JP4222218B2 - ノズルプレート、ノズルプレート製造方法、及びインクジェットヘッド製造方法 - Google Patents
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Description
2 アクチュエータユニット
9 ノズルプレート
10 インク吐出孔
11 圧力室
19 インク流路
21、22 圧電シート
24 個別電極
25 共通電極
91 基板
92 撥水層
101 インクジェットヘッド
Claims (11)
- 複数のプレートが積層された積層構造を有するとともに、被印刷媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記積層構造を構成しインクを吐出するためのインク吐出孔が形成されているプレートであるノズルプレートの製造方法であって、
前記ノズルプレートにインクが吐出される前記インク吐出孔を形成する孔空け工程と、
前記孔空け工程により形成された前記インク吐出孔が開口するインク吐出面において、少なくとも前記インク吐出孔の開口部周辺領域をアモルファス化するアモルファス化工程とを備えていることを特徴とするノズルプレート製造方法。 - 前記アモルファス化工程において、前記インク吐出面の全てをアモルファス化することを特徴とする請求項1に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記アモルファス化工程において、前記インク吐出面における前記インク吐出孔の外周領域のみをアモルファス化することを特徴とする請求項1に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記アモルファス化工程において、前記インク吐出孔の内壁面の少なくとも一部をさらにアモルファス化することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のノズルプレート製造方法。
- 前記アモルファス化工程において、電子ビーム又はレーザービームを照射することにより前記インク吐出面をアモルファス化することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のノズルプレート製造方法。
- 複数のプレートが積層された積層構造を有するとともに、被印刷媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記積層構造を構成しインクを吐出するためのインク吐出孔が形成されているプレートであるノズルプレートであって、
前記インク吐出孔が開口するインク吐出面において、少なくとも前記インク吐出孔の開口部周辺領域がアモルファス化していることを特徴とするノズルプレート。 - 前記ノズルプレートの厚さ方向に、前記ノズルプレートの母材自体がアモルファス化して形成されたアモルファス層と、前記ノズルプレートの母材とが積層された2層構造を有していることを特徴とする請求項6に記載のノズルプレート。
- 複数のプレートが積層された積層構造を有するとともに、被印刷媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
ノズルプレートにインクが吐出されるインク吐出孔を形成する孔空け工程と、
前記孔空け工程で形成された前記インク吐出孔が開口するインク吐出面において、少なくとも前記インク吐出孔の開口部周辺領域をアモルファス化するアモルファス化工程と、
前記インク吐出孔の開口部を介して外部に連通する圧力室を含み、インクが供給されるインク供給口から前記インク吐出孔の開口部に至る複数のインク流路を内部に有するように、前記ノズルプレート及び複数の金属プレートを積層して流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。 - 複数のプレートが積層された積層構造を有するとともに、被印刷媒体にインクを吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
ノズルプレートにインクが吐出されるインク吐出孔を形成する孔空け工程と、
前記インク吐出孔の開口部を介して外部に連通する圧力室を含み、インクが供給されるインク供給口から前記インク吐出孔の開口部に至る複数のインク流路を内部に有するように、前記ノズルプレート及び複数の金属プレートを積層して流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
前記流路ユニット形成工程により形成された前記流路ユニットの前記インク吐出孔が開口するインク吐出面において、少なくとも前記インク吐出孔の開口部周辺領域をアモルファス化するアモルファス化工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。 - 前記流路ユニット形成工程が、
前記複数の金属プレートを積層して積層構造体を形成する積層構造体形成工程と、
前記積層構造体形成工程で形成された前記積層構造体及び前記ノズルプレートを積層する積層工程とを備えていることを特徴とする請求項8又は9に記載のインクジェットヘッド製造方法。 - 前記圧力室に対向する位置に配置される個別電極、前記圧力室に跨るように形成された共通電極、及び圧電シートを、前記個別電極及び前記共通電極で前記圧電シートを挟持するように積層してアクチュエータユニットを形成する形成アクチュエータユニット形成工程と、
前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットとを、前記圧力室に前記個別電極が対向するように位置合わせして接合する接合工程とをさらに備えていることを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載のインクジェットヘッド製造方法。
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