JP4257848B2 - 金型及びその製造方法 - Google Patents
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Description
この金型10によれば、硬質の成形キャビティ11を形成する成形部13の型表面17にDLC被膜22を形成することで成形部13の耐摩耗性を高めると共に、結晶方位性のないアモルファス構造のDLC被膜22を、ビーム径を極めて小さく集束させることができる集束イオンビーム32によりエッチングし、成形キャビティ11の一部をなす凹部25を形成するので、凹部25を所望の成形形状に合わせて正確に形成することができると共に、エッチングによって形成された凹部25の表面を滑らかにすることができる。従って、この金型10を用いた射出成形によって精度の高いナノピラーアレー1を成形することができ、また、成形部13からナノピラーアレー1を取り外す際に、凹部25の表面によってナノピラーアレー1を破損することがなく、生産効率を向上させることができる。
1)集束イオンビームによりDLC被膜をエッチングする際に、凹部を形成する部分のみを露出させるための穴が形成されたマスキング部材をDLC被膜の表面に被せてエッチングしてよい。このようにマスキング部材を被せた状態でDLC被膜をエッチングすることで、金型基材を移動させるXYテーブルの制御を簡単化することができる。例えば、上述した円柱状の凹部を形成する場合、円形状の開口部が形成されたマスキング部材によりDLC被膜をマスキングすることで、開口部以外の領域がエッチングされることを防止できるので、円形状の開口部を含む領域で集束イオンビームを相対移動させれば円柱状の凹部が形成できる。従って、集束イオンビームを凹部に合わせて円形状に相対移動させるのではなく、円形状の開口部を含む正方形内で相対移動させることで、集束イオンビームを相対移動させるためのXYテーブルの制御を簡単化することができる。
8)上述の実施例においては、ナノピラーを等間隔で配設したが、異なる間隔でナノピラーを配設してもよい。
11 成形キャビティ
13 成形部
17 型表面
20 金型基材
21 クロム被膜
22 DLC被膜
25 凹部
32 集束イオンビーム
Claims (8)
- 成形キャビティを形成する型表面の少なくとも一部にダイヤモンドライクカーボン被膜が形成された金型において、
前記ダイヤモンドライクカーボン被膜に成形キャビティの一部をなす1又は複数の微細な凹部を形成したことを特徴とする金型。 - 前記金型を形成する金型基材と前記ダイヤモンドライクカーボン被膜との間にクロム被膜を形成したことを特徴とする請求項1に記載の金型。
- 前記金型は射出成形用の金型であることを特徴とする請求項1又は2に記載の金型。
- 前記微細な凹部は集束イオンビームによりエッチングすることによって形成されることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の金型。
- 前記微細の凹部はプラズマによりエッチングすることによって形成されることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の金型。
- 金型基材のうち成形キャビティを形成する型表面の少なくとも一部にダイヤモンドライクカーボン被膜を形成する被膜形成工程と、
前記ダイヤモンドライクカーボン被膜の一部をエッチングして成形キャビティの一部をなす1又は複数の微細な凹部を形成するエッチング工程と、
を備えたことを特徴とする金型の製造方法。 - 前記エッチング工程においては、集束イオンビームによってダイヤモンドライクカーボン被膜をエッチングすることを特徴とする請求項6に記載の金型の製造方法。
- 前記エッチング工程においては、プラズマによってダイヤモンドライクカーボン被膜をエッチングすることを特徴とする請求項6に記載の金型の製造方法。
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