JP4164027B2 - 元素の質量分析のための装置および方法 - Google Patents
元素の質量分析のための装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4164027B2 JP4164027B2 JP2003527764A JP2003527764A JP4164027B2 JP 4164027 B2 JP4164027 B2 JP 4164027B2 JP 2003527764 A JP2003527764 A JP 2003527764A JP 2003527764 A JP2003527764 A JP 2003527764A JP 4164027 B2 JP4164027 B2 JP 4164027B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron
- mass spectrometer
- population
- particle beam
- ions
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/08—Electron sources, e.g. for generating photo-electrons, secondary electrons or Auger electrons
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
"Ionized Gases" A. von Engel, 2nd edition, Oxford, 1987, p.163 "Physics of Gas Discharge" Y.P. Raizer, Science, Moscow, 1987, p.139 "Physics of Gas Discharge" Y.P. Raizer, Science, Moscow, 1987, p.141
試料の一部を原子化する供給源手段と、
前記供給源手段から、元素試料イオンと干渉多原子または二重荷電イオンとを含む粒子ビームを取り出す手段と、
粒子ビームが通過する領域でかつ粒子が電子母集団を通過する所定の通路長さを限定する領域に、電子母集団を提供する手段であって、前記領域は質量分析計の減圧可能なチャンバ内に配置されているために前記領域を低圧にすることが可能であり、前記電子母集団が有する電子数密度および遊離電子エネルギーは、前記所定の通路長さおよび低圧とあいまって、干渉多原子または二重荷電イオンに優先的にイオン−電子再結合およびそれによる解離を起こし、その結果、粒子ビームから多数の干渉イオンを除去できるような電子数密度および遊離電子エネルギーである電子母集団を提供する手段と、
質量分析のために、粒子ビームが電子母集団を通過した後、粒子ビームからイオンを受け取って試料中の異なる元素の濃度を決定できる、質量分析部およびイオン検知器とを含む、
試料の元素分析のための質量分析計を提供する。
本発明の第1の局面において、たとえばICP質量分析計におけるプラズマイオン供給源または反応セルに別個に供給されたプラズマである、電子の母集団を提供する手段は、少なくとも遊離電子エネルギーを超えてまたは電子数密度を超えて、すなわちプラズマから引き出されるこれらのパラメータの値を超えて提供しない。別の装置では、電子が別個に生成され、この場合、このような電子の電子数密度と遊離電子エネルギーとは、所望通りに確立され得る。
試料の一部を原子化する供給源手段と、
前記供給源手段から、元素試料イオンと干渉多原子または二重荷電イオンとを含む粒子ビームを取り出す手段と、
粒子ビームが通過する領域でかつ粒子が電子母集団を通過する所定の通路長さを限定する領域に、電子母集団を提供する手段であって、前記領域は質量分析計の減圧可能なチャンバ内に配置されているために前記領域を低圧にすることが可能であり、前記電子母集団を提供する手段は、電子母集団の電子数密度および遊離電子エネルギーを、前記所定の通路長さおよび低圧とあいまって、干渉多原子および二重荷電イオンに優先的にイオン−電子再結合およびそれによる解離を起こして粒子ビームから多数の干渉イオンを除去できるような電子数密度および遊離電子エネルギーとして確立することも可能である電子母集団を提供する手段と、
質量分析のために粒子ビームが電子母集団を通過した後、粒子ビームからイオンを受け取って試料中の異なる元素の濃度を決定できる、質量分析部およびイオン検知器とを含む、
試料の元素分析のための質量分析計を提供する。
前記電子発生装置は、内部に電子吸引陽極として作用する管状メッシュ電極が配置された管状電子発生陰極を含んでいてもよく、それによって必要な電子数密度が得られる。前記電子発生装置はさらに、前記管状メッシュ電極である第1の管状メッシュ電極(すなわち陽極)内に配置された第2の管状メッシュ電極を含んでもよく、これは適切な電位を印加することにより作動されて装置内の電子母集団のための適切な遊離電子エネルギーを生ずる。
本発明の第2局面の実施形態における電子発生装置は、ICP質量分析計、マイクロ波誘導プラズマ質量分析計、レーザー誘導プラズマ質量分析計およびグロー放電質量分析計のような元素分析用プラズマ供給源質量分析計とともに使用してもよい。
試料の一部を原子化し、そこから粒子ビームを形成する工程であって、前記ビームが、元素試料イオンと干渉多原子または二重荷電イオンを含む工程と、
所定の低圧領域にある電子数密度と遊離電子エネルギーとを有する電子母集団を形成する工程と、
前記電子母集団に粒子ビームを通過させる工程であって、当該粒子ビームが、電子母集団を通過する所定の通路長さを有し、
前記電子数密度、遊離電子エネルギー、低圧および通路長さが、ビーム中に含まれる干渉多原子または二重荷電イオンが優先的にイオン−電子再結合とそれによる解離とを生じ、その結果ビームから多量のそのようなイオンを除去できるような値である工程と、
得られたビーム中のイオンの質量を質量分析により分析して試料の元素成分を決定する工程と
を含む。
これとは別の場合には、電子母集団の形成は、他のプラズマを発生させ、当該他のプラズマをたとえば粒子ビームを通す反応セルのような領域に供給し、それによってプラズマ電子が電子母集団を形成するようにしてもよい。
電子数密度(ne)、遊離電子エネルギー(Ee)、圧力(P)および通路長さの値は、次の通りである。
電子数密度(ne)>1011cm-3 〜1014cm-3(1011cm-3より大きい)、好ましくは1012cm-3 〜1014cm-3、 さらに好ましくは1013cm-3 〜1014cm-3
遊離電子エネルギー(Ee)>0.01eV〜 < 5eV(0.01eVより大きく、5eV未満)、好ましくは約1eV
圧力(P)<10Torr、 好ましくは<10-3 Torr
通路長さ1〜4cm、好ましくは2〜4cm、さらに好ましくは3〜4cm。
発明の理論的基礎
本発明を支える理論的考察を下記に詳述する。
本発明の理解の基礎を与えるために、このイオン−電子再結合理論を次に説明する。
イオン−電子再結合
イオン−電子再結合は、プラズマにおける公知の電子ロスメカニズムの1つである。
tr = 1/(βne 0)
但し、ne 0は初期電子密度(単位体積あたりの電子数)であり、βはイオン−電子再結合係数(単位時間あたりのイオン−電子再結合数の単位体積倍)を示す。いくつかの気体イオンのβ値は、表1に示されている。
多原子イオンの解離再結合
多原子イオンA2 +の解離再結合は、下記の式で表される。
A2 ++e=A+A+E
但し、eは電子、Aは中性原子で、Eはエネルギーバランスである。
Ar2 ++1.4eV=Ar++Ar
Ar+15.8eV=Ar++e
Ar2 ++e=Ar+Ar+14.4eV
1個のアルゴン二量体イオンの解離再結合からの2個の中性アルゴン原子の生成エネルギー(14.4eV)は、準安定性アルゴン原子の生成エネルギー(Ar*:11.55eV、11.61eV、11.72eV)を十分に上回る。なぜならば、Ar2 + の解離再結合は、通常準安定性原子(Ar*)と安定中性原子(Ar)とを生成するからである。
変換反応によるA2 +の発生
反応 A+A+(運動または励起エネルギー)=A2 ++e
は多原子イオンを生じる。それは、第3の粒子、すなわち通常は他の原子を含む。変換率は、次の式で表される。
但し、kは変換率定数(単位時間あたりの6乗に対する体積単位で表す)で、nは単位体積あたりの種の数を示す。kの測定値のいくつかを表2に示す。
まず、多原子イオンの解離が逆反応しないように条件を選択する。次に、検体イオンのロスのあり得るメカニズムについて考察されねばならない。
会合性変換反応による多原子イオンの生成
会合性変換反応
B++A=AB+
は、比較的高圧で電子密度の小さい領域において起こりうる。
τconv=1/(k.(nA)2)
たとえば、このプロセスによる二原子アルゴンイオンAr2 +の形成を考察する。もしArガスの圧力が10torr(nAr=3.3×1017cm-3)であれば、Ar+イオンが会合性変換によりAr2 +イオンに変換されるまでの寿命は次の式で表される。
1/(k・nAr 2)=1/(10-31cm6/s・1035cm-6)=10-4s
これを、同一圧力、電子密度ne=1011cm-3およびβ=10-7cm3/s(典型的な値)での解離再結合の速度と比較する。
tr=1/(βne 0)=1/(10-7cm3/s.1011cm-3)=10-4s
この場合、τconv=trec=10-4sである。したがって、会合性変換プロセスとバランスのとれた分子解離再結合を行うには、10Torrの圧力と電子密度ne=1011cm-3とで十分である。このことは、10Torrよりも低い圧力と1011cm-3よりも高いneとでは、解離再結合が会合性変換を上回るに違いないということを意味する。
放射再結合
このプロセスは次の式で表される。
但し、hνは、再結合により解放されたエネルギーを除去する電磁放射(光)を表す。放射再結合メカニズムは、検体イオンの重大なロスの危険を(少なくとも理論的には)示さない。
三体衝突における放射再結合
このプロセスは、次の式で表される。
この場合、再結合で解放されたエネルギーは、電磁放射(hν)と第2電子の増加運動エネルギーとに分配される。これは理論的には検体イオンのロスに関する他のメカニズムを表すかもしれないが、それは無視できるものと考えられる。
分子多原子イオンへの解離的電子結合
この反応において、一個の電子は多原子イオンに結合し、衝突のエネルギーは、イオンを形成する原子間の繋がりを破壊する。
このメカニズムは多原子イオンのロスを支持する。反応は結合係数βda=3.4・10-8cm3/sを有しており、これは多原子イオンの解離を助けることができる。
解離イオン−電子再結合に有利な電子特性
遊離電子エネルギーEeは、〜1eVであるべきである。一方で、解離再結合に対して3体の放射再結合の速度が増大することを避けるために、Eeは非常に小さくてはならず、すなわち0.01eVより小さくすべきでない。他方で、Eeは、5eVより小さくあるべきで、これによって、中性および準安定性電子のさらなる電子衝撃イオン化を避けられるからである。
遊離電子の発生する体積Vは1〜4cm3である。
典型的なICP−MS装置におけるイオン電流I+は、0.1〜1μAである。
イオン速度は〜2mm/μsである。これはイオンエネルギー〜10eVにおけるAr2 +の速度である。
多原子イオン減衰の理論的評価
このセクションにおいて、電子母集団は、エレクトロンリアクションセル(ERC)と呼ばれる下記に詳述する本発明の電子発生装置により発生されたものとする。プラズマイオンビームはERCに充満している電子母集団を通過するものとする。
1)ne 〜1013cm-3
tr=1/(βne)であるから、50%レベルまでの多原子再結合の速度は、1μsである。
ERC長さ1cm
アルゴン二量体イオンAr2 +が速度2mm/μsで長さ1cmのERC内で費やす時間は、t=5μsまたは5τrである。多原子減衰αAr2 +=25=32である。
ERC長さ2cm
Ar2 +イオンが長さ2cmのERC内で費やす時間は、t=20μsまたは10τrである。上記の条件を用いた2cmのERC内の多原子減衰αAr2 +=210=1024である。
ERC長さ4cm
Ar2 +イオンが長さ4cmのERC内で費やす時間は、t=20μsまたは20τrである。多原子減衰αAr2 +=220=1048576すなわち〜100万である。
計算のためにCsを検体に選んだ。
βCs 〜10-10cm3/sec
そして式(1) tr = 1/(βne 0)を適用した。
上記セクションに説明した計算の結果を、表4にまとめた。
・10%のみの検体イオン強度ロスで1×1060の多原子イオン減衰は少なくとも理論的に可能である(すなわち、ne=1014cm-3、Ee〜1eV、ERCは4cm長さ、圧力P=10-4〜10-2Torr)。
・4cm長さのERCが、ふつうICP―MSに用いられるアルゴンプラズマ内の遊離電子密度とほぼ同じ電子密度(〜1013cm-3)で干渉を大いに減衰できることは注目に値する。したがって、単にプラズマ電子を保つことにより、わずか1%以下の検体イオンロスで約100万の多原子イオン減衰係数が理論的に達成できる。
下記の種々の実施形態において、図1および図2においてと同じ番号は、対応する部品を示すものとして用いられている。また、チャンバ35,37および41についての記述は、簡明にするために省略した。
図4は、図3に示した実施形態の変形例の概略図である。この実施形態において、ICP−MS50は、図3の実施形態46の部品に加えてERC10内に軸方向の磁界を形成するためのコイル52を含んでいる。これは、原子およびイオンのERC10内の滞在時間を延長する効果を発揮する。
図8は、ICP−MSの概略図であり、これは(上記実施形態の伝送システム38の代わりに)反射イオンオプティクスシステム62を用いてイオンビーム40を90度曲げる。第1ERC10aはサンプラーコーン26のすぐ後ろに配置されており、第2ERC10bはスキマーコーン28の後ろにある取り出し電極48のすぐ後ろに配置されており、また第3ERC10cは、質量分析部42のすぐ前に配置されている。
I. 電子数密度(ne)>1011cm-3〜1014cm-3(1011cm-3より大き
い)
II. 遊離電子エネルギー(Ee)>0.01eV〜<5eV(0.01eVより大き
く、5eV未満)
III. 圧力(P)<10Torr(10Torr未満)
IV. 通路長さ 1〜4cm
好ましくは、遊離電子エネルギー(Ee)は約1eVであり、圧力(P)は10-3Torr未満である。
好ましくは、通路長さは2〜4cmであり、さらに好ましくは3〜4cmである。
ここに詳述した本発明は、変更、変形および/または特記した以外に付加することが可能であり、したがって本発明は、添付の特許請求の範囲内の変更、変形および/または付加を含むものとして理解されるべきである。
Claims (34)
- 試料の一部を原子化する供給源手段と、
前記供給源手段から、元素試料イオンと干渉多原子または二重荷電イオンとを含む粒子ビームを取り出す手段と、
粒子ビームが通過する領域でかつ粒子が電子母集団を通過する所定の通路長さを限定する領域に、電子母集団を提供する手段であって、前記領域は質量分析計の減圧可能なチャンバ内に配置されているために前記領域を低圧にすることが可能であり、前記電子母集団が有する電子数密度および遊離電子エネルギーは、前記所定の通路長さおよび低圧とあいまって、干渉多原子または二重荷電イオンに優先的にイオン−電子再結合およびそれによる解離を起こし、その結果、粒子ビームから多数の干渉イオンを除去できるような電子数密度および遊離電子エネルギーである電子母集団を提供する手段と、
質量分析のために、粒子ビームが電子母集団を通過した後、粒子ビームからイオンを受け取って試料中の異なる元素の濃度を決定できる、質量分析部およびイオン検知器と
を含む、試料の元素分析のための質量分析計。 - 前記供給源手段がプラズマイオン源であり、前記電子母集団を提供する手段は、プラズマからの電子を磁界によって限定された領域に一時的に閉じ込めるために、粒子ビームの軸方向の磁界を提供する装置を備えた、請求項1に記載の質量分析計。
- 前記磁界を提供する手段が電気コイルである、請求項2に記載の質量分析計。
- 前記質量分析計は前記プラズマイオン源と前記質量分析部との間にインタフェースを含んでおり、前記インタフェースはスキマーコーンを背後に有するサンプリングコーンを備えており、前記コイルは前記サンプリングコーンの後ろに配置されている、請求項3に記載の質量分析計。
- 前記コイルが前記サンプリングコーンと前記スキマーコーンとの間に配置されている、請求項4に記載の質量分析計。
- 前記コイルが前記スキマーコーンと前記質量分析部との間に配置されている、請求項4に記載の質量分析計。
- プラズマからの電子を一時的に閉じ込めるために粒子ビームの軸方向の磁界を提供し、それによって粒子ビームが通過する電子母集団を追加提供する追加コイルを含んでおり、前記追加コイルは、前記スキマーコーンの後ろでかつ最初に定義された前記コイルの後ろに配置されている、請求項4に記載の質量分析計。
- 前記電子母集団を提供する手段は、粒子ビームが通過する反応セルを含んでおり、前記反応セルは当該質量分析計の前記減圧可能なチャンバ内に配置されている、請求項1に記載の質量分析計。
- 試料の一部を原子化する供給源手段と、
前記供給源手段から、元素試料イオンと干渉多原子または二重荷電イオンとを含む粒子ビームを取り出す手段と、
粒子ビームが通過する領域でかつ粒子が電子母集団を通過する所定の通路長さを限定する領域に、電子母集団を提供する手段であって、前記領域は質量分析計の減圧可能なチャンバ内に配置されているために前記領域を低圧にすることが可能であり、前記電子母集団を提供する手段は、電子母集団の電子数密度および遊離電子エネルギーを、前記所定の通路長さおよび低圧とあいまって、干渉多原子および二重荷電イオンに優先的にイオン−電子再結合およびそれによる解離を起こして粒子ビームから多数の干渉イオンを除去できるような電子数密度および遊離電子エネルギーとして確立することも可能である電子母集団を提供する手段と、
質量分析のために、粒子ビームが電子母集団を通過した後、粒子ビームからイオンを受け取って試料中の異なる元素の濃度を決定できる、質量分析部およびイオン検知器と
を含む試料の元素分析のための質量分析計。 - 電子母集団を提供する手段が電子発生装置である、請求項9に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置は、発生した電子を閉じ込めて電子母集団を形成するように設計され作動される、請求項10に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置が内部に電子吸引陽極として作用する管状メッシュ電極が配置された管状電子放出陰極を備えた、請求項11に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置は、前記管状陰極の両端に配置されたプレートを備えており、電子を装置内に閉じ込めるために前記プレートに負電位を印加することが可能であり、前記プレートは粒子ビームの出入口用の開口部を有しており、両プレート間の間隔が前記所定の通路長さを決定する、請求項12に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置はさらに、最初に定義された前記管状メッシュ電極内に配置された第2の管状メッシュ電極を備えており、前記第2の管状メッシュ電極は前記遊離電子エネルギーを確立する、請求項12または13に記載の質量分析計。
- 前記供給源手段がプラズマイオン源であり、前記質量分析計は前記プラズマイオン源と前記質量分析部との間にインタフェースを含んでおり、前記インタフェースはスキマーコーンを背後に有するサンプリングコーンを含んでおり、前記電子発生装置は前記インタフェースのサンプリングコーンと前記質量分析部との間に配置されている、請求項10〜14のいずれかに記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置が、前記サンプリングコーンと前記スキマーコーンとの間に配置されている、請求項15に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置が、前記スキマーコーンの後ろに配置されている、請求項15に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置が、前記質量分析部の前に配置されている、請求項15に記載の質量分析計。
- 少なくとも1個の別の電子発生装置をさらに含んでおり、この別の電子発生装置は粒子ビームが通過する少なくとも1個のさらに別の電子母集団を提供し、前記少なくとも2個の電子発生装置は前記インタフェースの前記サンプラーコーンと前記質量分析部との間に配置されている、請求項15に記載の質量分析計。
- プラズマからの電子を磁界によって限定された領域に一時的に閉じ込めるために粒子ビームの軸方向の磁界を提供し、それによって粒子ビームが通過する電子母集団を追加提供する装置をさらに含んでいる、請求項15に記載の質量分析計。
- 前記磁界を提供する装置が電気コイルである、請求項20に記載の質量分析計。
- 前記電気コイルは、前記サンプリングコーンの後ろでかつ前記電子発生装置の前に配置されている、請求項21に記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置または各電子発生装置は、前記電子発生装置にイオン化可能な気体を供給する手段を含んでいる、請求項10〜19のいずれかに記載の質量分析計。
- 前記電子発生装置に供給される気体が水素である、請求項23に記載の質量分析計。
- 試料の一部を原子化し、そこから粒子ビームを形成する工程であって、前記ビームが、元素試料イオンと干渉多原子または二重荷電イオンとを含む工程と、
所定の低圧領域にある電子数密度と遊離電子エネルギーとを有する電子母集団を形成する工程と、
前記電子母集団に粒子ビームを通過させる工程であって、当該粒子ビームが、電子母集団を通過する所定の通路長さを有し、
前記電子数密度、遊離電子エネルギー、低圧および通路長さが、ビーム中に含まれる干渉多原子または二重荷電イオンが優先的にイオン−電子再結合とそれによる解離とを生じ、その結果ビームから多量のそのようなイオンを除去できるような値である工程と、
得られたビーム中のイオンの質量を質量分析により分析して試料の元素成分を決定する工程と
を有する多原子または二重荷電イオン干渉を除去することを含む試料の元素質量分析方法。 - 試料の一部を原子化するプラズマを発生させ磁界を付与して電子母集団を形成することを含み、当該磁界は、プラズマからの電子を粒子ビームが通過する領域内に閉じ込めるように配置されておりかつそのような形状を有している、請求項25に記載の方法。
- 他のプラズマを発生させ、当該他のプラズマを前記領域に供給し、それによってプラズマ電子が電子母集団を形成する工程を含む、請求項26に記載の方法
- 電子発生装置で電子を生成し、生成電子を閉じ込めて電子母集団を形成する、請求項25に記載の方法。
- 生成電子を閉じ込めるように配置および形成される磁界を提供することを含む、請求項28に記載の方法。
- 電子数密度(ne)の範囲が>1011cm-3〜1014cm-3(1011cm-3より大きい)であり、遊離電子エネルギー(Ee)の範囲が>0.01eV〜<5eV(0.01eVより大きく、5eV未満)であり、圧力(P)<10Torr(10Torr未満)であり、前記通路長さの範囲が1〜4cmである、請求項25〜29にいずれかに記載の方法。
- 電子数密度が1012〜1014cm-3であり、遊離電子エネルギーが約1eVであり、圧力は10-3Torr未満である、請求項30に記載の方法。
- 電子数密度が1013〜1014cm-3である、請求項31に記載の方法。
- 前記通路長さが2〜4cmである、請求項30,31または32に記載の方法。
- 通路長さが3〜4cmである請求項33に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AUPR759301 | 2001-09-10 | ||
PCT/AU2002/001239 WO2003023815A1 (en) | 2001-09-10 | 2002-09-10 | Apparatus and method for elemental mass spectrometry |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005502067A JP2005502067A (ja) | 2005-01-20 |
JP4164027B2 true JP4164027B2 (ja) | 2008-10-08 |
Family
ID=3831517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003527764A Expired - Fee Related JP4164027B2 (ja) | 2001-09-10 | 2002-09-10 | 元素の質量分析のための装置および方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7038199B2 (ja) |
JP (1) | JP4164027B2 (ja) |
CA (1) | CA2460204A1 (ja) |
DE (1) | DE10297199T5 (ja) |
GB (1) | GB2396961B (ja) |
WO (1) | WO2003023815A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2002950505A0 (en) * | 2002-07-31 | 2002-09-12 | Varian Australia Pty Ltd | Mass spectrometry apparatus and method |
US7273106B2 (en) * | 2003-03-28 | 2007-09-25 | Shell Oil Company | Surface flow controlled valve and screen |
JP2009507212A (ja) * | 2005-09-02 | 2009-02-19 | オーストラリアン ヌークリア サイエンス アンド テクノロジー オーガニゼイション | 同位体比質量分析計および同位体比の決定方法 |
GB2498173C (en) | 2011-12-12 | 2018-06-27 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Mass spectrometer vacuum interface method and apparatus |
CN104380089A (zh) * | 2012-03-16 | 2015-02-25 | 布鲁克化学分析有限公司 | 一种用于质谱仪器的改进接口 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5256874A (en) * | 1992-03-25 | 1993-10-26 | California Institute Of Technology | Gridded electron reversal ionizer |
GB9219457D0 (en) * | 1992-09-15 | 1992-10-28 | Fisons Plc | Reducing interferences in plasma source mass spectrometers |
GB9612070D0 (en) * | 1996-06-10 | 1996-08-14 | Micromass Ltd | Plasma mass spectrometer |
US6265717B1 (en) * | 1998-07-15 | 2001-07-24 | Agilent Technologies | Inductively coupled plasma mass spectrometer and method |
US6649907B2 (en) * | 2001-03-08 | 2003-11-18 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Charge reduction electrospray ionization ion source |
ATE321356T1 (de) * | 2001-03-22 | 2006-04-15 | Univ Syddansk | Massenspektrometrisches verfahren mit elektroneneinfang durch ionen und massenspektrometer zum durchführen des verfahrens |
-
2002
- 2002-09-10 DE DE10297199T patent/DE10297199T5/de not_active Withdrawn
- 2002-09-10 GB GB0406266A patent/GB2396961B/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-09-10 CA CA002460204A patent/CA2460204A1/en not_active Abandoned
- 2002-09-10 WO PCT/AU2002/001239 patent/WO2003023815A1/en active Application Filing
- 2002-09-10 JP JP2003527764A patent/JP4164027B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-03-09 US US10/489,215 patent/US7038199B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050199795A1 (en) | 2005-09-15 |
GB2396961B (en) | 2005-05-11 |
US7038199B2 (en) | 2006-05-02 |
GB0406266D0 (en) | 2004-04-21 |
WO2003023815A1 (en) | 2003-03-20 |
GB2396961A (en) | 2004-07-07 |
JP2005502067A (ja) | 2005-01-20 |
DE10297199T5 (de) | 2004-08-12 |
CA2460204A1 (en) | 2003-03-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4511039B2 (ja) | 準安定原子衝撃源 | |
JP4636800B2 (ja) | プラズマ質量分析計 | |
US6545270B2 (en) | Plasma mass spectrometer | |
JP3573464B2 (ja) | 閉じ込められたイオンビームの中の選択されたイオンの強度を減少させる方法 | |
US9997335B2 (en) | Plasma source enhanced with booster chamber and low cost plasma strength sensor | |
JP2004257873A (ja) | 試料ガスのイオン化方法およびイオン化装置 | |
JP4164027B2 (ja) | 元素の質量分析のための装置および方法 | |
EP1246226A2 (en) | Partially ionized plasma mass filter | |
JP4692627B2 (ja) | 質量分析装置 | |
US11217437B2 (en) | Electron capture dissociation (ECD) utilizing electron beam generated low energy electrons | |
JPH08111204A (ja) | プラズマイオン質量分析装置及びプラズマイオン質量分析方法 | |
Amemiya et al. | Multicusp type electron cyclotron resonance ion source for plasma processing | |
AU2002328668B2 (en) | Apparatus and method for elemental mass spectrometry | |
Bricker et al. | Charge transfer reactions between xenon ions and iron atoms in an argon-xenon inductively coupled plasma | |
AU2002328668A1 (en) | Apparatus and method for elemental mass spectrometry | |
JP2006189298A (ja) | ガスクロマトグラフ質量分析装置及びそれを用いたバックグラウンドの低減方法 | |
Große-Kreul | Mass spectrometry of ions from atmospheric pressure plasmas | |
JP2926782B2 (ja) | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
JP2006189299A (ja) | ガスクロマトグラフ質量分析装置 | |
Grisham | Negative halogen ion sources | |
EP4193383A1 (en) | Signal-to-noise improvement in fourier transform quadrupole mass spectrometer | |
Higashi et al. | Preliminary results of low pressure discharge experiments of a cylindrical inertial electrostatic confinement fusion device aimed for a small neutron source | |
Mizutani et al. | Mass analysis of negative ions in etching plasma | |
JPH0135469B2 (ja) | ||
Shick Jr | Development and evaluation of radio-frequency powered glow discharge ion sources for mass spectrometry |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080626 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080725 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4164027 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110801 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120801 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130801 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |