JP4184480B2 - 塗布材料の膜厚ムラ検査方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,金属基材上に塗布された樹脂等、塗布材料の膜厚ムラ検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、カラーテレビは、カラー画像の大型化に加え、高画質化の要求がますます強くなってきており、カラーテレビジョン用ブラウン管に用いられる、丸貫通孔や矩形貫通孔を持つシャドウマスクやスリット状の貫通孔を持つアパーチャグリル等においては、その品質要求から、透過光検査におけるムラができるだけないものが望まれている。
シャドウマスクやアパーチャグリルは、金属板に耐エッチング性の感光性膜を塗布、乾燥し、更に所定のパターン状に製版して、これを耐エッチング性マスク(レジスト)として用いて金属板をエッチング加工して、作製されている。
シャドウマスクやアパーチャグリルのムラは、その貫通孔部の大きさが局所的に大きい場合、あるいは小さい場合にムラとなって見えるもので、その作製工程は長く、ムラの発生原因も多々あり、従来、その原因を特定することは難しいものとされていたが、金属板への耐エッチング性の感光性膜の塗布膜厚の局所的な不均一(膜厚ムラと言う)が、エッチング加工した後の、シャドウマスクやアパーチャグリルのムラとなることも次第に分かってきた。
【0003】
このため、最近では、金属板への耐エッチング性の感光性膜の塗布膜厚の局所的な不均一(膜厚ムラ)の抽出を、所定波長の光を用い、その反射光を人が観察して検査することにより行っていた。
しかし、この方法は、程度のひどい膜厚ムラは検査により抽出できるが、程度のひどくないムラは抽出できないという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、エッチングによるシャドウマスクの外形加工においては、カラー画像の高画質化の要求に応えるために、金属板への耐エッチング性の感光性膜の塗布膜厚の局所的な不均一(膜厚ムラ)の抽出を高い精度で行うことができる膜厚ムラの検査方法が求められていた。
本発明は、これに対応するもので、基材上に薄膜状に塗布されている塗布材料の膜厚ムラの抽出を高い精度で行うことができる検査方法で、比較的簡単に表示装置を介して目視にて確認することができる検査方法、および自動検査方法を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の塗布材料の膜厚ムラ検査方法は、基材上に薄膜状に塗布されている、特定の光波長域に対して、膜厚差を波長の光の強度としてとらえることができるように、光透過性を有し、且つ、光吸収性を有する塗布材料の膜厚ムラを、コンピュータ処理を主体として、自動で検査する方法であって、前記特定の光波長域を含む照明光を塗布材料に入射して、基材面にて反射された照明光の正反射光で、且つ前記特定波長域の光のみで撮影し、検査領域を撮影した撮影画像を得る撮影処理と、前記撮影により得られた撮影画像の、画素毎に撮影において受けた光の強度に対応した画素値を持つ第1の画像データに対し、該撮影画像を撮影した撮影装置により予め均一な照度分布の照明光に対して均一な照度分布を有する対象物を撮影した第2の画像データを用い、対応する各画素毎に、それぞれ、第2の画像データの画素値で第1の画像データの画素値を除算する除算処理と、除算処理の結果得られた第3の画像データに対して、あらかじめ決めておいた周波数よりも高い空間周波数成分のみを抽出して、信号の緩やかな変化分を除去する、信号の緩やかな変化分除去処理とを、各処理記載順に行うもので、信号の緩やかな変化分除去処理の結果得られた第4の画像データに、各画素毎にそれぞれ、平滑化処理、微分処理を施して、得られた第5の画像データに対し、各画素毎にその画素値をしきい値と比較して、該しきい値以上、あるいは以下の画素を抽出して、抽出された画素領域を膜厚ムラ部として抽出することを特徴とするものである。
そして、上記において、撮影手段としてラインセンサカメラを用い、且つ、照明手段として面状照明を用いることを特徴とするものである。
そしてまた、上記において、基材が金属板材で、塗布材料が製版用のレジストであることを特徴とするものである。
特に、本発明の検査方法がシャドスマスクやアパーチャグリルを作製する際の、金属板へのレジスト膜の塗布におけるレジスト膜の膜厚ムラの抽出に用いられた場合には、有効である。
【0006】
【作用】
本発明の塗布材料の膜厚ムラ検査方法は、上記のように構成することにより、基材上に薄膜状に塗布されている塗布材料の膜厚ムラの抽出を高い精度で行うことを可能とする検査方法で、比較的簡単に表示装置を介して目視にて確認することができる検査方法、および自動検査の提供を可能としている。
具体的には、基材上に薄膜状に塗布されている、特定の光波長域に対して、光透過性を有し、且つ、吸収性を有する塗布材料の膜厚ムラを検査する方法であって、順に、照明光を塗布材料に入射して、基材面にて反射された照明光の正反射光で、且つ前記特定波長域の光のみで撮影し、検査領域を撮影した撮影画像を得る撮影処理と、前記撮影により得られた撮影画像の画像データに対し、該撮影画像を撮影した撮影装置により予め均一な照度分布を有する対象物を撮影した画像データを用い、対応する各画素毎に、それぞれ、除算する除算処理と、除算処理の結果得られた画像データに対して、所定の周波数よりも高い空間周波数成分のみを抽出して、信号の緩やかな変化分を除去する、シエーディング除去処理とを行うことにより、これを達成している。
即ち、照明光を塗布材料に入射して、基材面にて反射された照明光の正反射光で、且つ、塗布材料が透過性、吸収性を有する特定波長域の光のみで、検査領域を撮影することにより、後述するように、撮影画像の画像データに、塗布材料の膜厚に対応した信号分が含まれることとなる。
また、撮影により得られた撮影画像の画像データに対し、該撮影画像を撮影した撮影装置により予め均一な照度分布を有する対象物を撮影した画像データを用い、対応する各画素毎に、それぞれ、除算する除算処理を行うことにより、撮影手段の画素感度のバラツキの影響を補正した画像データを得ることができるものとしている。
更に、画像データから信号の緩やかな変化分を除去する、シエーディング除去処理を行うことにより、抽出しようとしている塗布材料の膜厚ムラに因るものではない、照明光の照度分布の不均一性等に因る信号の緩やかな変化分(シエーディング)を除去できるものとしている。
更に具体的には、シエーディング除去処理の結果得られた画像データに対して、特定の階調範囲を引き伸ばして、表示手段に表示して検査することにより、高い精度で、比較的簡単に、人の観察で、塗布材料の膜厚ムラを抽出することを可能としている。
また、シエーディング除去処理の結果得られた画像データに、各画素毎にそれぞれ、平滑化処理、微分処理を施して、得られた画像データに対し、各画素毎に所定のしきい値と比較して、所定のしきい値以上、あるいは以下の画素を抽出して、抽出された画素領域を膜厚ムラ部として抽出することにより、塗布材料の膜厚ムラを抽出を高い精度で、自動化してできるものとしている。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の塗布材料の膜厚ムラ検査方法の実施の形態の例を挙げて説明する。
図1は、実施の形態のフロー図で、図2は実施の形態を実施するための装置の概略構成図で、図3は撮影する試料の一部の拡大断面図で、図4は他の装置例を示した図で、図5は画像データのフィルター処理(フィルターリング)を説明するための図である。
図1〜図4中、110は試料、111は基材、112は塗布材料、115は試料、120は線状の照明光源、121は照明光、125は面状の照明光源、130は撮影装置(CCDラインセンサカメラ)、131は正反射光(撮影光)、140は光学フィルター、150は画像処理部、160は搬送部、170は表示装置、θは(法線に対する)入射角あるいは反射角である。
本例は、基材111上に薄膜状に塗布されている、特定の光波長域に対して、光透過性を有し、且つ、吸収性を有する塗布材料112の膜厚ムラを検査する方法であって、図2に示す装置を用いて、塗布材料112が光透過性を有し、且つ、吸収性を有する特定の光波長域で、試料110を撮影し、塗布材料112の膜厚ムラを検査するものである。
【0008】
図2、図3を用いて、本発明の膜厚ムラ測定の基本原理を簡単に説明しておく。
図2に示すように、撮影は、線状の照明光源120にて照射した領域の正反射光131のみが、撮影装置(CCDラインセンサカメラ)130の各画素に入り撮影されるように、撮影装置130、試料110、光源120の各位置を設定して行う。
こうすることにより、図3に示すように、照明光121が、試料110の塗布材料112を通過する距離が、膜厚にほぼ比例するようできるのである。
詳しくは、図3に示すように、A1、A2各箇所の塗布材料の厚さt1、t2とすると、A1箇所における塗布材料を通過する距離L1は、(L1/2)cosθがほぼt1となることより、ほぼ2t1/cosθとなり、A2箇所における塗布材料を通過する距離L2は、(L2/2)cosθがほぼt2となることより、ほぼ2t2/cosθとなり、照明光121が、試料110の塗布材料112を通過する距離が、膜厚にほぼ比例することが分かる。
したがって、塗布材料112に対し、光透過性を有し、且つ、吸収性を有する特定の光波長域についてのみ、撮影装置130にて撮影することにより、塗布材料の膜厚差を特定波長域の光の強度としてとられることができる。
本例では、特定の波長域の撮影を行うために、撮影装置130へ入射する光を光学フィルター140でフィルタリングしている。
このようにして、撮影した撮影画像の画像データには、膜厚に対応した信号分が含まれることとなる。
本発明は、簡単には、このようにして、膜厚に対応した信号分が含まれれた撮影画像の画像データから、画像処理(演算処理)により、撮影手段の各画素の感度バラツキに起因する信号分や、照明の不均一性に起因する緩やかな信号の変化分を除去して得られた画像データを用い、更に処理を施して膜厚ムラ不良部を抽出するものである。
