JP4173979B2 - 容器開閉装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願の発明は、半導体ウエハ等の薄板状のワークを所定の間隔で、多段に、複数枚収容して搬送する密閉可能な容器を開閉するための容器開閉装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ等の薄板状のワークを棚状のカセットに複数枚収容する容器に底面が開口となるSMIFポッドがある。このポッドの開閉を行なう装置として、本出願人による意匠登録1136410号やDE4332657AI、US6135698等の装置が既に公知となっている。
【0003】
これらの容器開閉装置は容器の底蓋とカセットを包囲するボックスを分離させることを目的としている。これらの装置の具体的構造としては図7に示すようにポッドを水平状態で載置するステージ、前記ステージを支持する基台、容器のボックスを保持した状態で上下に昇降する保持体、及び前記保持体を上下に駆動するための案内部及び駆動部を有するバックプレートから成る。
【0004】
前記案内部、駆動部の詳細構造はステージ脇から前記保持体の幅と同幅の板が上方に立設され、該板の両端に保持体を案内する溝が設けられており、保持体に連結されたスライダーが該溝内を上下に移動することで保持体を昇降させている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
これらの容器開閉装置はボックスの保持体を上下に案内駆動する案内部及び駆動部がポッド内に収容されたカセットに隣接した位置に設けられているため、保持体の上下駆動を行なう際に発生する塵がウエハに付着する虞があった。また、ボックスと保持体を定着させるために保持体にラッチ機構を設けた場合、ラッチ動作による塵の発生も考えられる。
【0006】
また、底蓋に対しボックスを上下させる動作があるため、カセットからウエハが飛出した状態でボックスを降ろした場合にウエハにボックスが衝突する虞や、作業者が誤って手を挟んでしまう危険性も想定できる。
【0007】
本願の発明は、上記従来の問題点に鑑み、容器の開閉動作による塵の発生を防止し、開閉動作に伴う危険性、保持体が上昇した状態で容器の開閉を行なうような誤作動を回避した容器開閉装置を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
そこで、本願の発明は、請求項1に記載のように、薄板状のワークを複数枚収容するカセットを包囲するボックスと該ボックスの底部に設けられた蓋とから成る容器を開閉する容器開閉装置であって、前記蓋を水平に固定させる固定ステージと、前記固定ステージを支持する基台と、前記ボックスを保持する中空の保持体と、前記保持体に設けられ、前記ボックスを前記保持体に固定するためのラッチ機構と、前記保持体を下方から支持し、前記保持体と連通される中空の支柱と、前記支柱を保持し、前記支柱を上下に摺動させる案内部と、前記案内部に固定され、前記固定ステージに対し前記支柱を上下に相対移動させる駆動部とで構成され、前記案内部と前記駆動部とを前記基台の内部に収容して、かつ、前記支柱の下部を前記基台の内部に通じて設け、前記基台に、前記基台内部を吸引する吸引手段を設けたことを特徴とする容器開閉装置としている。
【0009】
したがって、塵の発生原因となる案内部及び駆動部がカセットから隔離された基台内部に収容されることにより、ウエハに対し塵の付着が回避できる。
さらに、中空の保持体と中空の支柱とが連通され、基台内部を吸引する吸引手段が設けられ、容器開閉時においてはこれらの中空内部を吸引するようにしているため、ボックスと保持体を定着するために保持体にラッチ機構が設けられていた場合、ラッチ動作による塵が発生したとしても、塵を外部に出すこと無く、ウエハに付着する虞がない。
【0010】
また、請求項2に記載の発明の容器開閉装置は、その固定ステージに、容器が載置されたか否かを検出する在席検出手段を設けたことを特徴としている。
【0011】
容器が固定ステージに載置されているかどうかを検出することで、本容器開閉装置は、容器を載置しない状態での空動作を行なわないように制御することが可能となる。そのため、次の容器の開動作を始める場合、常に開始準備が整った状態で待機させることができる。
【0012】
また、請求項3に記載の発明の容器開閉装置は、その保持体が、平面視正方形の枠体で構成され、前記枠体に、前記ボックスと前記ワークとが接触する位置に光軸が走るよう、透過型センサであるワーク検出手段を設けたことを特徴としている。
【0013】
もし、カセットに収容されたワークに飛出したままの状態でボックスが蓋に接近し飛出したワークが衝突する虞がある場合でも、本発明の容器開閉装置は、容器の閉作動に先立ち、ワークとボックスの接近を事前に検出出来るため、ボックスと飛出したワークの衝突の虞は無くなる。
