JP4186812B2 - ペースト吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、導電性ペーストなどのペーストを吐出するペースト吐出装置に関するものである。

半導体チップなどの電子部品をプリント基板やリードフレームなどに接合する方法として、樹脂接着剤が多用される。樹脂接着剤の種類として樹脂中に金属粉など導電性の成分を添加して接合部に導電性を持たせた導電性ペーストが知られている。導電性ペーストは、接着剤としての機能を有するとともに、接合部を電気的に導通させることができる。

この導電性ペーストを塗布する塗布装置には、ペーストの吐出装置が備えられており、従来よりプランジャの往復動によってシリンダ室内に導電性ペーストを吸入し吐出するプランジャ式の吐出装置が知られている。そしてプランジャの往復動による吐出は間欠的にしか行えないことから、吐出を間断なく行って高能率のペースト塗布を行う必用がある場合には、一般に複数のプランジャを備えた多連プランジャ型のペースト吐出装置が用いられる（例えば特許文献１参照）。

このような多連プランジャ型のペースト吐出装置は、それぞれのプランジャから順次吐出されるペーストを１つの固定された吐出ポートから吐出させる必要があることから、ポート切り替え機能を備えている。一般にこのポート切換に際しては、プランジャ孔が設けられたシリンダブロックの開孔面を吐出ポートが設けられた固定ブロックに対して摺接させ、各プランジャの開孔部を吐出ポートに順次連通させるようにしている。

この方式においては、シリンダブロックの開孔面と固定ブロックの摺接面は２つの部材の間からのペーストの漏出を防止するシール部として機能する。このため、この摺接面は隙間が生じないように部品加工において高精度の面仕上げを行い、動作時には所定の面圧を加える機構を用いるなどのペースト漏出防止措置を講じている。
実開平２−７８７７３号公報

しかしながら、導電性ペーストは金属粉などのフィラー成分や固形粒子を多量に含んだスラリー状であることから、ペーストの成分構成によっては上記シール部の摺動隙間に挟まれた固形粒子が摺動面に付着しやすく、摺動面の密着性が阻害されてシール部から外部へのペーストの漏出が避けられなかった。そして従来のペースト吐出装置では、外部に漏出したペーストがそのまま滞留すると時間の経過とともに固化し、負荷トルクの上昇や吐出性能の低下などの動作異常を生じる場合があった。

そこで本発明は、シール部からのペーストの漏出に起因する動作異常を防止することができるペースト吐出装置を提供することを目的とする。

請求項１記載のペースト吐出装置は、回転駆動手段によって回転軸廻りに回転しこの回転軸と直交する摺動面を介してシール部材のシール面と摺接するシリンダブロックと、このシリンダブロックの回転軸方向に設けられ前記摺動面の回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔した開孔部を有する複数のシリンダ孔と、それぞれのシリンダ孔に挿入されたプランジャと、このプランジャを前記シリンダブロックの回転と同期して往復動
させるプランジャ駆動手段と、前記シール面に設けられ前記シリンダブロックの所定回転位置において前記シリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、前記シール部材を介して前記第１の連通ポートおよび第２の連通ポートとそれぞれ連通するペースト吸入用の第１の外部ポート及びペースト吐出用の第２の外部ポートと、前記シール面の外周側に位置し前記シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された略円環状空間のハウジング部とを備え、前記第１の外部ポートが前記ハウジング部を介して前記第１の連通ポートと連通する。

本発明によれば、プランジャによるペースト吸入・吐出を行うシリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、ペースト吸入用の第１の外部ポート及びペースト吐出用の第２の外部ポートとの連通において、第１の外部ポートがシール部材の外周に設けられたハウジング部を介して第１の連通ポートと連通する構成とすることにより、シール部材の摺動面より漏出したペーストをハウジング部を介して再度吸入することができ、漏出したペーストが滞留して固化することによる動作異常を防止することができる。

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の断面図、図３は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の斜視図、図４は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の断面図、図５は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図、図６は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図、図７は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図、図８は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の動作説明図、図９は本発明の一実施の形態のペースト吐出装置におけるペースト供給経路の説明図である。

まず図１を参照してダイボンディング装置の構造を説明する。図１においてチップ供給部１にはウェハシート２が図示しない保持テーブルによって保持されている。ウェハシート２には多数の半導体素子であるチップ３が貼着されている。チップ供給部１の側方には搬送路５が配設されており、搬送路５は基板であるリードフレーム６を搬送し、ペースト塗布位置およびボンディング位置にリードフレーム６を位置決めする。チップ供給部１の上方にはボンディングヘッド４が配設されており、ボンディングヘッド４は図示しない移動機構により水平移動および上下動する。

搬送路５の側方にはペースト塗布部９が配設されている。ペースト塗布部９は移動テーブル１０にＬ型のブラケット１５を介して塗布ノズル１８を装着して構成されている。塗布ノズル１８は、不動のプレート１６ａ上に固定配置されたペースト吐出装置１６と可撓性の管部材であるチューブ１７によって連結されている。

ペースト吐出装置１６は、さらにチューブ２０を介してシリンジ１９と連結されている。シリンジ１９内にはエポキシ樹脂などの粘性体と銀粉などの導電性のフィラー成分とを混合した導電性ペースト（以下、単に「ペースト」と略記する。）が貯溜されており、ペースト吐出装置１６を駆動することにより、シリンジ１９内のペーストはペースト吐出装置１６によって吸入・吐出され、チューブ１７を介して塗布ノズル１８へ圧送される。そして塗布ノズル１８の下端部に設けられた塗布口より吐出されてリードフレーム６の塗布エリア６ａに塗布される。

移動テーブル１０は、Ｙ軸テーブル１１上にＸ軸テーブル１２を段積みし、さらにその
上にＬ型のブラケット１３を介してＺ軸テーブル１４を垂直方向に結合して構成されている。Ｙ軸テーブル１１、Ｘ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１４は、それぞれＹ軸モータ１１ａ、Ｘ軸モータ１２ａ、Ｚ軸モータ１４ａを備えている。Ｘ軸モータ１２ａ、Ｙ軸モータ１１ａおよびＺ軸モータ１４ａを駆動することにより、塗布ノズル１８はリードフレーム６上で水平方向および上下方向に移動する。したがって、移動テーブル１０は塗布ノズル１８をリードフレーム６に対して相対的に移動させる移動手段となっている。

リードフレーム６上面のチップ３の搭載位置は、ペースト７が塗布される塗布エリア６ａとなっている。塗布ノズル１８を塗布エリア６ａ内に位置させ、塗布ノズル１８からペースト７を吐出させながら塗布ノズル１８を移動させることにより、塗布エリア６ａ内には所定の描画パターンでチップボンディング用のペースト７が描画塗布される。

このペースト塗布後、リードフレーム６は搬送路５上をボンディング位置８に送られ、位置決めされる。、そして塗布エリア６ａ内に塗布されたペースト７上に、ボンディングヘッド４のノズル４ａによってチップ供給部１からピックアップされたチップ３がボンディングされる。

次に図２を参照してペースト吐出装置１６の構造について説明する。図２において、ペースト吐出装置１６は外筒部２１に回転駆動手段としてのモータ２２によって駆動される軸型の多連プランジャポンプを内蔵した構成となっている。モータ２２の出力軸２３には、円筒状の回転体２８が回転軸Ａを一致させて結合されている。回転体２８は軸受け２９に軸支されて回転自在となっており、回転体２８の内径部２８ａには、プランジャホルダ３１が装着されている。プランジャホルダ３１は回転体２８に対して回転軸Ａ方向の摺動が許容され、かつ回転体２８からの回転が伝達される。

プランジャホルダ３１には、回転軸Ａ方向に複数のプランジャ孔３１ｂが３等配位置に設けられており、各プランジャ孔３１ｂには、スライドベアリング３１ｃが装着されている。プランジャホルダ３１の先端部には、円板状のカラープレート３２を介してプランジャディスク３３が固着されている。カラープレート３２にはプランジャ孔３１ｂの位置に対応して複数の貫通孔３２ａが設けられており、さらにプランジャディスク３３には貫通孔３２ａの位置に対応して複数のシリンダ孔３３ｂが設けられている。プランジャディスク３３の外周面は、円筒状の保持部材３５によって摺動自在に保持されている。保持部材３５は、樹脂や含油メタルなどの自己潤滑性を有する材質より成る。

スライドベアリング３１ｃ、貫通孔３２ａおよびシリンダ孔３３ｂには、プランジャ２６が回転軸Ａ方向の移動が許容された状態で挿通しており、シリンダ孔３３ｂの上側にはシール部材３４が装着されている。プランジャ２６はこのシール部材３４を介してシリンダ孔３３ｂ内に挿通しており、プランジャ２６の下端部がシリンダ孔３３ｂ内で往復動することにより、後述するペースト吸入・吐出が行われる。プランジャホルダ３１、カラープレート３２およびプランジャディスク３３は、複数のシリンダ孔３３ｂが設けられたシリンダブロックを構成する。

それぞれのプランジャ２６の上側の端部は、回転体２８の基部に装着されたスライドベアリング２８ｂを介して上方へ突出して連結ブロック２６ａに結合されており、連結ブロック２６ａにはカムフォロア２５が装着されている。各カムフォロア２５は、以下に説明するカム部２４によって回転軸Ａ方向に往復動する。

回転体２８の上方、すなわち上述のシリンダブロックのモータ２２側にはカム部２４が配設されている。カム部２４は、回転軸Ａ方向のカム面２４ａ（図３参照）を有する２つの端面カム（第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂ）を、カム面２４ａを対向さ
せた姿勢で組み合わせ、スペーサ部材２７によって位置合わせして固定した構成となっている。

図３に示すように、第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂはいずれも略円筒形状であり、内部にはプランジャホルダ３１を挿通した３つのプランジャ２６の駆動端部側が進入可能な円筒状凹部２４ｂが設けられている。第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂを対向させて組み合わせた状態においては、円筒状凹部２４ｂの内面には前述の２つのカム面２４ａに挟まれたカム溝が形成される。プランジャホルダ３１を挿通した３つのプランジャ２６の駆動端部は、図４に示すように、回転軸Ａを中心とした３等配の配置で円筒状凹部２４ｂ内に進入し、連結ブロック２６ａに結合されたカムフォロア２５は上述のカム溝に嵌合する。

この状態でモータ２２を回転駆動することにより、回転体２８を介してプランジャホルダ３１，カラープレート３２およびプランジャディスク３３より成るシリンダブロックが回転し、これにより各プランジャ２６は回転軸Ａを中心にしてカム部２４に対して相対的に回転（公転）する。この相対回転運動により、カム溝に嵌合したカムフォロア２５はカム溝内をカム面２４ａにならって転動し、カム面２４ａのカム特性に従って回転軸Ａ方向の往復動を行う。そしてカムフォロア２５がこの往復動を連結ブロック２６ａを介してプランジャ２６に伝達することにより、プランジャ２６は回転軸Ａ廻りに回転しながらこの回転に同期して回転軸Ａ方向に往復動する。

すなわち、円筒状凹部２４ｂの内面に形成されたカム溝は、シリンダブロックのカム部２４に対する相対回転運動をプランジャ２６の回転軸Ａ方向の往復動変位に変換する。そしてモータ２２およびカム部２４は、プランジャ２６をシリンダブロックの回転と同期して往復動させるプランジャ駆動手段となっている。カム部２４に設けられたカム溝のカム形状は、３つのプランジャ２６を所定順序・タイミングで往復動させるような形状となっており、これにより後述するペーストの吸入・吐出動作が連続して行われる。

上記構成において、プランジャ２６は往動および復動のいずれの場合もカム部２４によって駆動される。したがって、プランジャ駆動手段として上述の構成を採用することにより、粘性が高くしかも金属粉を含むスラリー状の液体を吐出対象とし、高摺動抵抗条件下においてプランジャの往復動を行う必要がある場合においても、プランジャに確実に駆動力を伝達することができる。

これにより、従来の一般的なカム機構を採用した同種装置における問題点、すなわち、戻り動作をスプリングなどの付勢力によって行うカム機構によって駆動されるプランジャの往復動において、高摺動抵抗に起因して発生する動作不安定が解消され、安定した吸入・吐出動作を行わせることができる。また高摺動抵抗が許容されることから、シール部材３４などの摺動シール部に高シール性能のものを用いることができ、稼働時のペーストの漏出を低減することが可能となっている。

さらに本実施の形態では、３つのプランジャ２６を駆動するカム部２４として、内部に各プランジャ２６の駆動端部側が進入可能な円筒状凹部２４ｂが設けられ、さらに円筒状凹部２４ｂの内面にカム溝が形成された構成とすることにより、図４に示すように３つのプランジャ２６を回転軸Ａの周囲に近接させて配置することが可能となっている。これにより、高シール性を確保するとともに、径方向の寸法を極力小さくした小型・コンパクトなペースト吐出装置が実現されている。

そしてこのようなカム部２４の構成は、第１の端面カム２４Ａ、第２の端面カム２４Ｂの２つの端面カムを対向させることによって容易に実現されている。すなわち、通常用い
られる一体のカム部材によって上述のカム部２４を構成しようとすれば、円筒状凹部の内面に機械加工によってカム溝を形成する必要があり、工作難度から部品コストが増大するとともに工作上の制約から部品サイズの増大が避けられなかった。これに対し、２つの端面カムを対向させて組み合わせた構成では、部品サイズの小型化とコスト低減を図ることができる。

図５を参照して、プランジャディスク３３について説明する。プランジャディスク３３は、アルミナなどの硬質のセラミックや超硬合金などの硬質材より成り、ディスク本体部の外縁部から軸方向に筒状部３３ｄが延出して設けられた形状となっている。ディスク本体部には回転軸方向に複数のシリンダ孔３３ｂが設けられている。ディスク本体部の上面は、回転軸と直交する摺動面３３ａとなっており、外筒部２１に固定されたシール部材であるシールディスク３６のシール面３６ａに摺接する。そしてシリンダ孔３３ｂは、摺動面３３ａの回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔している。筒状部３３ｄの内周面３３ｅには、後述する外部シール部材３７が摺接する。

シリンダ孔３３ｂの開孔部の周囲には、掻き取り溝３３ｃが形成されている。掻き取り溝３３ｃは、プランジャディスク３３がシールディスク３６に対して回転することによりペーストの吸入・吐出を行うポンピング動作時において、シール面３６ａ（図６参照）に付着するペースト中の粒子成分を掻き取ることにより、プランジャディスク３３とシールディスク３６との摺接面からのペーストの過剰な漏出を防止することを目的とするものである。

図６を参照して、シールディスク３６の形状について説明する。シールディスク３６は、プランジャディスクと同様の硬質材より成り、上面側が段付き形状に加工された段付き凸部を有するディスク部材である。段付き凸部の上面は、プランジャディスク３３に摺接するシール面３６ａとなっており、シール面３６ａにおいてシリンダ孔３３ｂの径方向位置に対応した位置には、２つの円弧溝状の凹部３６ｂ、３６ｃが軸対称に設けられている。

凹部３６ｂには、シールディスク３６を軸方向（図６において上下方向）に貫通して設けられた流路孔３８ｂが開口している。また凹部３６ｃには、他端が段付き凸部の外周面３６ｅに開口した流路孔３８ａ１の一端が開口している。流路孔３８ａ１，３８ｂは、シリンダ孔３３ｂの径方向位置に対応した円周上の２等配位置に設けられている。さらに、外周面３６ｅには、流路孔３８ａ１と同一軸線位置に設けられた流路孔３８ａ２の一端が開口しており、流路孔３８ａ２の他端は、シールディスク３６の下面に開口している。

プランジャディスク３３の摺動面３３ａがシールディスク３６のシール面３６ａに摺接した状態でプランジャディスク３３が回転すると、プランジャディスク３３の所定回転位置において、凹部３６ｂ、３６ｃはシリンダ孔３３ｂの開孔部と連通する。したがって、凹部３６ｂ、３６ｃは、シール面３６ａに設けられシリンダブロックの所定回転位置においてシリンダ孔３３ｂの開孔部と連通する第１の連通ポート及び第２の連通ポートとなっている。

段付き凸部の外周面３６ｅは、後述する外部シール部材３７が嵌着する嵌着面となっており、段付き面３６ｆは、外部シール部材３７の端面に接触して軸方向位置を保持するシール保持面となっている。また、シール面３６ａの外周エッジ３６ｄは、面取り加工が施されていないシャープエッジ形状のままとなっており、後述するようにシール面３６ａが摺動面３３ａに摺接した状態で、シール隙間の口開きを生じないようになっている。

図２において、シールディスク３６の流路孔３８ａ２、３８ｂは、外筒部２１の端面に
設けられた第１の外部ポート３９ａ、第２の外部ポート３９ｂにそれぞれ連通している。第１の外部ポート３９ａは、チューブ２０を介してシリンジ１９（図１）と接続されており、第２の外部ポート３９ｂはチューブ１７を介して塗布ノズル１８（図１）と接続されている。

流路孔３８ａ１が凹部３６ｃを介してシリンダ孔３３ｂと連通した状態において、プランジャ２６が引き込み方向（図２において上方）へ移動することにより、シリンダ孔３３ｂ内にはシリンジ１９に貯溜されていたペーストがチューブ２０を介して供給される。第１の外部ポート３９ａは、シリンジ１９から供給されるペーストを吸引して導入する供給ポートとなっている。

そしてペーストを吸入したシリンダ孔３３ｂが凹部３６ｃを介して流路孔３８ｂと連通した状態においてプランジャ２６が押し出し方向（図２において下方）に移動することにより、シリンダ孔３３ｂ内のペーストが第２の外部ポート３９ｂから吐出される。第２の外部ポート３９ｂは、ペーストを外部に吐出する吐出ポートとなっている。

図２において、プランジャホルダ３１には径方向に突出した鍔部３１ａが設けられており、鍔部３１ａと回転体２８の端面との間には皿バネ３０が装着されている。皿バネ３０は、プランジャホルダ３１を下方に押圧することによりプランジャディスク３３の摺動面３３ａをシールディスク３６のシール面３６ａに対して所定面圧で押圧する。この面圧により、摺動面３３ａとシール面３６ａとの密着が確保される。

プランジャディスク３３をシールディスク３６に摺接させた状態では、シール面３６ａの外周側には、シールディスク３６に設けられた外周面３６ｅと、プランジャディスク３３から軸方向に延出して設けられた筒状部３３ｄの内周面３３ｅとが対向することによって閉囲された略円環状空間のハウジング部４０（図７参照）が形成される。ハウジング部４０内には、外部シール部材３７が装着され、これによりハウジング部４０は外部空間と遮断されて密封状態となる。

外部シール部材３７は、Ｖ字状断面を有する略リング状のシール部材であり、外部シール部材３７がハウジング部４０に装着された状態では、図７に示すように、外部シール部材３７は内周側がシールディスク３６の外周面３６ｅに嵌着し、外周側は、プランジャブロック３３の内周面３３ｅに摺接する。そして一方側の軸方向端面が段付き面３６ｆ（図６参照）に当接し軸方向位置が保たれる。

シリンダブロックを回転させてプランジャ２６を往復動させるペースト吐出装置１６の稼動状態においては、図９に示すように、供給ポートである第１の外部ポート３９ａと連通した流路孔３８ａ２からペーストが送り込まれ、ハウジング部４０内に流入し内部に充満する。シリンダ孔３３ｂにペーストを吸入する際には、ハウジング部４０内に充満したペーストは流路孔３８ａ１および凹部３６ｂを介してシリンダ孔３３ｂに流入する。すなわち、上述構成のペースト吐出装置のペースト供給経路においては、第１の外部ポート３９ａがハウジング部４０を介して、第１の連通ポートである凹部３６ｂと連通する形態となっている。

上述のペースト吐出時においては、シール面３６ａと摺動面３３ａとのシール隙間から、ペーストがハウジング部４０内にわずかに漏出する場合があるが、漏出したペーストはハウジング部４０内に常に供給される新鮮なペーストに混入した後に再度シリンダ孔３３ｂに吸入されることから、漏出ペーストの固化・成長がなく、シールディスク３６とプランジャブロック３３の相対回転動作が固化したペーストによって阻害されることがない。すなわちここでは、常に新しく供給されるペーストが、プランジャブロック３３のシール
ディスク３６に対する摺動部を潤滑する機能を果たしている。

このとき、ハウジング部４０内に溜まったペーストの圧力は、第１の外部ポート３９ａからの供給圧力以上に上昇することはなく、これらのペーストのハウジング部４０外への漏出は、外部シール部材３７によって容易に防止される。また前述のようにシール面３６ａの外周エッジ３６ｄがシャープエッジ形状となっていることから、ハウジング部４０内のペーストがシール隙間内に進入しにくくなっており、前述のペーストによる潤滑機能と相俟ってシール隙間が増大する口開きを防止するという効果を有する。

上述の外部シール部材３７によるペーストのシールにおいて、前述のようにプランジャディスク３３から軸方向に延出して設けられた筒状部３３ｄの外周側は、外筒部２１内に嵌着された円筒状の保持部材３５によって摺動自在に保持されている。このため、プランジャディスク３３の回転時の径方向の振れが保持部材３５によって拘束される。すなわち、保持部材３５は、シリンダブロックを構成するプランジャディスク３３と外部シール部材３７が摺接する外部シール部位の近傍においてこのプランジャディスク３３の径方向への回転振れ変位を拘束する回転振れ拘束手段となっている。

これにより、プランジャディスク３３の回転に伴う外部シール３７と内周面３３ｅとの摺動において、安定した摺接状態が保たれ、ペーストの外部への漏出を防止するシール性が向上するとともに、摺接部における外部シール部材３７の摩耗が低減され、部品寿命を延長することができる。

次に図８を参照して、ペースト吐出装置１６によるペーストの吸入、吐出動作時における凹部３６ｂ、３６ｃと、シリンダ孔３３ｂとの位置関係について説明する。本実施の形態では、３つのシリンダ孔３３ｂを、連通ポートである凹部３６ｂ、３６ｃを介して第１の外部ポート３９ａ、第２の外部ポート３９ｂに交互に連通させるポート切り換えにより、ペーストの吐出を連続して行うようにしている。

図８（ａ）は、３つのシリンダ孔３３ｂ−Ａ、３３ｂ−Ｂ、３３ｂ−Ｃが矢印方向へ回転移動する過程において、シリンダ孔３３ｂ−Ａが貫通孔３８ａの位置と一致し、シリンダ孔３３ｂ−Ａへのペーストの供給が行われている状態を示している。このとき、シリンダ孔３３ｂ−Ｃはペーストの吐出を終えて凹部３６ｃから外れるタイミングにあり、シリンダ孔３３ｂ−Ｂが凹部３６ｃの端部に到達して新たにペーストの吐出を開始するタイミングを示している。そして図８（ａ）から図８（ｂ）までの間に、シリンダ孔３３ｂ−Ａへのペーストの供給、シリンダ孔３３ｂ−Ｂからのペーストの吐出が継続して行われる。

この後図８（ｃ）のタイミングにおいて、シリンダ孔３３ｂ−Ａは凹部３６ｃの端部に到達して新たにペーストの吐出を開始する。このとき、シリンダ孔３３ｂ−Ｂは凹部３６ｃからはずれペーストの吐出を終了する。このように、３つのシリンダ孔３３ｂのうち、いずれかが常にペーストを吐出する状態にあり、これにより第２の外部ポート３９ｂ（吐出ポート）からは間断なくペーストが吐出される。

このペースト吐出動作において、フィラー成分や固形粒子を多量に含んだスラリー状のペーストを使用する場合には、シールディスク３６とプランジャディスク３３とのシール隙間からのペーストの漏出を完全に防止することは極めて難しく、幾分かのペースト漏出は存在する。このような場合においても、漏出したペーストは、吸入側の連通ポートである凹部３６ｂに流路孔３８ａ１を介して連通するハウジング部４０内に常に存在するペーストと一体となり、ポンピング動作を反復する過程において再度シリンダ孔３３ｂ内に吸入される。したがって、シール隙間から漏出したペーストが、ハウジング部４０内で長時間滞留して固化することによる負荷トルクの上昇や吐出性能の低下などの動作異常を生じ
ることがない。

なお、本発明におけるペーストは、導電性ペーストに限られるものではなく、広く液状体を表す概念である。

本発明のペースト吐出装置は、内部で漏出したペーストが滞留して固化することによる動作異常を防止することができるという効果を有し、導電性ペーストなどのスラリー状のペーストを吐出するペースト吐出装置に対して有用である。

本発明の一実施の形態のダイボンディング装置の斜視図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の断面図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の斜視図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のカム部の断面図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のプランジャディスクの斜視図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置のシールディスクの斜視図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の外部シールの装着状態の説明図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置の動作説明図 本発明の一実施の形態のペースト吐出装置におけるペースト供給経路の説明図

符号の説明

１６ ペースト吐出装置
２６ プランジャ
２８ 回転体
３３ プランジャディスク
３３ａ 摺動面
３３ｂ シリンダ孔
３６ シールディスク
３６ａ シール面
３７ 外部シール部材
３８ａ１，３８ａ２ 流路孔
３９ａ 第１の外部ポート
３９ｂ 第２の外部ポート
４０ ハウジング部

Claims (1)

1. 回転駆動手段によって回転軸廻りに回転しこの回転軸と直交する摺動面を介してシール部材のシール面と摺接するシリンダブロックと、このシリンダブロックの回転軸方向に設けられ前記摺動面の回転軸心を中心とする同一円周上の等配位置に開孔した開孔部を有する複数のシリンダ孔と、それぞれのシリンダ孔に挿入されたプランジャと、このプランジャを前記シリンダブロックの回転と同期して往復動させるプランジャ駆動手段と、前記シール面に設けられ前記シリンダブロックの所定回転位置において前記シリンダ孔の開孔部と連通する第１の連通ポートおよび第２の連通ポートと、前記シール部材を介して前記第１の連通ポートおよび第２の連通ポートとそれぞれ連通するペースト吸入用の第１の外部ポート及びペースト吐出用の第２の外部ポートと、前記シール面の外周側に位置し前記シール部材とシリンダブロックとによって閉囲された略円環状空間のハウジング部とを備え、前記第１の外部ポートが前記ハウジング部を介して前記第１の連通ポートと連通することを特徴とするペースト吐出装置。
   

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