JP4219191B2 - Table positioning device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基準平面上において移動テーブルを二方向、例えば、X軸およびY軸方向の目標位置に位置決め可能なテーブル位置決め装置に関するものである。更に詳しくは、偏心回転カムを利用して、簡単な構成により、二方向、例えばX軸およびY軸方向の位置決めを行うことのできる廉価なテーブル位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
テーブル位置決め装置としては、偏心回転カムを利用したアクチュエータにより、移動テーブルを基準平面上においてX軸およびY軸方向に移動させると共に回転させることのできる構成のものが提案されている(特許文献)。このテーブル位置決め装置では、移動テーブルをX軸方向に移動させるための2つのアクチュエータとY軸方向に移動させるための1つのアクチュエータとを備えている。また、移動テーブルと各アクチュエータの偏心回転カムの外周面とを常に当接状態を保持するために、各アクチュエータに移動テーブルを押し付ける3つのプリロード機構を備えている。
【0003】
【特許文献】
特開2001−116868号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、基準平面上において移動テーブルを回転させて位置決めを行う必要のないテーブル位置決め装置を提案することにある。
【0005】
すなわち、移動テーブルをX軸およびY軸方向に並進させて、移動テーブルをX軸およびY軸方向の目標位置に位置決めするテーブル位置決め装置を提案することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明のテーブル位置決め装置は、
基準平面上を、第1の方向および当該第1の方向とは異なる第2の方向に移動可能な移動テーブルと、
前記移動テーブルを前記第1の方向に移動させる第1のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルを前記第2の方向に移動させる第2のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルに対して前記第1および第2の方向に与圧を与えている一台のプリロード機構と、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、
前記テーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記第1および第2のテーブル移動機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする駆動制御手段とを有し、
前記移動テーブルは、前記第1のテーブル移動機構による推力が作用する前記第2の方向に平行な第1の推力作用面と、前記第2のテーブル移動機構による推力が作用する前記第1の方向に平行な第2の推力作用面と、前記プリロード機構による与圧が作用する与圧作用面とを備え、
前記基準平面に垂直な方向から見た場合に、前記第1および第2の推力作用面と前記与圧作用面のそれぞれを含む3つの平面によって三角形が形成されるように、これら第1および第2の推力作用面と与圧作用面が形成されており、
各テーブル移動機構は、各推力作用面に円形外周面が当接している偏心回転カムを備えていることを特徴としている。
【0007】
ここで、前記テーブル位置検出手段は、前記移動テーブルの前記第1の方向の位置を検出する第1の位置センサと、前記移動テーブルの前記第2の方向の位置を検出する第2の位置センサとを備えていることを特徴としている。
【0008】
本発明による典型的なテーブル位置決め装置は、
基準平面上を直交するX軸およびY軸方向に移動可能な移動テーブルと、
前記移動テーブルをX軸方向に移動させる第1のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルをY軸方向に移動させる第2のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルに対して前記X軸および前記Y軸の方向に与圧を与えている一台のプリロード機構と、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、
前記テーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記第1および第2のテーブル移動機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする駆動制御手段とを有し、
前記移動テーブルは、前記第1のテーブル移動機構による推力が作用するY軸に平行な第1の推力作用面と、前記第2のテーブル移動機構による推力が作用するX軸に平行な第2の推力作用面と、前記プリロード機構による与圧が作用する与圧作用面とを備え、
前記基準平面に垂直な方向から見た場合に、前記第1および第2の推力作用面と前記与圧作用面のそれぞれを含む3つの平面によって三角形が形成されるように、これら第1および第2の推力作用面と与圧作用面が形成されており、
各テーブル移動機構は、各推力作用面に円形外周面が当接している偏心回転カムを備えていることを特徴としている。
【0009】
この場合、前記テーブル位置検出手段は、前記移動テーブルのX軸方向の位置を検出する第1の位置センサと、前記移動テーブルのY軸方向の位置を検出する第2の位置センサとを備えた構成とすればよい。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、図面を参照して、本発明を適用したテーブル位置決め装置の実施の形態を説明する。
【0011】
図1は、本実施の形態に係るテーブル位置決め装置を示す概略構成図である。テーブル位置決め装置1は、基準固定テーブル2と、この基準固定テーブル2の表面によって規定されている基準平面3と、この基準平面3上を移動自在の状態で支持されている移動テーブル4とを有している。また、移動テーブル4を基準平面3上においてX軸およびY軸方向に並進させるための2組のテーブル移動機構5および6と、移動テーブル4の位置を検出するための2組のテーブル位置センサ7および8とを有している。さらに、移動テーブル4に対してX軸およびY軸方向の与圧を付与するための1組のプリロード機構9を有している。さらには、テーブル位置センサ7および8の検出結果に基づき、ドライバ11および12を介して各テーブル移動機構5および6を駆動制御して、移動テーブル4を外部指令によって指示される目標位置となるように位置決めする駆動制御装置13を有している。
【0012】
移動テーブル4は、テーブル移動機構5による推力が作用する推力作用面41と、テーブル移動機構6による推力が作用する推力作用面42と、プリロード機構9による与圧力が作用する与圧力作用面43とを備えている。これらの推力作用面41、42および与圧力作用面43は基準平面3に垂直な面とされている。
【0013】
また、移動テーブル4の輪郭形状は、正方形の板の一つの角に面取りを施した形状となっており、推力作用面41はY軸方向に平行な面であり、推力作用面42はX軸方向に平行な面であり、与圧力作用面43はX軸およびY軸に対して45度傾斜した傾斜面である。従って、基準平面3に垂直な方向から見た場合に、推力作用面41、42および与圧力作用面43をそれぞれ含む3つの平面は、図において想像線で示すように直角二等辺三角形を描く。勿論、テーブル形状としては別の形状のものを用いることもでき、与圧作用面も45度以外の角の傾斜面とすることも可能ある。いずれの場合においても、推力作用面41、42および与圧作用面43をそれぞれ含む3つの平面が三角形を描くことができればよい。
【0014】
本例のテーブル位置センサ7および8は、これら推力作用面41および42の位置、例えば、各推力作用面に直交する方向の位置を検出するためのものである。本例では、テーブル位置センサ7は移動テーブル4のX軸方向の位置を検出するためのものであり、テーブル位置センサ8は移動テーブル4のY軸方向の位置を検出するためのものである。勿論、X、Y軸方向以外の方向の位置を検出するようにしてもよい。
【0015】
次に、図2(a)および(b)はテーブル移動機構5を示す平面図および側面図である。テーブル移動機構6も同一構成であるので、その説明は省略する。テーブル移動機構5は、サーボモータ51と、その出力側に連結されている減速機52と、減速機出力軸53に偏心状態で固定されている偏心回転カム54を備えている。偏心回転カム54は、一定厚さの円盤であり、その円形外周面54aが移動テーブル4の推力作用面41に当接しており、当該推力作用面41に平行な偏心回転軸線(減速機出力軸53の軸線53a)を中心として偏心回転する。
【0016】
偏心回転カム54を回転させると、その回転角度に応じて、円形外周面54aと移動テーブル4との接触点55がY軸方向に向けて所定のストロークで往復直線運動する。図2(c)には、偏心回転カム54の回転角度に対する接触点55の移動軌跡を示してある。この図に示すように、接触点55は正弦波状の軌跡を描く。
【0017】
次に、プリロード機構9は、ばね部材あるいは油圧シリンダを用いて構成することができる。プリロード機構9による与圧力は、移動テーブル4の与圧力作用面43に直交する方向に作用する。従って、移動テーブル4をテーブル移動機構5の偏心回転カム54の円形外周面54aに押し付ける与圧分力と、移動テーブル4をテーブル移動機構6の偏心回転カム54の円形外周面54aに押し付ける与圧分力が発生する。この結果、移動テーブル4の推力作用面41、42は、テーブル移動機構5、6の各偏心回転カム54の円形外周面54aにそれぞれ当接した状態に保持される。
【0018】
また、プリロード機構9の与圧力作用面はローラなどによって形成されており、移動テーブル4の与圧力作用面43に沿って実質的に摩擦抵抗がない状態で摺動可能となっている。
【0019】
このように構成した本例のテーブル位置決め装置1では、その駆動制御装置13のROM等に格納されている制御プログラムに従って、各テーブル位置センサ7、8から得られる位置情報に基づき、移動テーブル4のX軸およびY軸方向の位置決めを行う。
【0020】
すなわち、外部から移動テーブル4を所定の目標位置に位置決めさせるための指令が入力されると、移動テーブル4が固定基準テーブル2に対してアンクランプ状態とされ、各テーブル移動機構5、6によって基準平面3上を移動可能になる。
【0021】
この後は、2組のテーブル移動機構5、6を駆動して、移動テーブル4をX軸およびY軸方向に並進させる。移動テーブル4の推力作用面41、42はプリロード機構9によって、常に、テーブル移動機構5、6の偏心回転カム54の円形外周面54aに押付けられているので、各偏心回転カム54の回転量を制御することにより、移動テーブル4を外部から設定されるX軸およびY軸方向の目標位置に移動させることができる。
【0022】
テーブル位置センサ7、8によって移動テーブル4がX軸およびY軸方向の目標位置に到ったことが検出されると、各テーブル移動機構5、6の駆動を止めて、移動テーブル4を固定基準テーブル2に不図示のクランプ機構によりクランプする。これにより、移動テーブル4の位置決め動作が完了する。
【0023】
なお、本例では、移動テーブル4を直交するX軸およびY軸方向に移動させるようにしているが、同一平面上における異なる二方向に移動テーブル4を移動させるように構成できることは勿論である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のテーブル位置決め装置は、移動テーブルを第1の方向、例えばX軸方向に移動する偏心回転カムを備えた第1のテーブル移動機構と、移動テーブルを第2の方向、例えばY軸方向に移動する偏心回転カムを備えた第2のテーブル移動機構と、移動テーブルに与圧力を加えている1台のプリロード機構とを有している。また、第1のテーブル移動機構による推力が作用する第1の推力作用面と、第2のテーブル移動機構による推力が作用する第2の推力作用面と、プリロード機構による与圧力が作用する与圧力作用面のそれぞれを含む平面が、基準平面に垂直な方向から見た場合に、三角形を描くように、各推力作用面および与圧力作用面を移動テーブルに形成してある。
【0025】
従って、本発明によれば、移動テーブルの移動方向である第1および第2の方向(例えば、X軸およびY軸)に対応した2組のテーブル移動機構と、1台のプリロード機構とにより、移動テーブルを第1および第2の方向に並進させて各方向の位置決めを行うことのできる小型・コンパクトで廉価なテーブル位置決め装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したテーブル位置決め装置の概略全体構成図である。
【図2】図1のテーブル位置決め装置のテーブル移動機構を示す平面図、側面図および偏心回転カムの円形外周面と移動テーブルの推力作用面との接触点の移動軌跡を示すグラフである。
【符号の説明】
1 テーブル位置決め装置
2 固定基準テーブル
3 基準平面
4 移動テーブル
41、42 推力作用面
43 与圧力作用面
5、6 テーブル移動機構
51 サーボモータ
52 減速機
53 減速機出力軸
53a 偏心回転軸線
54 偏心回転カム
54a 円形外周面
55 接触点
7、8 テーブル位置センサ
9 プリロード機構
11、12 ドライバ
13 駆動制御装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a table positioning apparatus capable of positioning a moving table on a reference plane at target positions in two directions , for example, the X-axis and Y-axis directions. More specifically, the present invention relates to an inexpensive table positioning apparatus that can perform positioning in two directions, for example, the X-axis and Y-axis directions, with a simple configuration using an eccentric rotating cam.
[0002]
[Prior art]
As a table positioning device, a configuration has been proposed in which a moving table can be moved and rotated in the X-axis and Y-axis directions on a reference plane by an actuator using an eccentric rotating cam (Patent Document). This table positioning apparatus includes two actuators for moving the moving table in the X-axis direction and one actuator for moving in the Y-axis direction. Further, in order to always maintain the contact state between the moving table and the outer peripheral surface of the eccentric rotating cam of each actuator, three preload mechanisms for pressing the moving table against each actuator are provided.
[0003]
[Patent Literature]
Japanese Patent Laid-Open No. 2001-116868
[Problems to be solved by the invention]
An object of the present invention is to propose a table positioning device that does not require positioning by rotating a moving table on a reference plane.
[0005]
That is, it is to propose a table positioning device that translates a moving table in the X-axis and Y-axis directions and positions the moving table at target positions in the X-axis and Y-axis directions.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the table positioning device of the present invention is:
A movable table movable on a reference plane in a first direction and a second direction different from the first direction;
A first table moving mechanism for moving the moving table in the first direction;
A second table moving mechanism for moving the moving table in the second direction;
A preload mechanism that applies pressure in the first and second directions to the moving table;
Table position detecting means for detecting the position of the moving table;
Drive control means for driving and controlling the first and second table moving mechanisms based on the detection result of the table position detecting means to position the moving table at a target position;
The moving table has a first thrust acting surface parallel to the second direction in which the thrust by the first table moving mechanism acts, and the first direction in which the thrust by the second table moving mechanism acts. A second thrust acting surface parallel to the pressure acting surface, and a pressure acting surface on which the preload mechanism applies pressure,
When viewed from a direction perpendicular to the reference plane, a triangle is formed by three planes including each of the first and second thrust acting surfaces and the pressurizing acting surface. 2 thrust acting surface and pressure acting surface are formed,
Each table moving mechanism includes an eccentric rotating cam having a circular outer peripheral surface in contact with each thrust acting surface.
[0007]
Here, the table position detecting means includes a first position sensor that detects a position of the moving table in the first direction, and a second position sensor that detects a position of the moving table in the second direction. It is characterized by having.
[0008]
An exemplary table positioning device according to the present invention comprises:
A movable table movable in the X-axis and Y-axis directions orthogonal to each other on a reference plane;
A first table moving mechanism for moving the moving table in the X-axis direction;
A second table moving mechanism for moving the moving table in the Y-axis direction;
A preload mechanism that applies pressure to the moving table in the X-axis and Y-axis directions;
Table position detecting means for detecting the position of the moving table;
Drive control means for driving and controlling the first and second table moving mechanisms based on the detection result of the table position detecting means to position the moving table at a target position;
The moving table includes a first thrust acting surface parallel to the Y axis on which the thrust by the first table moving mechanism acts, and a second parallel to the X axis on which the thrust by the second table moving mechanism acts. A thrust acting surface, and a pressure acting surface on which a pressure by the preload mechanism acts,
When viewed from a direction perpendicular to the reference plane, a triangle is formed by three planes including each of the first and second thrust acting surfaces and the pressurizing acting surface. 2 thrust acting surface and pressure acting surface are formed,
Each table moving mechanism includes an eccentric rotating cam having a circular outer peripheral surface in contact with each thrust acting surface.
[0009]
In this case, the table position detecting means includes a first position sensor that detects a position of the moving table in the X-axis direction, and a second position sensor that detects a position of the moving table in the Y-axis direction. What is necessary is just composition.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a table positioning device to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.
[0011]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a table positioning device according to the present embodiment. The table positioning device 1 has a reference fixed table 2, a reference plane 3 defined by the surface of the reference fixed table 2, and a moving table 4 that is supported so as to be movable on the reference plane 3. is doing. Also, two sets of table moving mechanisms 5 and 6 for translating the moving table 4 in the X-axis and Y-axis directions on the reference plane 3 and two sets of table position sensors 7 for detecting the position of the moving table 4. And 8. Furthermore, it has a set of preload mechanisms 9 for applying pressure in the X-axis and Y-axis directions to the moving table 4. Further, based on the detection results of the table position sensors 7 and 8, the table moving mechanisms 5 and 6 are driven and controlled via the
[0012]
The moving table 4 includes a
[0013]
Further, the outline shape of the moving table 4 is a shape obtained by chamfering one corner of a square plate, the
[0014]
The table position sensors 7 and 8 of this example are for detecting the positions of the
[0015]
Next, FIGS. 2A and 2B are a plan view and a side view showing the table moving mechanism 5. Since the table moving mechanism 6 has the same configuration, its description is omitted. The table moving mechanism 5 includes a
[0016]
When the eccentric rotating
[0017]
Next, the preload mechanism 9 can be configured using a spring member or a hydraulic cylinder. The pressure applied by the preload mechanism 9 acts in a direction perpendicular to the
[0018]
Further, the pressure application surface of the preload mechanism 9 is formed by a roller or the like, and is slidable along the
[0019]
In the table positioning device 1 of this example configured as described above, the moving table 4 is controlled based on the position information obtained from the table position sensors 7 and 8 according to the control program stored in the ROM or the like of the
[0020]
That is, when a command for positioning the moving table 4 at a predetermined target position is input from the outside, the moving table 4 is brought into an unclamped state with respect to the fixed reference table 2, and the table moving mechanisms 5 and 6 perform the reference. It can move on the plane 3.
[0021]
Thereafter, the two table moving mechanisms 5 and 6 are driven to translate the moving table 4 in the X-axis and Y-axis directions. Since the
[0022]
When it is detected by the table position sensors 7 and 8 that the moving table 4 has reached the target positions in the X-axis and Y-axis directions, the driving of the table moving mechanisms 5 and 6 is stopped and the moving table 4 is fixed as a reference. The table 2 is clamped by a clamping mechanism (not shown). Thereby, the positioning operation of the moving table 4 is completed.
[0023]
In this example, the moving table 4 is moved in the X-axis and Y-axis directions orthogonal to each other, but it is needless to say that the moving table 4 can be moved in two different directions on the same plane.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, the table positioning device of the present invention includes the first table moving mechanism including the eccentric rotating cam that moves the moving table in the first direction, for example, the X-axis direction, and the moving table in the second direction. For example, it has the 2nd table moving mechanism provided with the eccentric rotation cam which moves to a Y-axis direction, and the one preload mechanism which is applying the pressurization pressure to a moving table. In addition, a first thrust acting surface on which a thrust by the first table moving mechanism acts, a second thrust acting surface on which a thrust by the second table moving mechanism acts, and a pressurizing force by which a preload mechanism acts Each thrust acting surface and pressure acting surface are formed on the moving table so that a plane including each of the acting surfaces is drawn in a triangle when viewed from a direction perpendicular to the reference plane.
[0025]
Therefore, according to the present invention, the two table moving mechanisms corresponding to the first and second directions (for example, the X axis and the Y axis) that are the moving directions of the moving table, and one preload mechanism, A small, compact, and inexpensive table positioning apparatus that can translate the moving table in the first and second directions and perform positioning in each direction can be realized.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic overall configuration diagram of a table positioning apparatus to which the present invention is applied.
2 is a plan view, a side view, and a graph showing a movement locus of a contact point between a circular outer peripheral surface of an eccentric rotating cam and a thrust acting surface of a moving table; FIG.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (4)
前記移動テーブルを前記第1の方向に移動させる第1のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルを前記第2の方向に移動させる第2のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルに対して前記第1および第2の方向に与圧を与えている一台のプリロード機構と、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、
前記テーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記第1および第2のテーブル移動機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする駆動制御手段とを有し、
前記移動テーブルは、前記第1のテーブル移動機構による推力が作用する前記第2の方向に平行な第1の推力作用面と、前記第2のテーブル移動機構による推力が作用する前記第1の方向に平行な第2の推力作用面と、前記プリロード機構による与圧が作用する与圧作用面とを備え、
前記基準平面に垂直な方向から見た場合に、前記第1および第2の推力作用面と前記与圧作用面のそれぞれを含む3つの平面によって三角形が形成されるように、これら第1および第2の推力作用面と与圧作用面が形成されており、
各テーブル移動機構は、各推力作用面に円形外周面が当接している偏心回転カムを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。A movable table movable on a reference plane in a first direction and a second direction different from the first direction;
A first table moving mechanism for moving the moving table in the first direction;
A second table moving mechanism for moving the moving table in the second direction;
A preload mechanism that applies pressure in the first and second directions to the moving table;
Table position detecting means for detecting the position of the moving table;
Drive control means for driving and controlling the first and second table moving mechanisms based on the detection result of the table position detecting means to position the moving table at a target position;
The moving table has a first thrust acting surface parallel to the second direction in which the thrust by the first table moving mechanism acts, and the first direction in which the thrust by the second table moving mechanism acts. A second thrust acting surface parallel to the pressure acting surface, and a pressure acting surface on which the preload mechanism applies pressure,
When viewed from a direction perpendicular to the reference plane, a triangle is formed by three planes including each of the first and second thrust acting surfaces and the pressurizing acting surface. 2 thrust acting surface and pressure acting surface are formed,
Each table moving mechanism is provided with an eccentric rotation cam in which a circular outer peripheral surface is in contact with each thrust acting surface.
前記テーブル位置検出手段は、前記移動テーブルの前記第1の方向の位置を検出する第1の位置センサと、前記移動テーブルの前記第2の方向の位置を検出する第2の位置センサとを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。In claim 1,
The table position detecting means includes a first position sensor that detects a position of the moving table in the first direction, and a second position sensor that detects a position of the moving table in the second direction. A table positioning device.
前記移動テーブルをX軸方向に移動させる第1のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルをY軸方向に移動させる第2のテーブル移動機構と、
前記移動テーブルに対して前記X軸および前記Y軸の方向に与圧を与えている一台のプリロード機構と、
前記移動テーブルの位置を検出するテーブル位置検出手段と、
前記テーブル位置検出手段の検出結果に基づき、前記第1および第2のテーブル移動機構を駆動制御して前記移動テーブルを目標位置に位置決めする駆動制御手段とを有し、
前記移動テーブルは、前記第1のテーブル移動機構による推力が作用するY軸に平行な第1の推力作用面と、前記第2のテーブル移動機構による推力が作用するX軸に平行な第2の推力作用面と、前記プリロード機構による与圧が作用する与圧作用面とを備え、
前記基準平面に垂直な方向から見た場合に、前記第1および第2の推力作用面と前記与圧作用面のそれぞれを含む3つの平面によって三角形が形成されるように、これら第1および第2の推力作用面と与圧作用面が形成されており、
各テーブル移動機構は、各推力作用面に円形外周面が当接している偏心回転カムを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。A moving table movable in the X-axis and Y-axis directions on the reference plane;
A first table moving mechanism for moving the moving table in the X-axis direction;
A second table moving mechanism for moving the moving table in the Y-axis direction;
A preload mechanism that applies pressure to the moving table in the X-axis and Y-axis directions;
Table position detecting means for detecting the position of the moving table;
Drive control means for driving and controlling the first and second table moving mechanisms based on the detection result of the table position detecting means to position the moving table at a target position;
The moving table includes a first thrust acting surface parallel to the Y axis on which the thrust by the first table moving mechanism acts, and a second parallel to the X axis on which the thrust by the second table moving mechanism acts. A thrust acting surface, and a pressure acting surface on which a pressure by the preload mechanism acts,
When viewed from a direction perpendicular to the reference plane, a triangle is formed by three planes including each of the first and second thrust acting surfaces and the pressurizing acting surface. 2 thrust acting surface and pressure acting surface are formed,
Each table moving mechanism is provided with an eccentric rotation cam in which a circular outer peripheral surface is in contact with each thrust acting surface.
前記テーブル位置検出手段は、前記移動テーブルのX軸方向の位置を検出する第1の位置センサと、前記移動テーブルのY軸方向の位置を検出する第2の位置センサとを備えていることを特徴とするテーブル位置決め装置。In claim 3,
The table position detecting means includes a first position sensor that detects a position of the moving table in the X-axis direction, and a second position sensor that detects a position of the moving table in the Y-axis direction. A table positioning device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003059984A JP4219191B2 (en) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | Table positioning device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003059984A JP4219191B2 (en) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | Table positioning device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004272443A JP2004272443A (en) | 2004-09-30 |
JP4219191B2 true JP4219191B2 (en) | 2009-02-04 |
Family
ID=33122659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003059984A Expired - Lifetime JP4219191B2 (en) | 2003-03-06 | 2003-03-06 | Table positioning device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4219191B2 (en) |
-
2003
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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