されてなっている。
【００５１】
上記赤色レーザダイオード１４は、ＡｌＧａＩｎＰ系の６５０ｎｍ帯の赤色レーザダイオードであって、Ｐ型層９およびＮ型層１０を有している。また、上記赤色レーザダイオード１４では、放熱性を上げるため、活性層（Ｐ型層９とＮ型層１０の接合部にある層）が低い位置（ダイボンド面に近い位置）にあるジャンクションダウン構造になっている。
【００５２】
上記赤外レーザダイオード１５は、ＧａＡｌＡｓ系の７８０ｎｍ帯の赤外レーザダイオードであって、Ｎ型層１１およびＰ型層１２を有している。また、上記赤外レーザダイオード１５では、光ディスクに照射された光の戻り光対策のため、活性層（Ｐ型層１１とＮ型層１２の接合部にある層）がチップ高さのほぼ中央に位置している。
【００５３】
図２は上記２波長半導体レーザ装置を側方側から見た断面を模式的に示す図であり、図３は上記２波長半導体レーザ装置を上方から見た模式平面図である。なお、図３では、赤色レーザチップ１４，赤外レーザチップ１５は簡単のため図示していない。
【００５４】
上記シリコンサブマウント１６のＮ−エピタキシャル層２には、図２，図３に示すように、出力モニター用のフォトダイオードの受光部となるＰ型拡散領域３Ｂを設けている。これにより、上記シリコンサブマウント１６は出力モニター用のフォトダイオードの機能を有する。
【００５５】
上記構成の２波長半導体レーザ装置によれば、赤色レーザダイオード１４の下方に絶縁膜５が存在していないから、赤色レーザダイオード１４の下方における熱抵抗が低減すると共に、赤色レーザダイオード１４の放熱性が向上する。したがって、上記赤色レーザダイオード１４の熱が効率よく放出され、高温動作時に赤色レーザダイオード１４が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００５６】
また、上記赤外レーザダイオード１５の下方に絶縁膜５が存在していないから、赤外レーザダイオード１５の熱が効率よく放出され、高温動作時に赤外レーザダイオード１５が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００５７】
また、上記シリコンサブマウント１６において、赤色レーザダイオード１４の下方に位置する領域に、Ｐ型拡散領域３Ａ，Ｎ型拡散領域４Ａを設けているから、赤色レーザダイオード１４とシリコンサブマウント１６との短絡を阻止できる。すなわち、上記Ｐ型拡散領域３Ａ，Ｎ型拡散領域４Ａを、赤色レーザダイオード１４の電極直下に位置するようにＮ−エピタキシャル層２に設けて、赤色レーザダイオード１４の電極直下に二重拡散構造(ｎ−ｐ−ｎ構造）を形成することにより、赤色レーザダイオード１４の電極直下の絶縁が保たれている。
【００５８】
また、上記Ｐ型拡散領域３ＡはＡｕ電極７及びＡｌ電極６を介して赤外レーザダイオード１５直下のＮ型拡散領域４Ｂと短絡されている。これにより、上記赤色レーザダイオード１４のＰ型層９に正電位を印加しても、赤色レーザダイオード１４と、グランドであるシリコンサブマウント１６との短絡を防げると共に、赤色レーザダイオード１４にノイズが乗り難いようにすることができる。
【００５９】
図４は、図１〜図３に示した２波長半導体レーザ装置の等価回路を示しており、図１〜図３の回路要素と同じ回路要素には同一番号を付している。図中の１４a,１４kは、図１に示す赤色レーザダイオード１４のＰ型層９側の電極８に繋がるアノード端子１４a,およびＮ型層１０側の電極に繋がるカソード端子１４kであり、１５a,１５kは、図１に示す赤外レーザダイオード１５のＰ型層１２側の電極に繋がるアノード電極１５a,およびＮ型層１１側の電極８に繋がるカソード端子１５kである。この２波長半導体レーザ装置は、赤色レーザダイオード１４の直下に順に設けられたＮ型拡散領域４Ａ，Ｐ型拡散領域３Ａ，Ｎ−エピタキシャル層２からなる二重拡散構造(ｎ−ｐ−ｎ構造)が、図４に示すトランジスタＴrとなり、このトランジスタＴrが赤色レザーダイオード１４の左側にコレクタ接地で並列に接続された構成となる。また、赤外レザーダイオード１５直下のＮ型拡散領域４Ｂは、不純物濃度が十分高いのでカソード端子１５k側の電極８とオーミックコンタクトを形成し、この赤外レーザダイオード１５が、図１に示さない外部回路を介して赤色レーザダイオード１４と並列にカソード接続される。
上記赤色レーザダイオード１４は、アノード端子１４aに負,カソード端子１４kに正の順方向電圧が印加されて動作するが、動作時に外部から逆方向のスパイクノイズが入ることがある。この場合、並列に接続された上記トランジスタＴrが導通してノイズをバイパスさせるので、赤色レーザダイオード１４が外部ノイズの影響を受けにくくなるという利点がある。
【００６０】
図８は、図５〜図７に示した従来の２波長半導体レーザ装置の等価回路を比較のために示すもので、図５〜図７の回路要素同じ回路要素には同一番号を付している。図中の114a,114kは、図５に示す赤色レーザダイオード114のＰ型層109側の電極108に繋がるアノード端子114a,およびＮ型層110側の電極に繋がるカソード端子114kであり、115a,115kは、図５に示す赤外レーザダイオード115のＰ型層112側の電極に繋がるアノード電極115a,およびＮ型層111側の電極108に繋がるカソード端子115kである。この従来の２波長半導体レーザ装置は、赤色,赤外の両レーザダイオード114,115が、絶縁膜105によってフォトダイオード付きシリコンサブマウントから電気的に分離され、赤色レーザダイオード114のアノード端子114aと赤外レーザダイオード115のカソード端子115kも互いに分離され、赤色レーザダイオード114のカソード端子114kと赤外レーザダイオード115のカソード端子115kは、図５に示さない外部回路を介して互いに接続されるので、図８に示すような等価回路となる。
この従来の赤色レーザダイオード114では、外部から上述の実施形態のような逆方向のスパイクノイズが入った場合、これをバイパスさせような回路がないため、上記実施形態と異なり、赤色レーザダイオード114が外部ノイズの影響を受けることになる。
