JP4191657B2 - Viscous fluid application method - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a viscous fluid application method which enables a control of an amount of a viscous fluid to be applied with a high precision even with a long distance between a cartridge and a part to which the fluid is applied. <P>SOLUTION: To begin application of a viscous fluid to a matter to which the fluid is applied, a supply cock 341 is opened to begin (t=t<SB>0</SB>) the supply of the viscous fluid by a supply unit 102 and then a discharge shaft 320 is rotated to begin (t=t<SB>1</SB>) the application of the viscous fluid by an application unit 101. To terminate application of the viscous fluid to the subject matter, the supply cock 341 is closed to terminate (t=t<SB>2</SB>) the supply of the viscous fluid by the supply unit 102 and then the rotation of the discharge shaft 320 is stopped to terminate (t=t<SB>3</SB>) the application of the viscous fluid by the application unit 101. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&amp;NCIPI

Description

本発明は、粘性流体塗布装置の塗布方法に関し、特に半導体パッケージの製造工程で用いられる粘性流体塗布装置の塗布方法に関するものである。   The present invention relates to a coating method for a viscous fluid coating apparatus, and more particularly to a coating method for a viscous fluid coating apparatus used in a manufacturing process of a semiconductor package.

高速半導体装置において、ダイオード、トランジスタ、ＩＣ（集積回路）およびＬＳＩ（高集積回路）等の半導体チップと、半導体チップが搭載される基板に形成された電子回路との電気的な接続にはフリップチップ技術が用いられる。フリップチップ技術を用いて形成された半導体パッケージの構造としては、カバーが取り付けられるタイプと、カバーが取り付けられないタイプがある。カバーが取り付けられるタイプは、多くの熱量を発生させる高周波用の半導体チップを内蔵する半導体パッケージに適用され、カバーが取り付けられないタイプは、比較的に発生する熱量が少ない低周波用の半導体チップを内蔵する半導体パッケージに適用される。   In a high-speed semiconductor device, flip chip is used for electrical connection between a semiconductor chip such as a diode, transistor, IC (integrated circuit) and LSI (high integrated circuit) and an electronic circuit formed on a substrate on which the semiconductor chip is mounted. Technology is used. As a structure of a semiconductor package formed by using the flip chip technique, there are a type in which a cover is attached and a type in which a cover is not attached. The type to which the cover is attached is applied to a semiconductor package containing a high-frequency semiconductor chip that generates a large amount of heat. The type to which the cover is not attached is a low-frequency semiconductor chip that generates a relatively small amount of heat. Applies to built-in semiconductor packages.

図１３は、半導体パッケージの構造を示す断面図である。
半導体パッケージは、カバーが取り付けられるタイプの半導体パッケージであり、基板９００と、回路面が基板９００と対向するように基板９００に設置された半導体チップ９１０と、基板９００と半導体チップ９１０とを接着し、電気的に接続する電極バンプ９２０と、基板９００と半導体チップ９１０との間に充填されたアンダーフィル接着剤９３０と、半導体チップ９１０を覆うように基板９００に設置されたカバー９４０と、半導体チップ９１０で発生した熱をカバー９４０に逃がすフラックス９５０と、基板９００とカバー９４０とを接着するシリコン樹脂およびエポキシ樹脂等の封止剤９６０とから構成される。 FIG. 13 is a cross-sectional view showing the structure of the semiconductor package.
The semiconductor package is a type of semiconductor package to which a cover is attached. The substrate 900, the semiconductor chip 910 installed on the substrate 900 so that the circuit surface faces the substrate 900, and the substrate 900 and the semiconductor chip 910 are bonded. An electrically connected electrode bump 920, an underfill adhesive 930 filled between the substrate 900 and the semiconductor chip 910, a cover 940 disposed on the substrate 900 so as to cover the semiconductor chip 910, and a semiconductor chip A flux 950 for releasing the heat generated in 910 to the cover 940 and a sealant 960 such as a silicon resin and an epoxy resin for bonding the substrate 900 and the cover 940 are configured.

上記構造を有する半導体パッケージの製造における、アンダーフィル接着剤、フラックスおよび封止剤等の粘性流体の基板および半導体チップへの塗布は、半導体パッケージの製造で広く利用されている一般的な粘性流体塗布装置（例えば特許文献１参照。）により行われる。   Application of viscous fluid such as underfill adhesive, flux and sealant to the substrate and semiconductor chip in the manufacture of the semiconductor package having the above structure is a general viscous fluid application widely used in the manufacture of semiconductor packages. This is performed by an apparatus (for example, see Patent Document 1).

図１４は、従来の粘性流体塗布装置の外観図である。
粘性流体塗布装置は、粘性流体を基板に塗布する塗布ヘッド１０００と、基板が載置され、基板のＹ方向への移動位置決めを行うＹテーブル１０１０と、Ｙ方向と直交するＸ方向への塗布ヘッド１０００の移動位置決めを行うＸ軸部１０２０と、塗布ヘッド１０００に連結されたカートリッジ１０４０と、Ｙテーブル１０１０およびＸ軸部１０２０の動作制御を行う制御部１０３０とを備える。 FIG. 14 is an external view of a conventional viscous fluid coating apparatus.
The viscous fluid application device includes an application head 1000 for applying a viscous fluid to a substrate, a Y table 1010 on which the substrate is mounted and positioning the substrate in the Y direction, and an application head in the X direction orthogonal to the Y direction. An X-axis unit 1020 for performing 1000 positioning, a cartridge 1040 connected to the coating head 1000, and a control unit 1030 for controlling the operation of the Y table 1010 and the X-axis unit 1020.

図１５は、塗布ヘッド１０００の構造を示す断面図である。
塗布ヘッド１０００は、粘性流体を吐出するノズル１１１１および吐出用シャフト１１１２を有し、粘性流体を基板に塗布するＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向（図１４参照）に移動可能な塗布部１１１０と、粘性流体を保持するカートリッジ１１２１、およびカートリッジ１１２１内の粘性流体を塗布部１１１０に導く供給配管１１２２を有し、塗布部１１１０に粘性流体を供給する供給部１１２０と、塗布部１１１０と供給部１１２０とを一体化する接合部１１３０とを備える。 FIG. 15 is a cross-sectional view showing the structure of the coating head 1000.
The coating head 1000 includes a nozzle 1111 that discharges viscous fluid and a discharge shaft 1112, and an application unit 1110 that can move in the X, Y, and Z directions (see FIG. 14) that applies the viscous fluid to the substrate, A cartridge 1121 that holds the viscous fluid, and a supply pipe 1122 that guides the viscous fluid in the cartridge 1121 to the application unit 1110, a supply unit 1120 that supplies the viscous fluid to the application unit 1110, an application unit 1110, and a supply unit 1120 And a joining portion 1130 for integrating the two.

ここで、吐出用シャフト１１１２は、ノズル１１１１の軸方向に沿って塗布部１１１０内部に配設されており、軸回り方向に回転可能である。吐出用シャフト１１１２の一端には、スクリュー部１１１３が形成されており、スクリュー部１１１３は、吐出用シャフト１１１２の回転に従ってノズル１１１１から粘性流体を吐出させる。   Here, the discharge shaft 1112 is disposed inside the coating unit 1110 along the axial direction of the nozzle 1111, and can rotate around the axis. A screw portion 1113 is formed at one end of the discharge shaft 1112, and the screw portion 1113 discharges the viscous fluid from the nozzle 1111 according to the rotation of the discharge shaft 1112.

上記構造を有する粘性流体塗布装置の粘性流体の塗布方法において、塗布動作は、通常、吐出用シャフトの回転開始と同時に、カートリッジ内に圧縮空気を供給してカートリッジ内の粘性流体を押し出すことで開始され、吐出用シャフトの回転停止と同時に、カートリッジ内への圧縮空気の供給を停止して粘性流体の押し出しを停止することで終了される。
特許第３３８２５３３号公報 In the viscous fluid coating method of the viscous fluid coating apparatus having the above structure, the coating operation is usually started by supplying compressed air into the cartridge and pushing out the viscous fluid in the cartridge simultaneously with the start of rotation of the discharge shaft. At the same time as stopping the rotation of the discharge shaft, the supply of compressed air into the cartridge is stopped to stop the extrusion of the viscous fluid.
Japanese Patent No. 3382533

しかしながら、従来の粘性流体塗布装置では、カートリッジ内の粘性流体に加えた圧力の変化が塗布部内の粘性流体に伝わるのに要する時間が、供給配管の長さ、つまりカートリッジと塗布部との距離に依存して変化する。よって、上記のような粘性流体塗布装置の塗布方法では、カートリッジと塗布部との距離が長くなった場合、カートリッジ内の粘性流体に圧力を加え始めてから塗布部内の粘性流体に圧力が加わるまでの時間が長くなり、粘性流体が塗布部に供給されていない状態で吐出用シャフトが回転する。したがって、粘性流体が気泡を含み、それが粘性流体への加圧の停止により膨張するので、吐出用シャフトの回転の停止後も粘性流体が吐出するという問題がある。また、カートリッジ内の粘性流体への加圧を止めてから塗布部内の粘性流体への残圧が無くなるまでの時間も長くなるので、残圧により吐出用シャフトの回転の停止後も粘性流体が吐出するという問題もある。   However, in the conventional viscous fluid application device, the time required for the change in pressure applied to the viscous fluid in the cartridge to be transmitted to the viscous fluid in the application part is determined by the length of the supply pipe, that is, the distance between the cartridge and the application part. It changes depending on. Therefore, in the application method of the viscous fluid application apparatus as described above, when the distance between the cartridge and the application part becomes longer, the pressure is applied to the viscous fluid in the application part after the pressure starts to be applied to the viscous fluid in the cartridge. The discharge shaft rotates in a state where the time is long and the viscous fluid is not supplied to the application part. Therefore, since the viscous fluid contains bubbles and expands when the pressurization to the viscous fluid is stopped, the viscous fluid is discharged even after the rotation of the discharge shaft is stopped. In addition, since the time until the residual pressure on the viscous fluid in the application section disappears after the pressurization of the viscous fluid in the cartridge is stopped, the viscous fluid is discharged even after the discharge shaft stops rotating due to the residual pressure. There is also the problem of doing.

そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を提供することを目的とする。   Therefore, in view of such problems, the present invention has an object to provide a viscous fluid application method capable of controlling the application amount of viscous fluid with high accuracy even when the distance between the cartridge and the application unit is increased. To do.

上記目的を達成するために、本発明の粘性流体塗布方法は、供給部から供給された粘性流体を、塗布部により被塗布体に塗布する粘性流体塗布方法であって、前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、前記供給配管に接続されたコックとを有し、前記塗布部は、回転可能な状態で内部に配設され、回転により前記塗布部の粘性流体を吐出させるスクリュー形状の回転部材を有し、前記コックを開くことで前記供給部の供給動作を開始させる供給開始ステップと、前記供給動作の開始から所定時間経過した後に、前記回転部材を回転させることで前記塗布部の塗布動作を開始させる塗布開始ステップとを含み、前記所定時間は、前記コックが開かれてから、前記保持手段と前記コックとの間の供給配管内の粘性流体に加わっている圧力が前記塗布部内の粘性流体に加わるまでの時間よりも長いことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a viscous fluid application method of the present invention is a viscous fluid application method in which a viscous fluid supplied from a supply unit is applied to an object by an application unit, and the supply unit is A supply pipe for guiding fluid to the application section; holding means for holding the viscous fluid; applying pressure to the supply pipe to push the viscous fluid to be held; and a cock connected to the supply pipe; Has a screw-shaped rotating member that is disposed inside in a rotatable state and discharges the viscous fluid of the application unit by rotation, and starts supplying operation by opening the cock to start supplying operation of the supplying unit And a coating start step of starting the coating operation of the coating unit by rotating the rotating member after a predetermined time has elapsed from the start of the supply operation. From being opened, pressure is applied to the viscous fluid in the supply pipe between the cock and the holding means and wherein the longer than the time before joining the viscous fluid in the application unit.

これによって、塗布部に粘性流体が確実に供給された後に塗布部が塗布動作を始めるため、粘性流体が気泡を含むことを防止し、塗布動作終了後の粘性流体の吐出を防止することができるので、供給部のカートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。   Accordingly, since the application unit starts the application operation after the viscous fluid is reliably supplied to the application unit, the viscous fluid can be prevented from containing bubbles, and the discharge of the viscous fluid after the application operation is completed can be prevented. Therefore, it is possible to realize a viscous fluid application method capable of controlling the application amount of the viscous fluid with high accuracy even when the distance between the cartridge of the supply unit and the application unit is increased.

これによって、粘性流体を空気圧で吐出させる場合のように、塗布部内部の粘性流体の量に依存して吐出する粘性流体の量が変わらないので、高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。   As a result, the amount of viscous fluid to be ejected does not change depending on the amount of viscous fluid inside the application unit, as in the case of ejecting viscous fluid by air pressure, so the amount of viscous fluid applied can be controlled with high accuracy. It is possible to realize a viscous fluid coating method capable of.

本発明に係る粘性流体塗布方法によれば、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる。
また、本発明に係る粘性流体塗布装置によれば、粘性流体塗布装置の製造効率を高めることができる。また、粘性流体塗布装置の設計自由度を高めることができる。また、粘性流体塗布装置の塗布の位置精度を高めることができる。 According to the viscous fluid application method according to the present invention, the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy even when the distance between the cartridge and the application portion is increased.
Moreover, according to the viscous fluid coating apparatus which concerns on this invention, the manufacturing efficiency of a viscous fluid coating apparatus can be improved. In addition, the degree of freedom in designing the viscous fluid application device can be increased. Moreover, the position accuracy of application of the viscous fluid application device can be increased.

よって、本発明により、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を提供することが可能となり、実用的価値は極めて高い。   Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a viscous fluid application method capable of controlling the application amount of the viscous fluid with high accuracy even when the distance between the cartridge and the application part becomes long, and the practical value is extremely high. high.

以下、本発明の実施の形態における粘性流体塗布装置について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態の粘性流体塗布装置の外観図であり、図２は、同粘性流体塗布装置の構造を説明するための図である。 Hereinafter, a viscous fluid coating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an external view of the viscous fluid application apparatus of the present embodiment, and FIG. 2 is a diagram for explaining the structure of the viscous fluid application apparatus.

図２に示すように、本実施の形態の粘性流体塗布装置は、被塗布体（例えば、基板１４０ａ、以降基板１４０ａとして説明する）に粘性流体を塗布する塗布ヘッド１００と、第１の軸方向への塗布ヘッド１００の移動位置決めを行う第１軸部１１０（例えばＸ軸部）と、第１の軸方向と直交する第２の軸方向への塗布ヘッド１００の移動位置決めを行う第２軸部１２０（例えばＹ軸部）と、第１の軸方向と第２の軸方向とで形成される平面に直交する第３の軸方向への塗布ヘッド１００の移動位置決めを行う第３軸部１３０（例えばＺ軸部）と、第１の軸方向と第２の軸方向とで形成される平面の所定の位置まで基板１４０ａを搬送する基板搬送部１４０と、塗布ヘッド１００の高さを検出するヘッド高さ検出センサー１５０と、第１軸部１１０、第２軸部１２０および第３軸部１３０の移動動作制御、および塗布ヘッド１００の塗布動作制御を行う制御部１６０とを備える。   As shown in FIG. 2, the viscous fluid coating apparatus according to the present embodiment includes a coating head 100 that applies a viscous fluid to an object to be coated (for example, a substrate 140a, which will be described as a substrate 140a hereinafter), and a first axial direction. A first shaft portion 110 (for example, an X-axis portion) that performs movement and positioning of the coating head 100 with respect to the second shaft portion, and a second shaft portion that performs movement and positioning of the coating head 100 in a second axis direction orthogonal to the first axis direction. 120 (for example, the Y-axis portion), and a third shaft portion 130 (for moving and positioning the coating head 100 in a third axial direction orthogonal to the plane formed by the first and second axial directions. For example, a Z-axis portion), a substrate transport unit 140 that transports the substrate 140a to a predetermined position on a plane formed by the first axial direction and the second axial direction, and a head that detects the height of the coating head 100 Height detection sensor 150 and first shaft portion 1 0, comprising movement control of the second shaft portion 120 and third shaft portion 130, and a control unit 160 for performing coating operation control of the coating head 100.

なお、これ以降は、例えば第１の軸方向をＸ方向、第２の軸方向をＹ方向、第３の軸方向をＺ方向、第１軸部をＸ軸部、第２軸部をＹ軸部、第３軸部をＺ軸部と呼ぶ。ただし、これに限定することはない。   In the following, for example, the first axial direction is the X direction, the second axial direction is the Y direction, the third axial direction is the Z direction, the first axial part is the X axial part, and the second axial part is the Y axis. And the third shaft portion are called Z-axis portions. However, the present invention is not limited to this.

図３は、塗布ヘッド１００の構造を示す断面図である。
塗布ヘッド１００は塗布部１０１と供給部１０２とを備えている。塗布部１０１は、粘性流体を吐出するノズル３１０と吐出用シャフト３２０とを有し、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向（図２参照）に移動可能であり、粘性流体を基板１４０ａに塗布する。供給部１０２は、粘性流体を保持し、且つ、交換可能なカートリッジ３３０とカートリッジ３３０内の粘性流体を塗布部１０１に導く供給配管３４０とを有し、Ｙ方向に移動可能であり、粘性流体を塗布部１０１に供給する。これによって、図１４に示されるような従来の粘性流体塗布装置のように、塗布部と供給部とは一体化されないので、塗布部１０１が停止する際、塗布部１０１に大きな慣性力が働かず、粘性流体の塗布位置を高い精度で制御することができる。これは、粘性流体塗布装置が大容量のカートリッジ３３０を有する供給部１０２を備える場合に大きな効果を発揮する。 FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of the coating head 100.
The coating head 100 includes a coating unit 101 and a supply unit 102. The application unit 101 includes a nozzle 310 that discharges viscous fluid and a discharge shaft 320, is movable in the X direction, the Y direction, and the Z direction (see FIG. 2), and applies the viscous fluid to the substrate 140a. The supply unit 102 includes a replaceable cartridge 330 and a supply pipe 340 that guides the viscous fluid in the cartridge 330 to the application unit 101 and is movable in the Y direction. Supply to the coating unit 101. As a result, unlike the conventional viscous fluid coating apparatus as shown in FIG. 14, the coating unit and the supply unit are not integrated, so that when the coating unit 101 stops, a large inertia force does not act on the coating unit 101. The application position of the viscous fluid can be controlled with high accuracy. This exerts a great effect when the viscous fluid applying apparatus includes the supply unit 102 having the large capacity cartridge 330.

また、Ｘ軸部に取り付けられている塗布部１０１がＹ方向へ移動する際は、そのＸ軸部の一端に固定されている供給部１０２も、Ｘ軸部の移動に連動して塗布部１０１と共にＹ方向に移動し、塗布部１０１がＸ方向、Ｚ方向へ移動する際は、供給部１０２は塗布部１０１の動きとは無関係に静止しているため、塗布ヘッドの空間占有率を低くすることができ、粘性流体塗布装置の設計自由度を高めることができる。特に、カートリッジを大容量化した場合には、それが塗布部と共にＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動すると、塗布ヘッドの空間占有率が高くなるため、カートリッジを大容量化した場合に大きな効果を発揮する。   Further, when the application unit 101 attached to the X-axis part moves in the Y direction, the supply unit 102 fixed to one end of the X-axis part is also linked to the movement of the X-axis part. At the same time, when the coating unit 101 moves in the Y direction and the coating unit 101 moves in the X direction and the Z direction, the supply unit 102 is stationary regardless of the movement of the coating unit 101, so that the space occupation rate of the coating head is reduced. It is possible to increase the degree of freedom in designing the viscous fluid application device. In particular, when the capacity of the cartridge is increased, if the cartridge moves in the X direction, the Y direction, and the Z direction together with the application portion, the space occupancy of the application head increases. Demonstrate.

吐出用シャフト３２０は、ノズル３１０の軸方向に沿って軸回り方向に回転可能な状態で塗布部１０１内部に配設されている。吐出用シャフト３２０の一端には、スクリュー部３２１が形成されており、スクリュー部３２１が形成されている側の空洞部内に粘性流体が供給部１０２から導かれてくる。スクリュー部３２１は、吐出用シャフト３２０の回転に従って粘性流体を移送し、ノズル３１０から粘性流体を吐出させる。ノズル３１０から粘性流体を吐出させる時には、スクリューの回転による押圧力を利用する。これによって、粘性流体を空気圧で吐出させる場合のように、塗布部１０１内の粘性流体の残量によって、その空気圧の粘性流体にかかる圧力差を考慮する必要がなくなる。そのため、粘性流体の塗布量を高い精度で制御することができる。   The discharge shaft 320 is disposed inside the application unit 101 so as to be rotatable about the axis along the axial direction of the nozzle 310. A screw portion 321 is formed at one end of the discharge shaft 320, and the viscous fluid is guided from the supply portion 102 into the cavity on the side where the screw portion 321 is formed. The screw part 321 transfers the viscous fluid according to the rotation of the discharge shaft 320 and discharges the viscous fluid from the nozzle 310. When the viscous fluid is discharged from the nozzle 310, the pressing force generated by the rotation of the screw is used. As a result, unlike the case where the viscous fluid is discharged by air pressure, it is not necessary to consider the pressure difference applied to the viscous fluid of the air pressure depending on the remaining amount of the viscous fluid in the application unit 101. Therefore, the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy.

カートリッジ３３０は、Ｙ方向に移動可能な状態で粘性流体塗布装置の端部に配設され、そのカートリッジ３３０は、従来の小容量のカートリッジ（例えば１８０ｃｃ）に比べ大容量のカートリッジ（例えば６００ｃｃ）である。これによって、カートリッジの交換回数を減らすことができるので、粘性流体塗布装置の製造効率を向上させることができる。特に、図１３に示されるようなカバーが取り付けられるタイプの半導体パッケージを製造する場合には、多量の封止剤を塗布しなければならないため、上記半導体パッケージを製造する場合に大きな効果を発揮する。   The cartridge 330 is disposed at the end of the viscous fluid application device so as to be movable in the Y direction. The cartridge 330 is a large capacity cartridge (for example, 600 cc) as compared with a conventional small capacity cartridge (for example, 180 cc). is there. As a result, the number of cartridge replacements can be reduced, so that the manufacturing efficiency of the viscous fluid application device can be improved. In particular, when manufacturing a semiconductor package of a type to which a cover as shown in FIG. 13 is attached, a large amount of sealing agent must be applied, and thus a great effect is exhibited when manufacturing the semiconductor package. .

カートリッジ３３０内の粘性流体には継続的に圧力が加えられている。圧力を加える事例としては、カートリッジ内の粘性流体の液面に対して圧縮空気により圧力が加わるもので以降説明するが、この限りではなく、例えばピストンにより粘性流体に圧力を加えるものでも良い。本実施の形態では、その圧縮空気により粘性流体が供給配管３４０に押し出されている。このように、継続的に粘性流体に圧力が加えられるが、基板に粘性材料が塗布される位置の手前に次に塗布されるべき基板が何らかのトラブルで、所定の場所に制御された時間内に搬入されて来ない場合、あるいは、粘性材料の塗布が終了した基板が何らかのトラブルで、制御された時間内に搬出されない場合等においては、カートリッジ３３０内の粘性流体にかけられている継続的な一定の圧縮空気は開放される。これにより、粘性流体の粘度の上昇を防ぐことができる。また、正常時間内に基板の搬入・搬出が行われたとしても、基板の搬入・搬出に要する時間が粘性流体の粘性度を上昇させる程度の時間であり、基板が搬入されたのを検出してから制御された時間を経過しても搬出されなければ、カートリッジ３３０内の粘性流体にかけられている継続的な一定の圧縮空気は開放される。供給配管３４０の塗布部１０１近傍側には開閉によりカートリッジ３３０内の粘性流体を塗布部１０１に導くか否かを決定する供給コック３４１が接続されている。カートリッジ３３０内の粘性流体に加えられている圧力は継続的に供給コック３４１で仕切られている供給部側に位置する供給配管３４３内の粘性流体にも加えられており、供給コック３４１が塗布部１０１近傍側に存在するということは、供給コック３４１を開いてから、カートリッジ内の粘性流体に加えている圧力が塗布部内の粘性流体に伝わるまでの時間を短くすることができるということである。特に、カートリッジ３３０を備える供給部１０２と塗布部１０１との距離が長くなった場合には、供給コック３４１を開いてから、カートリッジ３３０内の粘性流体に加えている圧力が塗布部１０１内の粘性流体に加わるまでの時間が長くなるため、カートリッジ３３０を備える供給部１０２と塗布部１０１との距離が長い場合に大きな効果を発揮する。また、供給部１０２と塗布部１０１との距離の長短によらず、供給コック３４１を開いてから、カートリッジ３３０内の粘性流体に加わっている圧力が塗布部１０１内の粘性流体に加わるまでの時間を一定にすることができるので、供給部１０２と塗布部１０１との距離の長短によらず高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる。   Pressure is continuously applied to the viscous fluid in the cartridge 330. As an example of applying pressure, the pressure is applied to the liquid surface of the viscous fluid in the cartridge by compressed air, which will be described below. However, the present invention is not limited to this. For example, the pressure may be applied to the viscous fluid by a piston. In the present embodiment, the viscous fluid is pushed out to the supply pipe 340 by the compressed air. In this way, pressure is continuously applied to the viscous fluid, but the substrate to be applied next before the position where the viscous material is applied to the substrate is somehow within a controlled time in a predetermined place. If the substrate is not loaded, or if the substrate on which the application of the viscous material has been completed is not carried out within a controlled time due to some trouble, the constant constant applied to the viscous fluid in the cartridge 330 is maintained. The compressed air is released. Thereby, an increase in the viscosity of the viscous fluid can be prevented. In addition, even if the substrate is loaded / unloaded within the normal time, the time required for loading / unloading the substrate is sufficient to increase the viscosity of the viscous fluid, and it is detected that the substrate has been loaded. If it is not unloaded after a controlled period of time, the continuous and constant compressed air applied to the viscous fluid in the cartridge 330 is released. A supply cock 341 for determining whether or not the viscous fluid in the cartridge 330 is guided to the application unit 101 by opening and closing is connected to the supply pipe 340 in the vicinity of the application unit 101. The pressure applied to the viscous fluid in the cartridge 330 is continuously applied to the viscous fluid in the supply pipe 343 located on the supply unit side partitioned by the supply cock 341, and the supply cock 341 is applied to the application unit. The fact that it exists in the vicinity of 101 means that the time from when the supply cock 341 is opened to when the pressure applied to the viscous fluid in the cartridge is transmitted to the viscous fluid in the application section can be shortened. In particular, when the distance between the supply unit 102 including the cartridge 330 and the application unit 101 becomes longer, the pressure applied to the viscous fluid in the cartridge 330 after the supply cock 341 is opened is the viscosity in the application unit 101. Since the time until it is added to the fluid becomes long, a great effect is exhibited when the distance between the supply unit 102 including the cartridge 330 and the application unit 101 is long. In addition, the time from when the supply cock 341 is opened until the pressure applied to the viscous fluid in the cartridge 330 is applied to the viscous fluid in the application unit 101 regardless of the distance between the supply unit 102 and the application unit 101. Therefore, the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy regardless of the distance between the supply unit 102 and the application unit 101.

なお、供給配管３４０には供給コックが接続されていない装置にも適用される。
図４は塗布部１０１と供給部１０２との位置、および、それらにつながれた供給配管３４０の状態を表す図であり、（ａ）（ｂ）の区別は、塗布部１０１と供給部１０２の相対的位置関係を異にした状態を説明するためのものである。 Note that the present invention is also applicable to an apparatus in which a supply cock is not connected to the supply pipe 340.
FIG. 4 is a diagram showing the positions of the application unit 101 and the supply unit 102 and the state of the supply pipe 340 connected to them, and (a) and (b) are distinguished from each other between the application unit 101 and the supply unit 102. This is for explaining a state in which the target positional relationship is different.

供給配管３４０は、例えば径８ｍｍで、一定の長さ、例えば７３０ｍｍを有し、一部が一定の形状、例えばＵ字形状を成すように固定部材４００が取り付けられている。これによって、塗布部１０１がＸ方向に移動し、塗布部１０１と供給部１０２との相対位置が変わった場合でも、供給配管３４０には、その内部にある粘性流体への圧迫を生じるような折れ曲がり等が発生せず、供給配管３４０の内容積は変化しないので、内容積の変化に伴う粘性流体に加わる圧力の変化を防止することができる。すなわち、供給部１０２と塗布部１０１との位置関係によらず高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる。このとき、供給コック３４１で仕切られている塗布部側に位置する供給配管３４２は例えば長さ１３０ｍｍを有する。   The supply pipe 340 has, for example, a diameter of 8 mm and a certain length, for example, 730 mm, and the fixing member 400 is attached so that a part thereof has a certain shape, for example, a U shape. As a result, even when the application unit 101 moves in the X direction and the relative position between the application unit 101 and the supply unit 102 changes, the supply pipe 340 is bent so as to cause pressure on the viscous fluid therein. Etc. and the internal volume of the supply pipe 340 does not change, so that a change in pressure applied to the viscous fluid accompanying a change in the internal volume can be prevented. That is, the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy regardless of the positional relationship between the supply unit 102 and the application unit 101. At this time, the supply pipe 342 located on the application part side partitioned by the supply cock 341 has a length of 130 mm, for example.

図５は、供給コック３４１の断面図であり、図５（ａ）は供給コック３４１が開いているときの断面図を示し、図５（ｂ）は供給コック３４１が閉じているときの断面図を示している。   FIG. 5 is a cross-sectional view of the supply cock 341, FIG. 5A shows a cross-sectional view when the supply cock 341 is open, and FIG. 5B is a cross-sectional view when the supply cock 341 is closed. Is shown.

供給コック３４１内部には、往復動可能な状態で配設された可動部５００と、可動部５００の平行面により構成される真っ直ぐな移動路５１０が形成されており、可動部５００の往復動により粘性流体を通過させるか否かを決定する。   In the supply cock 341, a movable part 500 arranged in a reciprocable state and a straight movement path 510 constituted by parallel surfaces of the movable part 500 are formed. Decide whether to allow viscous fluid to pass through.

ここで、可動部５００は、エアーシリンダの往復動を駆動源とする。これによって、エアーシリンダの往復動をそのまま供給コック３４１の開閉に利用することができるので、動力伝達のタイムラグを無くすことができ、高い時間精度で供給コック３４１の開閉を制御できる。また、粘性流体は真直な移動路５１０を通過するので、供給コック３４１による圧力損失を減らすことができ、供給コック３４１における粘性流体に加わる圧力の変化を防止することができる。一方、図８に示す構成の供給コック８２０を開閉する際には、回動部８００をエアーシリンダの往復動を駆動源とするリンク機構を介して回動させるため、動力伝達のタイムラグが発生する。なお、モータを駆動源として回動部８００を直接回動させることも可能であるが、高コストとなる。   Here, the movable part 500 uses a reciprocating motion of the air cylinder as a drive source. As a result, the reciprocation of the air cylinder can be used as it is for opening and closing the supply cock 341, so that the time lag of power transmission can be eliminated and the opening and closing of the supply cock 341 can be controlled with high time accuracy. Further, since the viscous fluid passes through the straight moving path 510, pressure loss due to the supply cock 341 can be reduced, and a change in pressure applied to the viscous fluid in the supply cock 341 can be prevented. On the other hand, when the supply cock 820 having the configuration shown in FIG. 8 is opened and closed, the rotation unit 800 is rotated through a link mechanism that uses the reciprocating motion of the air cylinder as a drive source, so that a power transmission time lag occurs. . Although the rotation unit 800 can be directly rotated using a motor as a drive source, the cost is increased.

図６は、上記構造を有する粘性流体塗布装置の動作を説明するためのフローチャートである。
まず、Ｘ軸部１１０およびＹ軸部１２０により塗布ヘッド１００を所定のＸ−Ｙ位置に移動させる（ステップＳ６１０）。これは、Ｙ軸部１２０により塗布部１０１および供給部１０２を所定のＹ位置に移動させ、かつＸ軸部１１０により塗布部１０１を所定のＸ位置に移動させることによりおこなわれる。 FIG. 6 is a flowchart for explaining the operation of the viscous fluid applying apparatus having the above structure.
First, the coating head 100 is moved to a predetermined XY position by the X-axis part 110 and the Y-axis part 120 (step S610). This is performed by moving the application unit 101 and the supply unit 102 to a predetermined Y position by the Y-axis unit 120 and moving the application unit 101 to a predetermined X position by the X-axis unit 110.

次に、Ｚ軸部１３０により塗布ヘッド１００を所定の高さまで下降させる（ステップＳ６２０）。
次に、塗布ヘッド１００により基板１４０ａに粘性流体を塗布する（ステップＳ６３０）。なお、塗布動作の詳細については後述する。 Next, the coating head 100 is lowered to a predetermined height by the Z-axis part 130 (step S620).
Next, a viscous fluid is applied to the substrate 140a by the application head 100 (step S630). Details of the application operation will be described later.

最後に、Ｚ軸部１３０により塗布ヘッド１００を所定の高さまで上昇させる（ステップＳ６４０）。
図７は、塗布ヘッド１００による塗布動作（図６のステップＳ６３０における塗布動作）を説明するためのタイミングチャートである。なお、図７（ａ）は供給コック３４１の開閉タイミングを示し、図７（ｂ）は吐出用シャフト３２０の回転タイミングを示し、図７（ｃ）はノズル３１０からの粘性流体の吐出タイミングを示している。 Finally, the coating head 100 is raised to a predetermined height by the Z-axis part 130 (step S640).
FIG. 7 is a timing chart for explaining the application operation by the application head 100 (application operation in step S630 in FIG. 6). 7A shows the opening / closing timing of the supply cock 341, FIG. 7B shows the rotation timing of the discharge shaft 320, and FIG. 7C shows the discharge timing of the viscous fluid from the nozzle 310. ing.

まず、供給部１０２による粘性流体の供給動作を開始させる（供給開始ステップ）（ｔ＝ｔ0）。すなわち、供給コック３４１を開いて、粘性流体を塗布部１０１に供給させる。 First, the supply operation of the viscous fluid by the supply unit 102 is started (supply start step) (t = t 0 ). That is, the supply cock 341 is opened, and the viscous fluid is supplied to the application unit 101.

次に、塗布部１０１による粘性流体の塗布動作を開始させる（塗布開始ステップ）（ｔ＝ｔ1）。すなわち、スクリュー部３２１を回転させて、粘性流体をノズル３１０から吐出させる。 Next, the application operation of the viscous fluid by the application unit 101 is started (application start step) (t = t 1 ). That is, the screw portion 321 is rotated to discharge the viscous fluid from the nozzle 310.

次に、供給部１０２による粘性流体の供給動作を終了させる（供給終了ステップ）（ｔ＝ｔ2）。すなわち、供給コック３４１を閉じて、塗布部１０１への粘性流体の供給を停止させる。 Next, the supply operation of the viscous fluid by the supply unit 102 is ended (supply end step) (t = t 2 ). That is, the supply cock 341 is closed, and the supply of the viscous fluid to the application unit 101 is stopped.

最後に、塗布部１０１による粘性流体の塗布動作を終了させる（塗布終了ステップ）（ｔ＝ｔ3）。すなわち、スクリュー部３２１の回転を停止させて、ノズル３１０からの粘性流体の吐出を停止させる。 Finally, the application operation of the viscous fluid by the application unit 101 is ended (application end step) (t = t 3 ). That is, the rotation of the screw part 321 is stopped, and the discharge of the viscous fluid from the nozzle 310 is stopped.

供給コック３４１によって仕切られている供給部側の供給配管３４３に存在する粘性流体には継続的に一定の圧力がかけられている。この状態で供給コック３４１を開口すると、供給部側の供給配管３４３の粘性流体にかかっている圧力が塗布部側の供給配管３４２の粘性流体にかかる。供給コック３４１開口時点から吐出用シャフト３２０が回転を開始するまでの時間ｔ1−ｔ0は、この供給コック３４１開口時点から塗布部側の供給配管３４２の粘性流体に圧力がかかるまでの時間よりも長くなるよう設定する。最短の時間ｔ1−ｔ0は主に塗布部側の供給配管３４２の長さと内容積とによって変化する。 A constant pressure is continuously applied to the viscous fluid existing in the supply pipe 343 on the supply unit side partitioned by the supply cock 341. When the supply cock 341 is opened in this state, the pressure applied to the viscous fluid in the supply pipe 343 on the supply section is applied to the viscous fluid in the supply pipe 342 on the application section. The time t 1 -t 0 from the time when the supply cock 341 is opened until the discharge shaft 320 starts to rotate is the time from when the supply cock 341 is opened until the pressure is applied to the viscous fluid in the supply pipe 342 on the application unit side. Set to be longer. The shortest time t 1 -t 0 varies mainly depending on the length and the internal volume of the supply pipe 342 on the application unit side.

塗布実行中に塗布部側の供給配管３４２に存在する粘性流体にかかっている圧力は、供給コック３４１を閉じてから吐出用シャフト３２０が回転を停止しても残圧として存在する。供給コック３４１閉口時から吐出用シャフト３２０が回転を停止するまでの時間ｔ3−ｔ2は、この供給コック閉口時点から塗布部側の供給配管３４２の粘性流体にかかる残圧が無くなるまでの時間よりも長くなるよう設定する。最短の時間ｔ3−ｔ2は主に塗布部側の供給配管３４２の長さと内容積とによって変化する。 The pressure applied to the viscous fluid existing in the supply pipe 342 on the application unit side during application is present as residual pressure even when the discharge shaft 320 stops rotating after the supply cock 341 is closed. The time t 3 -t 2 from when the supply cock 341 is closed until the discharge shaft 320 stops rotating is the time from when the supply cock is closed until the residual pressure applied to the viscous fluid in the supply pipe 342 on the application unit side disappears. Set to be longer. The shortest time t 3 -t 2 varies mainly depending on the length and the internal volume of the supply pipe 342 on the application unit side.

供給コック３４１で仕切られた、塗布部側に位置する供給配管３４２の内容積が例えば２４．５ｃｃであり、塗布部１０１のスクリュー部３２１が形成されている側の空洞部の内容積が例えば０．０１ｃｃである場合には、最短の時間ｔ1−ｔ0および時間ｔ3−ｔ2は、約０．２ｓｅｃとなる。 The internal volume of the supply pipe 342 located on the application unit side partitioned by the supply cock 341 is 24.5 cc, for example, and the internal volume of the cavity portion on the side where the screw part 321 of the application unit 101 is formed is, for example, 0. In the case of 0.01 cc, the shortest time t 1 -t 0 and time t 3 -t 2 are about 0.2 sec.

以上のように、本実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布方法によれば、供給コック３４１開口時点においては、吐出用シャフト３２０は、塗布部１０１に粘性流体が確実に供給された後に回転を開始し、供給コック３４１閉口時点においては、塗布部側に位置する供給配管３４２内の粘性流体および塗布部１０１内の粘性流体への残圧が確実に無くなる時点に回転を停止する。つまり、上記残圧が無くなるまで吐出用シャフト３２０を回転させている時間帯も、通常の塗布動作の一部となるよう、吐出用シャフト３２０の回転停止タイミングは供給コック３４１の閉口タイミングより遅く設定していることにより、吐出用シャフトの回転停止後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができる。   As described above, according to the application method of the viscous fluid application device of the present embodiment, when the supply cock 341 is opened, the discharge shaft 320 rotates after the viscous fluid is reliably supplied to the application unit 101. At the time when the supply cock 341 is closed, the rotation is stopped when the viscous fluid in the supply pipe 342 located on the application unit side and the residual pressure on the viscous fluid in the application unit 101 are surely eliminated. That is, the rotation stop timing of the discharge shaft 320 is set later than the closing timing of the supply cock 341 so that the time period during which the discharge shaft 320 is rotated until the residual pressure disappears is also part of the normal application operation. By doing so, it is possible to prevent the discharge of the viscous fluid due to the residual pressure after the rotation of the discharge shaft is stopped.

また、本実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布方法によれば、吐出用シャフト３２０は、供給コック３４１を閉じてから、塗布部１０１と供給コック３４１との間の供給配管３４２、および塗布部１０１内の粘性流体への残圧が無くなるまで回転する。よって、吐出用シャフトの回転停止後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができるので、本実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布方法は、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布装置の塗布方法を実現することができる。   Further, according to the coating method of the viscous fluid coating apparatus of the present embodiment, the discharge shaft 320 closes the supply cock 341, and then supplies the supply pipe 342 between the coating section 101 and the supply cock 341, and the coating section. It rotates until the residual pressure to the viscous fluid in 101 disappears. Therefore, since the viscous fluid can be prevented from being discharged due to the residual pressure after the discharge shaft stops rotating, the application method of the viscous fluid applying apparatus of the present embodiment increases the distance between the cartridge and the applying portion. In addition, it is possible to realize a coating method for a viscous fluid coating apparatus capable of controlling the coating amount of the viscous fluid with high accuracy.

以上、本発明に係る粘性流体塗布装置について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形または修正が可能であることはいうまでもない。   The viscous fluid application apparatus according to the present invention has been described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications or changes can be made without departing from the scope of the present invention. It goes without saying that corrections are possible.

例えば、上記実施の形態では、供給コック３４１の開閉により塗布部１０１への粘性流体の供給を制御するとしたが、供給コックを介さずにカートリッジ３３０内の粘性流体に圧力を加えるか否かで粘性流体の供給を制御しても構わない。この場合には、カートリッジ内の粘性流体への加圧を開始してから吐出用シャフトを回転させるまでにかかる時間を、カートリッジ内の粘性流体への加圧を開始してから、カートリッジ内の粘性流体に加わっている圧力が塗布部内の粘性流体に加わるにかかる時間よりも長くなるよう設定する。また、カートリッジ内の粘性流体への加圧を停止してから吐出用シャフトの回転を停止させるまでにかかる時間を、カートリッジ内の粘性流体への加圧を停止してから、供給配管および塗布部内の粘性流体への残圧が無くなるまでかかる時間よりも長くなるよう設定する。つまり、上記残圧が無くなるまで吐出用シャフト３２０を回転させている時間帯も、通常の塗布動作の一部となるよう、吐出用シャフト３２０の回転停止タイミングは供給コック３４１の閉口タイミングより遅く設定していることにより、吐出用シャフトの回転停止後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができる。   For example, in the above embodiment, the supply of the viscous fluid to the application unit 101 is controlled by opening and closing the supply cock 341. However, the viscosity is determined depending on whether pressure is applied to the viscous fluid in the cartridge 330 without passing through the supply cock. The supply of fluid may be controlled. In this case, the time taken from the start of pressurization to the viscous fluid in the cartridge to the rotation of the discharge shaft is the time it takes to start the pressurization to the viscous fluid in the cartridge and the viscosity in the cartridge The pressure applied to the fluid is set to be longer than the time taken to apply to the viscous fluid in the application part. In addition, the time it takes to stop the rotation of the discharge shaft after stopping the pressurization to the viscous fluid in the cartridge is the time taken to stop the pressurization to the viscous fluid in the cartridge and It is set to be longer than the time it takes until the residual pressure on the viscous fluid disappears. That is, the rotation stop timing of the discharge shaft 320 is set later than the closing timing of the supply cock 341 so that the time period during which the discharge shaft 320 is rotated until the residual pressure disappears is also part of the normal application operation. By doing so, it is possible to prevent the discharge of the viscous fluid due to the residual pressure after the rotation of the discharge shaft is stopped.

また、供給コックとして図８に示されるような回転式の供給コック８２０を利用してもよい。すなわち、回転可能な状態で供給コック８２０内部に配設され、真直な移動路８１０が形成された回動部８００の回転動により、粘性流体を通過させるか否かを決定する供給コック８２０を利用してもよい。   Further, a rotary supply cock 820 as shown in FIG. 8 may be used as the supply cock. That is, the supply cock 820 is used that determines whether or not the viscous fluid is allowed to pass by the rotational movement of the rotation unit 800 that is disposed inside the supply cock 820 in a rotatable state and in which a straight movement path 810 is formed. May be.

次に、本発明にかかる他の実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と同じ部品などについては同じ番号を付しその説明を省略する。
図９は、本実施形態にかかる供給コック３４１、及び供給コック３４１の駆動部１２９９、制御部１６０を示す概念図である。 Next, another embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
FIG. 9 is a conceptual diagram showing the supply cock 341 according to the present embodiment, the drive unit 1299 of the supply cock 341, and the control unit 160.

同図に示すように、供給コック３４１を開閉する駆動部１２９９は、エアーシリンダ１２００とエアーバルブ１２１０を備えている。
エアーシリンダ１２００はその内部で往復動するピストン１２０２と、当該ピストン１２０２に接続されるプランジャ１２０１とを備えている。そしてプランジャ１２０１は、供給コック３４１の可動部５００に接続されており、プランジャ１２０１に接続されるピストン１２０２の往復動に伴って供給コック３４１を開閉することが可能となっている。 As shown in the figure, the drive unit 1299 that opens and closes the supply cock 341 includes an air cylinder 1200 and an air valve 1210.
The air cylinder 1200 includes a piston 1202 that reciprocates therein and a plunger 1201 connected to the piston 1202. The plunger 1201 is connected to the movable portion 500 of the supply cock 341, and the supply cock 341 can be opened and closed as the piston 1202 connected to the plunger 1201 reciprocates.

また、前記ピストン１２０２にはマグネット１２０３が設けられるとともに、前記マグネット１２０３が近づくと反応する状態検知センサとしてのマグネットセンサ１２０４、１２０５がエアーシリンダ１２００の外壁に２カ所取り付けられている。   The piston 1202 is provided with magnets 1203, and two magnet sensors 1204 and 1205 are attached to the outer wall of the air cylinder 1200 as state detection sensors that react when the magnet 1203 approaches.

このマグネットセンサ１２０４は供給コック３４１が閉状態のときにその旨の信号を発することができ、一方マグネットセンサ１２０５は供給コック３４１が開状態のときにその旨の信号を発することができるセンサである。   The magnet sensor 1204 can emit a signal to that effect when the supply cock 341 is closed, while the magnet sensor 1205 can emit a signal to that effect when the supply cock 341 is open. .

エアーバルブ１２１０は、ソレノイドにより圧縮空気の経路を切り替えることができるバルブであり、エアーシリンダ１２００に接続され、圧縮空気の経路を切り替えることにより、プランジャ１２０１を自在に出没させることができるものである。ひいては、圧縮空気の経路をエアーバルブ１２１０で切り替えることにより、供給コック３４１の開閉を制御することができる。   The air valve 1210 is a valve that can switch the path of compressed air by a solenoid, and is connected to the air cylinder 1200, and can switch the plunger 1201 freely by switching the path of compressed air. As a result, the opening and closing of the supply cock 341 can be controlled by switching the path of the compressed air with the air valve 1210.

制御部１６０は、バルブ制御部１２２１と、センサ信号受信部１２２２と、遅延時間計測部１２２３とを備えている。
バルブ制御部１２２１は、前記エアーバルブ１２１０を制御して圧縮空気の経路を変更する処理部であり、つまり、供給コック３４１の開閉を制御する処理部である。 The control unit 160 includes a valve control unit 1221, a sensor signal receiving unit 1222, and a delay time measuring unit 1223.
The valve control unit 1221 is a processing unit that controls the air valve 1210 to change the path of compressed air, that is, a processing unit that controls the opening and closing of the supply cock 341.

センサ信号受信部１２２２は、エアーシリンダ１２００に備えられるマグネットセンサ１２０４，１２０５からの信号を受信し、供給コック３４１の状態を把握する処理部である。   The sensor signal receiving unit 1222 is a processing unit that receives signals from the magnet sensors 1204 and 1205 provided in the air cylinder 1200 and grasps the state of the supply cock 341.

遅延時間計測部１２２３は、バルブ制御部１２２１が発信した信号とマグネットセンサ１２０４，１２０５から受信する信号との時間のずれを計測する処理部である。
次に、マグネットセンサ１２０４，１２０５などを用いて供給開始ステップ等を制御する方法を説明する。 The delay time measurement unit 1223 is a processing unit that measures a time lag between a signal transmitted from the valve control unit 1221 and a signal received from the magnet sensors 1204 and 1205.
Next, a method for controlling the supply start step using the magnet sensors 1204 and 1205 will be described.

図１０は、本実施形態にかかる粘性流体塗布装置の各動作を示すフローチャートである。
まず、バルブ制御部１２２１は、供給コック３４１を開状態にするコック開信号をエアーバルブ１２１０に発信する（Ｓ１３０１）。 FIG. 10 is a flowchart showing each operation of the viscous fluid applying apparatus according to the present embodiment.
First, the valve control unit 1221 transmits a cock opening signal for opening the supply cock 341 to the air valve 1210 (S1301).

この開信号に基づきエアーバルブ１２１０は、エアーシリンダ１２００のプランジャ１２０１を没入する方向に圧縮空気の経路を変更する。これにより供給コック３４１の可動部５００が移動し、供給コック３４１は開状態となる。   Based on this open signal, the air valve 1210 changes the path of the compressed air in the direction in which the plunger 1201 of the air cylinder 1200 is immersed. As a result, the movable portion 500 of the supply cock 341 moves and the supply cock 341 is opened.

供給コック３４１が開状態となれば、供給コック３４１が開状態となった旨の開状態信号をマグネットセンサ１２０５が発信し（Ｓ１３０２）、センサ信号受信部１２２２がこの信号を受信する。   If the supply cock 341 is opened, the magnet sensor 1205 transmits an open state signal indicating that the supply cock 341 is opened (S1302), and the sensor signal receiving unit 1222 receives this signal.

遅延時間計測部１２２３は、バルブ制御部１２２１の開信号発信時点からセンサ信号受信部１２２２が開状態信号を受信する時点までの時間を計測し、遅延時間を算出する（Ｓ１３０３）。   The delay time measuring unit 1223 measures the time from the time when the valve control unit 1221 sends an open signal to the time when the sensor signal receiving unit 1222 receives the open state signal, and calculates the delay time (S1303).

制御部１６０は当該遅延時間から、供給開始すなわちコック開信号発信（図７：ｔ0）時点を基準とした吐出用シャフト１１１２の回転開始（図７：ｔ1）のタイミングを決定する（Ｓ１３０４）。 Based on the delay time, the control unit 160 determines the timing of the rotation start (FIG. 7: t 1 ) of the discharge shaft 1112 with reference to the start of supply, that is, the time when the cock opening signal is transmitted (FIG. 7: t 0 ) (S1304). .

次回からは前記決定されたタイミングを用いて塗布動作が行われる。
図１１は、本実施形態にかかる塗布ヘッド１００による塗布動作を説明するためのタイミングチャートである。図１１（ａ）は初期に設定した供給コック３４１の開閉タイミング及び開閉状態のずれ（遅延時間）を示し、（ｂ）は前記遅延時間に基づき供給コック３４１の開閉タイミングをずらした状態を示し、（ｃ）は吐出用シャフト３２０の回転タイミングを示し、（ｄ）はノズル３１０からの粘性流体の吐出タイミングを示している。 From the next time, the coating operation is performed using the determined timing.
FIG. 11 is a timing chart for explaining the coating operation by the coating head 100 according to the present embodiment. FIG. 11A shows the opening / closing timing and opening / closing state deviation (delay time) of the supply cock 341 set in the initial stage, and FIG. 11B shows the state where the opening / closing timing of the supply cock 341 is shifted based on the delay time. (C) shows the rotation timing of the discharge shaft 320, and (d) shows the discharge timing of the viscous fluid from the nozzle 310.

まず、供給配管３４２、および塗布部１０１内の容積から算出されるタイミングによって供給部１０２による粘性流体の供給動作を開始、すなわちエアバルブ１２１０に対して開信号を発信する（ｔ＝ｔ0）。 First, the supply operation of the viscous fluid by the supply unit 102 is started at the timing calculated from the supply pipe 342 and the volume in the application unit 101, that is, an open signal is transmitted to the air valve 1210 (t = t 0 ).

ところが、想定される供給コック３４１の開動作（図１１（ａ）破線）に対し、実際の開動作は供給コック３４１の個体差や経時変化により遅延が生じる（図１１（ａ）実線）。すなわち、想定される開状態に達する時刻ｔ1に対し実際には時刻ｔ1’に開状態となる。 However, in contrast to the assumed opening operation of the supply cock 341 (FIG. 11A, broken line), the actual opening operation is delayed due to individual differences in the supply cock 341 and changes with time (FIG. 11A, solid line). That is, the time t 1 that reaches the assumed open state is actually opened at time t 1 ′.

このままの状態では、供給配管３４２、および塗布部１０１内が十分な圧力に到達しない間に吐出用シャフト３２０が回転を開始して吐出を開始するため、吐出開始時の粘性流体の吐出量が不十分になるおそれがある。   In this state, since the discharge shaft 320 starts rotating and starts discharging while the inside of the supply pipe 342 and the application unit 101 does not reach a sufficient pressure, the discharge amount of the viscous fluid at the start of discharging is not sufficient. May be sufficient.

そこで、当該遅延時間をマグネットセンサ１２０４，１２０５によって測定し、このデータから供給コック３４１の個体差や経時変化を吸収しうる開信号のタイミングｔ2（図１１（ｂ））を決定する。この開信号のタイミングｔ2は、吐出用シャフト３２０が回転を開始するタイミングｔ3から逆算される。 Therefore, the delay time is measured by the magnet sensors 1204 and 1205, and the open signal timing t 2 (FIG. 11 (b)) that can absorb individual differences and changes with time of the supply cock 341 is determined from this data. The timing t 2 of the opening signal is calculated backward from the timing t 3 at which the discharge shaft 320 starts to rotate.

以上のように、コック開信号発信から開状態信号受信までの遅延時間を把握することにより、例えば供給コック３４１を交換した際の供給コック３４１の応答時間の個体差を吸収して、常に安定した粘性流体の圧力で粘性流体の吐出を開始することが可能となり、吐出はじめの過剰塗布や過小塗布を回避することができる。   As described above, by grasping the delay time from the cock open signal transmission to the open state signal reception, for example, the individual difference in the response time of the supply cock 341 when the supply cock 341 is replaced is absorbed, so that it is always stable. It becomes possible to start the discharge of the viscous fluid with the pressure of the viscous fluid, and it is possible to avoid overcoating and undercoating at the beginning of the discharge.

また、供給コック３４１は、使用により摺動部分に粘性流体が付着して応答時間が経時的に遅くなる傾向があるが、定期的に当該遅延時間を計測することにより、経時的にも安定して粘性流体を吐出することが可能となる。   The supply cock 341 has a tendency that the viscous fluid adheres to the sliding portion due to use and the response time tends to be delayed over time. However, by periodically measuring the delay time, the supply cock 341 is stable over time. It is possible to discharge viscous fluid.

特に前記の方法は、供給コック３４１が開状態に至る前に吐出用シャフト１１１２の回転を開始する場合に有効である。
一方、吐出状体終了時にも同様の遅延が生じ、供給配管３４２、および塗布部１０１内に不必要な圧力が残存している間に吐出用シャフト３２０が停止するため、吐出終了時に粘性流体が予期せぬところで吐出されるおそれがある。 In particular, the above-described method is effective when the rotation of the discharge shaft 1112 is started before the supply cock 341 reaches the open state.
On the other hand, a similar delay occurs at the end of the discharge-like body, and the discharge shaft 320 stops while unnecessary pressure remains in the supply pipe 342 and the coating unit 101. There is a risk of ejection at an unexpected location.

本実施形態にかかる粘性流体塗布装置は、前記と同様に吐出終わりの際の遅延時間を計測してコック閉信号の発信のタイミングを決定することができる。
すなわち、コック閉信号発信から閉状態信号受信までの遅延時間（図１１（ａ）ｔ11−ｔ11’）を計測し、当該遅延時間から吐出用シャフト１１１２の回転停止（ｔ13）を基準としたコック閉信号（ｔ12）のタイミングを決定することもできる。 The viscous fluid applying apparatus according to the present embodiment can determine the timing of transmission of the cock closing signal by measuring the delay time at the end of discharge in the same manner as described above.
That is, by measuring the delay time from No. cock close signal originating to the closed state signal reception (FIG. 11 (a) t 11 -t 11 '), and the reference rotation stop of the discharge shaft 1112 (t 13) from the delay time The timing of the closed cock closing signal (t 12 ) can also be determined.

以上により、供給コック３４１の交換直後や経時的に供給コック３４１の応答時間が変化しても常に安定した粘性流体の圧力で吐出を終了させることができ、粘性流体の液だれ等を回避することが可能となる。   As described above, even if the response time of the supply cock 341 changes immediately after replacement of the supply cock 341 or over time, the discharge can always be terminated with a stable viscous fluid pressure, and dripping of the viscous fluid is avoided. Is possible.

次に、本発明にかかる他の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の装置構成などは前記実施形態と同様であるためその説明を省略する。
図１２は、供給コック３４１の開閉タイミングと吐出用シャフト３２０の回転停止タイミングを説明するためのタイミングチャートである。 Next, another embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, since the apparatus structure of this embodiment is the same as that of the said embodiment, the description is abbreviate | omitted.
FIG. 12 is a timing chart for explaining the opening / closing timing of the supply cock 341 and the rotation stop timing of the discharge shaft 320.

本実施形態の場合、図１２（ａ）（ｂ）に示すように、吐出用シャフト３２０の回転タイミング停止タイミングは、供給コック３４１の開状態、閉状態の後に発生する。従って、供給コック３４１の開状態、すなわちマグネットセンサ１２０５からの信号を受信してから所定の時間経過に吐出用シャフト３２０の回転を開始すればよいため、供給コック３４１の交換や経時変化によって開状態のタイミングがｔ1からｔ1’にずれたとしてもこれに対応して吐出用シャフト３２０の回転を開始するタイミングをｔ2からｔ2’に変更することが可能になる。 In this embodiment, as shown in FIGS. 12A and 12B, the rotation timing stop timing of the discharge shaft 320 occurs after the supply cock 341 is opened and closed. Accordingly, the supply cock 341 is opened, that is, the discharge shaft 320 only needs to start rotating after a predetermined time has elapsed since the signal from the magnet sensor 1205 is received. It becomes 'the timing of starting the rotation of the even displaced in response to this discharge shaft 320 from t 2 t 2' timing of t 1 from t 1 can be changed.

一方、粘性流体の吐出を終了させる場合も、マグネットセンサ１２０４からの閉状態の信号受信のタイミングｔ11またはｔ11’により吐出用シャフト３２０の回転停止のタイミングをｔ12からｔ12’に容易に変更することが可能となる。 On the other hand, even when to terminate the discharge of the viscous fluid, 'the timing of the rotation stopping the discharge shaft 320 t 12 from t 12 by' easily to the timing t 11 or t 11 of the signal reception in the closed state from the magnet sensor 1204 It becomes possible to change.

以上によれば、供給コック３４１の状態を把握した上で吐出用シャフト３２０を制御することができるため、供給コック３４１の状態にリアルタイムで対応することが可能となる。   According to the above, since the discharge shaft 320 can be controlled after grasping the state of the supply cock 341, the state of the supply cock 341 can be handled in real time.

本発明は、粘性流体塗布装置の塗布方法に利用でき、特に半導体パッケージの製造工程で用いられる粘性流体塗布装置の塗布方法等に利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a coating method of a viscous fluid coating apparatus, and in particular, can be used for a coating method of a viscous fluid coating apparatus used in a semiconductor package manufacturing process.

本発明の実施の形態の粘性流体塗布装置の外観図である。It is an external view of the viscous fluid application apparatus of an embodiment of the invention. 同実施の形態の粘性流体塗布装置の構造を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of the viscous fluid coating device of the embodiment. 塗布ヘッド１００の構造を示す断面図である。2 is a cross-sectional view showing the structure of the coating head 100. FIG. （ａ）塗布部１０１と供給部１０２と、それらにつながれた供給配管３４０の斜視図であり、塗布部１０１と供給部１０２のそれぞれがＸ軸部のそれぞれ両端側に離れた位置にある時の供給配管３４０の状態を表す斜視図である。（ｂ）塗布部１０１と供給部１０２と、それらにつながれた供給配管３４０の斜視図であり、塗布部１０１と供給部１０２が近接してＸ軸部の一端側に位置する時の供給配管３４０の状態を表す斜視図である。(A) It is a perspective view of the application | coating part 101, the supply part 102, and the supply piping 340 connected to them, when each of the application | coating part 101 and the supply part 102 exists in the position which each left | separated to the both ends of the X-axis part It is a perspective view showing the state of supply piping. (B) It is a perspective view of the application | coating part 101, the supply part 102, and the supply piping 340 connected to them, and the supply piping 340 when the application | coating part 101 and the supply part 102 adjoin and are located in the one end side of an X-axis part. It is a perspective view showing the state of. （ａ）供給コック３４１が開いているときの供給コック３４１の断面図である。（ｂ）供給コック３４１が閉じているときの供給コック３４１の断面図である。(A) It is sectional drawing of the supply cock 341 when the supply cock 341 is open. (B) It is sectional drawing of the supply cock 341 when the supply cock 341 is closed. 同実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布動作を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the application | coating operation | movement of the viscous fluid application | coating apparatus of the embodiment. （ａ）供給コック３４１の開閉タイミングを示す図である。（ｂ）吐出用シャフト３２０の回転タイミングを示す図である。（ｃ）ノズル３１０からの粘性流体の吐出タイミングを示す図である。(A) It is a figure which shows the opening / closing timing of the supply cock 341. FIG. (B) It is a figure which shows the rotation timing of the shaft 320 for discharge. (C) It is a figure which shows the discharge timing of the viscous fluid from the nozzle 310. FIG. （ａ）供給コック８２０が開いているときの供給コック８２０の断面図である。（ｂ）供給コック８２０が閉じているときの供給コック８２０の断面図である。(A) It is sectional drawing of the supply cock 820 when the supply cock 820 is open. (B) It is sectional drawing of the supply cock 820 when the supply cock 820 is closed. 実施形態にかかる供給コック、及び供給コックの駆動部、制御部を示す概念図である。It is a conceptual diagram which shows the supply cock concerning embodiment, the drive part of a supply cock, and a control part. 実施形態にかかる粘性流体塗布装置の各動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows each operation | movement of the viscous fluid application apparatus concerning embodiment. （ａ）初期に設定した供給コックの開閉タイミング及び開閉状態のずれを示す図である （ｂ）前記遅延時間に基づき供給コックの開閉タイミングをずらした状態を示鈴である。（ｃ）吐出用シャフトの回転タイミングを示鈴である。（ｄ）はノズルからの粘性流体の吐出タイミングを示す図である。(A) It is a figure which shows the opening / closing timing and opening / closing state of the supply cock set initially, (b) It is a bell showing the state which shifted the opening / closing timing of the supply cock based on the said delay time. (C) The rotation timing of the discharge shaft is indicated by a bell. (D) is a figure which shows the discharge timing of the viscous fluid from a nozzle. （ａ）供給コックの開閉タイミングを示す図である。（ｂ）吐出用シャフトの回転停止タイミングを示す図である。(A) It is a figure which shows the opening / closing timing of a supply cock. (B) It is a figure which shows the rotation stop timing of the shaft for discharge. 半導体パッケージの構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a semiconductor package. 従来の粘性流体塗布装置の外観図である。It is an external view of the conventional viscous fluid application apparatus. 塗布ヘッド１０００の構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the coating head 1000. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１００、１０００ 塗布ヘッド
１０１、１１１０ 塗布部
１０２、１１２０ 供給部
１１０、１０２０ Ｘ軸部
１２０ Ｙ軸部
１３０ Ｚ軸部
１４０ 基板搬送部
１４０ａ、９００ 基板
１５０ ヘッド高さ検出センサー
１６０、１０３０ 制御部
３１０、１１１１ ノズル
３２０、１１１２ 吐出用シャフト
３２１、１１１３ スクリュー部
３３０、１０４０、１１２１ カートリッジ
３４０、３４２、３４３、１１２２ 供給配管
３４１、８２０ 供給コック
４００ 可動部
５００ 開閉決定部
５１０、８１０ 移動路
８００ 回動部
９１０ 半導体チップ
９２０ 電極バンプ
９３０ アンダーフィル接着剤
９４０ カバー
９５０ フラックス
９６０ 封止剤
１０１０ Ｙテーブル
１１３０ 接合部
１２００ エアーシリンダ
１２１０ エアーバルブ
１２２１ バルブ制御部
１２２２ センサ信号受信部
１２２３ 遅延時間計測部 100, 1000 Coating head 101, 1110 Coating unit 102, 1120 Supply unit 110, 1020 X-axis unit 120 Y-axis unit 130 Z-axis unit 140 Substrate transport unit 140a, 900 Substrate 150 Head height detection sensor 160, 1030 Control unit 310, 1111 Nozzle 320, 1112 Discharge shaft 321, 1113 Screw part 330, 1040, 1121 Cartridge 340, 342, 343, 1122 Supply pipe 341, 820 Supply cock 400 Movable part 500 Opening / closing determination part 510, 810 Moving path 800 Rotating part 910 Semiconductor chip 920 Electrode bump 930 Underfill adhesive 940 Cover 950 Flux 960 Sealant 1010 Y table 1130 Joint part 1200 Air cylinder 1210 Air valve 1221 Valve control unit 1222 Sensor signal receiving unit 1223 Delay time measuring unit

Claims (4)

供給部から供給された粘性流体を、塗布部により被塗布体に塗布する粘性流体塗布方法であって、
前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、前記供給配管に接続されたコックとを有し、
前記塗布部は、回転可能な状態で内部に配設され、回転により前記塗布部の粘性流体を吐出させるスクリュー形状の回転部材を有し、
前記コックを開くことで前記供給部の供給動作を開始させる供給開始ステップと、
前記供給動作の開始から所定時間経過した後に、前記回転部材を回転させることで前記塗布部の塗布動作を開始させる塗布開始ステップとを含み、
前記所定時間は、前記コックが開かれてから、前記保持手段と前記コックとの間の供給配管内の粘性流体に加わっている圧力が前記塗布部内の粘性流体に加わるまでの時間よりも長い
ことを特徴とする粘性流体塗布方法。 A viscous fluid application method for applying a viscous fluid supplied from a supply unit to an object to be applied by an application unit,
The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, a holding unit that holds the viscous fluid, applies pressure to the supply pipe to push the viscous fluid, and a cock connected to the supply pipe. Have
The application unit is disposed inside in a rotatable state, and has a screw-shaped rotating member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation,
A supply start step of starting the supply operation of the supply unit by opening the cock;
A coating start step of starting a coating operation of the coating unit by rotating the rotating member after a predetermined time has elapsed from the start of the supply operation;
The predetermined time is longer than the time from when the cock is opened until the pressure applied to the viscous fluid in the supply pipe between the holding means and the cock is applied to the viscous fluid in the application section. A method for applying a viscous fluid. 前記粘性流体塗布方法はさらに、
前記粘性流体塗布装置は、コックの開状態を検知する状態検知センサを備え、
コックを開ける信号を発してからコックが開状態の旨を知らせる開信号を状態検知センサから受信するまでの遅延時間を計測する遅延時間計測ステップと、
当該遅延時間に基づき前記供給開始ステップを開始するタイミングを調整する供給開始タイミング調整ステップとを
含むことを特徴とする請求項１に記載の粘性流体塗布方法。 The viscous fluid application method further includes:
The viscous fluid application device includes a state detection sensor for detecting an open state of the cock,
A delay time measuring step for measuring a delay time from when a signal for opening the cock is issued until the cock is opened to notify that the cock is in an open state;
The viscous fluid application method according to claim 1, further comprising a supply start timing adjustment step of adjusting a timing at which the supply start step is started based on the delay time. 前記粘性流体塗布方法はさらに、
前記粘性流体塗布装置は、コックの開状態を検知する状態検知センサを備え、
前記塗布開始ステップは、コックが開状態の旨を知らせる開信号を状態検知センサから受信し、所定の時間経過後に塗布動作を開始させること
を特徴とする請求項１に記載の粘性流体塗布方法。 The viscous fluid application method further includes:
The viscous fluid application device includes a state detection sensor for detecting an open state of the cock,
The viscous fluid application method according to claim 1, wherein the application start step receives an open signal informing that the cock is in an open state from the state detection sensor, and starts the application operation after a predetermined time has elapsed. 被塗付体に粘性流体の塗布をおこなう塗布部と、
前記塗布部に粘性流体を供給する供給部と、
前記塗布部の塗布動作および供給部の供給動作を制御する制御部とを備え、
前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、前記供給配管に接続されたコックとを有し、
前記塗布部は、回転可能な状態で内部に配設され、回転により前記塗布部の粘性流体を吐出させるスクリュー形状の回転部材を有し、
前記制御部は、前記供給部の供給動作を開始させてから所定時間経過した後に、前記回転部材を回転させることで前記塗布部の塗布動作を開始させ、
前記所定時間は、前記コックが開かれてから、前記保持手段と前記コックとの間の供給配管内の粘性流体に加わっている圧力が前記塗布部内の粘性流体に加わるまでの時間よりも長い
ことを特徴とする粘性流体塗布装置。 An application part for applying a viscous fluid to an object to be applied;
A supply unit for supplying a viscous fluid to the application unit;
A control unit for controlling the application operation of the application unit and the supply operation of the supply unit,
The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, a holding unit that holds the viscous fluid, applies pressure to the supply pipe to push the viscous fluid, and a cock connected to the supply pipe. Have
The application unit is disposed inside in a rotatable state, and has a screw-shaped rotating member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation,
The control unit starts the application operation of the application unit by rotating the rotating member after a predetermined time has elapsed since the supply unit started the supply operation,
The predetermined time is longer than the time from when the cock is opened until the pressure applied to the viscous fluid in the supply pipe between the holding means and the cock is applied to the viscous fluid in the application section. A viscous fluid application device characterized by the above.
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