JP4209256B2 - 予圧装置及び多自由度超音波モータ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、位相が異なる交流電圧を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子と、負荷重量物が保持されて前記固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子とで、前記固有振動から任意の方向への前記回転駆動力を発生させるために前記固定子の上端面と前記回転子とを圧接するための予圧力を発生する予圧装置及びこの予圧装置を付設する多自由度超音波モータに係わる。
【0002】
【従来の技術】
近年、高トルク、高自由度を要求されるような部位に適用されるアクチュエータとして、省スペース、高トルクで静音性の高い多自由度超音波モータの適用が期待されている。
【0003】
例えば、人間型ロボットの間接機構、特に首の部分のように、多自由度に姿勢を変えることができるように重量物を鉛直に支える必要のある機構等へ、従来の一自由度回転式の電磁式サーボモータに代わって、多自由度超音波モータの適用が期待されている。
【0004】
ここで、多自由度超音波モータは、例えば、振動方向が異なる複数の圧電素子が積層された構成の固定子と、この固定子の上に密着された球状の回転子からなり、多自由度超音波モータの固定子の圧電素子に、周波数が等しく位相の異なる交流電流を印加すると圧電素子に固有振動が励振されて、それらの固有振動モードの組み合わせにより回転子が任意の方向に回転する。
【0005】
このように、固定子に密着した回転子を持つ多自由度超音波モータを駆動する場合に高い回転駆動力を得るためには、回転子が固定子から十分に強い垂直抗力を受けるような予圧機構が必要であり、逆に、多自由度超音波モータに対して適切な予圧が為されれば、回転子の静止時において特別な駆動制御を行うことなく大きな回転駆動力(高静止トルク)を得ることが可能になる。
【0006】
なお、上記多自由度超音波モータの詳細については、下記の非特許文献1及び2に記載されている。
【0007】
【非特許文献1】
前野隆司,竹村研治郎,小島信行、“縦振動と横振動の縮退に基づく多自由度超音波モータの開発”、日本ロボット学会誌、Vol16,No.8,pp.1115-1122,1998.
【非特許文献2】
ユン チョルホ,庭野慎一朗,James R. Friend,石井孝明,中村健太郎,上羽貞行、“3自由度超音波モータの球ロータ支持機構”、第23回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集、2002年11月.
【0008】
上記の非特許文献1及び2によれば、多自由度超音波モータにおいて、大きな高静止トルクを得るために、回転子の上に穴のあいた予圧材を配置し、それによって回転子に対して鉛直方向に力を与える方式(非特許文献1)や、固定子側に電磁石を配置し、電磁石から発生する吸引力によって回転子を引き付ける方式(非特許文献2)により固定子と回転子とを接触させる予圧が可能となる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来の多自由度超音波モータにおいて、固定子の上に予圧材を配置する予圧方法においては、回転子に機械的な負荷を接続した場合に、予圧材によって回転子の可動範囲が狭まってしまうという問題がある。また、回転子の可動範囲を広げるために予圧材の穴の直径を大きくすると、予圧材が回転子に与える摩擦力による抵抗トルクが大きくなってしまう。
【0010】
さらに、電磁石を利用する予圧方式においては、電磁石の距離による減衰の速さに起因する限界距離の問題や、高い予圧力を得るためには別途高いエネルギーの電力を要するという問題がある。
【0011】
加えて、多自由度超音波モータの回転子の上に負荷となる重量物が機械的に固定されている場合において、回転子の回転によって重量物の姿勢が傾斜したときには、傾斜方向への負荷トルクや、回転子に与えられる横力が起生し、そのために回転子から固定子に与えられる力の特性が複雑となり、それに伴い、駆動制御が難しくなるという問題がある。
【0012】
ここにおいて、本発明の解決すべき主要な目的は、次のとおりである。
【0013】
