JP4237370B2

JP4237370B2 - X-ray imaging method and apparatus

Info

Publication number: JP4237370B2
Application number: JP2000025591A
Authority: JP
Inventors: 勝市原; 一正奥村; 規之鈴木; 広門鳥羽; 英男本郷; 勲宇田川
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2000-02-02
Filing date: 2000-02-02
Publication date: 2009-03-11
Anticipated expiration: 2020-02-02
Also published as: JP2001215201A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＸ線を用いて対象物の透過画像を撮影するＸ線撮影方法と装置に関し、対象物の内部検査などに利用される。
【０００２】
【従来の技術】
従来、シンチレータを用いたＸ線撮影装置は特開平１１−１９０７７３号公報で既に知られている。このものは、図５に示すように対象物ａにＸ線ｂを照射して透過したＸ線ｂをシンチレータｃで受けて可視光に変換し、この変換によりシンチレータｃ上に映じた対象物ａの透過画像をＣＣＤカメラｄにより撮影するようにしている。シンチレータｃはＸ線によって発光する粉末状のＸ線蛍光体ｅをシリコン基板ｆ上の溝の中に均一に形成することにより、Ｘ線シンチレータｃの表面の光の拡散を防いで分解能の高いＸ線撮影装置を実現しようとするものであり、表面は強化ガラスｋにより覆っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、電子部品を回路基板に実装して電子回路基板を製造する分野では、近年、半導体ベアチップの電極の上に金属バンプを形成しておき、この金属バンプを回路基板の導体ランドなどに金属接合や半田接合させたり、接触状態に接着して接合したりして直接実装するフリップチップ実装が広く採用されるようになっている。
【０００４】
このフリップチップ実装では、電子部品と回路基板との接合部は双方の間にあって外部から見えないので、リードを利用した電子部品の実装において従来から行なわれている外観検査ができなくなっている。
【０００５】
上記Ｘ線撮影装置はそのようなフリップチップ実装された電子部品と回路基板との間の接合部をＸ線による透過画像として撮影し、撮影した画像を画像処理することにより金属バンプの位置ずれや有無などの必要な検査が行なえる撮影方式である。
【０００６】
金属バンプの直径が例えば８０μｍであるのに対応して、Ｘ線透過画像から金属バンプの有無を検出するのに１画素当たり約１０〜１５μｍ以下の高い分解能を発揮するＸ線用のシンチレータが必要である。
【０００７】
しかし、シンチレータｃを製造する現行の技術では、シンチレータｃの製造工程で不順物が混入するなどにより、Ｘ線が入射しても発光しない部分として直径約１０〜１００μｍの欠陥点が発生している。この欠陥点は図６に示すＸ線透過画像ｇにおいて黒点ノイズｈとして現れ、電子部品像ｉにおける金属バンプ像ｊと混在し、黒点ノイズｈが金属バンプ像ｊと重なったり、近傍に位置したりすると、金属バンプの有無や位置ずれ、大きさの判定ができず誤認識の原因になるので、対策が必要である。
【０００８】
また、粉末状のＸ線蛍光体ｅをシリコン基板ｆの溝の中に形成する工程において、シリコン基板ｆの表面におけるＸ線蛍光体ｅの量が不均一になりやすい。このような不均一があるとＸ線蛍光体ｅの層の厚さが大きいところではＸ線による発光量が多くなり、厚さが小さいところではＸ線による発光量が少なくなるので、ＣＣＤカメラｄにより撮影したＸ線透過画像ｇのコントラストが画面内で不均一になり、画面全体を所定の２値レベルで２値化して金属バンプ像ｊの位置などを画像認識するのに金属バンプ像ｊが欠けたり膨大したりして正確に認識できない問題があり、対策が必要である。
【０００９】
本発明の目的は、シンチレータに欠陥があってもそれの影響なく対象物の鮮明な画像が得られるＸ線撮影方法と装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のＸ線撮影方法は、対象物にＸ線を照射して透過したＸ線をシンチレータで受けて可視光に変換し、この変換によりシンチレータ上に映じた対象物の透過画像をカメラにより撮影するのに、シンチレータの面方向の移動中に撮影を行ない、対象物のＸ線透過画像上にシンチレータの欠陥に伴うノイズや濃淡が特定の箇所に止まらないようにすることを特徴としている。
【００１１】
このような構成では、シンチレータにＸ線によって発光しない欠陥点や、Ｘ線による発光量の不均一があっても、撮影中にシンチレータをその面方向に移動させることにより、シンチレータが対象物に照射し透過したＸ線を可視光に変換して撮影に供するのに、欠陥点による黒点ノイズや不均一による濃淡が特定の個所に止まらないようにして、撮影画面に映ずるのを移動速度に応じてぼかすので、シンチレータに映じている静止したＸ線透過画像をシンチレータの欠陥による影響なく鮮明に撮影することができる。
【００１２】
シンチレータの移動が往復移動であると、小さな欠陥点を越えた範囲で高速に振動的に移動させやすく、往復移動ストローク以下の小さな欠陥点による黒点ノイズないしはこれに対応する局部的な不均一による濃淡をぼかすのに好都合である。シンチレータの移動が回転であると、シンチレータ全体の連続移動となって不均一域が広く存在したり全体に及んでいる場合でも、それによる濃淡をぼかすことができ、回転が高速であると欠陥点による黒点ノイズもぼかすことができる。
【００１３】
上記方法を達成するＸ線撮影装置としては、対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対象物を透過したＸ線を可視光に変換するシンチレータと、このシンチレータ上に映じた対象物のＸ線透過画像を撮影するカメラとを備えたものにおいて、前記カメラを組み込んだ撮像装置に前記シンチレータをその面方向に移動できるよう保持し、少なくとも撮影中にシンチレータを前記面方向に移動させて対象物のＸ線透過画像上にシンチレータの欠陥に伴うノイズや濃淡が特定の箇所に止まらないようにする駆動手段を設けたもので足りる。
【００１４】
駆動手段は、シンチレータの欠陥の種類に応じて、往復移動させるもの、あるいは回転させるものを適用すればよい。
【００１５】
本発明のそれ以上の特徴および作用は、以下に続く詳細な説明および図面の記載から明らかになる。本発明の各特徴は可能な限りにおいてそれ単独で、あるいは種々な組み合わせで複合して用いることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係るＸ線撮影方法と装置につき図１〜図４を参照しながら詳細に説明し、本発明の理解に供する。
【００１７】
図１、図２に示す実施の形態１、および図３、図４に示す実施の形態２に係るＸ線撮影装置を参照して説明すると、対象物１にＸ線２を照射して透過したＸ線２をシンチレータ３で受けて可視光に変換し、この変換によりシンチレータ３上に映じた対象物１の透過画像をカメラ４により撮影するのに、シンチレータ３を矢印α、βで例示しているように面３ａの方向に移動させている間に撮影を行なう。
【００１８】
前記カメラ４でのＸ線撮影において、対象物１に照射され透過したＸ線をシンチレータ３が可視光に変換するが、Ｘ線は対象物１を透過する部分の厚みとＸ線の吸収係数に応じて減衰されるので、シンチレータ３の上に対象物１のＸ線透過画像が映じ撮影に供される。このとき従来レベルのシンチレータ３を用いてそれにＸ線２によって発光しない欠陥点や、Ｘ線２による発光量の不均一があっても、上記のように撮影の間、シンチレータ３をその面３ａの方向に移動させると、それらシンチレータ３のＸ線２によって発光しない欠陥点による像である黒点ノイズやＸ線による発光量の不均一による濃淡が特定の個所に止まらないようにして、撮影画面に映ずるのを移動速度に比例してぼかすことができる。これにより、シンチレータ３に映じている静止した対象物１のＸ線透過画像をシンチレータ３の欠陥の影響なく鮮明に撮影することができる。
【００１９】
したがって、フリップチップ実装した電子部品と回路基板との接合部をＸ線撮影して、撮影画像を２値化し金属バンプの有無や位置を検査するのに、前記の撮影方法を採用することにより、対象物１の撮影画像が前記欠点による黒点ノイズや濃淡を含む背景部分に対し十分なコントラストをもって鮮明に得られるので、設定できる２値化レベルの幅が大きく、接合部の画像が欠けたり膨大したりしない２値化画像により正確な検査ができる。
【００２０】
シンチレータ３の移動が往復移動であると、小さな欠陥点による黒点ノイズを越えた範囲で高速に振動的に移動させやすく、往復移動ストローク以下の小さな欠陥点による黒点ノイズやこれに対応する局部的な不均一による濃淡をぼかすのに好都合である。シンチレータ３の移動が回転であると、シンチレータ３全体の連続移動となって不均一域が広く存在したり全体に及んでいる場合でも、それによる濃淡をぼかすことができ、回転が高速であると欠陥点の像をもぼかすことができる。
【００２１】
なお、回転はシンチレータ３が柔軟材料でないことにより選択した連続移動方法であり、シンチレータ３が柔軟材料として現存しあるいは将来的に提供されれば、エンドレスな周回による連続移動も採用することができる。いずれにしても、必要な速度でシンチレータ３を移動させられればよく移動の方式や駆動の方式は特に問わない。
【００２２】
図１、図２の実施の形態１、および図３、図４の実施の形態２のＸ線撮影装置は、上記のような撮影方法を達成するのに、対象物１にＸ線２を照射するＸ線源５と、対象物１を透過したＸ線２を可視光に変換するシンチレータ３と、このシンチレータ３上に映じた対象物１の透過画像を撮影するカメラ４、少なくとも撮影中にシンチレータ３をその面３ａの方向に移動させる駆動手段６を備えている。
【００２３】
カメラ４は高感度カメラであり、シンチレータ３の微弱な光を明るく撮影するために露光時間を調整する機能を有し、Ｆ値の小さい明るいレンズ７が取り付けられている。また、カメラ４はシンチレータ３と一体に組み込んだ撮像装置８を構成し、焦点調節ねじ９によりシンチレータ３の面３ａに焦点を合わせて用いるようになっている。なお、シンチレータ３は１画素ごとに溝を掘ったシリコン基板の上にＸ線蛍光体を埋め込んだ構造になっていることにより、シリコン基板を透過したＸ線２がＸ線蛍光体を発光させたときに、光が横方向に拡散して分解能が低下することを防止している。また、Ｘ線蛍光体の表面を保護するために強化ガラスで覆って接着剤により固定している。さらに、高感度なカメラ４のＸ線によるダメージを防止するために、シンチレータ３とカメラ４の間にＸ線２の吸収率が高い鉛ガラス１１を設けてある。
【００２４】
図１、図２に示す実施の形態１では特に、シンチレータ３は撮像装置８に往復摺動するように設けた矩形のフレーム１２に保持され、駆動手段６により小さなストロークで矢印αの方向に往復移動されるようにしてある。駆動手段６は撮像装置８に取り付けたモータ６ａとこれに直結したカム６ｂとで構成され、このカム６ｂの回転に可動フレーム１２が従動するようにばね１３により付勢している。
【００２５】
撮影中、つまりカメラ４での露光中にモータ６ａを働かせてカム６ｂを回転駆動することにより、フレーム１２は回転するカム６ｂに従動してシンチレータ３を伴い往復移動されて、シンチレータ３をカム６ｂにより設定した一定のストロークを持って往復移動させる。これにより、シンチレータ３の欠陥による往復移動ストローク以下の大きさの画像ノイズをぼかすことができる。従って、ぼかしたい画像ノイズの大きさに対応してカム６ｂによる往復移動ストロークを設定すればよい。画像ノイズのぼかし効果は移動速度が振動といえる程度に速いほどよいが、モータ６ａの回転速度はカメラ４での露光時間中にシンチレータ３が１回以上往復移動を行うように設定して必要なぼかし効果が得られるようにする。しかし、シンチレータ３の往復移動は弧回動方式で行うこともできる。
【００２６】
図３、図４に示す実施の形態２のＸ線撮影装置では、シンチレータ３が撮像装置８に回転できるように設けた円形のフレーム２１に保持され、駆動手段６により矢印βの方向に連続回転されるようにしてある。駆動手段６は撮像装置８に取り付けたモータ６ａとこれに直結した駆動ギヤ６ｃ、この駆動ギヤ６ｃが噛み合うフレーム２１まわりの従動ギヤ６ｄとで構成されている。
【００２７】
撮影中にモータ６ａを働かせて駆動ギヤ６ｃを回転駆動すると、フレーム２１はその従動ギヤ６ｄを介してシンチレータ３を伴い回転されてシンチレータ３を連続に回転移動させる。これにより、シンチレータ３の欠陥による大きな範囲の濃淡などの画像ノイズをぼかすことができ、高速回転であると小さな黒点ノイズなどでもぼかすことができるが、モータの回転速度は、カメラ４の露光時間中にシンチレータ３が１回転以上するように設定して必要なぼかし効果が得られるようにする。
【００２８】
この場合、シンチレータ３の中心部は移動しないか移動速度が遅いので、ぼかし効果が得られないか、得にくい嫌いはあるが、実施の形態１での振動的な移動と組み合わせた構成とすることにより、そのような問題を解消することができる。また、シンチレータ３をカメラ４による撮影視野から外れた位置を中心に回転させても上記問題を解消することができる。
【００２９】
他の構成および奏する作用は実施の形態１の場合と特に変わるところはないので、同じ部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３０】
なお、以上はＸ線撮影に関してのみ述べたが、基本的には放射線一般を利用した撮影に本発明は適用して有効であり、本発明の範疇に属する。
【００３１】
【発明の効果】
本発明によれば、以上の説明から明らかなように、シンチレータにＸ線によって発光しない欠陥点や、Ｘ線による発光量の不均一があっても、それらシンチレーション特性の欠陥による黒点ノイズや濃淡が撮影画面に映ずるのをぼかして、シンチレータに映じている静止したＸ線透過画像をシンチレータの欠陥の影響なく鮮明に撮影することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係るＸ線撮影方法および装置を示す構成図である。
【図２】図１の装置のA−A線より見た横断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係るＸ線撮影方法および装置を示す構成図である。
【図４】図３の装置のA−A線より見た横断面図である。
【図５】従来のX線撮影装置を示す構成図である。
【図６】図５の装置により撮影したＸ線透過画像を示す説明図である。
【符号の説明】
１対象物
２Ｘ線
３シンチレータ
４カメラ
５Ｘ線源
６駆動手段
６ａモータ
６ｂカム
６ｃ駆動ギヤ
６ｄ従動ギヤ
１２、２１フレーム
１３ばね
α、β 移動方向[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray imaging method and apparatus for imaging a transmission image of an object using X-rays, and is used for internal inspection of an object.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, an X-ray imaging apparatus using a scintillator is already known from JP-A-11-190773. As shown in FIG. 5, the object a is irradiated with X-rays b, and the transmitted X-rays b are received by the scintillator c and converted into visible light, and the object a reflected on the scintillator c by this conversion. The transmitted image is taken by the CCD camera d. The scintillator c uniformly forms a powdery X-ray phosphor e that emits light by X-rays in a groove on the silicon substrate f, thereby preventing diffusion of light on the surface of the X-ray scintillator c and high-resolution X A line imaging apparatus is to be realized, and the surface is covered with tempered glass k.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the field of manufacturing electronic circuit boards by mounting electronic components on circuit boards, in recent years, metal bumps are formed on the electrodes of the semiconductor bare chip, and these metal bumps are bonded to the conductor lands of the circuit boards. Flip chip mounting, which is directly mounted by soldering, soldering, or bonding by bonding in a contact state, has been widely adopted.
[0004]
In this flip-chip mounting, the joint between the electronic component and the circuit board is between the two and cannot be seen from the outside, so that it is impossible to perform an appearance inspection conventionally performed in mounting electronic components using leads.
[0005]
The X-ray imaging apparatus captures the joint between the flip-chip mounted electronic component and the circuit board as a transmission image by X-ray, and performs image processing on the captured image to detect the position shift of the metal bump. This is an imaging method that can perform necessary inspections such as presence or absence.
[0006]
Corresponding to the metal bump diameter of, for example, 80 μm, an X-ray scintillator that exhibits a high resolution of about 10 to 15 μm or less per pixel is required to detect the presence or absence of the metal bump from the X-ray transmission image. It is.
[0007]
However, in the current technology for manufacturing the scintillator c, a defect point having a diameter of about 10 to 100 μm is generated as a portion that does not emit light even if X-rays are incident due to irregularities mixed in the manufacturing process of the scintillator c. . This defect point appears as black spot noise h in the X-ray transmission image g shown in FIG. 6 and is mixed with the metal bump image j in the electronic component image i, and the black spot noise h overlaps with the metal bump image j or is located nearby. Then, the presence / absence, displacement, and size of the metal bumps cannot be determined, causing erroneous recognition, and thus countermeasures are necessary.
[0008]
Further, in the step of forming the powdery X-ray phosphor e in the groove of the silicon substrate f, the amount of the X-ray phosphor e on the surface of the silicon substrate f tends to be non-uniform. If there is such non-uniformity, the amount of light emitted by X-rays increases when the thickness of the layer of the X-ray phosphor e is large, and the amount of light emitted by X-rays decreases when the layer thickness is small. The contrast of the X-ray transmission image g photographed by the above becomes non-uniform in the screen, and the metal bump image j is used for binarizing the entire screen at a predetermined binary level and recognizing the position of the metal bump image j. There are problems that cannot be accurately recognized due to lack or enormous volume, and countermeasures are required.
[0009]
An object of the present invention is to provide an X-ray imaging method and apparatus capable of obtaining a clear image of an object without being affected by a defect in a scintillator.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the X-ray imaging method of the present invention irradiates an object with X-rays and receives the transmitted X-rays with a scintillator and converts them into visible light, which is reflected on the scintillator. for taking a transmitted image of the object by the camera, it has rows of shot during the movement in the planar direction of the scintillator, noise or shading caused by the defects of the scintillator on the X-ray transmission image of the object stop to a specific position It is characterized by not .
[0011]
In such a configuration, the scintillator irradiates the target object by moving the scintillator in the plane direction during imaging even if the scintillator has a defect point that does not emit light by X-rays or the amount of light emission by X-rays is not uniform. Then, in order to convert the transmitted X-rays into visible light and use it for shooting, black spot noise due to defective spots and shading due to non-uniformity do not stop at a specific location, and it is reflected on the shooting screen according to the moving speed. Therefore, the stationary X-ray transmission image reflected on the scintillator can be clearly captured without being affected by the scintillator defect.
[0012]
When the scintillator moves reciprocally, it is easy to vibrate at a high speed within a range beyond a small defect point, and black spot noise due to a small defect point below the reciprocation stroke or shading due to local non-uniformity corresponding to this. Convenient to blur. If the movement of the scintillator is rotation, even if the entire scintillator moves continuously and there is a wide range of non-uniform areas, or the entire area extends, the shading caused by it can be blurred. Can also blur the black spot noise.
[0013]
An X-ray imaging apparatus that achieves the above method includes an X-ray source that irradiates an object with X-rays, a scintillator that converts X-rays transmitted through the object into visible light, and an object reflected on the scintillator. in those with a camera for photographing an X-ray transmission image, and held so that it can move the scintillator to the surface direction in the imaging apparatus incorporating the camera, the subject by moving the scintillator to the surface direction during at least shooting It suffices to provide driving means for preventing noise and shading due to a scintillator defect from stopping at a specific location on an X-ray transmission image of an object.
[0014]
As the driving means, one that reciprocates or rotates may be applied depending on the type of defect of the scintillator.
[0015]
Further features and actions of the present invention will become apparent from the detailed description and drawings that follow. Each feature of the present invention can be used alone or in combination in various combinations as much as possible.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an X-ray imaging method and apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4 for understanding of the present invention.
[0017]
The X-ray imaging apparatus according to the first embodiment shown in FIG. 1 and FIG. 2 and the second embodiment shown in FIG. 3 and FIG. 4 will be described. The X-ray 2 is received by the scintillator 3 and converted into visible light, and a transmission image of the object 1 reflected on the scintillator 3 is captured by the camera 4 by this conversion. The scintillator 3 is exemplified by arrows α and β. As shown, the image is taken while being moved in the direction of the surface 3a.
[0018]
In X-ray photography with the camera 4, the scintillator 3 converts X-rays irradiated and transmitted to the object 1 into visible light. The X-rays are converted into the thickness of the portion that transmits the object 1 and the X-ray absorption coefficient. Accordingly, the X-ray transmission image of the object 1 is projected on the scintillator 3 and used for photographing. At this time, even if there is a defect point that does not emit light by the X-ray 2 using the conventional level scintillator 3 or the amount of light emission by the X-ray 2 is not uniform, the scintillator 3 is placed on the surface 3a during imaging as described above. When moving in the direction, the black spot noise, which is an image of defect points that do not emit light by the X-rays 2 of the scintillator 3, and the shading due to unevenness in the amount of light emission by X-rays do not stop at a specific location, and are displayed on the shooting screen. The shift can be blurred in proportion to the moving speed. Thereby, the X-ray transmission image of the stationary object 1 reflected on the scintillator 3 can be clearly captured without being affected by the defect of the scintillator 3.
[0019]
Therefore, by adopting the above-mentioned imaging method for X-ray imaging of the joint between the electronic component mounted on the flip chip and the circuit board, binarizing the captured image and inspecting the presence or position of the metal bump, Since the captured image of the object 1 can be clearly obtained with sufficient contrast with respect to the background portion including black spot noise and shading due to the above-mentioned defects, the range of the binarization level that can be set is large, and the image of the joint portion is missing or enormous. Accurate inspection can be performed with a binary image that is not lost.
[0020]
If the movement of the scintillator 3 is a reciprocating movement, it is easy to vibrate at high speed within a range exceeding the black spot noise due to a small defect point, and a black spot noise due to a small defect point below the reciprocating movement stroke or a local corresponding to this. Convenient for blurring shades due to unevenness. If the movement of the scintillator 3 is a rotation, even if the non-uniform area exists widely or reaches the entire area due to the continuous movement of the scintillator 3, it is possible to blur the density, and the rotation is high speed. The image of the defect point can also be blurred.
[0021]
The rotation is a continuous movement method selected because the scintillator 3 is not a flexible material. If the scintillator 3 is present as a flexible material or provided in the future, an endless continuous movement can also be adopted. In any case, it is sufficient that the scintillator 3 is moved at a necessary speed, and the moving method and the driving method are not particularly limited.
[0022]
The X-ray imaging apparatus according to the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2 and the second embodiment shown in FIGS. 3 and 4 irradiates an object 1 with X-rays 2 in order to achieve the imaging method described above. An X-ray source 5 to be used, a scintillator 3 for converting X-rays 2 transmitted through the object 1 into visible light, a camera 4 for photographing a transmission image of the object 1 reflected on the scintillator 3, and at least a scintillator during photographing There is provided driving means 6 for moving 3 in the direction of the surface 3a.
[0023]
The camera 4 is a high-sensitivity camera, has a function of adjusting the exposure time in order to brightly photograph the weak light of the scintillator 3, and a bright lens 7 having a small F value is attached. In addition, the camera 4 constitutes an imaging device 8 that is integrated with the scintillator 3, and is used by focusing on the surface 3 a of the scintillator 3 with a focus adjusting screw 9. Since the scintillator 3 has a structure in which an X-ray phosphor is embedded on a silicon substrate in which a groove is formed for each pixel, the X-ray 2 transmitted through the silicon substrate causes the X-ray phosphor to emit light. Sometimes, the light is prevented from diffusing in the lateral direction and the resolution is lowered. In order to protect the surface of the X-ray phosphor, it is covered with tempered glass and fixed with an adhesive. Furthermore, in order to prevent damage due to X-rays of the highly sensitive camera 4, a lead glass 11 having a high X-ray 2 absorption rate is provided between the scintillator 3 and the camera 4.
[0024]
In the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the scintillator 3 is held by a rectangular frame 12 provided so as to reciprocately slide on the imaging device 8, and reciprocates in the direction of arrow α with a small stroke by the driving means 6. It is supposed to be moved. The driving means 6 includes a motor 6a attached to the image pickup device 8 and a cam 6b directly connected to the motor 6a, and is biased by a spring 13 so that the movable frame 12 is driven by the rotation of the cam 6b.
[0025]
During shooting, that is, during exposure by the camera 4, the motor 6a is operated to rotationally drive the cam 6b, whereby the frame 12 is reciprocated with the scintillator 3 following the rotating cam 6b, and the scintillator 3 is moved to the cam 6b. Reciprocate with a certain stroke set by. Thereby, the image noise of the magnitude | size below the reciprocation stroke by the defect of the scintillator 3 can be blurred. Therefore, the reciprocating movement stroke by the cam 6b may be set corresponding to the magnitude of the image noise to be blurred. The blurring effect of the image noise is better as the moving speed is faster than vibration. However, the rotational speed of the motor 6a is necessary to set the scintillator 3 to reciprocate once or more during the exposure time of the camera 4. A blur effect is obtained. However, the reciprocating movement of the scintillator 3 can also be performed by an arc rotation method.
[0026]
In the X-ray imaging apparatus of the second embodiment shown in FIGS. 3 and 4, the scintillator 3 is held by a circular frame 21 provided so as to be able to rotate on the imaging apparatus 8, and is continuously rotated in the direction of arrow β by the driving means 6. It is supposed to be. The driving means 6 includes a motor 6a attached to the image pickup device 8, a driving gear 6c directly connected thereto, and a driven gear 6d around the frame 21 with which the driving gear 6c meshes.
[0027]
When the driving gear 6c is rotated by operating the motor 6a during photographing, the frame 21 is rotated with the scintillator 3 through the driven gear 6d to continuously rotate the scintillator 3. As a result, image noise such as a large range of shading due to a defect of the scintillator 3 can be blurred. If the rotation speed is high, it is possible to blur even small black spot noise. However, the rotation speed of the motor is the same as the exposure time of the camera 4. In addition, the scintillator 3 is set to make one rotation or more so that a necessary blurring effect can be obtained.
[0028]
In this case, since the central part of the scintillator 3 does not move or the moving speed is slow, the blurring effect cannot be obtained or it is difficult to obtain, but it is configured to be combined with the vibrational movement in the first embodiment. Thus, such a problem can be solved. Further, the above problem can be solved even if the scintillator 3 is rotated around a position out of the field of view taken by the camera 4.
[0029]
Since the other configuration and the effect to be exhibited are not particularly different from those in the first embodiment, the same members are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
[0030]
Although the above has been described only with respect to X-ray imaging, the present invention is basically applicable to imaging using radiation in general and belongs to the category of the present invention.
[0031]
【The invention's effect】
According to the present invention, as is clear from the above description, even if the scintillator has a defect point that does not emit light due to X-rays or a non-uniform amount of light emission due to X-rays, black spot noise and shading due to defects in these scintillation characteristics can It is possible to blur the reflection on the imaging screen and capture a clear X-ray transmission image reflected on the scintillator clearly without the influence of the scintillator defect.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing an X-ray imaging method and apparatus according to Embodiment 1 of the present invention.
2 is a cross-sectional view of the apparatus of FIG. 1 as seen from line AA.
FIG. 3 is a configuration diagram showing an X-ray imaging method and apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the apparatus of FIG. 3 as seen from line AA.
FIG. 5 is a block diagram showing a conventional X-ray imaging apparatus.
6 is an explanatory view showing an X-ray transmission image taken by the apparatus of FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Object 2 X-ray 3 Scintillator 4 Camera 5 X-ray source 6 Drive means 6a Motor 6b Cam 6c Drive gear 6d Driven gear 12, 21 Frame 13 Spring alpha, beta Movement direction

Claims

対象物にＸ線を照射して透過したＸ線をシンチレータで受けて可視光に変換し、この変換によりシンチレータ上に映じた対象物の透過画像をカメラにより撮影するＸ線撮影方法において、
シンチレータの面方向の移動中に撮影を行ない、対象物のＸ線透過画像上にシンチレータの欠陥に伴うノイズや濃淡が特定の箇所に止まらないようにすることを特徴とするＸ線撮影方法。In an X-ray imaging method in which a target object is irradiated with X-rays, the transmitted X-rays are received by a scintillator and converted into visible light, and a transmission image of the object reflected on the scintillator by this conversion is captured by a camera.
There row of shot during the movement of the plane direction of the scintillator, X-rays imaging method characterized by such noise or shading caused by the defects of the scintillator on the X-ray transmission image of the object does not stop to specific locations .

移動は往復移動または回転である請求項１に記載のＸ線撮影方法。 The X-ray imaging method according to claim 1, wherein the movement is reciprocal movement or rotation.

対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対象物を透過したＸ線を可視光に変換するシンチレータと、このシンチレータ上に映じた対象物の透過画像を撮影するカメラとを備えたＸ線撮影装置において、
前記カメラを組み込んだ撮像装置に前記シンチレータをその面方向に移動できるように保持し、少なくとも撮影中にシンチレータを前記面方向に移動させて対象物のＸ線透過画像上にシンチレータの欠陥に伴うノイズや濃淡が特定の箇所に止まらないようにする駆動手段を設けたことを特徴とするＸ線撮影装置。X-ray comprising an X-ray source for irradiating an object with X-rays, a scintillator for converting X-rays transmitted through the object into visible light, and a camera for photographing a transmission image of the object projected on the scintillator In the shooting device,
Held so that it can move the scintillator to the surface direction in the imaging apparatus incorporating the camera, noise with a scintillator in at least imaging defects in the scintillator on the X-ray transmission image of an object is moved in the surface direction An X-ray imaging apparatus characterized in that driving means is provided so that the shading does not stop at a specific location .

駆動手段は、シンチレータを往復移動させる請求項３に記載のＸ線撮影装置。 The X-ray imaging apparatus according to claim 3, wherein the driving unit reciprocates the scintillator.

駆動手段は、シンチレータを回転させる請求項３に記載のＸ線撮影装置。 The X-ray imaging apparatus according to claim 3, wherein the driving unit rotates the scintillator.