JP4171937B2 - 測定検査用顕微鏡 - Google Patents
測定検査用顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4171937B2 JP4171937B2 JP15875798A JP15875798A JP4171937B2 JP 4171937 B2 JP4171937 B2 JP 4171937B2 JP 15875798 A JP15875798 A JP 15875798A JP 15875798 A JP15875798 A JP 15875798A JP 4171937 B2 JP4171937 B2 JP 4171937B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illumination
- polarized light
- sample
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は測定検査用顕微鏡に関し、特に近年微細化の進む半導体を測定、及び検査するのに有効な測定検査用顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の測定検査用顕微鏡の光源としては、タングステンランプやハロゲンランプが一般的に知られている。タングステンランプやハロゲンランプは通常ケーラー照明と呼ばれる照明系の光源として使用されており、試料に対して全体にムラなく一括で照明できるような構成となっている(以降上記のような照明を一括照明と呼ぶ)。
【0003】
上記照明系にて半導体のように不透明な試料を検査する際には、反射照明あるいは落射照明と呼ばれるような照明系を構成し、照明光路と観察光路とを分岐するために試料と像との間にハーフミラーやハーフプリズムなどの光学部材を挿入し照明光が試料の上方から照射されるように構成する。
一括照明によって得られた試料の反射光は観察系を介して結像され、例えばCCDカメラによって撮像される。そして、撮像された試料像はモニタに映し出され、回路パターンの検査が行なわれたり、画像処理によって各種計測(長さや面積等)が行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年、半導体分野においては、より高密度化、高集積化が進み、測定・検査の対象となる半導体の回路パターンは微細化してきている。
従って、従来の測定検査用顕微鏡においては、より解像力を高めるために、高NAの対物レンズを用いたり、より短波長の照明光を用いることによって対応している。
【0005】
しかしながら、回路パターンの周期が顕微鏡の解像限界に近づくと、像のコントラストが低下し、回路パターンの検査や線幅の測定等を正確に行なうことができないという問題が生じる。
本発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、試料上に解像限界付近の周期パターンが存在していても、安価且つ簡単な構成でコントラストの良い試料像を得ることができる測定検査用顕微鏡を得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上述の問題を解決するため、請求項1記載の本発明は、周期的なパターンを有する試料を載置するステージと、試料の所定領域に対して照明光を照射する照明系と、試料からの光を受けて試料の像を形成する観察系とを有する顕微鏡であって、照明系は、試料に照射される照明光を、前記周期的なパターンの周期方向と同一方向の直線偏光にする手段を有することを特徴とするものである。
【0007】
図1は、周期方向が互いに直交するX及びY方向である周期パターン(PT1、PT2)を有する試料をX方向の直線偏光の光で照射したときの様子を表す図である。X方向の直線偏光の光Rで周期パターンPT1、PT2を照明した場合、周期方向と偏光方向が一致している場合とそれに直交する場合とで得られた像のコントラストが異なる。とくに、パターンの周期が波長オーダーの微細な凹凸からなる周期構造を反射観察する場合に顕著である。これは物体の伝導率がゼロでない場合、周期方向が偏光方向に対し垂直な周期パターンPT2であると、パターンに電流が流れて光の電場を打ち消すため、実質的に凹凸構造の溝の内部に光が侵入しにくくなり、その結果凹凸構造を実際よりも浅く感じてしまうことによる。
【0008】
従って、周期パターンを照明する場合、凹凸からなる周期構造に対しては周期方向と偏光方向が一致しているパターンPT1の方が溝に光が侵入しやすく、その結果溝による光の位相変調が大きくなり、結果的に像のコントラストが高まる。したがって周期方向の構造を測定・検査する場合、故意にこの方向の直線偏光で照明することが有効である。
【0009】
請求項2記載の本発明は、請求項1記載の測定検査用顕微鏡において、照明系が、試料に対して直線偏光の照明光を照射する第1の状態と、試料に対して円偏光、ランダム偏光、又は非偏光な照明光を照射する第2の状態とを任意に切換可能とする切換手段を有することを特徴とするものである。
測定検査対象の周期パターン(PT1)の周期方向と同一方向の直線偏光で照明すると、上述の如くその周期パターンに直交するパターン(PT2)のコントラストが低くなるので、X方向とY方向との像の見えが異なり、均一な観察像を得ることができない。
【0010】
従って、試料観察時は、円偏光、ランダム偏光、又は非偏光な照明光によって試料を観察する。この時、観察視野内の回路パターンは全体的に均一なコントラストとなるため、観察しやすくなる。このように、円偏光、ランダム偏光、又は非偏光な照明光によって試料を観察し、測定検査対象の周期パターンを観察視野内に配置した後、周期パターンの周期方向と同一方向の直線偏光で照射すれば、そのパターン像はコントラストが高くなり、正確な測定・検査を行なうことができる。
【0011】
第1の状態と第2の状態との切換えは、例えば、照明光路内に偏光状態を変える光学素子を挿脱したり、偏光状態の異なる照明光路を切り替えたりすることによって達成できる。
請求項3記載の本発明は、請求項1又は2記載の測定検査用顕微鏡において、照明系が、試料に対する直線偏光の偏光方向を変更可能な偏光状態可変手段をさらに有することを特徴とする。
【0012】
測定・検査対象の周期パターンは、必ずしも観察視野内の所定方向(例えばX方向)に並んでいるとは限らず、それに直交する方向(Y方向)に並んでいる場合もある。従って、偏光状態可変手段によって直線偏光の偏光方向を変えることにより、測定・検査対象の周期パターンがどのような方向に並んでいても、正確に測定・検査を行なうことができる。
【0013】
偏光状態可変手段としては、1/2波長板がもっとも一般的に用いられる。具体的には、1/2波長板の光学軸方向を、入射直線偏光に対し、偏光回転角の半分の角度だけ傾けて配置すればよい。このほか、一般的ではないが、ファラデーローテータのような磁気光学効果を使った旋光素子も使用可能である。
以上はもともとの入射光が直線偏光している場合であるが、もとの入射光が非偏光(熱光源など)やランダム偏光(ファイバー通過後など)である場合は一方の偏光面のみを透過、または反射させる偏光子が必要になる。この場合、もちろん偏光面の回転は偏光子を回転させることによって行う。
【0014】
請求項4記載の本発明は、請求項2記載の測定検査用顕微鏡において、直線偏光にする手段が、直線偏光のレーザ光を射出するレーザ光源であり、切換手段は、試料に照射される光が円偏光又はランダム偏光となるように、光源からの直線偏光を円偏光又はランダム偏光に変換する変換部材を有し、変換部材を照明光路に挿脱可能に配置すること特徴とする。
【0015】
光源に直線偏光のレーザ光を射出するレーザ光源を用いることにより、パワーの大きな照明光を得ることができる。また、変換部材を照明光路に挿脱することにより、直線偏光による照明と、円偏光又はランダム偏光による照明とを簡単に切り換えることができる。
請求項5記載の本発明は、請求項3記載の測定検査用顕微鏡において、偏光状態可変手段が、照明光路に配置された1/2波長板を有し、1/2波長板は、照明光路に対する挿脱と照明光路内での回転との少なくとも一方が可能であることを特徴とする。
【0016】
1/2波長板を照明光路に挿脱することにより、レーザ光源からの直線偏光の方向を簡単に異なる方向に切り換えることができる。また、照明光路で回転可能に配置されることにより、レーザ光源からの直線偏光の方向を簡単に任意の方向に切り換えることができる。
請求項6記載の本発明は、請求項2又は3記載の測定検査用顕微鏡において、照明系は、非偏光の光を射出する光源を有し、直線偏光にする手段は、照明光路に配置されたポラライザを有し、ポラライザは、照明光路に対する挿脱と照明光路内での回転との少なくとも一方が可能であることを特徴とする。
【0017】
光源からの非偏光な光は、ポラライザを介して直線偏光となる。このポラライザを照明光路に挿脱することにより、照明光を非偏光な光と直線偏光の光とに簡単に切り換えることができ、観察時、検査・測定時ともに最適な試料像を得ることができる。また、ポラライザが照明光路内で回転することにより、偏光方向を任意の方向に変更することができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
図2は、本発明の測定検査用顕微鏡における第1実施形態の概略構成を示す図である。
レーザ光源1は、直線偏光のレーザ光を射出する。本実施形態におけるレーザ光源は、例えば266nmの極紫外域の波長のレーザ光を射出する。このレーザ光は、顕微鏡本体(不図示)内に設けられた照明光学系の光路に導かれ、拡散板3によって拡散される。この拡散板3はモータ4によって光路に垂直な面内で回転される。拡散板3を透過した光は、リレー光学系5、開口絞り6、視野絞り7を介してハーフミラー8に入射する。
【0019】
ハーフミラー8によって反射したレーザ光は、対物レンズ9を介して試料10上の所定領域に一括照射される。本実施形態の照明光学系(3、5、6、7、8、9)は、試料10に対してケーラー照明を達成するように構成されている。
試料10からの反射光は、ハーフミラー8を透過して結像レンズ11によって集光され、紫外域に感度を有するCCDカメラの撮像素子12上に結像される。撮像素子によって撮像された試料の像は、不図示のモニタに表示される。
【0020】
拡散板3は、光路に垂直な面内で回転させているが、光路に垂直な面内で往復運動させるような構成であってもよい。このことにより、スペックルパターンを移動させて消すことが可能となり、より鮮明な試料像を得ることができる。
本実施形態においては、照明光の偏光方向が、図1に示すようにX方向となるように設定されている。従って、試料10上の周期パターンのうち、X方向に周期方向を有するパターンPT1を検査、測定する場合、コントラスト良くパターン像を撮像することが可能となり、正確な検査・測定を行なうことができる。
【0021】
また、ステージに回転機構が設けられていれば、図1に示すY方向に周期方向を有するパターンPT2も、周期方向をX方向に変更することができるため、いずれのパターンPT1、PT2もコントラスト良く撮像することができる。
ここで、ハーフミラー8は、一般に偏光方向によって反射率と反射の際の位相飛び量が異なるので、照明光学系での偏光状態制御がここで崩れてしまう可能性がある。これを防ぐためには、反射率と反射時の位相飛び量が偏光方向によらずほぼ等しくなるように設計・製造することが望ましい。また、このような設計・製造が不可能な場合は、予めハーフミラーによる偏光の乱れを測定しておき、これを補償するような偏光光学系を照明光学系中に配置してもよい。
【0022】
また、測定・検査対象となる部分を捜す場合、ある一方向の周期パターンだけがコントラスト良く見えていると、全体像が見にくい場合がある。従って、本実施形態においては、レーザ光源1からの直線偏光を円偏光に変換するλ/4板2を照明光路に挿脱可能に配置できる。このλ/4板2は、顕微鏡本体内の拡散板3の手前側(光源1側)に配置されている。λ/4板2は顕微鏡本体に設けられた挿脱機構20に設けられている。挿脱機構20は、例えば顕微鏡本体に設けられたガイドと、ガイドに沿って移動可能な可動部材とから構成され、この可動部材にλ/4板2が保持されており、照明光路に挿脱可能となっている。
【0023】
λ/4板2は、顕微鏡本体内に配置されているが、光源1のユニット内部に挿脱可能に配置しても良い。また、光源として極紫外域のレーザ光を射出するレーザ光源を用いたが、この波長に限定されるものではなく、可視域の直線偏光のレーザ光を発する光源であっても良い。
以上のような構成によって、試料10に設けられた周期パターンPT1をコントラスト良く撮像することができ、正確に測定・検査を行なうことができる。また、照明光を円偏光に切り換えることができるので、通常の観察時は周期パターンの方向に関係なく、観察視野内の像を全体的に均一なコントラストで観察することができる。
【0024】
図3は本発明の測定検査用顕微鏡における第2実施形態の概略構成を示す図である。本実施形態は、先の第1実施形態における変換部材としてのλ/4板に加え、偏光方向を変更するλ/2板を照明光路に挿脱可能に配置したものであり、それ以外の構成は全く同じである。図3において、図2に示す部材と同一の部材には同じ符号を付しており、その説明は省略する。
【0025】
光源1からの直線偏光のレーザ光は、顕微鏡本体(不図示)に伝達され、照明光学系の光路に導かれ拡散板3に照射される。拡散板3を透過した光は試料に照射され、試料の像はCCDカメラの撮像素子によって撮像される。照明光学系を構成する光学素子(3,5,6,7,8,9)と、観察系を構成する素子(9、8、11、12)とは、いずれも顕微鏡本体内に配置されている。
【0026】
本実施形態において、顕微鏡本体内の拡散板3の手前側には、λ/4板2、λ/2板31が切り換え機構30に設けられ、照明光路に挿脱可能に配置されている。図4は切り換え機構30の構成を示す図である。図4に示すように、λ/4板2、λ/2板31は、可動部33に配置されている。さらに可動部33には開口部32も並んで配置されている。可動部33は顕微鏡本体に設けられたガイド34に沿って移動可能であり、クリックストップ機構35によって、開口部32及び各素子(2、31)が照明光路中に位置決めされる。可動部33は操作つまみ36によって顕微鏡本体外部から操作可能となっている。尚、λ/2板31は、レーザ光源からの直線偏光の偏光方向を90°回転させるように設定されている。即ち、λ/2板31を通過した照明光は、試料上においてY方向の直線偏光となる。
【0027】
以上の構成により、通常観察時はλ/4板2を光路に配置し、観察視野内を均一なコントラストにして観察する。そして、測定・検査対象の周期パターンを観察視野内に配置したら、その周期方向がX方向であったら、開口部32を照明光路に配置し、X方向の直線偏光とする。また、測定・検査対象の周期パターンの周期方向がY方向であったら、λ/2板31を照明光路に配置し、Y方向の直線偏光とする。これにより、測定・検査したい周期パターンをコントラスト良く撮像することが可能となり、正確に測定・検査することができる。
【0028】
また、λ/2板31は、光路に垂直な面内で回転可能に構成されていても良い。具体的には、λ/2板31を保持する保持部37が可動部33に対して回転可能に設けられている。また、操作つまみ36もその長手方向を回転軸として、可動部33に対して回転可能となっている。この操作つまみの先端部と保持部37とは、不図示の連結機構によって連結されている。この連結機構は、操作つまみ36の回転に応じて保持部37を回転させるように構成されている。
【0029】
このような構成により、測定・検査対象の周期パターンの周期方向がどのような方向であっても、その周期方向に応じて照明光の偏光方向を設定することができる。
次に第3実施形態を図5を用いて説明する。図5において、図2に示す部材と同一の部材には同じ符号を付しており、その詳しい説明は省略する。
【0030】
光源50は、非偏光の光を発する。具体的には、ハロゲンランプやキセノンランプ等である。光源50からの光は、リレー光学系5、開口絞り6、視野絞り7を介してポラライザ51に入射する。ポラライザ51は、光源50からの非偏光な光を直線偏光にして射出する。ポラライザを透過した光はリレー光学系5、ハーフミラー8、対物レンズ9を介して試料10に照射される。
【0031】
本実施形態においても、先の第1実施形態と同様に、照明光の偏光方向が、図1に示すようにX方向となるように設定されている。従って、試料10上の周期パターンのうち、X方向に周期方向を有するパターンPT1を検査、測定する場合、コントラスト良くパターン像を撮像することが可能となり、正確な検査・測定を行なうことができる。
【0032】
また、本実施形態において、ポラライザが照明光路から挿脱可能に構成されていてもよい。具体的な構成は先の第1、第2実施形態で述べた物と同様であるので、ここでは説明を省略する。
このことにより、通常観察時は非偏光の照明、測定・検査時は直線偏光による照明が可能となり、それぞれの場面において最適な試料像を得ることができる。
【0033】
また、ポラライザを照明光路に垂直な面内で回転可能に構成してもよい。このことにより、直線偏光の偏光方向を任意の方向に設定することができ、周期パターンの周期方向に関係なくコントラストの良い像を得ることができる。
さらに本実施形態においては、光源としてレーザ光源を用い、光源からの照明光を光ファイバにて顕微鏡本体に導くような構成であってもよい。レーザ光源からの直線偏光は、光ファイバで伝達されることによって、ランダム偏光となる。ここで、光ファイバは、マルチモードファイバであることが望ましい。このランダム偏光の照明光を直線偏光に変える場合も、図5に示すポラライザ51を用いることができる。
【0034】
上述の第1〜第3実施形態においては、観察系としてCCDカメラとモニタとを用いたが、本発明はこれに限らず、例えば単に双眼鏡筒があるだけでもよい。また、上述の第1〜第3実施形態の顕微鏡は一括照明タイプであるが、本発明はこれに限らず、例えばレーザ走査型や共焦点型のような顕微鏡に応用することもできる。
【0035】
本発明は上述の第1〜第3実施形態によって開示された構成に限られるものではなく、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の構成を取ることができる。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、測定検査用顕微鏡において、試料上に解像限界付近の周期パターンが存在していても、安価且つ簡単な構成でコントラストの良い試料像を得ることができる。
請求項2記載の本発明によれば、試料観察時は、円偏光、ランダム偏光、又は非偏光な照明光によって試料を観察する。この時観察視野内の回路パターンは全体的に均一なコントラストとなるため、観察しやすくなる。測定検査対象の周期パターンを観察視野内に配置した後、周期パターンの周期方向と同一方向の直線偏光で照射すれば、そのパターン像はコントラストが高くなり、正確な測定・検査を行なうことができる。
【0037】
請求項3記載の本発明によれば、測定・検査対象の周期パターンがどのような方向に並んでいても、正確に測定・検査を行なうことができる。
請求項4記載の本発明によれば、パワーの大きな照明光を得ることができる。また、変換部材を照明光路に挿脱することにより、直線偏光による照明と、円偏光又はランダム偏光による照明とを簡単に切り換えることができる。
【0038】
請求項5記載の本発明によれば、レーザ光源からの直線偏光の方向を簡単に異なる方向に切り換えることができる。また、照明光路で回転可能に配置されることにより、レーザ光源からの直線偏光の方向を簡単に任意の方向に切り換えることができる。
請求項6記載の本発明によれば、光源からの非偏光な光は、ポラライザを介して直線偏光となる。このポラライザを照明光路に挿脱することにより、照明光を非偏光な光と直線偏光の光とに簡単に切り換えることができ、観察時、検査・測定時ともに最適な試料像を得ることができる。また、ポラライザが照明光路内で回転することにより、偏光方向を任意の方向に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】周期方向が互いに直交するX及びY方向である周期パターン(PT1、PT2)を有する試料をX方向の直線偏光の光で照射したときの様子を表す図である。
【図2】本発明の測定検査用顕微鏡における第1実施形態の概略構成を示す図である。
【図3】本発明の測定検査用顕微鏡における第2実施形態の概略構成を示す図である。
【図4】切り換え機構30の構成を示す図である。
【図5】本発明の測定検査用顕微鏡における第3実施形態の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
1・・・レーザ光源
2・・・λ/4板
3・・・拡散板
4・・・モータ
5・・・リレーレンズ系
6・・・開口絞り
7・・・視野絞り
8・・・ハーフミラー
9・・・対物レンズ
10・・・試料
11・・・結像レンズ
12・・・撮像素子
20、30・・・切り換え機構
31・・・λ/2板
32・・・開口部
33・・・可動部
34・・・ガイド
50・・・光源
51・・・ポラライザ
Claims (6)
- 周期的なパターンを有する試料を載置するステージと、試料の所定領域に対して照明光を照射する照明系と、前記試料からの光を受けて前記試料の像を形成する観察系とを有する顕微鏡であって、前記照明系は、前記試料に照射される照明光を、前記周期的なパターンの周期方向と同一方向の直線偏光にする手段を有することを特徴とする測定検査用顕微鏡。
- 前記照明系は、前記試料に対して直線偏光の照明光を照射する第1の状態と、前記試料に対して円偏光、ランダム偏光、又は非偏光な照明光を照射する第2の状態とを任意に切換可能とする切換手段を有することを特徴とする請求項1記載の測定検査用顕微鏡。
- 前記照明系は、前記試料に対する前記直線偏光の偏光方向を変更可能な偏光状態可変手段をさらに有することを特徴とする請求項1又は2記載の測定検査用顕微鏡。
- 前記直線偏光にする手段は、直線偏光のレーザ光を射出するレーザ光源であり、前記切換手段は、前記試料に照射される光が円偏光又はランダム偏光となるように、前記光源からの直線偏光を円偏光又はランダム偏光に変換する変換部材を有し、前記変換部材を照明光路に挿脱可能に配置することを特徴とする請求項2記載の測定検査用顕微鏡。
- 前記偏光状態可変手段は、照明光路に配置された1/2波長板を有し、前記1/2波長板は、前記照明光路に対する挿脱と前記照明光路内での回転との少なくとも一方が可能であることを特徴とする請求項3記載の測定検査用顕微鏡。
- 前記照明系は、非偏光の光を射出する光源を有し、前記直線偏光にする手段は、照明光路に配置されたポラライザを有し、前記ポラライザは、前記照明光路に対する挿脱と前記照明光路内での回転との少なくとも一方が可能であることを特徴とする請求項2又は3記載の測定検査用顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15875798A JP4171937B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 測定検査用顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15875798A JP4171937B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 測定検査用顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11352408A JPH11352408A (ja) | 1999-12-24 |
JP4171937B2 true JP4171937B2 (ja) | 2008-10-29 |
Family
ID=15678688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15875798A Expired - Lifetime JP4171937B2 (ja) | 1998-06-08 | 1998-06-08 | 測定検査用顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4171937B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4662194B2 (ja) * | 2001-06-22 | 2011-03-30 | 株式会社ニコン | 検査装置 |
EP1895348A4 (en) | 2005-06-30 | 2009-11-25 | Nat Univ Corp Nara Inst | MICROSCOPE |
JP6278707B2 (ja) * | 2014-01-09 | 2018-02-14 | オリンパス株式会社 | 光学装置 |
JP2021043345A (ja) * | 2019-09-11 | 2021-03-18 | 株式会社島津製作所 | 画像表示装置 |
-
1998
- 1998-06-08 JP JP15875798A patent/JP4171937B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11352408A (ja) | 1999-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI443327B (zh) | Defect detection device and defect detection method | |
JP4625716B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP3610837B2 (ja) | 試料表面の観察方法及びその装置並びに欠陥検査方法及びその装置 | |
JP5171977B2 (ja) | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 | |
JP2010277103A (ja) | 共焦点顕微鏡装置及び共焦点顕微鏡装置を用いた観察方法 | |
JPWO2009072484A1 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
KR20080070863A (ko) | 근적외선 스펙트럼 범위를 이용한 오버레이 메트롤러지 | |
WO2017154895A1 (ja) | 測定装置、観察装置および測定方法 | |
JP4632634B2 (ja) | 共焦点顕微鏡装置及び共焦点顕微鏡装置を用いた観察方法 | |
WO2009133849A1 (ja) | 検査装置 | |
JP2004191240A (ja) | 3次元形状測定装置 | |
JP4171937B2 (ja) | 測定検査用顕微鏡 | |
JP3965325B2 (ja) | 微細構造観察方法、および欠陥検査装置 | |
JP4724411B2 (ja) | 共焦点レーザスキャニング顕微鏡 | |
JP6142996B2 (ja) | ビア形状測定装置及びビア検査装置 | |
JP2002006226A (ja) | 検査装置 | |
JPH0835928A (ja) | 撮像装置 | |
JP5472780B2 (ja) | 穴形状測定装置及び光学系 | |
JP2009511941A (ja) | 顕微鏡用の暗視野対物レンズ | |
JP4196031B2 (ja) | レーザ顕微鏡 | |
JP4662194B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2003195176A (ja) | 共焦点顕微鏡 | |
JP3857934B2 (ja) | 半導体測定装置 | |
JPH05173078A (ja) | システム顕微鏡 | |
JP2006276756A (ja) | 異物検査装置及び方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050606 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080717 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080730 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140822 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140822 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140822 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |