JP4187044B2 - Scカット水晶振動子及び高安定水晶発振器 - Google Patents
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Description
従来、上記したようなOCXOにおいては、ATカット水晶振動子が用いられていたが、近年では80℃前後の比較的高い温度において周波数変動が極めて小さいSCカット(Stress Compensation-cut)水晶振動子が広く用いられている。
なお、特許文献1には、AモードとBモードの共振を抑圧してCモードの共振を確実に励振できるSCカットの水晶振動子として、水晶片の板面のZ軸方向から30°ないし50°回転した板面の端部を支持するようにしたSCカットの水晶振動子が開示されている。
そこで、本発明者らが上記したような問題点を解決すべく鋭意検討を行った結果、OCXO等の水晶デバイスに使用しているSCカット水晶振動子の特性変化によって上記したような不具合が発生していることが判明した。
本発明は、上記したような点を鑑みてなされたものであり、リフロー後の発振周波数の変動を抑制できるSCカット水晶振動子を提供することを目的とする。また電源投入後の周波数立ち上がり特性に優れたSCカット水晶振動子を提供することを目的とする。
図1は本発明の実施形態であるSCカット水晶振動子の概略構成を示した図であり、(a)は全体構成を示す斜視図、(b)は正面縦断面図、(c)は側部縦断面図である。また図2は本実施形態の水晶振動子における水晶基板の支持機構を示した図である。
この図1に示すSCカット水晶振動子1は、金属ケース3内に水晶振動素子10を気密封止した水晶振動子本体2と、金属ケース3の底部4から突出した2本のリード端子5とを備えている。水晶振動素子10は、中央部に振動部を備えたSCカットの水晶基板(水晶片)11と、この水晶基板11の表裏面に夫々形成される励振電極12と、水晶基板11の両端縁を支持する支持部材6とを備えている。支持部材6は、各励振電極12から水晶基板11の対向する端縁に向けて引き出されたリードパターン13に接続されている。また支持部材6の他端側は底部4に設けられた2本のリード端子5に接続されている。
なお、本実施形態のSCカットの水晶基板11は、水晶の結晶を光軸(Z軸)から約34°、例えば34°04′30″±30″、電気軸(X軸)から約22°、例えば22°20′±10′回転した平面から切り出したものである。
また本実施形態においては、図2(b)に示すように、例えば水晶基板11の中心軸を通るZZ’軸線上から165°〜180°回転させた線上にある水晶基板11の2つの端部11aを支持部材6により支持するようにした。即ち、水晶基板11の中心軸を通るZZ’軸と、2つの支持部材6が支持する端部とを結ぶ線上とがなす支持角度ψを約165°〜180°とした。
図2(a)(b)に示すように、支持部材6により水晶基板11を支持する支持角度ψを80°〜90°、或いは165°〜180°に設定すると、後述する本願発明者が行った実験結果からSCカット水晶振動子1のリフロー後の周波数変化を抑制できることがわかった。また電源投入時の周波数の立ち上がり特性が良好であることがわかった。
また図2(c)に示すように、支持部材6により水晶基板11を支持する支持角度ψを140°〜150°に設定した場合はリフロー後の周波数変化を抑制できることがわかった。さらに後述するように、支持部材6により水晶基板11を支持する支持角度ψを0°〜5°に設定すると、電源投入時の周波数の立ち上がり特性が良好であることがわかった。
図3はSCカット水晶振動子における水晶基板の支持角度とリフロー後の周波数変化の関係を示した図である。なお、この図3に示す周波数変化df/fは、SCカット水晶振動子1単体にて測定した周波数f(周囲温度Ta=+80°、伝送法)と、リフロー(ピーク温度、約220℃)通過から1時間後の周波数dfとにより求めたものである。なお、周波数変化df/fは小さいことが望ましいため、ここでは周波数変化df/fが±25ppb以内を良好であるとした。
図3に示す試験結果から支持角度ψが10°〜60°の範囲及び120°近辺において周波数変化が大きいものの、それ以外の範囲では良好であることがわかった。特に、支持角度ψを80°〜90°、140°〜150°、165°〜180°に設定するとリフロー後の周波数変化を抑制できることがわかった。
図4に示す試験結果から水晶基板11の支持角度ψを80°〜90°、或いは165°〜180°に設定した場合は、電源投入してから短時間(5分経過後)の周波数が安定することがわかった。
従って、図3及び図4に示す試験結果から水晶基板11の支持角度ψを80°〜90°或いは165°〜180°に設定すると、リフロー後の周波変化を抑制できると共に、電源投入後の周波数の立ち上がり特性の向上を図ることができることがわかった。
図5及び図6はSCカット水晶振動子の各支持角度における立ち上がり特性を示した図である。なお、図5及び図6に示す立ち上がり特性は、図1に示したSCカット水晶振動子1を用いて構成したOCXOを被測定物とした。このとき、被測定物のオーブン設定温度をほぼ同一とし、周囲温度Ta=25±1℃、電源投入90分後の周波数を基準周波数fとして立ち上がりからの経過時間における周波数dfとの比較結果を示したものである。図5(a)(b)は水晶基板の支持角度ψが−25°(=155°)、0°のときの立ち上がり特性比較をそれぞれ示した図である。また、図6(a)(b)は水晶基板の支持角度ψが5°、90°のときの立ち上がり特性比較をそれぞれ示した図である。
また図5(b)に示す水晶基板11の支持角度ψが0°のときは、電源を投入してから5分経過後の周波数変化(df/f)は+5〜−10ppbとずれが小さく、周波数も安定していることがわかった。
また図6(a)に示す水晶基板11の支持角度ψが+5°のときは、電源を投入してから5分経過後の周波数変化(df/f)は+5〜−10ppbとずれが小さく周波数も安定していることがわかった。
また図6(b)に示す水晶基板11の支持角度ψが90°のときは、電源を投入してから5分経過後の周波数変化(df/f)は−15〜−25ppbとずれが大きく、周波数も安定しておらず変動状態にあることがわかった。つまり、電源投入から90分までは周波数が安定しないことを意味している。しかしながら、図4の結果が示すように電源投入から2時間経過すると周波数は極めて安定しているため、要求性能が厳しくない場合には問題ないことが分かった。
また図5及び図6に示した立ち上がり特性比較結果から、水晶基板11の支持角度ψを0°若しくは5°に設定した場合も、電源を投入してから5分経過後の周波数変化(df/f)がほぼ±10ppb以内と小さく、しかも周波数が安定していることから、水晶基板11の支持角度ψを0°〜5°に設定した場合も電源投入後の周波数の立ち上がり特性が極めて良好であることがわかった。つまり、電源投入から90分までの立ち上がり特性の要求性能が特に厳しい仕様の場合には、支持角度ψを0°〜5°とするのが最適であることが分かった。
図7は、水晶基板の支持角度と低温放置後の周波数再現性との関係を示した図である。なお、図7に示す特性実験における周波数再現性は、通電して24時間以上経過した状態の周波数を基準周波数にして求めたものであり、前記基準周波数の測定後に24時間放置(電源断)し、再び通電して24時間経過した状態の周波数を測定し、これを基準周波数と比較することにより求めたものである。
この図7に示すように周波数再現性は、水晶基板11の支持角度ψを80°〜90°または165°〜180°付近に設定したときに良好であることがわかった。
また図9は、FEM解析による最適支持角度の検討した検討結果を示した図であり、この検討結果から最適支持角度ψは40°付近または165°付近であることがわかった。
そこで、図10に示す他の実施形態のSCカット水晶振動子においては、水晶基板11の励振電極12から水晶基板11の両端縁にかけて形成されるリードパターン13の端縁側のパターン幅を、図1に示した水晶基板11のパターン幅より細くした。即ち、リードパターン13の励振電極12側のパターン幅と、水晶基板11の両端縁側のパターン幅をほぼ同じにした。このように構成すれば、水晶基板11のリードパターン13に支持部材6を接続するときに発生する支持角度ψのバラツキを防止することが可能になり、支持角度ψの精度を高めることができる。従って、このように構成すれば、取り付け時の支持角度ψの精度が高い分だけ、より確実にリフロー後に発生する周波数変化を抑制できると共に、電源投入後の周波数の立ち上がり特性の向上を図ることができる。
また本実施形態では、リード端子を有する構造の水晶振動子を例に挙げて説明したが、リード端子を有さない表面実装タイプの水晶振動子に対しても適用可能であることは言うまでもない。
この高安定水晶発振器30は、SCカット水晶振動子1と、このSCカット水晶振動子1の水晶振動子本体2(金属ケース3)を片面に支持すると共に、リード端子5を配線パターンに接続するプリント基板31と、プリント基板31上に搭載されて水晶振動子本体2の片面と密着配置される発振回路部品、温度補償回路部品等の回路部品32と、ヒータ抵抗(パワートランジスタ等)33、ピン36を介してプリント基板31を支持すると共に底部に表面実装用の実装端子35aを備えたマザープリント基板35と、プリント基板31及びプリント基板に搭載された各構成要素を含む空間を包囲する金属製発振器ケース37と、を備えている。なお、水晶振動子1、プリント基板31、ヒータ33、回路部品32は、水晶発振器用ヒータユニット(圧電発振器用ヒータユニット)を構成している。
このように構成される高安定水晶発振器30に対して本実施形態のSCカット水晶振動子1を搭載すれば、リフローによる発振周波数の変化が小さく、しかも電源投入後から発振周波数が所定周波数に収束して安定するまで周波数立ち上がり特性に優れたものとなる。
なお、本実施形態では本発明のSCカット水晶振動子を搭載した水晶デバイスの一例として高安定水晶発振器を例に挙げたが、高安定水晶発振器以外の水諸デバイスにも適用可能で有るが、特に本発明のSCカット水晶振動子は表面実装型の水晶デバイスに好適なものである。
Claims (4)
- SCカットの水晶基板と、該水晶基板の表裏面に夫々形成される励振電極と、前記水晶基板の2点を支持する支持部材と、前記水晶基板を気密封止する金属ケースと、を備えたSCカット水晶振動子であって、前記水晶基板の中心軸を通るZ軸線上から80°〜90°回転させた線上にある前記水晶基板の2つの端部を前記支持部材により支持することを特徴とするSCカット水晶振動子。
- SCカットの水晶基板と、該水晶基板の表裏面に夫々形成される励振電極と、前記水晶基板の2点を支持する支持部材と、前記水晶基板を気密封止する金属ケースと、を備えたSCカット水晶振動子であって、前記水晶基板の中心軸を通るZ軸線上から165°〜180°回転させた線上にある前記水晶基板の2つの端部を前記支持部材により支持することを特徴とするSCカット水晶振動子。
- SCカットの水晶基板と、該水晶基板の表裏面に夫々形成される励振電極と、前記水晶基板の2点を支持する支持部材と、前記水晶基板を気密封止する金属ケースと、を備えたSCカット水晶振動子であって、前記水晶基板の中心軸を通るZ軸線上から0°〜5°回転させた線上にある前記水晶基板の2つの端部を前記支持部材により支持することを特徴とするSCカット水晶振動子。
- 請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載のSCカット水晶振動子を備えたことを特徴とする高安定水晶発振器。
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