【００６１】
上記実施形態では、赤外レーザダイオード１５の電極直下の絶縁膜も廃止しているが、これは赤外レーザ１５がシリコンサブマウント１６と同じ極性側で接合されているため、特に絶縁の必要はないためである。
【００６２】
上記実施形態では、Ｎ型のシリコンサブマウント１６を用いていたが、Ｐ型のシリコンサブマウントを用いてもよい。また、シリコン以外の半導体からなる半導体サブマウントを用いてもよい。
【００６３】
上記ＴｉＷ電極の膜厚は３００〜７５０ｎｍにするのが好ましい。上記ＴｉＷ電極の膜厚は３００〜７５０ｎｍにすると、溶けたＡｕＳｎ電極８がＴｉＷ層を突き抜けるのを防ぐことができる。
【００６４】
上記Ｎ型拡散領域４Ａの拡散深さは１.５〜４.０μｍにするのが好ましい。上記Ｎ型拡散領域４Ａの拡散深さは１.５〜４.０μｍにすると、溶けた電極がシリコンサブマウント１６に向かって突出しても、電極がＰ型拡散領域３Ａと短絡するのを阻止できる。
【００６５】
上記赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５をマウントするためにＡｕＳｎ電極８を溶解させる温度は３６０〜４００℃にするのが好ましい。上記ＡｕＳｎ電極８を溶解させる温度を３６０〜４００℃にすることにより、赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５の裏面のＡｕ電極に対するＡｕＳｎ電極８の濡れ性を確保できる。また、上記ＡｕＳｎ電極８を溶解させる温度が３６０〜４００℃であることにより、赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５への熱ダメージや、ＡｕＳｎ電極８のバリアメタル突き破りを防ぐことができる。
【００６６】
また、上記実施の形態では、図５の従来例とは異なり、上記赤色レーザダイオード１４の下方においてＡｌ電極を設けていない。つまり、上記赤色レーザダイオード１４下の電極はＡｌを含んでいない。これは、上記赤色レーザダイオード１４下の電極は基板つまりシリコンサブマウント１６とオーミックコンタクトをとる必要が無いからである。また、上記赤色レーザダイオード１４下の電極にＡｌを含ませないのは、溶けたＡｕＳｎ電極８がＴｉＷを突き破って、シリコンサブマウント１６に直接拡散しても、スパイクが発生しないようにするためである。
【００６７】
また、上記赤外レーザダイオード１５の下方の電極構造は、シリコンサブマウント１６側からＡｌ／ＴｉＷ／Ａｕ層／ＡｕＳｎの構造であったが、シリコンサブマウント１６側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造にしてもよい。すなわち、上記赤外レーザダイオード１５の下方の電極においてＡｌをなくしてもよい。
【００６８】
また、上記赤色レーザダイオード１４のシリコンサブマウント１６側の極性をＮ型にすると共に、赤外レーザダイオード１５のシリコンサブマウント１６側の極性をＰ型にしてもよい。
【００６９】
また、第１の半導体レーザ素子は、発光点が１つである必要はない。例えば、発振波長が異なる２つの発光点を有する半導体レーザが１つの基板に形成された半導体レーザ素子であっても本発明を適用できることは説明するまでも無い。
本発明の半導体レーザ装置を、光ピックアップの光源として用いれば、２つのレーザ光の光軸を一致させる光学系を用いる必要が無く、光学系の構成を簡単にできる。また、半導体レーザ装置が１つで済むので光学系を小さくすることができる。
【００７０】
【発明の効果】
本発明に係る２波長半導体レーザにおいては、放熱性を向上させるために、シリコンサブマウントの表面上の絶縁膜の一部を除去している。これにより、従来構造と比較して、特に赤色レーザの熱抵抗を１０〜３０％低減することができ（試作では絶縁膜ありでａｖｅ.５０.７℃／Ｗ、絶縁膜なしではａｖｅ.４２.８℃／Ｗ）、かつ、高温動作電流においても１０〜３０％低減できる。このように、上記２波長半導体レーザは、高温雰囲気化で安定した動作を得ることができるという点で、優れた特有の効果を奏する。
【００７１】
すなわち、本発明の半導体レーザ装置は、第１の半導体レーザ素子が、半導体サビマウントの第２の拡散領域上に絶縁膜を介さず電極を介して直接接続されているので、第１の半導体レーザ素子の熱が効率よく放出され、高温動作時に第１の半導体レーザ素子が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００７２】
また、上記半導体サブマウントにおいて第１の半導体レーザ素子の下方に、導電型が互いに異なる第１，第２の拡散領域を設けているから、第１の半導体レーザ素子が半導体サブマウントと短絡するのを阻止できる。
【００７３】
一実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記第１の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるので、ＡｕＳｎのスパイクの発生をなくすことができる。
【００７４】
一実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記第２の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるので、ＡｕＳｎのスパイクの発生をなくすことができる。
【００７５】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記ＴｉＷの膜厚は３００〜７５０ｎｍであるから、溶けたＡｕＳｎ層がＴｉＷ層を突き抜けるのを阻止できる。
【００７６】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の拡散領域の拡散深さは１.５〜４.０μｍであるから、第２の拡散領域上の電極が溶けて第１の拡散領域にまで達することがなく、第２の拡散領域上の電極が第１の拡散領域と短絡するのを防止できる。
