JP4226714B2

JP4226714B2 - X-ray image tube test method and test apparatus

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Publication number: JP4226714B2
Application number: JP04304699A
Authority: JP
Inventors: 隆之君島
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-09-24
Filing date: 1999-02-22
Publication date: 2009-02-18
Anticipated expiration: 2019-02-22
Also published as: JP2000164132A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線イメージ管からのＸ線の漏洩を試験するＸ線イメージ管の試験方法および試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、Ｘ線イメージ管は、真空容器となる外囲器（以下、ハウベという）、入力基板、出力基板、集束電極、加速電極などから構成され、入力面にＸ線管から放射されたＸ線のＸ線像を入力して可視像に変換する電子管である。
【０００３】
このようなＸ線イメージ管においては、ハウベの外に漏洩するＸ線線量に関して規格が定められている。例えば、米国では、Ｘ線管やＸ線イメージ管などのＸ線関連機器からのＸ線の漏洩に関し、米国輸出用Ｘ線装置漏洩検査規格（ＨＨＳ規格）という規格があり、この規格に沿った試験を行なった際、ハウべの全周にわたって漏洩するＸ線線量が規定値以下でなければならず、この規定値は０．２mR/minとされている。
【０００４】
この規格に沿って試験を行なう場合には、図１５に示すように、Ｘ線発生源であるＸ線管１のＸ線発生焦点1a、Ｘ線イメージ管２の入力面2a、入力面2aへ向かうＸ線を減弱させる減弱フィルタ３、入力面2aへ向かうＸ線線量（以下、一次線量という）を測定する入力側Ｘ線線量計（以下、一次線量計という）４を直線上に並べ、Ｘ線管１のＸ線発生焦点1aに対して、減弱フィルタ３および一次線量計４をそれぞれ所定距離ａ，ｂに配置するとともに、試験を行なうＸ線イメージ管２の入力面2aを所定距離にセットする。
【０００５】
従来の試験装置では、図１６に示すように、装置本体５上に、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bを載置して回転させる回転機構６、ハウベ2bから漏洩するＸ線線量（以下、二次線量という）を測定するＸ線線量計（以下、二次線量計という）７およびこの二次線量計７を移動させる二次線量計移動機構８を有し、上述した試験の規格に従って、Ｘ線管１、Ｘ線イメージ管２を配置するとともに、図示していないが減弱フィルタ３および一次線量計４をそれぞれ配置する。
【０００６】
Ｘ線管１からの一次線量の出力は、Ｘ線管１の陽極・陰極間にかける電圧を一定にし、Ｘ線イメージ管２に入力される一次線量の出力が所定値以上になるように陽極・陰極間の電流を調整する。この調整は試験装置の製造時に行なわれており、調整後は、その調整状態が固定的に保持されて試験が行なわれる。
【０００７】
そして、試験を行なう場合には、ハウベ2bのデータを入力するとともにハウベ2bを回転機構６にセットし、回転機構６および二次線量計移動機構８によって二次線量計７をＸ線イメージ管２のハウベ2bの円周方向、縦方向に相対的に移動させ、二次線量を測定する。測定中において、測定された二次線量が規定値である０．２mR/minを越えた場合でも、ハウベ2b全体の測定が完了するまで測定を継続して行なう。
【０００８】
測定終了後は、図１７に示すような表示形式で、二次線量の測定結果が表示される。作業者は、この測定結果を確認して漏洩の異常の有無を判別する。なお、図１７(a) はハウベ2bの上面の測定結果、図１７(b) はハウベ2bの側面の測定結果である。
【０００９】
しかしながら、試験装置の回転機構６に対して、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bの向きが常に一定状態にセットされず、測定開始位置が常に異なるのに対し、測定結果の表示形式は常に同じなので、その測定結果からではＸ線の漏洩量の多い箇所を容易に特定することができない。
【００１０】
異常のあったハウベ2bと同一ロットで製作されたハウベ2bでは、同一箇所で漏洩異常が発生する可能性が高いが、その漏洩箇所を特定できないので、異常が確認された以降の同一ロットのハウベ2bも同じ現象で不良品となる可能性が高く、同一ロットのハウベ2bに対する対策が採れず、歩留まりの低下を招く問題がある。
【００１１】
さらに、Ｘ線管１からＸ線イメージ管２に入力される一次線量は、製造時に調整されており、調整後は、その調整状態が固定的に保持されて試験が行なわれるので、実際の各試験での一次線量は必ずしも一定せず、常に安定した条件下での試験が行なえない問題がある。
【００１２】
また、二次線量計７は、二次線量を測定する測定子とこの測定子で測定された測定値から二次線量を割り出す測定器との組み合わせで構成され、この組み合わせ状態で測定値の校正が行なわれている。
【００１３】
この校正は、日本放射線協会（ＪＱＡ）に依頼して行なわれるもので、二次線量計７の測定子に基準となるＸ線線量を入力し、この結果をみて、二次線量計７に入力されるＸ線線量と二次線量計７で測定されたＸ線線量との対応関係が一定になるように調整し、誤差の修正と、校正範囲（調整範囲）内での測定結果に直線性が確保されるよう校正される。
【００１４】
そして、二次線量計７の校正を行なう場合、図１８に示すように、測定範囲を参考に校正範囲を検討し、Ｘ線発生源（Ｘ線管１）の最大出力も考慮して校正範囲を決定し、この校正範囲内での直線性の確保のための校正ポイント数を決定し、日本放射線協会（ＪＱＡ）に校正依頼をするようにしている。校正範囲の上限は、Ｘ線発生源の最大出力も考慮して、例えば２mR/minまでとしている。
【００１５】
しかしながら、二次線量計７の校正を行なう際に、図１８に示すようなフローで校正範囲を決定しているが、この校正範囲の上限は、Ｘ線発生源の最大出力も考慮して、例えば２mR/minまでとしている。この２mR/minという値は、ハウベ2bから漏洩する二次線量を判定する規格値である０．２mR/minの１０倍の値である。
【００１６】
ところで、二次線量計７の測定子と測定器との誤差は校正範囲に対して±１０％程度の値で出てくる。そのため、２mR/minを上限とする校正範囲では測定誤差は±０．２mR/minとなり、二次線量計７での二次線量の測定結果が規定値の０．２mR/minであった場合には、誤差は０．０〜０．４mR/minの範囲にあり、規定値に対する誤差が大き過ぎ、補正が効かず、漏洩試験の合否判定に適しない問題がある。
【００１７】
また、試験を行なう際には、人手により、試験を行なおうとするハウベ2bをセットするとともにそのハウベ2bのデータを入力するので、ハウベ2bのセット不良やハウベ2bのデータの入力ミスが発生するおそれがあり、このような場合、セットされたハウベ2bと入力されたハウベ2bのデータとが一致せず、ハウベ2bと二次線量計７とが干渉し、二次線量計７を破損させるおそれがあるとともに、ハウベ2bから漏洩する二次線量を正確に測定することができない問題がある。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、従来は、試験装置の回転機構６に対して、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bの向きが常に一定状態にセットされず、測定開始位置が常に異なるのに対し、測定結果の表示形式は常に同じなので、その測定結果からではＸ線の漏洩量の多い箇所を容易に特定することができない。
【００１９】
異常のあったハウベ2bと同一ロットで製作されたハウベ2bでは、同一箇所で漏洩異常が発生する可能性が高いが、その漏洩箇所を特定できないので、異常が確認された以降の同一ロットのハウベ2bも同じ現象で不良品となる可能性が高く、同一ロットのハウベ2bに対する対策が取れず、歩留まりの低下を招く問題がある。
【００２０】
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、Ｘ線イメージ管の漏洩異常に対する対策を取り易くし、歩留まりの向上を図れるＸ線イメージ管の試験方法および試験装置を提供することを目的とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明は、Ｘ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させ、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量をＸ線線量計で測定する工程と、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、測定を停止する工程とを具備しているものである。そして、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、例えば、異常のあったＸ線イメージ管と同一ロットのＸ線イメージ管に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことが可能となる。
【００２２】
さらに、Ｘ線線量の測定前にＸ線イメージ管の形状を測定し、測定されたＸ線イメージ管の形状に応じて、Ｘ線線量の測定時にＸ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させるものである。そして、Ｘ線線量の測定前に、Ｘ線イメージ管の形状を測定して自動判別し、Ｘ線線量を測定する際に、Ｘ線イメージ管の形状に応じて最適にＸ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させながらＸ線線量を測定することが可能となり、Ｘ線イメージ管の品種の入力を不用とするとともにその入力ミスによる測定不良やＸ線イメージ管とＸ線線量計との干渉を防止し、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量を正確に試験することが可能となる。
【００２３】
さらに、Ｘ線発生源から出力されるＸ線をＸ線イメージ管に入力する工程と、Ｘ線発生源からＸ線イメージ管に入力されるＸ線線量を測定する工程と、Ｘ線イメージ管の試験毎に、Ｘ線発生源からＸ線イメージ管に入力されるＸ線線量の測定に基づいてＸ線発生源の出力を制御する工程とを具備しているものである。そして、Ｘ線イメージ管の試験毎に、Ｘ線イメージ管に入力されるＸ線線量を常に一定に保つことが可能となり、常に安定した条件下での試験が行なえる。
【００２４】
さらに、Ｘ線線量計に入力されるＸ線線量とＸ線線量計で測定されたＸ線線量との対応関係を一定に調整する調整範囲の上限を、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量の判定を行なう規定値としたものである。そして、Ｘ線線量計の調整範囲の上限を、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量の判定を行なう規定値とすることにより、例えばＸ線発生源の最大出力までの調整で対応関係を一定にする場合に比べて、実際にＸ線線量の判定に必要な規定値までの必要範囲においての誤差が少なく高い精度が得られ、高い精度で試験が行なえる。
【００２５】
さらに、規定値は０．２mR/minであることにより、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量に関しての規格に対応される。
【００２６】
また、本発明は、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量を測定するＸ線線量計と、前記Ｘ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させる移動手段と、前記Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、前記移動手段を停止させる停止手段とを具備しているものである。そして、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、移動手段を停止させて測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、例えば、異常のあったＸ線イメージ管と同一ロットのＸ線イメージ管に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことが可能となる。
【００２７】
さらに、Ｘ線イメージ管の形状を測定する形状測定手段と、この形状測定手段で測定されたＸ線イメージ管の形状に応じて、Ｘ線線量の測定時に移動手段を制御する移動制御手段とを具備しているものである。そして、Ｘ線線量の測定前に、Ｘ線イメージ管の形状を測定して自動判別し、Ｘ線線量を測定する際に、Ｘ線イメージ管の形状に応じて最適にＸ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させながらＸ線線量を測定することが可能となり、Ｘ線イメージ管の品種の入力を不用とするとともにその入力ミスによる測定不良やＸ線イメージ管とＸ線線量計との干渉を防止し、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量を正確に試験することが可能となる。
【００２８】
さらに、Ｘ線を出力するＸ線発生源と、このＸ線発生源からＸ線イメージ管に入力されるＸ線線量を測定する入力側Ｘ線線量計と、前記Ｘ線イメージ管の試験毎に、前記入力側Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量に基づいてＸ線発生源の出力を制御するＸ線出力制御手段とを具備しているものである。そして、Ｘ線イメージ管の試験毎に、Ｘ線イメージ管に入力されるＸ線線量を常に一定に保つことが可能となり、常に安定した条件下での試験が行なえる。
【００２９】
さらに、Ｘ線線量計は、このＸ線線量計に入力されるＸ線線量とＸ線線量計で測定されたＸ線線量との対応関係を一定に調整する調整範囲の上限を、Ｘ線線量計で測定された二次線量の判定を行なう規定値として調整されているものである。そして、Ｘ線線量計の調整範囲の上限を、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量の判定を行なう規定値とすることにより、例えばＸ線発生源の最大出力までの調整で対応関係を一定にする場合に比べて、実際のＸ線線量の判定に必要な規定値までの必要範囲においての誤差が少なく高い精度が得られ、高い精度で試験が行なえる。
【００３０】
さらに、規定値は０．２mR/minであることにより、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量に関しての規格に対応される。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３２】
なお、図１５および図１６に示した構造と同様の構造については同一符号を用いて説明する。
【００３３】
図４および図５において、Ｘ線イメージ管２は、Ｘ線発生源としてのＸ線管１から放射されたＸ線のＸ線像を入力する入力面2a、および真空容器となる外囲器（以下、ハウベという）2bを有している。
【００３４】
また、図４および図５において、試験装置の装置本体５には、Ｘ線管１、減弱フィルタ３、入力側Ｘ線線量計（以下、一次線量計という）４、回転機構６、Ｘ線線量計（以下、二次線量計という）７、Ｘ線線量計移動機構（以下、二次線量計移動機構という）８などが配設されている。
【００３５】
そして、図１５に示したように、Ｘ線管１のＸ線発生焦点1a、Ｘ線イメージ管２の入力面2a、入力面2aへ向かうＸ線を減弱させる減弱フィルタ３、入力面2aへ向かうＸ線線量（以下、一次線量という）を測定する一次線量計４が直線上に並べられ、Ｘ線管１のＸ線発生焦点1aに対して、減弱フィルタ３および一次線量計４がそれぞれ所定距離ａ，ｂに配置されるとともに、試験を行なうＸ線イメージ管２の入力面2aが所定距離にセットされる。
【００３６】
減弱フィルタ３は、例えばアルミニウムなどの材料でブロック状に形成され、Ｘ線イメージ管２の入力面2aへ向かうＸ線を減弱透過させる。
【００３７】
一次線量計４は、一次線量を測定する測定子4aとこの測定子4aで測定された測定値から一次線量を割り出す図示しない測定器との組み合わせで構成されている。
【００３８】
回転機構６は、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bが軸中心を一致させて上面に載置されるもので、移動テーブル11上に回転自在に配設されるとともに、移動テーブル11上に配設されたモータ12の駆動力がギヤ機構12a を介して伝達されて正逆回転される。移動テーブル11は、スライド機構13によって装置本体５上でスライド移動され、すなわち回転機構６上のＸ線イメージ管２のハウベ2bが二次線量計７に対して接離するように移動される。
【００３９】
二次線量計７は、二次線量を測定する一対の測定子7aとこれら測定子7aで測定された測定値から二次線量を割り出す図示しない測定器との組み合わせで構成され、この組み合わせ状態で測定値の校正（調整）が行なわれている。なお、この校正については後述する。
【００４０】
二次線量計移動機構８は、装置本体５上に立設された支柱14に沿って配設された上下移動機構15を有し、この上下移動機構15に対して水平移動機構16が上下移動可能に支持され、この水平移動機構16に対して測定子回転機構17が水平移動可能に支持され、この測定子回転機構17に対して二次線量計７の一対の測定子7aを支持した支持体18が水平軸を中心として回転可能に支持されている。
【００４１】
そして、回転機構６、二次線量計移動機構８およびスライド機構13により、Ｘ線イメージ管２と二次線量計７とを相対的に移動させる移動手段19が構成されている。
【００４２】
また、二次線量計７の一対の測定子7a間には、ハウベ2bと二次線量計７の測定子7aとの距離を検出する検出センサ（距離センサ）20が取り付けられている。この検出センサ20は、例えば、一定距離以内に物体があることを検知する変位センサなどが用いられる。
【００４３】
また、一次線量計４および二次線量計７の各測定子4a，7aからの測定データは図示しない測定器を通じてコントローラ21の図示しないシーケンサ等のＣＰＵに入力される。このコントローラ21により、Ｘ線管１や移動手段19などが制御される。
【００４４】
そして、コントローラ21は、二次線量計７で測定された二次線量が規定値を越えたとき、移動手段19を停止させる停止手段の機能、Ｘ線イメージ管２の試験毎に、一次線量計４で測定された一次線量に基づいてＸ線管１の出力を制御するＸ線出力制御手段の機能を有している。
【００４５】
なお、規定値には、例えば米国輸出用Ｘ線装置漏洩検査規格（ＨＨＳ規格）の０．２mR/minが適用される。
【００４６】
また、装置本体５の内部には、Ｘ線管１および一次線量計４を冷却する図示しないファンやクラーなどの冷却機構が配設されており、Ｘ線管１の動作および一次線量計４の測定が安定的に行なわれる。
【００４７】
また、コントローラ21は、モニタなどの表示部を有し、この表示部にハウベ2bの像を映し、現在の測定位置を知ることができるように表示、制御する機能を有する。
【００４８】
次に、コントローラ21による試験方法を図１のフローチャートを参照して説明する。
【００４９】
Ｘ線イメージ管２のハウベ2bを回転機構６上にセットし（ステップ１）、試験を行なおうとするＸ線イメージ管２のサイズ（形状、品種）を登録して試験を開始する。
【００５０】
試験を開始すると、まず、二次線量計７の測定子7aを試験可能な最大の大きさのＸ線イメージ管２のハウベ2bの外径位置に対応する位置に移動させ、ここから徐々に測定子7aをハウベ2bに接近するように移動させ（ステップ２）、検出センサ20によりハウベ2bを検出する。これにより、セットされたハウベ2bのサイズと、登録したサイズとの整合性を確認する（ステップ３）。また、測定子7aとハウベ2bとの衝突を防ぎ、同時にハウベ2bのサイズ毎に最初の測定点が一定になるようにする。
【００５１】
そして、ハウベ2bのサイズ確認が終了したら、Ｘ線管１よりＸ線を出力照射させ（ステップ４）、Ｘ線イメージ管２の入力面2aに入力される一次線量を一次線量計４で測定する。
【００５２】
一次線量計４で測定された一次線量値が予め設定した設定値となるように、Ｘ線管１の陽極・陰極間に印加する電圧を一定にした条件下で、コントローラ21にフィードバックされた一次線量値に基づいて、陽極・陰極間の電流値を調整して一次線量値を調整する（ステップ５、６）。
【００５３】
そして、ハウベ2bのサイズ確認、および一次線量値の調整が終了したら、移動手段19の回転機構６、二次線量計移動機構８およびスライド機構13により、Ｘ線イメージ管２と二次線量計７とを相対的に移動させ、まず、測定子7aをハウベ2bの最初の測定点へ移動させ（ステップ７）、ハウベ2bの外に漏洩する二次線量を測定する（ステップ８）。なお、ハウベ2bは異形状であるため、測定子7aはハウベ2bの上下、左右方向のみでなく、ハウベ2bの傾斜方向へも移動される。
【００５４】
測定中はコントローラ21内の図示しないモニタなどの表示部にハウベ2bの像を映し、現在の測定位置を知ることができるように表示、制御する。
【００５５】
そして、二次線量計７で測定された二次線量値が規定値を越えているか判定し（ステップ９）、規定値以内であれば、移動手段19により、測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ移動させ（ステップ10、11）、同様に二次線量を測定する。
【００５６】
このように、二次線量計７で測定された二次線量値が規定値以内であれば、測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ順次移動させて二次線量を測定し、ハウベ2bの全ての測定点について測定し、測定終了となる。この場合、測定結果は、ハウベ2bの全ての測定点についての二次線量値が規定値以内であるため、試験が行なわれたＸ線イメージ管２は良品であると判定される。
【００５７】
また、二次線量の測定中において、二次線量計７で測定された二次線量値が規定値を越えた場合は、移動手段19を含む測定を停止し、コントローラ21の表示部に映るハウベ2bの像に漏洩箇所を表示して知らせる。
【００５８】
このため、作業者は、コントローラ21の表示部を見て漏洩箇所を確認することができるので、異常のあったＸ線イメージ管２と同一ロットのＸ線イメージ管２に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことができる。
【００５９】
また、二次線量計７は、二次線量を測定する一対の測定子7aとこれら測定子7aで測定された測定値から二次線量を割り出す図示しない測定器との組み合わせで構成され、この組み合わせ状態で測定値の校正が行なわれている。
【００６０】
この校正は、図２に示すように、測定範囲の上限を校正範囲（調整範囲）の上限として校正範囲を決定し、この校正範囲内での直線性の確保のための校正ポイント数を決定し、日本放射線協会（ＪＱＡ）に校正依頼をするようにしている。
【００６１】
測定範囲の上限は、図３に示すように、二次線量計７で測定された二次線量を判定する規定値の０．２mR/minである。そのため、二次線量計７の測定子と測定器との誤差が校正範囲に対して±１０％程度とすると、規定値の０．２mR/minを上限とした校正範囲Ａの測定誤差は±０．０２mR/minとなる。
【００６２】
二次線量計７で測定された二次線量の判定では、規定値以内での二次線量の測定精度および直線性が重要であり、規定値以上の測定精度および直線性は無視できる。
【００６３】
したがって、従来のように、Ｘ線管１の最大出力である２．０mR/minまでの校正範囲Ｂで直線性を求める場合、測定誤差が±０．２mR/minと大きくなって、漏洩試験の精度が低いのに比べて、実際に二次線量の判定に必要な規定値の０．２mR/minまでの必要範囲においての誤差は±０．０２mR/minと少なく、高い精度が得られ、この高い精度で試験が行なえる。
【００６４】
なお、測定結果の０．２mR/min以上についても、測定結果に若干の補正をかければ、二次線量値を求めることができる。
【００６５】
以上のように、二次線量計７で測定された二次線量が規定値を越えたとき、測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、例えば、異常のあったＸ線イメージ管２と同一ロットのＸ線イメージ管２に対し、事前にその漏洩箇所に対応する部分の状態を調べてから試験するなどの対処が可能となるなど、漏洩異常に対する対策を取り易くなり、不要な歩留りの低下を防ぐことができる。
【００６６】
さらに、Ｘ線イメージ管２の試験毎に、Ｘ線イメージ管２に入力される一次線量を常に一定に保つことが可能となり、常に安定した条件下での試験を行なうことができる。
【００６７】
さらに、二次線量計７の校正範囲の上限を、二次線量計７で測定された二次線量の判定を行なう規定値とすることにより、例えばＸ線管１の最大出力までの校正で対応関係を一定にする場合に比べて、実際に二次線量の判定に必要な規定値までの必要範囲においての誤差が少なく高い精度が得られ、高い精度で試験を行なうことができる。
【００６８】
さらに、規定値は０．２mR/minであることにより、Ｘ線イメージ管２から漏洩する二次線量に関しての規格に対応できる。
【００６９】
また、図６に示すように、二次線量計７の測定子7aには、検出センサ20に加えて、測定子7aのハウベ2bとの相対的な移動先の障害物を検知する移動先センサ22、測定子7aの上下の障害物を検知する保護センサ23，24を取り付けるようにしてもよい。これにより、例えば、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bの品種を入力ミスしても、二次線量の測定時にＸ線イメージ管２のハウベ2bと二次線量計７の測定子7aとを移動させる際、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bと二次線量計７の測定子7aとが干渉するのを防止できる。
【００７０】
また、前述した試験方法では、二次線量の測定前に、試験を行なおうとするＸ線イメージ管２のサイズを登録していたが、二次線量の測定前に、コントローラ21の制御によって、Ｘ線イメージ管２の形状を自動測定して自動判別し、二次線量を測定する際に、自動判別されたＸ線イメージ管２の形状に応じて最適にＸ線イメージ管２と二次線量計７とを相対的に移動させながら二次線量を測定する別の試験方法を採ることもできる。
【００７１】
この別の試験方法の場合には、ハウベ2bと二次線量計７の測定子7aとの距離を検出する検出センサ20、およびこの検出センサ20を移動させる移動手段19などによって、Ｘ線イメージ管２の形状を測定する形状測定手段25が構成され、また、コントローラ21は、この形状測定手段25で測定されたＸ線イメージ管２の形状を判別する形状判別手段の機能、形状測定手段25で測定されたＸ線イメージ管２の形状に応じて二次線量の測定時に移動手段19を制御する移動制御手段の機能を有している。
【００７２】
そして、コントローラ21による別の試験方法を、図７ないし図９のフローチャート、および図１０ないし図１３の説明図を参照して説明する。
【００７３】
Ｘ線イメージ管２のハウベ2bが回転機構６上にセットされた後、試験を開始する。試験を開始すると、まず、ハウベ2bの高さを測定する。すなわち、図７のフローチャートおよび図１０の説明図に示すように、測定子回転機構17により二次線量計７の測定子7aを下向きに移動させ（ステップ21、図１０の動作ａ）、続いて、二次線量計移動機構８の水平移動機構16により二次線量計７の測定子7aをＸ線イメージ管２のハウベ2bの上面の中心位置に移動させ（ステップ22、図１０の動作ｂ）、続いて、二次線量計移動機構８の上下移動機構15により二次線量計７の測定子7aを下降させ（ステップ23、図１０の動作ｃ）、検出センサ20がハウベ2bを検出したら（ステップ24）、二次線量計７の測定子7aの下降を停止させる（ステップ25）。
【００７４】
この二次線量計７の測定子7aの停止時点で、二次線量計移動機構８の上下移動機構15の原点からハウベ2bを検出した位置までの距離により、ハウベ2bの高さを測定する。このとき、二次線量計７の測定子7aの停止位置が所定の移動下限位置に達しているか判断し（ステップ26）、例えばハウベ2bが装着されていない場合などのときに、移動下限位置に達しているとハウベ高さエラーとして処理する（ステップ27）。
【００７５】
ハウベ2bの高さを正常に測定できたら、二次線量計７の測定子7aの現在位置すなわちハウベ2bの高さをコントローラ21が有する記憶部に記憶し（ステップ28）、二次線量計移動機構８の上下移動機構15および水平移動機構16を原点に戻すとともに、測定子回転機構17を原点に戻す（ステップ29）。
【００７６】
次に、ハウベ2bの外径を測定する。すなわち、図８のフローチャートおよび図１１の説明図に示すように、二次線量計移動機構８の上下移動機構15により二次線量計７の測定子7aを最下降位置まで下降させ（ステップ30、31、図１１の動作ｄ）、続いて、二次線量計移動機構８の水平移動機構16により二次線量計７の測定子7aをＸ線イメージ管２のハウベ2bの周面へ向けて前進移動させ（ステップ32、図１１の動作ｅ）、検出センサ20がハウベ2bを検出したら（ステップ33）、二次線量計７の測定子7aの移動を停止させる（ステップ34）。
【００７７】
この二次線量計７の測定子7aの停止時点で、二次線量計移動機構８の水平移動機構16の原点からハウベ2bを検出した位置までの距離により、ハウベ2bの外径を測定する。このとき、二次線量計７の測定子7aの停止位置が所定の移動前進位置に達しているか判断し（ステップ35）、例えばハウベ2bが装着されていない場合などのときに、移動前進位置に達しているとハウベ外径エラーとして処理する（ステップ36）。
【００７８】
ハウベ2bの外径を正常に測定できたら、二次線量計７の測定子7aの現在位置すなわちハウベ2bの外径をコントローラ21が有する記憶部に記憶し（ステップ37）、二次線量計移動機構８の上下移動機構15および水平移動機構16を原点に戻す（ステップ38）。
【００７９】
また、ハウベ2bの外径が測定できたら、図１２および図１３に示すように、ハウベ2bの外径寸法Ｄから二次線量の測定時のハウベ2bの回転角度を計算する。二次線量計７の測定子7aには有効測定エリアＡがあり、今回の有効測定エリアＡが前回の有効測定エリアA1と重複する回転角θでハウベ2bを回転させる。この回転角θは、ハウベ2bの外径寸法Ｄに合わせて一定の範囲を設定するので、例えばハウベ2bの外径寸法Ｄが２００mmまでは回転角４５°等というように、ハウベ2bの外径寸法Ｄまでの値で計算し、コントローラ21の記憶部に登録する。
【００８０】
さらに、測定されたハウベ2bの概略寸法を元に、二次線量計７の測定子7aの上下および前後の移動量も同様に計算される。これにより、ハウベ2bの概略寸法と、測定開始時の動作データが決定される。
【００８１】
次に、二次線量を測定する。すなわち、図９のフローチャートに示すように、移動手段19の回転機構６、二次線量計移動機構８およびスライド機構13により、Ｘ線イメージ管２と二次線量計７の測定子7aとを相対的に移動させ、まず、測定子7aをハウベ2bの最初の測定点へ移動させ（ステップ39）、ハウベ2bの外に漏洩する二次線量を測定する（ステップ40）。
【００８２】
測定中はコントローラ21内の図示しないモニタなどの表示部にハウベ2bの像を映し、現在の測定位置を知ることができるように表示、制御する。
【００８３】
そして、二次線量計７の測定子7aで測定された二次線量値が所定の規定値を越えているか判定し（ステップ41）、規定値以内であれば、移動手段19により、測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ移動させる（ステップ42、43）。
【００８４】
また、二次線量の測定中において、二次線量計７の測定子7aで測定された二次線量値が規定値を越えた場合は、移動手段19を含む測定を停止し、コントローラ21の表示部に映るハウベ2bの像に漏洩箇所を表示して知らせる。
【００８５】
また、移動手段19により測定子7aをハウベ2bの次の測定点へ移動させるとき、二次線量計７の測定子7aの検出センサ20の検出によって、測定子7aとハウベ2bとの距離が所定の規定値以内に保たれていることが確認されていれば（ステップ44）、同様に、二次線量を測定し、また、その距離が所定の規定値に達すれば、移動手段19を含む測定を停止し、異常を表示して知らせる。
【００８６】
また、測定子7aの移動中は、測定子7aの移動先センサ22および保護センサ23，24により障害物を確認し、測定子7aとハウベ2bとが干渉するのを防止する。
【００８７】
なお、ハウベ2bの形状には、図１４に示すように、例えば、大きく分けて４種類の形状がある。そのため二次線量の測定中に、検出センサ20による検出結果が変わったり、移動先センサ22、保護センサ23，24が働いても、必ずしも異常ではない。そこで、予めコントローラ21には測定する全種類のハウベ2bの各寸法データを登録しておくことにより、検出センサ20、移動先センサ22、保護センサ23，24により、測定しながらハウベ2bの詳細形状をその都度把握しながら対応できる。
【００８８】
このように、二次線量の測定前に、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bの形状を自動測定して自動判別し、二次線量を測定する際に、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bの形状に応じて最適にＸ線イメージ管２のハウベ2bと二次線量計７の測定子7aとを相対的に移動させながら二次線量を測定することが可能となり、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bの品種の入力を不用とするとともにその入力ミスによる測定不良やＸ線イメージ管２のハウベ2bと二次線量計７の測定子7aとの干渉を防止し、Ｘ線イメージ管２のハウベ2bから漏洩する二次線量を正確に試験することができる。
【００８９】
【発明の効果】
本発明によれば、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、測定を停止することにより、漏洩箇所を特定できるので、漏洩異常に対する対策を取り易くし、歩留まりの向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線イメージ管の試験方法および試験装置の一実施の形態を示し、試験方法を説明するフローチャートである。
【図２】同上校正方法を説明するフローチャートである。
【図３】同上Ｘ線線量計の校正範囲と誤差との関係を示すグラフである。
【図４】同上試験装置の構成図である。
【図５】同上試験装置の斜視図である。
【図６】本発明の他の実施の形態を示すＸ線線量計の斜視図である。
【図７】本発明のさらに他の実施の形態を示し、試験方法を説明するフローチャートである。
【図８】同上図７に続くフローチャートである。
【図９】同上図８に続くフローチャートである。
【図１０】同上Ｘ線イメージ管の高さの測定を説明する説明図である。
【図１１】同上Ｘ線イメージ管の外径の測定を説明する説明図である。
【図１２】同上Ｘ線イメージ管の外径寸法を説明する説明図である。
【図１３】同上(a)(b)にＸ線イメージ管の測定時の回転角を説明する説明図である。
【図１４】同上(a)(b)(c)(d)にＸ線イメージ管の形状を示す側面図である。
【図１５】従来のＸ線イメージ管の試験規格を説明する説明図である。
【図１６】従来の試験装置の斜視図である。
【図１７】従来の試験結果の表示形式を示し、(a) はＸ線イメージ管の上面の測定結果を示す説明図、(b) はＸ線イメージ管の側面の測定結果を示す説明図である。
【図１８】従来の校正方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
１Ｘ線発生源としてのＸ線管
２Ｘ線イメージ管
４入力側Ｘ線線量計
７Ｘ線線量計
19 移動手段
21 停止手段、Ｘ線出力制御手段および移動制御手段としてのコントローラ
25 形状測定手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray image tube test method and test apparatus for testing X-ray leakage from an X-ray image tube.
[0002]
[Prior art]
In general, an X-ray image tube is composed of an envelope (hereinafter referred to as “Haube”) serving as a vacuum vessel, an input substrate, an output substrate, a focusing electrode, an acceleration electrode, and the like, and X-rays emitted from the X-ray tube on the input surface. This is an electron tube that inputs an X-ray image of the above and converts it into a visible image.
[0003]
In such an X-ray image tube, a standard is set for the X-ray dose leaking out of the Haube. For example, in the United States, X-ray leakage from X-ray related equipment such as X-ray tubes and X-ray image tubes has a standard called X-ray apparatus leakage inspection standard for export (HHS standard). When the test is performed, the X-ray dose that leaks over the entire circumference of Howe must be less than or equal to a specified value, and this specified value is 0.2 mR / min.
[0004]
When a test is performed in accordance with this standard, as shown in FIG. 15, the X-ray generation focal point 1a of the X-ray tube 1 as an X-ray generation source, the input surface 2a of the X-ray image tube 2, and the input surface 2a Attenuating filter 3 for attenuating X-rays to be directed, and an input side X-ray dosimeter (hereinafter referred to as a primary dosimeter) 4 for measuring an X-ray dose (hereinafter referred to as a primary dose) toward the input surface 2a are arranged on a straight line. The attenuation filter 3 and the primary dosimeter 4 are arranged at predetermined distances a and b with respect to the X-ray generation focal point 1a of the X-ray tube 1, and the input surface 2a of the X-ray image tube 2 to be tested is set at a predetermined distance. To do.
[0005]
In the conventional test apparatus, as shown in FIG. 16, the rotating mechanism 6 for rotating the Haube 2b of the X-ray image tube 2 on the apparatus main body 5 and rotating the X-ray dose leaked from the Haube 2b (hereinafter referred to as two). X-ray dosimeter (hereinafter referred to as secondary dosimeter) 7 for measuring the secondary dose) and a secondary dosimeter moving mechanism 8 for moving the secondary dosimeter 7 in accordance with the above-mentioned test standards. While the ray tube 1 and the X-ray image tube 2 are arranged, although not shown, an attenuation filter 3 and a primary dosimeter 4 are respectively arranged.
[0006]
The output of the primary dose from the X-ray tube 1 is such that the voltage applied between the anode and the cathode of the X-ray tube 1 is constant, and the anode so that the output of the primary dose input to the X-ray image tube 2 becomes a predetermined value or more. • Adjust the current between the cathodes. This adjustment is performed at the time of manufacturing the test apparatus. After the adjustment, the adjustment state is fixedly held and the test is performed.
[0007]
When the test is performed, the data of the Haube 2b is input and the Haube 2b is set in the rotating mechanism 6, and the secondary dosimeter 7 is connected to the X-ray image tube 2 by the rotating mechanism 6 and the secondary dosimeter moving mechanism 8. The secondary dose is measured by relatively moving in the circumferential and vertical directions of the Haube 2b. During the measurement, even if the measured secondary dose exceeds the prescribed value of 0.2 mR / min, the measurement is continued until the measurement of the entire Haube 2b is completed.
[0008]
After the measurement is completed, the measurement result of the secondary dose is displayed in the display format as shown in FIG. The operator confirms this measurement result to determine whether there is a leakage abnormality. FIG. 17 (a) shows the measurement result of the upper surface of the Haube 2b, and FIG. 17 (b) shows the measurement result of the side surface of the Haube 2b.
[0009]
However, the direction of the Haube 2b of the X-ray image tube 2 is not always set to a constant state with respect to the rotating mechanism 6 of the test apparatus, and the measurement start position is always different, whereas the display format of the measurement result is always the same. From the measurement results, it is not possible to easily identify a location where the amount of X-ray leakage is large.
[0010]
In the Haube 2b manufactured in the same lot as the Haube 2b where there was an abnormality, there is a high possibility that a leakage abnormality will occur at the same location, but the leakage location cannot be identified, so the Haube in the same lot after the abnormality was confirmed. 2b is also likely to be a defective product due to the same phenomenon, and there is a problem in that the measures for the Haube 2b in the same lot cannot be taken and the yield is reduced.
[0011]
Further, the primary dose input from the X-ray tube 1 to the X-ray image tube 2 is adjusted at the time of manufacture, and after adjustment, the adjustment state is fixedly held and the test is performed. The primary dose in the test is not always constant, and there is a problem that the test cannot always be performed under stable conditions.
[0012]
The secondary dosimeter 7 is composed of a combination of a measuring element that measures the secondary dose and a measuring device that calculates the secondary dose from the measurement values measured by the measuring element, and calibrates the measurement values in this combination state. Has been done.
[0013]
This calibration is performed upon request from the Japan Radiation Association (JQA). The reference X-ray dose is input to the probe of the secondary dosimeter 7, and the result is input to the secondary dosimeter 7. Adjustment is made so that the correspondence between the X-ray dose and the X-ray dose measured by the secondary dosimeter 7 is constant, correction of errors, and linearity in the measurement results within the calibration range (adjustment range) Is calibrated to ensure
[0014]
When the secondary dosimeter 7 is calibrated, as shown in FIG. 18, the calibration range is examined with reference to the measurement range, and the maximum range of the X-ray generation source (X-ray tube 1) is also taken into consideration. The number of calibration points for ensuring linearity within the calibration range is determined, and a calibration request is made to the Japan Radiation Association (JQA). The upper limit of the calibration range is set to, for example, 2 mR / min in consideration of the maximum output of the X-ray generation source.
[0015]
However, when the calibration of the secondary dosimeter 7 is performed, the calibration range is determined by a flow as shown in FIG. 18, and the upper limit of the calibration range is determined in consideration of the maximum output of the X-ray source. For example, up to 2 mR / min. This value of 2 mR / min is a value 10 times as large as 0.2 mR / min, which is a standard value for determining the secondary dose leaking from the Haube 2b.
[0016]
By the way, the error between the measuring element of the secondary dosimeter 7 and the measuring device appears at a value of about ± 10% with respect to the calibration range. Therefore, in the calibration range with an upper limit of 2 mR / min, the measurement error is ± 0.2 mR / min, and the measurement result of the secondary dose with the secondary dosimeter 7 is the specified value of 0.2 mR / min. The error is in the range of 0.0 to 0.4 mR / min, the error with respect to the specified value is too large, the correction is not effective, and there is a problem that is not suitable for the pass / fail judgment of the leak test.
[0017]
In addition, when performing the test, the Haube 2b to be tested is manually set and the data of the Habe 2b is input, so that the setting failure of the Haube 2b and the input error of the Haube 2b data occur. In such a case, there is a risk that the set Haube 2b and the input Haube 2b data do not match, and the Haube 2b and the secondary dosimeter 7 may interfere with each other and damage the secondary dosimeter 7. In addition, there is a problem that the secondary dose leaking from Haube 2b cannot be measured accurately.
[0018]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, conventionally, the direction of the housing 2b of the X-ray image tube 2 is not always set to a constant state with respect to the rotating mechanism 6 of the test apparatus, and the measurement start position is always different. Since the display format is always the same, the location where the amount of X-ray leakage is large cannot be easily identified from the measurement results.
[0019]
In the Haube 2b manufactured in the same lot as the Haube 2b where there was an abnormality, there is a high possibility that a leakage anomaly will occur at the same location, but since the leakage location cannot be identified, the Haube in the same lot after the abnormality was confirmed. 2b is also likely to be a defective product due to the same phenomenon, and there is a problem in that it is impossible to take measures against the Haube 2b in the same lot, resulting in a decrease in yield.
[0020]
The present invention has been made in view of these points, and it is an object of the present invention to provide an X-ray image tube test method and test apparatus that can easily take measures against leakage abnormality of the X-ray image tube and can improve the yield. And
[0021]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, an X-ray image tube and an X-ray dosimeter are relatively moved, and an X-ray dose leaking from the X-ray image tube is measured by the X-ray dosimeter, and the X-ray dosimeter is measured. And a step of stopping the measurement when the X-ray dose exceeds a prescribed value. When the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value, the leakage location can be specified by stopping the measurement. For example, the X-ray image tube in the same lot as the abnormal X-ray image tube can be identified. For line image tubes, it is possible to take measures such as testing after checking the state of the part corresponding to the leaked part in advance, so that it is easy to take countermeasures against leakage abnormalities and prevent unnecessary yield reduction. It becomes possible.
[0022]
In addition, the shape of the X-ray image tube is measured before measuring the X-ray dose, and the X-ray image tube and the X-ray dosimeter are relative to each other when measuring the X-ray dose according to the measured shape of the X-ray image tube. It is intended to move. Before measuring the X-ray dose, the shape of the X-ray image tube is measured and automatically discriminated. When measuring the X-ray dose, the X-ray image tube and the X-ray tube are optimized according to the shape of the X-ray image tube. X-ray dose can be measured while relatively moving the X-ray dosimeter, making it unnecessary to input the type of X-ray image tube, as well as measurement errors due to input errors, and X-ray image tube and X-ray dose. Interference with the meter can be prevented, and the X-ray dose leaking from the X-ray image tube can be accurately tested.
[0023]
A step of inputting X-rays output from the X-ray generation source into the X-ray image tube; a step of measuring an X-ray dose input from the X-ray generation source into the X-ray image tube; And a step of controlling the output of the X-ray generation source based on the measurement of the X-ray dose input from the X-ray generation source to the X-ray image tube for each test. In addition, the X-ray dose input to the X-ray image tube can be always kept constant every time the X-ray image tube is tested, and the test can always be performed under stable conditions.
[0024]
Furthermore, the upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence relationship between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter is set to the X-ray measured by the X-ray dosimeter. This is the specified value for determining the dose. Then, by setting the upper limit of the adjustment range of the X-ray dosimeter as a specified value for determining the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter, for example, the correspondence can be adjusted by adjusting to the maximum output of the X-ray generation source. Compared to the case where it is constant, there is little error in the necessary range up to the specified value necessary for the actual determination of the X-ray dose, so that high accuracy can be obtained and testing can be performed with high accuracy.
[0025]
Furthermore, since the specified value is 0.2 mR / min, it corresponds to the standard regarding the X-ray dose leaking from the X-ray image tube.
[0026]
The present invention also provides an X-ray dosimeter for measuring an X-ray dose leaking from an X-ray image tube, a moving means for relatively moving the X-ray image tube and the X-ray dosimeter, and the X-ray dose. And a stopping means for stopping the moving means when the X-ray dose measured by the meter exceeds a prescribed value. When the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value, the leakage point can be specified by stopping the moving means and stopping the measurement. For example, an abnormal X-ray image The X-ray image tube in the same lot as the tube makes it possible to take measures such as testing after checking the state of the part corresponding to the leaked part in advance, and unnecessary yield is improved. Can be prevented.
[0027]
Furthermore, a shape measuring means for measuring the shape of the X-ray image tube, and a movement control means for controlling the moving means when measuring the X-ray dose according to the shape of the X-ray image tube measured by the shape measuring means. It is equipped. Before measuring the X-ray dose, the shape of the X-ray image tube is measured and automatically discriminated. When measuring the X-ray dose, the X-ray image tube and the X-ray tube are optimized according to the shape of the X-ray image tube. X-ray dose can be measured while relatively moving the X-ray dosimeter, making it unnecessary to input the type of X-ray image tube, as well as measurement errors due to input errors, and X-ray image tube and X-ray dose. Interference with the meter can be prevented, and the X-ray dose leaking from the X-ray image tube can be accurately tested.
[0028]
Further, an X-ray generation source that outputs X-rays, an input-side X-ray dosimeter that measures an X-ray dose input from the X-ray generation source to the X-ray image tube, and each test of the X-ray image tube X-ray output control means for controlling the output of the X-ray generation source based on the X-ray dose measured by the input side X-ray dosimeter. In addition, the X-ray dose input to the X-ray image tube can be always kept constant every time the X-ray image tube is tested, and the test can always be performed under stable conditions.
[0029]
Further, the X-ray dosimeter sets the upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter to a constant value. It is adjusted as a specified value for determining the secondary dose measured by the meter. Then, by setting the upper limit of the adjustment range of the X-ray dosimeter as a specified value for determining the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter, for example, the correspondence can be adjusted by adjusting to the maximum output of the X-ray generation source. Compared to the case where the X-ray dose is kept constant, there is less error in the required range up to the specified value required for the actual X-ray dose determination, and high accuracy can be obtained, and testing can be performed with high accuracy.
[0030]
Furthermore, since the specified value is 0.2 mR / min, it corresponds to the standard regarding the X-ray dose leaking from the X-ray image tube.
[0031]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0032]
Note that structures similar to those illustrated in FIGS. 15 and 16 will be described using the same reference numerals.
[0033]
4 and 5, an X-ray image tube 2 includes an input surface 2a for inputting an X-ray image of X-rays radiated from an X-ray tube 1 serving as an X-ray generation source, and an envelope ( 2b).
[0034]
4 and 5, the apparatus body 5 of the test apparatus includes an X-ray tube 1, an attenuation filter 3, an input side X-ray dosimeter (hereinafter referred to as a primary dosimeter) 4, a rotating mechanism 6, an X-ray dose. A meter (hereinafter referred to as a secondary dosimeter) 7, an X-ray dosimeter moving mechanism (hereinafter referred to as a secondary dosimeter moving mechanism) 8, and the like are disposed.
[0035]
Then, as shown in FIG. 15, the X-ray generation focal point 1a of the X-ray tube 1, the input surface 2a of the X-ray image tube 2, the attenuation filter 3 for attenuating X-rays directed to the input surface 2a, and the input surface 2a. The primary dosimeters 4 for measuring the X-ray dose (hereinafter referred to as the primary dose) are arranged in a straight line, and the attenuation filter 3 and the primary dosimeter 4 are each a predetermined distance from the X-ray generation focal point 1a of the X-ray tube 1. While being arranged at a and b, the input surface 2a of the X-ray image tube 2 to be tested is set at a predetermined distance.
[0036]
The attenuation filter 3 is formed in a block shape with a material such as aluminum, for example, and attenuates and transmits X-rays directed toward the input surface 2a of the X-ray image tube 2.
[0037]
The primary dosimeter 4 is composed of a combination of a measuring element 4a for measuring the primary dose and a measuring instrument (not shown) that calculates the primary dose from the measurement values measured by the measuring element 4a.
[0038]
The rotation mechanism 6 is mounted on the upper surface of the housing 2b of the X-ray image tube 2 with the axis center aligned, and is rotatably disposed on the moving table 11 and disposed on the moving table 11. The driving force of the motor 12 thus transmitted is transmitted via the gear mechanism 12a and rotated forward and reverse. The moving table 11 is slid on the apparatus main body 5 by the slide mechanism 13, that is, moved so that the housing 2 b of the X-ray image tube 2 on the rotating mechanism 6 contacts and separates from the secondary dosimeter 7.
[0039]
The secondary dosimeter 7 is composed of a combination of a pair of measuring elements 7a for measuring the secondary dose and a measuring device (not shown) that calculates the secondary dose from the measurement values measured by these measuring elements 7a. The measured value is calibrated (adjusted). This calibration will be described later.
[0040]
The secondary dosimeter moving mechanism 8 has a vertical moving mechanism 15 disposed along a support column 14 erected on the apparatus body 5, and the horizontal moving mechanism 16 moves up and down with respect to the vertical moving mechanism 15. The probe rotating mechanism 17 is supported so as to be horizontally movable with respect to the horizontal moving mechanism 16, and is supported to support the pair of measuring elements 7a of the secondary dosimeter 7 with respect to the probe rotating mechanism 17. A body 18 is supported rotatably about a horizontal axis.
[0041]
The rotating mechanism 6, the secondary dosimeter moving mechanism 8 and the slide mechanism 13 constitute moving means 19 for relatively moving the X-ray image tube 2 and the secondary dosimeter 7.
[0042]
A detection sensor (distance sensor) 20 for detecting the distance between the housing 2b and the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 is attached between the pair of measuring elements 7a of the secondary dosimeter 7. As the detection sensor 20, for example, a displacement sensor that detects the presence of an object within a certain distance is used.
[0043]
In addition, measurement data from the measuring elements 4a and 7a of the primary dosimeter 4 and the secondary dosimeter 7 are input to a CPU such as a sequencer (not shown) of the controller 21 through a measuring instrument (not shown). The controller 21 controls the X-ray tube 1 and the moving means 19.
[0044]
Then, the controller 21 performs a primary dosimeter for each test of the X-ray image tube 2 as a function of a stopping unit that stops the moving unit 19 when the secondary dose measured by the secondary dosimeter 7 exceeds a specified value. 4 has the function of an X-ray output control means for controlling the output of the X-ray tube 1 based on the primary dose measured in 4.
[0045]
Note that, for example, 0.2 mR / min of the US export X-ray apparatus leakage inspection standard (HHS standard) is applied as the specified value.
[0046]
In addition, a cooling mechanism such as a fan or a cooler (not shown) that cools the X-ray tube 1 and the primary dosimeter 4 is disposed inside the apparatus main body 5, and the operation of the X-ray tube 1 and the primary dosimeter 4 Measurement is performed stably.
[0047]
The controller 21 also has a display unit such as a monitor, and has a function of displaying and controlling the image of the Haube 2b on the display unit so that the current measurement position can be known.
[0048]
Next, a test method using the controller 21 will be described with reference to the flowchart of FIG.
[0049]
The housing 2b of the X-ray image tube 2 is set on the rotating mechanism 6 (step 1), the size (shape, type) of the X-ray image tube 2 to be tested is registered, and the test is started.
[0050]
When the test is started, first, the probe 7a of the secondary dosimeter 7 is moved to a position corresponding to the outer diameter position of the Haube 2b of the X-ray image tube 2 having the maximum size that can be tested, and the measurement is gradually started from here. The child 7a is moved so as to approach the Haube 2b (Step 2), and the detection sensor 20 detects the Haube 2b. Thereby, the consistency between the set size of the howe 2b and the registered size is confirmed (step 3). Further, the collision between the measuring element 7a and the Haube 2b is prevented, and at the same time, the first measurement point is made constant for each size of the Haube 2b.
[0051]
When the size of the Haube 2b is confirmed, X-rays are output from the X-ray tube 1 (step 4), and the primary dose input to the input surface 2a of the X-ray image tube 2 is measured by the primary dosimeter 4. .
[0052]
The primary feedback fed back to the controller 21 under the condition that the voltage applied between the anode and cathode of the X-ray tube 1 is constant so that the primary dose value measured by the primary dosimeter 4 becomes a preset value. Based on the dose value, the primary dose value is adjusted by adjusting the current value between the anode and the cathode (steps 5 and 6).
[0053]
When the size check of the Haube 2b and the adjustment of the primary dose value are completed, the X-ray image tube 2 and the secondary dosimeter 7 are moved by the rotating mechanism 6, the secondary dosimeter moving mechanism 8 and the slide mechanism 13 of the moving means 19. First, the probe 7a is moved to the first measurement point of the Haube 2b (Step 7), and the secondary dose leaking out of the Haube 2b is measured (Step 8). Note that since the Haube 2b has an irregular shape, the measuring element 7a is moved not only in the vertical and horizontal directions of the Haube 2b but also in the inclination direction of the Haube 2b.
[0054]
During measurement, the image of the Haube 2b is displayed on a display unit such as a monitor (not shown) in the controller 21, and is displayed and controlled so that the current measurement position can be known.
[0055]
Then, it is determined whether the secondary dose value measured by the secondary dosimeter 7 exceeds the specified value (step 9). If the measured value is within the specified value, the moving element 19 moves the probe 7a next to the Haube 2b. Move to the measurement point (steps 10 and 11) and measure the secondary dose in the same way.
[0056]
In this way, if the secondary dose value measured by the secondary dosimeter 7 is within the specified value, the measuring element 7a is sequentially moved to the next measurement point of the Haube 2b to measure the secondary dose, and the Haube 2b The measurement is completed for all the measurement points. In this case, since the secondary dose values at all measurement points of the Haube 2b are within the specified values, the X-ray image tube 2 on which the test has been performed is determined to be non-defective.
[0057]
In addition, during the measurement of the secondary dose, if the secondary dose value measured by the secondary dosimeter 7 exceeds the specified value, the measurement including the moving means 19 is stopped and the housing image displayed on the display unit of the controller 21 is displayed. Indicate the leak location on the image of 2b.
[0058]
For this reason, the operator can check the leakage location by looking at the display section of the controller 21, so that the X-ray image tube 2 in the same lot as the X-ray image tube 2 having the abnormality is leaked in advance. It becomes easy to take countermeasures against leakage abnormalities, such as testing after checking the state of the part corresponding to the part, and unnecessary yield reduction can be prevented.
[0059]
The secondary dosimeter 7 is composed of a combination of a pair of measuring elements 7a for measuring the secondary dose and a measuring device (not shown) that calculates the secondary dose from the measurement values measured by these measuring elements 7a. The measured value is calibrated in the state.
[0060]
In this calibration, as shown in Fig. 2, the calibration range is determined with the upper limit of the measurement range as the upper limit of the calibration range (adjustment range), and the number of calibration points for ensuring linearity within this calibration range is determined. , I am requesting calibration from the Japan Radiation Association (JQA).
[0061]
The upper limit of the measurement range is a prescribed value of 0.2 mR / min for determining the secondary dose measured by the secondary dosimeter 7, as shown in FIG. Therefore, if the error between the measuring element of the secondary dosimeter 7 and the measuring instrument is about ± 10% with respect to the calibration range, the measurement error in the calibration range A with the upper limit of 0.2 mR / min of the specified value is ± 0. .02mR / min.
[0062]
In the determination of the secondary dose measured by the secondary dosimeter 7, the measurement accuracy and linearity of the secondary dose within the specified value are important, and the measurement accuracy and linearity exceeding the specified value can be ignored.
[0063]
Therefore, when the linearity is calculated in the calibration range B up to 2.0 mR / min, which is the maximum output of the X-ray tube 1 as in the past, the measurement error becomes as large as ± 0.2 mR / min, and the leakage test Compared to the low accuracy, the error in the required range up to 0.2 mR / min of the standard value necessary for the determination of the secondary dose is as small as ± 0.02 mR / min, and high accuracy is obtained. Tests can be performed with high accuracy.
[0064]
Note that the secondary dose value can be obtained for the measurement result of 0.2 mR / min or more if the measurement result is slightly corrected.
[0065]
As described above, when the secondary dose measured by the secondary dosimeter 7 exceeds a specified value, the leakage location can be identified by stopping the measurement. For example, the X-ray image tube 2 having an abnormality is detected. The X-ray image tube 2 in the same lot can be taken with measures such as examining the state of the part corresponding to the leaked part in advance and testing it. Can be prevented.
[0066]
Furthermore, the primary dose input to the X-ray image tube 2 can be kept constant every time the X-ray image tube 2 is tested, and the test can be performed under stable conditions at all times.
[0067]
Furthermore, by setting the upper limit of the calibration range of the secondary dosimeter 7 as a specified value for determining the secondary dose measured by the secondary dosimeter 7, for example, calibration up to the maximum output of the X-ray tube 1 is supported. Compared with the case where the relationship is made constant, errors in the necessary range up to the specified value actually required for the determination of the secondary dose are small, and high accuracy can be obtained, and the test can be performed with high accuracy.
[0068]
Furthermore, since the specified value is 0.2 mR / min, it is possible to meet the standard regarding the secondary dose leaking from the X-ray image tube 2.
[0069]
Further, as shown in FIG. 6, the measuring element 7 a of the secondary dosimeter 7 includes, in addition to the detection sensor 20, a moving destination sensor that detects an obstacle of a moving destination relative to the measuring element 7 a on the Hove 2 b. 22. Protection sensors 23 and 24 for detecting obstacles above and below the probe 7a may be attached. Thereby, for example, even if the input type of the Haube 2b of the X-ray image tube 2 is missed, the Haube 2b of the X-ray image tube 2 and the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 are moved when measuring the secondary dose. At this time, it is possible to prevent the Haube 2b of the X-ray image tube 2 and the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 from interfering with each other.
[0070]
Further, in the test method described above, the size of the X-ray image tube 2 to be tested is registered before measuring the secondary dose. The X-ray image tube 2 and the secondary dose are optimally determined according to the automatically determined shape of the X-ray image tube 2 when measuring the secondary dose automatically by measuring the shape of the X-ray image tube 2 automatically. Another test method for measuring the secondary dose while moving the total 7 relative to each other can also be adopted.
[0071]
In the case of this other test method, an X-ray image tube is provided by a detection sensor 20 for detecting the distance between the Haube 2b and the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7, and a moving means 19 for moving the detection sensor 20. The shape measuring means 25 for measuring the shape of 2 is configured, and the controller 21 has the function of the shape determining means for determining the shape of the X-ray image tube 2 measured by the shape measuring means 25, and the shape measuring means 25 According to the measured shape of the X-ray image tube 2, it has a function of movement control means for controlling the movement means 19 when measuring the secondary dose.
[0072]
Then, another test method by the controller 21 will be described with reference to the flowcharts of FIGS. 7 to 9 and the explanatory diagrams of FIGS.
[0073]
After the Haube 2b of the X-ray image tube 2 is set on the rotating mechanism 6, the test is started. When the test is started, first, the height of the Haube 2b is measured. That is, as shown in the flowchart of FIG. 7 and the explanatory diagram of FIG. 10, the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 is moved downward by the measuring element rotating mechanism 17 (step 21, operation a in FIG. 10). Then, the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 is moved to the center position of the upper surface of the Haube 2b of the X-ray image tube 2 by the horizontal moving mechanism 16 of the secondary dosimeter moving mechanism 8 (step b, operation b in FIG. 10). Subsequently, the probe 7a of the secondary dosimeter 7 is lowered by the vertical movement mechanism 15 of the secondary dosimeter moving mechanism 8 (step 23, operation c in FIG. 10), and the detection sensor 20 detects the Haube 2b ( Step 24), the descent of the probe 7a of the secondary dosimeter 7 is stopped (Step 25).
[0074]
When the probe 7a of the secondary dosimeter 7 is stopped, the height of the Haube 2b is measured based on the distance from the origin of the vertical movement mechanism 15 of the secondary dosimeter moving mechanism 8 to the position where the Haube 2b is detected. At this time, it is determined whether the stop position of the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 has reached a predetermined movement lower limit position (step 26). For example, when the Haube 2b is not attached, the movement lower limit position is set. If it has reached, it is processed as a Haube height error (step 27).
[0075]
If the height of the Haube 2b can be measured normally, the current position of the probe 7a of the secondary dosimeter 7, that is, the height of the Haube 2b is stored in the storage unit of the controller 21 (step 28), and the secondary dosimeter is moved. The vertical movement mechanism 15 and the horizontal movement mechanism 16 of the mechanism 8 are returned to the origin, and the probe rotating mechanism 17 is returned to the origin (step 29).
[0076]
Next, the outer diameter of the Haube 2b is measured. That is, as shown in the flowchart of FIG. 8 and the explanatory diagram of FIG. 11, the probe 7a of the secondary dosimeter 7 is lowered to the lowest position by the vertical movement mechanism 15 of the secondary dosimeter moving mechanism 8 (step 30, 31, operation d) of FIG. 11, and subsequently, the probe 7 a of the secondary dosimeter 7 is advanced toward the peripheral surface of the Haube 2 b of the X-ray image tube 2 by the horizontal moving mechanism 16 of the secondary dosimeter moving mechanism 8. When the detection sensor 20 detects the Haube 2b (Step 33), the movement of the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 is stopped (Step 34).
[0077]
When the probe 7a of the secondary dosimeter 7 is stopped, the outer diameter of the Haube 2b is measured by the distance from the origin of the horizontal moving mechanism 16 of the secondary dosimeter moving mechanism 8 to the position where the Haube 2b is detected. At this time, it is determined whether the stop position of the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 has reached a predetermined movement advance position (step 35). For example, when the Haube 2b is not attached, the movement advance position is set. If it has reached, it is processed as a Haube outer diameter error (step 36).
[0078]
If the outer diameter of the Haube 2b can be measured normally, the current position of the probe 7a of the secondary dosimeter 7, that is, the outer diameter of the Haube 2b is stored in the storage unit of the controller 21 (step 37), and the secondary dosimeter is moved. The vertical movement mechanism 15 and horizontal movement mechanism 16 of the mechanism 8 are returned to the origin (step 38).
[0079]
When the outer diameter of the Haube 2b can be measured, as shown in FIGS. 12 and 13, the rotation angle of the Haube 2b at the time of measuring the secondary dose is calculated from the outer diameter D of the Haube 2b. The measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 has an effective measurement area A, and the current effective measurement area A rotates the Haube 2b at a rotation angle θ overlapping with the previous effective measurement area A1. Since the rotation angle θ is set within a certain range in accordance with the outer diameter dimension D of the Haube 2b, the outer diameter of the Haube 2b is, for example, 45 ° when the outer diameter D of the Haube 2b is 200 mm. Calculation is made with values up to the dimension D and registered in the storage unit of the controller 21.
[0080]
Further, based on the measured approximate dimensions of the Haube 2b, the amount of movement of the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 in the vertical and forward / backward directions is similarly calculated. As a result, the approximate dimensions of the Haube 2b and the operation data at the start of measurement are determined.
[0081]
Next, the secondary dose is measured. That is, as shown in the flowchart of FIG. 9, the X-ray image tube 2 and the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7 are relatively moved by the rotating mechanism 6 of the moving means 19, the secondary dosimeter moving mechanism 8 and the slide mechanism 13. First, the probe 7a is moved to the first measurement point of the Haube 2b (Step 39), and the secondary dose leaking out of the Haube 2b is measured (Step 40).
[0082]
During measurement, the image of the Haube 2b is displayed on a display unit such as a monitor (not shown) in the controller 21, and is displayed and controlled so that the current measurement position can be known.
[0083]
Then, it is determined whether or not the secondary dose value measured by the probe 7a of the secondary dosimeter 7 exceeds a predetermined specified value (step 41). Is moved to the next measuring point of Haube 2b (steps 42 and 43).
[0084]
If the secondary dose measured by the probe 7a of the secondary dosimeter 7 exceeds the specified value during the measurement of the secondary dose, the measurement including the moving means 19 is stopped and the controller 21 displays The leaked part is displayed on the image of the Haube 2b reflected in the section.
[0085]
In addition, when the measuring element 7a is moved to the next measurement point of the Haube 2b by the moving means 19, the distance between the measuring element 7a and the Haube 2b is determined by the detection of the detection sensor 20 of the measuring element 7a of the secondary dosimeter 7. If it is confirmed that the value is kept within the prescribed value (step 44), the secondary dose is similarly measured, and if the distance reaches the prescribed value, the measurement including the moving means 19 is performed. Is stopped and an error is displayed and notified.
[0086]
Further, while the probe 7a is moving, obstacles are confirmed by the movement destination sensor 22 and the protection sensors 23 and 24 of the probe 7a to prevent the probe 7a and the Haube 2b from interfering with each other.
[0087]
As shown in FIG. 14, the shape of the Haube 2b is roughly divided into four types, for example. For this reason, even if the detection result of the detection sensor 20 changes or the movement destination sensor 22 and the protection sensors 23 and 24 work during measurement of the secondary dose, it is not necessarily abnormal. Therefore, by registering the dimension data of all types of the Haube 2b to be measured in advance in the controller 21, the detailed shape of the Haube 2b is measured while being measured by the detection sensor 20, the destination sensor 22, and the protection sensors 23, 24. Can be handled while grasping each time.
[0088]
As described above, before measuring the secondary dose, the shape of the Haube 2b of the X-ray image tube 2 is automatically determined by automatically measuring the shape of the Haube 2b of the X-ray image tube 2, and when measuring the secondary dose, the shape of the Haube 2b of the X-ray image tube 2 is measured. Accordingly, it becomes possible to measure the secondary dose while relatively moving the Haube 2b of the X-ray image tube 2 and the probe 7a of the secondary dosimeter 7, and the Haube 2b of the X-ray image tube 2 can be measured. This eliminates the need to input various types of products, and prevents measurement errors due to input errors and interference between the Haube 2b of the X-ray image tube 2 and the probe 7a of the secondary dosimeter 7, and from the Haube 2b of the X-ray image tube 2. The leaked secondary dose can be accurately tested.
[0089]
【The invention's effect】
According to the present invention, when the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value, the measurement can be stopped by specifying the leakage location. Improvements can be made.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart illustrating an X-ray image tube test method and a test apparatus according to an embodiment of the present invention and illustrating the test method.
FIG. 2 is a flowchart for explaining the calibration method.
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the calibration range of the X-ray dosimeter and the error.
FIG. 4 is a configuration diagram of the test apparatus.
FIG. 5 is a perspective view of the test apparatus.
FIG. 6 is a perspective view of an X-ray dosimeter showing another embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a flowchart for explaining a test method according to still another embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a flowchart following FIG. 7;
FIG. 9 is a flowchart following FIG. 8;
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the measurement of the height of the X-ray image tube.
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the measurement of the outer diameter of the X-ray image tube of the same.
FIG. 12 is an explanatory view for explaining the outer diameter of the X-ray image tube of the same.
FIGS. 13A and 13B are explanatory diagrams for explaining a rotation angle at the time of measurement of the X-ray image tube.
FIG. 14 is a side view showing the shape of the X-ray image tube in (a), (b), (c) and (d).
FIG. 15 is an explanatory diagram for explaining a test standard for a conventional X-ray image tube;
FIG. 16 is a perspective view of a conventional test apparatus.
17A and 17B show a display format of a conventional test result, FIG. 17A is an explanatory diagram showing a measurement result of the upper surface of the X-ray image tube, and FIG. 17B is an explanatory diagram showing a measurement result of the side surface of the X-ray image tube; is there.
FIG. 18 is a flowchart illustrating a conventional calibration method.
[Explanation of symbols]
1 X-ray tube as an X-ray source
2 X-ray image tube
4 Input side X-ray dosimeter
7 X-ray dosimeter
19 Transportation
21 Controller as stopping means, X-ray output control means and movement control means
25 Shape measuring means

Claims

Ｘ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させ、Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量をＸ線線量計で測定する工程と、
Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、測定を停止する工程と
を具備していることを特徴とするＸ線イメージ管の試験方法。Relatively moving the X-ray image tube and the X-ray dosimeter and measuring the X-ray dose leaking from the X-ray image tube with the X-ray dosimeter;
And a step of stopping the measurement when the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value.

Ｘ線線量の測定前にＸ線イメージ管の形状を測定し、
測定されたＸ線イメージ管の形状に応じて、Ｘ線線量の測定時にＸ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させる
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線イメージ管の試験方法。Measure the shape of the X-ray image tube before measuring the X-ray dose,
2. The X-ray image tube according to claim 1, wherein the X-ray image tube and the X-ray dosimeter are relatively moved when measuring the X-ray dose in accordance with the measured shape of the X-ray image tube. Test method.

Ｘ線発生源から出力されるＸ線をＸ線イメージ管に入力する工程と、
Ｘ線発生源からＸ線イメージ管に入力されるＸ線線量を測定する工程と、
Ｘ線イメージ管の試験毎に、Ｘ線発生源からＸ線イメージ管に入力されるＸ線線量の測定に基づいてＸ線発生源の出力を制御する工程と
を具備していることを特徴とする請求項１または２記載のＸ線イメージ管の試験方法。Inputting X-rays output from an X-ray generation source into an X-ray image tube;
Measuring the X-ray dose input from the X-ray source to the X-ray image tube;
And a step of controlling the output of the X-ray generation source based on the measurement of the X-ray dose input to the X-ray image tube from the X-ray generation source for each test of the X-ray image tube. The test method for an X-ray image tube according to claim 1 or 2.

Ｘ線線量計に入力されるＸ線線量とＸ線線量計で測定されたＸ線線量との対応関係を一定に調整する調整範囲の上限を、Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量の判定を行なう規定値とした
ことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載のＸ線イメージ管の試験方法。The upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter is set to the upper limit of the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter. 4. The test method for an X-ray image tube according to claim 1, wherein the specified value is used for determination.

規定値は０．２mR/minである
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれか記載のＸ線イメージ管の試験方法。5. The test method for an X-ray image tube according to claim 1, wherein the specified value is 0.2 mR / min.

Ｘ線イメージ管から漏洩するＸ線線量を測定するＸ線線量計と、
前記Ｘ線イメージ管とＸ線線量計とを相対的に移動させる移動手段と、
前記Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量が規定値を越えたとき、前記移動手段を停止させる停止手段と
を具備していることを特徴とするＸ線イメージ管の試験装置。An X-ray dosimeter that measures the X-ray dose leaking from the X-ray image tube;
Moving means for relatively moving the X-ray image tube and the X-ray dosimeter;
An apparatus for testing an X-ray image tube, comprising: stopping means for stopping the moving means when an X-ray dose measured by the X-ray dosimeter exceeds a specified value.

Ｘ線イメージ管の形状を測定する形状測定手段と、
この形状測定手段で測定されたＸ線イメージ管の形状に応じて、Ｘ線線量の測定時に移動手段を制御する移動制御手段と
を具備していることを特徴とする請求項６記載のＸ線イメージ管の試験装置。A shape measuring means for measuring the shape of the X-ray image tube;
7. The X-ray according to claim 6, further comprising movement control means for controlling the moving means when measuring the X-ray dose according to the shape of the X-ray image tube measured by the shape measuring means. Image tube testing equipment.

Ｘ線を出力するＸ線発生源と、
このＸ線発生源からＸ線イメージ管に入力されるＸ線線量を測定する入力側Ｘ線線量計と、
前記Ｘ線イメージ管の試験毎に、前記入力側Ｘ線線量計で測定されたＸ線線量に基づいてＸ線発生源の出力を制御するＸ線出力制御手段と
を具備していることを特徴とする請求項６または７記載のＸ線イメージ管の試験装置。An X-ray source that outputs X-rays;
An input side X-ray dosimeter for measuring an X-ray dose input from the X-ray generation source to the X-ray image tube;
X-ray output control means for controlling the output of the X-ray generation source based on the X-ray dose measured by the input-side X-ray dosimeter for each test of the X-ray image tube. 8. An apparatus for testing an X-ray image tube according to claim 6 or 7.

Ｘ線線量計は、このＸ線線量計に入力されるＸ線線量とＸ線線量計で測定されたＸ線線量との対応関係を一定に調整する調整範囲の上限を、Ｘ線線量計で測定された二次線量の判定を行なう規定値として調整されている
ことを特徴とする請求項６ないし８いずれか記載のＸ線イメージ管の試験装置。The X-ray dosimeter uses the X-ray dosimeter to set the upper limit of the adjustment range for adjusting the correspondence between the X-ray dose input to the X-ray dosimeter and the X-ray dose measured by the X-ray dosimeter to a constant level. 9. The apparatus for testing an X-ray image tube according to claim 6, wherein the apparatus is adjusted as a prescribed value for determining the measured secondary dose.

規定値は０．２mR/minである
ことを特徴とする請求項６ないし９いずれか記載のＸ線イメージ管の試験装置。10. The apparatus for testing an X-ray image tube according to claim 6, wherein the specified value is 0.2 mR / min.