即ち、本発明の第1の目的は、予圧による回転子の可動範囲の縮小と、負荷トルクの起生を最小限に抑えることが可能な予圧装置及び多自由度超音波モータを提供せんとするものである。
【0014】
本発明の第2の目的は、回転子に固定された負荷重量物の存在による傾斜方向の負荷トルクを最大限補償することが可能な予圧装置及び多自由度超音波モータを提供せんとするものである。
【0015】
本発明の第3の目的は、予圧に電力のような外部エネルギーを必要とせずに高い予圧力を得ることが可能な予圧装置及び多自由度超音波モータを提供せんとするものである。
【0016】
本発明の第4の目的は、傾斜方向の負荷トルクの補償手段が占める空間を最小限にすることが可能な予圧装置及び多自由度超音波モータを提供せんとするものである。
【0017】
本発明の他の目的は、明細書、図面、特に特許請求の範囲の各請求項の記載から、自ずと明らかとなろう。
【0018】
【課題を解決するための手段】
まず、本発明予圧装置においては、固定子の上端面と回転子とに常時圧接習性を付勢する予圧力を発生する予圧力発生手段と、回転駆動に伴い負荷重量物が傾斜した際に当該傾斜方向に起生する負荷トルクを相殺する反負荷トルクを発生するカウンタウェイトと、予圧力発生手段により発生した予圧力と反負荷トルクとを回転子に伝達するとともに、回転子の傾斜をカウンタウェイトに伝達する予圧伝達手段と、を具備させる、という特徴的構成手段を講じる。
【0019】
一方、本発明モータにおいては、位相が異なる交流電圧を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子と、負荷重量物が保持されて固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子とで構成されて、固有振動から任意の方向への回転駆動力を発生させるために固定子の上端面と回転子とを圧接するための予圧力を発生する予圧装置が付設される多自由度超音波モータであって、上記本発明予圧装置を具備させる、という特徴的構成手段を講じる。
【0020】
さらに、具体的詳細に述べると、当該課題の解決では、本発明が次に列挙する上位概念から下位概念に亙る新規な特徴的構成手段を採用することにより、前記目的を達成するように為される。
【0021】
即ち、本発明予圧装置の第1の特徴は、位相が異なる交流電圧を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子と、負荷重量物が保持されて前記固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子とで構成される多自由度超音波モータに付設して、前記固有振動から任意の方向への前記回転駆動力を発生させるために前記固定子の上端面と前記回転子とを圧接するための予圧力を発生する予圧装置であって、前記回転子に立設されて前記負荷重量物を上端支持する回転シャフトと、前記固定子の上端面と前記回転子とに常時圧接習性を付勢する前記予圧力を発生する予圧力発生手段と、前記回転子の回転駆動から前記傾斜のみを分離抽出可能に前記回転シャフトに空転自在に取り付けられて、前記予圧発生手段の一端が外端縁部に張架される回転子側取付材と、前記回転子及び前記固定子とを中に間在して、当該回転子側取付材に相対向して自由回転自在に対峙しかつ前記予圧発生手段の他端が外端縁部に張架される固定子側取付材と、前記固定子を当該固定子の発生する前記固有振動の節となる位置で当該固定子を懸架支持する固定子固定材と、前記固定子固定材を自由回転自在に支えつつ前記固定子固定材と前記固定子側取付材とを接続するユニバーサルジョイントと、前記固定子側取付材の中央外底面かつ前記負荷重量物の重心と相対側位置に重量を設定自在に固定され、前記回転駆動に伴い前記負荷重量物が傾斜した際に当該傾斜方向に起生する負荷トルクを相殺する反負荷トルクを発生するカウンタウェイトと、を具備してなる、予圧装置の構成採用にある。
【0022】
本発明予圧装置の第2の特徴は、上記本発明予圧装置の第1の特徴における前記予圧装置が、さらに、前記回転子の回転駆動による回転角度を計測するエンコーダと、前記回転子側取付材と前記固定子側取付材のいずれか一方または両方に別途設置される光学式測距センサと前記光学式測距センサから発射された光線を反射する扇形面板を具備して、前記光学式測距センサの光線発射点と当該扇形面板上の反射点間の距離の値から前記回転子の回転駆動により前記負荷重量物に与える傾斜角度を計測する傾斜角度測定手段と、を具備してなる、予圧装置の構成採用にある。