【0009】
以下、図1に基づいて本発明の実施の形態の例を説明する。
図1中、S110〜S220は処理ステップを示すものである。
はじめに、実施の形態の第1の例を図1に基づいて説明する。
まず、図2に示す装置にて、試料の検査領域を撮影する。(S110)
図2に示す装置では、撮影装置130に入射する試料110からの撮影光は、線状の照明光源120の照明光121の正反射光131となるように、撮影装置130、試料110、線状の照明光源120を設置してある。
ここでは、撮影装置130はCCDラインセンサカメラで、撮影の照明光源が線状の照明光源であり、試料110は、搬送部160に所定の速度で搬送されながら撮影されて、検査領域の全体が撮影されることとなる。
撮影画像の画像データ▲1▼は、試料110の膜厚ムラによる光強度変化の他に、撮影装置130の各画素の感度差を含むものである。
一方、図2に示す装置の撮影装置130にて、予め均一な照度分布を示す、対象物を撮影しておく。(S120)
この画像データ▲2▼は、ほぼ各画素ごとの感度差のみを含む画像データである。次いで、対応する撮影装置110の各画素毎に、画像データ▲1▼を画像データ▲2▼で除算する。(S130)
除算処理により得られた、画像データ▲3▼には、撮影装置130の各画素の感度差が含まれないものとなる。
次いで、緩やかな(低周波数の)信号成分を除去するシエーディング処理を行い(S140)、膜厚ムラ部のみが局部的に変化した画像データ▲4▼を得る。
この処理は、画像データ▲3▼の各画素毎に、近傍平均値の減算、あるいは、微分処理を施すことにより、緩やかな(低周波数の)信号成分を除去するものである。
例えば、画像データ▲3▼に対し、さらに、カーネルサイズの局所平滑化フィルターをかけ、フィルター後の画像を元の画像から減算する。
フィルターとしては、図5(a)に示すような、フィルターの各要素を1としたものを用いても良い。
尚、画像データの着目画素をX(i、j)として、フィルターを図5(b)のような、各要素(A11〜A33)をもつフィルターとした場合、フィルターリング後の、即ち、平滑化処理後の着目画素X(i、j)は、図5(c)のようになる。但し、X(i、j)の対応する要素はA22である。
線状の照明光源120の照度分布が不均一なことによる明暗差の空間周波数帯は、ほとんどの場合膜厚ムラの空間周波数よりも低周波であるため、所定の周波数よりも高い周波数成分のみを抽出することにより、画像データから、照度分布の不均一の影響を除外できる。
【0010】
次いで、得られた画像データ▲4▼に対し、膜厚ムラによって生じた画像中の暗部もしくは明部の大きさに近いサイズ(以降、ムラサイズと言う)で局所平滑化処理を施し(S150)、平滑化処理を施した画像に対してムラサイズに近い距離で2次微分処理を施す。(S160)
得られた画像データ▲5▼は、膜厚ムラが強調された画像データである。
尚、ここで言う微分処理も、所定のフィルターをかけて行う。
ここでは、画像データ▲4▼に対し、平滑化処理、微分処理を順次施したが、微分処理、平滑化処理の順でも良い。
次いで、画像データ▲5▼に対し、各画素毎に、所定のしきい値と比較し、画像データ▲5▼の中に、所定のしきい値以上、あるいは所定のしきい値以下の画素がある場合、この画素の領域を膜厚ムラ不良の領域として抽出し(S170)、膜厚ムラ不良の領域を抽出した画像データ▲6▼を得る。
このようにして、自動化した膜厚ムラ不良の画像データを得ることができ、膜厚ムラ不良の自動検出ができる。
【0011】
次いで、実施の形態の第2の例を図1に基づいて説明する。
第2の例も、第1の例と同様、基材111上に薄膜状に塗布されている、特定の光波長域に対して、光透過性を有し、且つ、吸収性を有する塗布材料112の膜厚ムラを検査する方法であって、図2に示す装置を用いて、塗布材料112が光透過性を有し、且つ、吸収性を有する特定の光波長域で、試料110を撮影した撮影画像の画像データを利用するものである。
第2の例は、人がモニター(表示手段)表示された画像を観察して、膜厚ムラ不良を抽出する検査方法であるが、画像処理の要部を第1の例と同じとするものである。
第2の例は、第1の例と同様に、撮影画像の画像データ▲1▼に対し、除算処理(S130)、シーディング除去処理(S140)を行い画像データ▲4▼を得た後、画像データ▲4▼を用い、膜厚ムラに対応する信号レベル区間のみを拡大し、これを表示手段に表示して、膜厚ムラ部の階調範囲を拡大して示す。(S210)
そして、表示手段に表示された画像を観察して、膜厚ムラ不良を抽出する。(S210)
【0012】
図4は、実施の形態第1の例、第2の例を実施するための別の装置の概略構成図で、画像処理部表示部は省いてある。
図4の装置は、試料115の基材が薄く基材が波打つような場合にも対応できる装置で、照明光源として、面光源125を用いたものである。
