JP4262723B2 - 回折光変調器 - Google Patents
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Description
前記基板から離隔し、入射光を反射する反射面として機能する第1表面と、前記第1表面に形成され、入射光を通過させる少なくとも1つのオープンホールとを含み、前記基板によって支持され、第1ストレス値を有する第1反射部と、
前記第1反射部の基板対向面に接合されており、前記第1反射部に形成されたオープンホールに対応する部分にオープンホールが形成され、第2ストレス値を有する第1支持層と、
前記第1支持層の基板対向面に接合されており、前記第1反射部に形成されたオープンホールに対応する部分にオープンホールが形成され、第3ストレス値を有する第2支持層と、
前記第2支持層と前記基板との間に位置し、前記第2支持層から離隔している第2反射部であって、前記第1反射部の少なくとも1つのオープンホールを通過した入射光を反射する反射面として機能する第2表面を含む第2反射部と、
前記第2反射部に対して前記第1反射部を相対的に動かして、前記第1反射部および前記第2反射部による反射光によって形成される回折光の光量を変化させるための駆動手段と、を備えることを特徴とする回折光変調器を提供する。
510a、510b エレメント
511a1、511a2 下部支持層
511a、511b 下部支持台
513a 接着層
Claims (10)
- 基板と、
前記基板から離隔し、入射光を反射する反射面として機能する第1表面と、前記第1表面に形成され、入射光を通過させる少なくとも1つのオープンホールとを含み、前記基板によって支持され、第1ストレス値を有する第1反射部と、
前記第1反射部の基板対向面に接合されており、前記第1反射部に形成されたオープンホールに対応する部分にオープンホールが形成され、第2ストレス値を有する第1支持層と、
前記第1支持層の基板対向面に接合されており、前記第1反射部に形成されたオープンホールに対応する部分にオープンホールが形成され、第3ストレス値を有する第2支持層と、
前記第2支持層と前記基板との間に位置し、前記第2支持層から離隔している第2反射部であって、前記第1反射部の少なくとも1つのオープンホールを通過した入射光を反射する反射面として機能する第2表面を含む第2反射部と、
前記第2反射部に対して前記第1反射部を相対的に動かして、前記第1反射部および前記第2反射部による反射光によって形成される回折光の光量を変化させるための駆動手段と、を備えることを特徴とする回折光変調器。 - 前記第1反射部と前記第1支持層との間に位置し、前記第1反射部と第1支持層の接合のための接着層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の回折光変調器。
- 前記第3ストレス値が前記第2ストレス値より大きいことを特徴とする請求項1に記載の回折光変調器。
- 前記第1反射部が引張応力を受ける場合、前記第3ストレス値が前記第2ストレス値より大きいことを特徴とする請求項1に記載の回折光変調器。
- 前記第1反射部が圧縮応力を受ける場合、前記第3ストレス値が前記第2ストレス値より小さいことを特徴とする請求項1に記載の回折光変調器。
- 前記基板は、空間を提供するための陥没部を形成し、
前記第2反射部は、前記基板の陥没部に形成され、
前記第1反射部は、中間部分が前記第2反射部から離隔するように、陥没を横切って配置されることを特徴とする請求項1に記載の回折光変調器。 - 前記駆動手段は、
一端が前記第1反射部の第1端に位置し、他端が前記第1反射部の中間部分から第1端側に離隔して位置し、薄膜の圧電材料層を含み、前記圧電材料層の両側に電圧が印加されると収縮及び膨脹によって上下駆動力を発生する第1圧電層と、
一端が前記第1反射部の第2端に位置し、他端が前記第1反射部の中間部分から第2端側に離隔して位置し、薄膜の圧電材料層を含み、前記圧電材料層の両側に電圧が印加されると収縮及び膨脹によって上下駆動力を発生する第2圧電層と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の回折光変調器。 - 前記第1及び第2圧電層は、
両側に電圧が印加されると収縮及び膨脹によって駆動力を発生する複数の圧電材料層を含むことを特徴とする請求項7に記載の回折光変調器。 - 基板と、
前記基板から離隔し、入射光を反射する反射面として機能する第1表面と、前記第1表面に形成され、入射光を通過させる少なくとも1つのオープンホールとを含み、前記基板によって支持され、第1ストレス値を有する第1反射部と、
前記第1反射部の基板対向面に接合されており、前記第1反射部に形成されたオープンホールに対応する部分にオープンホールが形成され、前記第1反射部から遠くなるにつれてストレス値が変化し、ストレス値の平均値が第2ストレス値である支持層と、
前記支持層と前記基板との間に位置し、前記支持層から離隔している第2反射部であって、前記第1反射部の少なくとも1つのオープンホールを通過した入射光を反射する反射面として機能する第2表面を含む第2反射部と、
前記第2反射部に対して前記第1反射部を相対的に動かして、前記第1反射部および前記第2反射部による反射光によって形成される回折光の光量を変化させるための駆動手段と、を備え、
前記支持層のストレス値が線形的に変化していることを特徴とする回折光変調器。 - 前記第1反射部と前記支持層との間に位置し、前記第1反射部と支持層の接合のための接着層をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載の回折光変調器。
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