【0023】
本発明予圧装置の第3の特徴は、上記本発明予圧装置の第1又は第2の特徴における前記回転子側取付材と前記固定子側取付材が、中立平衡時の前記回転子の回転中心を通る軸に対して直交水平方向に外延する放射羽根を形成する、予圧装置の構成採用にある。
【0024】
本発明予圧装置の第4の特徴は、上記本発明予圧装置の第3の特徴における前記回転子側取付材が、前記回転子側取付材の前記放射羽根の内、所定の当該放射羽根間に前記扇形面板を介設し、前記扇形面板は、前記回転子側取付材に別途設置された前記光学式測距センサから発射された光線を反射して、前記傾斜角度測定手段は、前記回転子の回転駆動により一体に前記負荷重量物及び前記回転子側取付材が傾斜した際の前記光学式測距センサの光線発射点と前記回転子側扇形面板上の反射点との間の距離と、中立平衡時の前記光学式測距センサの光線発射点と前記回転子側扇形面板上の反射点との間の距離の差から前記負荷重量物に与える傾斜角度を計測する、予圧装置の構成採用にある。
【0025】
本発明予圧装置の第5の特徴は、上記本発明予圧装置の第3又は4の特徴における前記固定子側取付材が、前記固定子側取付材の前記放射羽根の内、所定の当該放射羽根間に扇形面板を介設し、前記扇形面板が、前記回転子側取付材に別途設置された前記光学式測距センサから発射された光線を反射して、前記傾斜角度測定手段が、前記回転子の回転駆動により一体に前記負荷重量物及び前記固定子側取付材が傾斜した際の前記光学式測距センサの光線発射点と前記固定子側扇形面板上の反射点との間の距離と、中立平衡時の前記光学式測距センサの光線発射点と前記固定子側扇形面板上の反射点との間の距離の差から前記負荷重量物に与える傾斜角度を計測する、予圧装置の構成採用にある。
【0026】
本発明予圧装置の第6の特徴は、上記本発明予圧装置の第1から5のいずれかの特徴における前記予圧発生手段が、前記回転子側取付材と前記固定子側取付材とのそれぞれ相対応対向する外端縁部相互間に亙り、予め自然長以上に伸長された状態でその両端を止着張架することで、当該回転子側取付材と当該固定子側取付材とに常時圧接習性を弾性付勢し、前記固定子の上端面と前記回転子相互を圧接する方向に引張力を作用する弾性体である、予圧装置の構成採用にある。
【0027】
本発明予圧装置の第7の特徴は、上記本発明予圧装置の第6の特徴における前記弾性体が、それぞれ、弾性定数及び自然長が等しいものが張架されて、中立平衡時の前記回転子の回転中心を通る中心軸の平面同心円上に等間隔で複数囲繞配架されてなる、予圧装置の構成採用にある。
【0028】
本発明予圧装置の第8の特徴は、上記本発明予圧装置の第1から7のいずれかの特徴における前記回転子側取付材が、前記回転シャフトを貫着する軸受け内輪と、当該軸受け内輪に転動体群を介して取り付けられ、当該転動体群により、前記回転シャフトの回転動力が空転吸収されて、当該回転シャフトの傾斜のみを伝達される軸受け外輪と、を有して、当該軸受け外輪に取付けられた前記回転子側取付材は、当該軸受け外輪から前記回転シャフトの回転駆動の傾斜成分のみを抽出伝達されてなる、予圧装置の構成採用にある。
【0029】
本発明予圧装置の第9の特徴は、上記本発明予圧装置の第1から8のいずれかの特徴における前記エンコーダが、前記回転シャフトに中央を貫通固定され当該回転シャフトと一体化した環板状のエンコーダ内輪と、当該エンコーダ内輪の外周に相対回転自在に囲繞配置されて前記回転子側取付材に固定され、前記回転シャフトを介して前記回転子の回転駆動から軸傾斜動のみが抽出伝達される環板状のエンコーダ外輪と、を有してなる、予圧装置の構成採用にある。
【0030】
本発明予圧装置の第10の特徴は、上記本発明予圧装置の第9の特徴における前記エンコーダ内輪と前記エンコーダ外輪が、前記回転子の回転駆動により発生する前記回転シャフトの傾斜に連動して共に一体に傾斜をする一方、前記回転シャフトを軸とする回転が伝達される前記エンコーダ内輪と、当該回転シャフトの軸回転を空転吸収する前記エンコーダ外輪と、の相対的な回転角度の差から、前記回転シャフトを通して前記回転子の回転角度を計測可能に形成されてなる、予圧装置の構成採用にある。
【0038】
