JP4295504B2 - 金属に対するポリマーの接着を改良する方法 - Google Patents

金属に対するポリマーの接着を改良する方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4295504B2
JP4295504B2 JP2002521607A JP2002521607A JP4295504B2 JP 4295504 B2 JP4295504 B2 JP 4295504B2 JP 2002521607 A JP2002521607 A JP 2002521607A JP 2002521607 A JP2002521607 A JP 2002521607A JP 4295504 B2 JP4295504 B2 JP 4295504B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
adhesion
copper
composition
group
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002521607A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004517974A (ja
Inventor
フエリアー,ドナルド
Original Assignee
マクダーミド・インコーポレーテツド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by マクダーミド・インコーポレーテツド filed Critical マクダーミド・インコーポレーテツド
Publication of JP2004517974A publication Critical patent/JP2004517974A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4295504B2 publication Critical patent/JP4295504B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/38Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal
    • H05K3/382Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal
    • H05K3/383Improvement of the adhesion between the insulating substrate and the metal by special treatment of the metal by microetching
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J5/00Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
    • C09J5/02Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers involving pretreatment of the surfaces to be joined
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/05Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions
    • C23C22/06Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6
    • C23C22/40Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6 containing molybdates, tungstates or vanadates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C22/00Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C22/05Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions
    • C23C22/06Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6
    • C23C22/48Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive liquid, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using aqueous solutions using aqueous acidic solutions with pH less than 6 not containing phosphates, hexavalent chromium compounds, fluorides or complex fluorides, molybdates, tungstates, vanadates or oxalates
    • C23C22/52Treatment of copper or alloys based thereon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10Etching compositions
    • C23F1/14Aqueous compositions
    • C23F1/16Acidic compositions
    • C23F1/18Acidic compositions for etching copper or alloys thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2400/00Presence of inorganic and organic materials
    • C09J2400/10Presence of inorganic materials
    • C09J2400/16Metal
    • C09J2400/163Metal in the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2400/00Presence of inorganic and organic materials
    • C09J2400/10Presence of inorganic materials
    • C09J2400/16Metal
    • C09J2400/166Metal in the pretreated surface to be joined
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2400/00Presence of inorganic and organic materials
    • C09J2400/20Presence of organic materials
    • C09J2400/22Presence of unspecified polymer
    • C09J2400/226Presence of unspecified polymer in the substrate
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J2400/00Presence of inorganic and organic materials
    • C09J2400/20Presence of organic materials
    • C09J2400/22Presence of unspecified polymer
    • C09J2400/228Presence of unspecified polymer in the pretreated surface to be joined

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Chemical Treatment Of Metals (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Preventing Corrosion Or Incrustation Of Metals (AREA)

