JP4260162B2 - Organic EL display device manufacturing equipment - Google Patents
Organic EL display device manufacturing equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP4260162B2 JP4260162B2 JP2005368197A JP2005368197A JP4260162B2 JP 4260162 B2 JP4260162 B2 JP 4260162B2 JP 2005368197 A JP2005368197 A JP 2005368197A JP 2005368197 A JP2005368197 A JP 2005368197A JP 4260162 B2 JP4260162 B2 JP 4260162B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- nozzle
- groove
- glass substrate
- materials
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 164
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 87
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 64
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 6
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000011960 computer-aided design Methods 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- JXLHNMVSKXFWAO-UHFFFAOYSA-N azane;7-fluoro-2,1,3-benzoxadiazole-4-sulfonic acid Chemical compound N.OS(=O)(=O)C1=CC=C(F)C2=NON=C12 JXLHNMVSKXFWAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Description
本発明は、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）材料を基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造装置に関する。 The present invention relates to an organic EL display device manufacturing apparatus that manufactures an organic EL display device by applying an organic EL (electroluminescence) material in a predetermined pattern shape on a substrate.
従来の有機ＥＬ表示装置は、次に説明するようにして製造されている。先ず、ガラス基板の表面上に透明なＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜を成膜する。次に、このガラス基板上に成膜されたＩＴＯ膜を、フォトリソグラフィー技術を用いて、複数本のストライプ状の第１電極にパターニング形成する。この第１電極は陽極に相当するものである。次に、ストライプ状の第１電極を囲むようにしてガラス基板上に突出させる電気絶縁性の隔壁を、フォトリソグラフィー技術を用いて形成する。 A conventional organic EL display device is manufactured as described below. First, a transparent ITO (indium tin oxide) film is formed on the surface of a glass substrate. Next, the ITO film formed on the glass substrate is patterned and formed on a plurality of stripe-shaped first electrodes by using a photolithography technique. This first electrode corresponds to the anode. Next, an electrically insulating partition wall that protrudes on the glass substrate so as to surround the stripe-shaped first electrode is formed using a photolithography technique.
そして、インクジェット方式のノズルから有機ＥＬ材料を隔壁内のストライプ状の第１電極に向けて噴出させて、隔壁内のストライプ状の第１電極上に有機ＥＬ材料を塗布する。具体的には、ある隔壁内のストライプ状の第１電極上には、赤色の有機ＥＬ材料用のインクジェット方式のノズルによって赤色の有機ＥＬ材料が塗布される。赤色の有機ＥＬ材料が塗布された第１電極に隣接する一方の第１電極上には、緑色の有機ＥＬ材料用のインクジェット方式のノズルによって緑色の有機ＥＬ材料が塗布される。緑色の有機ＥＬ材料が塗布された第１電極に隣接する次の第１電極上には、青色の有機ＥＬ材料用のインクジェット方式のノズルによって青色の有機ＥＬ材料が塗布される。青色の有機ＥＬ材料が塗布された第１電極に隣接する次の第１電極上には、赤色の有機ＥＬ材料が塗布される。このように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料がその順に個別に第１電極上に塗布される。 Then, the organic EL material is ejected from the inkjet nozzle toward the stripe-shaped first electrode in the partition wall, and the organic EL material is applied onto the stripe-shaped first electrode in the partition wall. Specifically, a red organic EL material is applied onto a striped first electrode in a certain partition wall by an inkjet nozzle for a red organic EL material. On one first electrode adjacent to the first electrode to which the red organic EL material is applied, the green organic EL material is applied by an inkjet nozzle for the green organic EL material. On the next first electrode adjacent to the first electrode to which the green organic EL material is applied, the blue organic EL material is applied by an inkjet nozzle for the blue organic EL material. On the next first electrode adjacent to the first electrode coated with the blue organic EL material, the red organic EL material is coated. In this way, red, green, and blue organic EL materials are individually applied on the first electrode in that order.
次に、第１電極に直交するように対向させるストライプ状の第２電極を真空蒸着法によりガラス基板上に複数本並設するように形成して、第１電極と第２電極との間に有機ＥＬ材料を挟み込んでいる。この第２電極は陰極に相当するものである。このようにして、第１電極と第２電極とが単純ＸＹマトリクス状に配列されたフルカラー表示可能な有機ＥＬ表示装置が製造されている。 Next, a plurality of stripe-shaped second electrodes that are opposed to each other so as to be orthogonal to the first electrode are formed on the glass substrate in parallel by a vacuum vapor deposition method, and between the first electrode and the second electrode. An organic EL material is sandwiched. This second electrode corresponds to a cathode. Thus, an organic EL display device capable of full-color display in which the first electrode and the second electrode are arranged in a simple XY matrix is manufactured.
ここで、この有機ＥＬ表示装置の発光原理について説明する。第１電極（陽極）と第２電極（陰極）とに直流電圧が印加されると、直流電圧が印加されている第１電極（陽極）と第２電極（陰極）との間の有機ＥＬ材料には、第１電極（陽極）からの正孔が注入されるとともに、第２電極（陰極）から電子が注入され、この正孔と電子とが有機ＥＬ材料中で再結合することによって発光する。例えば、有機ＥＬ材料からこの第１電極の方に出射された光は、透明な第１電極，ガラス基板を介して出射される。また、有機ＥＬ材料からこの第２電極の方に出射された光は、第２電極は不透明でありこの第２電極で反射されて、透明な第１電極，ガラス基板を介して出射される。 Here, the light emission principle of the organic EL display device will be described. When a DC voltage is applied to the first electrode (anode) and the second electrode (cathode), the organic EL material between the first electrode (anode) and the second electrode (cathode) to which the DC voltage is applied Injects holes from the first electrode (anode) and electrons from the second electrode (cathode), and the holes and electrons recombine in the organic EL material to emit light. . For example, light emitted from the organic EL material toward the first electrode is emitted through the transparent first electrode and the glass substrate. The light emitted from the organic EL material toward the second electrode is opaque at the second electrode, is reflected by the second electrode, and is emitted through the transparent first electrode and the glass substrate.
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。すなわち、インクジェット方式のノズルから有機ＥＬ材料をガラス基板上の隔壁内に噴出して塗布する際に、このインクジェット方式のノズルから噴出された有機ＥＬ材料の一部がガラス基板から跳ね返って周りに飛散し、跳ね返った有機ＥＬ材料が周りの他の色の有機ＥＬ材料に混入してしまい、有機ＥＬ材料が混色するという問題がある。 However, the conventional example having such a configuration has the following problems. That is, when an organic EL material is ejected from an inkjet nozzle into a partition on a glass substrate and applied, a part of the organic EL material ejected from the inkjet nozzle bounces off the glass substrate and scatters around. However, there is a problem that the organic EL material that has bounced back is mixed into the organic EL materials of other colors around, and the organic EL material is mixed.
また、このインクジェット方式のノズルを、有機ＥＬ材料を噴出すべき、隔壁内の各噴出位置に合わせるようにＸＹ方向の二方向に高精度に制御する必要があり、さらに、各噴出位置に合わせた時点で有機ＥＬ材料を噴出させるという有機ＥＬ材料噴出のオンオフタイミングも高精度に制御する必要があり、有機ＥＬ材料を塗布する際の制御が非常に煩雑であるという問題もある。 In addition, it is necessary to control the nozzle of the ink jet method with high accuracy in two directions of the XY directions so as to match each ejection position in the partition wall where the organic EL material should be ejected, and further, it is matched to each ejection position. There is also a problem that the on / off timing of ejecting the organic EL material, which ejects the organic EL material at a point in time, needs to be controlled with high accuracy, and the control when applying the organic EL material is very complicated.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、有機ＥＬ材料の跳ね返りを防止でき、有機ＥＬ材料の塗布制御を簡易化できる有機ＥＬ表示装置の製造装置を提供することを目的とする。 This invention is made in view of such a situation, Comprising: It aims at providing the manufacturing apparatus of the organic electroluminescent display which can prevent the bounce of organic electroluminescent material and can simplify application | coating control of organic electroluminescent material. And
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、有機ＥＬ材料を基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造装置において、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させる移動手段と、前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布制御する塗布制御手段と、前記ノズルに有機ＥＬ材料を供給する供給部と、を備え、前記供給部は、有機ＥＬ材料の供給源と、この供給源から有機ＥＬ材料を取り出し、ノズルに供給するポンプと、からなり、前記塗布制御手段は、前記ポンプを制御することで、前記ノズルからの有機ＥＬ材料の前記溝内への流し込みとその停止とを制御することを特徴とするものである。
In order to achieve such an object, the present invention has the following configuration.
That is, according to the first aspect of the present invention, in an organic EL display device manufacturing apparatus that manufactures an organic EL display device by applying an organic EL material in a predetermined pattern shape on a substrate, the organic EL material should be applied. Grooves corresponding to the pattern shape of the substrate are formed on the substrate, moving means for relatively moving the substrate and the nozzles along the grooves, and the organic EL material from the nozzles in the grooves. An application control unit that controls application by pouring into the nozzle, and a supply unit that supplies the organic EL material to the nozzle. The supply unit takes out the organic EL material from the supply source of the organic EL material, a pump for supplying the nozzle, Tona is, the application control unit, by controlling the pump, to control the casting and its stop and into the groove of the organic EL material from the nozzle It is an butterfly.
［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、移動手段は、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させる。塗布制御手段は、ノズルからの有機ＥＬ材料を溝内に流し込んで塗布制御する。供給部はノズルに有機ＥＬ材料を供給する。この供給部は、有機ＥＬ材料の供給源と、この供給源から有機ＥＬ材料を取り出し、ノズルに供給するポンプとからなる。塗布制御手段は、ポンプを制御することで、ノズルからの有機ＥＬ材料の溝内への流し込みとその停止とを制御する。したがって、有機ＥＬ材料を基板に塗布する際のこの有機ＥＬ材料の跳ね返りが防止され、有機ＥＬ材料の塗布制御が簡易化される。
[Operation / Effect] According to the invention described in
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の有機ＥＬ表示装置の製造装置において、複数の前記ノズルを有し、それぞれに供給部を備えていることを特徴とするものである。
The invention described in
［作用・効果］請求項２に記載の発明によれば、複数のノズルはそれぞれに供給部を備えているので、ノズルごとの供給部から有機ＥＬ材料が、対応するノズルにそれぞれ供給される。
[Operation / Effect] According to the invention described in
また、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の有機ＥＬ表示装置の製造装置において、前記ノズルの穴径は、１０〜７０μｍであることを特徴とするものである。 According to a third aspect of the present invention, in the organic EL display device manufacturing apparatus according to the first aspect of the present invention, the hole diameter of the nozzle is 10 to 70 μm.
［作用・効果］請求項３に記載の発明によれば、ノズルの穴径は、１０〜７０μｍであるとしているので、基板に形成された溝の幅より小さく、基板上の溝内に有機ＥＬ材料が流し込まれる。
[Operation and Effect] According to the invention described in
また、請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の有機ＥＬ表示装置の製造装置において、前記供給部は、前記ポンプからノズルに供給される有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタを備えたことを特徴とするものである。 According to a fourth aspect of the present invention, in the apparatus for manufacturing an organic EL display device according to the first aspect, the supply unit removes foreign matter in the organic EL material supplied from the pump to the nozzle. A filter is provided.
［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、フィルタは、ポンプからノズルに供給される有機ＥＬ材料中の異物を除去する。 [Operation and Effect] According to the invention described in claim 4, the filter removes foreign matters in the organic EL material supplied from the pump to the nozzle.
請求項１に記載の発明によれば、有機ＥＬ材料を基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造装置において、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させる移動手段と、前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布制御する塗布制御手段と、ノズルに有機ＥＬ材料を供給する供給部とを備え、供給部は、有機ＥＬ材料の供給源と、この供給源から有機ＥＬ材料を取り出し、ノズルに供給するポンプと、からなり、塗布制御手段は、ポンプを制御することで、ノズルからの有機ＥＬ材料の前記溝内への流し込みとその停止とを制御するので、有機ＥＬ材料を基板に塗布する際のこの有機ＥＬ材料の跳ね返りを防止でき、有機ＥＬ材料の塗布制御を簡易化できる。 According to the first aspect of the present invention, in an organic EL display device manufacturing apparatus that manufactures an organic EL display device by applying an organic EL material in a predetermined pattern shape on a substrate, the organic EL material should be applied. Grooves corresponding to the pattern shape of the substrate are formed on the substrate, moving means for relatively moving the substrate and the nozzles along the grooves, and the organic EL material from the nozzles in the grooves. And a supply unit that supplies the organic EL material to the nozzle . The supply unit extracts the organic EL material from the supply source and supplies the organic EL material to the nozzle. a pump for consists, application control means, by controlling the pump, and controls the casting and its stop into the groove of the organic EL material from the nozzle, to apply the organic EL material on the substrate It prevents recoil of the organic EL material during, can be simplified application control of the organic EL material.
また、請求項２に記載の発明によれば、複数のノズルはそれぞれに供給部を備えているので、ノズルごとの供給部から有機ＥＬ材料が、対応するノズルにそれぞれ供給できる。 According to the second aspect of the present invention, since each of the plurality of nozzles includes the supply unit, the organic EL material can be supplied to the corresponding nozzle from the supply unit for each nozzle.
また、請求項３に記載の発明によれば、ノズルの穴径は、１０〜７０μｍであるとしているので、基板に形成された溝の幅より小さく、基板上の溝内に有機ＥＬ材料を流し込むことができる。
According to the invention of
また、請求項４に記載の発明によれば、フィルタにより、ポンプからノズルに供給される有機ＥＬ材料中の異物を除去できる。 In addition, according to the invention described in claim 4, foreign substances in the organic EL material supplied from the pump to the nozzle can be removed by the filter.
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。本発明の実施例に係る有機ＥＬ表示装置の製造装置は、有機ＥＬ材料をガラス基板上に所定のパターン形状に塗布して有機ＥＬ表示装置を製造するものである。図１は、本発明の実施例に係る有機ＥＬ表示装置の製造装置の要部の概略構成を示すブロック図である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. An apparatus for manufacturing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention manufactures an organic EL display device by applying an organic EL material in a predetermined pattern shape on a glass substrate. FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a main part of an apparatus for manufacturing an organic EL display device according to an embodiment of the present invention.
本実施例に係る有機ＥＬ表示装置の製造装置は、図１に示すように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓを載置するステージ１と、このステージ１を所定方向に移動させるステージ移動機構部２と、ガラス基板Ｓ上に形成された位置合わせマークの位置を検出する位置合わせマーク検出部３と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａを赤色用のノズル４ａに供給する第１供給部５と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂを緑色用のノズル４ｂに供給する第２供給部６と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃを青色用のノズル４ｃに供給する第３供給部７と、各色のノズル４ａ〜４ｃを所定方向に移動させるノズル移動機構部８と、ステージ移動機構部２と位置合わせマーク検出部３と第１〜第３供給部５〜７とノズル移動機構部８とを制御する制御部９とで構成されている。以下、各部の構成を詳細に説明する。
As shown in FIG. 1, an apparatus for manufacturing an organic EL display device according to this embodiment includes a
なお、図２，図３に示すように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓの表面上には、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを塗布すべき所定のパターン形状に応じたストライプ状の溝１１が複数本並設されるように形成されている。図２は、有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝が表面上に形成されたガラス基板を上から見た状態を示す概略平面図である。図３は、図２に示したガラス基板の一部分の断面を示す概略断面図である。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
ここで、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受けるガラス基板Ｓの製造工程について説明する。先ず、平板状のガラス基板Ｓの表面上に透明なＩＴＯ（インジウム錫酸化物）膜を成膜する。次に、このガラス基板Ｓ上に成膜されたＩＴＯ膜を、フォトリソグラフィー技術を用いて、複数本のストライプ状の第１電極１２にパターニング形成する。この第１電極１２は陽極に相当するものである。次に、ストライプ状の第１電極１２を囲むようにしてガラス基板Ｓ上に突出させる電気絶縁性の隔壁１３を、フォトリソグラフィー技術を用いて形成する。この隔壁１３は、例えば、クロム（Ｃｒ）あるいはドライフィルムで形成されている。このようにして、ガラス基板Ｓの表面上には、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを塗布すべきストライプ状の溝１１が複数本並設されて形成されている。なお、この溝１１内でストライプ状の第１電極１２上には、正孔を積極的に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの方に輸送する正孔輸送層１４が形成されている。この正孔輸送層１４としては、例えば、ＰＥＤＴ（polyethylene dioxythiophene）−ＰＳＳ（poly-styrene sulphonate ）を採用している。溝１１の幅は、例えば100 μｍ程度であり、溝１１の深さは、例えば1 〜10μｍ程度であり、溝１１と溝１１との間の距離は、例えば10〜20μｍ程度である。このようにして、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受ける状態にあるガラス基板Ｓを製造している。
Here, the manufacturing process of the glass substrate S which receives application | coating of the
図１に戻って、第１供給部５は、例えば、赤色の有機ＥＬ材料１０ａの供給源２０ａと、この供給源２０ａから赤色の有機ＥＬ材料１０ａを取り出すためのポンプ２１と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａの流量を検出する流量計２２と、赤色の有機ＥＬ材料１０ａ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。
Returning to FIG. 1, the
第２供給部６は、例えば、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂの供給源２０ｂと、この供給源２０ｂから緑色の有機ＥＬ材料１０ｂを取り出すためのポンプ２１と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂの流量を検出する流量計２２と、緑色の有機ＥＬ材料１０ｂ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。
For example, the
第３供給部７は、例えば、青色の有機ＥＬ材料１０ｃの供給源２０ｃと、この供給源２０ｃから青色の有機ＥＬ材料１０ｃを取り出すためのポンプ２１と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃの流量を検出する流量計２２と、青色の有機ＥＬ材料１０ｃ中の異物を除去するためのフィルタ２３とを備えている。
The
上述した赤色，緑色，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃとしては、例えば、ガラス基板Ｓ上の溝１１内に拡がるように流動する程度の粘性を有する有機性のＥＬ材料を採用すれば良く、ここでは上述した程度の粘性を有する各色毎の高分子タイプの有機ＥＬ材料を採用している。この各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの粘度は、例えば、塗布工程時の温度条件（例えば、２３°Ｃ）において、２〜１５ｍＰａ・s （ミリパスカル秒）の範囲内であるものとしている。
As the red, green, and blue
図４に示すように、ノズル移動機構部８は、各色のノズル４ａ〜４ｃと、これらのノズル４ａ〜４ｃを並設した状態で保持する保持部材３１と、この保持部材３１を支持軸３４の周りに回動自在に支持する支持部材３２と、この支持部材３２を沿わせて移動させるためのガイド部材３３とを備えている。図４（ａ）は、ノズル移動機構部の概略斜視図であり、図４（ｂ）は、ノズル移動機構部を上から見た概略平面図であり、図４（ｃ）は、保持部材を支持部材の支持軸周りに回動させた状態を示す概略平面図である。支持部材３２には、保持部材３１のノズル並設面に直交する方向に支持軸３４が設けられている。保持部材３１には、この支持軸３４と嵌合させるための嵌合孔３５が設けられている。支持部材３２の支持軸３４に保持部材３１の嵌合孔３５が嵌合されており、支持部材３２は、保持部材３１を支持軸３４周りに回動自在に支持している。例えば、図４（ｃ）に示すように、保持部材３１を支持軸３４周りに回動させることで、図４（ｂ）に示す状態における各色の塗布ピッチ間隔Ｐ１よりも狭い塗布ピッチ間隔Ｐ２にすることができ、各色の塗布ピッチ間隔を狭くするように調整できる。なお、これらのノズル４ａ〜４ｃにおける有機ＥＬ材料を出力するための穴径は、ガラス基板Ｓに形成された溝１１の幅より小さく、例えば数十μｍ程度であり、ここでは10〜70μｍとしている。
As shown in FIG. 4, the nozzle moving mechanism unit 8 includes the
位置合わせマーク検出部３としては、例えば、ＣＣＤカメラを採用している。位置合わせマーク検出部３は、制御部９からの指示を受けると、図２に示したガラス基板Ｓの四隅にそれぞれ形成された位置合わせマークＭをそれぞれ撮像し、これらの撮像した位置合わせマークＭの画像データを制御部９に出力する。
For example, a CCD camera is employed as the alignment
制御部９は、位置合わせマーク検出部３で撮像された画像データに基づいて位置合わせマークＭの位置を算出する。制御部９には、ＣＡＤ（Computer Aided Design ）を使って設計された第１電極１２や溝１１などのレイアウトデータが予め与えられている。制御部９は、位置合わせマークＭの位置の算出結果と、予め与えられている溝１１のレイアウトデータとに基づいて、塗布のスタートポイント、すなわち、ガラス基板Ｓの溝１１の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置（後述する塗布開始位置Ｂに相当する）を算出する。なおここでは、ガラス基板Ｓに形成された位置合わせマークＭを４点としているが、例えば２点とするなど、４点以外の点数であっても良い。
The control unit 9 calculates the position of the alignment mark M based on the image data captured by the alignment
制御部９は、図５に示すように、ステージ１を所定方向（ｙ方向）に所定量だけ移動させるようにステージ移動機構部２を制御し、ノズル４ａ〜４ｃを所定方向（ｘ方向）に所定量だけ移動させるようにノズル移動機構部８を制御し、図１に示すように、第１〜第３供給部５〜７の各流量計２２からの検出値ａ〜ｃに応じて、ノズル４ａ〜４ｃから所定流量の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し出すように第１〜第３供給部５〜７の各ポンプ２１に指令ｄ〜ｆを出力する。図５は、ステージとノズルの移動方向を説明するための概略斜視図である。
As shown in FIG. 5, the control unit 9 controls the stage moving
なお、上述したステージ移動機構部２とノズル移動機構部８とが本発明における移動手段に相当し、上述した制御部９が本発明における塗布制御手段に相当する。
The stage moving
次に上記のように構成された実施例装置によって有機ＥＬ表示装置を製造する製造工程について、以下に説明する。 Next, a manufacturing process for manufacturing the organic EL display device by the embodiment device configured as described above will be described below.
図２，図３に示すように、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を受ける状態にあるガラス基板Ｓが製造されるまでについては、上述したように既に説明済みであるので、ステージ１上に載置されたガラス基板Ｓの溝１１に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを塗布する工程から説明するものとする。
As shown in FIGS. 2 and 3, since the glass substrate S in a state of receiving the application of the
制御部９は、ステージ１上に載置されたガラス基板Ｓの四隅の位置合わせマークＭをそれぞれ撮像するよう位置合わせマーク検出部３に指示を与える。位置合わせマーク検出部３は、撮像した位置合わせマークＭの画像データを制御部９に出力する。制御部９は、位置合わせマーク検出部３で撮像された画像データに基づいて位置合わせマークＭの位置を算出する。制御部９は、位置合わせマークＭの位置の算出結果と、予め与えられている溝１１のレイアウトデータとに基づいて、塗布のスタートポイント、すなわち、ガラス基板Ｓの溝１１の一方の端部側で塗布を開始する塗布開始位置Ｂを算出する。制御部９は、図６に示すように、ガラス基板Ｓの溝１１の塗布開始位置Ｂにノズル４ａ〜４ｃが位置するように、ステージ移動機構部２とノズル移動機構部８とを制御する。図６は、ノズルの移動経路を説明するための模式図である。なお、ノズル移動機構部８の支持部材３２は、赤，緑，青色の各ノズル４ａ〜４ｃが溝１１の幅方向の中心付近にそれぞれ位置するように良好に調整されている。
The control unit 9 gives an instruction to the alignment
次に、図６に示すように、ガラス基板Ｓの溝１１の塗布開始位置Ｂにノズル４ａ〜４ｃが位置すると、制御部９は、各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓ上の溝１１内への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流し込み開始を各ポンプ２１に指示するとともに、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをガラス基板Ｓ上の溝１１に沿わせながらこの溝１１内に流し込むように支持部材３２をガイド部材３３に沿わせて移動させるように制御する。このように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃが同時にそれぞれの溝１１に流し込まれていく。制御部９は、ガラス基板Ｓの溝１１の他方の端部側で塗布を停止する塗布停止位置Ｅにノズル４ａ〜４ｃが位置すると、各ノズル４ａ〜４ｃからガラス基板Ｓ上の溝１１内への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流し込みを停止させるよう各ポンプ２１に指示するとともに、支持部材３２のガイド部材３３に沿わせる移動を停止させる。なお、制御部９は、ストライプ状の溝１１の各ポイントにおける有機ＥＬ材料の塗布量が均一となるように、ノズル４ａ〜４ｃの移動速度に応じてその塗布量を制御するようにしている。このようにして、三列分の溝１１への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布が完了する。図７に示すように、溝１１内の正孔輸送層１４上に流し込まれた有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃは、自己の粘性によってこの溝１１内に拡がるように流動してレベリングされ、均一な厚みの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃが形成されている。溝１１内に流し込まれた有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの厚みは、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流し込み量によって調整できるが、ここではこの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの厚みは0.1 μｍ程度に形成されている。
Next, as illustrated in FIG. 6, when the
次に、図６に示すように、ステージ１をｙ方向に溝１１三列分だけピッチ送りして、次の三列分の溝１１への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布を行えるようにする。前述した最初の溝１１三列分では、溝１１の左端側を塗布開始位置Ｂとし、溝１１の右端側を塗布停止位置Ｅとして、ノズル４ａ〜４ｃを溝１１に沿うように左から右に移動させてそれぞれの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んだが、次の溝１１三列分では、溝１１の右端側を塗布開始位置Ｂとし、溝１１の左端側を塗布停止位置Ｅとして、ノズル４ａ〜４ｃを溝１１に沿うように右から左に移動させてそれぞれの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込むようにする。
Next, as shown in FIG. 6, the
そして、ガラス基板Ｓ上の残りの溝１１についても、前述の動作を繰り返し実行することで、各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを溝１１ごとに流し込むようにする。このようにして、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃがストライプ状の溝１１ごとに赤，緑，青色の順に配列された、いわゆる、ストライプ配列が形成される。なお、図６に示す半円状の破線は、各ノズル４ａ〜４ｃが次の三列分の溝１１に移行することを示すものであり、各ノズル４ａ〜４ｃが、実際にこの破線で示す半円状の経路で移動するのではない。上述したように、ステージ１をｙ方向に移動させてから、各ノズル４ａ〜４ｃをｘ方向に移動させることで、溝１１内に良好に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでいる。
And the remaining operation | movement of the remaining groove |
次に、ガラス基板Ｓ上の全溝１１内への有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの塗布が完了すると、第１電極１２に直交するように対向させるストライプ状の第２電極１５を、真空蒸着法によりガラス基板Ｓ上に複数本並設するように形成する。図８に示すように、第１電極１２と第２電極１５との間に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを挟み込んでいる。この第２電極１５は陰極に相当するものである。このようにして、第１電極１２と第２電極１５とが単純ＸＹマトリクス状に配列されたフルカラー表示可能な有機ＥＬ表示装置が製造される。
Next, when the application of the
このように、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを塗布すべき所定のパターン形状に応じ溝１１をガラス基板Ｓ上に形成しておき、この溝１１にノズル４ａ〜４ｃを沿わせるようにガラス基板Ｓとノズル４ａ〜４ｃとを相対的に移動させて、ノズル４ａ〜４ｃからの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを溝１１内に流し込んで塗布するので、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをガラス基板Ｓに塗布する際のこの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの跳ね返りを防止することができる。また、前述の従来例では、インクジェット方式のノズルを、隔壁内の各噴出位置に合わせるようにＸＹ方向の二方向に高精度に制御するとともに、噴出位置に合わせた時点で有機ＥＬ材料を噴出させるという有機ＥＬ材料噴出のオンオフタイミングも高精度に制御する必要があり、有機ＥＬ材料を塗布する際の制御が非常に煩雑であるという問題があったが、本実施例では、ガラス基板Ｓ上の溝１１に沿って有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んで塗布制御するだけで良いので、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの噴出位置と噴出のオンオフタイミングとを高精度に制御するような必要はなく、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃのガラス基板Ｓへの塗布制御を簡易化できる。
As described above, the
また、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃは、ガラス基板Ｓ上の溝１１内に拡がるように流動する程度の粘性を有する材料であるとしているので、ガラス基板Ｓ上の溝１１内に流し込まれた有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃは、自己の粘性によって溝１１内に拡がるように流動してレベリングされ、均一な厚みの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを形成できる。
Further, since the
なお、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを窒素ガスの雰囲気中でガラス基板Ｓ上の溝１１内に流し込んで塗布する場合では、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを酸素や水蒸気などに接触させることなくガラス基板Ｓ上の溝１１内に流し込むことができ、酸素や水蒸気などとの接触に起因する有機ＥＬ材料の特性変化を防止できる。
In the case where the
なお、本発明は以下のように変形実施することも可能である。 The present invention can be modified as follows.
（１）上述した実施例では、ノズル４ａ〜４ｃへの有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流量を検出してノズル４ａ〜４ｃから流出させる有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流量をフィードバック制御しているが、有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの圧力を圧力センサなどの圧力検出手段で検出してノズル４ａ〜４ｃから流出させる有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの流量をフィードバック制御しても良い。
(1) In the above-described embodiment, the flow rate of the
（２）上述した実施例では、図５に示すように、ガラス基板Ｓを載置したステージ１を、このガラス基板Ｓ上の溝１１の長手方向（ｘ方向）に対して直交する方向（ｙ方向）にピッチ送りしてから、ノズル４ａ〜４ｃを溝１１の長手方向（ｘ方向）に移動させるようにして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでいるが、ノズル４ａ〜４ｃをガラス基板Ｓ上の溝１１の長手方向（ｘ方向）に対して直交する方向（ｙ方向）にピッチ送りしてから、ステージ１を溝１１の長手方向（ｘ方向）に移動させるようにして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでも良い。また、ステージ１を固定とし、ノズル４ａ〜４ｃをガラス基板Ｓ上の溝１１の長手方向に対して直交する方向にピッチ送りしてから、このノズル４ａ〜４ｃをこの溝１１の長手方向に移動させるようにして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでも良いし、ノズル４ａ〜４ｃを固定とし、ステージ１をガラス基板Ｓ上の溝１１の長手方向に対して直交する方向にピッチ送りしてから、このステージ１をこの溝１１の長手方向に移動させるようにして、ガラス基板Ｓの溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでも良い。
(2) In the above-described embodiment, as shown in FIG. 5, the
（３）上述した実施例では、赤，緑，青色の３個１組のノズル４ａ〜４ｃでガラス基板Ｓの各溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでいるが、この３個１組のノズル４ａ〜４ｃを複数組設けてガラス基板Ｓの各溝１１内に有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込んでも良い。こうすることで塗布処理にかかる時間を短縮することができる。また、各ノズル４ａ〜４ｃの間隔を、隣接する溝１１の間隔（ある溝１１の幅中心からそれに隣接する溝１１の幅中心までの間隔）の４の倍数分として配置し、溝１１の長手方向に対して直交する方向にこれらのノズル４ａ〜４ｃを隣接する溝１１の間隔の３倍分の距離でピッチ送りするようにしても良い。こうすることでノズル間が広くなりメンテナンスが容易となる。
(3) In the above-described embodiment, the
（４）上述した実施例では、基板をガラス基板Ｓとしているが、光を透過させる性質を有するものであればガラス以外の材料の基板を採用しても良い。 (4) In the embodiment described above, the substrate is the glass substrate S, but a substrate made of a material other than glass may be adopted as long as it has a property of transmitting light.
（５）上述した実施例では、ストライプ状の第１電極１２と有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃとの間に正孔輸送層１４を形成しているが、この正孔輸送層１４は必須構成ではなく設けなくても良いし、第１電極１２に対向配置される第２電極１５と有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃとの間に、電子を有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃの方に積極的に輸送する電子輸送層を形成しても良い。
(5) In the above-described embodiment, the
（６）上述した実施例では、ガラス基板Ｓ上に複数並設されたストライプ状の第１電極１２間に隔壁１３を形成するようにして第１電極１２上に溝１１を形成しているが、図９に示すように、この第１電極１２の端部側でその上部まで含めて隔壁１３を形成するようにして第１電極１２上に溝１１を形成しても良い。
(6) In the above-described embodiment, the
（７）上述した実施例では、図４（ｃ）に示すように、保持部材３１を支持軸３４周りに回動させることで、各色の塗布ピッチ間隔を調整しているが、図１０に示すように、両端のノズル４ａ，４ｃに旋回機構を持たせるようにして、各色の塗布ピッチ間隔を調整しても良い。
(7) In the above-described embodiment, as shown in FIG. 4C, the application pitch interval of each color is adjusted by rotating the holding
（８）上述した実施例では、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをストライプ配列に形成しているが、図１１に示すように、赤，緑，青色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃをスクエア配列に形成することもできる。この場合は、ガラス基板Ｓ上にスクエア状に溝１１を形成しておき、このスクエア状の溝１１に沿って各色の有機ＥＬ材料１０ａ〜１０ｃを流し込むようにすることで実現できる。
(8) In the above-described embodiment, the red, green, and blue
１ … ステージ
２ … ステージ移動機構部（移動手段）
４ａ… 赤色用のノズル
４ｂ… 緑色用のノズル
４ｃ… 青色用のノズル
８ … ノズル移動機構部（移動手段）
９ … 制御部（塗布制御手段）
１０ａ… 赤色の有機ＥＬ材料
１０ｂ… 緑色の有機ＥＬ材料
１０ｃ… 青色の有機ＥＬ材料
１１ … 溝
Ｓ … ガラス基板
DESCRIPTION OF
4a ... Nozzle for red 4b ... Nozzle for green 4c ... Nozzle for blue 8 ... Nozzle moving mechanism (moving means)
9: Control unit (application control means)
10a ... Red
Claims (4)
有機ＥＬ材料を塗布すべき所定のパターン形状に応じた溝を基板上に形成しておき、この溝にノズルを沿わせるように基板とノズルとを相対的に移動させる移動手段と、
前記ノズルからの有機ＥＬ材料を前記溝内に流し込んで塗布制御する塗布制御手段と、
前記ノズルに有機ＥＬ材料を供給する供給部と、
を備え、
前記供給部は、有機ＥＬ材料の供給源と、この供給源から有機ＥＬ材料を取り出し、ノズルに供給するポンプと、からなり、
前記塗布制御手段は、前記ポンプを制御することで、前記ノズルからの有機ＥＬ材料の前記溝内への流し込みとその停止とを制御する
ことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造装置。 In an organic EL display device manufacturing apparatus for manufacturing an organic EL display device by applying an organic EL material in a predetermined pattern shape on a substrate,
Grooves corresponding to a predetermined pattern shape to which the organic EL material is to be applied are formed on the substrate, and moving means for relatively moving the substrate and the nozzles along the grooves,
Application control means for controlling the application by pouring the organic EL material from the nozzle into the groove;
A supply unit for supplying an organic EL material to the nozzle;
With
The supply unit includes a supply source of the organic EL material, removed the organic EL material from the supply source, a pump for supplying the nozzle, Ri Tona,
The said application control means controls the pouring of the organic EL material from the said nozzle in the said groove | channel, and its stop by controlling the said pump, The manufacturing apparatus of the organic EL display apparatus characterized by the above-mentioned .
複数の前記ノズルを有し、それぞれに供給部を備えていることを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造装置。 In the manufacturing apparatus of the organic EL display device according to claim 1,
An apparatus for manufacturing an organic EL display device, comprising a plurality of the nozzles, each having a supply unit.
前記ノズルの穴径は、１０〜７０μｍであることを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造装置。 In the manufacturing apparatus of the organic EL display device according to claim 1,
The hole diameter of the said nozzle is 10-70 micrometers, The manufacturing apparatus of the organic electroluminescence display characterized by the above-mentioned.
前記供給部は、前記ポンプからノズルに供給される有機ＥＬ材料中の異物を除去するためのフィルタを備えたことを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造装置。 In the manufacturing apparatus of the organic EL display device according to claim 1,
The said supply part was equipped with the filter for removing the foreign material in the organic EL material supplied to the nozzle from the said pump, The manufacturing apparatus of the organic EL display apparatus characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005368197A JP4260162B2 (en) | 2005-12-21 | 2005-12-21 | Organic EL display device manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005368197A JP4260162B2 (en) | 2005-12-21 | 2005-12-21 | Organic EL display device manufacturing equipment |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000260320A Division JP2002075640A (en) | 2000-08-30 | 2000-08-30 | Manufacturing method of an organic el display device and its manufacturing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006093165A JP2006093165A (en) | 2006-04-06 |
| JP4260162B2 true JP4260162B2 (en) | 2009-04-30 |
Family
ID=36233878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005368197A Expired - Lifetime JP4260162B2 (en) | 2005-12-21 | 2005-12-21 | Organic EL display device manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4260162B2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3217645B2 (en) * | 1995-06-30 | 2001-10-09 | キヤノン株式会社 | Ink jet recording apparatus and ink ejection recovery method in the apparatus |
| JPH10315490A (en) * | 1997-05-15 | 1998-12-02 | Canon Aptecs Kk | Ink jet recorder |
| GB9808806D0 (en) * | 1998-04-24 | 1998-06-24 | Cambridge Display Tech Ltd | Selective deposition of polymer films |
-
2005
- 2005-12-21 JP JP2005368197A patent/JP4260162B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2006093165A (en) | 2006-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002075640A (en) | Manufacturing method of an organic el display device and its manufacturing device | |
| US7246878B2 (en) | Method of generating ejection pattern data, and head motion pattern data; apparatus for generating ejection pattern data; apparatus for ejecting functional liquid droplet; drawing system; method of manufacturing organic EL device, electron emitting device, PDP device, electrophoresis display device, color filter, and organic EL; and method of forming spacer, metal wiring, lens, resist, and light diffuser | |
| US8366232B2 (en) | Method of measuring landed dot, measuring apparatus for landed dot, liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optic apparatus, electro-optic apparatus, and electronic apparatus | |
| TWI613933B (en) | Inkjet printhead and apparatus and method for manufacturing organic luminescence display using the inkjet printhead | |
| US8201902B2 (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optical apparatus, and electro-optical apparatus | |
| JP2008264608A (en) | Liquid droplet coating apparatus and liquid droplet coating method | |
| US9203027B2 (en) | Coating method and manufacturing method of organic el display | |
| TW200533426A (en) | Discharge apparatus, material application method, manufacturing method for color filter substrate, manufacturing method for electroluminescence display apparatus, manufacturing method for plasma display apparatus, and wiring manufacturing method | |
| WO2018072545A1 (en) | Coating method, coating apparatus and light-emitting device | |
| KR20060041984A (en) | Method for coating material, method of manufacturing color filter substrate, method of manufacturing electroluminescence display device, method of manufacturing plasma display device, and ejection device | |
| US20080024552A1 (en) | Methods and apparatus for improved manufacturing of color filters | |
| JP5043470B2 (en) | Coating apparatus and coating method | |
| JP2004055159A (en) | Method for manufacturing organic el element, and organic el element displaying device | |
| JP4260162B2 (en) | Organic EL display device manufacturing equipment | |
| CN102351435B (en) | Coating method and manufacturing method of organic electroluminescent display | |
| JP4338699B2 (en) | Manufacturing method of organic EL display device and manufacturing device thereof | |
| TWI432333B (en) | Liquid material arrangement method, color filter manufacturing method, and organic el display device manufacturing method | |
| US7473320B2 (en) | Apparatus for depositing an organic material on a substrate | |
| CN111791591A (en) | Droplet discharge method and method for manufacturing organic EL device | |
| US20220246699A1 (en) | Array Substrate, Method of Fabricating Array Substrate, Display Panel, and Method of Fabricating Display Panel | |
| JP2006289322A (en) | Composite type ink jet head | |
| JP2009198938A (en) | Liquid drop discharge device, liquid discharge method, color filter manufacturing method and organic el element manufacturing method | |
| JP2004358353A (en) | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, thin film forming method and electro-otical device | |
| KR101014406B1 (en) | Apparatus and method for printing of a flat panel display | |
| JP2005095835A (en) | Delivery device, manufacturing device for color filter substrate, manufacturing device for electroluminescence display device, manufacturing device for plasma display device and delivery method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081028 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081225 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090203 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090203 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4260162 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140220 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |