JP4183585B2 - 走査ビーム検査方法及び当該装置 - Google Patents
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Description
F(νx、νy)=Φ[f1(x−d、y)+f2(x+d、y)]
=exp(−i2πdνx)F1(νx、νy)
+exp(−i2πdνx)F2(νx、νy) …(1)
となる。
*|F(νx、νy)|2=|F1(νx、νy)|2+|F2(νx、νy)|2
+exp(i4πdνx)F1(νx、νy)F2 *(νx、νy)
+exp(i4πdνx)F1 *(νx、νy)F2(νx、νy) …(2)
となる。
Φ[|F(νx、νy)|2]
={f1(x、y)*f1 *(x、y)+f2(x、y)*f2 *(x、y)}
+f1(x−2d、y)*f2 *(x−2d、y)
+f1 *(x+2d、y)*f2(x+2d、y) …(3)
が得られる。式(3)の第2項と第3項とが入力f1(x、y)とf2(x、y)の相関関数となる。この図6、および、式(1)〜(3)から分かるように、出力面P3に生じるパターンは、入力物体f1(x、y)とf2(x、y)の強度に対応した0次光と、これを中心として点対称上に並んだ+1次光と−1次光からなる。
10(mm/sec)×400(μsec)=4μm
の検査位置の補正を行う。
8 LD点灯制御部(点灯制御手段)
9 取得部(取得手段)
9a1 記録面
9a2 表示面(第1表示面)
9b 対物レンズ(拡大光学素子)
9c 電子シャッタ
9d クリア手段
10 生成部(生成手段)
10a2 表示面(第2表示面)
10b 駆動制御部(駆動手段)
16 計測CPU(検査手段)
21 移動ステージ(第2移動手段)
25 位置検出手段
26 移動ステージ(第1移動手段)
42 相関手段
42b 第1フーリエ変換レンズ
42g 第2フーリエ変換レンズ
Claims (2)
- 走査面上の主走査方向に走査される走査ビームを検査する装置において、
前記走査ビームのスポット像が記録される記録面と、前記記録面に結像させる前記走査ビームのスポット像を拡大する拡大光学素子と、前記記録面に対する前記走査ビームの入射を遮る遮断手段と、前記記録面に記録されたスポット像を表示する第1表示面と、から構成された取得手段と、
前記第1表示面と同一平面上に並べられた第2表示面と、該第2表示面に前記走査ビームの理想的なスポット像である参照画像を表示させる駆動手段と、から構成された生成手段と、
同一平面上に並べられた前記第1表示面に表示された前記走査ビームのスポット像、及び、前記第2表示面に表示された前記参照画像、をフーリエ変換する第1フーリエ変換光学素子と、前記第1フーリエ変換光学素子により変換されたフーリエ変換像をさらにフーリエ変換したフーリエ変換像を相関信号として出力する第2フーリエ変換光学素子と、から構成された相関手段と、
前記相関手段が得た相関信号に基づいて前記走査ビームの検査を行う検査手段と、
前記主走査方向に一定間隔でドットを形成するように、前記走査ビームの点灯を制御する点灯制御手段と、
を備えたことを特徴とする走査ビーム検査装置。 - 前記検査手段が、前記相関信号の+1次光、−1次光及び0次光のうち何れか2つの結像位置間の距離を求めて、求めた距離に基づいて前記走査ビームの走査位置についての検査を行うことを特徴とする請求項1に記載の走査ビーム検査装置。
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