JP4162985B2

JP4162985B2 - Vacuum processing system

Info

Publication number: JP4162985B2
Application number: JP2002359567A
Authority: JP
Inventors: 秀幸小田木
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2002-12-11
Filing date: 2002-12-11
Publication date: 2008-10-08
Anticipated expiration: 2022-12-11
Also published as: JP2004193345A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空雰囲気下で基板等の処理対象物を搬送するための移動式真空装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来の移動真空装置を示す斜視図、図８は、従来の移動式真空装置と真空装置との連結部を示す断面図である。
【０００３】
図７に示すように、この移動式真空装置１００は、基板１０３が収容された基板収納用カセット１０４を、移動台車１０７上に設けられた移動真空槽１０１内に配置して移動し、搬送室１２０内に搬入するためのものである。
【０００４】
この移動式真空装置１００においては、移動真空槽１０１の下部に設けられたモータ１０２によってカセット昇降機構１３０を駆動して基板収納用カセット１０４を昇降させるように構成されている。
【０００５】
そして、移動真空槽１０１内の基板１０３を搬送室１２０に搬入する場合には、搬送室１２０側に設けられた中間室１１０に移動真空槽１０１を連結し、仕切りバルブ１０５、１２２を開いて移動真空槽１０１と搬送室１２０を連通する。そして、基板収納用カセット１０４を昇降させ、搬送室１２０内のロボット１２１を用いて移動真空槽１０１内の所定の基板１０３を搬送室１２０に搬入する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の移動式真空装置１００では、仕切りバルブ１０５の開閉を人手で行わなければならないため、基板搬入作業に手間がかかり自動化も困難であるという問題がある。
【０００７】
また、従来の移動式真空装置１００では、給電プラグ１１０からモータ１０２に対して電力を供給するように構成されているため、給電プラグ１１０のセット不良による動作不良が発生するという問題もある。
【０００８】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、移動式真空装置を連結する際の動作の自動化が可能で、しかも給電プラグのセット不良等による動作不良のない移動式真空装置及びそのシステムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた請求項１記載の発明は、処理対象物を搬送するための移動式真空装置と、前記移動式真空装置に連結される真空装置とを有し、前記移動式真空装置が、真空槽本体と、前記処理対象物が搬出入される第１の搬出入口と、前記処理対象物を昇降させる、一端が前記真空槽本体を貫通する昇降機構と、前記昇降機構に動力を伝達する第１の動力伝達部材と、前記第１の搬出入口に設けられた仕切りバルブと、前記仕切りバルブを開閉するための動力を伝達する第２の動力伝達部材とを具備し、前記真空装置が、前記第１の動力伝達部材を介して前記昇降機構を上下方向に駆動させる第１の駆動部と、前記第２の動力伝達部材を介して前記仕切りバルブを開閉方向に駆動させる第２の駆動部とを具備し、前記第１の駆動部の上端部には前記第１の動力伝達部材に対して吸着可能で着脱自在の第１の電磁石が設けられる一方で、前記第２の駆動部には前記第２の動力伝達部材に対して吸着可能で着脱自在の第２の電磁石が設けられ、前記第１の駆動部が上昇して前記第１の電磁石が前記第１の動力伝達部材の下端部に接触したときに当該第１の動力伝達部材が前記第１の電磁石に吸着され、前記第１の駆動部が前記第１の動力伝達部材を介して前記昇降機構を駆動して前記処理対象物を昇降させるように構成されている真空処理システムである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記第１の駆動部は第１のピストン及び第１のシリンダーを含むとともに、前記第２の駆動部は第２のピストン及び第２のシリンダーを含み、前記第１のピストン及び前記第２のピストンの駆動並びに前記第１の電磁石及び前記第２の電磁石の駆動は、所定のシーケンスに従って制御されるものである。
【００１０】
本発明では、移動式真空装置の昇降機構に動力を伝達する第１の動力伝達部材が、真空装置の第１の駆動部の第１の電磁石に対して着脱自在であるとともに、処理対象物の搬出入口を開閉する仕切りバルブを駆動する第２の動力伝達部材が、真空装置の第２の駆動部の第２の電磁石に対して着脱自在となるように構成されていることから、この真空装置の第１の駆動部及び第２の駆動部を所定のシーケンスに従って駆動することにより、従来技術のように、移動式真空装置側で人手によって仕切りバルブを開閉したり昇降機構を駆動する必要がなくなり、その結果、仕切りバルブの開閉動作及びカセットの昇降動作の自動化が可能になり、基板の搬出入の自動化が可能な真空処理システムを容易に構築することができる。
【００１１】
また、本発明の場合、移動式真空装置は、昇降機構を駆動する第１の駆動部が装置外部にあり、従来技術のような昇降機構駆動用のモータに対する給電プラグを設ける必要がないので、給電プラグのセット不良による動作不良の発生のない高信頼性の装置を提供することができる。
