JP4169950B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4169950B2 JP4169950B2 JP2001148585A JP2001148585A JP4169950B2 JP 4169950 B2 JP4169950 B2 JP 4169950B2 JP 2001148585 A JP2001148585 A JP 2001148585A JP 2001148585 A JP2001148585 A JP 2001148585A JP 4169950 B2 JP4169950 B2 JP 4169950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- chamber
- barrier metal
- seed
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76843—Barrier, adhesion or liner layers formed in openings in a dielectric
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76871—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers
- H01L21/76873—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers for electroplating
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法に関し、特に基板に開口した凹部内にバリアメタル及びCu系金属を成膜する方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の半導体集積回路で用いられているメタル配線の材料としては、比抵抗が低いことやパターニングが容易であることなどから、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアルミニウム系金属が用いられてきた。ところが、近年におけるLSI等の半導体集積回路の高集積化,縮小化,高速化、さらには高信頼性の要求が強くなってきたことに伴い、アルミニウム系金属よりも低い抵抗率及び高いエレクトロマイグレーション(EM)耐性を有するCu又はCu合金からなるCu系金属が用いられるようになった。
【0003】
このCu系金属を用いて配線を形成する場合、Cu系金属のドライエッチングを行うことが困難であるため所望の配線を形成することは難しい。そのため、層間絶縁膜に配線パターンの凹部(トレンチ)を形成し、全面にCu膜を堆積して溝を埋め込んだ後、このCu膜に対して例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing ;化学機械研磨)を行って層間絶縁膜の上に露出しているCu膜を除去することにより、Cu膜のみを溝内に残した埋込配線を形成する方法が提案されている。この技術をダマシン法という。ダマシン法のうち、配線のみを形成する場合をシングルダマシン、配線だけでなく下層配線との接続孔(ビア)も合わせて形成する場合をデュアルダマシンと称する。デュアルダマシン構造は、工程数が低減できるためコスト削減に寄与する。配線若しくは配線とビアの凹部にCu膜を充填する方法としては、高温リフロー法、スパッタ法及び電解メッキ法が知られているが、アスペクト比が高い凹部への充填には電解メッキ法が優れている。
【0004】
ここで、デュアルダマシン法に関して図1を用いて説明する。図1(a)のように、素子を形成した半導体基板101上にバリアメタル102を有する第1メタル配線103と、これを覆う層間絶縁膜104を成膜した後、リソグラフィ及びドライエッチにより前記層間絶縁膜104の表面に配線用の溝(トレンチ)105及び当該トレンチ105を通して第1メタル配線103につながるビアホール106を開口する。続いて、図1(b),(c)のように、バリアメタル/シード成膜装置にて前記トレンチ105及びビア106の内面にTa等のバリアメタル膜107及びCu等のシード膜108を順次成膜する。バリアメタル/シード成膜は同一真空内で処理される。その後、図1(d)のように、前記シード膜108をメッキ電極とするメッキ法等によりビアホール106内及びトレンチ105内の凹部をメッキ金属109で埋込み、シード膜108と一体化する。しかる上で、図1(e)のように、層間絶縁膜104の上に露出しているメッキ金属膜109、シード膜108及びバリアメタル膜107をCMP法にて研磨し除去することで、金属により充填された第2配線110及びビア111が形成される。これらを数回繰り返すことで、多層配線が形成される。
【0005】
