JP2005319446A - Viscous fluid application method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、粘性流体塗布装置の塗布方法に関し、特に半導体パッケージの製造工程で用いられる粘性流体塗布装置の塗布方法に関するものである。 The present invention relates to a coating method for a viscous fluid coating apparatus, and more particularly to a coating method for a viscous fluid coating apparatus used in a manufacturing process of a semiconductor package.
高速半導体装置において、ダイオード、トランジスタ、IC(集積回路)およびLSI(高集積回路)等の半導体チップと、半導体チップが搭載される基板に形成された電子回路との電気的な接続にはフリップチップ技術が用いられる。フリップチップ技術を用いて形成された半導体パッケージの構造としては、カバーが取り付けられるタイプと、カバーが取り付けられないタイプがある。カバーが取り付けられるタイプは、多くの熱量を発生させる高周波用の半導体チップを内蔵する半導体パッケージに適用され、カバーが取り付けられないタイプは、比較的に発生する熱量が少ない低周波用の半導体チップを内蔵する半導体パッケージに適用される。 In a high-speed semiconductor device, flip chip is used for electrical connection between a semiconductor chip such as a diode, transistor, IC (integrated circuit) and LSI (high integrated circuit) and an electronic circuit formed on a substrate on which the semiconductor chip is mounted. Technology is used. As a structure of a semiconductor package formed by using the flip chip technique, there are a type in which a cover is attached and a type in which a cover is not attached. The type to which the cover is attached is applied to a semiconductor package containing a high-frequency semiconductor chip that generates a large amount of heat. The type to which the cover is not attached is a low-frequency semiconductor chip that generates a relatively small amount of heat. Applies to built-in semiconductor packages.
図13は、半導体パッケージの構造を示す断面図である。
半導体パッケージは、カバーが取り付けられるタイプの半導体パッケージであり、基板900と、回路面が基板900と対向するように基板900に設置された半導体チップ910と、基板900と半導体チップ910とを接着し、電気的に接続する電極バンプ920と、基板900と半導体チップ910との間に充填されたアンダーフィル接着剤930と、半導体チップ910を覆うように基板900に設置されたカバー940と、半導体チップ910で発生した熱をカバー940に逃がすフラックス950と、基板900とカバー940とを接着するシリコン樹脂およびエポキシ樹脂等の封止剤960とから構成される。
FIG. 13 is a cross-sectional view showing the structure of the semiconductor package.
The semiconductor package is a type of semiconductor package to which a cover is attached. The
上記構造を有する半導体パッケージの製造における、アンダーフィル接着剤、フラックスおよび封止剤等の粘性流体の基板および半導体チップへの塗布は、半導体パッケージの製造で広く利用されている一般的な粘性流体塗布装置(例えば特許文献1参照。)により行われる。 Application of viscous fluid such as underfill adhesive, flux and sealant to a substrate and a semiconductor chip in the manufacture of a semiconductor package having the above structure is a general viscous fluid application widely used in the manufacture of semiconductor packages. This is performed by an apparatus (for example, see Patent Document 1).
図14は、従来の粘性流体塗布装置の外観図である。
粘性流体塗布装置は、粘性流体を基板に塗布する塗布ヘッド1000と、基板が載置され、基板のY方向への移動位置決めを行うYテーブル1010と、Y方向と直交するX方向への塗布ヘッド1000の移動位置決めを行うX軸部1020と、塗布ヘッド1000に連結されたカートリッジ1040と、Yテーブル1010およびX軸部1020の動作制御を行う制御部1030とを備える。
FIG. 14 is an external view of a conventional viscous fluid coating apparatus.
The viscous fluid application device includes an
図15は、塗布ヘッド1000の構造を示す断面図である。
塗布ヘッド1000は、粘性流体を吐出するノズル1111および吐出用シャフト1112を有し、粘性流体を基板に塗布するX方向、Y方向、Z方向(図14参照)に移動可能な塗布部1110と、粘性流体を保持するカートリッジ1121、およびカートリッジ1121内の粘性流体を塗布部1110に導く供給配管1122を有し、塗布部1110に粘性流体を供給する供給部1120と、塗布部1110と供給部1120とを一体化する接合部1130とを備える。
FIG. 15 is a cross-sectional view showing the structure of the
The
ここで、吐出用シャフト1112は、ノズル1111の軸方向に沿って塗布部1110内部に配設されており、軸回り方向に回転可能である。吐出用シャフト1112の一端には、スクリュー部1113が形成されており、スクリュー部1113は、吐出用シャフト1112の回転に従ってノズル1111から粘性流体を吐出させる。
Here, the
上記構造を有する粘性流体塗布装置の粘性流体の塗布方法において、塗布動作は、通常、吐出用シャフトの回転開始と同時に、カートリッジ内に圧縮空気を供給してカートリッジ内の粘性流体を押し出すことで開始され、吐出用シャフトの回転停止と同時に、カートリッジ内への圧縮空気の供給を停止して粘性流体の押し出しを停止することで終了される。
しかしながら、従来の粘性流体塗布装置では、カートリッジ内の粘性流体に加えた圧力の変化が塗布部内の粘性流体に伝わるのに要する時間が、供給配管の長さ、つまりカートリッジと塗布部との距離に依存して変化する。よって、上記のような粘性流体塗布装置の塗布方法では、カートリッジと塗布部との距離が長くなった場合、カートリッジ内の粘性流体に圧力を加え始めてから塗布部内の粘性流体に圧力が加わるまでの時間が長くなり、粘性流体が塗布部に供給されていない状態で吐出用シャフトが回転する。したがって、粘性流体が気泡を含み、それが粘性流体への加圧の停止により膨張するので、吐出用シャフトの回転の停止後も粘性流体が吐出するという問題がある。また、カートリッジ内の粘性流体への加圧を止めてから塗布部内の粘性流体への残圧が無くなるまでの時間も長くなるので、残圧により吐出用シャフトの回転の停止後も粘性流体が吐出するという問題もある。 However, in the conventional viscous fluid application device, the time required for the change in pressure applied to the viscous fluid in the cartridge to be transmitted to the viscous fluid in the application part is determined by the length of the supply pipe, that is, the distance between the cartridge and the application part. It changes depending on. Therefore, in the application method of the viscous fluid application device as described above, when the distance between the cartridge and the application part becomes longer, the pressure is applied to the viscous fluid in the application part after the pressure starts to be applied to the viscous fluid in the cartridge. The discharge shaft rotates in a state in which the time is long and the viscous fluid is not supplied to the application unit. Therefore, since the viscous fluid contains bubbles and expands when the pressurization to the viscous fluid is stopped, the viscous fluid is discharged even after the rotation of the discharge shaft is stopped. In addition, since the time until the residual pressure on the viscous fluid in the application section disappears after the pressurization of the viscous fluid in the cartridge is stopped, the viscous fluid is discharged even after the discharge shaft stops rotating due to the residual pressure. There is also the problem of doing.
そこで、本発明は、かかる問題点に鑑み、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を提供することを目的とする。 Therefore, in view of such problems, the present invention has an object to provide a viscous fluid application method capable of controlling the application amount of viscous fluid with high accuracy even when the distance between the cartridge and the application unit is increased. To do.
