JP4226714B2 - X-ray image tube test method and test apparatus - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、X線イメージ管からのX線の漏洩を試験するX線イメージ管の試験方法および試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、X線イメージ管は、真空容器となる外囲器(以下、ハウベという)、入力基板、出力基板、集束電極、加速電極などから構成され、入力面にX線管から放射されたX線のX線像を入力して可視像に変換する電子管である。
【0003】
このようなX線イメージ管においては、ハウベの外に漏洩するX線線量に関して規格が定められている。例えば、米国では、X線管やX線イメージ管などのX線関連機器からのX線の漏洩に関し、米国輸出用X線装置漏洩検査規格(HHS規格)という規格があり、この規格に沿った試験を行なった際、ハウべの全周にわたって漏洩するX線線量が規定値以下でなければならず、この規定値は0.2mR/minとされている。
【0004】
この規格に沿って試験を行なう場合には、図15に示すように、X線発生源であるX線管1のX線発生焦点1a、X線イメージ管2の入力面2a、入力面2aへ向かうX線を減弱させる減弱フィルタ3、入力面2aへ向かうX線線量(以下、一次線量という)を測定する入力側X線線量計(以下、一次線量計という)4を直線上に並べ、X線管1のX線発生焦点1aに対して、減弱フィルタ3および一次線量計4をそれぞれ所定距離a,bに配置するとともに、試験を行なうX線イメージ管2の入力面2aを所定距離にセットする。
【0005】
従来の試験装置では、図16に示すように、装置本体5上に、X線イメージ管2のハウベ2bを載置して回転させる回転機構6、ハウベ2bから漏洩するX線線量(以下、二次線量という)を測定するX線線量計(以下、二次線量計という)7およびこの二次線量計7を移動させる二次線量計移動機構8を有し、上述した試験の規格に従って、X線管1、X線イメージ管2を配置するとともに、図示していないが減弱フィルタ3および一次線量計4をそれぞれ配置する。
【0006】
X線管1からの一次線量の出力は、X線管1の陽極・陰極間にかける電圧を一定にし、X線イメージ管2に入力される一次線量の出力が所定値以上になるように陽極・陰極間の電流を調整する。この調整は試験装置の製造時に行なわれており、調整後は、その調整状態が固定的に保持されて試験が行なわれる。
【0007】
そして、試験を行なう場合には、ハウベ2bのデータを入力するとともにハウベ2bを回転機構6にセットし、回転機構6および二次線量計移動機構8によって二次線量計7をX線イメージ管2のハウベ2bの円周方向、縦方向に相対的に移動させ、二次線量を測定する。測定中において、測定された二次線量が規定値である0.2mR/minを越えた場合でも、ハウベ2b全体の測定が完了するまで測定を継続して行なう。
【0008】
測定終了後は、図17に示すような表示形式で、二次線量の測定結果が表示される。作業者は、この測定結果を確認して漏洩の異常の有無を判別する。なお、図17(a) はハウベ2bの上面の測定結果、図17(b) はハウベ2bの側面の測定結果である。
【0009】
しかしながら、試験装置の回転機構6に対して、X線イメージ管2のハウベ2bの向きが常に一定状態にセットされず、測定開始位置が常に異なるのに対し、測定結果の表示形式は常に同じなので、その測定結果からではX線の漏洩量の多い箇所を容易に特定することができない。
【0010】
異常のあったハウベ2bと同一ロットで製作されたハウベ2bでは、同一箇所で漏洩異常が発生する可能性が高いが、その漏洩箇所を特定できないので、異常が確認された以降の同一ロットのハウベ2bも同じ現象で不良品となる可能性が高く、同一ロットのハウベ2bに対する対策が採れず、歩留まりの低下を招く問題がある。
【0011】
さらに、X線管1からX線イメージ管2に入力される一次線量は、製造時に調整されており、調整後は、その調整状態が固定的に保持されて試験が行なわれるので、実際の各試験での一次線量は必ずしも一定せず、常に安定した条件下での試験が行なえない問題がある。
【0012】
また、二次線量計7は、二次線量を測定する測定子とこの測定子で測定された測定値から二次線量を割り出す測定器との組み合わせで構成され、この組み合わせ状態で測定値の校正が行なわれている。
【0013】
この校正は、日本放射線協会(JQA)に依頼して行なわれるもので、二次線量計7の測定子に基準となるX線線量を入力し、この結果をみて、二次線量計7に入力されるX線線量と二次線量計7で測定されたX線線量との対応関係が一定になるように調整し、誤差の修正と、校正範囲(調整範囲)内での測定結果に直線性が確保されるよう校正される。
【0014】
そして、二次線量計7の校正を行なう場合、図18に示すように、測定範囲を参考に校正範囲を検討し、X線発生源(X線管1)の最大出力も考慮して校正範囲を決定し、この校正範囲内での直線性の確保のための校正ポイント数を決定し、日本放射線協会(JQA)に校正依頼をするようにしている。校正範囲の上限は、X線発生源の最大出力も考慮して、例えば2mR/minまでとしている。
【0015】
しかしながら、二次線量計7の校正を行なう際に、図18に示すようなフローで校正範囲を決定しているが、この校正範囲の上限は、X線発生源の最大出力も考慮して、例えば2mR/minまでとしている。この2mR/minという値は、ハウベ2bから漏洩する二次線量を判定する規格値である0.2mR/minの10倍の値である。
【0016】
ところで、二次線量計7の測定子と測定器との誤差は校正範囲に対して±10%程度の値で出てくる。そのため、2mR/minを上限とする校正範囲では測定誤差は±0.2mR/minとなり、二次線量計7での二次線量の測定結果が規定値の0.2mR/minであった場合には、誤差は0.0〜0.4mR/minの範囲にあり、規定値に対する誤差が大き過ぎ、補正が効かず、漏洩試験の合否判定に適しない問題がある。
【0017】
また、試験を行なう際には、人手により、試験を行なおうとするハウベ2bをセットするとともにそのハウベ2bのデータを入力するので、ハウベ2bのセット不良やハウベ2bのデータの入力ミスが発生するおそれがあり、このような場合、セットされたハウベ2bと入力されたハウベ2bのデータとが一致せず、ハウベ2bと二次線量計7とが干渉し、二次線量計7を破損させるおそれがあるとともに、ハウベ2bから漏洩する二次線量を正確に測定することができない問題がある。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来は、試験装置の回転機構6に対して、X線イメージ管2のハウベ2bの向きが常に一定状態にセットされず、測定開始位置が常に異なるのに対し、測定結果の表示形式は常に同じなので、その測定結果からではX線の漏洩量の多い箇所を容易に特定することができない。
【0019】
異常のあったハウベ2bと同一ロットで製作されたハウベ2bでは、同一箇所で漏洩異常が発生する可能性が高いが、その漏洩箇所を特定できないので、異常が確認された以降の同一ロットのハウベ2bも同じ現象で不良品となる可能性が高く、同一ロットのハウベ2bに対する対策が取れず、歩留まりの低下を招く問題がある。
【0020】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、X線イメージ管の漏洩異常に対する対策を取り易くし、歩留まりの向上を図れるX線イメージ管の試験方法および試験装置を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明は、X線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させ、X線イメージ管から漏洩するX線線量をX線線量計で測定する工程と、X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、測定を停止する工程とを具備しているものである。そして、X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、例えば、異常のあったX線イメージ管と同一ロットのX線イメージ管に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことが可能となる。
【0022】
さらに、X線線量の測定前にX線イメージ管の形状を測定し、測定されたX線イメージ管の形状に応じて、X線線量の測定時にX線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させるものである。そして、X線線量の測定前に、X線イメージ管の形状を測定して自動判別し、X線線量を測定する際に、X線イメージ管の形状に応じて最適にX線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させながらX線線量を測定することが可能となり、X線イメージ管の品種の入力を不用とするとともにその入力ミスによる測定不良やX線イメージ管とX線線量計との干渉を防止し、X線イメージ管から漏洩するX線線量を正確に試験することが可能となる。
【0023】
さらに、X線発生源から出力されるX線をX線イメージ管に入力する工程と、X線発生源からX線イメージ管に入力されるX線線量を測定する工程と、X線イメージ管の試験毎に、X線発生源からX線イメージ管に入力されるX線線量の測定に基づいてX線発生源の出力を制御する工程とを具備しているものである。そして、X線イメージ管の試験毎に、X線イメージ管に入力されるX線線量を常に一定に保つことが可能となり、常に安定した条件下での試験が行なえる。
【0024】
さらに、X線線量計に入力されるX線線量とX線線量計で測定されたX線線量との対応関係を一定に調整する調整範囲の上限を、X線線量計で測定されたX線線量の判定を行なう規定値としたものである。そして、X線線量計の調整範囲の上限を、X線線量計で測定されたX線線量の判定を行なう規定値とすることにより、例えばX線発生源の最大出力までの調整で対応関係を一定にする場合に比べて、実際にX線線量の判定に必要な規定値までの必要範囲においての誤差が少なく高い精度が得られ、高い精度で試験が行なえる。
【0025】
さらに、規定値は0.2mR/minであることにより、X線イメージ管から漏洩するX線線量に関しての規格に対応される。
【0026】
また、本発明は、X線イメージ管から漏洩するX線線量を測定するX線線量計と、前記X線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させる移動手段と、前記X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、前記移動手段を停止させる停止手段とを具備しているものである。そして、X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、移動手段を停止させて測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、例えば、異常のあったX線イメージ管と同一ロットのX線イメージ管に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことが可能となる。
【0027】
さらに、X線イメージ管の形状を測定する形状測定手段と、この形状測定手段で測定されたX線イメージ管の形状に応じて、X線線量の測定時に移動手段を制御する移動制御手段とを具備しているものである。そして、X線線量の測定前に、X線イメージ管の形状を測定して自動判別し、X線線量を測定する際に、X線イメージ管の形状に応じて最適にX線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させながらX線線量を測定することが可能となり、X線イメージ管の品種の入力を不用とするとともにその入力ミスによる測定不良やX線イメージ管とX線線量計との干渉を防止し、X線イメージ管から漏洩するX線線量を正確に試験することが可能となる。
【0028】
さらに、X線を出力するX線発生源と、このX線発生源からX線イメージ管に入力されるX線線量を測定する入力側X線線量計と、前記X線イメージ管の試験毎に、前記入力側X線線量計で測定されたX線線量に基づいてX線発生源の出力を制御するX線出力制御手段とを具備しているものである。そして、X線イメージ管の試験毎に、X線イメージ管に入力されるX線線量を常に一定に保つことが可能となり、常に安定した条件下での試験が行なえる。
【0029】
さらに、X線線量計は、このX線線量計に入力されるX線線量とX線線量計で測定されたX線線量との対応関係を一定に調整する調整範囲の上限を、X線線量計で測定された二次線量の判定を行なう規定値として調整されているものである。そして、X線線量計の調整範囲の上限を、X線線量計で測定されたX線線量の判定を行なう規定値とすることにより、例えばX線発生源の最大出力までの調整で対応関係を一定にする場合に比べて、実際のX線線量の判定に必要な規定値までの必要範囲においての誤差が少なく高い精度が得られ、高い精度で試験が行なえる。
【0030】
さらに、規定値は0.2mR/minであることにより、X線イメージ管から漏洩するX線線量に関しての規格に対応される。
【0031】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【0032】
なお、図15および図16に示した構造と同様の構造については同一符号を用いて説明する。
【0033】
図4および図5において、X線イメージ管2は、X線発生源としてのX線管1から放射されたX線のX線像を入力する入力面2a、および真空容器となる外囲器(以下、ハウベという)2bを有している。
【0034】
また、図4および図5において、試験装置の装置本体5には、X線管1、減弱フィルタ3、入力側X線線量計(以下、一次線量計という)4、回転機構6、X線線量計(以下、二次線量計という)7、X線線量計移動機構(以下、二次線量計移動機構という)8などが配設されている。
【0035】
そして、図15に示したように、X線管1のX線発生焦点1a、X線イメージ管2の入力面2a、入力面2aへ向かうX線を減弱させる減弱フィルタ3、入力面2aへ向かうX線線量(以下、一次線量という)を測定する一次線量計4が直線上に並べられ、X線管1のX線発生焦点1aに対して、減弱フィルタ3および一次線量計4がそれぞれ所定距離a,bに配置されるとともに、試験を行なうX線イメージ管2の入力面2aが所定距離にセットされる。
【0036】
減弱フィルタ3は、例えばアルミニウムなどの材料でブロック状に形成され、X線イメージ管2の入力面2aへ向かうX線を減弱透過させる。
【0037】
一次線量計4は、一次線量を測定する測定子4aとこの測定子4aで測定された測定値から一次線量を割り出す図示しない測定器との組み合わせで構成されている。
【0038】
回転機構6は、X線イメージ管2のハウベ2bが軸中心を一致させて上面に載置されるもので、移動テーブル11上に回転自在に配設されるとともに、移動テーブル11上に配設されたモータ12の駆動力がギヤ機構12a を介して伝達されて正逆回転される。移動テーブル11は、スライド機構13によって装置本体5上でスライド移動され、すなわち回転機構6上のX線イメージ管2のハウベ2bが二次線量計7に対して接離するように移動される。
【0039】
二次線量計7は、二次線量を測定する一対の測定子7aとこれら測定子7aで測定された測定値から二次線量を割り出す図示しない測定器との組み合わせで構成され、この組み合わせ状態で測定値の校正(調整)が行なわれている。なお、この校正については後述する。
【0040】
二次線量計移動機構8は、装置本体5上に立設された支柱14に沿って配設された上下移動機構15を有し、この上下移動機構15に対して水平移動機構16が上下移動可能に支持され、この水平移動機構16に対して測定子回転機構17が水平移動可能に支持され、この測定子回転機構17に対して二次線量計7の一対の測定子7aを支持した支持体18が水平軸を中心として回転可能に支持されている。
【0041】
そして、回転機構6、二次線量計移動機構8およびスライド機構13により、X線イメージ管2と二次線量計7とを相対的に移動させる移動手段19が構成されている。
【0042】
また、二次線量計7の一対の測定子7a間には、ハウベ2bと二次線量計7の測定子7aとの距離を検出する検出センサ(距離センサ)20が取り付けられている。この検出センサ20は、例えば、一定距離以内に物体があることを検知する変位センサなどが用いられる。
【0043】
また、一次線量計4および二次線量計7の各測定子4a,7aからの測定データは図示しない測定器を通じてコントローラ21の図示しないシーケンサ等のCPUに入力される。このコントローラ21により、X線管1や移動手段19などが制御される。
【0044】
そして、コントローラ21は、二次線量計7で測定された二次線量が規定値を越えたとき、移動手段19を停止させる停止手段の機能、X線イメージ管2の試験毎に、一次線量計4で測定された一次線量に基づいてX線管1の出力を制御するX線出力制御手段の機能を有している。
【0045】
なお、規定値には、例えば米国輸出用X線装置漏洩検査規格(HHS規格)の0.2mR/minが適用される。
【0046】
また、装置本体5の内部には、X線管1および一次線量計4を冷却する図示しないファンやクラーなどの冷却機構が配設されており、X線管1の動作および一次線量計4の測定が安定的に行なわれる。
【0047】
また、コントローラ21は、モニタなどの表示部を有し、この表示部にハウベ2bの像を映し、現在の測定位置を知ることができるように表示、制御する機能を有する。
【0048】
次に、コントローラ21による試験方法を図1のフローチャートを参照して説明する。
【0049】
X線イメージ管2のハウベ2bを回転機構6上にセットし(ステップ1)、試験を行なおうとするX線イメージ管2のサイズ(形状、品種)を登録して試験を開始する。
【0050】
試験を開始すると、まず、二次線量計7の測定子7aを試験可能な最大の大きさのX線イメージ管2のハウベ2bの外径位置に対応する位置に移動させ、ここから徐々に測定子7aをハウベ2bに接近するように移動させ(ステップ2)、検出センサ20によりハウベ2bを検出する。これにより、セットされたハウベ2bのサイズと、登録したサイズとの整合性を確認する(ステップ3)。また、測定子7aとハウベ2bとの衝突を防ぎ、同時にハウベ2bのサイズ毎に最初の測定点が一定になるようにする。
【0051】
そして、ハウベ2bのサイズ確認が終了したら、X線管1よりX線を出力照射させ(ステップ4)、X線イメージ管2の入力面2aに入力される一次線量を一次線量計4で測定する。
【0052】
一次線量計4で測定された一次線量値が予め設定した設定値となるように、X線管1の陽極・陰極間に印加する電圧を一定にした条件下で、コントローラ21にフィードバックされた一次線量値に基づいて、陽極・陰極間の電流値を調整して一次線量値を調整する(ステップ5、6)。
【0053】
そして、ハウベ2bのサイズ確認、および一次線量値の調整が終了したら、移動手段19の回転機構6、二次線量計移動機構8およびスライド機構13により、X線イメージ管2と二次線量計7とを相対的に移動させ、まず、測定子7aをハウベ2bの最初の測定点へ移動させ(ステップ7)、ハウベ2bの外に漏洩する二次線量を測定する(ステップ8)。なお、ハウベ2bは異形状であるため、測定子7aはハウベ2bの上下、左右方向のみでなく、ハウベ2bの傾斜方向へも移動される。
【0054】
測定中はコントローラ21内の図示しないモニタなどの表示部にハウベ2bの像を映し、現在の測定位置を知ることができるように表示、制御する。
【0055】
そして、二次線量計7で測定された二次線量値が規定値を越えているか判定し(ステップ9)、規定値以内であれば、移動手段19により、測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ移動させ(ステップ10、11)、同様に二次線量を測定する。
【0056】
このように、二次線量計7で測定された二次線量値が規定値以内であれば、測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ順次移動させて二次線量を測定し、ハウベ2bの全ての測定点について測定し、測定終了となる。この場合、測定結果は、ハウベ2bの全ての測定点についての二次線量値が規定値以内であるため、試験が行なわれたX線イメージ管2は良品であると判定される。
【0057】
また、二次線量の測定中において、二次線量計7で測定された二次線量値が規定値を越えた場合は、移動手段19を含む測定を停止し、コントローラ21の表示部に映るハウベ2bの像に漏洩箇所を表示して知らせる。
【0058】
このため、作業者は、コントローラ21の表示部を見て漏洩箇所を確認することができるので、異常のあったX線イメージ管2と同一ロットのX線イメージ管2に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことができる。
【0059】
また、二次線量計7は、二次線量を測定する一対の測定子7aとこれら測定子7aで測定された測定値から二次線量を割り出す図示しない測定器との組み合わせで構成され、この組み合わせ状態で測定値の校正が行なわれている。
【0060】
この校正は、図2に示すように、測定範囲の上限を校正範囲(調整範囲)の上限として校正範囲を決定し、この校正範囲内での直線性の確保のための校正ポイント数を決定し、日本放射線協会(JQA)に校正依頼をするようにしている。
【0061】
測定範囲の上限は、図3に示すように、二次線量計7で測定された二次線量を判定する規定値の0.2mR/minである。そのため、二次線量計7の測定子と測定器との誤差が校正範囲に対して±10%程度とすると、規定値の0.2mR/minを上限とした校正範囲Aの測定誤差は±0.02mR/minとなる。
【0062】
二次線量計7で測定された二次線量の判定では、規定値以内での二次線量の測定精度および直線性が重要であり、規定値以上の測定精度および直線性は無視できる。
【0063】
したがって、従来のように、X線管1の最大出力である2.0mR/minまでの校正範囲Bで直線性を求める場合、測定誤差が±0.2mR/minと大きくなって、漏洩試験の精度が低いのに比べて、実際に二次線量の判定に必要な規定値の0.2mR/minまでの必要範囲においての誤差は±0.02mR/minと少なく、高い精度が得られ、この高い精度で試験が行なえる。
【0064】
なお、測定結果の0.2mR/min以上についても、測定結果に若干の補正をかければ、二次線量値を求めることができる。
【0065】
以上のように、二次線量計7で測定された二次線量が規定値を越えたとき、測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、例えば、異常のあったX線イメージ管2と同一ロットのX線イメージ管2に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことができる。
【0066】
さらに、X線イメージ管2の試験毎に、X線イメージ管2に入力される一次線量を常に一定に保つことが可能となり、常に安定した条件下での試験を行なうことができる。
【0067】
さらに、二次線量計7の校正範囲の上限を、二次線量計7で測定された二次線量の判定を行なう規定値とすることにより、例えばX線管1の最大出力までの校正で対応関係を一定にする場合に比べて、実際に二次線量の判定に必要な規定値までの必要範囲においての誤差が少なく高い精度が得られ、高い精度で試験を行なうことができる。
【0068】
さらに、規定値は0.2mR/minであることにより、X線イメージ管2から漏洩する二次線量に関しての規格に対応できる。
【0069】
また、図6に示すように、二次線量計7の測定子7aには、検出センサ20に加えて、測定子7aのハウベ2bとの相対的な移動先の障害物を検知する移動先センサ22、測定子7aの上下の障害物を検知する保護センサ23,24を取り付けるようにしてもよい。これにより、例えば、X線イメージ管2のハウベ2bの品種を入力ミスしても、二次線量の測定時にX線イメージ管2のハウベ2bと二次線量計7の測定子7aとを移動させる際、X線イメージ管2のハウベ2bと二次線量計7の測定子7aとが干渉するのを防止できる。
【0070】
また、前述した試験方法では、二次線量の測定前に、試験を行なおうとするX線イメージ管2のサイズを登録していたが、二次線量の測定前に、コントローラ21の制御によって、X線イメージ管2の形状を自動測定して自動判別し、二次線量を測定する際に、自動判別されたX線イメージ管2の形状に応じて最適にX線イメージ管2と二次線量計7とを相対的に移動させながら二次線量を測定する別の試験方法を採ることもできる。
【0071】
この別の試験方法の場合には、ハウベ2bと二次線量計7の測定子7aとの距離を検出する検出センサ20、およびこの検出センサ20を移動させる移動手段19などによって、X線イメージ管2の形状を測定する形状測定手段25が構成され、また、コントローラ21は、この形状測定手段25で測定されたX線イメージ管2の形状を判別する形状判別手段の機能、形状測定手段25で測定されたX線イメージ管2の形状に応じて二次線量の測定時に移動手段19を制御する移動制御手段の機能を有している。
【0072】
そして、コントローラ21による別の試験方法を、図7ないし図9のフローチャート、および図10ないし図13の説明図を参照して説明する。
【0073】
X線イメージ管2のハウベ2bが回転機構6上にセットされた後、試験を開始する。試験を開始すると、まず、ハウベ2bの高さを測定する。すなわち、図7のフローチャートおよび図10の説明図に示すように、測定子回転機構17により二次線量計7の測定子7aを下向きに移動させ(ステップ21、図10の動作a)、続いて、二次線量計移動機構8の水平移動機構16により二次線量計7の測定子7aをX線イメージ管2のハウベ2bの上面の中心位置に移動させ(ステップ22、図10の動作b)、続いて、二次線量計移動機構8の上下移動機構15により二次線量計7の測定子7aを下降させ(ステップ23、図10の動作c)、検出センサ20がハウベ2bを検出したら(ステップ24)、二次線量計7の測定子7aの下降を停止させる(ステップ25)。
【0074】
この二次線量計7の測定子7aの停止時点で、二次線量計移動機構8の上下移動機構15の原点からハウベ2bを検出した位置までの距離により、ハウベ2bの高さを測定する。このとき、二次線量計7の測定子7aの停止位置が所定の移動下限位置に達しているか判断し(ステップ26)、例えばハウベ2bが装着されていない場合などのときに、移動下限位置に達しているとハウベ高さエラーとして処理する(ステップ27)。
【0075】
ハウベ2bの高さを正常に測定できたら、二次線量計7の測定子7aの現在位置すなわちハウベ2bの高さをコントローラ21が有する記憶部に記憶し(ステップ28)、二次線量計移動機構8の上下移動機構15および水平移動機構16を原点に戻すとともに、測定子回転機構17を原点に戻す(ステップ29)。
【0076】
次に、ハウベ2bの外径を測定する。すなわち、図8のフローチャートおよび図11の説明図に示すように、二次線量計移動機構8の上下移動機構15により二次線量計7の測定子7aを最下降位置まで下降させ(ステップ30、31、図11の動作d)、続いて、二次線量計移動機構8の水平移動機構16により二次線量計7の測定子7aをX線イメージ管2のハウベ2bの周面へ向けて前進移動させ(ステップ32、図11の動作e)、検出センサ20がハウベ2bを検出したら(ステップ33)、二次線量計7の測定子7aの移動を停止させる(ステップ34)。
【0077】
この二次線量計7の測定子7aの停止時点で、二次線量計移動機構8の水平移動機構16の原点からハウベ2bを検出した位置までの距離により、ハウベ2bの外径を測定する。このとき、二次線量計7の測定子7aの停止位置が所定の移動前進位置に達しているか判断し(ステップ35)、例えばハウベ2bが装着されていない場合などのときに、移動前進位置に達しているとハウベ外径エラーとして処理する(ステップ36)。
【0078】
ハウベ2bの外径を正常に測定できたら、二次線量計7の測定子7aの現在位置すなわちハウベ2bの外径をコントローラ21が有する記憶部に記憶し(ステップ37)、二次線量計移動機構8の上下移動機構15および水平移動機構16を原点に戻す(ステップ38)。
【0079】
また、ハウベ2bの外径が測定できたら、図12および図13に示すように、ハウベ2bの外径寸法Dから二次線量の測定時のハウベ2bの回転角度を計算する。二次線量計7の測定子7aには有効測定エリアAがあり、今回の有効測定エリアAが前回の有効測定エリアA1と重複する回転角θでハウベ2bを回転させる。この回転角θは、ハウベ2bの外径寸法Dに合わせて一定の範囲を設定するので、例えばハウベ2bの外径寸法Dが200mmまでは回転角45°等というように、ハウベ2bの外径寸法Dまでの値で計算し、コントローラ21の記憶部に登録する。
【0080】
さらに、測定されたハウベ2bの概略寸法を元に、二次線量計7の測定子7aの上下および前後の移動量も同様に計算される。これにより、ハウベ2bの概略寸法と、測定開始時の動作データが決定される。
【0081】
次に、二次線量を測定する。すなわち、図9のフローチャートに示すように、移動手段19の回転機構6、二次線量計移動機構8およびスライド機構13により、X線イメージ管2と二次線量計7の測定子7aとを相対的に移動させ、まず、測定子7aをハウベ2bの最初の測定点へ移動させ(ステップ39)、ハウベ2bの外に漏洩する二次線量を測定する(ステップ40)。
【0082】
測定中はコントローラ21内の図示しないモニタなどの表示部にハウベ2bの像を映し、現在の測定位置を知ることができるように表示、制御する。
【0083】
そして、二次線量計7の測定子7aで測定された二次線量値が所定の規定値を越えているか判定し(ステップ41)、規定値以内であれば、移動手段19により、測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ移動させる(ステップ42、43)。
【0084】
また、二次線量の測定中において、二次線量計7の測定子7aで測定された二次線量値が規定値を越えた場合は、移動手段19を含む測定を停止し、コントローラ21の表示部に映るハウベ2bの像に漏洩箇所を表示して知らせる。
【0085】
また、移動手段19により測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ移動させるとき、二次線量計7の測定子7aの検出センサ20の検出によって、測定子7aとハウベ2bとの距離が所定の規定値以内に保たれていることが確認されていれば(ステップ44)、同様に、二次線量を測定し、また、その距離が所定の規定値に達すれば、移動手段19を含む測定を停止し、異常を表示して知らせる。
【0086】
また、測定子7aの移動中は、測定子7aの移動先センサ22および保護センサ23,24により障害物を確認し、測定子7aとハウベ2bとが干渉するのを防止する。
【0087】
なお、ハウベ2bの形状には、図14に示すように、例えば、大きく分けて4種類の形状がある。そのため二次線量の測定中に、検出センサ20による検出結果が変わったり、移動先センサ22、保護センサ23,24が働いても、必ずしも異常ではない。そこで、予めコントローラ21には測定する全種類のハウベ2bの各寸法データを登録しておくことにより、検出センサ20、移動先センサ22、保護センサ23,24により、測定しながらハウベ2bの詳細形状をその都度把握しながら対応できる。
【0088】
このように、二次線量の測定前に、X線イメージ管2のハウベ2bの形状を自動測定して自動判別し、二次線量を測定する際に、X線イメージ管2のハウベ2bの形状に応じて最適にX線イメージ管2のハウベ2bと二次線量計7の測定子7aとを相対的に移動させながら二次線量を測定することが可能となり、X線イメージ管2のハウベ2bの品種の入力を不用とするとともにその入力ミスによる測定不良やX線イメージ管2のハウベ2bと二次線量計7の測定子7aとの干渉を防止し、X線イメージ管2のハウベ2bから漏洩する二次線量を正確に試験することができる。
【0089】
【発明の効果】
本発明によれば、X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、漏洩異常に対する対策を取り易くし、歩留まりの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のX線イメージ管の試験方法および試験装置の一実施の形態を示し、試験方法を説明するフローチャートである。
【図2】同上校正方法を説明するフローチャートである。
【図3】同上X線線量計の校正範囲と誤差との関係を示すグラフである。
【図4】同上試験装置の構成図である。
【図5】同上試験装置の斜視図である。
【図6】本発明の他の実施の形態を示すX線線量計の斜視図である。
【図7】本発明のさらに他の実施の形態を示し、試験方法を説明するフローチャートである。
【図8】同上図7に続くフローチャートである。
【図9】同上図8に続くフローチャートである。
【図10】同上X線イメージ管の高さの測定を説明する説明図である。
【図11】同上X線イメージ管の外径の測定を説明する説明図である。
【図12】同上X線イメージ管の外径寸法を説明する説明図である。
【図13】同上(a)(b)にX線イメージ管の測定時の回転角を説明する説明図である。
【図14】同上(a)(b)(c)(d)にX線イメージ管の形状を示す側面図である。
【図15】従来のX線イメージ管の試験規格を説明する説明図である。
【図16】従来の試験装置の斜視図である。
【図17】従来の試験結果の表示形式を示し、(a) はX線イメージ管の上面の測定結果を示す説明図、(b) はX線イメージ管の側面の測定結果を示す説明図である。
【図18】従来の校正方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
1 X線発生源としてのX線管
2 X線イメージ管
4 入力側X線線量計
7 X線線量計
19 移動手段
21 停止手段、X線出力制御手段および移動制御手段としてのコントローラ
25 形状測定手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray image tube test method and test apparatus for testing X-ray leakage from an X-ray image tube.
[0002]
[Prior art]
In general, an X-ray image tube is composed of an envelope (hereinafter referred to as “Haube”) serving as a vacuum vessel, an input substrate, an output substrate, a focusing electrode, an acceleration electrode, and the like, and X-rays emitted from the X-ray tube on the input surface. This is an electron tube that inputs an X-ray image of the above and converts it into a visible image.
[0003]
In such an X-ray image tube, a standard is set for the X-ray dose leaking out of the Haube. For example, in the United States, X-ray leakage from X-ray related equipment such as X-ray tubes and X-ray image tubes has a standard called X-ray apparatus leakage inspection standard for export (HHS standard). When the test is performed, the X-ray dose that leaks over the entire circumference of Howe must be less than or equal to a specified value, and this specified value is 0.2 mR / min.
[0004]
When a test is performed in accordance with this standard, as shown in FIG. 15, the X-ray generation focal point 1a of the
[0005]
In the conventional test apparatus, as shown in FIG. 16, the
[0006]
The output of the primary dose from the
[0007]
When the test is performed, the data of the Haube 2b is input and the Haube 2b is set in the
[0008]
After the measurement is completed, the measurement result of the secondary dose is displayed in the display format as shown in FIG. The operator confirms this measurement result to determine whether there is a leakage abnormality. FIG. 17 (a) shows the measurement result of the upper surface of the Haube 2b, and FIG. 17 (b) shows the measurement result of the side surface of the Haube 2b.
[0009]
However, the direction of the Haube 2b of the
[0010]
In the Haube 2b manufactured in the same lot as the Haube 2b where there was an abnormality, there is a high possibility that a leakage abnormality will occur at the same location, but the leakage location cannot be identified, so the Haube in the same lot after the abnormality was confirmed. 2b is also likely to be a defective product due to the same phenomenon, and there is a problem in that the measures for the Haube 2b in the same lot cannot be taken and the yield is reduced.
[0011]
Further, the primary dose input from the
[0012]
The
[0013]
This calibration is performed upon request from the Japan Radiation Association (JQA). The reference X-ray dose is input to the probe of the
[0014]
When the
[0015]
However, when the calibration of the
[0016]
By the way, the error between the measuring element of the
[0017]
In addition, when performing the test, the Haube 2b to be tested is manually set and the data of the Habe 2b is input, so that the setting failure of the Haube 2b and the input error of the Haube 2b data occur. In such a case, there is a risk that the set Haube 2b and the input Haube 2b data do not match, and the Haube 2b and the
[0018]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, conventionally, the direction of the
[0019]
In the
[0020]
The present invention has been made in view of these points, and it is an object of the present invention to provide an X-ray image tube test method and test apparatus that can easily take measures against leakage abnormality of the X-ray image tube and can improve the yield. And
[0021]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, an X-ray image tube and an X-ray dosimeter are relatively moved, and an X-ray dose leaking from the X-ray image tube is measured by the X-ray dosimeter, and the X-ray dosimeter is measured. And a step of stopping the measurement when the X-ray dose exceeds a prescribed value. When the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value, the leakage location can be specified by stopping the measurement. For example, the X-ray image tube in the same lot as the abnormal X-ray image tube can be identified. For line image tubes, it is possible to take measures such as testing after checking the state of the part corresponding to the leaked part in advance, so that it is easy to take countermeasures against leakage abnormalities and prevent unnecessary yield reduction. It becomes possible.
[0022]
In addition, the shape of the X-ray image tube is measured before measuring the X-ray dose, and the X-ray image tube and the X-ray dosimeter are relative to each other when measuring the X-ray dose according to the measured shape of the X-ray image tube. It is intended to move. Before measuring the X-ray dose, the shape of the X-ray image tube is measured and automatically discriminated. When measuring the X-ray dose, the X-ray image tube and the X-ray tube are optimized according to the shape of the X-ray image tube. X-ray dose can be measured while relatively moving the X-ray dosimeter, making it unnecessary to input the type of X-ray image tube, as well as measurement errors due to input errors, and X-ray image tube and X-ray dose. Interference with the meter can be prevented, and the X-ray dose leaking from the X-ray image tube can be accurately tested.
[0023]
A step of inputting X-rays output from the X-ray generation source into the X-ray image tube; a step of measuring an X-ray dose input from the X-ray generation source into the X-ray image tube; And a step of controlling the output of the X-ray generation source based on the measurement of the X-ray dose input from the X-ray generation source to the X-ray image tube for each test. In addition, the X-ray dose input to the X-ray image tube can be always kept constant every time the X-ray image tube is tested, and the test can always be performed under stable conditions.
[0024]
Furthermore, the upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence relationship between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter is set to the X-ray measured by the X-ray dosimeter. This is the specified value for determining the dose. Then, by setting the upper limit of the adjustment range of the X-ray dosimeter as a specified value for determining the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter, for example, the correspondence can be adjusted by adjusting to the maximum output of the X-ray generation source. Compared to the case where it is constant, there is little error in the necessary range up to the specified value necessary for the actual determination of the X-ray dose, so that high accuracy can be obtained and testing can be performed with high accuracy.
[0025]
Furthermore, since the specified value is 0.2 mR / min, it corresponds to the standard regarding the X-ray dose leaking from the X-ray image tube.
[0026]
The present invention also provides an X-ray dosimeter for measuring an X-ray dose leaking from an X-ray image tube, a moving means for relatively moving the X-ray image tube and the X-ray dosimeter, and the X-ray dose. And a stopping means for stopping the moving means when the X-ray dose measured by the meter exceeds a prescribed value. When the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value, the leakage point can be specified by stopping the moving means and stopping the measurement. For example, an abnormal X-ray image The X-ray image tube in the same lot as the tube makes it possible to take measures such as testing after checking the state of the part corresponding to the leaked part in advance, and unnecessary yield is improved. Can be prevented.
[0027]
Furthermore, a shape measuring means for measuring the shape of the X-ray image tube, and a movement control means for controlling the moving means when measuring the X-ray dose according to the shape of the X-ray image tube measured by the shape measuring means. It is equipped. Before measuring the X-ray dose, the shape of the X-ray image tube is measured and automatically discriminated. When measuring the X-ray dose, the X-ray image tube and the X-ray tube are optimized according to the shape of the X-ray image tube. X-ray dose can be measured while relatively moving the X-ray dosimeter, making it unnecessary to input the type of X-ray image tube, as well as measurement errors due to input errors, and X-ray image tube and X-ray dose. Interference with the meter can be prevented, and the X-ray dose leaking from the X-ray image tube can be accurately tested.
[0028]
Further, an X-ray generation source that outputs X-rays, an input-side X-ray dosimeter that measures an X-ray dose input from the X-ray generation source to the X-ray image tube, and each test of the X-ray image tube X-ray output control means for controlling the output of the X-ray generation source based on the X-ray dose measured by the input side X-ray dosimeter. In addition, the X-ray dose input to the X-ray image tube can be always kept constant every time the X-ray image tube is tested, and the test can always be performed under stable conditions.
[0029]
Further, the X-ray dosimeter sets the upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter to a constant value. It is adjusted as a specified value for determining the secondary dose measured by the meter. Then, by setting the upper limit of the adjustment range of the X-ray dosimeter as a specified value for determining the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter, for example, the correspondence can be adjusted by adjusting to the maximum output of the X-ray generation source. Compared to the case where the X-ray dose is kept constant, there is less error in the required range up to the specified value required for the actual X-ray dose determination, and high accuracy can be obtained, and testing can be performed with high accuracy.
[0030]
Furthermore, since the specified value is 0.2 mR / min, it corresponds to the standard regarding the X-ray dose leaking from the X-ray image tube.
[0031]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0032]
Note that structures similar to those illustrated in FIGS. 15 and 16 will be described using the same reference numerals.
[0033]
4 and 5, an
[0034]
4 and 5, the
[0035]
Then, as shown in FIG. 15, the X-ray generation focal point 1a of the
[0036]
The
[0037]
The
[0038]
The
[0039]
The
[0040]
The secondary dosimeter moving mechanism 8 has a vertical moving mechanism 15 disposed along a
[0041]
The
[0042]
A detection sensor (distance sensor) 20 for detecting the distance between the
[0043]
In addition, measurement data from the measuring elements 4a and 7a of the
[0044]
Then, the
[0045]
Note that, for example, 0.2 mR / min of the US export X-ray apparatus leakage inspection standard (HHS standard) is applied as the specified value.
[0046]
In addition, a cooling mechanism such as a fan or a cooler (not shown) that cools the
[0047]
The
[0048]
Next, a test method using the
[0049]
The
[0050]
When the test is started, first, the probe 7a of the
[0051]
When the size of the
[0052]
The primary feedback fed back to the
[0053]
When the size check of the
[0054]
During measurement, the image of the
[0055]
Then, it is determined whether the secondary dose value measured by the
[0056]
In this way, if the secondary dose value measured by the
[0057]
In addition, during the measurement of the secondary dose, if the secondary dose value measured by the
[0058]
For this reason, the operator can check the leakage location by looking at the display section of the
[0059]
The
[0060]
In this calibration, as shown in Fig. 2, the calibration range is determined with the upper limit of the measurement range as the upper limit of the calibration range (adjustment range), and the number of calibration points for ensuring linearity within this calibration range is determined. , I am requesting calibration from the Japan Radiation Association (JQA).
[0061]
The upper limit of the measurement range is a prescribed value of 0.2 mR / min for determining the secondary dose measured by the
[0062]
In the determination of the secondary dose measured by the
[0063]
Therefore, when the linearity is calculated in the calibration range B up to 2.0 mR / min, which is the maximum output of the
[0064]
Note that the secondary dose value can be obtained for the measurement result of 0.2 mR / min or more if the measurement result is slightly corrected.
[0065]
As described above, when the secondary dose measured by the
[0066]
Furthermore, the primary dose input to the
[0067]
Furthermore, by setting the upper limit of the calibration range of the
[0068]
Furthermore, since the specified value is 0.2 mR / min, it is possible to meet the standard regarding the secondary dose leaking from the
[0069]
Further, as shown in FIG. 6, the measuring element 7 a of the
[0070]
Further, in the test method described above, the size of the
[0071]
In the case of this other test method, an X-ray image tube is provided by a
[0072]
Then, another test method by the
[0073]
After the
[0074]
When the probe 7a of the
[0075]
If the height of the
[0076]
Next, the outer diameter of the
[0077]
When the probe 7a of the
[0078]
If the outer diameter of the
[0079]
When the outer diameter of the
[0080]
Further, based on the measured approximate dimensions of the
[0081]
Next, the secondary dose is measured. That is, as shown in the flowchart of FIG. 9, the
[0082]
During measurement, the image of the
[0083]
Then, it is determined whether or not the secondary dose value measured by the probe 7a of the
[0084]
If the secondary dose measured by the probe 7a of the
[0085]
In addition, when the measuring element 7a is moved to the next measurement point of the
[0086]
Further, while the probe 7a is moving, obstacles are confirmed by the
[0087]
As shown in FIG. 14, the shape of the
[0088]
As described above, before measuring the secondary dose, the shape of the
[0089]
【The invention's effect】
According to the present invention, when the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value, the measurement can be stopped by specifying the leakage location. Improvements can be made.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart illustrating an X-ray image tube test method and a test apparatus according to an embodiment of the present invention and illustrating the test method.
FIG. 2 is a flowchart for explaining the calibration method.
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the calibration range of the X-ray dosimeter and the error.
FIG. 4 is a configuration diagram of the test apparatus.
FIG. 5 is a perspective view of the test apparatus.
FIG. 6 is a perspective view of an X-ray dosimeter showing another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a flowchart for explaining a test method according to still another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a flowchart following FIG. 7;
FIG. 9 is a flowchart following FIG. 8;
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the measurement of the height of the X-ray image tube.
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the measurement of the outer diameter of the X-ray image tube of the same.
FIG. 12 is an explanatory view for explaining the outer diameter of the X-ray image tube of the same.
FIGS. 13A and 13B are explanatory diagrams for explaining a rotation angle at the time of measurement of the X-ray image tube.
FIG. 14 is a side view showing the shape of the X-ray image tube in (a), (b), (c) and (d).
FIG. 15 is an explanatory diagram for explaining a test standard for a conventional X-ray image tube;
FIG. 16 is a perspective view of a conventional test apparatus.
17A and 17B show a display format of a conventional test result, FIG. 17A is an explanatory diagram showing a measurement result of the upper surface of the X-ray image tube, and FIG. 17B is an explanatory diagram showing a measurement result of the side surface of the X-ray image tube; is there.
FIG. 18 is a flowchart illustrating a conventional calibration method.
[Explanation of symbols]
1 X-ray tube as an X-ray source
2 X-ray image tube
4 Input side X-ray dosimeter
7 X-ray dosimeter
19 Transportation
21 Controller as stopping means, X-ray output control means and movement control means
25 Shape measuring means
Claims (10)
X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、測定を停止する工程と
を具備していることを特徴とするX線イメージ管の試験方法。Relatively moving the X-ray image tube and the X-ray dosimeter and measuring the X-ray dose leaking from the X-ray image tube with the X-ray dosimeter;
And a step of stopping the measurement when the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value.
測定されたX線イメージ管の形状に応じて、X線線量の測定時にX線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させる
ことを特徴とする請求項1記載のX線イメージ管の試験方法。Measure the shape of the X-ray image tube before measuring the X-ray dose,
2. The X-ray image tube according to claim 1, wherein the X-ray image tube and the X-ray dosimeter are relatively moved when measuring the X-ray dose in accordance with the measured shape of the X-ray image tube. Test method.
X線発生源からX線イメージ管に入力されるX線線量を測定する工程と、
X線イメージ管の試験毎に、X線発生源からX線イメージ管に入力されるX線線量の測定に基づいてX線発生源の出力を制御する工程と
を具備していることを特徴とする請求項1または2記載のX線イメージ管の試験方法。Inputting X-rays output from an X-ray generation source into an X-ray image tube;
Measuring the X-ray dose input from the X-ray source to the X-ray image tube;
And a step of controlling the output of the X-ray generation source based on the measurement of the X-ray dose input to the X-ray image tube from the X-ray generation source for each test of the X-ray image tube. The test method for an X-ray image tube according to claim 1 or 2.
ことを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載のX線イメージ管の試験方法。The upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter is set to the upper limit of the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter. 4. The test method for an X-ray image tube according to claim 1, wherein the specified value is used for determination.
ことを特徴とする請求項1ないし4いずれか記載のX線イメージ管の試験方法。5. The test method for an X-ray image tube according to claim 1, wherein the specified value is 0.2 mR / min.
前記X線イメージ管とX線線量計とを相対的に移動させる移動手段と、
前記X線線量計で測定されたX線線量が規定値を越えたとき、前記移動手段を停止させる停止手段と
を具備していることを特徴とするX線イメージ管の試験装置。An X-ray dosimeter that measures the X-ray dose leaking from the X-ray image tube;
Moving means for relatively moving the X-ray image tube and the X-ray dosimeter;
An apparatus for testing an X-ray image tube, comprising: stopping means for stopping the moving means when an X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value.
この形状測定手段で測定されたX線イメージ管の形状に応じて、X線線量の測定時に移動手段を制御する移動制御手段と
を具備していることを特徴とする請求項6記載のX線イメージ管の試験装置。A shape measuring means for measuring the shape of the X-ray image tube;
7. The X-ray according to claim 6, further comprising movement control means for controlling the moving means when measuring the X-ray dose according to the shape of the X-ray image tube measured by the shape measuring means. Image tube testing equipment.
このX線発生源からX線イメージ管に入力されるX線線量を測定する入力側X線線量計と、
前記X線イメージ管の試験毎に、前記入力側X線線量計で測定されたX線線量に基づいてX線発生源の出力を制御するX線出力制御手段と
を具備していることを特徴とする請求項6または7記載のX線イメージ管の試験装置。An X-ray source that outputs X-rays;
An input side X-ray dosimeter for measuring an X-ray dose input from the X-ray generation source to the X-ray image tube;
X-ray output control means for controlling the output of the X-ray generation source based on the X-ray dose measured by the input-side X-ray dosimeter for each test of the X-ray image tube. 8. An apparatus for testing an X-ray image tube according to claim 6 or 7.
ことを特徴とする請求項6ないし8いずれか記載のX線イメージ管の試験装置。The X-ray dosimeter uses the X-ray dosimeter to set the upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter to a constant level. 9. The apparatus for testing an X-ray image tube according to claim 6, wherein the apparatus is adjusted as a prescribed value for determining the measured secondary dose.
ことを特徴とする請求項6ないし9いずれか記載のX線イメージ管の試験装置。10. The apparatus for testing an X-ray image tube according to claim 6, wherein the specified value is 0.2 mR / min.
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