一方、本発明モータの第1の特徴は、位相が異なる交流電圧を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子と、負荷重量物が保持されて前記固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子とで構成されて、前記固有振動から任意の方向への前記回転駆動力を発生させるために前記固定子の上端面と前記回転子とを圧接するための予圧力を発生する予圧装置が付設される多自由度超音波モータであって、前記予圧装置が、前記本発明予圧装置の第1から10のいずれかの特徴における予圧装置である、多自由度超音波モータの構成採用にある。
【0041】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態につき、形態例1及び形態例2を、添付図面を参照しつつ、本発明を圧電素子を積層させた固定子及び球形状の回転子に適用した場合を例に挙げて順次詳細に説明する。
【0042】
(形態例1)
まず、図1は、本発明の一実施形態例に係る予圧装置が適用された多自由度超音波モータの側面断面図であり、負荷重量物3及び回転シャフト7が中立平衡状態にあるものを示す。図1における多自由度超音波モータαは、予圧装置についてのみ断面にて示すものである。
【0043】
同図に示すように、本形態例1に係る多自由度超音波モータαは、例えば、位相が異なる交流電流を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子1と、負荷重量物3が保持されて固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子2とで構成されて、固有振動から任意の方向へ十分な回転駆動力を発生させるために固定子1の上端面と回転子2とを圧接するために、予圧力を発生する予圧装置が付設される。またここで、固定子1から回転子2への回転及び傾斜方向への拘束はないものとする。
【0044】
ここで、予圧装置は、固定子1から回転子2へ垂直抗力を効果的かつ最大限に予圧力を発生するために、固定子1の上端面との予圧発生手段4と、回転子2の回転駆動に伴い負荷重量物3が傾斜した際にこの傾斜方向に起生する負荷トルクを相殺する反負荷トルクを発生するカウンタウェイト5と、予圧力発生手段により発生した予圧力と反負荷トルクとを回転子2に伝達するとともに、回転子2の傾斜をカウンタウェイト5に伝達する予圧伝達手段と、を具備する。
【0045】
また、さらに本形態例1においては、例えば回転子2の回転駆動による回転角度を計測可能なエンコーダを具備させても構わない。
【0046】
予圧伝達手段は、回転子2に発生した回転駆動力を負荷重量物3に伝達するとともに、予圧発生手段4により発生した予圧力を回転子2に伝達する、回転子2に立設されて負荷重量物3を上端支持する、回転シャフト7を具備して、回転シャフト7は回転子2の回転駆動に伴い回転シャフト7を軸として回転及び傾斜する。
【0047】
さらに、予圧伝達手段として、回転子2の回転駆動から傾斜のみを分離抽出可能に回転シャフト7に空転自在に取り付けられて、予圧発生手段4の一端が外端縁部に張架される回転子側取付材8と、回転子2と固定子1とを中に間在して、回転子側取付材8に相対向して自由回転自在に対峙しかつ予圧発生手段4の他端が外端縁部に張架される固定子側取付材9とを具備する。
【0048】
一方、予圧発生手段4は、回転子側取付材8と固定子側取付材9とのそれぞれ相対向する外端縁部相互間に亙り、予め自然長以上に伸長された状態でその両端を止着張架することで、回転子側取付材8と固定子側取付材9とに常時圧接習性を弾性付勢して、固定子1の上端面と回転子2を圧接する方向に引張力を作用する、例えば、それぞれ弾性定数及び自然長が等しい複数のゴム等の弾性体4である。
【0049】
他方、カウンタウェイト5は、回転シャフト7の傾斜に一体動する負荷重量物3に追従連動して傾斜し、負荷重量物3の傾斜にの伴って起生する負荷トルクと釣り合うこの負荷トルクを相殺する反負荷トルクが発生するように、固定子側取付材9の中央凹陥部外底面の、負荷重量物3の重心と相対側位置に、その重量を設定自在に固定される。
【0050】