【００７７】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されているから、第１，第２の半導体レーザ素子の一方の端面から出射された光をフォトダイオードで受光して、第１，第２の半導体レーザ素子の他方の端面から出射される光の出力をモニターすることができる。
【００７８】
また、本発明の半導体レーザ装置の製造方法は、上記ＡｕＳｎを溶解させる温度は３６０〜４００℃であるから、ＡｕＳｎと半導体レーザ素子裏面のＡｕ電極との濡れ性を確保できると共に、半導体レーザ素子への熱ダメージや、ＡｕＳｎのバリアメタル突き破りを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明の実施の一形態の２波長半導体レーザ装置の模式断面図である。
【図２】 図２は上記２波長半導体レーザ装置の模式断面図である。
【図３】 図３は上記２波長半導体レーザ装置の模式平面図である。
【図４】 図４は上記２波長半導体レーザ装置の等価回路図である。
【図５】 図５は従来の２波長半導体レーザ装置の模式断面図である。
【図６】 図６は図５のVI−VI線矢視の模式断面図である。
【図７】 図７は上記従来の２波長半導体レーザ装置の模式平面図である。
【図８】 図８は上記従来の２波長半導体レーザ装置の等価回路図である。
【符号の説明】
３Ａ,３Ｂ Ｐ型拡散領域
４Ａ,４Ｂ Ｎ型拡散領域
５ 絶縁膜
１４ 赤色レーザダイオード
１５ 赤外レーザダイオード
１６ シリコンサブマウント
【発明の属する技術分野】
本発明は、特に高温動作時に劣化しやすい半導体レーザ素子を含む複数の半導体レーザ素子を同一の半導体サブマウントに搭載した半導体レーザ装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
発光波長の異なる複数の半導体レーザ素子を１つのパッケージに入れた半導体レーザ装置では、各半導体レーザ素子の材料が異なるため、ある半導体レーザ素子の温度特性が他の半導体レーザ素子の温度特性よりも悪くなってしまう(例えば、特許文献１,２参照)。具体的に言うと、温度が例えば１℃変化したとき、ある半導体レーザ素子では発光効率や発振閾値等の特性が他の半導体レーザ素子に比べて大きく変化してしまう。
【０００３】
より具体的には、例えば波長７８０ｎｍ帯の赤外レーザ素子と波長６５０ｎｍ帯の赤色レーザ素子とを同一のシリコンサブマウントにダイボンドした半導体レーザ装置では、赤外レーザ素子に比べて赤色レーザ素子の温度特性が悪い。そのため、上記赤色レーザ素子の発光部（ｐｎ接合面上にある部分）をシリコンサブマウントに接近させて、熱抵抗と、高温動作時の動作電流とを低減し、レーザ破壊および劣化を抑制する必要がある。
【０００４】
また、２波長半導体レーザ装置である上記半導体レーザ装置を光ピックアップに組込んだ場合、光ディスクで反射した光が赤外レーザ素子の端面に入射して反射する。上記赤外レーザ素子の端面で反射された光が光ピックアップ光学系に戻ることを防止するために、赤外レーザ素子の発光点の位置はチップの高さ方向の中央にする方が良い。このとき、上記赤外レーザ素子の温度特性をできるだけ悪くしないようにするため、赤外レーザ素子のＮ型側をシリコンサブマウントにダイボンドすることが望ましい。
【０００５】
図５は従来の２波長半導体レーザ装置の主要部を前面から見た断面を模式的に示す図であり、図６は図５のVI−VI線矢視断面を模式的に示す図である。つまり、図６は上記２波長半導体レーザ装置を側方から見た模式断面図である。
【０００６】
上記２波長半導体レーザ装置は、図５に示すように、フォトダイオード付シリコンサブマウント116と、このフォトダイオード付シリコンサブマウント116にダイボンドされた赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115とを備えている。
【０００７】
上記赤色レーザチップ114は、６５０ｎｍ帯のレーザチップであり、放熱性向上および熱抵抗低減のために、厚みが５〜６μｍのＰ型層１０９と厚みが約１１０μｍのＮ型層110とからなるジャンクションダウンの構造をとっている。
【０００８】
上記赤外レーザチップ115は、７８０ｎｍ帯のレーザチップであり、戻り光対策のために活性層（Ｐ型層112とＮ型層111の接合面にある層）がチップ高さ方向の中央に位置するように、厚みが約４０μｍのＮ型層111と厚みが約７０μｍのＰ型層112とからなっている。
【０００９】
上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115は、フォトダイオード付シリコンサブマウント116側の極性が互い異なるように、フォトダイオード付シリコンサブマウント116にダイボンドされている。このため、上記フォトダイオード付シリコンサブマウント116の表面（ダイボンド面）を覆うようにＳｉＯ２等の絶縁膜105を形成して、赤色レーザチップ114と赤外レーザチップ115とを電気的に分離している。
【００１０】
また、上記絶縁膜105上には、Ａｌ層106、バリアメタルとしてのＴｉＷ層（図示せず）、Ａｕ層107およびＡｕＳｎ層108が順次形成されている。Ａｌ層106はＳｉとオーミックコンタクトを取るために設けられ、Ａｕ層107はＡｕＳｎ層108に対する密着性を上げるために設けられている。また、ＡｕＳｎ層108は、レーザチップ裏面のＡｕ電極との接合のために設けられている。つまり、上記ＡｕＳｎ層108上に、赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115をダイボンドしている。
【００１１】
上記フォトダイオード付シリコンサブマウント116は、Ｎ＋型基板101と、このＮ＋型基板101上に形成されたＮ−エピタキシャル層102とからなっていて、図６に示すように、Ｎ−エピタキシャル層102にはフォトダイオードの受光部となるＰ型拡散領域103を設けている。
【００１２】
図７は、フォトダイオード付シリコンサブマウント116のＰ型拡散領域103を示すためダイボンド面側から見た２波長半導体レーザ装置の模式平面図である。なお、図７では、赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115は簡単のため図示していない。