Description

【0001】
[発明の背景]
本発明は印刷回路(printed circuits)、更に特定的には多層印刷回路を製造する方法に関する。
【0002】
1個又はそれより多くの回路内層(circuitry innerlayers)を含有する印刷回路は、電子工学的装置におけるなお一層の重量及び空間の節約に対する要求が増加するにつれて今日その使用は顕著になっている。
【0003】
多層印刷回路の典型的な製造においては、銅箔被覆誘電体基板材料(copper foil−clad dielectric substrate material)に所望の回路パターンのポジ像においてレジストでパターン化し、次いで露出した銅をエッチングして除去することにより、パターン化された回路内層を最初に製造する。レジストが除去されると、所望の銅回路パターンが残る。
【0004】
任意の特定のタイプ(1つ又は複数)の回路パターンの1個又はそれより多くの回路内層並びにアース面(ground planes)及びパワー面(power planes)を構成し得る回路内層は、回路内層の間に1個又はそれより多くの部分的に硬化した誘電体基板材料層(いわゆる「プリプレグ」層)を挿入して、交互する回路内層と誘電体基板材料の複合体を形成することにより、多層回路に組み立てられる。次いで複合体を熱及び圧力にさらして、部分的に硬化した基板材料を硬化させそしてそれに対する回路内層の結合(bonding)を達成する。次いでそのように硬化された複合体は、それを貫通してあけられた多数のスルーホールを有し、次いでこのスルーホールを金属化してすべての回路層を電導的に相互連結するための手段を与える。スルーホール金属化プロセスの過程で、所望の回路パターンも典型的には多層複合体の外側に面している層上に形成されるであろう。
【0005】
多層プリント回路板を形成するための別の方法は、アディティブ又は表面ラミナー回路技術(additive or surface laminar circuitry techniques)である。これらの技術は非電導性基板で始まり、その上に回路要素を追加的にメッキする。更なる層は、回路上に像形成可能なコーティングを繰り返して施しそして該像形成可能なコーティングの上に更なる回路要素をメッキすることにより達成される。
【0006】
回路内層の銅金属と、それに接触している硬化したプリプレグ層又は他の非電導性コーティングとの間に形成された接着結合(adhesibe bond)の強度は十分とは言えず、その結果、硬化した多層複合体又はコーティングはその後の加工及び/又は使用中に層間剥離し易いことが長い間知られている。この問題に応えて、当該技術は回路内層の銅表面に(それらをプリプレグと共に組み立てて多層複合体とする前に)、例えば、銅表面の化学的酸化により酸化銅の層を形成させる技術を開発した。この点での最も初期の試みは(いわゆる「黒色酸化物」接着促進剤)は、酸化銅を設けないで得られた最終多層回路と比較して、最終多層回路における回路内層の誘電体基板層への結合において幾らかの最小限の改良をした。黒色酸化物技術のその後の変法は、A.G.Osborne,”An Alternate Route To Red Oxide For Inner Layers”,PC Fab,August,1984,により開示されている如き、最初に銅表面に黒色酸化物コーティングを生成させ、次いで黒色酸化物付着物を15%硫酸で後処理して「赤色酸化物」を生成させて接着促進剤として作用させる方法、並びに、赤色酸化物接着促進剤の直接の生成を含む変法を包含し、様々な程度の成功が得られた。この技術における最も注目すべき改良はLandanへの米国特許第4,409037号及び米国特許第4,844,981号に示されており、相対的に高い亜塩素酸塩/相対的に低い苛性銅酸化性組成物(caustic copper oxidizing compositions)から形成された酸化物を含みそして回路内層接着において実質的に改良された結果を生じる。この両特許の教示は引用によりその全てが本明細書に包含される。
【0007】
前記した如く、組み立てられそして硬化された多層回路複合体は、スルーホー
を備えており、スルーホールは、次いで回路の回路層の電導性相互連絡のための手段として作用するために金属化を必要とする。スルーホールの金属化は、ホール表面の樹脂の汚れの除去、触媒的活性化、無電解銅沈積、電解銅沈積等の工程を含む。これらのプロセス工程の多くは、スルーホールにおいて又はスルーホールの近くに露出した回路内層部分における酸化銅接着促進剤コーティングを溶解することができる媒体、例えば酸の使用を含む。スルーホールの回りのピンクリング又はハロー(それにより露出された下にある銅金属のピンク色による)の形成により証明される酸化銅のこの局所化溶解(localized dissolution)は多層回路における局所的層間剥離(localized delamination)をもたらすことがある。
【0008】
当該技術はこの「ピンクリング」現象について熟知しており、そしてこのような局所的層間剥離を受け易くない多層印刷回路製造方法に到達することを求めて広範囲の努力を払ってきた。1つの提案されたアプローチは、厚いコーティングとして接着促進酸化銅を与えて、単に存在する酸化銅の薄い容積によるその後の処理におけるその溶解を遅らせることであった。しかしながら、これは本質的に逆効果であることが分かった。何故ならば、より厚い酸化物コーティングはそれ自体接着促進剤として本来あまり有効ではないからである。多層複合体を組み立てるための加圧/硬化条件の最適化に関する他の提案は限られた成功しか達成しなかった。
【0009】