上記目的を達成するために、本発明の粘性流体塗布方法は、供給部から供給された粘性流体を、塗布部により被塗布体に塗布する粘性流体塗布方法であって、前記供給部の供給動作を終了させる供給終了ステップと、前記供給動作の終了から所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を終了させる塗布終了ステップとを含むことを特徴とする。ここで、前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、前記供給配管に接続されたコックとを有し、前記供給終了ステップでは、前記コックを閉じることで前記供給動作を終了してもよいし、前記供給動作の終了と塗布動作の終了との間に設けられた時間は、前記コックが閉じられてから、前記塗布部と前記コックとの間の供給配管および前記塗布部内の粘性流体への残圧が無くなるまでの時間よりも長くてもよい。また、前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持する保持手段とを有し、前記供給終了ステップでは、前記保持手段内の粘性流体への加圧を停止することで前記供給動作を終了してもよいし、前記供給動作の終了と塗布動作を終了との間に設けられた時間は、前記保持手段内の粘性流体への加圧が停止されてから、前記供給配管および前記塗布部内の粘性流体への残圧が無くなるまでの時間よりも長くてもよい。 In order to achieve the above object, a viscous fluid application method of the present invention is a viscous fluid application method in which a viscous fluid supplied from a supply unit is applied to an object to be applied by an application unit, and the supply operation of the supply unit A supply ending step for ending the coating operation, and a coating ending step for ending the coating operation of the coating unit after a predetermined time has elapsed from the end of the feeding operation. Here, the supply unit is connected to the supply pipe for guiding the viscous fluid to the application unit, holding means for holding the viscous fluid and applying pressure to the supply pipe to push the viscous fluid to be held, and the supply pipe In the supply end step, the supply operation may be ended by closing the cock, and the time provided between the end of the supply operation and the end of the coating operation is It may be longer than the time from when the cock is closed until there is no residual pressure on the supply pipe between the application section and the cock and the viscous fluid in the application section. The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, and a holding unit that holds the viscous fluid. In the supply ending step, pressurization to the viscous fluid in the holding unit is stopped. Thus, the supply operation may be ended, or the time provided between the end of the supply operation and the end of the coating operation is after the pressurization to the viscous fluid in the holding means is stopped. The time until the residual pressure on the viscous fluid in the supply pipe and the application part disappears may be longer.
これによって、塗布動作終了後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができるので、供給部のカートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。 As a result, it is possible to prevent viscous fluid from being discharged due to the residual pressure after the application operation is completed, so that the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy even when the distance between the cartridge of the supply unit and the application unit is increased. It is possible to realize a viscous fluid coating method capable of.
また、本発明は、供給部から供給された粘性流体を、塗布部により被塗布体に塗布する粘性流体塗布方法であって、前記供給部の供給動作を開始させる供給開始ステップと、前記供給動作の開始から所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を開始させる塗布開始ステップとを含むことを特徴とする粘性流体塗布方法とすることもできる。ここで、前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、前記供給配管に接続されたコックとを有し、前記供給開始ステップでは、前記コックを開くことで前記供給動作を開始してもよいし、前記供給動作の開始と塗布動作の開始との間に設けられた時間は、前記コックが開かれてから、前記保持手段と前記コックとの間の供給配管内の粘性流体に加わっている圧力が前記塗布部内の粘性流体に加わるまでの時間よりも長くてもよい。また、前記供給部は、粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、粘性流体を保持する保持手段とを有し、前記供給開始ステップでは、前記保持手段内の粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加えることで前記供給動作を開始してもよいし、前記供給動作の開始と塗布動作を開始との間に設けられた時間は、前記保持手段内の粘性流体への加圧が開始されてから、前記保持手段内の粘性流体に加わっている圧力が前記塗布部内の粘性流体に加わるまでの時間よりも長くてもよい。 The present invention is also a viscous fluid application method in which the viscous fluid supplied from the supply unit is applied to an object to be applied by the application unit, the supply start step for starting the supply operation of the supply unit, and the supply operation And a coating start step of starting a coating operation of the coating unit after a predetermined time has elapsed since the start of the step. Here, the supply unit is connected to the supply pipe for guiding the viscous fluid to the application unit, holding means for holding the viscous fluid and applying pressure to the supply pipe to push the viscous fluid to be held, and the supply pipe In the supply start step, the supply operation may be started by opening the cock, and the time provided between the start of the supply operation and the start of the application operation is It may be longer than the time from when the cock is opened to when the pressure applied to the viscous fluid in the supply pipe between the holding means and the cock is applied to the viscous fluid in the application section. The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, and a holding unit that holds the viscous fluid. In the supply start step, the viscous fluid in the holding unit is pushed out to the supply pipe. The supply operation may be started by applying pressure, or during the time provided between the start of the supply operation and the start of the application operation, pressurization to the viscous fluid in the holding means is started. The pressure applied to the viscous fluid in the holding means may be longer than the time until the pressure is applied to the viscous fluid in the application unit.
これによって、塗布部に粘性流体が確実に供給された後に塗布部が塗布動作を始めるため、粘性流体が気泡を含むことを防止し、塗布動作終了後の粘性流体の吐出を防止することができるので、供給部のカートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。 Accordingly, since the application unit starts the application operation after the viscous fluid is reliably supplied to the application unit, the viscous fluid can be prevented from containing bubbles, and the discharge of the viscous fluid after the application operation is completed can be prevented. Therefore, it is possible to realize a viscous fluid application method capable of controlling the application amount of the viscous fluid with high accuracy even when the distance between the cartridge of the supply unit and the application unit is increased.
ここで、前記塗布部は、回転可能な状態で内部に配設され、回転により前記塗布部の粘性流体を吐出させるスクリュー形状の回転部材を有し、前記塗布終了ステップでは、前記回転部材の回転を停止させることで前記塗布動作を終了してもよいし、前記塗布部は、回転可能な状態で内部に配設され、回転により前記塗布部の粘性流体を吐出させるスクリュー形状の回転部材を有し、前記塗布開始ステップでは、前記回転部材を回転させることで前記塗布動作を開始してもよい。 Here, the application unit has a screw-shaped rotating member that is disposed inside in a rotatable state and discharges the viscous fluid of the application unit by rotation. In the application ending step, the rotation of the rotating member is performed. The application operation may be terminated by stopping the application, or the application unit may be provided in a rotatable state and provided with a screw-shaped rotary member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation. In the application start step, the application operation may be started by rotating the rotating member.
これによって、粘性流体を空気圧で吐出させる場合のように、塗布部内部の粘性流体の量に依存して吐出する粘性流体の量が変わらないので、高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。 As a result, the amount of viscous fluid to be ejected does not change depending on the amount of viscous fluid inside the application unit, as in the case of ejecting viscous fluid by air pressure, so the amount of viscous fluid applied can be controlled with high accuracy. It is possible to realize a viscous fluid coating method capable of.
また、前記コックは、前記塗布部近傍の前記供給配管に接続されていてもよい。
これによって、コックを開いてから、保持手段、つまりカートリッジ内の粘性流体に加えた圧力が塗布部内の粘性流体に加わるまでの時間を短くすることができ、コックを開いてから塗布動作を始めさせるまでの時間差を短くすることができるので、カートリッジと塗布部との距離が長くなった場合でも、粘性流体塗布装置の製造効率を低減させることなく、高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。
Moreover, the said cock may be connected to the said supply piping of the said application part vicinity.
As a result, the time from when the cock is opened to when the pressure applied to the viscous fluid in the holding means, that is, the viscous fluid in the cartridge, is applied to the viscous fluid in the application unit can be shortened, and the coating operation is started after the cock is opened. The time difference between the cartridge and the application part can be shortened, so even if the distance between the cartridge and the application part is increased, the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy without reducing the manufacturing efficiency of the viscous fluid application device. It is possible to realize a viscous fluid coating method capable of.
また、前記コックは、往復動可能な状態で内部に配設され、内部に粘性流体の移動路が形成された可動部を有し、前記コックは、前記可動部を往復動させることで開閉してもよい。 In addition, the cock has a movable part that is disposed inside in a reciprocable state and has a moving path for viscous fluid formed therein, and the cock opens and closes by reciprocating the movable part. May be.
これによって、エアーシリンダの往復動をそのままコックの開閉に利用することができ、動力伝達のタイムラグを無くすことができるので、高い時間精度でコックの開閉を制御でき、高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を実現することができる。 As a result, the reciprocation of the air cylinder can be used for opening and closing the cock as it is, and the time lag of power transmission can be eliminated, so the opening and closing of the cock can be controlled with high time accuracy, and the amount of viscous fluid applied with high accuracy It is possible to realize a viscous fluid application method capable of controlling the pressure.
本発明に係る粘性流体塗布方法によれば、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる。
また、本発明に係る粘性流体塗布装置によれば、粘性流体塗布装置の製造効率を高めることができる。また、粘性流体塗布装置の設計自由度を高めることができる。また、粘性流体塗布装置の塗布の位置精度を高めることができる。
According to the viscous fluid application method according to the present invention, the application amount of the viscous fluid can be controlled with high accuracy even when the distance between the cartridge and the application portion is increased.
Moreover, according to the viscous fluid coating apparatus which concerns on this invention, the manufacturing efficiency of a viscous fluid coating apparatus can be improved. In addition, the degree of freedom in designing the viscous fluid application device can be increased. Moreover, the position accuracy of application | coating of a viscous fluid application apparatus can be improved.
よって、本発明により、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布方法を提供することが可能となり、実用的価値は極めて高い。 Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a viscous fluid application method capable of controlling the application amount of the viscous fluid with high accuracy even when the distance between the cartridge and the application part becomes long, and the practical value is extremely high. high.
以下、本発明の実施の形態における粘性流体塗布装置について、図面を参照しながら説明する。
図1は、本実施の形態の粘性流体塗布装置の外観図であり、図2は、同粘性流体塗布装置の構造を説明するための図である。
Hereinafter, a viscous fluid coating apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an external view of the viscous fluid application apparatus of the present embodiment, and FIG. 2 is a diagram for explaining the structure of the viscous fluid application apparatus.
図2に示すように、本実施の形態の粘性流体塗布装置は、被塗布体(例えば、基板140a、以降基板140aとして説明する)に粘性流体を塗布する塗布ヘッド100と、第1の軸方向への塗布ヘッド100の移動位置決めを行う第1軸部110(例えばX軸部)と、第1の軸方向と直交する第2の軸方向への塗布ヘッド100の移動位置決めを行う第2軸部120(例えばY軸部)と、第1の軸方向と第2の軸方向とで形成される平面に直交する第3の軸方向への塗布ヘッド100の移動位置決めを行う第3軸部130(例えばZ軸部)と、第1の軸方向と第2の軸方向とで形成される平面の所定の位置まで基板140aを搬送する基板搬送部140と、塗布ヘッド100の高さを検出するヘッド高さ検出センサー150と、第1軸部110、第2軸部120および第3軸部130の移動動作制御、および塗布ヘッド100の塗布動作制御を行う制御部160とを備える。
As shown in FIG. 2, the viscous fluid coating apparatus according to the present embodiment includes a
なお、これ以降は、例えば第1の軸方向をX方向、第2の軸方向をY方向、第3の軸方向をZ方向、第1軸部をX軸部、第2軸部をY軸部、第3軸部をZ軸部と呼ぶ。ただし、これに限定することはない。 In the following, for example, the first axial direction is the X direction, the second axial direction is the Y direction, the third axial direction is the Z direction, the first axial part is the X axial part, and the second axial part is the Y axis. And the third shaft portion are called Z-axis portions. However, the present invention is not limited to this.