【００１３】
上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115のＰ型拡散領域103側の端面から出射された光が受光部であるＰ型拡散領域103に入射すると、その光の光強度に応じた出力が得られる。これにより、上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115においてＰ型拡散領域103と反対側の端面から出射される光の出力（レーザ光強度）がモニターされる。なお、上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115を同時に光らせる必要はないため受光部となるＰ型拡散領域103は１つとしている。
【００１４】
【特許文献１】
特開２０００−２２２７６８号公報
【特許文献２】
特開２００１−１８９５１６号公報
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の２波長半導体レーザ装置では、赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115の電極直下に絶縁膜105があるため放熱性が悪い。つまり、上記赤色レーザチップ114，赤外レーザチップ115の熱が効率よく放散されない。その結果、高温動作時において、特に赤色レーザチップ114で劣化や故障が起こりやすいという問題がある。
【００１６】
６５０ｎｍ帯の赤色レーザは、７８０ｎｍ帯の赤外レーザと比較して、材料およびバンドギャップ構造が異なり、高温雰囲気下での効率が低いため、高温動作時に電流が大きくなったり、劣化、故障に至るのである。
【００１７】
そこで、本発明の目的は、高温動作時における半導体レーザ素子の劣化や故障の発生を阻止できる半導体レーザ装置およびその製造方法を提供することにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明はレーザチップ直下の絶縁膜を廃止し、電極を介し直接シリコンサブマウントの基板と接合することで熱抵抗、及び放熱性を改善したものである。
【００１９】
すなわち、上記課題を解決するため、本発明の半導体レーザ装置は、
第１導電型の半導体サブマウントと、この半導体サブマウントにダイボンドされ、上記半導体サブマウント側の極性が互いに異なっている第１，第２の半導体レーザ素子とを備えた半導体レーザ装置において、
上記半導体サブマウントに、第２導電型の第１の拡散領域と、この第１の拡散領域内に形成された第１導電型の第２の拡散領域とが上記第１の半導体レーザ素子の下方に位置するように設けられており、
上記第２の拡散領域上に、上記第１の半導体レーザ素子が電極を介して接続されていることを特徴としている。
【００２０】
上記構成の半導体レーザ装置によれば、第１の半導体レーザ素子が、半導体サブマウントの第２の拡散領域上に絶縁膜を介さず電極を介して直接接続されているので、第１の半導体レーザ素子の下方における熱抵抗が低減すると共に、第１の半導体レーザ素子の放熱性が向上する。したがって、上記第１の半導体レーザ素子の熱が効率よく放出され、高温動作時に第１の半導体レーザ素子が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００２１】
また、上記半導体サブマウントにおいて第１の半導体レーザ素子の下方に、導電型が互いに異なる第１，第２の拡散領域を設けているから、第１の半導体レーザ素子が半導体サブマウントと短絡するのを阻止できる。
【００２２】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第１の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、上記半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造である。
【００２３】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体サブマウントが例えばＳｉからなっている場合、上記電極がＡｌを含んでいると、そのＡｌが半導体サブマウントのＳｉと反応して、半導体サブマウントに結晶欠陥ができてしまう。そうすると、ＴｉＷを突き破ったＡｕＳｎがその結晶欠陥へ入りやすくなる。つまり、ＡｕＳｎのいわゆるスパイクが発生しやすくなる。したがって、上記電極が、Ａｌを含まず、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるから、ＡｕＳｎのスパイクをなくすことができる。
【００２４】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、上記半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造である。
【００２５】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体サブマウントが例えばＳｉからなっている場合、上記電極がＡｌを含んでいると、そのＡｌが半導体サブマウントのＳｉと反応して、半導体サブマウントに結晶欠陥ができてしまう。そうすると、ＴｉＷを突き破ったＡｕＳｎがその結晶欠陥へ入りやすくなる。つまり、ＡｕＳｎのいわゆるスパイクが発生しやすくなる。したがって、上記電極が、Ａｌを含まず、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるから、ＡｕＳｎのスパイクをなくすことができる。
【００２６】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記ＴｉＷの膜厚は３００〜７５０ｎｍである。
【００２７】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記ＴｉＷの膜厚を３００〜７５０ｎｍに設定することにより、溶けたＡｕＳｎ層がＴｉＷ層を突き抜けることがない。
