JP4176443B2

JP4176443B2 - Wave plate unit, optical pickup module, and optical disk apparatus

Info

Publication number: JP4176443B2
Application number: JP2002299072A
Authority: JP
Inventors: 良行清澤
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 2002-10-11
Filing date: 2002-10-11
Publication date: 2008-11-05
Anticipated expiration: 2022-10-11
Also published as: JP2004133290A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長板ユニットおよび光ピックアップモジュールおよび光ディスク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光ディスクの大容量化（高記録密度化）が進み、青紫ＬＤ（波長４０５ｎｍ）を光源とした光ディスク装置の開発も盛んに行われている。
【０００３】
一方、従来の光ディスクも広く普及しており、複数の規格の光ディスクが利用されるようになってきている。このように複数の規格の光ディスクが混在する中で、１つの規格にしか対応していない光ディスク装置よりも、複数の規格に対応した互換性のある光ディスク装置が要求されている。
【０００４】
互換性に関して、従来では、２つの光源波長が６３５ｎｍと７８０ｎｍの場合には図１３に示すように光学系を共通化した光ディスク装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。また，４０５ｎｍの光源を用いる場合には図１４に示すように、別途光学系を設け、互換性を持たせているもの（例えば、特許文献２参照。）や、図１５に示すように、液晶で構成された波長板を用い、４０５ｎｍと６５０ｎｍおよび７８０ｎｍも３波長とで光学系を共通化して互換性を持たせているもの（例えば、特許文献３参照。）が知られている。
【０００５】
２つの光源の波長が７８０ｎｍと６３５ｎｍのように２つの波長が近い場合には、特許文献１のように、光学系を共通化することは比較的容易である。しかしながら、波長が４０５ｎｍの光源を用いた場合には、光学系を共通化することは難しく、特に一般的に用いられている水晶で形成された波長板は共通化することが非常に難しいため，特許文献２のように別途光学系を設けている。また、水晶で形成された波長板は高価であり、また、厚さによってしか位相差を制御できなく、対応する波長によって波長板の厚さが異なるため、複数枚の波長板が必要となり、光ピックアップ装置が高価なものとなってしまう。
【０００６】
一方、波長板を液晶で構成した場合には、波長が４０５ｎｍの光源を用いた場合でも特許文献３のように波長板を共通化できるが、水晶で形成された波長板に比べて、透過率が低く、光の利用効率が低下してしまう。さらに、液晶で構成された波長板は構造が複雑で、作製プロセスが複雑となり高価なものとなってしまう。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−１１４３６号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開２０００−１１４０２号公報
【０００９】
【特許文献３】
特開２０００−２７６７６６号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高価な水晶の波長板を用いずとも、透過率の低下，光の利用効率の低下を抑え、また、製造が容易な波長板ユニットおよび光ピックアップモジュールおよび光ディスク装置を提供することを目的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、光の偏光状態を変化させる機能を有している波長板ユニットにおいて、同一基板上に異なる波長に対応した少なくとも２つ以上の波長板が形成されており、各波長板は、波長の１／２以下であって各波長に対応した周期で形成された溝から構成され、各波長板における溝は、同じ深さおよび同じ幅のものとなっていることを特徴としている。
【００１６】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の波長板ユニットにおいて、前記各波長板における溝は、溝の上部で表面方向に向かって溝の幅が広がっていることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項３記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の波長板ユニットにおいて、基板の波長板が形成されている面とは反対の面に、断面が鋸歯状の溝が波長の１／２以下の周期で形成されているか、または、円錐状あるいは多角錘状の構造物が波長の１／２以下の周期で形成されていることを特徴としている。
【００１８】
また、請求項４記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波長板ユニットにおいて、同一基板に形成された異なる波長に対応した２つ以上の波長板は、それぞれ対応した波長に対して１／４波長板として機能するようになっていることを特徴としている。
【００２０】
また、請求項５記載の発明は、請求項４記載の波長板ユニットと、波長板ユニットを移動するアクチュエータと、波長の異なる２つ以上の光源と、対物レンズと、対物レンズを移動するアクチュエータと、光源からの光を対物レンズに導く照明光学系と、信号を検出する検出器と、検出器へ光を導く検出光学系とを有していることを特徴とする光ピックアップモジュールである。
【００２１】
また、請求項６記載の発明は、請求項５記載の光ピックアップモジュールにおいて、対物レンズは、色消しレンズであることを特徴としている。
【００２２】
また、請求項７記載の発明は、請求項５または請求項６記載の光ピックアップモジュールと、ＬＤを駆動する駆動部と、光記録媒体を回転させる回転機構と、検出系で検出したフォーカス信号をもとにフォーカスアクチュエータを駆動するフォーカス制御部と、検出系で検出したトラック信号をもとにトラックアクチュエータを駆動するトラック制御部と、光記録媒体に記録されたデータを再生する信号再生部と、光ディスクの種類を識別するディスク識別部とを有していることを特徴とする光ディスク装置である。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
本発明は、光の偏光状態を変化させる機能を有している波長板ユニットにおいて、同一基板上に異なる波長に対応した少なくとも２つ以上の波長板が形成されていることを特徴としている。
【００２５】
ここで、各波長板は、波長の１／２以下の周期の微細周期構造で構成されている。
【００２６】
この場合、波長の１／２以下の周期の微細周期構造は、例えば、基板に波長の１／２以下の周期で形成された溝である。
【００２７】
波長の１／２以下の周期の微細周期構造は、例えば、基板に波長の１／２以下の周期で形成された溝であるとき、基板に波長の１／２以下の周期で形成された溝は、同一基板上に形成された２つ以上の波長板において、同じ深さのものとなっているか、あるいは、同じ深さおよび同じ幅のものとなっている。
【００２８】
また、基板に波長の１／２以下の周期で形成された溝は、溝の上部で表面方向に向かって溝の幅が広がったものにすることができ、この場合には、後述のように、光の反射を防止することができる。
【００２９】
また、上述した本発明の波長板ユニットにおいて、基板の波長板が形成されている面とは反対の面に、断面が鋸歯状の溝が波長の１／２以下の周期で形成されているか、または、円錐状あるいは多角錘状の構造物が波長の１／２以下の周期で形成されていても良く、この場合には、後述のように、光の反射を防止することができる。
【００３０】
また、上述した本発明の波長板ユニットにおいて、同一基板に形成された異なる波長に対応した２つ以上の波長板は、それぞれ対応した波長に対して１／４波長板として機能するようになっていても良く、この場合には、例えば、直線偏光から円偏光への変換、または、円偏光から直線偏光への変換を１つの光学素子で行うことができ、光学系を簡素化することができる。
【００３１】
以上のように、本発明によれば、異なる波長に対応する複数の波長板を同一基板上に容易に形成することができ、かつ、多波長対応で構造が簡単な光ピックアップモジュールおよび光ディスク装置を容易に実現することができる。
【００３２】
図１は本発明に係る波長板ユニットの構成例を示す図（上面図）である。図１の例の波長板ユニットは、異なる波長に対応した３個の波長板が同一の石英ガラス基板に形成されて、第１，第２，第３の領域が構成されている。図２（ａ），（ｂ），（ｃ）には、それぞれ、第１，第２，第３の領域の断面図が示されている。図２（ａ），（ｂ），（ｃ）を参照すると、基板には、溝が周期的に配置された微細周期構造が形成されている。ここで、図２（ａ），（ｂ），（ｃ）は溝に垂直方向の断面図である。そして、基板に形成された微細周期構造は、それぞれの領域によって（第１，第２，第３の領域毎に）、形状が異なっている。
【００３３】
本来複屈折特性を持たない屈折率の異なる平板を光の波長よりも十分に小さい（＜λ／２）周期で並べた微細周期構造（図３参照）は、複屈折特性を発生することが知られている（例えば、文献「ＰｒｉｎｃｉｐｌｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＭａｘＢｏｒｎａｎｄＥｍｉｌＷｏｌｆ，ＰＥＲＧＡＭＯＮＰＲＥＳＳＬＴＤ．」）。
【００３４】
偏光方向が溝に平行な光の屈折率ｎ_ｐと垂直な光の屈折率ｎ_ｖとは、それぞれ、次式のようになる。
【００３５】
【数１】
ｎ_ｐ＝｛ｔｎ_１ ^２＋（１−ｔ）ｎ_２ ^２｝^１／２
ｎ_ｖ＝１／｛ｔ／ｎ_１ ^２＋（１−ｔ）／ｎ_２ ^２｝^１／２
【００３６】
数１において、ｎ_１，ｎ_２は、それぞれ、微細周期構造が形成された物質の屈折率，溝を埋める物質の屈折率であり、また、ｔは微細周期構造のｄｕｔｙ比であり、ｄｕｔｙ比ｔは次式で与えられる。
【００３７】
【数２】
ｔ＝ｗ_１／（ｗ_１＋ｗ_２）
【００３８】
このように、水晶や方解石の複屈折特性は、その物質固有のものであり、変えることがほとんどできないものであるのに対して、構造複屈折は、材料や形状を変えることで複屈折特性を容易に制御することが可能である。
【００３９】
偏光方向が溝に平行な光と垂直な光との位相差（遅延量）Ｒｅは，構造複屈折の高さ（溝の深さ）をｄとすると、次式のようになる。
【００４０】
【数３】
Ｒｅ＝（ｎ_ｐ−ｎ_ｖ）ｄ
【００４１】
これらの式（数１，数２，数３）から、構造複屈折のｄｕｔｙ比および構造複屈折の高さを可変にすれば、位相差（遅延量）を変化させることができることが分かる。
【００４２】
図４はそれぞれの波長で位相差が波長の１／４となる時のｄｕｔｙ比と遅延量を示した図である。ここで、図４は、微細周期構造が形成された物質を石英ガラスとし、溝を埋める物質を空気とし、構造複屈折の高さ（溝の深さ）を２．５μｍとした場合のものとなっている。
【００４３】
本発明の波長板ユニットでは、３つの領域でそれぞれｄｕｔｙ比が異なり、それぞれ異なる波長に対応した波長板となっている。第１の領域では、ｄｕｔｙ比を０．１５にしてあり、波長が４０５ｎｍの光に対して１／４波長板となる。また、第２の領域では、ｄｕｔｙ比が０．３０であり、波長が６６０ｎｍの光に対して１／４波長板となる。また、第３の領域では、ｄｕｔｙ比が０．４２であり、波長が７８０ｎｍの光に対して１／４波長板となる。
【００４４】
図４では、ｄｕｔｙ比が０．５以下で位相差を１／４波長にしたものであるが、図５に示すように、ｄｕｔｙ比が０．５以上でも位相差を１／４波長にすることができる。
【００４５】
上述した本発明の波長板ユニットは、エッチングマスク形成工程と、ドライエッチング工程と、エッチングマスク除去工程とを有し、同一基板上に形成された２つ以上の波長板を一度の工程で同時に作製することができる。
【００４６】
図６，図７は本発明の波長板ユニットの製造工程例を説明するための図であり、図６，図７には、石英ガラス基板に微細周期構造を形成するプロセスが示されている。図６，図７を参照すると、まず、石英ガラス基板上にＥＢレジストを塗布する（図６（ａ））。しかる後、ＥＢ描画装置でパターンを描画し、現像する（図６（ｂ））。次に、金属膜を真空蒸着で成膜し（図６（ｃ））、レジスト剥離液によるリフトオフ法で金属膜パターンを形成する（図７（ｄ））。次いで、金属膜パターンを形成した石英ガラスを、ＣＦ_４やＣ_４Ｆ_８，ＣＨＦ_３などのフロロカーボンガスを用いてドライエッチングして、微細周期構造を形成し（図７（ｅ））、金属膜を除去する（図７（ｆ））。これによって、本発明の波長板ユニットが作製される。
【００４７】
前述したように、位相差（遅延量）は、構造複屈折のｄｕｔｙ比だけでなく、溝の深さ（構造複屈折の高さ）によっても制御することができるので、溝の深さを変えてもよい。しかし、溝の深さはエッチング量で制御するため、それぞれ別々にエッチングする必要がある。これに対し、いまの例では、溝の深さを２．５μｍとそれぞれの領域で一定にし、ｄｕｔｙ比のみで制御しているので、一度のエッチングプロセスで形成することができ、製造工程を簡単にすることができ、コストを抑えることができる。
【００４８】
また、ｄｕｔｙ比が定まっていれば、溝幅や構造周期を任意に設定することができるが、溝幅によって、エッチング量が若干異なってくるため、それぞれの領域で溝幅を同じにし、周期を変えることにより、精度良く作製することができる。いまの例では、溝の幅を１７０ｎｍとし、構造の周期を、第１の領域では２００ｎｍ（ｄｕｔｙ比０．１５）、第２の領域では２４４ｎｍ（ｄｕｔｙ比０．３０）、第３の領域では２９２ｎｍ（ｄｕｔｙ比０．４２）としている。ただし、構造周期は対応する波長の半分の長さを超えないようにする。
【００４９】
なお、図８に示すように、基板の表面付近で徐々に溝の幅が広がった形状にすると、屈折率を空気の屈折率１．０から徐々に変えることができるので、光の反射防止機能を持たせることもできる。また、石英ガラス基板の裏面にも図９に示すような断面が鋸歯状の溝を形成すると、光の反射を防止することができる。また、基板の裏面側は、溝形状だけではなく、円錐状や多角錘状の構造物を並べても良い。このような反射防止機能は、誘電体多層膜による反射防止膜に比べて波長依存性が非常に少なく、広範囲の波長の光に対して反射を防止することができる。
【００５０】
また、上述の例では、ドライエッチング装置にはＥＣＲエッチング装置を用いているが、ＩＣＰエッチング装置など他のエッチング装置を用いても良い。
【００５１】
また、上述の例では、微細周期構造を形成する材質として石英ガラスを用いているが、使用する光源の波長において透明な材質であれば他の材料でも良い。当然ながら、用いた材質の屈折率で形状等を設計する必要がある。
【００５２】
また、上述の例では、パターニングにはＥＢ描画を用いているが、量産性を向上させるために、極端紫外光や真空紫外光やＸ線を用いた露光装置を使用しても良い。
【００５３】
また、上述した本発明の波長板ユニットを用いて、光記録媒体に対して情報の記録／再生を行う光ピックアップモジュールを構成することができる。すなわち、光ピックアップモジュールとして、上述した本発明の波長板ユニットと、波長板ユニットを移動するアクチュエータと、波長の異なる２つ以上の光源と、対物レンズと、対物レンズを移動するアクチュエータと、光源からの光を対物レンズに導く照明光学系と、信号を検出する検出器と、検出器へ光を導く検出光学系とを有している光ピックアップモジュールを構成することができる。
【００５４】
図１０は本発明の光ピックアップモジュールの構成例を示す図である。図１０の例では、光ピックアップモジュールは、ＡｌＧａＡｓレーザを光源とした第１の光源ユニットと、ＡｌＧａＩｎＰレーザを光源とした第２の光源ユニットと，ＧａＮレーザを光源とした第３の光源ユニットと，第１の誘電体多層膜ミラーと、第２の誘電体多層膜ミラーと、図１に示した波長板ユニット（本発明の１／４波長板）と、立上げミラーと、対物レンズと、対物レンズを移動させるアクチュエータとにより構成されている。
【００５５】
ここで、光源ユニットは、例えば図１１に示すように、半導体レーザと、分割フォトダイオードと、偏光ホログラムとにより構成されている。
【００５６】
また，第１の誘電体多層膜ミラーは、波長が４０５ｎｍおよび６６０ｎｍの光を透過し７８０ｎｍの光を反射するように設計され、また、第２の誘電体多層膜ミラーは、波長が４０５ｎｍ光を透過し６６０ｎｍの光を反射するように設計されている。
【００５７】
図１０，図１１の構成の光ピックアップモジュールでは、半導体レーザから出射したレーザ光は、偏光面に対して光学軸が４５°をなすように配置された本発明の波長板ユニット（１／４波長板）で直線偏光から円偏光に変換され、対物レンズによって光ディスクの記録面に集光する。集光したレーザ光は、光ディスクの記録面で反射され、再び対物レンズを経て、本発明の波長板ユニットで円偏光から直線偏光に変換されて光源ユニットに戻ってくる。レーザ光が光ディスクの記録面で反射する際に円偏光の回転方向が逆転しているので、光源ユニットに戻ってきたレーザ光は、偏光面が出射光とは９０°変わっており、光学ユニットの偏光ホログラムに形成された回折格子によって分割フォトダイオード上に回折パターンが形成され、これによって、光ディスクの記録面に記録された信号を検出することができる。
【００５８】
このように、図１０の光ピックアップモジュールでは、波長の異なる光に対応した１／４波長板が複数形成された波長板と、波長板を移動する波長板アクチュエータと、波長の異なる複数の光源ユニットと、対物レンズと、対物レンズ移動するアクチュエータと、多層誘電体ミラーとにより構成されているので、多波長対応の光ピックアップモジュールを簡単な構成で、かつ、安価に実現することができる。
【００５９】
なお、図１０の光ピックアップモジュールにおいて、対物レンズは、単レンズで２つの異なる波長に対応した設計はレンズ材の屈折率が波長に変化するため困難であり、それぞれの波長ごとに複数個備えて、ディスクの種類によって機械的に入れかえるような構成にしても良い。しかし、複数の対物レンズを備えた構成は、光ピックアップモジュールが大きくなってしまうので，焦点距離が正と負の材料が異なる（アッベ数が異なる）２枚のレンズを貼り合せた色消しレンズ構成にして２つの波長で収差が発生しないように設計し、１つの対物レンズで２つの波長に対応する構成にする方が望ましい。
【００６０】
また、ディスクの種類によって（光源波長によって）対物レンズの開口数（ＮＡ）が異なる場合には、開口径を変更することができるアパーチャー（例えば機械的に変更するものや液晶を用いて変更するものなど）を用いて光ピックアップモジュールを構成するのが望ましい。
【００６１】
また、上述した本発明の光ピックアップモジュールを用いて光ディスク装置を構成することができる。すなわち、上述した本発明の光ピックアップモジュールと、ＬＤを駆動する駆動部と、光記録媒体を回転させる回転機構と、検出系で検出したフォーカス信号をもとにフォーカスアクチュエータを駆動するフォーカス制御部と、検出系で検出したトラック信号をもとにトラックアクチュエータを駆動するトラック制御部と、光記録媒体に記録されたデータを再生する信号再生部と、光ディスクの種類を識別するディスク識別部とを有している光ディスク装置を構成することができる。
【００６２】
図１２は本発明の光ディスク装置の構成例を示す図である。図１２の光ディスク装置は、光ディスクの種類を判別する機能を備えており，装着された光ディスクの種類を判別することができるようになっている。具体的には、光ディスクを装着後、まず、第１の光源ユニットの半導体レーザを点灯させて、フォーカス信号を検出しながら対物レンズをフォーカス方向に移動させて光ディスクの記録面に焦点を合わせる。合焦点後、今度はトラック方向に対物レンズを移動し、トラック信号の検出を行う。この時点でトラック信号が検出された場合には、そのまま、再生の動作を行う。また、トラック信号が検出されなかった場合には、第１の光源ユニットの半導体レーザを消灯し、第２の光源ユニットの半導体レーザを点灯させて、フォーカス信号を検出しながら対物レンズをフォーカス方向に移動させて光ディスクの記録面に焦点を合わせ、トラック方向に対物レンズを移動し、トラック信号の検出を行い、再生動作を行う。
【００６３】
このように、本発明の光ディスク装置では、波長の異なる光に対応した１／４波長板が複数形成された波長板ユニットと、波長板ユニットを移動する波長板アクチュエータと、波長の異なる複数の光源と対物レンズと、対物レンズを移動するアクチュエータと、多層誘電体ミラーとで構成された光ピックアップモジュールを用いて、追記型または書換型光ディスク装置を構成しているので、構造が簡単で互換性があり、安価な追記型または書換型光ディスク装置を提供することができる。
【００６４】
【発明の効果】
以上に説明したように、請求項１乃至請求項４記載の発明によれば、光の偏光状態を変化させる機能を有している波長板ユニットにおいて、同一基板上に異なる波長に対応した少なくとも２つ以上の波長板が形成されており、各波長板は、波長の１／２以下であって各波長に対応した周期で形成された溝から構成され、各波長板における溝は、同じ深さおよび同じ幅のものとなっているので、高価な水晶の波長板を用いずとも、透過率の低下，光の利用効率の低下を抑え、また、複数の波長板を同一基板上に容易に形成することができ、各波長板における溝の深さおよび幅を同じにしていることで、複数の波長板を１回の工程で同時に精度良く形成することができる。
