JP4185428B2 - 透過率測定方法及び透過率測定装置 - Google Patents
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Description
を有することを特徴としている。
本実施形態においては、図1及び図2に示す装置を用いて透過率の測定を行う。これらの装置は、光源としての半導体レーザー10から出射する光の光路上に、半導体レーザー10側からコリメータレンズ21、ハーフミラー22、絞り23、集光レンズ(基準レンズ)、反射ミラー25が配置されている。図1の装置により反射ミラー25の反射光の光量を測定し、図2の装置により平面板60の透過光の光量を測定し、これらの光量から被検物としての平面板60の透過率を算出する。
コリメータレンズ21は、半導体レーザー10からの入射光を平行光化する(平行光束とする)。ハーフミラー22は、半導体レーザー10から出射してコリメータレンズ21で平行光化された光の進行方向に対して45度傾けられており、入射光の一部を反射し、残りを透過する性質を備えている。
この装置においては、集光レンズ24の光軸上であって集光レンズ24と反射ミラー25の間に、被検物としての平面板60が平面板ホルダ60a内に保持されて配置される。測定においては、集光レンズ24の焦点位置に表面25aが配置されるように、制御部51からの制御信号によりステージ25bを移動させる。そのほかの構成は図1の装置と同様であるため説明を省略する。
(1)反射光量の測定(図1)
測定の前に、絞り23の絞り径を設定し、その後反射ミラー25のアラインメントを行う。
絞り径の設定は、使用者が入力部52から所望のNAのデータを入力し、このデータを受けて制御部51が出力した制御信号により絞り径調整機構23aを動作させて絞り23の絞り径を調整する。これにより、被検物としての平面板60の外径に合わせて任意の径の有限光を設定することができる。
反射光量の測定の後、絞り23の絞り径を維持した状態で、平面板60を配置し、その後反射ミラー25のアラインメントを行い、その後透過光量の測定を行う。
平面板60の配置は、集光レンズ24の光軸上であって集光レンズ24と反射ミラー25との間にあらかじめ設けられた平面板ホルダ60a内に平面板60を載置することによって行う。平面板60の配置は、半導体レーザー10からレーザー光が出射されている状態において、平面板60を透過した光が反射ミラー25へ向けて集束しているのを確認しながら行うことが好ましい。
平面板60の透過率の算出は、演算部44内にあらかじめ記憶された演算手段によって、演算部44内のメモリに記憶された平面板60の透過光量と、同じく保存された反射ミラー25の反射光量とを用いて行う。反射ミラー25の反射光量は、図2において平面板60を配置していない状態の光量であって、平面板60へ入射する光量に相当する。このため、実際に平面板60を透過した光の光量を反射ミラー25の反射光量で割ることにより、平面板60の透過率を算出することができる。この算出結果は表示部53に表示される。
24 集光レンズ
25 反射ミラー
41 積分球(光量測定部)
42 フォトダイオード(光量測定部)
43 電流計(光量測定部)
60 平面板(被検物)
Claims (8)
- 集光レンズの焦点位置に反射ミラーを配置するステップと、
前記集光レンズを透過し、前記反射ミラーで反射し、前記集光レンズを再び透過した後の平行光束の光量を測定する反射光量測定ステップと、
前記集光レンズと前記反射ミラーとの間の光軸上に被検物を配置するステップと、
前記被検物の測定したいNAに合わせて、平行光束の径を調整して前記集光レンズに入射させるステップと、
前記反射ミラーとの間に前記被検物が配置された状態における前記集光レンズの焦点位置に前記反射ミラーを移動させるステップと、
前記集光レンズ及び前記被検物を透過し、前記反射ミラーで反射し、前記被検物及び前記集光レンズを再び透過した後の平行光束の光量を測定する透過光量測定ステップと、
前記反射光量測定ステップで測定した光量と、前記透過光量測定ステップで測定した光量とを用いて前記被検物の透過率を算出する透過率算出ステップと、
を有することを特徴とする透過率測定方法。 - 平行光束が入射される集光レンズと、
前記集光レンズの光軸方向に移動可能であって、前記集光レンズの焦点位置に配置される反射ミラーと、
前記反射ミラーで反射され、再び集光レンズに入射して平行光束となった光の光量を測定する光量測定部と、
前記集光レンズと前記反射ミラーとの間に被検物を配置した状態において、前記被検物の測定したいNAに合わせて入射する平行光束の径を絞ることができる絞り径可変の絞りと、
前記集光レンズと前記反射ミラーとの間に被検物を配置した状態において前記光量測定部で測定した光量と、前記集光レンズと前記反射ミラーとの間に前記被検物を配置しない状態において前記光量測定部で測定した光量とを用いて前記被検物の透過率を算出する演算部と、
を有することを特徴とする透過率測定装置。 - 前記反射光量測定ステップ及び前記透過光量測定ステップにおいては、光量を電流値として測定する請求項1記載の透過率測定方法。
- 前記光量の測定は、光を積分球で集めてフォトダイオードによってその光量を電流に変換することによって行う請求項3記載の透過率測定方法。
- 前記反射ミラーはその光軸方向に移動可能であって、前記ミラーをその光軸方向に移動することによって、前記集光レンズと前記反射ミラーとの間に被検物が存在するか否かに関わらずに、前記集光レンズの焦点位置に前記反射ミラーが配置される請求項1記載の透過率測定方法。
- 前記光量測定部においては、光量を電流値として測定する請求項2記載の透過率測定装置。
- 前記光量の測定は、光を積分球で集めてフォトダイオードによってその光量を電流に変換することによって行う請求項6記載の透過率測定装置。
- 前記反射ミラーはその光軸方向に移動可能である請求項2記載の透過率測定装置。
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