【００２８】
また、上記ＴｉＷ層の膜厚を３００ｎｍ未満に設定すると、ＡｕＳｎ層はＴｉＷ層を突き抜けてしまう。
【００２９】
また、上記ＴｉＷ層の膜厚を７５０ｎｍを越えるように設定すると、ウエハー（基板）にそりが生じたり、ＴｉＷ層にクラックが生じてしまう。
【００３０】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の拡散領域の拡散深さは１.５〜４.０μｍである。
【００３１】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記第１の半導体レーザ素子を半導体サブマウントにダイボンドするとき、溶けた電極が半導体サブマウントに向かって突出することがある。このとき、上記第２の拡散領域の拡散深さが１.５〜４.０μｍに設定されていると、溶けた電極は、第１の拡散領域にまで達しない。したがって、上記電極が第１の拡散領域と短絡するのを防止することができる。
【００３２】
また、上記第２の拡散領域の拡散深さが１.５μｍ未満であると、溶けた電極が第１の拡散領域にまで達してしまう。すなわち、上記電極が第１の拡散領域と短絡するのを阻止できない。具体的には、上記電極が例えばＡｌを含んでいる場合、ＡｕＳｎがＴｉＷを突き破りＡｌと反応した時のスパイク深さが１.５μ未満であるから、第２の拡散領域の拡散深さが１.５μｍ未満であると、スパイクの発生により電極が第１の拡散領域と短絡してしまう。
【００３３】
また、上記第２の拡散領域の拡散深さが４.０μｍを越えるようにするには、第１の拡散領域を５.０μｍ以上に設定しなければならず、第１，第２の拡散領域の拡散時間が長くなってしまう。具体的には、例えば、第１導電型がＮ型、第２導電型がＰ型である場合、第２の拡散領域の拡散深さが４.０μｍを越えるようにすると、Ｐ型の第１の拡散領域の拡散時間を短縮できない。また、上記半導体サブマウントにフォトダイオードの受光部を形成する場合、その受光部と第１の拡散領域とを同時に形成すると、再結合が起こりやすくなりモニター電流の低下を招いてしまう。
【００３４】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第１の半導体レーザ素子はジャンクションダウンのＡｌＧａＩｎＰ系の６５０ｎｍ帯の赤色レーザダイオードであり、上記第２の半導体レーザ素子は活性層が高さ方向の中央に位置するＧａＡｌＡｓ系の７８０ｎｍ帯の赤外レーザダイオードである。
【００３５】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記半導体サブマウントはＳｉからなり、上記第１導電型がＮ型であり、上記第２導電型がＰ型である。
【００３６】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されている。
【００３７】
上記実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されているから、第１，第２の半導体レーザ素子の一方の端面から出射された光をフォトダイオードで受光して、第１，第２の半導体レーザ素子の他方の端面から出射される光の出力をモニターすることができる。
【００３８】
また、本発明の半導体レーザ装置の製造方法は、上記半導体レーザ装置の製造方法であって、上記ＡｕＳｎを溶解させる温度は３６０〜４００℃であることを特徴としている。
【００３９】
上記構成の半導体レーザ装置の製造法方法によれば、ＡｕＳｎを溶解させ、半導体レーザ素子をＡｕＳｎ上にマウントする。このとき、上記半導体レーザ素子裏面の電極が例えばＡｕ電極である場合、ＡｕＳｎを溶解させる温度を３６０〜４００℃にすることにより、ＡｕＳｎと半導体レーザ素子裏面のＡｕ電極との濡れ性を確保できる。また、上記ＡｕＳｎを溶解させる温度が３６０〜４００℃であることにより、半導体レーザ素子への熱ダメージや、ＡｕＳｎのバリアメタル突き破りを防ぐことができる。
【００４０】
上記ＡｕＳｎを溶解させる温度が３６０℃未満であると、半導体レーザ素子裏面のＡｕ電極に対するＡｕＳｎの濡れ性を確保できない。
【００４１】
上記ＡｕＳｎを溶解させる温度が４００℃を越えると、半導体レーザ素子への熱ダメージや、ＡｕＳｎのバリアメタル突き破りを防げない。
【００４２】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の半導体レーザ素子と上記半導体サブマウントとが、上記第２の半導体レーザ素子の電極を介して接続されている。
【００４４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の半導体レーザ装置を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００４５】
図１は、本発明の実施の一形態の半導体レーザ装置である２波長半導体レーザ装置を正面側から見た断面を模式的に示す図である。
【００４６】
上記２波長半導体レーザ装置は、図１に示すように、表面に絶縁膜５が設けられた第１導電型の半導体サブマウントとしてのＮ型のシリコンサブマウント１６と、このシリコンサブマウント１６にダイボンドされた第１の半導体レーザ素子としての赤色レーザダイオード１４と、シリコンサブマウント１６にダイボンドされた第２の半導体レーザ素子としての赤外レーザダイオード１５とを備えている。
【００４７】
上記シリコンサブマウント１６は、Ｎ＋型基板１と、このＮ＋型基板１上に形成されたＮ−エピタキシャル層２とで構成されている。このＮ−エピタキシャル層２には、第２導電型の第１の拡散領域としてのＰ型拡散領域３Ａと、このＰ型拡散領域３Ａ内に形成された第１導電型の第２の拡散領域としてのＮ型拡散領域４Ａとを設けている。上記Ｐ型拡散領域３ＡおよびＮ型拡散領域４Ａは、赤色レーザダイオード１４の下方に位置している。また、上記Ｎ−エピタキシャル層２には、赤外レーザダイオード１５の下方に位置するようにＮ型拡散領域４Ｂを設けている。
【００４８】
また、上記赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５の下方には絶縁膜５が存在していない。上記赤色レーザダイオード１４の下方においては、絶縁膜５が存在しない領域がＮ型拡散領域４Ａに面している。一方、上記赤外レーザダイオード１５の下方においては、絶縁膜５が存在しない領域がＰ型拡散領域３Ａの一端部とＮ型拡散領域４Ｂとに面している。
【００４９】
そして、上記Ｎ型拡散領域４Ａ上に、赤色レーザダイオード１４を電極を介してマウントしている。上記赤色レーザダイオード１４下の電極は、バリアメタルとしてのＴｉＷ電極（図示せず）、Ａｕ電極７およびＡｕＳｎ電極８で構成されている。そのＴｉＷ電極、Ａｕ電極７およびＡｕＳｎ電極８がこの順でシリコンサブマウント１６のダイボンド面側から順次形成されている。上記Ａｕ電極７はＡｕＳｎに対する密着性を上げるために設けられ、ＡｕＳｎ電極８は赤色レーザダイオード１４裏面のＡｕ電極との接合のために設けられている。
【００５０】
また、上記Ｎ型拡散領域４Ｂ上に、赤外レーザダイオード１５を電極を介してマウントしている。上記赤外レーザダイオード１５下の電極は、Ａｌ層６、バリアメタルとしてのＴｉＷ層（図示せず）、Ａｕ層７およびＡｕＳｎ層８がシリコンサブマウント１６側から順次形成されてなっている。
【００５１】
上記赤色レーザダイオード１４は、ＡｌＧａＩｎＰ系の６５０ｎｍ帯の赤色レーザダイオードであって、Ｐ型層９およびＮ型層１０を有している。また、上記赤色レーザダイオード１４では、放熱性を上げるため、活性層（Ｐ型層９とＮ型層１０の接合部にある層）が低い位置（ダイボンド面に近い位置）にあるジャンクションダウン構造になっている。
【００５２】
上記赤外レーザダイオード１５は、ＧａＡｌＡｓ系の７８０ｎｍ帯の赤外レーザダイオードであって、Ｎ型層１１およびＰ型層１２を有している。また、上記赤外レーザダイオード１５では、光ディスクに照射された光の戻り光対策のため、活性層（Ｐ型層１１とＮ型層１２の接合部にある層）がチップ高さのほぼ中央に位置している。
【００５３】
図２は上記２波長半導体レーザ装置を側方側から見た断面を模式的に示す図であり、図３は上記２波長半導体レーザ装置を上方から見た模式平面図である。なお、図３では、赤色レーザチップ１４，赤外レーザチップ１５は簡単のため図示していない。
【００５４】
上記シリコンサブマウント１６のＮ−エピタキシャル層２には、図２，図３に示すように、出力モニター用のフォトダイオードの受光部となるＰ型拡散領域３Ｂを設けている。これにより、上記シリコンサブマウント１６は出力モニター用のフォトダイオードの機能を有する。
【００５５】
上記構成の２波長半導体レーザ装置によれば、赤色レーザダイオード１４の下方に絶縁膜５が存在していないから、赤色レーザダイオード１４の下方における熱抵抗が低減すると共に、赤色レーザダイオード１４の放熱性が向上する。したがって、上記赤色レーザダイオード１４の熱が効率よく放出され、高温動作時に赤色レーザダイオード１４が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００５６】
また、上記赤外レーザダイオード１５の下方に絶縁膜５が存在していないから、赤外レーザダイオード１５の熱が効率よく放出され、高温動作時に赤外レーザダイオード１５が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００５７】
また、上記シリコンサブマウント１６において、赤色レーザダイオード１４の下方に位置する領域に、Ｐ型拡散領域３Ａ，Ｎ型拡散領域４Ａを設けているから、赤色レーザダイオード１４とシリコンサブマウント１６との短絡を阻止できる。すなわち、上記Ｐ型拡散領域３Ａ，Ｎ型拡散領域４Ａを、赤色レーザダイオード１４の電極直下に位置するようにＮ−エピタキシャル層２に設けて、赤色レーザダイオード１４の電極直下に二重拡散構造(ｎ−ｐ−ｎ構造）を形成することにより、赤色レーザダイオード１４の電極直下の絶縁が保たれている。
【００５８】
また、上記Ｐ型拡散領域３ＡはＡｕ電極７及びＡｌ電極６を介して赤外レーザダイオード１５直下のＮ型拡散領域４Ｂと短絡されている。これにより、上記赤色レーザダイオード１４のＰ型層９に正電位を印加しても、赤色レーザダイオード１４と、グランドであるシリコンサブマウント１６との短絡を防げると共に、赤色レーザダイオード１４にノイズが乗り難いようにすることができる。
【００５９】
図４は、図１〜図３に示した２波長半導体レーザ装置の等価回路を示しており、図１〜図３の回路要素と同じ回路要素には同一番号を付している。図中の１４a,１４kは、図１に示す赤色レーザダイオード１４のＰ型層９側の電極８に繋がるアノード端子１４a,およびＮ型層１０側の電極に繋がるカソード端子１４kであり、１５a,１５kは、図１に示す赤外レーザダイオード１５のＰ型層１２側の電極に繋がるアノード電極１５a,およびＮ型層１１側の電極８に繋がるカソード端子１５kである。この２波長半導体レーザ装置は、赤色レーザダイオード１４の直下に順に設けられたＮ型拡散領域４Ａ，Ｐ型拡散領域３Ａ，Ｎ−エピタキシャル層２からなる二重拡散構造(ｎ−ｐ−ｎ構造)が、図４に示すトランジスタＴrとなり、このトランジスタＴrが赤色レザーダイオード１４の左側にコレクタ接地で並列に接続された構成となる。また、赤外レザーダイオード１５直下のＮ型拡散領域４Ｂは、不純物濃度が十分高いのでカソード端子１５k側の電極８とオーミックコンタクトを形成し、この赤外レーザダイオード１５が、図１に示さない外部回路を介して赤色レーザダイオード１４と並列にカソード接続される。
上記赤色レーザダイオード１４は、アノード端子１４aに負,カソード端子１４kに正の順方向電圧が印加されて動作するが、動作時に外部から逆方向のスパイクノイズが入ることがある。この場合、並列に接続された上記トランジスタＴrが導通してノイズをバイパスさせるので、赤色レーザダイオード１４が外部ノイズの影響を受けにくくなるという利点がある。
【００６０】
図８は、図５〜図７に示した従来の２波長半導体レーザ装置の等価回路を比較のために示すもので、図５〜図７の回路要素同じ回路要素には同一番号を付している。図中の114a,114kは、図５に示す赤色レーザダイオード114のＰ型層109側の電極108に繋がるアノード端子114a,およびＮ型層110側の電極に繋がるカソード端子114kであり、115a,115kは、図５に示す赤外レーザダイオード115のＰ型層112側の電極に繋がるアノード電極115a,およびＮ型層111側の電極108に繋がるカソード端子115kである。この従来の２波長半導体レーザ装置は、赤色,赤外の両レーザダイオード114,115が、絶縁膜105によってフォトダイオード付きシリコンサブマウントから電気的に分離され、赤色レーザダイオード114のアノード端子114aと赤外レーザダイオード115のカソード端子115kも互いに分離され、赤色レーザダイオード114のカソード端子114kと赤外レーザダイオード115のカソード端子115kは、図５に示さない外部回路を介して互いに接続されるので、図８に示すような等価回路となる。
この従来の赤色レーザダイオード114では、外部から上述の実施形態のような逆方向のスパイクノイズが入った場合、これをバイパスさせような回路がないため、上記実施形態と異なり、赤色レーザダイオード114が外部ノイズの影響を受けることになる。
【００６１】
上記実施形態では、赤外レーザダイオード１５の電極直下の絶縁膜も廃止しているが、これは赤外レーザ１５がシリコンサブマウント１６と同じ極性側で接合されているため、特に絶縁の必要はないためである。
【００６２】
上記実施形態では、Ｎ型のシリコンサブマウント１６を用いていたが、Ｐ型のシリコンサブマウントを用いてもよい。また、シリコン以外の半導体からなる半導体サブマウントを用いてもよい。
【００６３】
上記ＴｉＷ電極の膜厚は３００〜７５０ｎｍにするのが好ましい。上記ＴｉＷ電極の膜厚は３００〜７５０ｎｍにすると、溶けたＡｕＳｎ電極８がＴｉＷ層を突き抜けるのを防ぐことができる。
【００６４】
上記Ｎ型拡散領域４Ａの拡散深さは１.５〜４.０μｍにするのが好ましい。上記Ｎ型拡散領域４Ａの拡散深さは１.５〜４.０μｍにすると、溶けた電極がシリコンサブマウント１６に向かって突出しても、電極がＰ型拡散領域３Ａと短絡するのを阻止できる。
【００６５】
上記赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５をマウントするためにＡｕＳｎ電極８を溶解させる温度は３６０〜４００℃にするのが好ましい。上記ＡｕＳｎ電極８を溶解させる温度を３６０〜４００℃にすることにより、赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５の裏面のＡｕ電極に対するＡｕＳｎ電極８の濡れ性を確保できる。また、上記ＡｕＳｎ電極８を溶解させる温度が３６０〜４００℃であることにより、赤色レーザダイオード１４および赤外レーザダイオード１５への熱ダメージや、ＡｕＳｎ電極８のバリアメタル突き破りを防ぐことができる。
【００６６】
また、上記実施の形態では、図５の従来例とは異なり、上記赤色レーザダイオード１４の下方においてＡｌ電極を設けていない。つまり、上記赤色レーザダイオード１４下の電極はＡｌを含んでいない。これは、上記赤色レーザダイオード１４下の電極は基板つまりシリコンサブマウント１６とオーミックコンタクトをとる必要が無いからである。また、上記赤色レーザダイオード１４下の電極にＡｌを含ませないのは、溶けたＡｕＳｎ電極８がＴｉＷを突き破って、シリコンサブマウント１６に直接拡散しても、スパイクが発生しないようにするためである。
【００６７】
また、上記赤外レーザダイオード１５の下方の電極構造は、シリコンサブマウント１６側からＡｌ／ＴｉＷ／Ａｕ層／ＡｕＳｎの構造であったが、シリコンサブマウント１６側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造にしてもよい。すなわち、上記赤外レーザダイオード１５の下方の電極においてＡｌをなくしてもよい。
【００６８】
また、上記赤色レーザダイオード１４のシリコンサブマウント１６側の極性をＮ型にすると共に、赤外レーザダイオード１５のシリコンサブマウント１６側の極性をＰ型にしてもよい。
【００６９】
また、第１の半導体レーザ素子は、発光点が１つである必要はない。例えば、発振波長が異なる２つの発光点を有する半導体レーザが１つの基板に形成された半導体レーザ素子であっても本発明を適用できることは説明するまでも無い。
本発明の半導体レーザ装置を、光ピックアップの光源として用いれば、２つのレーザ光の光軸を一致させる光学系を用いる必要が無く、光学系の構成を簡単にできる。また、半導体レーザ装置が１つで済むので光学系を小さくすることができる。
【００７０】
【発明の効果】
本発明に係る２波長半導体レーザにおいては、放熱性を向上させるために、シリコンサブマウントの表面上の絶縁膜の一部を除去している。これにより、従来構造と比較して、特に赤色レーザの熱抵抗を１０〜３０％低減することができ（試作では絶縁膜ありでａｖｅ.５０.７℃／Ｗ、絶縁膜なしではａｖｅ.４２.８℃／Ｗ）、かつ、高温動作電流においても１０〜３０％低減できる。このように、上記２波長半導体レーザは、高温雰囲気化で安定した動作を得ることができるという点で、優れた特有の効果を奏する。
【００７１】
すなわち、本発明の半導体レーザ装置は、第１の半導体レーザ素子が、半導体サビマウントの第２の拡散領域上に絶縁膜を介さず電極を介して直接接続されているので、第１の半導体レーザ素子の熱が効率よく放出され、高温動作時に第１の半導体レーザ素子が劣化したり故障したりするのを防止することができる。
【００７２】
また、上記半導体サブマウントにおいて第１の半導体レーザ素子の下方に、導電型が互いに異なる第１，第２の拡散領域を設けているから、第１の半導体レーザ素子が半導体サブマウントと短絡するのを阻止できる。
【００７３】
一実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記第１の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるので、ＡｕＳｎのスパイクの発生をなくすことができる。
【００７４】
一実施形態の半導体レーザ装置によれば、上記第２の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であるので、ＡｕＳｎのスパイクの発生をなくすことができる。
【００７５】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記ＴｉＷの膜厚は３００〜７５０ｎｍであるから、溶けたＡｕＳｎ層がＴｉＷ層を突き抜けるのを阻止できる。
【００７６】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記第２の拡散領域の拡散深さは１.５〜４.０μｍであるから、第２の拡散領域上の電極が溶けて第１の拡散領域にまで達することがなく、第２の拡散領域上の電極が第１の拡散領域と短絡するのを防止できる。
【００７７】
一実施形態の半導体レーザ装置は、上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されているから、第１，第２の半導体レーザ素子の一方の端面から出射された光をフォトダイオードで受光して、第１，第２の半導体レーザ素子の他方の端面から出射される光の出力をモニターすることができる。
【００７８】
また、本発明の半導体レーザ装置の製造方法は、上記ＡｕＳｎを溶解させる温度は３６０〜４００℃であるから、ＡｕＳｎと半導体レーザ素子裏面のＡｕ電極との濡れ性を確保できると共に、半導体レーザ素子への熱ダメージや、ＡｕＳｎのバリアメタル突き破りを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明の実施の一形態の２波長半導体レーザ装置の模式断面図である。
【図２】 図２は上記２波長半導体レーザ装置の模式断面図である。
【図３】 図３は上記２波長半導体レーザ装置の模式平面図である。
【図４】 図４は上記２波長半導体レーザ装置の等価回路図である。
【図５】 図５は従来の２波長半導体レーザ装置の模式断面図である。
【図６】 図６は図５のVI−VI線矢視の模式断面図である。
【図７】 図７は上記従来の２波長半導体レーザ装置の模式平面図である。
【図８】 図８は上記従来の２波長半導体レーザ装置の等価回路図である。
【符号の説明】
３Ａ,３Ｂ Ｐ型拡散領域
４Ａ,４Ｂ Ｎ型拡散領域
５ 絶縁膜
１４ 赤色レーザダイオード
１５ 赤外レーザダイオード
１６ シリコンサブマウント
Claims (10)
- 第１導電型の半導体サブマウントと、この半導体サブマウントにダイボンドされ、上記半導体サブマウント側の極性が互いに異なっている第１，第２の半導体レーザ素子とを備えた半導体レーザ装置において、
上記半導体サブマウントに、第２導電型の第１の拡散領域と、この第１の拡散領域内に形成された第１導電型の第２の拡散領域とが上記第１の半導体レーザ素子の下方に位置するように設けられており、
上記第２の拡散領域上に、上記第１の半導体レーザ素子が電極を介して接続されていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項１に記載の半導体レーザ装置において、
上記第１の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、上記半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項１または２に記載の半導体レーザ装置において、
上記第２の半導体レーザ素子をマウントするための電極は、上記半導体サブマウント側からＴｉＷ／Ａｕ／ＡｕＳｎの構造であることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項２または３に記載の半導体レーザ装置において、
上記ＴｉＷの膜厚は３００〜７５０ｎｍであることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項１乃至４のいずれか１つに記載の半導体レーザ装置において、
上記第２の拡散領域の拡散深さは１.５〜４.０μｍであることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項１に記載の半導体レーザ装置において、
上記第１の半導体レーザ素子はジャンクションダウンのＡｌＧａＩｎＰ系の６５０ｎｍ帯の赤色レーザダイオードであり、
上記第２の半導体レーザ素子は活性層が高さ方向の中央に位置するＧａＡｌＡｓ系の７８０ｎｍ帯の赤外レーザダイオードであることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項１乃至６のいずれか１つに記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体サブマウントはＳｉからなり、上記第１導電型がＮ型であり、上記第２導電型がＰ型であることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項１乃至７のいずれか１つに記載の半導体レーザ装置において、
上記半導体サブマウントに出力モニター用のフォトダイオードが形成されていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項２乃至４のいずれか１つに記載の半導体レーザ装置の製造方法であって、
上記ＡｕＳｎを溶解させる温度は３６０〜４００℃であることを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。 - 請求項１に記載の半導体レーザ装置において、上記第２の半導体レーザ素子と上記半導体サブマウントとは、上記第２の半導体レーザ素子の電極を介して接続されていることを特徴とする半導体レーザ装置。
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