JP4275669B2 - 温度制御装置及び温度制御方法 - Google Patents
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Description
また、自己発熱により時々刻々変動するICチップの温度を目的とする試験温度範囲内に維持するための技術として、ヒータ機能とクーラ機能とを兼ね備えた温度制御装置をICチップに接触させることが提案されている(特許文献1)が、小型化される傾向にあるICチップの熱容量と、この温度制御装置の熱容量が極端に相違するので、温度制御装置にてフィードバック制御してもICチップの自己発熱による温度変動に追従できないといった問題もあった。
本実施形態に係る電子部品試験装置1は、被試験ICチップ2に高温または低温の温度ストレスを与えた状態または温度ストレスを与えない常温で被試験ICチップ2が適切に動作するかどうかを試験し、当該試験結果に応じて被試験ICチップ2を分類する装置である。図1に示す電子部品試験装置1は、被試験ICチップ2を順次テストヘッド13に設けられたコンタクト端子132へ搬送し、試験を終了した被試験ICチップ2をテスト結果に従って分類して所定のトレイに格納するハンドラ11と、所定のテストパターンを送出してその応答信号に基づいて被試験ICチップ2を試験評価するテスタ12と、コンタクト端子132を有しハンドラ11とテスタ12とのインターフェースとして機能するテストヘッド13とから構成されている。テスタ12とテストヘッド13、及びハンドラ11とテスタ12はケーブルなどの信号線を介して電気的に接続されている。
図3は、本発明の他の実施形態に係る温度制御装置の要部を示す電気回路図である。上述した実施形態では、電力制御手段14を消費電力パターン予測部141,消費電力相殺パターン生成部142及び消費電力相殺パターン送出部143で構成したが、本実施形態では、定電流供給回路144(本発明に係る定電流供給手段に相当する。)と、第1の電力供給回路145(本発明に係る第1の電力供給手段に相当する。)と、第2の電力供給回路146(本発明に係る第2の電力供給手段に相当する。)とで構成している。
図4は本発明のさらに他の実施形態に係る電子部品試験装置1を示すブロック図である。本実施形態に係る電子部品試験装置1も、図1に示すものと同様に、被試験ICチップ2に高温または低温の温度ストレスを与えた状態または温度ストレスを与えない常温で被試験ICチップ2が適切に動作するかどうかを試験し、当該試験結果に応じて被試験ICチップ2を分類する装置である。
Claims (19)
- 被試験電子部品へテストパターンを送出し、その応答パターンを検出することにより前記被試験電子部品のテストを実行する電子部品試験装置に用いられ、
前記被試験電子部品に接触するように設けられた温度調節器と、
前記テストパターンによる前記被試験電子部品の消費電力と前記温度調節器の消費電力との総電力が一定値となるように、前記温度調節器の消費電力を制御する電力制御手段と、を有する温度制御装置。 - 前記電力制御手段は、
前記被試験電子部品へ送出されるテストパターンから前記被試験電子部品における消費電力パターンを予測する消費電力パターン予測部と、
前記前記被試験電子部品における消費電力パターンを相殺する消費電力相殺パターンを生成する消費電力相殺パターン生成部と、
前記消費電力相殺パターンを前記温度調節器へ送出する消費電力相殺パターン送出部と、を有する請求項1記載の温度制御装置。 - 前記電力制御手段は、
一定電流を供給する定電流供給手段から並列の一方に分岐して前記被試験電子部品へ電流を供給する第1の電力供給手段と、
前記定電流供給手段から並列の他方に分岐して前記温度調節器へ電流を供給する第2の電力供給手段と、を有する請求項1記載の温度制御装置。 - 前記温度調節器の電力消費による温度変化特性が、前記被試験電子部品の電力消費による温度変化特性と等しい請求項1〜3の何れかに記載の温度制御装置。
- 前記温度調節器の熱容量が、前記被試験電子部品の熱容量と等しい請求項4記載の温度制御装置。
- 被試験電子部品へテストパターンを送出し、その応答パターンを検出することにより前記被試験電子部品のテストを実行するに際し、
前記被試験電子部品に温度調節器を接触させるステップと、
前記被試験電子部品の消費電力と前記温度調節器の消費電力との総電力が一定値となるように前記温度調節器の消費電力を制御するステップと、を有する温度制御方法。 - 前記消費電力を制御するステップは、
前記被試験電子部品へ送出されるテストパターンから前記被試験電子部品における消費電力パターンを予測するステップと、
前記前記被試験電子部品における消費電力パターンを相殺する消費電力相殺パターンを生成するステップと、
前記消費電力相殺パターンを前記温度調節器へ送出するステップと、を有する請求項6記載の温度制御方法。 - 前記消費電力を制御するステップは、
一定電流を供給する定電流供給手段から並列の一方に分岐して前記被試験電子部品へ電流を供給するステップと、
前記定電流供給手段から並列の他方に分岐して前記温度調節器へ電流を供給するステップとを有する請求項6記載の温度制御方法。 - テストパターンが入力されるコンタクト端子へ被試験電子部品を押し付けるプッシャと、
前記被試験電子部品に接触するように前記プッシャに設けられた温度調節器と、を有し、
前記テストパターンによる前記被試験電子部品の消費電力と前記温度調節器の消費電力との総電力が一定値となるように、前記温度調節器の消費電力を制御することを特徴とする電子部品試験用ハンドラ。 - 所定のテストパターンを生成するテストパターン生成手段と、
被試験電子部品の端子が押し付けられるコンタクト端子へ、前記テストパターン生成手段で生成されたテストパターンを送出するテストパターン送出手段と、
前記テストパターンの応答パターンに基づいて前記被試験電子部品の評価を行う判定手段と、
前記テストパターンによる前記被試験電子部品の消費電力と、前記被試験電子部品に接触するように設けられた温度調節器の消費電力との総電力が一定値となるように、前記温度調節器の消費電力を制御する電力制御手段と、を有する電子部品試験装置。 - 前記電力制御手段は、
前記被試験電子部品へ送出されるテストパターンから前記被試験電子部品における消費電力パターンを予測する消費電力パターン予測部と、
前記前記被試験電子部品における消費電力パターンを相殺する消費電力相殺パターンを生成する消費電力相殺パターン生成部と、
前記消費電力相殺パターンを前記温度調節器へ送出する消費電力相殺パターン送出部と、を有する請求項10記載の電子部品試験装置。 - 前記電力制御手段は、
一定電流を供給する定電流供給手段から並列の一方に分岐して前記被試験電子部品へ電流を供給する第1の電力供給手段と、
前記定電流供給手段から並列の他方に分岐して前記温度調節器へ電流を供給する第2の電力供給手段と、を有する請求項10記載の電子部品試験装置。 - 被試験電子部品の端子をコンタクト端子へ押し付けた状態で、前記コンタクト端子を介して前記被試験電子部品に所定のテストパターンを送出し、その応答パターンを検出することにより被試験電子部品のテストを実行する電子部品の試験方法において、
前記被試験電子部品に温度調節器を接触させるステップと、
前記テストパターンによる前記被試験電子部品の消費電力と前記温度調節器の消費電力との総電力が一定値となるように前記温度調節器の消費電力を制御するステップと、
前記テストパターンの応答パターンに基づいて前記被試験電子部品の評価を行うステップと、を有する電子部品の試験方法。 - 被試験電子部品へテストパターンを送出し、その応答パターンを検出することにより前記被試験電子部品のテストを実行する電子部品試験装置に用いられ、
前記被試験電子部品を動的に加熱するヒータと、
前記被試験電子部品を冷却又は加熱するペルチェ素子からなるクーラと、
前記クーラに熱的に接続されて前記クーラの放熱面を冷却又は加熱するヒートシンクと、を有し、
前記テストパターンによる被試験電子部品の消費電力に基づいて、前記ヒータの加熱能を動的に制御する温度制御装置。 - 前記被試験電子部品に設けられた温度感応素子からの信号に基づいて、前記クーラの冷却又は加熱を制御することを特徴とする請求項14記載の温度制御装置。
- 前記被試験電子部品に設けられた温度感応素子からの信号に基づいて、前記クーラの冷却能をフィードバック制御する第1制御手段と、
前記テストパターンによる被試験電子部品の消費電力に基づいて前記ヒータの加熱能をフィードフォーワード制御する第2制御手段と、を有することを特徴とする請求項14記載の温度制御装置。 - 被試験電子部品へテストパターンを送出し、その応答パターンを検出することにより前記被試験電子部品のテストを実行する電子部品試験装置であって、
請求項14〜16の何れかに記載の温度制御装置と、
テストパターンが入力されるコンタクト端子へ被試験電子部品を押し付けるプッシャと、
前記被試験電子部品に熱的に接触するように前記プッシャに設けられ、前記被試験電子部品を冷却又は加熱するペルチェ素子からなるクーラと、を有する電子部品試験装置。 - 前記テストパターンによる被試験電子部品の消費電力、及び前記被試験電子部品の内部に到達する熱伝導時間に基づいて、消費電力相殺パターンを所定の早期時間手前の段階で発生させ、前記ヒータの加熱能を動的に制御することを特徴とする請求項17記載の電子部品試験装置。
- 前記被試験電子部品に設けられた温度感応素子からの信号の温度変化量に基づいて、前記ヒータの加熱能を微分的に加算付与/減算付与することを特徴とする請求項17記載の電子部品試験装置。
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