JP4255896B2 - コンタクトユニットおよび検査システム - Google Patents
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Description
まず、実施の形態1にかかる検査システムについて説明する。図1は、本実施の形態1にかかる検査システムの全体構成を示す模式図である。図1に示すように、本実施の形態1にかかる検査システムは、検査対象1に対する電気的接続を実現するためのコンタクトユニット2と、検査対象に対して入力する電気信号の生成等を行う信号処理装置3と、信号処理装置3とコンタクトユニット2とを電気的に接続するための接続基板4とによって構成される。
次に、実施の形態2にかかる検査システムについて説明する。本実施の形態2では、ダミーパッドに相当する導電領域を備えない検査対象を検査する場合に、正確な位置あわせを行うことを可能とした構成を採用している。
次に、実施の形態2にかかる検査システムの変形例について説明する。本変形例にかかる検査システムは、検査対象1に備わる回路形成領域上に形成される配線構造の一部において、複数のテストパッド間を、半導体チップ8を介するのではなく電気的に直接接続させる配線構造を有する場合に、かかる配線構造を活用して正確な位置あわせを可能とするものである。
次に、実施の形態3にかかる検査システムについて説明する。本実施の形態3にかかる検査システムでは、一度に複数の回路形成領域に関して検査を行う構成を有すると共に、正確な位置あわせを可能とする検出システムを実現している。
2 コンタクトユニット
3 信号処理装置
4 接続基板
5a 回路形成領域
5b スプロケットホール
6 配線構造
7a〜7h ダミーパッド
8 半導体チップ
9 インナーリード
10 アウターリード
11、11a〜11l テストパッド
12a〜12d 発光ダイオード
13 コンタクトプローブ
14a〜14d 検出プローブ群
15 ホルダ基板
16 ネジ部材
17 ネジ部材
19a〜19d プローブ
20a〜20d プローブ
21a〜21d 電圧源
22a〜22d 位置関係検出部
24、25 針状部材
26 バネ部材
27 開口部
28 リード線
31 検査対象
32 コンタクトユニット
33a〜33d 位置関係検出部
34a〜34d スイッチ
35 コンタクトユニット
36 回路形成領域
37a〜37d テストパッド
38a、38b スルー配線
41 コンタクトユニット
42 ホルダ基板
Claims (5)
- 電気信号の入力または出力に用いられる配線構造の一部をなすテストパッドを含む複数の導電領域が矩形形状をなす回路形成領域の表面上に形成され、少なくとも前記矩形形状の四隅の各々に前記複数の導電領域のいずれかが配置された検査対象に関して、前記配線構造に対する電気的接続を行うコンタクトユニットであって、
前記テストパッドの配置パターンに対応して配置され、対応する前記テストパッドと物理的に接触することによって該テストパッドに対して所定の電気信号の入力または出力の少なくとも一方を行う入出力端子と、
一または複数の前記回路形成領域と略等しい矩形形状の四隅の各々に配置された複数の端子をそれぞれ有する複数の検出端子群と、
前記複数の検出端子群にそれぞれ対応して設けられ、各検出端子群が有する前記複数の端子と、一または複数の前記回路形成領域の四隅の各々に配置され、各検出端子群に対応した前記導電領域との接触の有無に応じて、当該コンタクトユニットと前記検査対象との間の位置関係を検出する複数の位置関係検出手段と、
前記入出力端子および前記複数の検出端子群を保持するホルダ基板と、
を備え、
前記複数の検出端子群の各々は、前記入出力端子が対応する前記テストパッドの中央部と接触する場合、対応する前記導電領域の周縁部近傍と接触するように配置され、
前記入出力端子は、少なくとも前記複数の検出端子群の各々が対応する前記導電領域と接触する限り、対応する前記テストパッドと接触し、
前記位置関係検出手段は、所定の電圧を供給する電圧源と、前記電圧源に直列接続され、前記電圧源によって供給される電圧に基づき所定の作用を行う受動素子とを有し、対応する前記検出端子群が有する前記複数の端子が該検出端子群に対応した前記導電領域と接触した場合、該複数の端子とともに閉回路を形成することを特徴とするコンタクトユニット。 - 前記受動素子は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項1に記載のコンタクトユニット。
- 前記回路形成領域がなす矩形形状の四隅の各々に配置された前記導電領域は、前記テストパッドと電気的に絶縁されたダミーパッドであることを特徴とする請求項1または2に記載のコンタクトユニット。
- 前記回路形成領域がなす矩形形状の四隅の各々に配置された前記導電領域は、前記テストパッドであり、
前記位置関係検出手段は、前記入出力端子が対応する前記テストパッドに対して前記所定の電気信号の入力または出力を行う際に、前記受動素子に対する電圧供給を停止可能なスイッチ手段をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載のコンタクトユニット。 - 電気信号の入力または出力に用いられる配線構造の一部をなすテストパッドを含む複数の導電領域が矩形形状をなす回路形成領域の表面上に形成され、少なくとも前記矩形形状の四隅の各々に前記複数の導電領域のいずれかが配置された検査対象に関して、前記配線構造に対する電気的接続を介した電気信号の入出力を行うことによって検査を行う検査システムであって、
前記テストパッドの配置パターンに対応して配置され、対応する前記テストパッドと物理的に接触することによって該テストパッドに対して所定の電気信号の入力または出力の少なくとも一方を行う入出力端子と、一または複数の前記回路形成領域と略等しい矩形形状の四隅の各々に配置された複数の端子をそれぞれ有する複数の検出端子群と、前記複数の検出端子群にそれぞれ対応して設けられ、各検出端子群が有する前記複数の端子と、一または複数の前記回路形成領域の四隅の各々に配置され、各検出端子群に対応する前記導電領域との接触の有無に応じて、当該コンタクトユニットと前記検査対象との間の位置関係を検出する複数の位置関係検出手段と、前記入出力端子および前記複数の検出端子群を保持するホルダ基板と、を有するコンタクトユニットと、
前記検査対象に対する検査に使用する電気信号を生成し、前記検査対象によって出力された電気信号を分析する信号処理装置と、
前記信号処理装置と前記コンタクトユニットとの間を電気的に接続する接続基板と、
を備え、
前記複数の検出端子群の各々は、前記入出力端子が対応する前記テストパッドの中央部と接触する場合、対応する前記導電領域の周縁部近傍と接触するように配置され、
前記入出力端子は、少なくとも前記複数の検出端子群の各々が対応する前記導電領域と接触する限り、対応する前記テストパッドと接触し、
前記位置関係検出手段は、所定の電圧を供給する電圧源と、前記電圧源に直列接続され、前記電圧源によって供給される電圧に基づき所定の作用を行う受動素子とを有し、対応する前記検出端子群が有する前記複数の端子が該検出端子群に対応した前記導電領域と接触した場合、該複数の端子とともに閉回路を形成することを特徴とする検査システム。
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