詳しくは、試料115の基材が薄く、図4に示すように、基材が波打つ場合、図2に示す装置における線状の照明光源120で照明すると、画像に基材の波打ちによる明暗が生じてしまい、膜厚ムラによる明暗差が抽出しずらくなるが、図4の装置では、これに対応できる。
【0013】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、基材上に薄膜状に塗布されている塗布材料の膜厚ムラの抽出を高い精度で行うことができる検査方法で、比較的簡単に表示装置を介して目視にて確認することができる検査方法、および自動検査方法の提供を可能とした。
結果、エッチングによるシャドウマスクの外形加工においては、カラー画像の高画質化の要求に応えることができるようになった。また、その量産にも対応できるものとした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布材料の膜厚ムラ検査方法の実施の形態のフロー図
【図2】実施の形態を実施するための装置の概略構成図
【図3】撮影する試料の一部の拡大断面図
【図4】実施の形態を実施するための他の装置例を示した図
【図5】画像データのフィルター処理(フィルターリング)を説明するための図
【符号の説明】
110、115 試料
111 基材
112 塗布材料
120 線状の照明光源
121 照明光
125 面状の照明光源
130 撮影装置(CCDラインセンサカメラ)
131 正反射光(撮影光)
140 光学フィルター
150 画像処理部
160 搬送部
170 表示装置
θ (法線に対する)入射角および反射角
Claims (3)
- 基材上に薄膜状に塗布されている、特定の光波長域に対して、膜厚差を波長の光の強度としてとらえることができるように、光透過性を有し、且つ、光吸収性を有する塗布材料の膜厚ムラを、コンピュータ処理を主体として、自動で検査する方法であって、前記特定の光波長域を含む照明光を塗布材料に入射して、基材面にて反射された照明光の正反射光で、且つ前記特定波長域の光のみで撮影し、検査領域を撮影した撮影画像を得る撮影処理と、前記撮影により得られた撮影画像の、画素毎に撮影において受けた光の強度に対応した画素値を持つ第1の画像データに対し、該撮影画像を撮影した撮影装置により予め均一な照度分布の照明光に対して均一な照度分布を有する対象物を撮影した第2の画像データを用い、対応する各画素毎に、それぞれ、第2の画像データの画素値で第1の画像データの画素値を除算する除算処理と、除算処理の結果得られた第3の画像データに対して、あらかじめ決めておいた周波数よりも高い空間周波数成分のみを抽出して、信号の緩やかな変化分を除去する、信号の緩やかな変化分除去処理とを、各処理記載順に行うもので、信号の緩やかな変化分除去処理の結果得られた第4の画像データに、各画素毎にそれぞれ、平滑化処理、微分処理を施して、得られた第5の画像データに対し、各画素毎にその画素値をしきい値と比較して、該しきい値以上、あるいは以下の画素を抽出して、抽出された画素領域を膜厚ムラ部として抽出することを特徴とする塗布材料の膜厚ムラ検査方法。
- 請求項1において、撮影手段としてラインセンサカメラを用い、且つ、照明手段として面状照明を用いることを特徴とする塗布材料の膜厚ムラ検査方法。
- 請求項1ないし2において、基材が金属板材で、塗布材料が製版用のレジストであることを特徴とする塗布材料の膜厚ムラ検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15740698A JP4184480B2 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 塗布材料の膜厚ムラ検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15740698A JP4184480B2 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 塗布材料の膜厚ムラ検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11351830A JPH11351830A (ja) | 1999-12-24 |
JP4184480B2 true JP4184480B2 (ja) | 2008-11-19 |
Family
ID=15648940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15740698A Expired - Fee Related JP4184480B2 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | 塗布材料の膜厚ムラ検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4184480B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3811728B2 (ja) * | 2003-03-18 | 2006-08-23 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 膜厚取得方法 |
JP4312706B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2009-08-12 | シャープ株式会社 | 膜厚差検出装置、膜厚差検出方法、カラーフィルタ検査装置、カラーフィルタ検査方法 |
JP2006250851A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-09-21 | Toppan Printing Co Ltd | 膜厚ムラ検出方法および検出装置 |
JP4615400B2 (ja) | 2005-09-02 | 2011-01-19 | パナソニック株式会社 | 電池電極板上の多孔質膜の膜測定装置およびそれを用いる塗工装置 |
CN100337091C (zh) * | 2005-11-07 | 2007-09-12 | 友达光电股份有限公司 | 光学膜层厚度均匀性的监测方法 |
JP5142278B2 (ja) * | 2008-08-14 | 2013-02-13 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | グラフェン又は超薄膜グラファイトの厚さ検出方法および厚さ検出システム |
JP6822864B2 (ja) * | 2017-01-31 | 2021-01-27 | アルファーデザイン株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、プログラム、 |
JP7353336B2 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-09-29 | 東京瓦斯株式会社 | 風力発電装置の劣化検知システム、劣化検知装置およびプログラム |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS622107A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-08 | Toshiba Corp | 薄膜検査方法および装置 |
JPH02271245A (ja) * | 1989-04-12 | 1990-11-06 | Toshiba Corp | 表面欠陥検出装置 |
JP2691794B2 (ja) * | 1990-09-14 | 1997-12-17 | 富士写真フイルム株式会社 | 欠陥検査装置 |
JP2911620B2 (ja) * | 1991-03-27 | 1999-06-23 | 大日本印刷株式会社 | 周期性パターンのムラ定量化方法 |
JP3478861B2 (ja) * | 1994-02-01 | 2003-12-15 | 株式会社リコー | 2値画像データのスムージング拡大処理方法 |
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JP3335503B2 (ja) * | 1995-06-22 | 2002-10-21 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 透孔板の検査方法および検査装置 |
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JPH09178666A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-07-11 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
JPH09229649A (ja) * | 1996-02-28 | 1997-09-05 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 3次元映像計測機 |
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JP3657345B2 (ja) * | 1996-04-25 | 2005-06-08 | オリンパス株式会社 | 膜厚検査装置 |
-
1998
- 1998-06-05 JP JP15740698A patent/JP4184480B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11351830A (ja) | 1999-12-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050531 |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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