この問題に対する他のアプローチは、回路内層とプリプレグ層を組み立てて多層複合体とする前の酸化銅接着促進剤コーティングの後処理を含む。例えば、Cordaniへの米国特許第4,775,444号は、回路内層が多層組立体に組み込まれる前に、回路内層の銅表面に最初に酸化銅コーティングを与え、次いで水性クロム酸溶液と接触させる方法を開示する。この処理はその後の処理工程(例えば、スルーホール金属化)において遭遇する酸性媒体中の溶解から酸化銅コーティングを安定化及び/又は保護するのに役立ち、それによりピンクリング/層間剥離の可能性を最小にする。
【0010】
Akahoshi等への米国特許第4,642,161号、Nakaso等への米国特許第4,902,551号及びKajihara等への米国特許第4,981,560号及びそれらに引用された多数の参考文献は、回路内層を組み込んで多層回路組立体とする前に、回路内層の銅表面を最初に処理して接着促進酸化銅の表面コーティングを与える方法に関する。そのように形成された酸化銅を次いで特定の還元剤及び条件を使用して金属銅に還元する。結果として、このような回路内層を使用する多層組立体はピンクリングの形成を示さない。何故ならば、局所化溶解のための酸化銅が存在せず、そしてその後のスルーホール処理において下方にある銅の局所化露出がないからである。しかしながら、他の技術に関すると同じく、このタイプの方法は誘電体基板層と金属銅回路内層との間で達成することができる接着に関して疑わしいからである。これは特にこれらの還元方法においてそうである。何故ならば、回路結合表面は金属銅であるのみならず、相界面に沿った分離/層間剥離しやすい別個の相(distinct phses)において金属銅(即ち、銅箔の銅(2)の上の酸化銅の還元からの銅(1))も与えるからである。
【0011】
Adlerへの米国特許第4,997,722号及び第4,997,516号は、同様に回路内層の銅表面に酸化銅コーティングを形成し、次いで特定の還元溶液により処理して酸化銅を金属銅に還元することを含む。酸化銅のある部分は明らかに完全に金属銅に還元されていないことがあり(その代わりに含水酸化第一銅又は水酸化第一銅に還元される)、そしてこれらの種はその後非酸化性酸中に溶解される。この非酸化性酸は既に金属銅に還元された部分を攻撃又は溶解しない。このようなものとして、このような回路内層を使用する多層組立体はピンクリングの形成を明示しないであろう。何故ならば、局所化溶解のための酸化銅が存在せずそしてその後のスルーホール処理において下方にある銅の局所化露出がないからである。しかしながら、ここでも誘電体層と金属銅回路内層との接着に関して問題が生じることがある。何故ならば、第一には結合表面が金属銅でありそして第2に金属銅は主として別個の相(即ち、銅箔の銅(2)の上の酸化銅の還元からの銅(1))において、即ち、相界面に沿って分離/層間剥離し易い状況において存在するからである。
【0012】
Ferrier等への米国特許第5,289,630号は、酸化銅の接着促進層を回路要素上に形成し、次いでトポグラフィーに不利に影響しない方式で実質的量の酸化銅の制御された溶解及び除去を行う方法を示しており、該米国特許5,289,630号の教示は引用によりその全部が本明細書に包含される。
【0013】
McGrathへのPCT出願No.WO 96/19097(及び関連した米国特許第5,800,859号)は、ポリマー材料の金属表面への接着を改良する方法を検討している。検討された方法は、金属表面を過酸化水素、無機酸、腐食抑制剤及び第四級アンモニウム界面活性剤を含んでなる接着促進組成物と接触させることを含む。
【0014】
Ferrierに発行された米国特許第5,869,130号は、金属表面を、酸化剤、酸、腐食抑制剤、ハロゲン化物イオン源及び場合により金属表面へのポリマー材料の接着力を増加させるための水溶性ポリマーを含んでなる組成物で処理する方法を開示する。
【0015】
本発明は、金属表面、特に銅又は銅合金表面へのポリマー材料の接着を改良する方法を提唱する。本発明で提唱された方法は、多層プリント回路の製造において特に有用である。本発明で提唱された方法は、金属表面とポリマー表面(即ち、回路と中間絶縁層)間の最適の接着を与え、ピンクリングを排除又は最小にしそしてすべて慣用の方法と比較して経済的に操作される。
【0016】
[発明の要約]
本発明者は、金属表面、特に銅及び銅合金表面へのポリマー材料の接着を改良する方法をここに提案する。この提案された方法は、
1)金属表面を、
a)酸化剤、
b)酸、
c)腐食抑制剤、
d)水素基より強い電子求引体(electron withdrawer)である電子求引性基を1−位置に有するベンゾトリアゾール、及び
e)場合により、モリブデン酸塩、タングステン酸塩、タンタル酸塩、ニオブ酸塩、バナジン酸塩、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブ、バナジウムのイソポリ酸又はヘテロポリ酸及び前記のいずれかの組み合わせよりなる群から選ばれる接着強化種(adhesion enhancing species)のソース、
を含んでなる接着促進組成物(adhesion−promoting composition)と接触させ、
2)次いでポリマー材料を金属表面に結合させる、
ことを含んでなる。
【0017】
本発明者は、前記の方法は特に金属表面が銅又は銅合金を含んでなる場合に、金属表面のポリマー材料への接着を改良することを見いだした。提案された方法は多層印刷回路基板の製造に特に適している。
【0018】
[発明の詳細な記述]
ここに本発明者は、ポリマー材料を金属表面に結合させる前に金属表面を接着促進組成物と接触させることにより、金属表面とポリマー材料との間の接着(adhesion)が高められることを見いだした。それ故、本発明は金属表面へのポリマー材料の接着を増加させる方法であって、該方法は
1)金属表面を、
a)酸化剤、
b)酸、
c)腐食抑制剤、
d)好ましくは、水素基より強い電子求引体でありそして好ましくはヒドロキシ基、アミノ基、ニトロ基、ニトリル基、スルホネート基、カルボキシレート基、ハロゲン化物基、メルカプタン基及び不飽和アルキル基よりなる群から選ばれる電子求引性基を1−位置に有するベンゾトリアゾール、及び
e)場合により、モリブデン酸塩、タングステン酸塩、タンタル酸塩、ニオブ酸塩、バナジン酸塩、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブ、バナジウムのイソポリ酸又はヘテロポリ酸及び前記のいずれかの組み合わせよりなる群から選ばれる接着強化種、
(f)場合により、水溶性ポリマー、
(g)好ましくはハロゲン化物イオン源、
を含んでなる接着促進組成物と接触させ、
2)次いでポリマー材料を金属表面に結合させる、
ことを含んでなる方法を提案する。
【0019】
本発明者は、提案された接着促進組成物は金属上に粗面化され、コーティングされた表面を生成させることを見いだした。生成した表面は、非処理金属表面と比較して、有意に増加した接着値(adhesion values)が達成されるという点でポリマー材料との結合に特に適している。更に、コーティングされた(処理された)金属表面は時間に対する増加した接着を維持しそして金属とポリマー材料との間の時間に対して起こるいかなる所望されない反応の可能性も減少させる。
【0020】
提案された方法は、多層印刷回路基板の製造に特に適している。かくして、この用途において、内層の金属回路(通常銅)は本発明で提案された接着促進組成物で処理される。処理し、次いで水で洗浄した後、内層をプリプレグ又は像形性可能な誘電体(imageable dielectrics)の如きポリマー材料と結合させ、多層印刷回路基板を得る。
【0021】
処理されるべき金属表面は、種々の金属、例えば、銅、銅合金、ニッケル及び鉄を含んでなることができる。しかしながら、本発明の方法は、金属表面が銅又は銅合金を含んでなるとき最善の結果を生じる。ポリマー材料はプリプレグ材料、像形成可能な誘電体、光像形成可能な樹脂(photoimageable resins)、ハンダマスク、接着剤又はポリマーエッチレジストを含むポリマー材料であることができる。
【0022】
接着促進組成物において使用される酸化剤は、接着促進組成物のマトリックス中の金属表面を酸化することができるいかなる酸化剤も含んでなることができる。本発明者は、過酸化水素及び過硫酸塩が本発明の方法において使用するための特に好ましい酸化剤であり、過酸化水素が最も好ましい酸化剤であることを見いだした。接着促進組成物における酸化剤の濃度は2〜60グラム/リットルの範囲内にあることができるが、好ましくは3〜30グラム/リットルである。
【0023】
接着促進性組成物において利用される酸はマトリックス中で安定ないかなる酸であってもよいが、本発明者は、鉱酸が特に好ましいことを見いだした。硫酸が特に好ましい。接着促進組成物中の酸の濃度は5〜360グラム/リットルの範囲内にあることができるが、好ましくは20〜110グラム/リットルである。
【0024】
接着促進組成物において使用される腐食抑制剤は金属表面と有効に反応して保護錯体層を形成する化合物である。好ましい腐食抑制剤はトリアゾール類、ベンゾトリアゾール類、テトラゾール類、イミダゾール類、ベンゾイミダゾール類及び前記のものの混合物よりなる群から選ばれる。接着促進組成物中の腐食抑制剤の濃度は、0.2〜20グラム/リットルの範囲内にあることができるが、好ましくは1〜12グラム/リットルである。
【0025】
本発明者は、水素基よりも強い電子求引体である電子求引性基を1−位置に有するベンゾトリアゾールの添加は生成されるコーティング及び結合の後達成される接着の均一性に関して利点を生じることを見いだした。本発明者は、電子求引性基は好ましくは、ヒドロキシ基、アミノ基、ニトロ基、ニトリル基、スルホネート基、カルボキシレート基、ハロゲン化物基、メルカプタン基及び不飽和アルキル基よりなる群から選ばれることを見いだした。最も好ましくは、電子求引性基はヒドロキシ基であり、かくしてこの点で最も好ましい材料は下記の構造
【0026】
【化3】
Figure 0004295504
【0027】
を有する1−ヒドロキシベンゾトリアゾールである。
【0028】
腐食抑制剤及び1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールの両方が同じ化合物であることができる。例えば、1−ヒドロキシベンゾトリアゾールは、腐食抑制剤及び1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールの両方の役割を果たすことができる。
【0029】
前記材料の使用により達成可能な利点は、下記する如き接着強化種のソースが接着促進組成物において前記材料と共に使用されるとき最も顕著である。本発明者は、提案された組み合わせは相乗的効果を生じることを見いだした。1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールの濃度は0.2g/l〜20g/lの範囲内にあることができるが、好ましくは0.5g/l〜5g/lの範囲にある。
【0030】
接着強化種のソースはモリブデン酸塩、タングステン酸塩、タンタル酸塩、ニオブ酸塩、バナジン酸塩及びそれらの混合物よりなる群から選ばれる種を接着促進組成物に供給するいかなる材料であってもよい。このようなソースは、モリブデン酸、タングステン酸、タンタル酸、ニオブ酸、バナジン酸のアルカリ金属塩及びそれらの混合物、例えば、モリブデン酸ナトリウム(又はカリウム)、タングステン酸ナトリウム(又はカリウム)、ニオブ酸ナトリウム(又はカリウム)又はバナジウム酸ナトリウム(又はカリウム)、並びにモリブデン、タングステン、タンタル、ニオブ又はバナジウムのヘテロポリ酸又はイソポリ酸を包含する。かくして、リン、ケイ素、コバルト、マンガン及びタングステンの如きヘテロ原子を含むモリブデン酸塩又はタングステン酸塩が適当である。好ましいソースは、モリブデン、タングステン、ニオブ、バナジウムのイソポリ酸及びヘテロポリ酸及びそれらの混合物、例えば、モリブデン酸、バナジン酸及びタングステン酸を包含する。接着強化種の最も好ましいソースはモリブデン酸である。接着促進組成物中の接着強化種の濃度は1mg/l〜500mg/l(接着強化イオン含有量に基づいて)の範囲内にあることができるが、好ましくは5mg/l〜200mg/lである。接着強化種は1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールを伴い又は伴わないで利用することができる。