【0014】
また、請求項4に記載の発明の容器開閉装置は、その駆動部が、垂直に設けられるボールねじと、前記ボールねじに螺合され、前記ボールねじに沿って昇降する移動体と、前記案内部に固定され、前記移動体よりも上方に配置される移動板とを備え、前記移動板の下面に固定して、前記移動板からの前記移動体の離間を検出する障害物検出機構を設けたことを特徴としている。
【0015】
そのため、容器開閉装置の周囲で作業する作業者の手などが誤って前記保持体と前記固定ステージの間に挟まれてしまった場合、直ちにその事態を認識できるようになっている。
【0016】
さらに、請求項5に記載の発明の容器開閉装置は、そのボックスを前記蓋に接近させる方向に前記保持体を下降移動させる閉動作の際、前記ボックスと前記蓋との間に接近を妨げる障害物があり、前記保持体の下降移動が停止し、前記移動板から前記移動体が離れるのを前記障害物検出機構が検出したとき、直ちに前記保持体を閉動作とは逆方向へ後戻りさせるべく、さらにバック制御機構を含むことを特徴としている。
【0017】
従って、作業者の手などが誤って挟まれてしまった場合には、前記保持体は即座に閉動作を停止した上、閉動作とは逆方向へ後戻りするように制御されているため、作業者への安全が考慮された仕様となっている。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に、本願の発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0019】
図1は、本願の発明の容器開閉装置1の正面図、図2は、容器Pを載置した状態の平面図、図3は、容器開閉装置1が容器Pを開いた状態における図1のX−X’断面矢視図、図4は、図3と同様の状態で図2のY−Y’断面矢視図である。
【0020】
容器開閉装置1は、薄板状のワークWを収容する容器Pを載置する固定ステージ2、前記固定ステージ2を支持する基台3と、容器PのボックスP1を保持する保持体4と、前記保持体4を下方から支持する支柱5と、前記固定ステージ2に対し前記保持体4を上下に相対移動させる案内部6A、駆動部6Bとから成り、前記案内部6A、駆動部6Bは、基台3の内部に収容されている。
【0021】
基台3の正面上部には、容器の開閉動作を行なうための操作スイッチ10が設けられている。固定ステージ2の後方には、基台3から保持体4を支持する中空の支柱5が摺接しない程度に出没出来る開口11が設けられている。
【0022】
保持体4は、取り扱う容器Pと同様、平面視正方形の枠体を成しているが、該枠体上方はボックスP1の外周より大きく、下方はボックスP1の外周より小さく且つ蓋P2より大きく設計されている。そのため、保持体4の枠に容器Pをはめ込むと、容器PのボックスP1のみを下面から保持することが可能となる。また、保持体4の内部は中空となっていて、保持体4を支持している支柱5の中空と連通されている。
【0023】
固定ステージ2上には、容器PのボックスP1と蓋P2の密閉を解除する施錠機構26と、容器Pの載置有無を検出する在席検出手段であるピン7とが設けられている。
【0024】
前記在席検出手段の構造を、図5を参照して詳細に説明する。ピン7は、固定ステージ2の裏面に取り付けられた板ばね28による下方からの付勢により、固定ステージ2の表面から出没可能に設けられており、容器Pが固定ステージ2上に載っていない時は飛出した状態を維持している。
【0025】
板ばね28は、その上端が固定ステージ2の裏面に取り付けられ、その下端は下方に向いた直線状部分を有する。板ばね28の下方には、上方が開放したスリットを有する凹型のフォトセンサ30が設けてあり、スリットに物体が存在するか否かでフォトセンサ30はON/OFF状態となる。
【0026】
固定ステージ2上に容器Pが載せられると、前記ピン7は容器Pに押されて固定ステージ2下へ押し込まれ、その動作に従ってピン7の下に設けられた板ばね28の下端部がフォトセンサ30のスリット内に侵入する。
【0027】
前記フォトセンサ30が板ばね28の下端部を検出したことを示す検出情報は、図示しないコンピユータへ送られ、ONの場合は容器開閉装置1の開閉動作を許容し、OFFの場合は開閉動作を行なわないようにコンピュータによって制御され、容器を未載置のまま空動作を行なわないようになっている。
【0028】
次に、ワーク検出手段8について、図2、図3を参照して説明する。
【0029】
カセットからワークWが飛出したままの状態でボックスP1と蓋P2が接近させられると、ボックスP1とワークWが接触する虞がある。そこで、保持体4には、容器開閉装置1の閉動作に先立って、容器P内に収容されるカセットCからワークWが飛出していないかどうかを検出するワーク検出手段8が設けられている。
【0030】
本願の発明の容器開閉装置1に容器Pを載置する場合、容器開閉装置1の正面に容器P内のワーク取出し口と正反対となる裏面を向けてセットするようになっている。従って、ボックスP1とワークWが接触する位置(図2に示す破線α)に光軸が走るように透過型センサのワーク検出手段8を設け、保持体4の移動に伴いワークWの飛出し有無の検出を行なう。
【0031】
また、容器開閉装置1の閉動作によって作業者が誤って手などを挟んでしまった場合等のような前記保持体4と前記固定ステージ2の接近を妨げる障害物を検出する障害物検出機構9が基台3内に収容されている。
【0032】
基台3内に収容されている案内駆動部6及び障害物検出機構9の詳細を図4、図6を参照して以下に説明する。
【0033】
案内駆動部6は、支柱5を保持するホルダー17、リニアスライダー12、リニアガイド13、ボールねじ14、移動体15、前記リニアスライダー12に架設される移動板16、前記ボールねじ14を回転させる駆動モーターMから成る。
【0034】
二列のリニアガイド13は、図4に示すように、基台3内において平行状態を保ちつつ基台3内の内壁に沿って垂直に敷設されている。リニアスライダー12は、各リニアガイド13上を摺動可能に取り付けられている。
【0035】
リニアスライダー12にはホルダー17が固着されており、前記ホルダー17には中空の支柱5を挿入する挿入穴が設けられている。ホルダー17は、図示のように、その挿入穴に支柱5が貫通されていて、支柱5の下部外周を掴むように保持している。そのため、支柱5の下面は、基台3の内部に通じている。
【0036】
また、図3に示すように、基台3の下方にはファン25が設けてあるため、前記保持体4と支柱5の中空部、及び基台3の内部は底部から吸引され、負圧状態となっている。基台3に設けられた開口11と支柱5との間には、ボックスの開閉動作に伴い塵を発生しないように僅かな隙間が設けられており、開口11の周囲部の雰囲気は、その隙間を通じて基台3内へ吸引されている。従って、基台内部の塵が前記隙間より外側へ放出されることもない。
【0037】
さらに、保持体4にボックスP1と保持体4を固定するためのラッチ機構が設けられた場合も、そこで発生した塵は、保持体4の中空部から支柱5の中空部を通じ基台3の下方から外部に放出されるため、容器周辺のクリーン度が維持できる。
【0038】
2つのホルダー17の上面には、移動板16が架け渡すように固定されている。移動板16の中央には、ボールねじ14が非接触状態で貫通する孔18が設けられており、該孔18の下には、移動体15が設けられている。
【0039】
移動体15の構造を詳細に示すと、移動体15は、ボールねじ14に螺合されたボールねじナット19、前記ボールねじナット19の上端を包囲するフランジ20、前記ボールねじナット19の移動を妨げないように内側をくりぬかれたボルト取付け片21、前記移動板16の下面から前記ボールねじナット19の周囲の四隅に垂設されたシャフト27を備えている。シャフト27は、フランジ20、ボルト取付け片21を貫通し、前記ボルト取付け片21の下面でボルト22により固着されている。フランジ20は、シャフト27に対し摺動可能となっている。
【0040】
ボールねじ14の下端は、モーターMの出力軸に取り付けられており、モーターMの駆動でボールねじ14が回転する。ボールねじ14が回転すると、ボールねじナット19がボールねじ14上を上下に移動する。
【0041】
ボールねじナット19が上昇すると、図6(a)に示すように、ボールねじナット19を包囲するフランジ20が移動板16に接近し、遂には下方から押し上げる。移動板16が押し上げられることによって、支柱5は、上昇動作を行なうことになる。
【0042】
次に、障害物検出機構9について詳細に説明する。
【0043】
前記移動体15の側方には、障害物検出機構9が設けられているが、その構造は、前記移動板16の下面に取り付けられた逆U字型のブラケット23に近接センサ24が移動体15の方を向くように固着されている。近接センサ24は、移動体15のフランジ20が接近すると反応する仕組みとなっている。
【0044】
フランジ20と移動板16とが接触している状態においては、近接センサ24は反応しないが、フランジ20が移動板16から離れ、下降した場合には、反応することになる。
【0045】
もし、作業者が誤って手などを挟んでしまった場合、図6(b)に示すように、ホルダー17、移動板16の下降動作は停止するが、ボールねじナット19、フランジ20は移動板16から離れ、下降動作が継続される。ボールねじナット19、フランジ20が下降し、前記接近センサ24がフランジ20を検出すると、その検出情報が図示しない容器開閉装置1のコンピュータに送られ、モーターMの駆動を即座に停止させ、先程とは逆方向へ任意の時間、逆回転させるように制御されている。
【0046】
従って、前記障害物検出機構9により何かが挟まったことが検出されると、即座に保持体4の閉動作が停止した上、所定距離逆戻りをさせるバック制御を行なうことが可能となる。
【0047】
次に、本願の発明の容器開閉装置1を用いて容器Pの開閉を行なう動作について説明する。
【0048】
容器開閉装置1の保持体4の枠に、作業者が、容器Pをはめ込むように載置する。容器開閉装置1の在席検出手段が容器Pを確認すると、作動開始が可能となる。続いて、作業者が開動作を行なわせるための操作スイッチ10を押すと、固定ステージ上のロック開閉機構26が容器Pの施錠を解除し、保持体4がボックスP1を保持した状態で上昇し始める。
【0049】
保持体4が上昇し、ボックスP1が蓋P2と切り離されると、作業者は、ワークの処理を行なうため、カセットCを取り出す。処理が終わると、再び、作業者は、カセットCを開放された蓋P2上に戻し、閉動作開始を行なうため、操作スイッチ10を押す。
【0050】
保持体4は下降を開始するが、この時、もし、カセットCからワークWが飛出していた場合、ワーク検出手段8がワークWを検出し、保持体4の下降動作が自動的に停止する。
【0051】
ワークWの飛出しも無く、何らかの障害物が保持体4の下降を妨げることが無ければ、ボックスP1は蓋P2に密着し、ロック開閉機構26が容器Pを密閉させるため施錠を行い、閉動作は終了する。
【0052】
なお、本実施例では、ボックスP1が持ち上げられる形態で説明したが、ボックスP1は上下せず、つまり、固定ステージ2及び基台3が下降するように構成することも可能である。
【0053】
【発明の効果】
本願の発明の容器開閉装置により、容器の開閉動作による塵の発生を避け、収容されたワークへの塵の付着を防止できるとともに、開閉動作に伴う危険性、誤作動が回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 容器Pを開いた状態における容器開閉装置1の正面図である。
【図2】 容器Pを載置した状態における容器開閉装置1の正面図である。
【図3】 容器Pを開いた状態における図2のX−X’断面矢視図である。
【図4】 容器Pを開いた状態における図2のY−Y'断面矢視図である。
【図5】 在席検出手段の詳細を示す断面図である。
【図6】 案内部6A及び駆動部6B、障害物検出機構9の詳細を示す斜視図である。
【図7】 従来の容器開閉装置の正面図である。
【符号の説明】
1…容器開閉装置、2…固定ステージ、3…基台、4…保持体、5…支柱、6A…案内部、6B…駆動部、8…ワーク検出手段、9…障害物検出機構、15…移動体、M…モーター、P…容器、P1…ボックス、P2…蓋、C…カセット、W…ワーク。
Claims (5)
- 薄板状のワークを複数枚収容するカセットを包囲するボックスと該ボックスの底部に設けられた蓋とから成る容器を開閉する容器開閉装置であって、
前記蓋を水平に固定させる固定ステージと、
前記固定ステージを支持する基台と、
前記ボックスを保持する中空の保持体と、
前記保持体に設けられ、前記ボックスを前記保持体に固定するためのラッチ機構と、
前記保持体を下方から支持し、前記保持体と連通される中空の支柱と、
前記支柱を保持し、前記支柱を上下に摺動させる案内部と、
前記案内部に固定され、前記固定ステージに対し前記支柱を上下に相対移動させる駆動部とで構成され、
前記案内部と前記駆動部とを前記基台の内部に収容して、かつ、前記支柱の下部を前記基台の内部に通じて設け、
前記基台に、前記基台内部を吸引する吸引手段を設けた
ことを特徴とする容器開閉装置。 - 前記固定ステージに、容器が載置されたか否かを検出する在席検出手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の容器開閉装置。
- 前記保持体は、平面視正方形の枠体で構成され、前記枠体に、前記ボックスと前記ワークとが接触する位置に光軸が走るよう、透過型センサであるワーク検出手段を設けたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の容器開閉装置。
- 前記駆動部は、垂直に設けられるボールねじと、前記ボールねじに螺合され、前記ボールねじに沿って昇降する移動体と、前記案内部に固定され、前記移動体よりも上方に配置される移動板とを備え、
前記移動板の下面に固定して、前記移動板からの前記移動体の離間を検出する障害物検出機構を設けた
ことを特徴とする請求項1ないし請求項3いずれかに記載の容器開閉装置。 - 前記ボックスを前記蓋に接近させる方向に前記保持体を下降移動させる閉動作の際、前記ボックスと前記蓋との間に接近を妨げる障害物があり、前記保持体の下降移動が停止し、前記移動板から前記移動体が離れるのを前記障害物検出機構が検出したとき、直ちに前記保持体を閉動作とは逆方向へ後戻りさせるべく、さらにバック制御機構を含む
ことを特徴とする請求項4に記載の容器開閉装置。
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