JP2004193345A - Translocation vacuum equipment, vacuum equipment, and vacuum treatment system - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide translocation vacuum equipment which is capable of automating the operation when coupling translocation vacuum equipment and free from imperfect operations due to imperfect setting of a power supply plug. <P>SOLUTION: The translocation vacuum equipment 7 is provided with a vacuum tank main body 12 which is constituted to be capable of sealing and translocation. A loading/unloading port 38 for taking a substrate 13 accommodated in a substrate housing cassette 14 is formed in the main body 12. Elevating mechanism 25 for moving the cassette 14 up and down is arranged in the main body 12, and driven by a first running gear 25a which is driven by a first detachable electromagnet 26 outside the equipment. A partition bulb 30 for opening and closing the port 38 of the main body 12 is installed and driven by a second running gear 34 which is driven by a second detachable electromagnet 28 existing outside the equipment. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空雰囲気下で基板等の処理対象物を搬送するための移動式真空装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７は、従来の移動真空装置を示す斜視図、図８は、従来の移動式真空装置と真空装置との連結部を示す断面図である。
【０００３】
図７に示すように、この移動式真空装置１００は、基板１０３が収容された基板収納用カセット１０４を、移動台車１０７上に設けられた移動真空槽１０１内に配置して移動し、搬送室１２０内に搬入するためのものである。
【０００４】
この移動式真空装置１００においては、移動真空槽１０１の下部に設けられたモータ１０２によってカセット昇降機構１３０を駆動して基板収納用カセット１０４を昇降させるように構成されている。
【０００５】
そして、移動真空槽１０１内の基板１０３を搬送室１２０に搬入する場合には、搬送室１２０側に設けられた中間室１１０に移動真空槽１０１を連結し、仕切りバルブ１０５、１２２を開いて移動真空槽１０１と搬送室１２０を連通する。そして、基板収納用カセット１０４を昇降させ、搬送室１２０内のロボット１２１を用いて移動真空槽１０１内の所定の基板１０３を搬送室１２０に搬入する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の移動式真空装置１００では、仕切りバルブ１０５の開閉を人手で行わなければならないため、基板搬入作業に手間がかかり自動化も困難であるという問題がある。
【０００７】
また、従来の移動式真空装置１００では、給電プラグ１１０からモータ１０２に対して電力を供給するように構成されているため、給電プラグ１１０のセット不良による動作不良が発生するという問題もある。
【０００８】
本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、移動式真空装置を連結する際の動作の自動化が可能で、しかも給電プラグのセット不良等による動作不良のない移動式真空装置及びそのシステムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためになされた請求項１記載の発明は、密封可能で移動可能に構成され、搬入された所定のカセットを昇降させる昇降機構を有し、前記カセットに収容された搬送対象物を出し入れするための搬出入口が設けられた真空槽と、前記搬出入口を開閉するバルブと、装置外部にある第１の駆動部によって駆動され、第１の動力伝達部材を介して前記カセットに動力を伝達するための第１の被駆動部と、装置外部にある第２の駆動部によって駆動され、第２の動力伝達部材を介して前記バルブに動力を伝達するための第２の被駆動部とを有し、前記第１の被駆動部が前記第１の駆動部に対して着脱自在に構成されているとともに、前記第２の被駆動部が前記第２の駆動部に対して着脱自在に構成されている移動式真空装置である。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記第１の駆動部が電磁石を有しているものである。
請求項３記載の発明は、請求項１又は２のいずれか１項記載の発明において、前記第２の駆動部が電磁石を有しているものである。
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項記載の移動式真空装置と連結可能に構成され、前記移動式真空装置の搬出入口と連結可能な搬出入口を有する真空槽と、前記第１の駆動部と、前記第２の駆動部とを有し、前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部が所定のシーケンスに従って駆動するように構成されている真空装置である。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至３記載の移動式真空装置と、請求項４記載の真空装置とを有する真空処理システムである。
【００１０】
本発明の移動式真空装置は、カセット昇降用の昇降機構を駆動する第１の被駆動部が、装置外部にある真空装置の第１の駆動部に対して着脱自在であるとともに、搬送対象物の搬出入口を開閉するバルブを駆動する第２の被駆動部が、装置外部にある真空装置の第２の駆動部に対して着脱自在であり、この真空装置の第１の駆動部及び第２の駆動部が所定のシーケンスに従って駆動するように構成されているので、従来技術のように、移動式真空装置側で人手によって仕切りバルブを開閉したり昇降機構を駆動する必要がなくなり、その結果、仕切りバルブの開閉動作及びカセットの昇降動作の自動化が可能になり、基板の搬出入の自動化が可能な真空処理システムを容易に構築することができる。
【００１１】
また、本発明の移動式真空装置は、昇降機構を駆動する第１の駆動部が装置外部にあり、従来技術のような昇降機構駆動用のモータに対する給電プラグを設ける必要がないので、給電プラグのセット不良による動作不良の発生のない高信頼性の装置を提供することができる。
【００１２】
本発明の真空装置において、第１及び第２の駆動部として電磁石を用いた場合には、電磁石の磁力を変えるだけで駆動部と被駆動部との着脱を行うことができるので、簡素な構成で連結が容易な移動式真空装置を提供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明に係る移動式真空装置とこれを用いた真空処理システムの全体を示す斜視図、図２（ａ）（ｂ）は、同移動式真空装置の全体を示す斜視図、図３は、同移動式真空装置を真空装置に連結した状態を示す概略構成図である。
【００１４】
図１に示すように、本実施の形態の真空処理システム１は、一対の真空装置３、５を有しており、各真空装置３、５は、搬送室５０の周囲に複数の処理室６０と、搬入部６１とが設けられて構成されたマルチチャンバー方式の枚葉式の装置である。
【００１５】
図２（ａ）（ｂ）及び図３に示すように、本実施の形態の移動式真空装置７は、移動式台車本体１８と、移動式台車本体１８上に設けられた密封可能な円筒形状の真空槽本体１２とを有している。
【００１６】
本実施の形態の移動式真空装置７は、遠隔操作によって自動的に移動するように構成され、以下に説明する昇降機構２５を有している。
【００１７】
移動式台車本体１８内の天井部には、鉛直方向へ延びるガイド２５ｂが設けられ、このガイド２５ｂに沿って昇降するように、棒状で鉛直方向に配置されたカセット昇降軸２５ｃが真空槽本体１２に貫通した状態で設けられている。
【００１８】
カセット昇降軸２５ｃの下端部には、例えば棒状の第１の被駆動軸２５ａがカセット昇降軸２５ｃと同軸状に固定されている。そして、本実施の形態においては、これらカセット第１の被駆動軸２５ａと昇降軸２５ｃとによって第１の動力伝達部材が構成される。
【００１９】
第１の被駆動軸２５ａの下端部には、磁性材料からなる第１の被駆動部３２が取り付けられている。
【００２０】
第１の被駆動部３２は、後述するように、移動式真空装置７の外部にある第１の電磁石２６によって駆動されるようになっている。
【００２１】
真空槽本体１２内において、カセット昇降軸２５ｃの上端部には、後述する基板収納カセット１４が装着されるようになっている。
【００２２】
図２（ａ）に示すように、真空槽本体１２の側面には、基板収納カセット１４を出し入れするための保守用扉２２が設けられている。
【００２３】
また、真空槽本体１２の側面には、後述する基板（搬送対象物）１３を出し入れするための搬出入口３８が形成されている。
【００２４】
真空槽本体１２の搬出入口３８の近傍には、搬出入口３８を開閉するための仕切りバルブ３０が設けられている。
【００２５】
この仕切りバルブ３０は、鉛直下方に配設されたバルブ開閉軸（第２の動力伝達部材）３６によって開閉されるように構成されており、このバルブ開閉軸３６の下端には、後述する第２の被駆動部３４が取り付けられている。
【００２６】
第２の被駆動部３４は、磁性材料からなり、移動式真空装置７の外部に位置する第２の電磁石２８によって駆動されるようになっている。
【００２７】
図３に示すように、本実施の形態の搬送室５０は、所定の位置に設けられた基台６２の上に設けられ、この搬送室６１内には、アーム５２ａを有する基板搬送用の真空ロボット５２が配置されている。
【００２８】
基台６２の移動式真空装置７が配置される側の下部には、水平方向に延びるアーム部６２ａが設けられている。
【００２９】
アーム部６２ａの先端部には、第１の駆動部が設けられている。
第１の駆動部は、後述するように移動式真空装置７を搬送室５０に連結した状態で第１の被駆動部３２の直下近傍に位置するようにアーム部６２ａの長さが設定されている。
【００３０】
第１の駆動部は、第１のシリンダー６４ａを有している。この第１のシリンダー６４ａには、第１のピストン部６６ａが装着され、第１のシリンダー６４ａから上方に突出した保持部６８ａに、第１の電磁石２６が設けられている。
【００３１】
また、第１のシリンダー６４ａ内の空間は、第１のピストン部６６ａによって上空間７０ａと下空間７１ａとに分離されている。
【００３２】
そして、第１のピストン部６６ａの上空間７０ａ及び下空間７１ａは、それぞれ排気・導入管７２ａ及び排気・導入管７４ａを介して図示しない圧縮空気源に接続され、所定のシーケンスに従って上空間７０ａ及び下空間７１ａ内への圧縮空気の導入及び排気を行うようになっている。
【００３３】
一方、アーム部６２ａの中腹部分には、鉛直上方に延びる基部６２ｃが設けられ、この基部６２ｃの先端には、第２のシリンダー６４ｂがを有する第２の駆動部が設けられている。
【００３４】
第２のシリンダー６４ｂには、第２のピストン部６６ｂが装着され、第２のシリンダー６４ｂから上方に突出した保持部６８ｂに、第２の電磁石２８が設けられている。
【００３５】
また、第２のシリンダー６４ｂは、第２のピストン部６６ｂによって上空間７０ｂと下空間７１ｂとに分離されている。
【００３６】
そして、第２のピストン部６６ｂの上空間７０ｂ及び下空間７１ｂは、それぞれ排気・導入管７２ｂ及び排気・導入管７４ｂを介して図示しない圧縮空気源に接続され、所定のシーケンスに従って上空間７０ｂ及び下空間７１ｂ内への圧縮空気の導入及び排気を行うようになっている。
【００３７】
また、上述した第１の電磁石２６と第２の電磁石２８は、電源等を有する制御部（図示せず）に接続され、所定のシーケンスに従って駆動されるようになっている。
【００３８】
搬送室５０の移動式真空装置７が配置される側の側面には、基板１３を出し入れするための搬出入口８２が設けられている。この搬出入口８２は、真空槽本体１２に設けられた搬出入口３８と対応する位置に設けられている。
【００３９】
そして、搬出入口８２には、駆動部８０によって駆動される搬送室側仕切りバルブ４０が取り付けられている。
【００４０】
さらに、搬送室側仕切りバルブ４０には、移動式真空装置７から搬送室５０に基板１３を移送するための中間室４２が設けられている。
【００４１】
この中間室４２は、主排気バルブ４４、真空排気ポンプ４６、粗引きポンプ４８等を有する真空排気系４３に接続されている。
【００４２】
中間室４２の側部には、クランプシリンダー５４が取り付けられている。このクランプシリンダー５４は、ヘッド５４ａを伸縮、回転させて中間室４２と仕切りバルブ３０を固定することによって移動式真空装置７と真空装置３とを連結するように構成されている。
【００４３】
以下、本実施の形態の動作について説明する。
図４は、本実施の形態の移動式真空装置を搬入部に配置する際の動作を示す斜視図、図５（ａ）〜（ｃ）は、同移動式真空装置における仕切りバルブの動作を示す斜視図、図６（ａ）（ｂ）は、同移動式真空装置における昇降機構の動作を示す概略構成図である。
【００４４】
まず、図１に示すように、真空装置３又は真空装置５から離れた位置にある移動式真空装置７を、遠隔操作によって移動させ、仕切りバルブ３０を中間室４２側に向けて搬入部６１内に配置させる。
【００４５】
この移動式真空装置７の真空槽本体１２内には、基板１３が収納された基板収納カセット１４が配置されている。
【００４６】
移動式真空装置７を搬入部６１内に配置した状態では、第１の電磁石２６は第１の被駆動部３２の直下近傍に、第２の電磁石２８は第２の被駆動部３４の直下近傍に位置する。
【００４７】
図５（ａ）に示すように、この時点では、第２の被駆動部３４と第２の電磁石２８とが離れた状態にある。
【００４８】
図４に示すように、この状態で、クランプシリンダー５４のアーム５４ａを駆動し、中間室４２を介して真空装置３と移動式真空装置７とを連結する。
【００４９】
次いで、真空排気系４３を駆動し、中間室４２を真空排気する。
そして、排気・導入管７４ａを介して第１のシリンダー６４ａの下空間７１ａに圧縮空気を導入するとともに、排気・導入管７２ａを介して上空間７０ａの排気を行う。
【００５０】
これと同時に図示しない電源を駆動して第１の電磁石２６の通電を行い、図６（ａ）に示すように、第１の電磁石２６を押し上げ第１の被駆動部３２と接触させ、その磁力によって第１の被駆動部３２を第１の電磁石２６に吸着させる。
【００５１】
次に、排気・導入管７２ａを介して第１のシリンダー６４ａの上空間７０ａに圧縮空気を導入しつつ、排気・導入管７２ａを介して上空間７１ａの排気を行い、カセット昇降軸２５ｃを下降させることにより、図６（ｂ）に示すように、基板収納カセット１４に収納された所定の基板１３が真空槽本体１２の搬出入口３８と同じ高さになるようにする。
【００５２】
そして、排気・導入管７４ｂを介して第２のシリンダー６４ｂの下空間７１ｂ内に圧縮空気を導入するとともに、排気・導入管７２ｂを介して上空間７０ａ内の排気を行う。
【００５３】
これと同時に図示しない電源を駆動して第２の電磁石２８の通電を行い、図５（ｂ）に示すように、第２の電磁石２８を押し上げ第２の被駆動部３４と接触させ、その磁力によって第２の被駆動部３４を第２の電磁石２８に吸着させる。
【００５４】
その後、排気・導入管７２ｂを介して第２のシリンダー６４ｂの上空間７０ｂに圧縮空気を導入するとともに、排気・導入管７４ｂを介して下空間７１ｂ内部の排気を行うことにより、第２のピストン部６６ｂを下降させ、図５（ｃ）に示すように、仕切りバルブ３０を開く。
【００５５】
さらに、搬送室側仕切りバルブ駆動部８０を駆動し搬送室側仕切りバルブ４０を開く。
【００５６】
この状態で、真空ロボット５２のアーム５２ａを動作させ、移動式真空装置７の搬出入口３８及び搬送室５０の搬出入口８２を介して所定の基板１３を移動式真空装置７の真空槽本体１２から搬送室５０内に搬入し、さらに処理室６０に搬送して所定の処理を行う。
【００５７】
以後、基板１３の搬送動作と基板収納カセット１４の下降動作を行うことによって、基板収納カセット１４の各段に収納された複数の基板１３を順次処理室６０に搬送する。
【００５８】
一方、処理室６０内で処理された基板１３を、基板収納カセット１４に収納して他の場所に移動させる場合には、所定のシーケンスに従って上述した動作の逆の動作を行い、移動式真空装置７を真空装置３から離間させ、遠隔操作によって所定の場所に移動する。
【００５９】
以上述べたように本実施の形態によれば、従来技術のように、移動式真空装置側で人手によって仕切りバルブを開閉したり昇降機構を駆動する必要がなくなり、その結果、仕切りバルブ３０の開閉動作及び基板収納カセット１４の昇降動作の自動化が可能になり、基板１３の搬出入の自動化が可能な真空処理システムを容易に構築することができる。
【００６０】
また、本実施の形態の移動式真空装置においては、従来技術のような昇降機構駆動用のモータに対する給電プラグを設ける必要がないので、給電プラグのセット不良による動作不良の発生のない高信頼性の装置を提供することができる。
【００６１】
さらに、本実施の形態においては、第１及び第２の電磁石２６、２８を用いて昇降機構２５及び仕切りバルブ３０を駆動するようにしたことから、簡素な構成で連結が容易な移動式真空装置７を提供することができる。
【００６２】
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。
例えば、上述の実施の形態においては、第１及び第２の駆動部を圧縮空気によって動作するシリンダーを用いて駆動するように構成したが、本発明はこれに限られず、例えば電動式モータで駆動するように構成することも可能である。
【００６３】
また、上述の実施の形態においては、ロボットを有する搬送室に対して移動式真空装置を連結するようにしたが、本発明はこれに限られず、種々の真空装置に対して移動式真空装置を連結することができるものである。
【００６４】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、仕切りバルブの開閉動作及びカセットの昇降動作の自動化が可能になり、基板の搬出入の自動化が可能な真空処理システムを容易に構築することができる。
また、本発明によれば、給電プラグのセット不良による動作不良の発生のない高信頼性の装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る移動式真空装置とこれを用いた真空処理システムの全体を示す斜視図
【図２】（ａ）（ｂ）：同移動式真空装置の全体を示す斜視図
【図３】同移動式真空装置を真空装置に連結した状態を示す概略構成図
【図４】同移動式真空装置を搬入部に配置する際の動作を示す斜視図
【図５】（ａ）〜（ｃ）：同移動式真空装置における仕切りバルブの動作を示す斜視図
【図６】同移動式真空装置における昇降機構の動作を示す概略構成図
【図７】（ａ）（ｂ）：従来の移動真空装置の構成を示す斜視図
【図８】従来の移動式真空装置と成膜装置との連結部を示す断面図
【符号の説明】
１…真空処理システム ３、５…真空装置 ７…移動式真空装置 １２…真空槽本体 １３…基板 １４…基板収納カセット ２５…昇降機構 ２５ａ…第１の被駆動軸 ２５ｂ…ガイド ２５ｃ…カセット昇降軸 ２６…第１の電磁石 ２８…第２の電磁石 ３０…仕切りバルブ ３２…第１の被駆動部 ３４…第２の被駆動部 ３６…バルブ開閉軸（第２の動力伝達部材） ３８…搬出入口 ４０…搬送室側仕切りバルブ ５０…搬送室 ６０…処理室 ６１…搬入部 ６２…基台 ８２…搬出入口[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a mobile vacuum apparatus for transporting a processing object such as a substrate in a vacuum atmosphere.
[0002]
[Prior art]
FIG. 7 is a perspective view showing a conventional moving vacuum apparatus, and FIG. 8 is a cross-sectional view showing a connecting portion between the conventional moving vacuum apparatus and the vacuum apparatus.
[0003]
As shown in FIG. 7, this mobile vacuum apparatus 100 moves a substrate storage cassette 104 in which a substrate 103 is stored in a mobile vacuum chamber 101 provided on a mobile trolley 107 and moves the transfer chamber. 120.
[0004]
The movable vacuum apparatus 100 is configured to drive a cassette lifting mechanism 130 by a motor 102 provided below the movable vacuum chamber 101 to raise and lower the substrate storage cassette 104.
[0005]
When the substrate 103 in the moving vacuum chamber 101 is carried into the transfer chamber 120, the moving vacuum chamber 101 is connected to the intermediate chamber 110 provided on the transfer chamber 120 side, and the partition valves 105 and 122 are opened to move. The vacuum chamber 101 and the transfer chamber 120 are communicated. Then, the substrate storage cassette 104 is moved up and down, and a predetermined substrate 103 in the movable vacuum chamber 101 is loaded into the transfer chamber 120 using the robot 121 in the transfer chamber 120.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional mobile vacuum apparatus 100, since the opening and closing of the partition valve 105 must be performed manually, there is a problem that the work of carrying in the substrate is troublesome and automation is difficult.
[0007]
Further, in the conventional mobile vacuum apparatus 100, since power is supplied from the power supply plug 110 to the motor 102, there is also a problem that an operation failure occurs due to a defective setting of the power supply plug 110.
[0008]
The present invention has been made in order to solve such problems of the related art, and it is possible to automate the operation when connecting a mobile vacuum device, and further, to prevent operation failure due to a defective setting of a power supply plug or the like. It is an object of the present invention to provide a mobile vacuum device and a system thereof.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The invention according to claim 1, which has been made to achieve the above object, has an elevating mechanism for elevating a predetermined cassette loaded therein, which is configured to be sealable and movable, and an object to be conveyed accommodated in the cassette. A vacuum chamber provided with a loading / unloading port for loading / unloading, a valve for opening / closing the loading / unloading port, and a first drive unit provided outside the apparatus, and the power is supplied to the cassette via a first power transmission member. Driven portion for transmitting power to the valve, and a second driven portion for driving power to the valve via a second power transmitting member, driven by a second driving portion external to the device. Wherein the first driven section is configured to be detachable from the first drive section, and the second driven section is detachable from the second drive section. Is a mobile vacuum device configured in
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the first driving section has an electromagnet.
According to a third aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the second driving section has an electromagnet.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber configured to be connectable to the mobile vacuum apparatus according to any one of the first to third aspects, and having a carry-in / out port connectable to a carry-in / out port of the mobile vacuum apparatus. , A vacuum device having the first drive unit and the second drive unit, wherein the first drive unit and the second drive unit are configured to be driven according to a predetermined sequence. .
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a vacuum processing system including the movable vacuum apparatus according to the first to third aspects and the vacuum apparatus according to the fourth aspect.
[0010]
In the mobile vacuum apparatus according to the present invention, the first driven section for driving the elevating mechanism for elevating the cassette is detachable from the first driving section of the vacuum apparatus outside the apparatus, and the object to be conveyed is moved. A second driven portion for driving a valve for opening and closing the carry-in / out port of the vacuum device is detachable from a second drive portion of the vacuum device outside the device, and the first drive portion and the second drive portion of the vacuum device are Is configured to be driven according to a predetermined sequence, it is not necessary to manually open and close the partition valve or drive the elevating mechanism on the mobile vacuum device side as in the related art, and as a result, The opening / closing operation of the partition valve and the raising / lowering operation of the cassette can be automated, and a vacuum processing system that can automate the loading / unloading of substrates can be easily constructed.
[0011]
In the mobile vacuum apparatus of the present invention, the first drive unit for driving the lifting mechanism is provided outside the apparatus, and there is no need to provide a power supply plug for the motor for driving the lifting mechanism as in the prior art. It is possible to provide a highly reliable device that does not cause an operation failure due to a set failure of the device.
[0012]
In the vacuum apparatus of the present invention, when an electromagnet is used as the first and second driving units, the driving unit and the driven unit can be attached and detached only by changing the magnetic force of the electromagnet, so that a simple configuration is provided. Thus, it is possible to provide a mobile vacuum device that can be easily connected.
[0013]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing the entirety of a mobile vacuum apparatus according to the present invention and a vacuum processing system using the same, and FIGS. 2A and 2B are perspective views showing the entirety of the mobile vacuum apparatus. FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a state where the mobile vacuum device is connected to a vacuum device.
[0014]
As shown in FIG. 1, the vacuum processing system 1 of the present embodiment includes a pair of vacuum devices 3 and 5, and each of the vacuum devices 3 and 5 includes a plurality of processing chambers 60 around a transfer chamber 50. And a carry-in part 61 are provided.
[0015]
As shown in FIGS. 2A and 2B and FIG. 3, the mobile vacuum device 7 of the present embodiment includes a mobile bogie main body 18 and a sealable cylindrical shape provided on the mobile bogie main body 18. And a vacuum chamber main body 12.
[0016]
The mobile vacuum device 7 of the present embodiment is configured to automatically move by remote control, and has a lifting mechanism 25 described below.
[0017]
A guide 25b extending in the vertical direction is provided on the ceiling in the movable bogie main body 18, and a cassette elevating shaft 25c arranged vertically in a rod shape so as to move up and down along the guide 25b is attached to the vacuum chamber main body 12. Is provided in a state of penetrating through.
[0018]
At the lower end of the cassette elevating shaft 25c, for example, a first driven shaft 25a having a rod shape is fixed coaxially with the cassette elevating shaft 25c. In this embodiment, the first driven shaft 25a and the elevating shaft 25c constitute a first power transmission member.
[0019]
At the lower end of the first driven shaft 25a, a first driven portion 32 made of a magnetic material is attached.
[0020]
The first driven portion 32 is driven by a first electromagnet 26 outside the movable vacuum device 7 as described later.
[0021]
In the vacuum chamber main body 12, a substrate storage cassette 14, which will be described later, is mounted on the upper end of the cassette elevating shaft 25c.
[0022]
As shown in FIG. 2A, a maintenance door 22 for taking the substrate storage cassette 14 in and out is provided on a side surface of the vacuum chamber main body 12.
[0023]
Further, on the side surface of the vacuum chamber main body 12, a carry-in / out port 38 for taking in and out a substrate (transfer target) 13 described later is formed.
[0024]
A partition valve 30 for opening and closing the carry-in / out port 38 is provided near the carry-in / out port 38 of the vacuum chamber main body 12.
[0025]
The partition valve 30 is configured to be opened and closed by a valve opening / closing shaft (second power transmission member) 36 disposed vertically below. The driven part 34 is attached.
[0026]
The second driven portion 34 is made of a magnetic material, and is driven by the second electromagnet 28 located outside the movable vacuum device 7.
[0027]
As shown in FIG. 3, the transfer chamber 50 of the present embodiment is provided on a base 62 provided at a predetermined position, and inside the transfer chamber 61, a vacuum for transferring a substrate having an arm 52a is provided. A robot 52 is arranged.
[0028]
An arm 62a extending in the horizontal direction is provided at a lower portion of the base 62 on the side where the movable vacuum device 7 is arranged.
[0029]
A first drive unit is provided at the tip of the arm unit 62a.
The length of the arm 62a is set such that the first driving unit is located immediately below the first driven unit 32 in a state where the movable vacuum device 7 is connected to the transfer chamber 50 as described later. I have.
[0030]
The first drive section has a first cylinder 64a. The first piston 64a is mounted on the first cylinder 64a, and the first electromagnet 26 is provided on a holding portion 68a projecting upward from the first cylinder 64a.
[0031]
The space inside the first cylinder 64a is separated into an upper space 70a and a lower space 71a by a first piston 66a.
[0032]
The upper space 70a and the lower space 71a of the first piston portion 66a are connected to a compressed air source (not shown) via an exhaust / introduction pipe 72a and an exhaust / introduction pipe 74a, respectively, and are arranged in accordance with a predetermined sequence. Compressed air is introduced into and exhausted from the lower space 71a.
[0033]
On the other hand, a base 62c extending vertically upward is provided in the middle part of the arm 62a, and a second drive unit having the second cylinder 64b is provided at the tip of the base 62c.
[0034]
A second piston portion 66b is mounted on the second cylinder 64b, and a second electromagnet 28 is provided on a holding portion 68b projecting upward from the second cylinder 64b.
[0035]
The second cylinder 64b is separated into an upper space 70b and a lower space 71b by a second piston portion 66b.
[0036]
The upper space 70b and the lower space 71b of the second piston portion 66b are connected to a compressed air source (not shown) via an exhaust / introduction pipe 72b and an exhaust / introduction pipe 74b, respectively, and are arranged in accordance with a predetermined sequence. Compressed air is introduced into and exhausted from the lower space 71b.
[0037]
Further, the first electromagnet 26 and the second electromagnet 28 described above are connected to a control unit (not shown) having a power supply and the like, and are driven according to a predetermined sequence.
[0038]
On the side surface of the transfer chamber 50 on the side where the movable vacuum device 7 is disposed, a carry-in / out port 82 for taking in / out the substrate 13 is provided. The loading / unloading port 82 is provided at a position corresponding to the loading / unloading port 38 provided in the vacuum chamber main body 12.
[0039]
The transfer chamber side partition valve 40 driven by the drive unit 80 is attached to the carry-in / out port 82.
[0040]
Further, the transfer chamber side partition valve 40 is provided with an intermediate chamber 42 for transferring the substrate 13 from the movable vacuum device 7 to the transfer chamber 50.
[0041]
The intermediate chamber 42 is connected to a vacuum exhaust system 43 having a main exhaust valve 44, a vacuum exhaust pump 46, a roughing pump 48, and the like.
[0042]
A clamp cylinder 54 is attached to the side of the intermediate chamber 42. The clamp cylinder 54 is configured to connect the movable vacuum apparatus 7 and the vacuum apparatus 3 by fixing the intermediate chamber 42 and the partition valve 30 by extending and retracting and rotating the head 54a.
[0043]
Hereinafter, the operation of the present embodiment will be described.
FIG. 4 is a perspective view showing the operation when the mobile vacuum device of the present embodiment is arranged in the loading section, and FIGS. 5A to 5C show the operation of the partition valve in the mobile vacuum device. FIGS. 6A and 6B are schematic configuration diagrams showing the operation of the lifting mechanism in the movable vacuum apparatus.
[0044]
First, as shown in FIG. 1, the movable vacuum device 7 at a position remote from the vacuum device 3 or the vacuum device 5 is moved by remote control, and the partition valve 30 is moved toward the intermediate chamber 42 into the loading unit 61. To be placed.
[0045]
In the vacuum chamber main body 12 of the mobile vacuum apparatus 7, a substrate storage cassette 14 in which a substrate 13 is stored is arranged.
[0046]
In a state in which the mobile vacuum device 7 is disposed in the loading section 61, the first electromagnet 26 is located immediately below the first driven section 32, and the second electromagnet 28 is located immediately below the second driven section 34. Located in.
[0047]
As shown in FIG. 5A, at this time, the second driven portion 34 and the second electromagnet 28 are in a separated state.
[0048]
As shown in FIG. 4, in this state, the arm 54 a of the clamp cylinder 54 is driven to connect the vacuum device 3 and the mobile vacuum device 7 via the intermediate chamber 42.
[0049]
Next, the evacuation system 43 is driven, and the intermediate chamber 42 is evacuated.
Then, the compressed air is introduced into the lower space 71a of the first cylinder 64a through the exhaust / introduction pipe 74a, and the upper space 70a is exhausted through the exhaust / introduction pipe 72a.
[0050]
At the same time, a power source (not shown) is driven to energize the first electromagnet 26, and as shown in FIG. 6A, the first electromagnet 26 is pushed up and brought into contact with the first driven portion 32, and its magnetic force is increased. Thereby, the first driven portion 32 is attracted to the first electromagnet 26.
[0051]
Next, while introducing compressed air into the upper space 70a of the first cylinder 64a through the exhaust / introduction pipe 72a, the upper space 71a is exhausted through the exhaust / introduction pipe 72a, and the cassette elevating shaft 25c is lowered. By doing so, as shown in FIG. 6B, the predetermined substrate 13 stored in the substrate storage cassette 14 is set at the same height as the carry-in / out port 38 of the vacuum chamber main body 12.
[0052]
Then, the compressed air is introduced into the lower space 71b of the second cylinder 64b through the exhaust / introduction pipe 74b, and the upper space 70a is exhausted through the exhaust / introduction pipe 72b.
[0053]
At the same time, a power source (not shown) is driven to energize the second electromagnet 28, and as shown in FIG. 5B, the second electromagnet 28 is pushed up and brought into contact with the second driven portion 34, and its magnetic force is generated. Thereby, the second driven portion 34 is attracted to the second electromagnet 28.
[0054]
Thereafter, the compressed air is introduced into the upper space 70b of the second cylinder 64b through the exhaust / introduction pipe 72b, and the inside of the lower space 71b is exhausted through the exhaust / introduction pipe 74b, whereby the second piston The part 66b is lowered, and the partition valve 30 is opened as shown in FIG.
[0055]
Further, the transfer chamber side partition valve driving section 80 is driven to open the transfer chamber side partition valve 40.
[0056]
In this state, the arm 52a of the vacuum robot 52 is operated, and the predetermined substrate 13 is transferred from the vacuum chamber body 12 of the movable vacuum device 7 through the carry-in / out port 38 of the movable vacuum device 7 and the carry-in / out port 82 of the transfer chamber 50. It is carried into the transfer chamber 50 and further transferred to the processing chamber 60 to perform predetermined processing.
[0057]
Thereafter, the plurality of substrates 13 stored in each stage of the substrate storage cassette 14 are sequentially transferred to the processing chamber 60 by performing the operation of transporting the substrates 13 and the operation of lowering the substrate storage cassette 14.
[0058]
On the other hand, when the substrate 13 processed in the processing chamber 60 is stored in the substrate storage cassette 14 and moved to another place, the operation reverse to the above-described operation is performed according to a predetermined sequence, and the mobile vacuum device is used. 7 is separated from the vacuum device 3 and moved to a predetermined place by remote control.
[0059]
As described above, according to the present embodiment, it is not necessary to manually open and close the partition valve or drive the lifting / lowering mechanism on the mobile vacuum apparatus side as in the related art. The operation and the elevating operation of the substrate storage cassette 14 can be automated, and a vacuum processing system that can automate the loading and unloading of the substrate 13 can be easily constructed.
[0060]
Further, in the mobile vacuum apparatus according to the present embodiment, since it is not necessary to provide a power supply plug for the motor for driving the lifting mechanism as in the prior art, high reliability without occurrence of operation failure due to a failure in setting the power supply plug is achieved. Device can be provided.
[0061]
Further, in the present embodiment, the first and second electromagnets 26 and 28 are used to drive the elevating mechanism 25 and the partition valve 30, so that the mobile vacuum device is simple in configuration and easy to connect. 7 can be provided.
[0062]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made.
For example, in the above-described embodiment, the first and second driving units are configured to be driven by using the cylinders operated by the compressed air. However, the present invention is not limited to this. For example, the first and second driving units may be driven by an electric motor. It is also possible to configure so that
[0063]
Further, in the above-described embodiment, the mobile vacuum device is connected to the transfer chamber having the robot. However, the present invention is not limited to this, and the mobile vacuum device may be used for various vacuum devices. It can be linked.
[0064]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the opening / closing operation of the partition valve and the raising / lowering operation of the cassette can be automated, and a vacuum processing system that can automate the loading / unloading of the substrate can be easily constructed.
Further, according to the present invention, it is possible to provide a highly reliable device that does not cause an operation failure due to a defective setting of the power supply plug.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing the entirety of a movable vacuum apparatus according to the present invention and a vacuum processing system using the same. FIG. 2 (a) and (b): perspective views showing the entire movable vacuum apparatus. 3 is a schematic configuration diagram showing a state in which the mobile vacuum device is connected to a vacuum device. FIG. 4 is a perspective view showing an operation when the mobile vacuum device is arranged in a loading section. c): A perspective view showing the operation of a partition valve in the movable vacuum device. FIG. 6 is a schematic configuration diagram showing the operation of an elevating mechanism in the movable vacuum device. FIGS. 7A and 7B: Conventional movement FIG. 8 is a perspective view showing a configuration of a vacuum apparatus. FIG. 8 is a cross-sectional view showing a connecting portion between a conventional mobile vacuum apparatus and a film forming apparatus.
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vacuum processing system 3, 5 ... Vacuum apparatus 7 ... Mobile vacuum apparatus 12 ... Vacuum tank main body 13 ... Substrate 14 ... Substrate storage cassette 25 ... Elevating mechanism 25a ... 1st driven axis 25b ... Guide 25c ... Cassette elevating axis 26 first electromagnet 28 second electromagnet 30 partition valve 32 first driven part 34 second driven part 36 valve opening / closing shaft (second power transmission member) 38 loading / unloading port 40 ... Transfer chamber side partition valve 50 ... Transfer chamber 60 ... Processing chamber 61 ... Load-in section 62 ... Base 82 ... Load-out port

Claims (5)

密封可能で移動可能に構成され、搬入された所定のカセットを昇降させる昇降機構を有し、前記カセットに収容された搬送対象物を出し入れするための搬出入口が設けられた真空槽本体と、
前記搬出入口を開閉するバルブと、
装置外部にある第１の駆動部によって駆動され、第１の動力伝達部材を介して前記カセットに動力を伝達するための第１の被駆動部と、
装置外部にある第２の駆動部によって駆動され、第２の動力伝達部材を介して前記バルブに動力を伝達するための第２の被駆動部とを有し、
前記第１の被駆動部が前記第１の駆動部に対して着脱自在に構成されているとともに、前記第２の被駆動部が前記第２の駆動部に対して着脱自在に構成されている移動式真空装置。A vacuum chamber main body that is configured to be sealable and movable, has an elevating mechanism for elevating and lowering the loaded predetermined cassette, and has a loading / unloading port for taking in / out an object to be transported contained in the cassette,
A valve for opening and closing the loading / unloading port,
A first driven unit driven by a first driving unit provided outside the apparatus, for transmitting power to the cassette via a first power transmission member;
A second driven unit driven by a second driving unit outside the device, for transmitting power to the valve via a second power transmission member,
The first driven section is configured to be detachable from the first drive section, and the second driven section is configured to be detachable from the second drive section. Mobile vacuum equipment. 前記第１の駆動部が電磁石を有している請求項１記載の移動式真空装置。The mobile vacuum apparatus according to claim 1, wherein the first drive unit has an electromagnet. 前記第２の駆動部が電磁石を有している請求項１又は２のいずれか１項記載の移動式真空装置。The mobile vacuum apparatus according to claim 1, wherein the second drive unit includes an electromagnet. 請求項１乃至３のいずれか１項記載の移動式真空装置と連結可能に構成され、前記移動式真空装置の搬出入口と連結可能な搬出入口を有する真空槽と、
前記第１の駆動部と、
前記第２の駆動部とを有し、
前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部が所定のシーケンスに従って駆動するように構成されている真空装置。A vacuum tank configured to be connectable to the mobile vacuum apparatus according to any one of claims 1 to 3, and having a carry-in / out port connectable to a carry-in / out port of the mobile vacuum apparatus,
The first driving unit;
And the second drive unit,
A vacuum device configured to drive the first drive unit and the second drive unit according to a predetermined sequence. 請求項１乃至３記載の移動式真空装置と、
請求項４記載の真空装置とを有する真空処理システム。A mobile vacuum device according to claim 1,
A vacuum processing system comprising: the vacuum device according to claim 4.

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