このようにトレンチやビア等の凹部に電解メッキ法でCu等の金属膜を充填するためには、凹部の側面及び底面にメッキ工程で陰極となるCuのシード膜をあらかじめ形成しておく必要がある。従って、スパッタリング法により凹部を含む層間絶縁膜の上にCuのバリア膜となるバリアメタル膜及びCuのシード膜を成膜した後、このシード膜を陰極としてメッキを行って凹部にCuを充填し、その後層間絶縁膜上に露出しているCuを例えばCMPにより除去すると、トレンチ及びビア内にCuが充填されてなるシングルダマシン構造またはデュアルダマシン構造を有するCuの埋込配線を形成することが出来る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、半導体集積回路の微細化に伴って配線幅の微細化が求められるようになり、トレンチ及びビアのアスペクト比が高くなってくると、例えばアスペクト比が4を越えるビアに対してCuの充填が必要となる。ところが、図8の写真に示すような高アスペクト比のトレンチやビア等の凹部106の内面にバリアメタル膜107を形成した後に底面及び側面にスパッタリング法によりシード膜としてのシードCu膜108を形成しようとすると、十分なカバレッジが得られない場合がある。特に凹部106の底部付近の側面では、シードCu膜108が微細なアイランド(島)状に付着して連続膜でないものが得られてしまい、この領域ではメッキを行ってもシードCu膜がほとんど成長しないか不十分に成長する。なお、図11は図8の写真の模式図である。これは、Cuの電解メッキ浴(CuSO4 ・5H2 O+H2
SO4 )は強酸性であるから、メッキによってCu膜が成長する速度よりもアイランド状のシード膜が電解メッキ浴によって溶けてなくなる速度の方が速いためである。このように、凹部106の上側部分、すなわちシードCu膜108が連続的に形成されている部分においてはメッキによってCuが成長していく一方、凹部106の下側部分、すなわちシードCu膜108がアイランド状に形成されている部分においてはCuがほとんど成長しないか又は不十分に成長するため、凹部106内にCuを完全に埋め込むことが出来ずボイドが形成されてしまう。
【0007】
このような凹部の下側部部でのシード膜の成膜不良を改善するために、例えばスパッタリング時間を長くする等してシード膜の膜厚を厚くすることが考えられるが、この場合には凹部の開口部においてシード膜の膜厚が大になり、シード膜が大きくオーバーハングしてしまい、凹部の埋込が完了する前に開口部が閉じてしまう(ピンチオフ)ことで凹部内に大きなボイドが形成されてしまうことがあり、シード膜の厚さはあまり厚くすることが出来ない。
【0008】
この問題を解決する1つの方法として特開2000−183160公報に示されているような、無電解メッキによるシード膜の補強を行ってシード膜がアイランド状になることを回避し、その後電解メッキを行いCuを充填することが提案されている。しかし、この方法ではメッキ装置に無電解メッキを行うための新たなメッキ浴を装着する必要があり、装置が複雑化するという問題がある。また、一般的に無電解メッキ法は安定性、再現性が乏しく、量産性が悪いという問題がある。
【0009】
また、シード膜のカバレッジを改善するために、基板とターゲット間の距離を通常より長くしたロングスロースパッタ法や、Cuをイオン化し基板バイアスを印可することで積極的にCuイオンを凹部内部に引き込むイオン化スパッタ法などが用いられている。しかし、これらの方法を用いた場合でも、相対的にシードCu層の厚さが薄い凹部の側壁では、スパッタ時のスパッタ原子やイオン等の衝突(Bomberdment)により基板温度が上昇し、Cu膜が凝集してしまうという問題が発生する。すなわち、バリアメタル膜上に成膜するシードCu膜は、Cu膜自身のエネルギーを最小にしようとするため、温度などCu原子の表面マイグレーションを起こすのに十分なエネルギーが加えられれば凝集が起こる。Cu膜の成膜に用いるホルダの温度を80℃に設定してCu膜を成膜したときの凝集の様子を図9(a)の写真に示す。成膜時の温度が高いとCu膜108がアイランド状に凝集してしまう。このように凝集したシードCu膜を用いてCuメッキを行った場合、図9(b)の写真に示すようにCu109の埋設不良が発生してしまう。これは、前述のようにメッキを実施するとき、基板上のシードCu膜がメッキ時の陰極となるが、シードCu膜に被覆されていない部分ではCuの析出が起こらず、又は不十分に析出し、埋設不良となってしまう。なお、図12(a),(b)は図9(a),(b)の各写真の模式図である。
【0010】
本発明の目的は、凹部の内面に凝集のないシード膜を形成し、メッキ法により充填された金属にボイドが形成されないようにすることで、良好な電気特性が得られ歩留まりを向上した半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、ダマシン等の配線形成プロセスにおけるバリアメタル/シード成膜プロセスにおいて、バリアメタル成膜後に真空を破らずに50秒以上保持して冷却した上で、真空を破らずにウェハをシード膜を成膜するチャンバに搬送して、シード成膜チャンバにおいてシード膜を成膜することを特徴とする。ここで、真空中での保持はバリアメタル成膜チャンバとほぼ同じ環境条件に保持したチャンバで行い、好ましくは、バリアメタル成膜チャンバ内、あるいはこれとは別の真空に保持されたチャンバ内で行う。
【0012】
本発明の成立過程について説明する。前述のような温度上昇によるシード膜の凝集を解消するために、シード膜を成膜する際の温度、例えばウェハを保持するウェハホルダの温度をできるだけ下げて、好ましくは−40℃に半導体基板を冷却する。こうすることで、凝集のないスムーズなシード膜が得られることが推定された。ところが、実際にはシード膜の成膜中の冷却だけでは不十分である。これは、シード膜の成膜前のバリアメタル膜の成膜時における基板温度上昇もシード膜に影響を及ぼすためであると考えられた。
【0013】
すなわち、例えば、シード膜の成膜に際してのウェハを冷却するためのクーリング時間を60秒とし、シード膜を成膜するための成膜時間を60秒とすると、シード膜の成膜チャンバでのトータル処理時間は、クーリング時間60秒+成膜時間60秒の120秒となる。また、バリアメタル膜を成膜するためのトータル時間を50秒とする。したがって、バリアメタル膜の成膜チャンバとシード膜の成膜チャンバをそれぞれ1つを使用して処理を行うと(シングルモードと称する)、図2(a)のタイミング図に示すウェハの処理工程となる。この場合、シード膜の成膜時間がバリアメタルの成膜時間より長いため、前のウエハが処理されている間、次のウエハはバリアメタル膜の成膜チャンバ内において約70秒程度待機され、その上でウェハをシード膜の成膜チャンバに搬入してウェハのクーリングと成膜を行っている。このシングルモードによれば、シード膜の凝集が解消されることが確認された。測定によれば、図3(a)に示すように、バリアメタル膜の成膜後における同成膜チャンバ内での待機時間を50秒以上にするとシード膜の凝集が改善されることが確認された。しかしながら、このシングルモードでの処理効率はシード膜の成膜チャンバでの処理に律則されることになり、生産性が非常に低い。
【0014】
そこで、生産性を向上させるために、シード膜の成膜チャンバを2つ設け、図2(b)のタイミング図に示すように、これら2つの成膜チャンバA,Bを用いてパラレルにシード膜の成膜をおこなう処理(デュアルモードと称する)が考えられた。このデュアルモードでは、シード膜の成膜チャンバをパラレルに使用するため、バリアメタル膜の成膜後のウエハ待機時間は10秒以下となり、処理効率を高めて生産性を向上することが可能になる。しかしながら、このデュアルモードでは、シード膜を成膜する際にシード膜の成膜チャンバ内でのクーリングを60秒行ったにもかかわらず、シード膜の凝集が発生した。この場合、図3(b)に示すように、クーリングを120秒まで長くしてもシード膜の凝集を抑制することは困難である。
【0015】
以上のことから、シングルモードとデュアルモードを詳細に比較したところ、両者はバリアメタル膜の成膜チャンバからシード膜の成膜チャンバまでの搬送時間は同じであるが、バリアメタル膜の成膜チャンバ内でのウェハの待機時間はシングルモードでは70秒、デュアルモードでは10秒であり、これがシード膜の凝集に大きく影響しているものであることが判明した。その結果、バリアメタル膜の成膜後、同一チャンバーにて50秒以上保持してウェハを冷却した上で、シード膜の成膜チャンバに搬送してシード膜の成膜を行うことでシード膜の凝集が改善できることが確認された。
【0016】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。本実施形態はデュアルダマシンに適用しており、図1を再度参照すると、図1(a)に示すように、素子を形成した半導体基板101上にバリアメタル膜102を有する第1メタル配線103を形成し、その表面上に層間絶縁膜104を成膜後、リソグラフィ及びドライエッチングにより配線としてのトレンチ105とビア106をそれぞれ形成する。次いで、図1(b)のように、前記トレンチ105及びビア106を含む層間絶縁膜104の全面にバリアメタル膜107を成膜する。さらに、図1(c)のように、前記バリアメタル膜107上にシード膜108を成膜する。その上で、図1(d)のように、前記シード膜108を陰極としたメッキ法により金属メッキを行い、前記トレンチ及びビア内にメッキ金属109を埋込み、CMP(Chemical Mechanical Polishing;化学的機械研磨)法にて層間絶縁膜104の 表面を研磨する。これにより、トレンチ105及びビア106内にのみ金属109が残され、デュアルダマシンが形成される。なお、バリアメタル膜107はTa膜、シード膜108はCu膜、メッキ金属109はCuであるとする。
【0017】
ここで、前記バリアメタル膜107とシード膜108は、図4に示すようなバリアメタル/シード成膜装置10にて成膜する。前記バリアメタル/シード成膜装置は10、複数個、ここでは第1から第4の4つのプロセスチャンバPC1〜PC4を有しており、各チャンバPC1〜PC4は真空に引かれているとともに、搬送チャンバTCによって各プロセスチャンバ間で真空状態を保ったままで半導体基板としてのウェハの搬送が可能とされている。そして、ここでは第1プロセスチャンバPC1をスパッタ前処理チャンバとして、ウェハに対して前処理を実行する。また第2プロセスチャンバPC2をバリアメタル成膜チャンバとして、ウェハに対してバリアメタルをスパッタ法により成膜する。なお、バリアメタル成膜はCVD法(Chemical Vapor Deposition :化学的気相成長)でもよい。ここではスパッタ法を用いているものとする。さらに、第3プロセスチャンバPC3をシード成膜チャンバとして構成しており、それぞれにおいて独立してウェハに対してシード膜をスパッタ法により成膜する。
【0018】
このバリアメタル/シード成膜装置を用いて図1に示したデュアルダマシンを製造する方法について説明する。図5はバリアメタル膜及びシード膜の成膜工程を示すフローチャートである。先ず、ウェハの層間絶縁膜104にトレンチ105とビア106をエッチングする(S101)。次いで、前記ウェハをスパッタ前処理チャンバとしての第1プロセスチャンバPC1においてスパッタ前処理を行う(S102)。このスパッタ前処理は、例えば、真空中にArプラズマを形成し、Arイオンにて表面酸化膜等のエッチングを行う。次いで、ウェハをバリアメタル成膜チャンバとしての第2プロセスチャンバPC2においてスパッタ法によりバリアメタル膜107を成膜する(S103)。そして、バリアメタルスパッタ中はスパッタ原子やイオン等の衝突(Bomberdment)によりウエハ温度は上昇するため、バリアメタル膜107の成膜後に同一の第2プロセスチャンバPC2内にてウェハを50秒以上保持し、ウェハを冷却する(S104)。次いで、ウェハをシード成膜チャンバとしての第3プロセスチャンバPC3に搬送し、スパッタ法によりシード膜108を成膜する(S105)。シード成膜チャンバPC3内においてウェハを保持するウエハホルダは−40℃に冷却されており、シード膜108の成膜前にウエハ冷却を行い、その後シード膜108を成膜する。しかる後、前記シード膜108を電極として利用したメッキ法によりトレンチ105及びビア106内に金属109を埋め込むまで形成し(S106)、その後CMP法により層間絶縁膜104の表面を研磨して平坦化し、トレンチ105及びビア106内にのみ金属109を残し、配線110と接続孔111を形成する(S107)。
【0019】
ここで、本発明の効果を確認するために、バリアメタル膜の成膜で昇温したウエハ温度をシード膜の成膜までに冷却する際に、第1及び第2の手法で冷却(クーリング)を行った上でシード膜を成膜したものについて比較を行った。第1の手法は、バリアメタル膜を成膜したウェハをシード成膜チャンバに搬送後、シード膜の成膜前に冷却時間を設けて冷却する工程である。第2の手法は、バリアメタル成膜後に同一のチャンバ内で冷却時間を設けて冷却し、その後ウェハをシード成膜チャンバに搬送し成膜する工程である。これらを実施したときの、シード膜の凝集状態を調べた結果は図3に示した通りである。第1の工程で行った場合には、図3(b)のようにシード成膜チャンバ内におけるシード膜の成膜前保持時間を120秒まで増やしても、シード膜の凝集を抑制することは困難である。一方、第2の工程であるバリアメタル成膜後に同一チャンバにて50秒以上保持し冷却を行った場合には、図3(a)のようにシード膜の凝集を抑制することが可能であった。因みに、第2の工程により形成したシード膜は、図6(a)の写真に示すとおり、シード膜108に凝集がなく良好であり、この後のメッキ法による金属109の埋込でも、図6(b)の写真に示すように良好な埋込性が得られている。なお、図10(a),(b)は図6(a),(b)の写真の模式図である。
【0020】
ここで、前記実施形態では、バリアメタル膜を成膜した後に、ウェハをバリアメタル成膜チャンバ内にて50秒以上保持しているが、必ずしも同一チャンバである必要はなく、バリアメタル膜を成膜した後に真空状態を破らず、かつバリアメタル成膜チャンバとほぼ同じ環境条件に保持されている別のチャンバ内において待機することも可能である。この第2の実施形態では、図4に示したバリアメタル/シード成膜装置を利用したときには、第1プロセスチャンバPC1をスパッタ前処理チャンバ、第2プロセスチャンバPC2をバリアメタル成膜チャンバ、第3プロセスチャンバPC3を待機チャンバ、第4プロセスチャンバPC4をシード成膜チャンバとする。
【0021】
図7は第2の実施形態において図1に示したデュアルダマシンを製造する際のフローチャートであり、第1の実施形態と同様にトレンチ105及びビア106を形成した後(S201)、第1プロセスチャンバPC1においてスパッタ前処理を行ない(S202)、第2プロセスチャンバPC2においてバリアメタル膜107を成膜する(S203)までの工程は第1の実施形態と同じである。そして、バリアメタル膜107を成膜した後は、真空状態を保持しながら環境条件がほぼ同じ第3プロセスチャンバPC3に移動し、ここで50秒以上保持する(S204)。その後、第4プロセスチャンバPC4に搬送し、ここでクーリング及び成膜を行ってシード膜108を成膜する(S205)。その後、シード膜108を電極として利用したメッキ法によりトレンチ105及びビア106内に金属109を埋め込むまで形成し(S206)、その後CMP法により層間絶縁膜104の表面を研磨して平坦化し、トレンチ105及びビア106内にのみ金属109を残し、配線110と接続孔111を形成する(S207)ことも第1の実施形態と同様である。
【0022】
この実施形態のように、バリアメタル膜の成膜後の冷却を別チャンバで行っても、前記実施形態と同様な効果が得られ、図6(a)に示したような凝集が抑制されたシード膜108を得ることができる。また、この実施形態の場合には、バリアメタル成膜チャンバ内にウェハが滞留している時間が短縮されてバリアメタル成膜チャンバでの実質的な処理時間が短くなる。したがって、この実施形態を前述のデュアルモードに適用することにより、バリアメタル成膜チャンバでの処理効率が向上でき、全体としてのスループットが向上し、生産性の改善ができる。
【0023】
【実施例】
本発明にかかる前記第1の実施形態に対応する実施例を説明する。図1を再度参照すると、半導体素子を形成した半導体基板(ウェハ)上に第1配線103を形成する。この第1配線はバリアメタル膜102に囲まれたCuにより形成される。ここでバリアメタル膜102はTiN,Ta,TaN,WNなどの単層若しくはそれらの積層膜でもよい。その後、層間絶縁膜104を形成する。この層間絶縁膜104は例えばCVD法によるSiO2 ,SiON,SiN等の単膜若しくはそれらの積層膜でもよい。また、無機、有機の塗布系の絶縁膜でもよい。ここではCVD法により形成したSiO2 膜を用いる。続いて、リソグラフィ及びドライエッチにより、所望の配線パターンをしたトレンチ105と第1配線103につながるビア106を形成する。
【0024】
続いて、図4に示したバリアメタル/シード成膜装置10にて、スパッタ前処理、バリアメタル成膜、シード成膜を順次実施する。スパッタ前処理は、例えば、スパッタ前処理チャンパPC1の真空中にArプラズマを形成し、Arイオンにて酸化膜換算10nm分のエッチングを行う。ここで、水素プラズマの還元作用を用いた前処理を実施しても、スパッタ前処理を実施してもしなくてもよい。