【００１２】
本発明の場合、真空装置において、第１及び第２の駆動部として電磁石を用いており、電磁石の磁力を変えるだけで駆動部と動力伝達部材との着脱を行うことができるので、簡素な構成で連結が容易な移動式真空装置を提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る移動式真空装置とこれを用いた真空処理システムの全体を示す斜視図、図２（ａ）（ｂ）は、同移動式真空装置の全体を示す斜視図、図３は、同移動式真空装置を真空装置に連結した状態を示す概略構成図である。
【００１４】
図１に示すように、本実施の形態の真空処理システム１は、一対の真空装置３、５を有しており、各真空装置３、５は、搬送室５０の周囲に複数の処理室６０と、搬入部６１とが設けられて構成されたマルチチャンバー方式の枚葉式の装置である。
【００１５】
図２（ａ）（ｂ）及び図３に示すように、本実施の形態の移動式真空装置７は、移動式台車本体１８と、移動式台車本体１８上に設けられた密封可能な円筒形状の真空槽本体１２とを有している。
【００１６】
本実施の形態の移動式真空装置７は、遠隔操作によって自動的に移動するように構成され、以下に説明する昇降機構２５を有している。
【００１７】
移動式台車本体１８内の天井部には、鉛直方向へ延びるガイド２５ｂが設けられ、このガイド２５ｂに沿って昇降するように、棒状で鉛直方向に配置されたカセット昇降軸２５ｃが真空槽本体１２に貫通した状態で設けられている。
【００１８】
カセット昇降軸２５ｃの下端部には、例えば棒状の第１の被駆動軸２５ａがカセット昇降軸２５ｃと同軸状に固定されている。そして、本実施の形態においては、これらカセット第１の被駆動軸２５ａと昇降軸２５ｃとによって第１の動力伝達部材が構成される。
【００１９】
第１の被駆動軸２５ａの下端部には、磁性材料からなる第１の被駆動部３２が取り付けられている。
【００２０】
第１の被駆動部３２は、後述するように、移動式真空装置７の外部にある第１の電磁石２６によって駆動されるようになっている。
【００２１】
真空槽本体１２内において、カセット昇降軸２５ｃの上端部には、後述する基板収納カセット１４が装着されるようになっている。
【００２２】
図２（ａ）に示すように、真空槽本体１２の側面には、基板収納カセット１４を出し入れするための保守用扉２２が設けられている。
【００２３】
また、真空槽本体１２の側面には、後述する基板（処理対象物）１３を出し入れするための搬出入口３８が形成されている。
【００２４】
真空槽本体１２の搬出入口３８の近傍には、搬出入口３８を開閉するための仕切りバルブ３０が設けられている。
【００２５】
この仕切りバルブ３０は、鉛直下方に配設されたバルブ開閉軸（第２の動力伝達部材）３６によって開閉されるように構成されており、このバルブ開閉軸３６の下端には、後述する第２の被駆動部３４が取り付けられている。
【００２６】
第２の被駆動部３４は、磁性材料からなり、移動式真空装置７の外部に位置する第２の電磁石２８によって駆動されるようになっている。
【００２７】
図３に示すように、本実施の形態の搬送室５０は、所定の位置に設けられた基台６２の上に設けられ、この搬送室６１内には、アーム５２ａを有する基板搬送用の真空ロボット５２が配置されている。
【００２８】
基台６２の移動式真空装置７が配置される側の下部には、水平方向に延びるアーム部６２ａが設けられている。
【００２９】
アーム部６２ａの先端部には、第１の駆動部が設けられている。
第１の駆動部は、後述するように移動式真空装置７を搬送室５０に連結した状態で第１の被駆動部３２の直下近傍に位置するようにアーム部６２ａの長さが設定されている。
【００３０】
第１の駆動部は、第１のシリンダー６４ａを有している。この第１のシリンダー６４ａには、第１のピストン部６６ａが装着され、第１のシリンダー６４ａから上方に突出した保持部６８ａに、第１の電磁石２６が設けられている。
【００３１】
また、第１のシリンダー６４ａ内の空間は、第１のピストン部６６ａによって上空間７０ａと下空間７１ａとに分離されている。
【００３２】
そして、第１のピストン部６６ａの上空間７０ａ及び下空間７１ａは、それぞれ排気・導入管７２ａ及び排気・導入管７４ａを介して図示しない圧縮空気源に接続され、所定のシーケンスに従って上空間７０ａ及び下空間７１ａ内への圧縮空気の導入及び排気を行うようになっている。
【００３３】
一方、アーム部６２ａの中腹部分には、鉛直上方に延びる基部６２ｃが設けられ、この基部６２ｃの先端には、第２のシリンダー６４ｂを有する第２の駆動部が設けられている。
【００３４】
第２のシリンダー６４ｂには、第２のピストン部６６ｂが装着され、第２のシリンダー６４ｂから上方に突出した保持部６８ｂに、第２の電磁石２８が設けられている。
【００３５】
また、第２のシリンダー６４ｂは、第２のピストン部６６ｂによって上空間７０ｂと下空間７１ｂとに分離されている。
【００３６】
そして、第２のピストン部６６ｂの上空間７０ｂ及び下空間７１ｂは、それぞれ排気・導入管７２ｂ及び排気・導入管７４ｂを介して図示しない圧縮空気源に接続され、所定のシーケンスに従って上空間７０ｂ及び下空間７１ｂ内への圧縮空気の導入及び排気を行うようになっている。
【００３７】
また、上述した第１の電磁石２６と第２の電磁石２８は、電源等を有する制御部（図示せず）に接続され、所定のシーケンスに従って駆動されるようになっている。
【００３８】
搬送室５０の移動式真空装置７が配置される側の側面には、基板１３を出し入れするための搬出入口８２が設けられている。この搬出入口８２は、真空槽本体１２に設けられた搬出入口３８と対応する位置に設けられている。
【００３９】
そして、搬出入口８２には、駆動部８０によって駆動される搬送室側仕切りバルブ４０が取り付けられている。
【００４０】
さらに、搬送室側仕切りバルブ４０には、移動式真空装置７から搬送室５０に基板１３を移送するための中間室４２が設けられている。
【００４１】
この中間室４２は、主排気バルブ４４、真空排気ポンプ４６、粗引きポンプ４８等を有する真空排気系４３に接続されている。
【００４２】
中間室４２の側部には、クランプシリンダー５４が取り付けられている。このクランプシリンダー５４は、ヘッド５４ａを伸縮、回転させて中間室４２と仕切りバルブ３０を固定することによって移動式真空装置７と真空装置３とを連結するように構成されている。
【００４３】
以下、本実施の形態の動作について説明する。
図４は、本実施の形態の移動式真空装置を搬入部に配置する際の動作を示す斜視図、図５（ａ）〜（ｃ）は、同移動式真空装置における仕切りバルブの動作を示す斜視図、図６（ａ）（ｂ）は、同移動式真空装置における昇降機構の動作を示す概略構成図である。
【００４４】
まず、図１に示すように、真空装置３又は真空装置５から離れた位置にある移動式真空装置７を、遠隔操作によって移動させ、仕切りバルブ３０を中間室４２側に向けて搬入部６１内に配置させる。
【００４５】
この移動式真空装置７の真空槽本体１２内には、基板１３が収納された基板収納カセット１４が配置されている。
【００４６】
移動式真空装置７を搬入部６１内に配置した状態では、第１の電磁石２６は第１の被駆動部３２の直下近傍に、第２の電磁石２８は第２の被駆動部３４の直下近傍に位置する。
【００４７】
図５（ａ）に示すように、この時点では、第２の被駆動部３４と第２の電磁石２８とが離れた状態にある。
【００４８】
図４に示すように、この状態で、クランプシリンダー５４のアーム５４ａを駆動し、中間室４２を介して真空装置３と移動式真空装置７とを連結する。
【００４９】
次いで、真空排気系４３を駆動し、中間室４２を真空排気する。
そして、排気・導入管７４ａを介して第１のシリンダー６４ａの下空間７１ａに圧縮空気を導入するとともに、排気・導入管７２ａを介して上空間７０ａの排気を行う。
【００５０】
これと同時に図示しない電源を駆動して第１の電磁石２６の通電を行い、図６（ａ）に示すように、第１の電磁石２６を押し上げ第１の被駆動部３２と接触させ、その磁力によって第１の被駆動部３２を第１の電磁石２６に吸着させる。
【００５１】
次に、排気・導入管７２ａを介して第１のシリンダー６４ａの上空間７０ａに圧縮空気を導入しつつ、排気・導入管７２ａを介して上空間７１ａの排気を行い、カセット昇降軸２５ｃを下降させることにより、図６（ｂ）に示すように、基板収納カセット１４に収納された所定の基板１３が真空槽本体１２の搬出入口３８と同じ高さになるようにする。
【００５２】
そして、排気・導入管７４ｂを介して第２のシリンダー６４ｂの下空間７１ｂ内に圧縮空気を導入するとともに、排気・導入管７２ｂを介して上空間７０ａ内の排気を行う。
【００５３】
これと同時に図示しない電源を駆動して第２の電磁石２８の通電を行い、図５（ｂ）に示すように、第２の電磁石２８を押し上げ第２の被駆動部３４と接触させ、その磁力によって第２の被駆動部３４を第２の電磁石２８に吸着させる。
【００５４】
その後、排気・導入管７２ｂを介して第２のシリンダー６４ｂの上空間７０ｂに圧縮空気を導入するとともに、排気・導入管７４ｂを介して下空間７１ｂ内部の排気を行うことにより、第２のピストン部６６ｂを下降させ、図５（ｃ）に示すように、仕切りバルブ３０を開く。
【００５５】
さらに、搬送室側仕切りバルブ駆動部８０を駆動し搬送室側仕切りバルブ４０を開く。
【００５６】
この状態で、真空ロボット５２のアーム５２ａを動作させ、移動式真空装置７の搬出入口３８及び搬送室５０の搬出入口８２を介して所定の基板１３を移動式真空装置７の真空槽本体１２から搬送室５０内に搬入し、さらに処理室６０に搬送して所定の処理を行う。
【００５７】
以後、基板１３の搬送動作と基板収納カセット１４の下降動作を行うことによって、基板収納カセット１４の各段に収納された複数の基板１３を順次処理室６０に搬送する。
【００５８】
一方、処理室６０内で処理された基板１３を、基板収納カセット１４に収納して他の場所に移動させる場合には、所定のシーケンスに従って上述した動作の逆の動作を行い、移動式真空装置７を真空装置３から離間させ、遠隔操作によって所定の場所に移動する。
【００５９】
以上述べたように本実施の形態によれば、従来技術のように、移動式真空装置側で人手によって仕切りバルブを開閉したり昇降機構を駆動する必要がなくなり、その結果、仕切りバルブ３０の開閉動作及び基板収納カセット１４の昇降動作の自動化が可能になり、基板１３の搬出入の自動化が可能な真空処理システムを容易に構築することができる。
【００６０】
また、本実施の形態の移動式真空装置においては、従来技術のような昇降機構駆動用のモータに対する給電プラグを設ける必要がないので、給電プラグのセット不良による動作不良の発生のない高信頼性の装置を提供することができる。
【００６１】
さらに、本実施の形態においては、第１及び第２の電磁石２６、２８を用いて昇降機構２５及び仕切りバルブ３０を駆動するようにしたことから、簡素な構成で連結が容易な移動式真空装置７を提供することができる。
【００６２】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上述の実施の形態においては、第１及び第２の駆動部を圧縮空気によって動作するシリンダーを用いて駆動するように構成したが、本発明はこれに限られず、例えば電動式モータで駆動するように構成することも可能である。
【００６３】
また、上述の実施の形態においては、ロボットを有する搬送室に対して移動式真空装置を連結するようにしたが、本発明はこれに限られず、種々の真空装置に対して移動式真空装置を連結することができるものである。
【００６４】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、仕切りバルブの開閉動作及びカセットの昇降動作の自動化が可能になり、基板の搬出入の自動化が可能な真空処理システムを容易に構築することができる。
また、本発明によれば、給電プラグのセット不良による動作不良の発生のない高信頼性の装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る移動式真空装置とこれを用いた真空処理システムの全体を示す斜視図
【図２】（ａ）（ｂ）：同移動式真空装置の全体を示す斜視図
【図３】同移動式真空装置を真空装置に連結した状態を示す概略構成図
【図４】同移動式真空装置を搬入部に配置する際の動作を示す斜視図
【図５】（ａ）〜（ｃ）：同移動式真空装置における仕切りバルブの動作を示す斜視図
【図６】同移動式真空装置における昇降機構の動作を示す概略構成図
【図７】（ａ）（ｂ）：従来の移動真空装置の構成を示す斜視図
【図８】従来の移動式真空装置と成膜装置との連結部を示す断面図
【符号の説明】
１…真空処理システム３、５…真空装置７…移動式真空装置１２…真空槽本体１３…基板１４…基板収納カセット２５…昇降機構２５ａ…第１の被駆動軸２５ｂ…ガイド２５ｃ…カセット昇降軸２６…第１の電磁石２８…第２の電磁石３０…仕切りバルブ３２…第１の被駆動部３４…第２の被駆動部３６…バルブ開閉軸（第２の動力伝達部材）３８…搬出入口４０…搬送室側仕切りバルブ５０…搬送室６０…処理室６１…搬入部６２…基台８２…搬出入口[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a mobile vacuum apparatus for transporting a processing object such as a substrate in a vacuum atmosphere.
[0002]
[Prior art]
FIG. 7 is a perspective view showing a conventional mobile vacuum device, and FIG. 8 is a cross-sectional view showing a connecting portion between the conventional mobile vacuum device and the vacuum device.
[0003]
As shown in FIG. 7, this mobile vacuum apparatus 100 moves a substrate storage cassette 104 in which a substrate 103 is stored in a mobile vacuum chamber 101 provided on a mobile carriage 107, and moves the transfer chamber. It is for carrying in in 120.
[0004]
The mobile vacuum apparatus 100 is configured such that a cassette lifting mechanism 130 is driven by a motor 102 provided at a lower portion of the mobile vacuum chamber 101 to raise and lower the substrate storage cassette 104.
[0005]
When the substrate 103 in the moving vacuum chamber 101 is carried into the transfer chamber 120, the moving vacuum chamber 101 is connected to the intermediate chamber 110 provided on the transfer chamber 120 side, and the partition valves 105 and 122 are opened to move. The vacuum chamber 101 and the transfer chamber 120 are communicated. Then, the substrate storage cassette 104 is moved up and down, and a predetermined substrate 103 in the moving vacuum chamber 101 is carried into the transfer chamber 120 using the robot 121 in the transfer chamber 120.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional mobile vacuum device 100, since the gate valve 105 has to be manually opened and closed, there is a problem that it is difficult to automate the substrate loading work.
[0007]
In addition, since the conventional mobile vacuum apparatus 100 is configured to supply power from the power supply plug 110 to the motor 102, there is also a problem that an operation failure due to a defective setting of the power supply plug 110 occurs.
[0008]
The present invention has been made to solve the above-described problems of the prior art, and can automate the operation when connecting the mobile vacuum device, and does not have a malfunction due to a set failure of the power supply plug. It is an object of the present invention to provide a mobile vacuum apparatus and its system.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1 made to achieve the above object comprises a mobile vacuum device for transporting an object to be processed and a vacuum device connected to the mobile vacuum device, the mobile type A vacuum apparatus includes a vacuum chamber body, a first carry-in / out port through which the processing object is carried in and out, a lifting mechanism that lifts and lowers the processing object, one end penetrating the vacuum tank body, and the lifting mechanism A first power transmission member for transmitting power; a partition valve provided at the first carry-in / out opening; and a second power transmission member for transmitting power for opening and closing the partition valve; A vacuum device includes a first drive unit that drives the lifting mechanism in the vertical direction via the first power transmission member, and a first drive unit that drives the partition valve in the opening / closing direction via the second power transmission member. Two drive units, the first A first electromagnet that can be attached to and detached from the first power transmission member is provided at an upper end portion of the drive unit, while a second electromagnet is disposed on the second drive unit with respect to the second power transmission member. A second electromagnet that can be adsorbed and detachable, and the first driving unit is raised and the first electromagnet comes into contact with the lower end of the first power transmission member. A power transmission member is attracted to the first electromagnet, and the first drive unit is configured to drive the lifting mechanism through the first power transmission member to raise and lower the processing object. It is a vacuum processing system .
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the first drive unit includes a first piston and a first cylinder, and the second drive unit includes a second piston and a second piston. The driving of the first piston and the second piston and the driving of the first electromagnet and the second electromagnet are controlled according to a predetermined sequence .
[0010]
With the present invention, the first power transmission member for transmitting power to the temperature descending mechanism of the mobile vacuum device is detachable from the first electromagnet of the first drive portion of the vacuum apparatus, processed since the second power transmission member that drives the partition valve for opening and closing the transfer port of the object is configured so as to be detachable from the second electromagnet of the second drive portion of the vacuum apparatus, by driving the first driver and the second driver of the vacuum apparatus in accordance with a predetermined sequence, as in the prior art, to drive the elevator mechanism or by opening and closing the partition valve manually by moving vacuum apparatus As a result, the opening / closing operation of the partition valve and the raising / lowering operation of the cassette can be automated, and a vacuum processing system capable of automating the loading / unloading of the substrate can be easily constructed.
[0011]
Further, in the case of the present invention , the mobile vacuum device has the first drive unit for driving the lifting mechanism outside the device, and it is not necessary to provide a power supply plug for the lifting mechanism driving motor as in the prior art. It is possible to provide a highly reliable device that does not cause an operation failure due to a power supply plug set failure.
[0012]
For the present invention, in the vacuum device, and by using the electromagnet as the first and second drive unit, it is possible to perform the attachment and detachment of the drive unit and the power transmission member by changing the magnetic force of the electromagnet, a simple structure Thus, a mobile vacuum device that can be easily connected can be provided.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing an entire mobile vacuum apparatus and a vacuum processing system using the mobile vacuum apparatus according to the present invention, and FIGS. 2A and 2B are perspective views showing the entire mobile vacuum apparatus. 3 is a schematic configuration diagram showing a state in which the movable vacuum device is connected to the vacuum device.
[0014]
As shown in FIG. 1, the vacuum processing system 1 of the present embodiment has a pair of vacuum devices 3 and 5, and each vacuum device 3 and 5 has a plurality of processing chambers 60 around a transfer chamber 50. And a multi-chamber type single-wafer apparatus configured to include a carry-in unit 61.
[0015]
As shown in FIGS. 2A and 2B and FIG. 3, the mobile vacuum device 7 of this embodiment includes a mobile carriage body 18 and a sealable cylindrical shape provided on the mobile carriage body 18. The vacuum chamber main body 12 is provided.
[0016]
The mobile vacuum device 7 of the present embodiment is configured to automatically move by remote operation, and has an elevating mechanism 25 described below.
[0017]
A guide 25b extending in the vertical direction is provided in the ceiling portion of the movable carriage main body 18, and a cassette lifting shaft 25c arranged vertically in a bar shape so as to move up and down along the guide 25b is provided in the vacuum chamber main body 12. It is provided in a state of penetrating through.
[0018]
For example, a rod-shaped first driven shaft 25a is fixed to the lower end portion of the cassette lifting shaft 25c coaxially with the cassette lifting shaft 25c. In the present embodiment, the cassette first driven shaft 25a and the lifting shaft 25c constitute a first power transmission member.