また、回転子側取付材8は、回転シャフト7を軸受け支承する軸受けを介して空転自在に接続されて、軸受けは、例えば、回転シャフト7を貫着する軸受け内輪10aと、軸受け内輪10aに転動体10b群を介して取り付けられ、転動体10b群の空転作用によって、回転体2の回転駆動により発生して軸受け内輪10aに伝達された回転シャフト7を軸とする回転動力が空転吸収されて、回転シャフト7の傾斜のみを伝達される軸受け外輪10cと、を有する。
【0051】
したがって、軸受け外輪10cに取り付けられた回転子側取付材8は、回転子2の回転駆動により発生する回転シャフト7の軸回転成分が伝達されずに、軸受け外輪10cから回転子2が発生する回転駆動の傾斜成分のみを抽出伝達されることとなる。
【0052】
ここで、例えば、回転子2及び回転シャフト7と一体に設置された軸受け内輪固定部10dによって、軸受け内輪10aを下側から支持して固定し、また、回転子側取付材8により、軸受け外輪10cを上側から押さえ込むことで軸受け全体が載置されてもよく、回転シャフト7の傾斜のみを回転子側取付材8に伝達可能であれば構わない。
【0053】
さらに、予圧伝達手段は、固定子1を、その発生する固有振動の節となるような振動の影響の少ない位置で、例えば固定子1を構成する圧電素子等の間に天部中央に積層重合して、固定子1を懸架支持した多自由度超音波モータαを所要位置に懸架可能なフレーム構造を成す固定子固定材11を具備して、多自由動超音波モータαは、この固定子固定材11を介して高トルクを必要とする所望の部位に適用可能に設置される。
【0054】
また、ここで、回転子側取付材8の回転シャフト7から伝達された傾斜がそのまま固定子側取付材9に伝達可能な程度に弾性体4の弾性定数が十分大きなものを採用した場合に、この固定子側取付材9は、例えば、固定子固定材11外底面中央に突設されたユニバーサルジョイント取付シャフト13等を用いて、全方向に自由に回動自在なユニバーサルジョイント12を介して中央凹陥部で固定子定在11を自由回転自在に下支えし、途中、弾性体4を介して回転子側取付材8から伝達された回転シャフト7の傾斜動に、ユニバーサルジョイント12を傾斜の回転中心として回転子側取付材8に相平行して追従傾斜動自在に形成するよう構成される。
【0055】
即ち、ユニバーサルジョイント12が接続された固定子側取付材9に設置されたカウンタウェイト5は、負荷重量物3の傾斜に相対向するものであるから、負荷重量物3が傾斜した際に起生する傾斜方向の負荷トルクと釣り合い相殺する反負荷トルクを発生することとなる。これにより、多自由度超音波モータαにおいて、回転子2に発生する、回転シャフト7の傾斜方向における回転抵抗が大幅に軽減されるものとなるとともに、カウンタウェイト5の運動を最小領域の空間にて行うことで、多自由度超音波モータαの運動を妨げないようにすることが可能となる。
【0056】
さらに、固定子側取付材9は、弾性体4下端の取付端点として、ユニバーサルジョイント12の回転中心の水平面Aの同心円上外端縁部に固定子側弾性体取付端点14を有して、同様に、弾性体4上端の取付端点として、回転子側取付材8において、回転子2の回転中心水面Bの同心円上外端縁部に回転子側弾性体取付端点17を有すると好適である。
【0057】
続いて、エンコーダは、回転シャフト7に中央を貫通固定されるとともに回転シャフト7と一体化した環板状のエンコーダ内輪6aと、エンコーダ内輪6aの外周に相対回転自在に囲繞配置されて回転子側取付材8に固定されて、回転シャフト7を介して回転子2の回転駆動から軸傾斜動のみが抽出伝達される環状のエンコーダ外輪6bと、を有する。
【0058】
このように構成されたエンコーダのエンコーダ内輪6aとエンコーダ外輪6bは、回転子2の回転駆動により発生する回転シャフト7の傾斜に連動して共に一体に傾斜をする一方、回転シャフト7を軸とする回転が伝達されるエンコーダ内輪6aと、回転シャフト7の軸回転を空転吸収する回転子側取付材8に固定されたエンコーダ外輪6bとの相対的な回転角度の差から、回転シャフト7を通して回転子2の回転角度を計測可能に構築されて、多自由度超音波モータαの回転子2は、回転シャフト7を軸とする回転方向の回転について何ら制限無く可動することが可能なものである。
【0059】
なお、本形態例は図1において、予圧発生手段4は2つの弾性体4を示すものであるが、後述する形態例2の図2又は図3に示すとおり、複数の弾性体4を有した弾性体4群からなるものでも当然構わず、回転子2の回転中心を中心として複数、等距離、等間隔に囲繞配置させてもよく、このとき、回転子側取付材8及び固定子側取付材9は、同じく回転子2の回転中心を中心とする放射羽根として複数配置されるものであっても構わない。
【0060】
(形態例2)
次に、図2は本実施形態例に係る傾斜角度の測定手段を適用された多自由度超音波モータの底面図であり、固定子側取付端点9の外端縁部に接続された固定子側弾性体取付端点14のみ透過させて示している。なお、本実施形態例の多自由度超音波モータα´の構成要素の内、図1に示した多自由超音波モータαと同一又は同等の構成要素につき同一の符号を当てるものとし、当該要素の詳細な説明については省略するものとする。
【0061】
また、固定子側弾性体取付端点14に一端が張架される弾性体4は、固定子側弾性体取付端点14の配置と同様に、それぞれ弾性定数及び自然長が等しいものを、中立平衡時の回転子2の回転中心を通る中心軸の平面同心円C上に等間隔で複数囲繞張架されるものである。
【0062】
同図に示すように、本形態例2に係る多自由度超音波モータα´は、先に示した形態例1の自由度超音波モータαに、中立平衡時の回転子2の回転中心を通る軸に対して直交水平方向に外延する、例えば、それぞれ複数の放射羽根を形成されて、固定子側取付材9の各放射羽根の内、所定の放射羽根間に、固定子側扇形面板16を介設した点のみが異なるものである。
【0063】
ここで、固定子側扇形面板16は、多自由度超音波モータα´下側の固定子側取付材9側に別途設置された光学式測距センサ17a,17bから発射された光線を反射して、回転子2が回転駆動により一体に負荷重量物3及び固定子側取付材9が傾斜した際には、光学式測距センサ17a,17bの光線発射点18a,18bと、固定子側扇形面板16上の反射点(図示せず)との間の距離の値は、中立平衡時との値とは差が生じるものであるから、回転子2の回転駆動により負荷重量物3に与える傾斜角度を計測することが可能なものである。
【0064】
2台の光学式測距センサ17a,17bは、例えば、それぞれ鉛直方向に発射する光線の光線発射点18a,18b相互の位置関係と、光学式測距センサ17a,17bのそれぞれにて測定される固定子側扇形面板16までの距離の値とから、負荷重量物3の傾斜角度を計算することが可能となる。
【0065】
なお、光学式測距センサ17a,17bは2台以上設置されて、2方向以上の方向から測定しても構わず、また、固定子側扇形面板16についても、適宜固定子側取付材9の各放射梁に複数架設された扇板に限らず、平面同心円Cに亙って架設された円板であっても構わない。このように設置された光学式測距センサ17a,17b,・・・によれば、温度上昇や複数の放射羽根の各強度の微妙な違い、及び、複数備えた弾性体4により固定子側扇形面板16のそれぞれ異なるたわみが発生した際にも対応して、より正確な測定を可能とする。
【0066】
図3は、本実施形態例に係る傾斜角度の測定手段を適用された多自由度超音波モータの上面図であり、回転子側取付端点8の外端縁部に接続された固定子側弾性体取付端点15のみ透過させて示すものであり、図2に示した自由度超音波モータα´の固定子側扇形面板16に代えて、複数の放射羽根として形成された回転子側取付材8の各放射羽根の間に、回転子側扇形面板19を介設した点のみが異なるものである。
【0067】
この場合においても、同図に示すように、多自由度超音波モータα´上側の回転子側取付材8側に別途設置された光学式測距センサ17c,17dから発射された光線を反射する回転子側扇形面板19を具備して、光学式測距センサ17c,17dの光線発射点18c,18dと固定子側扇形面板19上の反射点間の距離の値から、回転子2の回転駆動により負荷重量物3に与える傾斜角度を計測することが可能なものである。
【0068】
なお、本形態例における固定子側扇形面板16、回転子側扇形面板19は、多自由度超音波モータα´において、それぞれ一方のみ具備されるものでも、または、その両方を具備するものであっても構わない。
【0069】
以上、本発明の形態につき、本発明を圧電素子が積層されて固有振動を励振する固定子1を有する多自由度超音波モータα,α´に適用した場合を例に挙げて説明したが、本発明は、必ずしも上述した手段にのみ限定されるものではなく、後述する効果を有する範囲内において、適宜、変更実施することが可能なものである。