図3は、塗布ヘッド100の構造を示す断面図である。
塗布ヘッド100は塗布部101と供給部102とを備えている。塗布部101は、粘性流体を吐出するノズル310と吐出用シャフト320とを有し、X方向、Y方向、Z方向(図2参照)に移動可能であり、粘性流体を基板140aに塗布する。供給部102は、粘性流体を保持し、且つ、交換可能なカートリッジ330とカートリッジ330内の粘性流体を塗布部101に導く供給配管340とを有し、Y方向に移動可能であり、粘性流体を塗布部101に供給する。これによって、図14に示されるような従来の粘性流体塗布装置のように、塗布部と供給部とは一体化されないので、塗布部101が停止する際、塗布部101に大きな慣性力が働かず、粘性流体の塗布位置を高い精度で制御することができる。これは、粘性流体塗布装置が大容量のカートリッジ330を有する供給部102を備える場合に大きな効果を発揮する。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the structure of the
The
また、X軸部に取り付けられている塗布部101がY方向へ移動する際は、そのX軸部の一端に固定されている供給部102も、X軸部の移動に連動して塗布部101と共にY方向に移動し、塗布部101がX方向、Z方向へ移動する際は、供給部102は塗布部101の動きとは無関係に静止しているため、塗布ヘッドの空間占有率を低くすることができ、粘性流体塗布装置の設計自由度を高めることができる。特に、カートリッジを大容量化した場合には、それが塗布部と共にX方向、Y方向、Z方向に移動すると、塗布ヘッドの空間占有率が高くなるため、カートリッジを大容量化した場合に大きな効果を発揮する。
Further, when the
吐出用シャフト320は、ノズル310の軸方向に沿って軸回り方向に回転可能な状態で塗布部101内部に配設されている。吐出用シャフト320の一端には、スクリュー部321が形成されており、スクリュー部321が形成されている側の空洞部内に粘性流体が供給部102から導かれてくる。スクリュー部321は、吐出用シャフト320の回転に従って粘性流体を移送し、ノズル310から粘性流体を吐出させる。ノズル310から粘性流体を吐出させる時には、スクリューの回転による押圧力を利用する。これによって、粘性流体を空気圧で吐出させる場合のように、塗布部101内の粘性流体の残量によって、その空気圧の粘性流体にかかる圧力差を考慮する必要がなくなる。そのため、粘性流体の塗布量を高い精度で制御することができる。
The
カートリッジ330は、Y方向に移動可能な状態で粘性流体塗布装置の端部に配設され、そのカートリッジ330は、従来の小容量のカートリッジ(例えば180cc)に比べ大容量のカートリッジ(例えば600cc)である。これによって、カートリッジの交換回数を減らすことができるので、粘性流体塗布装置の製造効率を向上させることができる。特に、図13に示されるようなカバーが取り付けられるタイプの半導体パッケージを製造する場合には、多量の封止剤を塗布しなければならないため、上記半導体パッケージを製造する場合に大きな効果を発揮する。
The
カートリッジ330内の粘性流体には継続的に圧力が加えられている。圧力を加える事例としては、カートリッジ内の粘性流体の液面に対して圧縮空気により圧力が加わるもので以降説明するが、この限りではなく、例えばピストンにより粘性流体に圧力を加えるものでも良い。本実施の形態では、その圧縮空気により粘性流体が供給配管340に押し出されている。このように、継続的に粘性流体に圧力が加えられるが、基板に粘性材料が塗布される位置の手前に次に塗布されるべき基板が何らかのトラブルで、所定の場所に制御された時間内に搬入されて来ない場合、あるいは、粘性材料の塗布が終了した基板が何らかのトラブルで、制御された時間内に搬出されない場合等においては、カートリッジ330内の粘性流体にかけられている継続的な一定の圧縮空気は開放される。これにより、粘性流体の粘度の上昇を防ぐことができる。また、正常時間内に基板の搬入・搬出が行われたとしても、基板の搬入・搬出に要する時間が粘性流体の粘性度を上昇させる程度の時間であり、基板が搬入されたのを検出してから制御された時間を経過しても搬出されなければ、カートリッジ330内の粘性流体にかけられている継続的な一定の圧縮空気は開放される。供給配管340の塗布部101近傍側には開閉によりカートリッジ330内の粘性流体を塗布部101に導くか否かを決定する供給コック341が接続されている。カートリッジ330内の粘性流体に加えられている圧力は継続的に供給コック341で仕切られている供給部側に位置する供給配管343内の粘性流体にも加えられており、供給コック341が塗布部101近傍側に存在するということは、供給コック341を開いてから、カートリッジ内の粘性流体に加えている圧力が塗布部内の粘性流体に伝わるまでの時間を短くすることができるということである。特に、カートリッジ330を備える供給部102と塗布部101との距離が長くなった場合には、供給コック341を開いてから、カートリッジ330内の粘性流体に加えている圧力が塗布部101内の粘性流体に加わるまでの時間が長くなるため、カートリッジ330を備える供給部102と塗布部101との距離が長い場合に大きな効果を発揮する。また、供給部102と塗布部101との距離の長短によらず、供給コック341を開いてから、カートリッジ330内の粘性流体に加わっている圧力が塗布部101内の粘性流体に加わるまでの時間を一定にすることができるので、供給部102と塗布部101との距離の長短によらず高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる。
Pressure is continuously applied to the viscous fluid in the
なお、供給配管340には供給コックが接続されていない装置にも適用される。
図4は塗布部101と供給部102との位置、および、それらにつながれた供給配管340の状態を表す図であり、(a)(b)の区別は、塗布部101と供給部102の相対的位置関係を異にした状態を説明するためのものである。
Note that the present invention is also applicable to an apparatus in which a supply cock is not connected to the
FIG. 4 is a diagram showing the positions of the
供給配管340は、例えば径8mmで、一定の長さ、例えば730mmを有し、一部が一定の形状、例えばU字形状を成すように固定部材400が取り付けられている。これによって、塗布部101がX方向に移動し、塗布部101と供給部102との相対位置が変わった場合でも、供給配管340には、その内部にある粘性流体への圧迫を生じるような折れ曲がり等が発生せず、供給配管340の内容積は変化しないので、内容積の変化に伴う粘性流体に加わる圧力の変化を防止することができる。すなわち、供給部102と塗布部101との位置関係によらず高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる。このとき、供給コック341で仕切られている塗布部側に位置する供給配管342は例えば長さ130mmを有する。
The
図5は、供給コック341の断面図であり、図5(a)は供給コック341が開いているときの断面図を示し、図5(b)は供給コック341が閉じているときの断面図を示している。
FIG. 5 is a cross-sectional view of the
供給コック341内部には、往復動可能な状態で配設された可動部500と、可動部500の平行面により構成される真っ直ぐな移動路510が形成されており、可動部500の往復動により粘性流体を通過させるか否かを決定する。
In the
ここで、可動部500は、エアーシリンダの往復動を駆動源とする。これによって、エアーシリンダの往復動をそのまま供給コック341の開閉に利用することができるので、動力伝達のタイムラグを無くすことができ、高い時間精度で供給コック341の開閉を制御できる。また、粘性流体は真直な移動路510を通過するので、供給コック341による圧力損失を減らすことができ、供給コック341における粘性流体に加わる圧力の変化を防止することができる。一方、図8に示す構成の供給コック820を開閉する際には、回動部800をエアーシリンダの往復動を駆動源とするリンク機構を介して回動させるため、動力伝達のタイムラグが発生する。なお、モータを駆動源として回動部800を直接回動させることも可能であるが、高コストとなる。
Here, the
図6は、上記構造を有する粘性流体塗布装置の動作を説明するためのフローチャートである。
まず、X軸部110およびY軸部120により塗布ヘッド100を所定のX−Y位置に移動させる(ステップS610)。これは、Y軸部120により塗布部101および供給部102を所定のY位置に移動させ、かつX軸部110により塗布部101を所定のX位置に移動させることによりおこなわれる。
FIG. 6 is a flowchart for explaining the operation of the viscous fluid applying apparatus having the above structure.