[0019]
A first driven portion 32 made of a magnetic material is attached to the lower end portion of the first driven shaft 25a.
[0020]
As will be described later, the first driven portion 32 is driven by a first electromagnet 26 outside the mobile vacuum device 7.
[0021]
In the vacuum chamber body 12, a substrate storage cassette 14 to be described later is mounted on the upper end portion of the cassette lifting shaft 25c.
[0022]
As shown in FIG. 2A, a maintenance door 22 for inserting and removing the substrate storage cassette 14 is provided on the side surface of the vacuum chamber body 12.
[0023]
In addition, on the side surface of the vacuum chamber body 12, a loading / unloading port 38 for taking in and out a substrate ( processing object) 13 to be described later is formed.
[0024]
A partition valve 30 for opening and closing the carry-in / out port 38 is provided in the vicinity of the carry-in / out port 38 of the vacuum chamber body 12.
[0025]
The partition valve 30 is configured to be opened and closed by a valve opening / closing shaft (second power transmission member) 36 disposed vertically below, and a lower end of the valve opening / closing shaft 36 is provided with a second described later. The driven part 34 is attached.
[0026]
The second driven portion 34 is made of a magnetic material, and is driven by a second electromagnet 28 located outside the mobile vacuum device 7.
[0027]
As shown in FIG. 3, the transfer chamber 50 according to the present embodiment is provided on a base 62 provided at a predetermined position, and the transfer chamber 61 has a vacuum for transferring a substrate having an arm 52a. A robot 52 is arranged.
[0028]
An arm portion 62a extending in the horizontal direction is provided at a lower portion of the base 62 on the side where the movable vacuum device 7 is disposed.
[0029]
A first drive unit is provided at the tip of the arm unit 62a.
The length of the arm portion 62a is set so that the first driving portion is positioned in the vicinity of the first driven portion 32 in a state where the movable vacuum device 7 is connected to the transfer chamber 50 as described later. Yes.
[0030]
The first drive unit has a first cylinder 64a. A first piston portion 66a is mounted on the first cylinder 64a, and a first electromagnet 26 is provided on a holding portion 68a protruding upward from the first cylinder 64a.
[0031]
The space in the first cylinder 64a is separated into an upper space 70a and a lower space 71a by the first piston portion 66a.
[0032]
The upper space 70a and the lower space 71a of the first piston portion 66a are connected to a compressed air source (not shown) via an exhaust / introduction pipe 72a and an exhaust / introduction pipe 74a, respectively, and according to a predetermined sequence, the upper space 70a and The compressed air is introduced into and exhausted from the lower space 71a.
[0033]
On the other hand, a base portion 62c extending vertically upward is provided in the middle part of the arm portion 62a, and a second drive portion having a second cylinder 64b is provided at the tip of the base portion 62c.
[0034]
A second piston part 66b is mounted on the second cylinder 64b, and a second electromagnet 28 is provided on a holding part 68b protruding upward from the second cylinder 64b.
[0035]
The second cylinder 64b is separated into an upper space 70b and a lower space 71b by the second piston portion 66b.
[0036]
The upper space 70b and the lower space 71b of the second piston portion 66b are connected to a compressed air source (not shown) via an exhaust / introduction pipe 72b and an exhaust / introduction pipe 74b, respectively, and according to a predetermined sequence, the upper space 70b and The compressed air is introduced into and exhausted from the lower space 71b.
[0037]
Further, the first electromagnet 26 and the second electromagnet 28 described above are connected to a control unit (not shown) having a power source and the like, and are driven in accordance with a predetermined sequence.
[0038]
On the side surface of the transfer chamber 50 on the side where the mobile vacuum device 7 is disposed, a carry-in / out port 82 for taking in and out the substrate 13 is provided. The carry-in / out port 82 is provided at a position corresponding to the carry-in / out port 38 provided in the vacuum chamber body 12.
[0039]
A transfer chamber side partition valve 40 driven by the drive unit 80 is attached to the carry-in / out port 82.
[0040]
Further, the transfer chamber side partition valve 40 is provided with an intermediate chamber 42 for transferring the substrate 13 from the mobile vacuum device 7 to the transfer chamber 50.
[0041]
The intermediate chamber 42 is connected to a vacuum exhaust system 43 having a main exhaust valve 44, a vacuum exhaust pump 46, a roughing pump 48, and the like.
[0042]
A clamp cylinder 54 is attached to the side of the intermediate chamber 42. The clamp cylinder 54 is configured to connect the movable vacuum device 7 and the vacuum device 3 by fixing the intermediate chamber 42 and the partition valve 30 by expanding and contracting and rotating the head 54a.
[0043]
Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described.
FIG. 4 is a perspective view showing an operation when the mobile vacuum device of the present embodiment is disposed in the carry-in portion, and FIGS. 5A to 5C show an operation of the partition valve in the mobile vacuum device. FIGS. 6A and 6B are schematic configuration diagrams showing the operation of the lifting mechanism in the movable vacuum apparatus.
[0044]
First, as shown in FIG. 1, the movable vacuum device 7 located at a position away from the vacuum device 3 or the vacuum device 5 is moved by remote operation, and the partition valve 30 is directed toward the intermediate chamber 42 to enter the carry-in portion 61. To be placed.
[0045]
A substrate storage cassette 14 in which a substrate 13 is stored is disposed in the vacuum chamber body 12 of the mobile vacuum device 7.
[0046]
In a state where the mobile vacuum device 7 is disposed in the carry-in portion 61, the first electromagnet 26 is in the vicinity immediately below the first driven portion 32, and the second electromagnet 28 is in the vicinity immediately below the second driven portion 34. Located in.
[0047]
As shown in FIG. 5A, at this point, the second driven portion 34 and the second electromagnet 28 are in a separated state.
[0048]
As shown in FIG. 4, in this state, the arm 54 a of the clamp cylinder 54 is driven to connect the vacuum device 3 and the movable vacuum device 7 via the intermediate chamber 42.
[0049]
Next, the evacuation system 43 is driven to evacuate the intermediate chamber 42.
The compressed air is introduced into the lower space 71a of the first cylinder 64a through the exhaust / introduction pipe 74a, and the upper space 70a is exhausted through the exhaust / introduction pipe 72a.
[0050]
At the same time, a power source (not shown) is driven to energize the first electromagnet 26, and as shown in FIG. 6A, the first electromagnet 26 is pushed up and brought into contact with the first driven part 32, and the magnetic force Thus, the first driven part 32 is attracted to the first electromagnet 26.
[0051]
Next, while introducing compressed air into the upper space 70a of the first cylinder 64a through the exhaust / introduction pipe 72a, the upper space 71a is exhausted through the exhaust / introduction pipe 72a, and the cassette lifting shaft 25c is lowered. By doing so, as shown in FIG. 6B, the predetermined substrate 13 stored in the substrate storage cassette 14 is set to the same height as the carry-in / out port 38 of the vacuum chamber body 12.
[0052]
Then, the compressed air is introduced into the lower space 71b of the second cylinder 64b through the exhaust / introduction pipe 74b, and the upper space 70a is exhausted through the exhaust / introduction pipe 72b.
[0053]
At the same time, a power source (not shown) is driven to energize the second electromagnet 28, and the second electromagnet 28 is pushed up and brought into contact with the second driven portion 34 as shown in FIG. Thus, the second driven portion 34 is attracted to the second electromagnet 28.
[0054]
Thereafter, the compressed air is introduced into the upper space 70b of the second cylinder 64b through the exhaust / introduction pipe 72b, and the inside of the lower space 71b is exhausted through the exhaust / introduction pipe 74b, whereby the second piston The part 66b is lowered and the gate valve 30 is opened as shown in FIG.
[0055]
Further, the transfer chamber side partition valve driving unit 80 is driven to open the transfer chamber side partition valve 40.
[0056]
In this state, the arm 52a of the vacuum robot 52 is operated, and the predetermined substrate 13 is removed from the vacuum chamber body 12 of the mobile vacuum device 7 via the carry-in / out port 38 of the mobile vacuum device 7 and the carry-in / out port 82 of the transfer chamber 50. It is carried into the transfer chamber 50 and further transferred to the processing chamber 60 for predetermined processing.
[0057]
Thereafter, the plurality of substrates 13 stored in each stage of the substrate storage cassette 14 are sequentially transferred to the processing chamber 60 by performing the transfer operation of the substrate 13 and the lowering operation of the substrate storage cassette 14.
[0058]
On the other hand, when the substrate 13 processed in the processing chamber 60 is stored in the substrate storage cassette 14 and moved to another place, the above-described operation is reversed according to a predetermined sequence, and the mobile vacuum device 7 is moved away from the vacuum device 3 and moved to a predetermined place by remote control.
[0059]
As described above, according to the present embodiment, it is not necessary to manually open and close the partition valve or drive the lifting mechanism on the mobile vacuum apparatus side as in the prior art, and as a result, the partition valve 30 can be opened and closed. The operation and the raising / lowering operation of the substrate storage cassette 14 can be automated, and a vacuum processing system capable of automating the loading / unloading of the substrate 13 can be easily constructed.
[0060]
Further, in the mobile vacuum apparatus according to the present embodiment, since there is no need to provide a power supply plug for the motor for driving the lifting mechanism as in the prior art, high reliability without causing a malfunction due to a power supply plug set failure. Can be provided.
[0061]
Furthermore, in the present embodiment, since the elevating mechanism 25 and the partition valve 30 are driven using the first and second electromagnets 26 and 28, the mobile vacuum apparatus that can be easily connected with a simple configuration. 7 can be provided.
[0062]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made.
For example, in the above-described embodiment, the first and second drive units are configured to be driven using a cylinder that is operated by compressed air. However, the present invention is not limited to this, and is driven by, for example, an electric motor. It is also possible to configure so as to.
[0063]
In the above-described embodiment, the mobile vacuum device is connected to the transfer chamber having the robot. However, the present invention is not limited to this, and the mobile vacuum device is used for various vacuum devices. It can be connected.
[0064]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the opening / closing operation of the partition valve and the raising / lowering operation of the cassette can be automated, and a vacuum processing system capable of automating the loading / unloading of the substrate can be easily constructed.
In addition, according to the present invention, it is possible to provide a highly reliable apparatus that does not cause an operation failure due to a setting failure of the power supply plug.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an entire mobile vacuum apparatus and a vacuum processing system using the mobile vacuum apparatus according to the present invention. FIGS. 2A and 2B are perspective views showing the entire mobile vacuum apparatus. 3 is a schematic configuration diagram showing a state in which the mobile vacuum device is connected to the vacuum device. FIG. 4 is a perspective view showing an operation when the mobile vacuum device is arranged in the carry-in portion. c): Perspective view showing the operation of the partition valve in the mobile vacuum device FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing the operation of the lifting mechanism in the mobile vacuum device. FIG. 7 (a) (b): Conventional movement FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of the vacuum apparatus.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vacuum processing system 3, 5 ... Vacuum device 7 ... Mobile vacuum device 12 ... Vacuum tank main body 13 ... Substrate 14 ... Substrate storage cassette 25 ... Lifting mechanism 25a ... First driven shaft 25b ... Guide 25c ... Cassette lifting shaft DESCRIPTION OF SYMBOLS 26 ... 1st electromagnet 28 ... 2nd electromagnet 30 ... Partition valve 32 ... 1st driven part 34 ... 2nd driven part 36 ... Valve opening-and-closing axis | shaft (2nd power transmission member) 38 ... Carrying in / out port 40 ... transfer chamber side partition valve 50 ... transfer chamber 60 ... processing chamber 61 ... loading section 62 ... base 82 ... loading / unloading port

Claims

処理対象物を搬送するための移動式真空装置と、前記移動式真空装置に連結される真空装置とを有し、A mobile vacuum device for transporting the object to be processed, and a vacuum device connected to the mobile vacuum device;
前記移動式真空装置が、真空槽本体と、前記処理対象物が搬出入される第１の搬出入口と、前記処理対象物を昇降させる、一端が前記真空槽本体を貫通する昇降機構と、前記昇降機構に動力を伝達する第１の動力伝達部材と、前記第１の搬出入口に設けられた仕切りバルブと、前記仕切りバルブを開閉するための動力を伝達する第２の動力伝達部材とを具備し、The mobile vacuum device includes a vacuum chamber main body, a first carry-in / out port through which the processing object is carried in and out, a lifting mechanism that lifts and lowers the processing target, and one end penetrates the vacuum tank main body, A first power transmission member for transmitting power to the lifting mechanism; a partition valve provided at the first carry-in / out opening; and a second power transmission member for transmitting power for opening and closing the partition valve. And
前記真空装置が、前記第１の動力伝達部材を介して前記昇降機構を上下方向に駆動させる第１の駆動部と、前記第２の動力伝達部材を介して前記仕切りバルブを開閉方向に駆動させる第２の駆動部とを具備し、The vacuum device drives the elevating mechanism in the vertical direction via the first power transmission member, and drives the partition valve in the opening / closing direction via the second power transmission member. A second drive unit,
前記第１の駆動部の上端部には前記第１の動力伝達部材に対して吸着可能で着脱自在の第１の電磁石が設けられる一方で、前記第２の駆動部には前記第２の動力伝達部材に対して吸着可能で着脱自在の第２の電磁石が設けられ、The upper end of the first drive unit is provided with a first electromagnet that can be attracted to and detached from the first power transmission member, while the second drive unit has the second power. A second electromagnet that can be attached to and detached from the transmission member;
前記第１の駆動部が上昇して前記第１の電磁石が前記第１の動力伝達部材の下端部に接触したときに当該第１の動力伝達部材が前記第１の電磁石に吸着され、前記第１の駆動部が前記第１の動力伝達部材を介して前記昇降機構を駆動して前記処理対象物を昇降させるように構成されている真空処理システム。When the first drive unit is raised and the first electromagnet comes into contact with the lower end of the first power transmission member, the first power transmission member is attracted to the first electromagnet, A vacuum processing system configured such that one driving unit drives the lifting mechanism via the first power transmission member to raise and lower the processing object.

前記第１の駆動部は第１のピストン及び第１のシリンダーを含むとともに、前記第２の駆動部は第２のピストン及び第２のシリンダーを含み、前記第１のピストン及び前記第２のピストンの駆動並びに前記第１の電磁石及び前記第２の電磁石の駆動は、所定のシーケンスに従って制御される請求項１記載の真空処理システム。The first drive unit includes a first piston and a first cylinder, and the second drive unit includes a second piston and a second cylinder, and the first piston and the second piston. The vacuum processing system according to claim 1, wherein the driving of the first electromagnet and the driving of the second electromagnet are controlled according to a predetermined sequence.