【0070】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、多自由度超音波モータに支持される負荷重量物が傾斜した際に、カウンタウェイトが固定子の可動範囲を妨げずに負荷重量物と連動して相対向して傾斜することにより、予圧による回転子の可動範囲を縮小せずに、負荷トルクの起生を最小限に抑えることが可能となるとともに、カウンタウェイトが、負荷重量物の傾斜方向に追従して傾斜することで、この傾斜方向の負荷トルクを最大限補償して、回転子に与える回転抵抗を大幅に軽減することが可能となる。
【0071】
また、固定子の上端面に回転子を圧接させる予圧力を発生させる際に、予圧発生手段、例えば、弾性体による圧接習性を弾性付勢するものであるから、外部から電力のような外部エネルギーを必要とせずに、高い予圧力を発生させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態例に係る予圧装置が適用された多自由度超音波モータの側面断面図である。
【図2】同上した多自由度超音波モータの底面図である。
【図3】同上した多自由度超音波モータの上面図である。
【符号の説明】
α,α´…多自由度超音波モータ
1…固定子
2…回転子
3…負荷重量物
4…予圧発生手段(弾性体)
5…カウンタウェイト
6a…エンコーダ内輪
6b…エンコーダ外輪
7…回転シャフト
8…回転子側取付材
9…固定子側取付材
10a…軸受け内輪
10b…転動体
10c…軸受け外輪
11…固定子固定材
12…ユニバーサルジョイント
13…ユニバーサルジョイント取付シャフト
14…固定子側弾性体取付材
15…回転子側弾性体取付材
16…固定子側扇形面板
17a,17b,17c,17d…光学式測距センサ
18a,18b,18c,18d…光線発射点
19…回転子側扇形面板
A…ユニバーサルジョイント回転中心水平面
B…回転子回転中心水平面
C…平面同心円
Claims (11)
- 位相が異なる交流電圧を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子と、負荷重量物が保持されて前記固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子とで構成される多自由度超音波モータに付設して、前記固有振動から任意の方向への前記回転駆動力を発生させるために前記固定子の上端面と前記回転子とを圧接するための予圧力を発生する予圧装置であって、
前記回転子に立設されて前記負荷重量物を上端支持する回転シャフトと、
前記固定子の上端面と前記回転子とに常時圧接習性を付勢する前記予圧力を発生する予圧力発生手段と、
前記回転子の回転駆動から前記傾斜のみを分離抽出可能に前記回転シャフトに空転自在に取り付けられて、前記予圧発生手段の一端が外端縁部に張架される回転子側取付材と、
前記回転子及び前記固定子とを中に間在して、当該回転子側取付材に相対向して自由回転自在に対峙しかつ前記予圧発生手段の他端が外端縁部に張架される固定子側取付材と、
前記固定子を当該固定子の発生する前記固有振動の節となる位置で当該固定子を懸架支持する固定子固定材と、
前記固定子固定材を自由回転自在に支えつつ前記固定子固定材と前記固定子側取付材とを接続するユニバーサルジョイントと、
前記固定子側取付材の中央外底面かつ前記負荷重量物の重心と相対側位置に重量を設定自在に固定され、前記回転駆動に伴い前記負荷重量物が傾斜した際に当該傾斜方向に起生する負荷トルクを相殺する反負荷トルクを発生するカウンタウェイトと、を具備する、
ことを特徴とする予圧装置。 - 前記予圧装置は、
さらに、前記回転子の回転駆動による回転角度を計測するエンコーダと、
前記回転子側取付材と前記固定子側取付材のいずれか一方または両方に別途設置される光学式測距センサと前記光学式測距センサから発射された光線を反射する扇形面板を具備して、前記光学式測距センサの光線発射点と当該扇形面板上の反射点間の距離の値から前記回転子の回転駆動により前記負荷重量物に与える傾斜角度を計測する傾斜角度測定手段と、を具備する、
ことを特徴とする請求項1に記載の予圧装置。 - 前記回転子側取付材と前記固定子側取付材は、
中立平衡時の前記回転子の回転中心を通る軸に対して直交水平方向に外延する放射羽根を形成する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の予圧装置。 - 前記回転子側取付材は、
前記回転子側取付材の前記放射羽根の内、所定の当該放射羽根間に前記扇形面板を介設し、
前記扇形面板は、前記回転子側取付材に別途設置された前記光学式測距センサから発射された光線を反射して、
前記傾斜角度測定手段は、前記回転子の回転駆動により一体に前記負荷重量物及び前記回転子側取付材が傾斜した際の前記光学式測距センサの光線発射点と前記回転子側扇形面板上の反射点との間の距離と、中立平衡時の前記光学式測距センサの光線発射点と前記回転子側扇形面板上の反射点との間の距離の差から前記負荷重量物に与える傾斜角度を計測する、
ことを特徴とする請求項3に記載の予圧装置。 - 前記固定子側取付材は、前記固定子側取付材の前記放射羽根の内、所定の当該放射羽根間に扇形面板を介設し、
前記扇形面板は、前記回転子側取付材に別途設置された前記光学式測距センサから発射された光線を反射して、
前記傾斜角度測定手段は、前記回転子の回転駆動により一体に前記負荷重量物及び前記固定子側取付材が傾斜した際の前記光学式測距センサの光線発射点と前記固定子側扇形面板上の反射点との間の距離と、中立平衡時の前記光学式測距センサの光線発射点と前記固定子側扇形面板上の反射点との間の距離の差から前記負荷重量物に与える傾斜角度を計測する、
ことを特徴とする請求項3又は4に記載の予圧装置。 - 前記予圧発生手段は、
前記回転子側取付材と前記固定子側取付材とのそれぞれ相対応対向する外端縁部相互間に亙り、予め自然長以上に伸長された状態でその両端を止着張架することで、当該回転子側取付材と当該固定子側取付材とに常時圧接習性を弾性付勢し、前記固定子の上端面と前記回転子相互を圧接する方向に引張力を作用する弾性体である、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の予圧装置。 - 前記弾性体は、
それぞれ、弾性定数及び自然長が等しいものが張架されて、
中立平衡時の前記回転子の回転中心を通る中心軸の平面同心円上に等間隔で複数囲繞配架される、
ことを特徴とする請求項6に記載の予圧装置。 - 前記回転子側取付材は、
前記回転シャフトを貫着する軸受け内輪と、
当該軸受け内輪に転動体群を介して取り付けられ、当該転動体群により、前記回転シャフトの回転動力が空転吸収されて、当該回転シャフトの傾斜のみを伝達される軸受け外輪と、を有して、
当該軸受け外輪に取付けられた前記回転子側取付材は、
当該軸受け外輪から前記回転シャフトの回転駆動の傾斜成分のみを抽出伝達される、
ことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の予圧装置。 - 前記エンコーダは、
前記回転シャフトに中央を貫通固定され当該回転シャフトと一体化した環板状のエンコーダ内輪と、
当該エンコーダ内輪の外周に相対回転自在に囲繞配置されて前記回転子側取付材に固定され、前記回転シャフトを介して前記回転子の回転駆動から軸傾斜動のみが抽出伝達される環板状のエンコーダ外輪と、を有する、
ことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の予圧装置。 - 前記エンコーダ内輪と前記エンコーダ外輪は、
前記回転子の回転駆動により発生する前記回転シャフトの傾斜に連動して共に一体に傾斜をする一方、前記回転シャフトを軸とする回転が伝達される前記エンコーダ内輪と、当該回転シャフトの軸回転を空転吸収する前記エンコーダ外輪と、の相対的な回転角度の差から、前記回転シャフトを通して前記回転子の回転角度を計測可能に形成される、
ことを特徴とする請求項9に記載の予圧装置。 - 位相が異なる交流電圧を印加すると固有振動数の等しい複数の固有振動を励振する固定子と、負荷重量物が保持されて前記固有振動によって任意の方向に回転駆動される回転子とで構成されて、前記固有振動から任意の方向への前記回転駆動力を発生させるために前記固定子の上端面と前記回転子とを圧接するための予圧力を発生する予圧装置が付設される多自由度超音波モータであって、
前記予圧装置は、
請求項1から10のいずれかに記載の予圧装置である、
ことを特徴とする多自由度超音波モータ。
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