First, the
次に、Z軸部130により塗布ヘッド100を所定の高さまで下降させる(ステップS620)。
次に、塗布ヘッド100により基板140aに粘性流体を塗布する(ステップS630)。なお、塗布動作の詳細については後述する。
Next, the
Next, a viscous fluid is applied to the
最後に、Z軸部130により塗布ヘッド100を所定の高さまで上昇させる(ステップS640)。
図7は、塗布ヘッド100による塗布動作(図6のステップS630における塗布動作)を説明するためのタイミングチャートである。なお、図7(a)は供給コック341の開閉タイミングを示し、図7(b)は吐出用シャフト320の回転タイミングを示し、図7(c)はノズル310からの粘性流体の吐出タイミングを示している。
Finally, the
FIG. 7 is a timing chart for explaining the application operation by the application head 100 (application operation in step S630 in FIG. 6). 7A shows the opening / closing timing of the
まず、供給部102による粘性流体の供給動作を開始させる(供給開始ステップ)(t=t0)。すなわち、供給コック341を開いて、粘性流体を塗布部101に供給させる。
First, the supply operation of the viscous fluid by the
次に、塗布部101による粘性流体の塗布動作を開始させる(塗布開始ステップ)(t=t1)。すなわち、スクリュー部321を回転させて、粘性流体をノズル310から吐出させる。
Next, the application operation of the viscous fluid by the
次に、供給部102による粘性流体の供給動作を終了させる(供給終了ステップ)(t=t2)。すなわち、供給コック341を閉じて、塗布部101への粘性流体の供給を停止させる。
Next, the supply operation of the viscous fluid by the
最後に、塗布部101による粘性流体の塗布動作を終了させる(塗布終了ステップ)(t=t3)。すなわち、スクリュー部321の回転を停止させて、ノズル310からの粘性流体の吐出を停止させる。
Finally, the application operation of the viscous fluid by the
供給コック341によって仕切られている供給部側の供給配管343に存在する粘性流体には継続的に一定の圧力がかけられている。この状態で供給コック341を開口すると、供給部側の供給配管343の粘性流体にかかっている圧力が塗布部側の供給配管342の粘性流体にかかる。供給コック341開口時点から吐出用シャフト320が回転を開始するまでの時間t1−t0は、この供給コック341開口時点から塗布部側の供給配管342の粘性流体に圧力がかかるまでの時間よりも長くなるよう設定する。最短の時間t1−t0は主に塗布部側の供給配管342の長さと内容積とによって変化する。
A constant pressure is continuously applied to the viscous fluid existing in the
塗布実行中に塗布部側の供給配管342に存在する粘性流体にかかっている圧力は、供給コック341を閉じてから吐出用シャフト320が回転を停止しても残圧として存在する。供給コック341閉口時から吐出用シャフト320が回転を停止するまでの時間t3−t2は、この供給コック閉口時点から塗布部側の供給配管342の粘性流体にかかる残圧が無くなるまでの時間よりも長くなるよう設定する。最短の時間t3−t2は主に塗布部側の供給配管342の長さと内容積とによって変化する。
The pressure applied to the viscous fluid existing in the
供給コック341で仕切られた、塗布部側に位置する供給配管342の内容積が例えば24.5ccであり、塗布部101のスクリュー部321が形成されている側の空洞部の内容積が例えば0.01ccである場合には、最短の時間t1−t0および時間t3−t2は、約0.2secとなる。
The internal volume of the
以上のように、本実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布方法によれば、供給コック341開口時点においては、吐出用シャフト320は、塗布部101に粘性流体が確実に供給された後に回転を開始し、供給コック341閉口時点においては、塗布部側に位置する供給配管342内の粘性流体および塗布部101内の粘性流体への残圧が確実に無くなる時点に回転を停止する。つまり、上記残圧が無くなるまで吐出用シャフト320を回転させている時間帯も、通常の塗布動作の一部となるよう、吐出用シャフト320の回転停止タイミングは供給コック341の閉口タイミングより遅く設定していることにより、吐出用シャフトの回転停止後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができる。
As described above, according to the application method of the viscous fluid application device of the present embodiment, when the
また、本実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布方法によれば、吐出用シャフト320は、供給コック341を閉じてから、塗布部101と供給コック341との間の供給配管342、および塗布部101内の粘性流体への残圧が無くなるまで回転する。よって、吐出用シャフトの回転停止後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができるので、本実施の形態の粘性流体塗布装置の塗布方法は、カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することが可能な粘性流体塗布装置の塗布方法を実現することができる。
Further, according to the coating method of the viscous fluid coating apparatus of the present embodiment, the
以上、本発明に係る粘性流体塗布装置について実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形または修正が可能であることはいうまでもない。 The viscous fluid application apparatus according to the present invention has been described based on the embodiment. However, the present invention is not limited to this embodiment, and various modifications or changes can be made without departing from the scope of the present invention. It goes without saying that corrections are possible.
例えば、上記実施の形態では、供給コック341の開閉により塗布部101への粘性流体の供給を制御するとしたが、供給コックを介さずにカートリッジ330内の粘性流体に圧力を加えるか否かで粘性流体の供給を制御しても構わない。この場合には、カートリッジ内の粘性流体への加圧を開始してから吐出用シャフトを回転させるまでにかかる時間を、カートリッジ内の粘性流体への加圧を開始してから、カートリッジ内の粘性流体に加わっている圧力が塗布部内の粘性流体に加わるにかかる時間よりも長くなるよう設定する。また、カートリッジ内の粘性流体への加圧を停止してから吐出用シャフトの回転を停止させるまでにかかる時間を、カートリッジ内の粘性流体への加圧を停止してから、供給配管および塗布部内の粘性流体への残圧が無くなるまでかかる時間よりも長くなるよう設定する。つまり、上記残圧が無くなるまで吐出用シャフト320を回転させている時間帯も、通常の塗布動作の一部となるよう、吐出用シャフト320の回転停止タイミングは供給コック341の閉口タイミングより遅く設定していることにより、吐出用シャフトの回転停止後の残圧による粘性流体の吐出を防止することができる。
For example, in the above embodiment, the supply of the viscous fluid to the
また、供給コックとして図8に示されるような回転式の供給コック820を利用してもよい。すなわち、回転可能な状態で供給コック820内部に配設され、真直な移動路810が形成された回動部800の回転動により、粘性流体を通過させるか否かを決定する供給コック820を利用してもよい。
Further, a
次に、本発明にかかる他の実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、上記実施形態と同じ部品などについては同じ番号を付しその説明を省略する。
図9は、本実施形態にかかる供給コック341、及び供給コック341の駆動部1299、制御部160を示す概念図である。
Next, another embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings. The same parts as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
FIG. 9 is a conceptual diagram showing the
同図に示すように、供給コック341を開閉する駆動部1299は、エアーシリンダ1200とエアーバルブ1210を備えている。
エアーシリンダ1200はその内部で往復動するピストン1202と、当該ピストン1202に接続されるプランジャ1201とを備えている。そしてプランジャ1201は、供給コック341の可動部500に接続されており、プランジャ1201に接続されるピストン1202の往復動に伴って供給コック341を開閉することが可能となっている。
As shown in the figure, the
The
また、前記ピストン1202にはマグネット1203が設けられるとともに、前記マグネット1203が近づくと反応する状態検知センサとしてのマグネットセンサ1204、1205がエアーシリンダ1200の外壁に2カ所取り付けられている。
The
このマグネットセンサ1204は供給コック341が閉状態のときにその旨の信号を発することができ、一方マグネットセンサ1205は供給コック341が開状態のときにその旨の信号を発することができるセンサである。
The
エアーバルブ1210は、ソレノイドにより圧縮空気の経路を切り替えることができるバルブであり、エアーシリンダ1200に接続され、圧縮空気の経路を切り替えることにより、プランジャ1201を自在に出没させることができるものである。ひいては、圧縮空気の経路をエアーバルブ1210で切り替えることにより、供給コック341の開閉を制御することができる。
The
制御部160は、バルブ制御部1221と、センサ信号受信部1222と、遅延時間計測部1223とを備えている。
バルブ制御部1221は、前記エアーバルブ1210を制御して圧縮空気の経路を変更する処理部であり、つまり、供給コック341の開閉を制御する処理部である。
The
The
センサ信号受信部1222は、エアーシリンダ1200に備えられるマグネットセンサ1204,1205からの信号を受信し、供給コック341の状態を把握する処理部である。
The sensor
遅延時間計測部1223は、バルブ制御部1221が発信した信号とマグネットセンサ1204,1205から受信する信号との時間のずれを計測する処理部である。
次に、マグネットセンサ1204,1205などを用いて供給開始ステップ等を制御する方法を説明する。
The delay
Next, a method for controlling the supply start step using the
図10は、本実施形態にかかる粘性流体塗布装置の各動作を示すフローチャートである。
まず、バルブ制御部1221は、供給コック341を開状態にするコック開信号をエアーバルブ1210に発信する(S1301)。
FIG. 10 is a flowchart showing each operation of the viscous fluid applying apparatus according to the present embodiment.
First, the
この開信号に基づきエアーバルブ1210は、エアーシリンダ1200のプランジャ1201を没入する方向に圧縮空気の経路を変更する。これにより供給コック341の可動部500が移動し、供給コック341は開状態となる。
Based on this open signal, the
供給コック341が開状態となれば、供給コック341が開状態となった旨の開状態信号をマグネットセンサ1205が発信し(S1302)、センサ信号受信部1222がこの信号を受信する。
If the
遅延時間計測部1223は、バルブ制御部1221の開信号発信時点からセンサ信号受信部1222が開状態信号を受信する時点までの時間を計測し、遅延時間を算出する(S1303)。
The delay
制御部160は当該遅延時間から、供給開始すなわちコック開信号発信(図7:t0)時点を基準とした吐出用シャフト1112の回転開始(図7:t1)のタイミングを決定する(S1304)。
Based on the delay time, the
次回からは前記決定されたタイミングを用いて塗布動作が行われる。
図11は、本実施形態にかかる塗布ヘッド100による塗布動作を説明するためのタイミングチャートである。図11(a)は初期に設定した供給コック341の開閉タイミング及び開閉状態のずれ(遅延時間)を示し、(b)は前記遅延時間に基づき供給コック341の開閉タイミングをずらした状態を示し、(c)は吐出用シャフト320の回転タイミングを示し、(d)はノズル310からの粘性流体の吐出タイミングを示している。
From the next time, the coating operation is performed using the determined timing.
FIG. 11 is a timing chart for explaining the coating operation by the
まず、供給配管342、および塗布部101内の容積から算出されるタイミングによって供給部102による粘性流体の供給動作を開始、すなわちエアバルブ1210に対して開信号を発信する(t=t0)。
First, the supply operation of the viscous fluid by the
ところが、想定される供給コック341の開動作(図11(a)破線)に対し、実際の開動作は供給コック341の個体差や経時変化により遅延が生じる(図11(a)実線)。すなわち、想定される開状態に達する時刻t1に対し実際には時刻t1’に開状態となる。
However, in contrast to the assumed opening operation of the supply cock 341 (FIG. 11A, broken line), the actual opening operation is delayed due to individual differences in the
このままの状態では、供給配管342、および塗布部101内が十分な圧力に到達しない間に吐出用シャフト320が回転を開始して吐出を開始するため、吐出開始時の粘性流体の吐出量が不十分になるおそれがある。
In this state, since the
そこで、当該遅延時間をマグネットセンサ1204,1205によって測定し、このデータから供給コック341の個体差や経時変化を吸収しうる開信号のタイミングt2(図11(b))を決定する。この開信号のタイミングt2は、吐出用シャフト320が回転を開始するタイミングt3から逆算される。
Therefore, the delay time is measured by the
以上のように、コック開信号発信から開状態信号受信までの遅延時間を把握することにより、例えば供給コック341を交換した際の供給コック341の応答時間の個体差を吸収して、常に安定した粘性流体の圧力で粘性流体の吐出を開始することが可能となり、吐出はじめの過剰塗布や過小塗布を回避することができる。
As described above, by grasping the delay time from the cock open signal transmission to the open state signal reception, for example, the individual difference in the response time of the
また、供給コック341は、使用により摺動部分に粘性流体が付着して応答時間が経時的に遅くなる傾向があるが、定期的に当該遅延時間を計測することにより、経時的にも安定して粘性流体を吐出することが可能となる。
The
特に前記の方法は、供給コック341が開状態に至る前に吐出用シャフト1112の回転を開始する場合に有効である。
一方、吐出状体終了時にも同様の遅延が生じ、供給配管342、および塗布部101内に不必要な圧力が残存している間に吐出用シャフト320が停止するため、吐出終了時に粘性流体が予期せぬところで吐出されるおそれがある。
In particular, the above-described method is effective when the rotation of the
On the other hand, a similar delay occurs at the end of the discharge-like body, and the
本実施形態にかかる粘性流体塗布装置は、前記と同様に吐出終わりの際の遅延時間を計測してコック閉信号の発信のタイミングを決定することができる。
すなわち、コック閉信号発信から閉状態信号受信までの遅延時間(図11(a)t11−t11’)を計測し、当該遅延時間から吐出用シャフト1112の回転停止(t13)を基準としたコック閉信号(t12)のタイミングを決定することもできる。
The viscous fluid applying apparatus according to the present embodiment can determine the timing of transmission of the cock closing signal by measuring the delay time at the end of discharge in the same manner as described above.
That is, by measuring the delay time from No. cock close signal originating to the closed state signal reception (FIG. 11 (a) t 11 -t 11 '), and the reference rotation stop of the discharge shaft 1112 (t 13) from the delay time The timing of the closed cock closing signal (t 12 ) can also be determined.
以上により、供給コック341の交換直後や経時的に供給コック341の応答時間が変化しても常に安定した粘性流体の圧力で吐出を終了させることができ、粘性流体の液だれ等を回避することが可能となる。
As described above, even if the response time of the
次に、本発明にかかる他の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の装置構成などは前記実施形態と同様であるためその説明を省略する。
図12は、供給コック341の開閉タイミングと吐出用シャフト320の回転停止タイミングを説明するためのタイミングチャートである。
Next, another embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, since the apparatus structure of this embodiment is the same as that of the said embodiment, the description is abbreviate | omitted.
FIG. 12 is a timing chart for explaining the opening / closing timing of the
本実施形態の場合、図12(a)(b)に示すように、吐出用シャフト320の回転タイミング停止タイミングは、供給コック341の開状態、閉状態の後に発生する。従って、供給コック341の開状態、すなわちマグネットセンサ1205からの信号を受信してから所定の時間経過に吐出用シャフト320の回転を開始すればよいため、供給コック341の交換や経時変化によって開状態のタイミングがt1からt1’にずれたとしてもこれに対応して吐出用シャフト320の回転を開始するタイミングをt2からt2’に変更することが可能になる。
In this embodiment, as shown in FIGS. 12A and 12B, the rotation timing stop timing of the
一方、粘性流体の吐出を終了させる場合も、マグネットセンサ1204からの閉状態の信号受信のタイミングt11またはt11’により吐出用シャフト320の回転停止のタイミングをt12からt12’に容易に変更することが可能となる。
On the other hand, even when to terminate the discharge of the viscous fluid, 'the timing of the rotation stopping the discharge shaft 320 t 12 from t 12 by' easily to the timing t 11 or t 11 of the signal reception in the closed state from the
以上によれば、供給コック341の状態を把握した上で吐出用シャフト320を制御することができるため、供給コック341の状態にリアルタイムで対応することが可能となる。
According to the above, since the
本発明は、粘性流体塗布装置の塗布方法に利用でき、特に半導体パッケージの製造工程で用いられる粘性流体塗布装置の塗布方法等に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a coating method of a viscous fluid coating apparatus, and in particular, can be used for a coating method of a viscous fluid coating apparatus used in a semiconductor package manufacturing process.
100、1000 塗布ヘッド
101、1110 塗布部
102、1120 供給部
110、1020 X軸部
120 Y軸部
130 Z軸部
140 基板搬送部
140a、900 基板
150 ヘッド高さ検出センサー
160、1030 制御部
310、1111 ノズル
320、1112 吐出用シャフト
321、1113 スクリュー部
330、1040、1121 カートリッジ
340、342、343、1122 供給配管
341、820 供給コック
400 可動部
500 開閉決定部
510、810 移動路
800 回動部
910 半導体チップ
920 電極バンプ
930 アンダーフィル接着剤
940 カバー
950 フラックス
960 封止剤
1010 Yテーブル
1130 接合部
1200 エアーシリンダ
1210 エアーバルブ
1221 バルブ制御部
1222 センサ信号受信部
1223 遅延時間計測部
100, 1000
Claims (26)
前記供給部の供給動作を終了させる供給終了ステップと、
前記供給動作の終了から所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を終了させる塗布終了ステップとを含む
ことを特徴とする粘性流体塗布方法。 A viscous fluid application method for applying a viscous fluid supplied from a supply unit to an object to be applied by an application unit,
A supply end step of ending the supply operation of the supply unit;
A viscous fluid application method comprising: an application end step of ending the application operation of the application unit after a predetermined time has elapsed from the end of the supply operation.
前記供給終了ステップでは、前記コックを閉じることで前記供給動作を終了する
ことを特徴とする請求項1に記載の粘性流体塗布方法。 The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, a holding unit that holds the viscous fluid, applies pressure to the supply pipe to push the viscous fluid, and a cock connected to the supply pipe. Have
The viscous fluid application method according to claim 1, wherein in the supply end step, the supply operation is ended by closing the cock.
前記塗布終了ステップでは、前記回転部材の回転を停止させることで前記塗布動作を終了する
ことを特徴とする請求項2に記載の粘性流体塗布方法。 The application unit is disposed inside in a rotatable state, and has a screw-shaped rotating member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation,
The viscous fluid application method according to claim 2, wherein in the application end step, the application operation is ended by stopping the rotation of the rotating member.
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の粘性流体塗布方法。 The time provided between the end of the supply operation and the end of the application operation is the amount of time remaining in the supply pipe between the application unit and the cock and the viscous fluid in the application unit after the cock is closed. 4. The method for applying a viscous fluid according to claim 2 or 3, wherein the time is longer than the time until the pressure disappears.
前記コックは、前記可動部を往復動させることで開閉する
ことを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の粘性流体塗布方法。 The cock is disposed inside in a reciprocable state, and has a movable part in which a moving path of viscous fluid is formed.
The viscous fluid application method according to any one of claims 2 to 4, wherein the cock is opened and closed by reciprocating the movable portion.
前記供給終了ステップでは、前記保持手段内の粘性流体への加圧を停止することで前記供給動作を終了する
ことを特徴とする請求項1に記載の粘性流体塗布方法。 The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, and a holding unit that holds the viscous fluid.
The viscous fluid application method according to claim 1, wherein in the supply end step, the supply operation is ended by stopping pressurization of the viscous fluid in the holding unit.
前記塗布終了ステップでは、前記回転部材の回転を停止させることで前記塗布動作を終了する
ことを特徴とする請求項6に記載の粘性流体塗布方法。 The application unit is disposed inside in a rotatable state, and has a screw-shaped rotating member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation,
The viscous fluid application method according to claim 6, wherein in the application end step, the application operation is ended by stopping the rotation of the rotating member.
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の粘性流体塗布方法。 The time provided between the end of the supply operation and the end of the application operation is the amount of time remaining after the pressurization to the viscous fluid in the holding means is stopped. The viscous fluid application method according to claim 6 or 7, characterized in that it is longer than the time until the pressure disappears.
前記粘性流体塗布装置は、コックの閉状態を検知する状態検知センサを備え、
コックを閉じる信号を発してからコックが閉状態の旨を知らせる閉信号を状態検知センサから受信するまでの遅延時間を計測する遅延時間計測ステップと、
当該遅延時間に基づき前記供給終了ステップを開始するタイミングを調整する供給終了タイミング調整ステップとを
含むことを特徴とする請求項2に記載の粘性流体塗布方法。 The viscous fluid application method further includes:
The viscous fluid application device includes a state detection sensor for detecting a closed state of the cock,
A delay time measuring step for measuring a delay time from issuing a signal for closing the cock to receiving from the state detection sensor a closing signal notifying that the cock is closed;
The viscous fluid application method according to claim 2, further comprising a supply end timing adjustment step of adjusting a timing at which the supply end step is started based on the delay time.
前記粘性流体塗布装置は、コックの閉状態を検知する状態検知センサを備え、
前記塗布終了ステップでは、コックが閉状態の旨を知らせる閉信号を状態検知センサから受信し、所定の時間経過後に塗布動作を終了させること
を特徴とする請求項2に記載の粘性流体塗布方法。 The viscous fluid application method further includes:
The viscous fluid application device includes a state detection sensor for detecting a closed state of the cock,
The viscous fluid application method according to claim 2, wherein in the application end step, a closing signal notifying that the cock is in a closed state is received from the state detection sensor, and the application operation is ended after a predetermined time has elapsed.
前記供給部の供給動作を開始させる供給開始ステップと、
前記供給動作の開始から所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を開始させる塗布開始ステップとを含む
ことを特徴とする粘性流体塗布方法。 A viscous fluid application method for applying a viscous fluid supplied from a supply unit to an object to be applied by an application unit,
A supply start step for starting a supply operation of the supply unit;
And a coating start step of starting a coating operation of the coating unit after a predetermined time has elapsed from the start of the supply operation.
前記供給開始ステップでは、前記コックを開くことで前記供給動作を開始する
ことを特徴とする請求項11に記載の粘性流体塗布方法。 The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, a holding unit that holds the viscous fluid, applies pressure to the supply pipe to push the viscous fluid, and a cock connected to the supply pipe. Have
The viscous fluid application method according to claim 11, wherein in the supply start step, the supply operation is started by opening the cock.
前記塗布開始ステップでは、前記回転部材を回転させることで前記塗布動作を開始する
ことを特徴とする請求項12に記載の粘性流体塗布方法。 The application unit is disposed inside in a rotatable state, and has a screw-shaped rotating member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation,
The viscous fluid application method according to claim 12, wherein in the application start step, the application operation is started by rotating the rotating member.
ことを特徴とする請求項12又は13に記載の粘性流体塗布方法。 The time provided between the start of the supply operation and the start of the coating operation is the pressure applied to the viscous fluid in the supply pipe between the holding means and the cock after the cock is opened. The viscous fluid application method according to claim 12 or 13, wherein the time is longer than the time until the viscous fluid in the application part is applied.
前記コックは、前記可動部を往復動させることで開閉する
ことを特徴とする請求項12〜14のいずれか1項に記載の粘性流体塗布方法。 The cock is disposed inside in a reciprocable state, and has a movable part in which a moving path of viscous fluid is formed.
The viscous fluid application method according to claim 12, wherein the cock is opened and closed by reciprocating the movable portion.
前記粘性流体塗布装置は、コックの開状態を検知する状態検知センサを備え、
コックを開ける信号を発してからコックが開状態の旨を知らせる開信号を状態検知センサから受信するまでの遅延時間を計測する遅延時間計測ステップと、
当該遅延時間に基づき前記供給開始ステップ開始するタイミングを調整する供給開始タイミング調整ステップとを
含むことを特徴とする請求項12に記載の粘性流体塗布方法。 The viscous fluid application method further includes:
The viscous fluid application device includes a state detection sensor for detecting an open state of the cock,
A delay time measuring step for measuring a delay time from when a signal for opening the cock is issued until the cock is opened to notify that the cock is in an open state;
The viscous fluid application method according to claim 12, further comprising a supply start timing adjustment step of adjusting a timing at which the supply start step starts based on the delay time.
前記粘性流体塗布装置は、コックの開状態を検知する状態検知センサを備え、
前記塗布開始ステップは、コックが開状態の旨を知らせる開信号を状態検知センサから受信し、所定の時間経過後に塗布動作を開始させること
を特徴とする請求項12に記載の粘性流体塗布方法。 The viscous fluid application method further includes:
The viscous fluid application device includes a state detection sensor for detecting an open state of the cock,
13. The viscous fluid application method according to claim 12, wherein the application start step receives an open signal notifying that the cock is in an open state from the state detection sensor, and starts the application operation after a predetermined time has elapsed.
前記供給開始ステップでは、前記保持手段内の粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加えることで前記供給動作を開始する
ことを特徴とする請求項11に記載の粘性流体塗布方法。 The supply unit includes a supply pipe that guides the viscous fluid to the application unit, and a holding unit that holds the viscous fluid.
The viscous fluid application method according to claim 11, wherein in the supply start step, the supply operation is started by applying a pressure pushing the viscous fluid in the holding unit to the supply pipe.
前記塗布開始ステップでは、前記回転部材を回転させることで前記塗布動作を開始する
ことを特徴とする請求項18に記載の粘性流体塗布方法。 The application unit is disposed inside in a rotatable state, and has a screw-shaped rotating member that discharges the viscous fluid of the application unit by rotation,
The viscous fluid application method according to claim 18, wherein in the application start step, the application operation is started by rotating the rotating member.
ことを特徴とする請求項18又は19に記載の粘性流体塗布方法。 The time provided between the start of the supply operation and the start of the application operation is the time when the pressure applied to the viscous fluid in the holding means is increased after the pressurization to the viscous fluid in the holding means is started. The viscous fluid application method according to claim 18 or 19, wherein the time is longer than the time until the viscous fluid in the application part is applied.
前記供給部の供給動作を開始させる供給開始ステップと、
前記供給動作の開始から所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を開始させる塗布開始ステップと、
前記供給部の供給動作を終了させる供給終了ステップと、
前記供給動作の終了から所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を終了させる塗布終了ステップとを含む
ことを特徴とする粘性流体塗布方法。 A viscous fluid application method for applying a viscous fluid supplied from a supply unit to an object to be applied by an application unit,
A supply start step for starting a supply operation of the supply unit;
After a predetermined time has elapsed from the start of the supply operation, an application start step for starting the application operation of the application unit;
A supply end step of ending the supply operation of the supply unit;
An application end step of ending the application operation of the application unit after a predetermined time has elapsed from the end of the supply operation.
前記塗布部に粘性流体を供給する供給部と、
前記塗布部の塗布動作および供給部の供給動作を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記供給部の供給動作を終了させてから所定時間経過した後に、前記塗布部の塗布動作を終了させる
ことを特徴とする粘性流体塗布装置。 An applicator that applies a viscous fluid to the substrate;
A supply unit for supplying a viscous fluid to the application unit;
A control unit for controlling the application operation of the application unit and the supply operation of the supply unit,
The control unit terminates the application operation of the application unit after a predetermined time has elapsed since the supply operation of the supply unit was completed.
ことを特徴とする請求項22に記載の粘性流体塗布装置。 23. The viscous fluid coating apparatus according to claim 22, wherein the control unit starts a coating operation of the coating unit after a predetermined time has elapsed since the feeding operation of the feeding unit was started.
粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、
粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、
前記供給配管に接続されたコックと、
前記コックの開閉動作を行う駆動手段と、
前記コックの開状態または閉状態の少なくともいずれか一方を検出する状態検知センサとを備え、
前記制御部は、前記状態検知センサからの信号に基づき塗布動作、もしくは、供給動作を制御すること
を特徴とする請求項22に記載の粘性流体塗布装置。 The supply unit further includes
A supply pipe for guiding the viscous fluid to the application section;
Holding means for holding the viscous fluid and applying pressure to the holding viscous fluid to push the supply pipe;
A cock connected to the supply pipe;
Driving means for opening and closing the cock;
A state detection sensor that detects at least one of an open state and a closed state of the cock;
23. The viscous fluid application apparatus according to claim 22, wherein the control unit controls an application operation or a supply operation based on a signal from the state detection sensor.
粘性流体を前記塗布部に導く供給配管と、
粘性流体を保持し、保持する粘性流体に前記供給配管に押し出す圧力を加える保持手段と、
前記供給配管に接続されたコックと、
前記コックを駆動するエアーシリンダと、
前記エアーシリンダの開状態または閉状態の少なくともいずれか一方を検出する状態検知センサとを備え、
前記制御部は、前記状態検知センサからの信号に基づき塗布動作、及び、供給動作を制御すること
を特徴とする請求項22に記載の粘性流体塗布装置。 The supply unit further includes
A supply pipe for guiding the viscous fluid to the application section;
Holding means for holding the viscous fluid and applying pressure to the holding viscous fluid to push the supply pipe;
A cock connected to the supply pipe;
An air cylinder for driving the cock;
A state detection sensor for detecting at least one of an open state and a closed state of the air cylinder,
23. The viscous fluid application apparatus according to claim 22, wherein the control unit controls an application operation and a supply operation based on a signal from the state detection sensor.
前記供給部の供給動作を終了させる供給終了ステップと、
前記供給動作の終了時点においても塗布部になお残存する粘性流体により塗布部において粘性流体漏れを起こさない程度の時間が、前記供給動作の終了時点から経過した後に、前記塗布部の塗布動作を終了させる塗布終了ステップとを含む
ことを特徴とする粘性流体塗布方法。 A viscous fluid application method for applying a viscous fluid supplied from a supply unit to an object to be applied by an application unit,
A supply end step of ending the supply operation of the supply unit;
At the end of the supply operation, the application operation of the application unit is terminated after a period of time from which the viscous fluid still remaining in the application unit does not cause viscous fluid leakage in the application unit has elapsed since the end of the supply operation. A viscous fluid application method comprising: an application end step.
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