【００６９】
また、請求項２記載の発明では、溝の上部で表面方向に向かって溝の幅を徐々に広くしているので、屈折率が徐々に変化し、光の反射防止として機能させることができる。
【００７０】
また、請求項３記載の発明では、基板の裏面に、鋸歯状の溝、または、円錐あるいは多角錘形状の構造物を波長の１／２以下の周期で形成しているので、広範囲の波長に対して反射防止として機能させることができる。
【００７１】
また、請求項４記載の発明では、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波長板において、同一基板に形成された異なる波長に対応した２つ以上の波長板は、それぞれ対応した波長に対して１／４波長板として機能するようになっているので、例えば、直線偏光から円偏光への変換、または、円偏光から直線偏光への変換を１つの光学素子で行うことができ、光学系を簡素化することができる。
【００７３】
また、請求項５記載の発明によれば、請求項４記載の波長板ユニットと、波長板ユニットを移動するアクチュエータと、波長の異なる２つ以上の光源と、対物レンズと、対物レンズを移動するアクチュエータと、光源からの光を対物レンズに導く照明光学系と、信号を検出する検出器と、検出器へ光を導く検出光学系とを有しているので、多波長対応の光ピックアップモジュールを簡単な構成で、かつ、安価に実現することができる。
【００７４】
また、請求項６記載の発明によれば、請求項５記載の光ピックアップモジュールにおいて、対物レンズは、色消しレンズであるので、複数の波長に対して収差の小さい対物レンズを設計することができて、信頼性の高い多波長対応光ピックアップモジュールを容易に実現することができる。
【００７５】
また、請求項７記載の発明によれば、請求項５または請求項６記載の光ピックアップモジュールと、ＬＤを駆動する駆動部と、光記録媒体を回転させる回転機構と、検出系で検出したフォーカス信号をもとにフォーカスアクチュエータを駆動するフォーカス制御部と、検出系で検出したトラック信号をもとにトラックアクチュエータを駆動するトラック制御部と、光記録媒体に記録されたデータを再生する信号再生部と、光ディスクの種類を識別するディスク識別部とを有しているので、構造が簡単で互換性があり、安価な追記型または書換型光ディスク装置を提供することができる。すなわち、波長の異なる光に対応した１／４波長板が複数形成された波長板ユニットと、波長板ユニットを移動する波長板アクチュエータと，波長の異なる複数の光源と対物レンズと、対物レンズを移動するアクチュエータと、多層誘電体ミラーとで構成された光ピックアップモジュールを用いて、追記型または書換型光ディスク装置を構成しているので、構造が簡単で互換性があり、安価な追記型または書換型光ディスク装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る波長板ユニットの構成例を示す図である。
【図２】本発明の波長板ユニットに形成されている複数の領域の例を示す図である。
【図３】本来複屈折特性を持たない屈折率の異なる平板を光の波長よりも十分に小さい（＜λ／２）周期で並べた微細周期構造を示す図である。
【図４】それぞれの波長で位相差が波長の１／４となる時のｄｕｔｙ比と遅延量の一例を示す図である。
【図５】それぞれの波長で位相差が波長の１／４となる時のｄｕｔｙ比と遅延量の一例を示す図である。
【図６】本発明の波長板ユニットの製造工程例を説明するための図である。
【図７】本発明の波長板ユニットの製造工程例を説明するための図である。
【図８】光の反射防止機能を持たせる一例を示す図である。
【図９】光の反射防止機能を持たせる一例を示す図である。
【図１０】本発明の光ピックアップモジュールの構成例を示す図である。
【図１１】図１０の光源ユニットの一例を示す図である。
【図１２】本発明の光ディスク装置の構成例を示す図である。
【図１３】従来の光ディスク装置の構成例を示す図である。
【図１４】従来の光ディスク装置の構成例を示す図である。
【図１５】従来の光ディスク装置の構成例を示す図である。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a wavelength plate unit Contact and optical pickup module and an optical disc apparatus.
[0002]
[Prior art]
In recent years, the capacity (high recording density) of optical disks has been increased, and development of optical disk apparatuses using blue-violet LD (wavelength 405 nm) as a light source has been actively conducted.
[0003]
On the other hand, conventional optical discs are also widely used, and optical discs of a plurality of standards are being used. In this manner, in the presence of a plurality of standard optical discs, a compatible optical disc device corresponding to a plurality of standards is required rather than an optical disc device corresponding to only one standard.
[0004]
With respect to compatibility, conventionally, when two light source wavelengths are 635 nm and 780 nm, an optical disc apparatus having a common optical system as shown in FIG. 13 is known (see, for example, Patent Document 1). When a 405 nm light source is used, as shown in FIG. 14, a separate optical system is provided for compatibility (for example, see Patent Document 2), or liquid crystal as shown in FIG. There is known a plate having a compatibility with a common optical system of 405 nm, 650 nm, and 780 nm for three wavelengths (for example, see Patent Document 3).
[0005]
When the two light sources have close wavelengths such as 780 nm and 635 nm, it is relatively easy to share the optical system as in Patent Document 1. However, when a light source with a wavelength of 405 nm is used, it is difficult to share an optical system, and in particular, it is very difficult to share a wave plate made of quartz that is generally used. A separate optical system is provided as in Patent Document 2. In addition, the wave plate made of quartz is expensive, and the phase difference can be controlled only by the thickness, and the thickness of the wave plate differs depending on the corresponding wavelength. The pickup device becomes expensive.
[0006]
On the other hand, when the wave plate is made of liquid crystal, the wave plate can be shared as in Patent Document 3 even when a light source having a wavelength of 405 nm is used, but the transmittance is higher than that of a wave plate formed of quartz. However, the light utilization efficiency is lowered. Further, the wave plate made of liquid crystal has a complicated structure, which makes the manufacturing process complicated and expensive.
[0007]
[Patent Document 1]
JP 2000-11436 A
[Patent Document 2]
Japanese Patent Laid-Open No. 2000-11402
[Patent Document 3]
JP 2000-276766 A [0010]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention is without using the wave plate of expensive crystal, decrease in transmittance, the reduction in the light use efficiency of suppressing, also prepared to provide easily waveplate unit Contact and optical pickup module and an optical disc apparatus The purpose is that.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 is a wave plate unit having a function of changing the polarization state of light, and includes at least two wave plates corresponding to different wavelengths on the same substrate. Each wave plate is composed of grooves formed at a period corresponding to each wavelength that is equal to or less than ½ of the wavelength, and the grooves in each wave plate have the same depth and the same width. It is characterized in that has become.
[0016]
According to a second aspect of the present invention, in the wave plate unit according to the first aspect , the groove of each wave plate is characterized in that the width of the groove widens toward the surface at the upper part of the groove.
[0017]
According to a third aspect of the present invention, in the wave plate unit according to the first or second aspect, a groove having a sawtooth cross section is formed on the surface opposite to the surface on which the wave plate of the substrate is formed. Or a conical or polygonal pyramid structure is formed with a period of 1/2 or less of the wavelength.
[0018]
Further, the invention according to claim 4 is the wave plate unit according to any one of claims 1 to 3 , wherein the two or more wave plates corresponding to different wavelengths formed on the same substrate are respectively It is characterized by functioning as a quarter-wave plate for the corresponding wavelength.
[0020]
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the wave plate unit according to the fourth aspect , an actuator that moves the wave plate unit, two or more light sources having different wavelengths, an objective lens, and an actuator that moves the objective lens. An optical pickup module comprising: an illumination optical system that guides light from a light source to an objective lens; a detector that detects a signal; and a detection optical system that guides light to the detector.
[0021]
The invention according to claim 6 is the optical pickup module according to claim 5, wherein the objective lens is an achromatic lens.
[0022]
According to a seventh aspect of the present invention, the optical pickup module according to the fifth or sixth aspect , a driving unit for driving the LD, a rotating mechanism for rotating the optical recording medium, and a focus signal detected by the detection system are provided. A focus control unit for driving the focus actuator, a track control unit for driving the track actuator based on the track signal detected by the detection system, a signal reproduction unit for reproducing data recorded on the optical recording medium, An optical disc apparatus having a disc identification unit for identifying the type of the optical disc.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0024]
The present invention is characterized in that, in a wave plate unit having a function of changing the polarization state of light, at least two or more wave plates corresponding to different wavelengths are formed on the same substrate.
[0025]
Here, each wave plate is composed of a fine periodic structure having a period of 1/2 or less of the wavelength.
[0026]
In this case, the fine periodic structure having a period of 1/2 or less of the wavelength is, for example, a groove formed in the substrate with a period of 1/2 or less of the wavelength.
[0027]
For example, when the fine periodic structure having a period of 1/2 or less of the wavelength is a groove formed on the substrate with a period of 1/2 or less of the wavelength, the groove formed on the substrate with a period of 1/2 or less of the wavelength Are of the same depth or of the same depth and width in two or more wave plates formed on the same substrate.
[0028]
In addition, the groove formed on the substrate with a period of 1/2 or less of the wavelength can be a groove whose width increases toward the surface at the upper part of the groove. In this case, as described later, , Light reflection can be prevented.
[0029]
Further, in the above-described wave plate unit of the present invention, a groove having a sawtooth cross-section is formed with a period of 1/2 or less of the wavelength on the surface opposite to the surface on which the wave plate of the substrate is formed, Alternatively, a conical or polygonal pyramid structure may be formed with a period of ½ or less of the wavelength, and in this case, reflection of light can be prevented as described later.
[0030]
In the above-described wave plate unit of the present invention, two or more wave plates corresponding to different wavelengths formed on the same substrate function as quarter wave plates for the corresponding wavelengths. In this case, for example, conversion from linearly polarized light to circularly polarized light, or conversion from circularly polarized light to linearly polarized light can be performed by one optical element, and the optical system can be simplified. .
[0031]
As described above, according to the present invention, it is possible to easily form a plurality of wave plates corresponding to different wavelengths on the same substrate, and to provide an optical pickup module and an optical disk device that can handle multiple wavelengths and have a simple structure. It can be easily realized.
[0032]
FIG. 1 is a diagram (top view) showing a configuration example of a wave plate unit according to the present invention. In the wave plate unit of the example of FIG. 1, three wave plates corresponding to different wavelengths are formed on the same quartz glass substrate to constitute first, second, and third regions. 2A, 2B, and 2C show cross-sectional views of the first, second, and third regions, respectively. Referring to FIGS. 2A, 2B, and 2C, a fine periodic structure in which grooves are periodically arranged is formed on the substrate. Here, FIGS. 2A, 2B, and 2C are cross-sectional views in the direction perpendicular to the grooves. The fine periodic structure formed on the substrate has a different shape depending on each region (for each of the first, second, and third regions).
[0033]
It is known that a fine periodic structure (see FIG. 3) in which flat plates with different refractive indexes that do not originally have birefringence characteristics are arranged with a period sufficiently smaller than the wavelength of light (<λ / 2) (see FIG. 3) generates birefringence characteristics. (For example, “Principal of Optics, Max Born and Emi Wolf, PERGAMON PRESS LTD.”).
[0034]
Polarization direction and the refractive index n _v of the refractive index n _p perpendicular light parallel to the grooves light, respectively, the following equation.
[0035]
[Expression 1]
n _p = {tn ₁ ² + (1−t) n ₂ ² } ^1/2
n _v = 1 / {t / n ₁ ² + (1−t) / n ₂ ² } ^1/2
[0036]
In Equation 1, n ₁ and n ₂ are the refractive index of the substance in which the fine periodic structure is formed and the refractive index of the substance filling the groove, respectively, and t is the duty ratio of the fine periodic structure, and the duty ratio t is given by:
[0037]
[Expression 2]
t = w ₁ / (w ₁ + w ₂ )
[0038]
In this way, the birefringence characteristics of quartz and calcite are inherent to the substance and can hardly be changed, whereas structural birefringence changes the birefringence characteristics by changing the material and shape. It can be easily controlled.
[0039]
The phase difference (delay amount) Re between the light whose polarization direction is parallel to the groove and the light perpendicular to the groove is represented by the following equation, where d is the height of the structural birefringence (depth of the groove).
[0040]
[Equation 3]
Re = (n _p −n _v ) d
[0041]
From these equations (Equation 1, Equation 2, Equation 3), it is understood that the phase difference (delay amount) can be changed by making the duty ratio of structural birefringence and the height of structural birefringence variable.
[0042]
FIG. 4 is a diagram showing the duty ratio and the delay amount when the phase difference is ¼ of the wavelength at each wavelength. Here, FIG. 4 shows the case where the material with the fine periodic structure formed is quartz glass, the material filling the groove is air, and the height of the structural birefringence (groove depth) is 2.5 μm. It has become.
[0043]
In the wave plate unit of the present invention, the duty ratios are different in the three regions, and the wave plates correspond to different wavelengths. In the first region, the duty ratio is set to 0.15, and a quarter wavelength plate is obtained for light having a wavelength of 405 nm. In the second region, the duty ratio is 0.30, and the wavelength is ¼ wavelength plate for light having a wavelength of 660 nm. Further, in the third region, the duty ratio is 0.42, and a quarter wavelength plate is obtained for light having a wavelength of 780 nm.
[0044]
In FIG. 4, the duty ratio is 0.5 or less and the phase difference is 1/4 wavelength. However, as shown in FIG. 5, the phase difference is 1/4 wavelength even if the duty ratio is 0.5 or more. be able to.
[0045]
The wave plate unit of the present invention described above has an etching mask forming step, a dry etching step, and an etching mask removing step, and simultaneously produces two or more wave plates formed on the same substrate in a single step. can do.
[0046]
6 and 7 are diagrams for explaining an example of the manufacturing process of the wave plate unit of the present invention. FIGS. 6 and 7 show a process for forming a fine periodic structure on a quartz glass substrate. 6 and 7, first, an EB resist is applied on a quartz glass substrate (FIG. 6A). Thereafter, a pattern is drawn by an EB drawing apparatus and developed (FIG. 6B). Next, a metal film is formed by vacuum deposition (FIG. 6C), and a metal film pattern is formed by a lift-off method using a resist stripping solution (FIG. 7D). Next, the quartz glass on which the metal film pattern is formed is dry-etched using a fluorocarbon gas such as CF ₄ , C ₄ F ₈ , or CHF ₃ to form a fine periodic structure (FIG. 7E), and the metal film Is removed (FIG. 7F). Thereby, the wave plate unit of the present invention is manufactured.
[0047]
As described above, the phase difference (delay amount) can be controlled not only by the duty ratio of the structural birefringence but also by the depth of the groove (height of the structural birefringence). May be. However, since the depth of the groove is controlled by the etching amount, it is necessary to perform etching separately. On the other hand, in the present example, the depth of the groove is kept constant at 2.5 μm in each region and is controlled only by the duty ratio, so that it can be formed by a single etching process and the manufacturing process is simplified. Can reduce costs.
[0048]
If the duty ratio is determined, the groove width and the structure period can be arbitrarily set. However, since the etching amount varies slightly depending on the groove width, the groove width is made the same in each region, and the period is set. By changing, it can be manufactured with high accuracy. In the present example, the groove width is 170 nm, and the period of the structure is 200 nm in the first region (duty ratio 0.15), 244 nm in the second region (duty ratio 0.30), and in the third region It is 292 nm (duty ratio 0.42). However, the structural period should not exceed half the length of the corresponding wavelength.
[0049]
As shown in FIG. 8, if the groove width is gradually increased near the surface of the substrate, the refractive index can be gradually changed from the air refractive index of 1.0, so that the light reflection preventing function is achieved. Can also be given. Further, when a groove having a sawtooth cross section as shown in FIG. 9 is formed on the back surface of the quartz glass substrate, reflection of light can be prevented. Further, on the back surface side of the substrate, not only the groove shape but also a conical or polygonal pyramid structure may be arranged. Such an antireflection function is very less wavelength-dependent than an antireflection film made of a dielectric multilayer film, and can prevent reflection of light having a wide range of wavelengths.
[0050]
In the above example, the ECR etching apparatus is used as the dry etching apparatus, but other etching apparatuses such as an ICP etching apparatus may be used.
[0051]
In the above example, quartz glass is used as a material for forming the fine periodic structure, but other materials may be used as long as they are transparent at the wavelength of the light source used. Of course, it is necessary to design the shape and the like with the refractive index of the material used.
[0052]
In the above example, EB drawing is used for patterning, but an exposure apparatus using extreme ultraviolet light, vacuum ultraviolet light, or X-rays may be used in order to improve mass productivity.
[0053]
In addition, an optical pickup module for recording / reproducing information on / from an optical recording medium can be configured using the above-described wave plate unit of the present invention. That is, as an optical pickup module, the above-described wave plate unit of the present invention, an actuator that moves the wave plate unit, two or more light sources having different wavelengths, an objective lens, an actuator that moves the objective lens, and a light source An optical pickup module having an illumination optical system that guides the light to the objective lens, a detector that detects the signal, and a detection optical system that guides the light to the detector can be configured.
[0054]
FIG. 10 is a diagram showing a configuration example of the optical pickup module of the present invention. In the example of FIG. 10, the optical pickup module includes a first light source unit using an AlGaAs laser as a light source, a second light source unit using an AlGaInP laser as a light source, a third light source unit using a GaN laser as a light source, The first dielectric multilayer mirror, the second dielectric multilayer mirror, the wave plate unit (quarter wave plate of the present invention) shown in FIG. 1, the rising mirror, the objective lens, the objective And an actuator for moving the lens.
[0055]
Here, as shown in FIG. 11, for example, the light source unit includes a semiconductor laser, a split photodiode, and a polarization hologram.
[0056]
The first dielectric multilayer mirror is designed to transmit light having wavelengths of 405 nm and 660 nm and reflect light having a wavelength of 780 nm, and the second dielectric multilayer film mirror has a wavelength of 405 nm. It is designed to transmit and reflect 660 nm light.
[0057]
In the optical pickup module having the configuration shown in FIGS. 10 and 11, the laser light emitted from the semiconductor laser is arranged such that the optical axis is 45 ° with respect to the plane of polarization. Plate) is converted from linearly polarized light to circularly polarized light, and condensed on the recording surface of the optical disk by the objective lens. The condensed laser light is reflected by the recording surface of the optical disk, passes through the objective lens again, is converted from circularly polarized light to linearly polarized light by the wave plate unit of the present invention, and returns to the light source unit. Since the rotation direction of the circularly polarized light is reversed when the laser light is reflected by the recording surface of the optical disk, the laser light that has returned to the light source unit has a polarization plane that is 90 ° different from the emitted light. A diffraction pattern is formed on the split photodiode by the diffraction grating formed on the polarization hologram, and thereby, a signal recorded on the recording surface of the optical disk can be detected.
[0058]
As described above, in the optical pickup module of FIG. 10, a wave plate in which a plurality of quarter wave plates corresponding to light having different wavelengths are formed, a wave plate actuator that moves the wave plate, and a plurality of light source units having different wavelengths. And an objective lens, an actuator that moves the objective lens, and a multilayer dielectric mirror, it is possible to realize a multi-wavelength optical pickup module with a simple configuration and at low cost.
[0059]
In the optical pickup module of FIG. 10, it is difficult to design the objective lens corresponding to two different wavelengths with a single lens because the refractive index of the lens material changes to the wavelength, and a plurality of objective lenses are provided for each wavelength. Alternatively, it may be configured to be mechanically changed depending on the type of the disk. However, the configuration with a plurality of objective lenses results in a large optical pickup module, so the achromatic lens configuration in which two lenses with different focal lengths and different negative materials (different Abbe numbers) are bonded together It is desirable to design so that aberration does not occur at two wavelengths, and to have a configuration corresponding to two wavelengths with one objective lens.
[0060]
In addition, when the numerical aperture (NA) of the objective lens differs depending on the type of the disc (depending on the light source wavelength), an aperture that can change the aperture diameter (for example, a mechanically changed one or a one that is changed using a liquid crystal) Etc.) to form an optical pickup module.
[0061]
In addition, an optical disk device can be configured using the above-described optical pickup module of the present invention. That is, the optical pickup module of the present invention described above, a drive unit that drives an LD, a rotation mechanism that rotates an optical recording medium, a focus control unit that drives a focus actuator based on a focus signal detected by a detection system, A track control unit that drives the track actuator based on the track signal detected by the detection system, a signal reproduction unit that reproduces data recorded on the optical recording medium, and a disc identification unit that identifies the type of the optical disc. The optical disc apparatus can be configured.
[0062]
FIG. 12 is a diagram showing a configuration example of the optical disc apparatus of the present invention. The optical disk apparatus of FIG. 12 has a function of determining the type of the optical disk, and can determine the type of the loaded optical disk. Specifically, after the optical disk is mounted, first, the semiconductor laser of the first light source unit is turned on, and the objective lens is moved in the focus direction while detecting the focus signal to focus on the recording surface of the optical disk. After focusing, the objective lens is moved in the track direction and the track signal is detected. If a track signal is detected at this time, the reproduction operation is performed as it is. If the track signal is not detected, the semiconductor laser of the first light source unit is turned off, the semiconductor laser of the second light source unit is turned on, and the objective lens is moved in the focus direction while detecting the focus signal. It is moved to focus on the recording surface of the optical disc, the objective lens is moved in the track direction, the track signal is detected, and the reproduction operation is performed.
[0063]
As described above, in the optical disc device of the present invention, the wave plate unit in which a plurality of quarter wave plates corresponding to light having different wavelengths are formed, the wave plate actuator that moves the wave plate unit, and the light sources having different wavelengths. Since a write-once or rewritable optical disk device is configured using an optical pickup module composed of an objective lens, an actuator that moves the objective lens, and a multilayer dielectric mirror, the structure is simple and compatible. In addition, an inexpensive write-once or rewritable optical disk device can be provided.
[0064]
【The invention's effect】
As described above, according to the first to fourth aspects of the invention, in the wave plate unit having the function of changing the polarization state of light, at least two corresponding to different wavelengths on the same substrate. Two or more wave plates are formed , and each wave plate is composed of grooves formed with a period corresponding to each wavelength that is equal to or less than ½ of the wavelength, and the grooves in each wave plate have the same depth. Because it is of the same width, reduction of transmittance and light utilization efficiency can be suppressed without using expensive quartz wave plates, and multiple wave plates can be easily formed on the same substrate. In addition, since the depth and width of the grooves in each wave plate are the same, a plurality of wave plates can be simultaneously formed with high accuracy in one step .
[0069]
In the second aspect of the present invention, since the width of the groove is gradually increased toward the surface at the upper part of the groove, the refractive index is gradually changed, and can function as antireflection of light.
[0070]
In the invention described in claim 3 , since a sawtooth-shaped groove or a conical or polygonal pyramid-shaped structure is formed on the back surface of the substrate with a period of 1/2 or less of the wavelength, a wide range of wavelengths can be obtained. On the other hand, it can function as antireflection.
[0071]
In the invention according to claim 4 , in the wave plate according to any one of claims 1 to 3 , two or more wave plates corresponding to different wavelengths formed on the same substrate correspond to each other. For example, conversion from linearly polarized light to circularly polarized light or conversion from circularly polarized light to linearly polarized light can be performed with one optical element. And the optical system can be simplified.
[0073]
According to the invention described in claim 5, the wave plate unit according to claim 4 , an actuator that moves the wave plate unit, two or more light sources having different wavelengths, an objective lens, and the objective lens are moved. It has an actuator, an illumination optical system that guides light from the light source to the objective lens, a detector that detects the signal, and a detection optical system that guides the light to the detector. It can be realized at a low cost with a simple configuration.
[0074]
According to the invention described in claim 6 , in the optical pickup module described in claim 5 , since the objective lens is an achromatic lens, it is possible to design an objective lens having a small aberration with respect to a plurality of wavelengths. Thus, a highly reliable multi-wavelength optical pickup module can be easily realized.
[0075]
According to a seventh aspect of the present invention, the optical pickup module according to the fifth or sixth aspect , a drive unit for driving the LD, a rotating mechanism for rotating the optical recording medium, and the focus detected by the detection system. A focus control unit that drives the focus actuator based on the signal, a track control unit that drives the track actuator based on the track signal detected by the detection system, and a signal reproduction unit that reproduces data recorded on the optical recording medium And a disc identification unit for discriminating the type of the optical disc, it is possible to provide an inexpensive write-once or rewritable optical disc apparatus having a simple structure and compatibility. That is, a wave plate unit in which a plurality of quarter wave plates corresponding to light having different wavelengths are formed, a wave plate actuator that moves the wave plate unit, a plurality of light sources and objective lenses that have different wavelengths, and the objective lens is moved. A write-once or rewritable optical disk device is constructed using an optical pickup module composed of an actuator to be operated and a multilayer dielectric mirror, so that the structure is simple and compatible, and the write-once or rewritable type is inexpensive. An optical disk device can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of a wave plate unit according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an example of a plurality of regions formed in the wave plate unit of the present invention.
FIG. 3 is a view showing a fine periodic structure in which flat plates having originally different birefringence and different refractive indexes are arranged with a period sufficiently smaller than the wavelength of light (<λ / 2).
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of a duty ratio and a delay amount when the phase difference is ¼ of the wavelength at each wavelength.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a duty ratio and a delay amount when the phase difference is ¼ of the wavelength at each wavelength.
FIG. 6 is a diagram for explaining an example of the manufacturing process of the wave plate unit of the present invention.
FIG. 7 is a diagram for explaining an example of a manufacturing process of the wave plate unit of the present invention.
FIG. 8 is a diagram illustrating an example of providing a light reflection preventing function.
FIG. 9 is a diagram illustrating an example of providing a light reflection preventing function.
FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration example of an optical pickup module of the present invention.
FIG. 11 is a diagram illustrating an example of the light source unit of FIG.
FIG. 12 is a diagram showing a configuration example of an optical disc apparatus according to the present invention.
FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration example of a conventional optical disc apparatus.
FIG. 14 is a diagram illustrating a configuration example of a conventional optical disc apparatus.
FIG. 15 is a diagram illustrating a configuration example of a conventional optical disc apparatus.

Claims

光の偏光状態を変化させる機能を有している波長板ユニットにおいて、同一基板上に異なる波長に対応した少なくとも２つ以上の波長板が形成されており、各波長板は、波長の１／２以下であって各波長に対応した周期で形成された溝から構成され、各波長板における溝は、同じ深さおよび同じ幅のものとなっていることを特徴とする波長板ユニット。In the wave plate unit having a function of changing the polarization state of light, at least two wave plates corresponding to different wavelengths are formed on the same substrate, and each wave plate is ½ of the wavelength. A wave plate unit comprising: a groove formed at a period corresponding to each wavelength, wherein the grooves in each wave plate have the same depth and the same width .

請求項１記載の波長板ユニットにおいて、前記各波長板における溝は、溝の上部で表面方向に向かって溝の幅が広がっていることを特徴とする波長板ユニット。 2. The wave plate unit according to claim 1 , wherein the groove of each wave plate has a groove width expanding toward a surface direction at an upper portion of the groove. 3.

請求項１または請求項２に記載の波長板ユニットにおいて、基板の波長板が形成されている面とは反対の面に、断面が鋸歯状の溝が波長の１／２以下の周期で形成されているか、または、円錐状あるいは多角錘状の構造物が波長の１／２以下の周期で形成されていることを特徴とする波長板ユニット。 3. The wave plate unit according to claim 1 , wherein a groove having a sawtooth cross section is formed on a surface of the substrate opposite to the surface on which the wave plate is formed with a period of ½ or less of the wavelength. Or a wave plate unit characterized in that a conical or polygonal pyramid structure is formed with a period of 1/2 or less of the wavelength.

請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の波長板ユニットにおいて、同一基板に形成された異なる波長に対応した２つ以上の波長板は、それぞれ対応した波長に対して１／４波長板として機能するようになっていることを特徴とする波長板ユニット。4. The wave plate unit according to claim 1 , wherein two or more wave plates corresponding to different wavelengths formed on the same substrate are each ¼ wavelength with respect to the corresponding wavelengths. A wave plate unit characterized by functioning as a plate.

請求項４記載の波長板ユニットと、波長板ユニットを移動するアクチュエータと、波長の異なる２つ以上の光源と、対物レンズと、対物レンズを移動するアクチュエータと、光源からの光を対物レンズに導く照明光学系と、信号を検出する検出器と、検出器へ光を導く検出光学系とを有していることを特徴とする光ピックアップモジュール。 5. The wave plate unit according to claim 4 , an actuator that moves the wave plate unit, two or more light sources having different wavelengths, an objective lens, an actuator that moves the objective lens, and light from the light source is guided to the objective lens. An optical pickup module comprising: an illumination optical system; a detector that detects a signal; and a detection optical system that guides light to the detector.

請求項５記載の光ピックアップモジュールにおいて、対物レンズは、色消しレンズであることを特徴とする光ピックアップモジュール。6. The optical pickup module according to claim 5, wherein the objective lens is an achromatic lens.

請求項５または請求項６記載の光ピックアップモジュールと、ＬＤを駆動する駆動部と、光記録媒体を回転させる回転機構と、検出系で検出したフォーカス信号をもとにフォーカスアクチュエータを駆動するフォーカス制御部と、検出系で検出したトラック信号をもとにトラックアクチュエータを駆動するトラック制御部と、光記録媒体に記録されたデータを再生する信号再生部と、光ディスクの種類を識別するディスク識別部とを有していることを特徴とする光ディスク装置。7. An optical pickup module according to claim 5 or 6 , a drive unit for driving an LD, a rotation mechanism for rotating an optical recording medium, and focus control for driving a focus actuator based on a focus signal detected by a detection system. A track control unit that drives the track actuator based on the track signal detected by the detection system, a signal reproduction unit that reproduces data recorded on the optical recording medium, and a disc identification unit that identifies the type of the optical disc An optical disc apparatus characterized by comprising: