JP4262505B2 - Airflow control method - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は気流制御方法に係り、特に、液晶ディスプレイ(以下、LCDと記す)等の半導体製品の製造ラインにおいて基板を収納したカセット等を保管するクリーンストッカ内の気流制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
クリーンストッカは、主に半導体製品を製造するための基板の保管に使用されるため、その内部の空気には高い清浄度が要求される。また、基板を収容したカセットがクリーンストッカの内部空間で搬送される。
【0003】
通常使用されるクリーンストッカでは、基板を収容したカセットの搬送はクレーンにより行われる。クレーンはクリーンストッカ内を移動しながら、搬入されたカセットをクリーンストッカ内の棚の所定の場所に移動したり、所定の場所から移動して搬出したりする。
【0004】
一般的に、クリーンストッカでは、内部の空間の清浄度を維持するために、クリーンストッカ内の搬送部分で上部から下部へ流れる気流が形成されるように空気の循環を行っている。したがって、クリーンストッカ内部では、クレーンの動きにかかわらず一定条件でクリーンストッカ内の気流の循環を行っている。
【0005】
図1は従来のクリーンストッカの構成を示す図であり、(a)側面図、(b)は平面図、(c)は正面図である。
【0006】
図1において、クリーンストッカの外周は側壁1で覆われており、内部はほぼ密閉した空間である。クリーンストッカ内には2列の並行した棚2が設けられ、基板を収容したカッセット3が棚の所定の場所に保管される。クレーン4は2列の棚2の間で、棚2に沿って設けられた通路内で移動可能である。各棚2の下側にはブロア5が設けられ、ブロアの吹き出し方向にHEPAフィルタ6が配置されて通過する空気から塵埃を除去している。なお、一般的に、クリーンストッカはクリーンルーム内に設置され、クリーンルームの床7がクリーンストッカの床を兼ねる場合が多い。
【0007】
図1中、クリーンストッカ内の空気の流れを矢印で示す。ブロア5の吸い込み口はクレーン通路側であり、クレーンの移動で発生した塵埃をブロア5で吸い込み、HEPAフィルタ6を通して棚2の後ろ側から浄な空気を棚2の上部へと送っている。棚2の後ろ側から前側(すなわちクレーン通路)に戻った空気は、クレーン通路を上から下に流れて再びブロア5に吸い込まれる。
【0008】
以上のような気流を形成することにより、クレーン4の移動や動作により生じた塵埃は、直ちにブロア5に吸い込まれてHEPAフィルタ6により取り除かれる。なお、ブロア5は各棚2に対して一台設けられているが、1台の棚に複数のブロア5が設けられることもある。
【0009】
【特許文献1】
特開2000−188320号公報
【0010】
【特許文献2】
特開2000−272711号公報
【0011】
【特許文献3】
特開平4−129245号公報
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
上述の図1に示すようなクリーンストッカにおいて、クリーンストッカへのカセット3の搬入・搬出のたびに、クリーンストッカ内のクレーン4はカセット搬送のためにクレーン通路に沿って移動し、且つカセット3を上下移動する。
【0013】
近年、半導体製品用の基板の大型化に伴い、これを保管するためのクリーンストッカも大きくなり、また、基板を搬送するためクレーンも大きくなっている。さらに、処理速度を高めるために、クレーン移動速度も大きくなっている。
【0014】
ここで、クレーン4はクリーンストッカ内を水平に移動するのに対し、クリーンストッカ内の気流は垂直方向(ダウンフロー)に維持されている。すわなち、クリーンストッカ内の気流に対してクレーン4は垂直方向に移動することとなる。
【0015】
したがって、クレーン4の移動の際にクリーンストッカ内の気流が乱れ、この気流の乱れは時にはクリーンストッカ内の塵埃を舞い上げる原因となる。塵埃が舞い上がると、クリーンストッカの棚2に保管されたカセット3に収容されている基板に塵埃が付着するといった問題が発生する恐れがある。
【0016】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ストッカ内のクレーンの移動の際に発生する気流の乱れを抑制することのできる気流制御方法を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために本発明によれば、棚の間を移動するクレーンにより搬送物を移送する構成のストッカ内の気流を制御する気流制御方法であって、
該ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロアの吸い込み量を該クレーンの移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制し、前記複数のブロアのうち、前記クレーンが通過中の位置のブロアの送風量とその近傍に配置されたブロアの送風量が増大するように制御し、前記複数のブロアの各々に対応してシャッターを設け、該シャッターの開度を制御することにより前記ブロアの吸い込み量を制御し、前記ストッカ内のクレーンの進行方向前側及び後側の気圧の差圧を測定し、該差圧に基づいて、前記クレーンの後側における前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることを特徴とする気流制御方法が提供される。
【0018】
上述の発明によれば、クレーンの移動に追従して空気循環用ブロアの吸い込み量が個別に制御されるため、気圧が高くなる部分や乱流が発生する部分において局所的に循環空気量を大きくすることができ、これにより乱流の発生を防止したり、ストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う乱流や差圧の形成を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【0022】
上述の発明によれば、クレーンの移動に追従して空気取り込み量が制御されるため、クレーン移動に伴って気圧が低くなる部分において空気取り込み量を大きくすることができる。これにより、クレーンの移動に伴い発生するストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う差圧に起因する乱流の発生を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【0023】
上述の発明において、前記クレーンの後側の空気取り込み用ファンの送風量を増大させることにより前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることが好ましい。また、前記クレーンの通路の床下にシャッターが設けられ、前記クレーンの前側のシャッターの開度を増大させることにより、前記クレーンの前側において循環用ブロアの吸い込み量を増大させることとしてもよい。
【0029】
まず、本発明の第1実施例による気流制御方法について、図2を参照しながら説明する。図2は本発明の第1実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成を示す図である。
【0030】
クリーンストッカには複数の棚2が2段2列に配置され、その間にクレーン通路が設けられている。図2では2段の棚2が8台分一列に並べられ、クレーン通路をはさんで他の8台の棚が一列に並べられている。各棚2はカセット3を上下2段に配置して保管できるように構成されており、棚2の下側に空気循環用ブロア5及びHEPAフィルタ6が配置される。ここで、本実施例では、後述するようにクリーンストッカ内の気流の制御を行なうために、ブロア5及びHEPAフィルタ6は、棚2の長手方向に沿って棚2の上下の列に対応して複数個配置されている。
【0031】
棚2に保管されたカッセット3を搬出する場合には、クレーン4が目的のカッセト3がある場所までクレーン4をクレーン通路に沿って水平方向に移動し、クレーン4に取り付けられたフォークを上下移動させ、目的のカッセット3をフォークで保持しながらクレーン通路に沿って移動して所定の搬出位置へと搬送する。カセット3を搬入する場合は、その逆の動作を行なう。したがって、カセットの搬入・搬出の都度、クレーン4はクレーン通路を移動する。
【0032】
ここで、クレーン4が移動すると、クレーン4の周囲に乱流が発生する場合がある。特に、クレーン4の後方に空気が引き込まれて乱流が発生することが多い。
【0033】
また、クレーン4の移動に伴い、クリーンストッカの内部の空気圧力は僅かではあるが変化する。すなわち、クレーン通路はクレーンが通れる程度の幅の狭い空間であり、クレーン4が移動するとその前方の空気が圧縮され、クレーン4の移動方向前方では空気圧力が高くなる。一方クレーン4の移動方向方法では相対的に空気圧力は低くなる。このように、クレーン4の前方と後方の間で圧力差が生じると、前方の空気がクレーン4の後方に流れるため水平方向の気流が生じ、これがクレーン4の周囲に乱流を引き起こすことがある。
【0034】
クレーン4には塵埃の発生源となる移動機構等が設けられており、クレーン4の周囲で乱流が発生すると、塵埃がクリーンストッカ内部で舞い上がって拡散してしまい。他のカセット3に収容された基板に付着するおそれがある。
【0035】
そこで、本実施例では、ブロア5を棚2の下側に複数個設け、クレーン4の移動に同期してブロア5の送風量を調整することにより、クレーン4の移動による乱流が発生しても塵埃が拡散しないように、あるいはクレーンの移動に伴う圧力差が生じないようにしている。
【0036】
具体的には、本実施例では、ブロア5とフィルタ6との対となるユニット(ファンフィルタユニット)を各棚2のカセット3を保管する上下の列に1台づつ設けている。そして、クレーン4が移動する際に、クレーン4の近傍のみブロア5の送風量を増大させ、吸い込み量を増大させている。
【0037】
図2(c)中、ブロア5の送風量(すなわち、吸い込み量)を矢印にて示しえとり、矢印の大きさにより送風量の大小が示されている。本実施例では、クレーン4の移動方向前側でクレーン4が通過している位置のブロア5−2より一つ前のブロア5−1の送風量を僅かに増大し、クレーン4が通過中のブロア5−2の送風量を増大し、クレーンが通過した後のブロア5−3の送風量の増大した分を減少している。図から分かるように、ブロア5−1の送風量の増大は僅かであり、ブロア5−2の送風量の増大量は大きい。ブロア5−3の送風量は一度ブロア5−2のように増大された後、通常の送風量に戻すべく増大分が低減されている。
【0038】
ブロア5−1の送風量(すなわち吸い込み量)を僅かに増大することにより、クレーン4の前側の空気が押されて発生する気流の乱れを防止している。そして、クレーンが通過中のブロア5−2の送風量(すなわち吸い込み量)を増大させることにより、クレーン4の近傍、特に横側や後ろ側に発生する乱流が上方に拡散しないように、クレーン4近傍において強制的に下方への気流を形成している。すなわち、クレーン4の近傍において、上方から下方への気流を強くして、発生する塵埃を直ちにブロア5−2に吸い込ませ、HEPAフィルタ6により除去している。
【0039】
ブロア5−3の送風量は、例えばブロア5−2の増大した送風量と、通常の状態でのブロア5の送風量との間程度の送風量として、隣接したブロア5の間で送風量が大きく変わることによる乱流が発生しないようにしている。
【0040】
ブロア5は、例えばインバータ制御可能なモータにより駆動され、その送風量の制御は、クリーンストッカの動作を制御する制御装置により行なわれることが好ましい。この制御装置にはクレーン4の移動情報が入力され、クレーンの移動に追従して各ブロア5の送風量が個別に制御される。
【0041】
次に本発明の第2実施例による気流制御方法について、図3を参照しながら説明する。図3は本発明の第2実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。図3において、図2と同等な構成部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0042】
図3に示すクリーンストッカでは、各棚2の各段に対して1台のブロアフィルタユニットが設けられている。本実施例では、クレーン4の移動に追従して上述の第1実施例と同様にクレーン4の通過する位置近傍のブロア5の送風量を増大させる。これに加えて、本実施例では、クレーン4が目的位置に停止して目的のカセットを棚2の所望の段から移動、あるいは棚2の所望の段に移動している間に、その棚の段に設けられているブロア5の風量を増大させる。
【0043】
すなわち、クレーン4が停止していても、棚の各段とクレーン4との間でカセット3を移載する間に塵埃が発生するおそれがあり、この部分での気流を強めて発生した塵埃を強制的に下方へ移動して、フィルタ6により取り除く構成である。なお、図3(b)の矢印及び図3(c)の○×印の大きさは、ブロア5の送風量の大小を示している。
【0044】
以上のように、本実施例では、クレーン4の移動時だけでなく、クレーン4が定位置で動作している場合でも、塵埃の拡散を防止することができ、クリーンストッカ内の清浄度を維持することができる。
【0045】
次に、クレーン4の移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化に起因した乱流の発生を抑制する気流制御方法について説明する。
【0046】
図4は、クレーン4の移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化を説明するための図である。図4に示すクリーンストッカは、外部より高い圧力に維持して塵埃が外部からはい込まないようにした構成であり、クリーンストッカの天井部分に外部から空気を取り込むための空気取り込み用ファンとしてファンフィルタユニット10が設けられ、床部分に排気口(開口床)11が設けられている。すなわち、ファンフィルタユニット10からの空気取り込み量が、排気口11からの空気排出量より大きくなるように設定することにより、クリーンストッカ内を外部より高い圧力(陽圧)に維持している。クリーンストッカ内の圧力と外部の圧力との差圧はマノメータ12により測定して、差圧が適当な値となるようにファンフィルタユニット10の送風量を設定する。
【0047】
図4に示すクリーンストッカでは、クレーン4が移動すると、クレーン4の移動方向前側(すなわち、図4におけるクレーン4の右側)において空気がクレーン4の移動により圧縮され、圧力が上昇する。反対に、クレーン4の移動方向前側(すなわち、図4におけるクレーン4の左側)において、相対的に圧力が減少する。このように、クレーン4を挟んで、前側と後側の空気圧に差圧が生じると、クリーンストッカ内で水平方向の気流が発生し、乱流が発生する原因となる。
【0048】
そこで本発明の第3実施例による気流制御方法では、上述のような差圧が発生しないようにファンフィルタユニット10の送風量を制御する。図5は本発明の第3実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。図5において、図4に示す構成部品と同等の部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0049】
図5に示すクリーンストッカには、複数台のファンフィルタユニット10がクレーン通路に沿って天井部分に設けられており、各ファンフィルタユニット10の送風量は制御装置により制御可能となっている。また、クリーンストッカの両端部付近の圧力を測定するマノメータ(気圧計)13−1,13−2が設けられ、さらに、両端の圧力の差圧を測定するマノメータ14も設けられている。マノメータにより測定された差圧の情報も制御装置に送られる。
【0050】
以上のような構成のクリーンストッカにおいて、マノメータ13−1,13−2の圧力が両方ともクリーンストッカの外部に対して陽圧となるように制御しながら、マノメータ14により測定される差圧が減少して、差圧がなくなるようにファンフィルタユニット10の送風量を制御する。すなわち、図5(c)の矢印で示すように、クレーン4が移動する際に、クレーン4の後ろに位置するファンフィルタユニット10の送風量が、前側に位置するファンフィルタユニット10の送風量より大きくなるように制御する。
【0051】
すなわち、ファンフィルタユニット10の送風量を制御することにより、図4に示すようにクレーン4の前側の圧力が増大し後ろ側の圧力が減少するといった差圧の発生を防止し、結果として乱流の発生を防止して塵埃の拡散を防止することができる。
【0052】
次に、本発明の第4実施例による気流制御構造及び気流制御方法について、図6を参照しながら説明する。図6は本発明の第4実施例によるクリーンストッカの構成図である。図6において、図2に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0053】
図6に示すクリーンストッカは、構成部品としては図2に示すクリーンストッカとほぼ同じ部品よりなっているが、クリーンルームの床7の下側まで延在しており、床下の位置にブロア5及びHEPAフィルタ6が設けられている点と、クレーン通路の下側にシャッター20が設けられている点が異なる。
【0054】
すなわち、本実施例によるクリーンストッカは、側壁1がクリーンルームの床7を超えて下方に延在しており、床下でクリーンストッカの床23が形成されている。棚2はクリーンルームの床7と同じレベルの床に設置される。クリーンルームの床7を、棚2を設置する床面としてもよい。棚2を設置する床面は開口を有しないブラインド床であるが、クレーン通路の部分だけは開口床(グレーティング床)となっている。そして、開口床の開口を開閉することのできるシャッター20が設けられている。
【0055】
本実施例では、棚2が設置される床の下側にブロア5が設けられているので、クレーン通路を垂直に下降してきた空気は、開口床を通じて床下に流れてブロア5に吸い込まれる。ブロア5から吹き出す空気はフィルタ6を通って塵埃が除去された後、棚2の後側から上方に向かって流れ、棚2の各段を通って再度クレーン通路に流れる。
【0056】
以上のようなクリーンルームの構成において、シャッター20の開度を調節することにより、クレーン4の移動による圧力差の発生に起因してクレーン4近傍での乱流の発生を抑制する。本実施例では、クレーン4が移動する際に、クレーン4の前側のシャッター20を通常より大きく開けることでクレーン4の前側の空気をより強く床下に吸い込むことにより、クレーン4の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【0057】
具体的には、図6(c)の矢印に示すように、クレーン4の移動に伴い、クレーン4の移動方向直前のシャッター20−1の開度を増大する。ここで、シャッター20−2の一つ前側のシャッター22−1についても開度を増大している。これは、クレーン4が接近してからシャッター22−2の開度を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のシャッター22−2から徐々に開度を増大することが好ましい。
【0058】
以上のような送風量の制御により、クレーン4の前後で圧力差が発生せず、圧力差に起因した乱流の発生が防止され、乱流による塵埃の拡散を防止することができる。
【0059】
なお、本実施例では、ファン5及びフィルタ6をクリーンルームの床7の下側に設ける構成であり、これまで使用されていなかった空間をクリーンストッカの一部として利用するため、クリーンルーム内の空間を有効利用することができる。また、クリーンストッカの大型化にとっても有効である。
【0060】
次に、本発明の第5実施例による気流制御構造及び気流制御方法について図7を参照しながら説明する。図7は本発明の第5実施例によるクリーンストッカの構成図である。図7において、図6に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0061】
図7に示すクリーンストッカは、図6に示す複数のシャター20の代わりに複数のファン21を設けたものである。シャッター20と同様に、ファン21はクレーン通路の開口床部分の真下に整列して設けられる。
【0062】
本実施例では、クレーン4の移動に追従してファン21の送風量を調節し、クレーン4の移動による圧力差の発生に起因してクレーン4近傍での乱流の発生を抑制する。すなわち、クレーン4が移動する際に、クレーン4の前側のファン21の送風量を通常より増大させることでクレーン4の前側の空気をより強く床下に吸い込むことにより、クレーン4の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【0063】
具体的には、図7(c)の矢印に示すように、クレーン4の移動に伴い、クレーン4の移動方向直前のファン21−2の送風量を増大する。ここで、ファン21−2の一つ前側のファン21−1についても送風量を増大している。これは、クレーン4が接近してからファン21−1の送風量を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のファン21−2から徐々に送風量を増大することが好ましい。
【0064】
次に、本発明の第6実施例について、図8を参照しながら説明する。図8は本発明の第6実施例によるクリーンストッカの構成図である。図8において、図5及び図6に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は適宜省略する。
【0065】
図4を参照しながら説明したように、クリーンストッカ内で、クレーン4が移動すると、クレーン4を挟んで、前側と後側の空気圧に差圧が生じる。これにより、クリーンストッカ内で水平方向の気流が発生し、乱流が発生する原因となる。
【0066】
そこで本発明の第6実施例による気流制御方法では、上述のような差圧が発生しないようにファンフィルタユニット10の送風量を調節すると共に、シャッター20の開度も同時に調節する。
【0067】
図8に示すクリーンストッカには、複数台のファンフィルタユニット10がクレーン通路に沿って天井部分に設けられており、各ファンフィルタユニット10の送風量は制御装置により制御可能となっている。また、クリーンストッカの両端部付近の圧力を測定するマノメータ(気圧計)13−1,13−2が設けられ、さらに、両端の圧力の差圧を測定するマノメータ14も設けられている。マノメータにより測定された差圧の情報も制御装置に送られる。
【0068】
以上のような構成のクリーンストッカにおいて、マノメータ13−1,13−2の圧力が両方ともクリーンストッカの外部に対して陽圧となるように制御しながら、マノメータ14により測定される差圧が減少して、差圧がなくなるようにファンフィルタユニット10の送風量及びシャター20の開度を制御する。すなわち、図8(c)の矢印で示すように、クレーン4が移動する際に、クレーン4の後に位置するファンフィルタユニット10の送風量が、前側に位置するファンフィルタユニット10の送風量より大きくなるように制御すると共に、クレーン4の前側に位置するシャッター20の開度が、後側に位置するシャッター20の開度より大きくなるように制御する。
【0069】
すなわち、ファンフィルタユニット10の送風量及びシャター20の開度を制御することにより、図4に示すようにクレーン4の前側の圧力が増大し後側の圧力が減少するといった差圧の発生を防止し、結果として乱流の発生を防止して塵埃の拡散を防止することができる。
【0070】
次に、本発明の第7実施例による気流制御方法及び気流制御構造について、図9を参照しながら説明する。図9は本発明の第7実施例によるクリーンストッカの構成図である。図9において、図1に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【0071】
図9に示すクリーンストッカは、図1に示す従来のクリーンストッカに対して、各棚2の上下の列毎にシャッター22を設けたものである。すなわち、上下に重なった棚2の列の下側で、クレーン通路に面する部分に複数のシャッター22をクレーン通路の両側に設け、クレーン4の移動に追従してシャッター22の開度を調節する。シャッター22の開度の制御は、図6に示すシャッター20と同様であり、クレーン4が移動する際に、クレーン4の前側のシャッター22を通常より大きく開けることでクレーン4の前側の空気をブロア5により強く吸い込むことにより、クレーン4の前側において圧力が上昇しないように抑制する。
【0072】
具体的には、図9(b)の矢印に示すように、クレーン4の移動に伴い、クレーン4の移動方向直前の両側のシャッター22の開度を増大する。ここで、シャッター22−2の一つ前側のシャッター22−1についても開度を増大している。これは、クレーン4が接近してからシャッター22−12の送風量を急激に増大すると乱流が発生するおそれがあるためである。したがって、一つ前側のシャター22−2から徐々に開度を増大することが好ましい。
【0073】
以上のような送風量の制御により、クレーン4の前後で圧力差が発生せず、圧力差に起因した乱流の発生が防止され、乱流による塵埃の拡散を防止することができる。
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、クレーンの移動に追従して空気循環用ブロアの吸い込み量を個別に制御することにより、気圧が高くなる部分や乱流が発生する部分において局所的に循環空気の吸い込み量を大きくすることができ、これにより乱流の発生を防止したり、ストッカ内の気圧の差圧を解消することができる。したがって、クレーンの移動に伴う乱流や差圧の形成を防止することができ、クレーンの稼動に伴い発生する塵埃の拡散を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のクリーンストッカの構成を示す図である。
【図2】本発明の第1実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図3】本発明の第2実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図4】クレーンの移動に伴うクリーンストッカ内の圧力変化を説明するための図である。
【図5】本発明の第3実施例による気流制御方法が適用されたクリーンストッカの構成図である。
【図6】本発明の第4実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図7】本発明の第5実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図8】本発明の第6実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【図9】本発明の第7実施例によるクリーンストッカの構成図である。
【符号の説明】
1 側壁
2 棚
3 カセット
4 クレーン
5 ブロア
6 HEPAフィルタ
7 床
10 ファンフィルタユニット
11 排気口(開口床)
12、13−1,13−2,14 マノメータ
20 シャッター
21 ファン
22 シャター
23 床[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an airflow control method, and more particularly, to an airflow control method in a clean stocker for storing a cassette or the like in which a substrate is stored in a production line of a semiconductor product such as a liquid crystal display (hereinafter referred to as LCD).
[0002]
[Prior art]
Since the clean stocker is mainly used for storing a substrate for manufacturing a semiconductor product, high cleanliness is required for air inside the clean stocker. Further, the cassette containing the substrate is transported in the internal space of the clean stocker.
[0003]
In a normally used clean stocker, a cassette containing a substrate is transported by a crane. While the crane moves in the clean stocker, the loaded cassette is moved to a predetermined location on a shelf in the clean stocker, or moved out of the predetermined location and carried out.
[0004]
In general, in a clean stocker, in order to maintain the cleanliness of the internal space, air is circulated so that an airflow flowing from the upper part to the lower part is formed in the conveying part in the clean stocker. Therefore, inside the clean stocker, airflow in the clean stocker is circulated under a constant condition regardless of the movement of the crane.
[0005]
1A and 1B are diagrams showing a configuration of a conventional clean stocker, where FIG. 1A is a side view, FIG. 1B is a plan view, and FIG. 1C is a front view.
[0006]
In FIG. 1, the outer periphery of the clean stocker is covered with a
[0007]
In FIG. 1, the flow of air in the clean stocker is indicated by arrows. The suction port of the
[0008]
By forming the airflow as described above, dust generated by the movement and operation of the
[0009]
[Patent Document 1]
JP 2000-188320 A
[0010]
[Patent Document 2]
JP 2000-272711 A
[0011]
[Patent Document 3]
Japanese Patent Laid-Open No. 4-129245
[0012]
[Problems to be solved by the invention]
In the clean stocker as shown in FIG. 1 described above, each time the
[0013]
In recent years, with an increase in the size of a substrate for semiconductor products, a clean stocker for storing the substrate has also increased, and a crane for transporting the substrate has also increased. Furthermore, the crane moving speed is also increased in order to increase the processing speed.
[0014]
Here, the
[0015]
Therefore, when the
[0016]
This invention is made | formed in view of said point, and it aims at providing the airflow control method which can suppress the disturbance of the airflow generate | occur | produced in the case of the movement of the crane in a stocker.
[0017]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, according to the present invention, there is an airflow control method for controlling an airflow in a stocker configured to transfer a conveyed product by a crane that moves between shelves,
Suppresses the occurrence of turbulent flow in the stocker by individually controlling the suction amount of a plurality of air circulation blowers provided in the stocker following the movement of the crane. Then, among the plurality of blowers, control is performed so that the blower amount of the blower at the position where the crane is passing and the blower amount disposed in the vicinity thereof are increased, A shutter is provided, and the amount of suction of the blower is controlled by controlling the opening of the shutter, and the pressure difference between the front side and the rear side in the traveling direction of the crane in the stocker is measured, and based on the differential pressure Increase the amount of air taken into the stocker on the rear side of the crane An airflow control method is provided.
[0018]
According to the above-described invention, since the suction amount of the air circulation blower is individually controlled following the movement of the crane, the circulating air amount is locally increased in the portion where the atmospheric pressure is high or the portion where the turbulent flow is generated. Thus, the generation of turbulent flow can be prevented and the differential pressure between the atmospheric pressures in the stocker can be eliminated. Therefore, it is possible to prevent the formation of turbulent flow and differential pressure associated with the movement of the crane, and it is possible to prevent the diffusion of dust generated with the operation of the crane.
[0022]
According to the above-described invention, since the air intake amount is controlled following the movement of the crane, the air intake amount can be increased in a portion where the atmospheric pressure decreases as the crane moves. Thereby, the differential pressure | voltage of the atmospheric | air pressure in a stocker which generate | occur | produces with the movement of a crane can be eliminated. Therefore, generation | occurrence | production of the turbulent flow resulting from the differential pressure accompanying the movement of a crane can be prevented, and the spreading | diffusion of the dust which generate | occur | produces with the operation of a crane can be prevented.
[0023]
In the above-described invention, it is preferable to increase the amount of air taken into the stocker by increasing the amount of air blown by the air intake fan on the rear side of the crane. Further, a shutter may be provided under the floor of the crane passage, and the suction amount of the circulation blower may be increased on the front side of the crane by increasing the opening of the shutter on the front side of the crane.
[0029]
First, the airflow control method according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a clean stocker to which the airflow control method according to the first embodiment of the present invention is applied.
[0030]
In the clean stocker, a plurality of
[0031]
When carrying out the
[0032]
Here, when the
[0033]
Further, as the
[0034]
The
[0035]
Therefore, in this embodiment, a plurality of
[0036]
Specifically, in this embodiment, one unit (fan filter unit) that is a pair of the
[0037]
In FIG. 2C, the amount of air blown by the blower 5 (that is, the amount of suction) is indicated by an arrow, and the size of the arrow indicates the magnitude of the air flow. In this embodiment, the blower 5-1 is slightly increased in front of the blower 5-2 at the position where the
[0038]
By slightly increasing the amount of air blown by the blower 5-1 (that is, the amount of suction), turbulence in the airflow generated by pushing the air on the front side of the
[0039]
The blower 5-3 blown air amount is, for example, between the increased blower amount of the blower 5-2 and the blower air amount of the
[0040]
The
[0041]
Next, an airflow control method according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a second embodiment of the present invention is applied. 3, the same components as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.
[0042]
In the clean stocker shown in FIG. 3, one blower filter unit is provided for each stage of each
[0043]
That is, even when the
[0044]
As described above, in this embodiment, not only when the
[0045]
Next, an airflow control method for suppressing the generation of turbulent flow due to the pressure change in the clean stocker accompanying the movement of the
[0046]
FIG. 4 is a view for explaining a pressure change in the clean stocker accompanying the movement of the
[0047]
In the clean stocker shown in FIG. 4, when the
[0048]
Therefore, in the airflow control method according to the third embodiment of the present invention, the air flow rate of the
[0049]
In the clean stocker shown in FIG. 5, a plurality of
[0050]
In the clean stocker having the above configuration, the differential pressure measured by the
[0051]
That is, by controlling the air flow rate of the
[0052]
Next, an airflow control structure and an airflow control method according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fourth embodiment of the present invention. 6, parts that are the same as the parts shown in FIG. 2 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0053]
The clean stocker shown in FIG. 6 is composed of almost the same components as the clean stocker shown in FIG. 2, but extends to the lower side of the floor 7 of the clean room, and the
[0054]
That is, in the clean stocker according to the present embodiment, the
[0055]
In this embodiment, since the
[0056]
In the configuration of the clean room as described above, by adjusting the opening degree of the
[0057]
Specifically, as indicated by the arrow in FIG. 6C, the opening degree of the shutter 20-1 immediately before the moving direction of the
[0058]
By controlling the amount of blown air as described above, a pressure difference does not occur before and after the
[0059]
In this embodiment, the
[0060]
Next, an airflow control structure and an airflow control method according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 7 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fifth embodiment of the present invention. 7, parts that are the same as the parts shown in FIG. 6 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0061]
The clean stocker shown in FIG. 7 is provided with a plurality of
[0062]
In this embodiment, the amount of air blown by the
[0063]
Specifically, as shown by the arrow in FIG. 7C, the amount of air blown by the fan 21-2 immediately before the moving direction of the
[0064]
Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a configuration diagram of a clean stocker according to a sixth embodiment of the present invention. 8, parts that are the same as the parts shown in FIGS. 5 and 6 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted as appropriate.
[0065]
As described with reference to FIG. 4, when the
[0066]
Therefore, in the airflow control method according to the sixth embodiment of the present invention, the air flow rate of the
[0067]
In the clean stocker shown in FIG. 8, a plurality of
[0068]
In the clean stocker having the above configuration, the differential pressure measured by the
[0069]
That is, by controlling the air flow rate of the
[0070]
Next, an airflow control method and an airflow control structure according to a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a block diagram of a clean stocker according to a seventh embodiment of the present invention. 9, parts that are the same as the parts shown in FIG. 1 are given the same reference numerals, and descriptions thereof will be omitted.
[0071]
The clean stocker shown in FIG. 9 is different from the conventional clean stocker shown in FIG. 1 in that shutters 22 are provided for the upper and lower rows of each
[0072]
Specifically, as indicated by the arrows in FIG. 9B, the opening degree of the shutters 22 on both sides immediately before the moving direction of the
[0073]
By controlling the amount of blown air as described above, a pressure difference does not occur before and after the
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, by individually controlling the suction amount of the air circulation blower following the movement of the crane, the circulation air is locally generated in a portion where the atmospheric pressure increases or a portion where turbulence occurs. The amount of suction can be increased, thereby preventing the occurrence of turbulent flow and eliminating the differential pressure between the atmospheric pressures in the stocker. Therefore, it is possible to prevent the formation of turbulent flow and differential pressure associated with the movement of the crane, and it is possible to prevent the diffusion of dust generated with the operation of the crane.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional clean stocker.
FIG. 2 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a first embodiment of the present invention is applied.
FIG. 3 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a second embodiment of the present invention is applied.
FIG. 4 is a diagram for explaining a pressure change in the clean stocker accompanying the movement of the crane.
FIG. 5 is a configuration diagram of a clean stocker to which an airflow control method according to a third embodiment of the present invention is applied.
FIG. 6 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a configuration diagram of a clean stocker according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a configuration diagram of a clean stocker according to a sixth embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a configuration diagram of a clean stocker according to a seventh embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Side wall
2 shelves
3 cassettes
4 Crane
5 Blower
6 HEPA filter
7 floors
10 Fan filter unit
11 Exhaust vent (open floor)
12, 13-1, 13-2, 14 Manometer
20 Shutter
21 fans
22 Shutter
23 floors
Claims (2)
該ストッカ内に設けられた複数の空気循環用ブロアの吸い込み量を該クレーンの移動に追従して個別に制御することによりストッカ内の乱流の発生を抑制し、
前記複数のブロアのうち、前記クレーンが通過中の位置のブロアの送風量とその近傍に配置されたブロアの送風量が増大するように制御し、
前記複数のブロアの各々に対応してシャッターを設け、該シャッターの開度を制御することにより前記ブロアの吸い込み量を制御し、
前記ストッカ内のクレーンの進行方向前側及び後側の気圧の差圧を測定し、該差圧に基づいて、前記クレーンの後側における前記ストッカへの空気取り込み量を増大させる
ことを特徴とする気流制御方法。An airflow control method for controlling an airflow in a stocker configured to transfer a conveyed product by a crane that moves between shelves,
By controlling the suction amount of a plurality of air circulation blowers provided in the stocker individually following the movement of the crane, the occurrence of turbulent flow in the stocker is suppressed ,
Among the plurality of blowers, the blower amount at the position where the crane is passing is controlled so as to increase the blower amount of the blower arranged in the vicinity thereof,
A shutter is provided corresponding to each of the plurality of blowers, and the amount of suction of the blower is controlled by controlling the opening of the shutter,
An air flow characterized by measuring a pressure difference between the front and rear air pressures of the crane in the stocker and increasing the amount of air taken into the stocker on the rear side of the crane based on the differential pressure. Control method.
前記クレーンの後側の空気取り込み用ファンの送風量を増大することにより前記ストッカへの空気取り込み量を増大させることを特徴とする気流制御方法。The airflow control method according to claim 1 ,
An airflow control method characterized by increasing an air intake amount into the stocker by increasing an air blowing amount of an air intake fan on the rear side of the crane.
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