JP4254411B2 - 圧電型超音波センサ - Google Patents
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Description
一方の面に形成された電極が複数の領域に分割され、前記ダイアフラムは略正方形であり、分割された複数の領域はそれぞれ台形であることを特徴とする。
2 超音波受信素子
3 シリコン基板
4 凹部
5 ダイアフラム
6 下部電極
6A、6B 下部電極の分割された領域
7 圧電材料の薄膜
8 上部電極
8A、8B、8X、8Y 上部電極の分割された領域
Claims (7)
- 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
両面に形成された電極が、それぞれ互いに対向するように、3以上の領域に分割され、前記圧電材料の薄膜及び互いに対向する2つの電極の領域で構成される複数の超音波受信部が、直列及び並列を含む所定のパターンに接続されていることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
両面に形成された電極が、それぞれ互いに対向するように、マトリクス状に配置された複数の領域に分割されており、互いに対向する領域で構成される複数の超音波受信部からの信号が個別に出力されることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
一方の面に形成された電極が複数の領域に分割され、前記ダイアフラムは略正方形であり、分割された複数の領域はそれぞれ台形であることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
両面に形成された電極が、それぞれ互いに対向するように、複数の領域に分割され、前記ダイアフラムは略正方形であり、分割された複数の領域はそれぞれ台形であることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
一方の面に形成された電極が複数の領域に分割され、分割された複数の領域は、1つのダイアフラムの振動の腹となる部分にピンポイント状に設けられていることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 1又は複数のダイアフラムが形成された基板と、前記基板の一面に形成された圧電材料の薄膜と、前記圧電材料の薄膜のうち1つのダイアフラムに対応する部分の両面にそれぞれ形成された金属薄膜の電極を備え、
両面に形成された電極が、それぞれ互いに対向するように、複数の領域に分割され、分割された複数の領域は、1つのダイアフラムの振動の腹となる部分にピンポイント状に設けられていることを特徴とする圧電型超音波センサ。 - 分割された複数の領域は、1つのダイアフラムの振動の腹となる部分にピンポイント状に設けられていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の圧電型超音波センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003283845A JP4254411B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 圧電型超音波センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003283845A JP4254411B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 圧電型超音波センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005051686A JP2005051686A (ja) | 2005-02-24 |
JP4254411B2 true JP4254411B2 (ja) | 2009-04-15 |
Family
ID=34268615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003283845A Expired - Fee Related JP4254411B2 (ja) | 2003-07-31 | 2003-07-31 | 圧電型超音波センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4254411B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9348027B2 (en) | 2011-06-13 | 2016-05-24 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor device |
US9468419B2 (en) | 2012-06-13 | 2016-10-18 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element unit, probe, probe head, electronic device, and ultrasonic diagnostic device |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5293557B2 (ja) | 2008-12-17 | 2013-09-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー、超音波トランスデューサーアレイ及び超音波デバイス |
CN107105376B (zh) * | 2016-02-23 | 2019-08-13 | 英属开曼群岛商智动全球股份有限公司 | 电声转换器 |
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2003
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9348027B2 (en) | 2011-06-13 | 2016-05-24 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor device |
US9468419B2 (en) | 2012-06-13 | 2016-10-18 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic transducer element unit, probe, probe head, electronic device, and ultrasonic diagnostic device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005051686A (ja) | 2005-02-24 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080407 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120206 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130206 Year of fee payment: 4 |
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