【0031】
場合により、接着促進組成物は水溶性ポリマーを含んでなることもできる。使用する場合には、水溶性ポリマーは好ましくは湿潤剤又は界面活性剤ではなくて、その代わりに低分子量水溶性モノマーの水溶性ホモポリマー又はコポリマーである。最も好ましくは、水溶性ポリマーはエチレンオキシドのポリマー、ポリエチレングリコール、ポリプロレングリコール又はポリビニルアルコールである。なかでも最も好ましいものは、商品名Carbowaxの下にUnion Carbide社により販売されているエチレンオキシドのポリマー又はポリエチレングリコールである。本発明者は、Carbowax750及びCarbowax MPEG 2000が特に有用であることを見いだした。商品名Pluronicの下にBASF社により販売されているエチレンオキシドホモポリマーも特に有用である。接着促進組成物中の水溶性ポリマーの濃度は1〜15グラム/リットルの範囲内にあることができるが、好ましくは3〜6グラム/リットルである。
【0032】
かくして、接着促進組成物は、酸、酸化剤及び腐食抑制剤を含有するべきである。好ましくは、該組成物は本明細書に記載の如く1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールも含んでなるか、又は腐食抑制剤が1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールであることができる。いずれの場合も、1−位置に電子求引性基を有するベンゾトリアゾールが使用されようとされまいと、組成物は好ましくは、本明細書に記載の如き接着強化種も含んでなる。
【0033】
好ましくは、接着促進組成物は、接着促進組成物のマトリックス中にハロゲン化物イオンを与える化合物であるハロゲン化物イオン源も含有する。好ましくは、ハロゲン化物イオン源は、アルカリ金属塩、例えば、塩化ナトリウム又は塩化カリウム、オキソハライド、例えば、塩素酸ナトリウムもしくは塩素酸カリウム、又はハロゲン化物含有鉱酸、例えば、塩酸である。好ましくは、ハロゲン化物イオン源は接着促進組成物に塩化物イオンを与えそして最も好ましくはハロゲン化物イオン源は接着促進組成物に塩素酸イオンを与える。接着促進組成物中のハロゲン化物イオン源の濃度は、すべてハロゲン化物イオン含有量を基準として、5〜500ミリグラム/リットルの範囲内にあることができるが、好ましくは10〜50ミリグラム/リットルである。
【0034】
金属表面は、浸漬、噴霧又はフラッド(flood)を包含する種々の方法で接着促進組成物により処理することができる。処理期間中の接着促進組成物の温度は26.7℃〜65.6℃の範囲内にあることができるが、好ましくは32.2℃〜48.9℃である。処理時間は処理の温度及び方法に依存して変わるであろうが、15秒〜15分の範囲内にあることができ、好ましくは1〜2分である。
【0035】
下記の実施例は本発明の説明のためであり、本発明を限定するものとみなすべきではない。
【0036】
下記の実施例において銅被覆パネル及び銅箔を処理する際に下記のサイクルを使用した。
【0037】
【表1】
Figure 0004295504
【0038】
実施例1〜15
硫酸(98重量%)2容量%、50重量%過酸化水素0.75容量%、ベンゾトリアゾール4gr/l及び残り水を含有するベース接着促進溶液を調製した。各実施例について、下表Iに示されたヒドロキシベンゾトリアゾール水和物及びモリブデン酸の量を前記ベース溶液に加えそして銅箔及び銅パネルを、各実施例について示された温度で各場合に特定された試験溶液で上記した標準サイクルにより処理した。各実施例について達成された外観は下表Iに示される。
【0039】
【表2】
Figure 0004295504
【0040】
処理の後、パネル及び箔を110℃で30分焼付け、次いでNELCO N4205−2 B Stage(FR−4)(NELCO Companyから入手可能)で176.7℃及び14.1kg/cm2の圧力で積層した。B−Stageは1080ガラスの2枚のシートの間に挟まれた7628ガラスの1枚のシートからなっていた。積層化の後、パネルを画像化して2.5cm幅のストリップを形成させ、そして過剰の銅を除去した。ストリップ化されたパネルを110℃で2時間焼付け、次いでゼロ、10及び20秒間287.8℃のハンダに浸漬した。樹脂から箔ストリップを剥離させることにより樹脂に対する銅の結合の強度を測定し、そして結果を下表IIに報告する。
【0041】
【表3】
Figure 0004295504
【0042】
実施例は、本発明の方法により外観及び接着において達成可能な利点を明らかに示す。
【0043】
実施例16
この場合に試験溶液中のベンゾトリアゾールの濃度を4gr/lから7gr/lに増加させたことを除いて実施例1を繰り返した。実施例1におけると同様に、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール又はモリブデン酸は使用しなかった。結果は均一のピンクの外観であった。達成された剥離強度は、それぞれ287.8℃ハンダにおいて、0秒、10秒及び20秒について0.20kg/cm2、0.18kg/cm2及び0.18kg/cm2であった。

Claims (8)

  1. ポリマー材料を金属表面に結合させる前に金属表面を処理するのに有用な組成物であって、該組成物が
    a.過酸化水素2〜60グラム/リットル
    b.無機酸5〜360グラム/リットル、
    c.1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、及び
    d.モリブデン酸塩、タングステン酸塩、タンタル酸塩、ニオブ酸塩、バナジン酸塩、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブ、バナジウムのイソポリ酸又はヘテロポリ酸及び前記の組み合わせよりなる群から選ばれる接着強化種のソース、
    を含んでなる組成物。
  2. 組成物が1−ヒドロキシベンゾトリアゾール以外の腐食抑制剤も含んでなる請求項1に記載の組成物。
  3. 腐食抑制剤がトリアゾール類、ベンゾトリアゾール類、イミダゾール類、ベンゾイミダゾール類、テトラゾール類及びそれらの混合物よりなる群から選ばれる請求項2に記載の組成物。
  4. 接着強化種がモリブデン酸イオンを含んでなる請求項3に記載の組成物。
  5. 過酸化水素の濃度が3〜30グラム/リットルである請求項4に記載の組成物。
  6. 銅を含んでなる金属表面へのポリマー材料の接着を増加させる方法であって、該方法が
    a.金属表面を、
    1.過酸化水素2〜60グラム/リットル
    2.無機酸5〜360グラム/リットル、
    3.1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、
    4.モリブデン酸塩、タングステン酸塩、ニオブ酸塩、タンタル酸塩、バナジン酸塩、モリブデン、タングステン、タンタル、ニオブ、バナジウムのイソポリ酸又はヘテロポリ酸及び前記のいずれかの組み合わせよりなる群から選ばれる接着強化種のソース、
    を含んでなる接着促進組成物と接触させ、そして
    b.ポリマー材料を金属表面に結合させる、
    ことを含んでなる方法。
  7. 組成物が1−ヒドロキシベンゾトリアゾール以外の腐蝕抑制剤も含んでなる請求項6に記載の方法。
  8. 腐食抑制剤がトリアゾール類、ベンゾトリアゾール類、イミダゾール類、ベンゾイミダゾール類、テトラゾール類及び前記のいずれかの組み合わせよりなる群から選ばれる請求項7に記載の方法。
JP2002521607A 2000-08-22 2001-07-31 金属に対するポリマーの接着を改良する方法 Expired - Lifetime JP4295504B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/643,813 US6554948B1 (en) 2000-08-22 2000-08-22 Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces
PCT/US2001/024005 WO2002016524A1 (en) 2000-08-22 2001-07-31 Process for improving polymer to metal adhesion

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004517974A JP2004517974A (ja) 2004-06-17
JP4295504B2 true JP4295504B2 (ja) 2009-07-15

Family

ID=24582325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002521607A Expired - Lifetime JP4295504B2 (ja) 2000-08-22 2001-07-31 金属に対するポリマーの接着を改良する方法

Country Status (10)

Country Link
US (1) US6554948B1 (ja)
EP (1) EP1311644B1 (ja)
JP (1) JP4295504B2 (ja)
CN (1) CN100343356C (ja)
AU (1) AU2001283048A1 (ja)
CA (1) CA2420540A1 (ja)
DE (1) DE60115253T2 (ja)
ES (1) ES2252274T3 (ja)
TW (1) TW538080B (ja)
WO (1) WO2002016524A1 (ja)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6141870A (en) 1997-08-04 2000-11-07 Peter K. Trzyna Method for making electrical device
US6461415B1 (en) * 2000-08-23 2002-10-08 Applied Thin Films, Inc. High temperature amorphous composition based on aluminum phosphate
US6573209B1 (en) * 2000-10-13 2003-06-03 Applied Thin Films, Inc. Zirconium nitride and yttrium nitride solid solution composition
US6645639B1 (en) * 2000-10-13 2003-11-11 Applied Thin Films, Inc. Epitaxial oxide films via nitride conversion
DE10114980A1 (de) * 2001-03-27 2002-10-17 Henkel Kgaa Haftvermittler für Lacke und Klebstoffe auf Metallen
CA2497468C (en) * 2002-08-14 2011-10-11 Applied Thin Films, Inc. Aluminum phosphate compounds, compositions, materials and related composites.
US8021758B2 (en) * 2002-12-23 2011-09-20 Applied Thin Films, Inc. Aluminum phosphate compounds, coatings, related composites and applications
US7232478B2 (en) * 2003-07-14 2007-06-19 Enthone Inc. Adhesion promotion in printed circuit boards
US20060065365A1 (en) * 2004-09-30 2006-03-30 Ferrier Donald R Melamine-formaldehyde post-dip composition for improving adhesion of metal to polymer
KR101632450B1 (ko) 2008-03-21 2016-06-21 엔쏜 인코포레이티드 다작용기성 화합물을 이용한 적층체에 대한 금속의 접착 촉진
US8518281B2 (en) * 2008-06-03 2013-08-27 Kesheng Feng Acid-resistance promoting composition
US8308893B2 (en) * 2010-02-01 2012-11-13 Ming De Wang Nano-oxide process for bonding copper/copper alloy and resin
KR101730983B1 (ko) * 2010-07-06 2017-04-27 나믹스 코포레이션 인쇄회로기판에서 사용하기 위한 유기 기판에의 접착을 향상시키는 구리 표면의 처리 방법
KR101822118B1 (ko) 2010-07-06 2018-01-25 아토테크 도이칠란드 게엠베하 금속 표면의 처리 방법 및 그에 의해 형성된 장치
US8524540B2 (en) 2011-02-01 2013-09-03 Nilesh Kapadia Adhesion promoting composition for metal leadframes
CN111867275B (zh) * 2020-07-31 2021-08-24 国网河南省电力公司西峡县供电公司 一种提高印刷电路板层间结合力的棕化方法
CA3110357A1 (en) * 2021-02-25 2022-08-25 Sixring Inc. Modified sulfuric acid and uses thereof

Family Cites Families (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5221460B1 (ja) 1971-04-26 1977-06-10
SE400575B (sv) 1974-12-13 1978-04-03 Nordnero Ab Bad for betning av koppar och dess legeringar
DE2557269A1 (de) 1975-12-19 1977-06-30 Licentia Gmbh Verfahren zum aetzen von kupfer oder kupferlegierungen
JPS52150104A (en) 1976-06-07 1977-12-13 Fuji Photo Film Co Ltd Photoosensitive lithographic press plate material
CA1146851A (en) * 1978-05-01 1983-05-24 Donald F. Greene Hydrogen peroxide disinfecting and sterilizing compositions
JPS57116775A (en) 1981-01-14 1982-07-20 Toshiba Corp Etching solution for nickel
US4409037A (en) 1982-04-05 1983-10-11 Macdermid Incorporated Adhesion promoter for printed circuits
US4844981A (en) 1982-04-05 1989-07-04 Macdermid, Incorporated Adhesion promoter for printed circuits
JPS6113688A (ja) 1984-06-28 1986-01-21 福田金属箔粉工業株式会社 印刷回路用銅箔およびその製造方法
JPS61176192A (ja) 1985-01-31 1986-08-07 株式会社日立製作所 銅と樹脂との接着方法
US4902734A (en) 1985-12-02 1990-02-20 Ciba-Geigy Corporation Acid-curable thermoset enamels containing a triazole
US4775444A (en) 1987-08-26 1988-10-04 Macdermid, Incorporated Process for fabricating multilayer circuit boards
JPH0713304B2 (ja) 1987-12-14 1995-02-15 日立化成工業株式会社 銅の表面処理法
JPH01240683A (ja) 1988-03-19 1989-09-26 Sanshin Kagaku Kogyo Kk 銅のエッチング液組成物およびエッチング方法
JPH01246393A (ja) 1988-03-25 1989-10-02 Fukuda Metal Foil & Powder Co Ltd 内層用銅箔または銅張積層板の表面処理方法
US4976817A (en) 1988-12-09 1990-12-11 Morton International, Inc. Wet lamination process and apparatus
US4997516A (en) 1989-07-10 1991-03-05 Edward Adler Method for improving adherence of copper foil to resinous substrates
US4997722A (en) 1989-07-10 1991-03-05 Edward Adler Composition and method for improving adherence of copper foil to resinous substrates
JPH0379778A (ja) 1989-08-21 1991-04-04 Sanshin Chem Ind Co Ltd 銅のエッチング液組成物およびエッチング方法
US5037482A (en) 1990-02-16 1991-08-06 Macdermid, Incorporated Composition and method for improving adhesion of coatings to copper surfaces
US5128065A (en) 1990-10-03 1992-07-07 Betz Laboratories, Inc. Method for the inhibition of corrosion of copper-bearing metallurgies
US5289630A (en) 1991-07-22 1994-03-01 Macdermid, Incorporated Process for fabricating multilayer printed circuits
JP3387528B2 (ja) 1992-08-07 2003-03-17 朝日化学工業株式会社 銅または銅合金のエッチング用組成物およびそのエッチング方法
JP2717911B2 (ja) 1992-11-19 1998-02-25 日鉱グールド・フォイル株式会社 印刷回路用銅箔及びその製造方法
JP3225471B2 (ja) 1992-12-24 2001-11-05 旭電化工業株式会社 銅溶解剤
EP0678124B1 (en) 1993-01-11 2000-08-16 Macdermid Incorporated Phosphating processes, particularly for use in fabrication of printed circuits utilizing organic resists
JP3347457B2 (ja) 1994-02-24 2002-11-20 日本電解株式会社 非シアン系銅−亜鉛電気めっき浴、これを用いたプリント配線板用銅箔の表面処理方法及びプリント配線板用銅箔
JP2781954B2 (ja) 1994-03-04 1998-07-30 メック株式会社 銅および銅合金の表面処理剤
JP3400558B2 (ja) 1994-08-12 2003-04-28 メック株式会社 銅および銅合金のエッチング液
GB9425090D0 (en) 1994-12-12 1995-02-08 Alpha Metals Ltd Copper coating
JP2923524B2 (ja) 1995-08-01 1999-07-26 メック株式会社 銅および銅合金のマイクロエッチング剤並びにマイクロエッチング方法
TW374802B (en) 1996-07-29 1999-11-21 Ebara Densan Ltd Etching composition, method for roughening copper surface and method for producing printed wiring board
JPH1056263A (ja) 1996-08-07 1998-02-24 Ebara Densan:Kk プリント配線基板の製造方法
US6020029A (en) * 1997-06-12 2000-02-01 Macdermid, Incorporated Process for treating metal surfaces
US5869130A (en) 1997-06-12 1999-02-09 Mac Dermid, Incorporated Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces
US6054061A (en) * 1997-12-11 2000-04-25 Shipley Company, L.L.C. Composition for circuit board manufacture
CN1182894C (zh) * 1998-07-13 2005-01-05 株式会社Jms 医疗用管路连接器装置
US6036758A (en) * 1998-08-10 2000-03-14 Pmd (U.K.) Limited Surface treatment of copper
IT1307040B1 (it) * 1999-05-31 2001-10-23 Alfachimici Spa Procedimento per promuovere l'aderenza tra un substrato inorganicoed un polimero organico.
DE60030691T2 (de) * 2000-05-22 2007-10-25 MacDermid, Inc., Waterbury Verfahren zur Verbesserung der Adhäsion von Polymermaterialien an Metalloberflächen
US6383272B1 (en) 2000-06-08 2002-05-07 Donald Ferrier Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces
US6521139B1 (en) * 2000-08-04 2003-02-18 Shipley Company L.L.C. Composition for circuit board manufacture

Also Published As

Publication number Publication date
JP2004517974A (ja) 2004-06-17
WO2002016524A1 (en) 2002-02-28
EP1311644A4 (en) 2004-09-01
CN1447846A (zh) 2003-10-08
DE60115253D1 (de) 2005-12-29
ES2252274T3 (es) 2006-05-16
CN100343356C (zh) 2007-10-17
AU2001283048A1 (en) 2002-03-04
DE60115253T2 (de) 2006-08-17
CA2420540A1 (en) 2002-02-28
EP1311644B1 (en) 2005-11-23
EP1311644A1 (en) 2003-05-21
TW538080B (en) 2003-06-21
US6554948B1 (en) 2003-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5869130A (en) Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces
JP4295504B2 (ja) 金属に対するポリマーの接着を改良する方法
JP3884706B2 (ja) 金属表面との高分子材料の接着を改良する方法
JP3348244B2 (ja) 金属表面処理方法
TWI230031B (en) Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces
JP3798593B2 (ja) 高分子物質の金属表面への接着を改良する方法
US6162503A (en) Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces
TWI441890B (zh) 改善聚合性材料黏著於金屬表面之方法
JP3908663B2 (ja) 金属表面の接着プロセスのためのポリマー材料
EP1158843B1 (en) Process for improving adhesion of polymeric materials to metal surfaces.
WO2006038951A2 (en) Melamine-formaldehyde post-dip composition for improving adhesion of metal to polymer
JP3387893B2 (ja) 金属表面へのポリマー材料の接着性改良方法

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050111

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050408

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060912

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20070221

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20080807

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080807

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090122

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090410

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4295504

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120417

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130417

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140417

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term