【0025】
次に真空を破らず搬送チャンバ10を介して、ウェハをバリアメタル成膜チャンバPC2に搬送する。バリアメタル膜107の成膜は、例えばスパッタ法にて実施するが、CVD法,ALD(Atomic Layer Deposition)法でも構わない。 膜種はTiN,Ta,TaN,WNなどの単層若しくはそれらの積層膜でもよい。ここでは、スパッタ法にてTa/TaN積層膜を20nm/20nmの厚さで成膜した場合を用いる。このバリアメタル成膜技術の詳細を説明する。バリアメタル膜としてのTa/TaN積層膜はTaターゲットを具備するバリアメタル成膜チャンバPC2内にてプロセスガスAr/N2 圧力4Pa,DCパワー1KWの条件で成膜される(成膜レートは約700A/minであり成膜時間は30秒。また成膜前のプロセスガス導入に必要な時間15秒、成膜後の排気5秒)。ウェハはホルダ上に置かれており、ホルダに内蔵されているヒータは100℃に設定する。TaNとTaを連続成膜するために成膜途中でN2 を遮断し、Arのみでのスパッタを行う。バリアメタル成膜終了後、プロセスガスを止め、10-6Pa以下まで真空引きを行う。引き続き、成膜終了後から50秒以上、ウェハを同チャンバPC2内に保持する。ここで、ホルダの設定温度は室温でもよく、また零下に冷却しても構わない。温度が低い方がより好ましい。
【0026】
その後、真空を破らずに搬送チャンバTCを介して、シード成膜チャンバPC3に搬送する。ここではシード膜108はCu膜であり、そのCu成膜はCVD法を用いてもよいが、ここではスパッタ法を用いて説明する。Cuターゲットを具備するチャンバPC3内にて、プロセスガスAr圧力8Pa,DCパワー1KWの条件でCu膜を150nmの厚さ(成膜レートは1500A/minであり成膜時間は60秒)成膜するが、成膜前にホルダ上で基板を保持し冷却(クーリング)する。冷却に関する詳細を説明する。チラー(chiller )にて−40℃に冷却された冷媒を用いて、ホルダを−40℃に冷却する。ホルダはESC(Electro Static Chuck:静電吸着)を具備するホルダを用いるが、ウエハ押さえ(クランプ)タイプでもよい。ホルダに吸着したウェハの裏面にArガスを吹きつけウェハを冷却する。ここで吹きつけるArガスは、−40℃に冷却されたホルダ内で冷却されている。冷却は60秒実施する。ここでは、ウエハ裏面から冷却されたArを吹きつけることでウエハを冷却する方法を用いたが、ホルダからの直接の熱伝導にてウエハを冷却できればArを用いなくても良く、またウエハを冷却するその他の方法を用いても良い。
【0027】
以上のようにバリアメタル/シードCu膜を成膜した後、別装置にてCuメッキし、トレンチ105及びビアホール106を埋め込む。その後、N2 雰囲気中で400℃,10分のアニールを施し、CMPにて研磨すると第2メタル配線110及びビア111が形成出来る。これらを繰り返すことで、多層配線構造が得られる。
【0028】
本発明にかかる前記第2の実施形態に対応する他の実施例を説明する。製造するデュアルダマシンの構造については、前記実施例と同じであるので重複する説明は省略する。製造工程については、バリアメタル/シード成膜装置10にて、スパッタ前処理、バリアメタル成膜、シードCu成膜を順次実施する。スパッタ前処理は前記実施例と同じであり、スパッタ前処理チャンバPC1にて実施する。
【0029】
次に真空を破らず搬送チャンバTCを介して、ウェハをバリアメタル成膜チャンバとしての第2プロセスチャンバPC2に搬送する。バリアメタル成膜についても前記実施例と同じである。そして、バリアメタル成膜終了後、搬送チャンバTCを介して、待機プロセスチャンバとしての第3プロセスチャンバPC3に搬送し、このプロセスチャンバPC3にて50秒以上ウェハを保持する。ここで、ホルダの設定温度は室温でもよく、また零下に冷却しても構わない。温度が低い方がより好ましい。保持中のチャンバPC3内の圧力はバリアメタル成膜チャンバPC2と同じ、あるいはこれに近い圧力であることが好ましい。
【0030】
その後、真空を破らずに搬送チャンバTCを介して、ウェハをシード成膜チャンバPC4に搬送し、シード膜108としてのCu膜を成膜する。このCu膜の成膜についても前記実施例と同じである。以上のようにバリアメタル/シードCu膜を成膜した後、別装置にてCuメッキしトレンチ105及びビアホール106を埋め込む。その後、N2 雰囲気中で400℃,10分のアニールを施し、CMPにて研磨すると第2メタル配線110とビア111が形成出来る。これらを繰り返すことで、多層配線構造が得られる。
【0031】
このように、バリアメタル成膜後のウェハの保持をバリアメタル成膜チャンバやシード成膜チャンバとは別のチャンバにて実施することで、前記実施例と同様な効果が得られるだけでなく、さらに生産性(スループット)が向上するというメリットがある。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように本発明は、バリアメタル成膜後に真空を破らずシード成膜チャンバとは異なるチャンバ内で50秒以上保持してからシード成膜チャンバに搬送してシード膜を成膜することで、シード膜の凝集が無い良好なシード膜を形成できる。これにより、後工程の金属メッキにてボイドフリーの良好な埋設が可能となり、微細でかつ良好な電気特性の配線構造が製造でき、製造歩留まりを向上する。また、ウェハをバリアメタル成膜チャンバとは異なるチャンバ内で保持することにより、製造効率を向上することも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】デュアルダマシン法の製造方法を示す工程断面図である。
【図2】バリアメタル膜及びシード膜を成膜するシングルモードとデュアルモードの各タイミングを示す図である。
【図3】ウェハの保持時間とシード膜の凝集との関係を示す特性図である。
【図4】バイアメタル/シード成膜装置の概略構成図である。
【図5】第1の実施形態の製造工程を示すフローチャートである。
【図6】 本発明により製造されたビア内のバイアメタル膜及びシード膜と埋め込み金属の断面状態を示す写真である。
【図7】第2の実施形態の製造工程を示すフローチャートである。
【図8】 従来におけるシード膜の凝集を示す断面状態の写真である。
【図9】 従来方法におけるシードCu膜の凝集及びメッキCuの断面状態の写真である。
【図10】図6の写真の模式図である。
【図11】図8の写真の模式図である。
【図12】図9の写真の模式図である。
【符号の説明】
10 バリアメタル/シード成膜装置
101 基板
102 バリアメタル膜
103 第1配線
104 層間絶縁膜
105 トレンチ
106 ビア
107 バリアメタル膜
108 シード膜
109 メッキ金属
110 第2配線
111 ビア
PC1〜PC4 プロセスチャンバ
TC 搬送チャンバ
Claims (6)
- ウェハの表面に凹部を形成する工程と、前記凹部を含む全面にバリアメタル膜を成膜する工程と、前記バリアメタル膜上にCVD法あるいはスパッタ法によりCuまたはCu合金のCu系の金属からなるシード膜を成膜する工程と、前記シード膜を利用したメッキ法により前記凹部を埋める金属を形成する工程とを含む半導体装置の製造方法において、前記バリアメタル膜を成膜する工程後に、前記バリアメタル膜を成膜するチャンバとほぼ同じ環境条件のチャンバ内において前記ウェハを50秒以上保持して冷却する工程と、その後真空を破らずに前記ウェハを前記シード膜を成膜するチャンバに搬送する工程と、を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記バリアメタル膜を成膜するチャンバとほぼ同じ環境条件のチャンバは前記バリアメタル膜を成膜するチャンバであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記バリアメタル膜を成膜するチャンバとほぼ同じ環境条件のチャンバは前記バリアメタル膜を成膜するチャンバとは別のチャンバであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シード膜の成膜に際してはウェハを−40度程度に冷却する工程
を含むことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 前記凹部はウェハに設けられた下層配線上の層間絶縁膜に開口された配線用のトレンチと、前記トレンチ内において前記下層配線に接続するためのビアであることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記金属を形成した後に、前記層間絶縁膜の表面を化学機械研磨法により平坦化する工程を含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001148585A JP4169950B2 (ja) | 2001-05-18 | 2001-05-18 | 半導体装置の製造方法 |
US10/146,049 US6689683B2 (en) | 2001-05-18 | 2002-05-16 | Method of manufacturing a semiconductor device |
TW091110326A TW546772B (en) | 2001-05-18 | 2002-05-16 | Method of manufacturing a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001148585A JP4169950B2 (ja) | 2001-05-18 | 2001-05-18 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002343796A JP2002343796A (ja) | 2002-11-29 |
JP4169950B2 true JP4169950B2 (ja) | 2008-10-22 |
Family
ID=18993872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001148585A Expired - Fee Related JP4169950B2 (ja) | 2001-05-18 | 2001-05-18 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6689683B2 (ja) |
JP (1) | JP4169950B2 (ja) |
TW (1) | TW546772B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4458740B2 (ja) * | 2002-09-13 | 2010-04-28 | 株式会社アルバック | バイアススパッタ成膜方法及びバイアススパッタ成膜装置 |
JP2004311545A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法及び高融点金属膜の堆積装置 |
KR101373338B1 (ko) * | 2003-09-23 | 2014-03-12 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 소자의 제조 방법 |
JP4903373B2 (ja) | 2004-09-02 | 2012-03-28 | ローム株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4903374B2 (ja) | 2004-09-02 | 2012-03-28 | ローム株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7105445B2 (en) * | 2005-01-14 | 2006-09-12 | International Business Machines Corporation | Interconnect structures with encasing cap and methods of making thereof |
US7670946B2 (en) * | 2006-05-15 | 2010-03-02 | Chartered Semiconductor Manufacturing, Ltd. | Methods to eliminate contact plug sidewall slit |
KR101487564B1 (ko) * | 2006-08-30 | 2015-01-29 | 램 리써치 코포레이션 | 구리 상호접속부의 배리어 계면 제작 방법 및 장치 |
US8916232B2 (en) * | 2006-08-30 | 2014-12-23 | Lam Research Corporation | Method for barrier interface preparation of copper interconnect |
US7927990B2 (en) * | 2007-06-29 | 2011-04-19 | Sandisk Corporation | Forming complimentary metal features using conformal insulator layer |
US8487386B2 (en) * | 2009-06-18 | 2013-07-16 | Imec | Method for forming MEMS devices having low contact resistance and devices obtained thereof |
JP6788393B2 (ja) * | 2016-06-29 | 2020-11-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 銅膜を形成する方法 |
US10522468B2 (en) * | 2017-07-31 | 2019-12-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Interconnect structure and method |
US20220319991A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | Nanya Technology Corporation | Semiconductor device with dual barrier layers and method for fabricating the same |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3217319B2 (ja) | 1998-12-11 | 2001-10-09 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6232230B1 (en) * | 1999-01-05 | 2001-05-15 | Advanced Micro Devices, Inc. | Semiconductor interconnect interface processing by high temperature deposition |
US6627542B1 (en) * | 1999-07-12 | 2003-09-30 | Applied Materials, Inc. | Continuous, non-agglomerated adhesion of a seed layer to a barrier layer |
-
2001
- 2001-05-18 JP JP2001148585A patent/JP4169950B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-16 US US10/146,049 patent/US6689683B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-16 TW TW091110326A patent/TW546772B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020173144A1 (en) | 2002-11-21 |
JP2002343796A (ja) | 2002-11-29 |
US6689683B2 (en) | 2004-02-10 |
TW546772B (en) | 2003-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6207222B1 (en) | Dual damascene metallization | |
US7645696B1 (en) | Deposition of thin continuous PVD seed layers having improved adhesion to the barrier layer | |
US6518668B2 (en) | Multiple seed layers for metallic interconnects | |
US6764940B1 (en) | Method for depositing a diffusion barrier for copper interconnect applications | |
US6924226B2 (en) | Methods for making multiple seed layers for metallic interconnects | |
US6334249B2 (en) | Cavity-filling method for reducing surface topography and roughness | |
US20060076244A1 (en) | Barrier enhancement process for copper interconnects | |
US20050124153A1 (en) | Advanced seed layery for metallic interconnects | |
JP2001516146A5 (ja) | ||
JP4169950B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TW201709293A (zh) | 用於內連線的釕金屬特徵部填補 | |
JPH11297696A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20090209098A1 (en) | Multi-Step Cu Seed Layer Formation for Improving Sidewall Coverage | |
JP2004063556A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2002075994A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20040020782A (ko) | 2-단계 도금으로 다마신 배선을 형성하는 방법 | |
JPH0936230A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3727277B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US7655555B2 (en) | In-situ co-deposition of Si in diffusion barrier material depositions with improved wettability, barrier efficiency, and device reliability | |
JP2005044910A (ja) | 配線形成方法及び配線形成装置 | |
JP2001053077A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
TW200301524A (en) | Method for improving electromigration performance of metallization features through multiple depositions of binary alloys | |
JP2003045878A (ja) | 半導体素子の配線形成方法 | |
JP3488586B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3269490B2 (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040525 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040806 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050830 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20050929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051028 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20051108 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20060303 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20070703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080613 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080806 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130815 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |